WO2011099708A2 - 회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치 - Google Patents

회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2011099708A2
WO2011099708A2 PCT/KR2011/000559 KR2011000559W WO2011099708A2 WO 2011099708 A2 WO2011099708 A2 WO 2011099708A2 KR 2011000559 W KR2011000559 W KR 2011000559W WO 2011099708 A2 WO2011099708 A2 WO 2011099708A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
motion
inspection table
driving
transmission member
rotation
Prior art date
Application number
PCT/KR2011/000559
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2011099708A3 (ko
Inventor
유병소
이병식
장현삼
김범중
Original Assignee
(주)큐엠씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)큐엠씨 filed Critical (주)큐엠씨
Priority to CN201180009126XA priority Critical patent/CN102844667A/zh
Publication of WO2011099708A2 publication Critical patent/WO2011099708A2/ko
Publication of WO2011099708A3 publication Critical patent/WO2011099708A3/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Definitions

  • the present invention relates to a rotating device having a single drive unit for the simultaneous adjustment of rotation and translational motion, and more particularly to the rotation and translation (ie lifting) motion of an inspection table that supports a plurality of test objects to one drive unit. It relates to a rotating device that can be adjusted by.
  • an apparatus for conducting a test using an LED chip or a semiconductor chip as an inspection object that is, an inspection object, in a manufacturing process of an LED product or a semiconductor, and classifying the inspection object into an appropriate grade according to the test result. was required.
  • an LED chip test apparatus that measures the optical characteristics of the LED chip prior to the package process, and classifies the LED chip according to the grade based on the measured data.
  • the conventional LED chip test apparatus 1 is composed of an inspection table 10, a contact unit 20, and a measurement unit 30.
  • the inspection table 10 includes a seating member 11 that supports an object L, such as an LED chip, and a support frame 12 that supports the seating member 11 and extends in a radial direction about a rotation axis A. It includes.
  • the lower side of the support frame 12 is connected to the driving unit 13, such as a motor, the support frame 12 and the seating member 11 is provided with a plurality.
  • the seating member 11 on which the test object is placed is sequentially placed in the test position.
  • the contact unit 20 is made of a probe card, for example, and has a contact pin 21 such as a probe pin. For example, when the contact pin 21 contacts the LED chip on the seating member 11 and supplies a current to the LED chip, the LED chip emits light to perform a test.
  • the contact unit 20 is movably connected in the up and down direction with respect to the fixed frame 22.
  • the measuring unit 30 is an apparatus for receiving light emitted from an LED chip, for example, an integrating sphere, to measure optical characteristics.
  • the measuring unit 30 is provided with a measuring device 31 such as a photodetector or a spectrometer.
  • the upper graph is a graph showing the rotation driving timing of the inspection table.
  • the x-axis represents the time axis and the y-axis represents the angular velocity.
  • the x axis represents the time axis and the y axis represents the vertical translation velocity.
  • the positive (+) direction of the y axis that is, the upper direction indicates that the contact unit 20 has a motion upward with respect to the frame 22, and the negative (-) direction of the y axis, that is, the lower direction, the contact unit. Indicates that 20 has motion downward relative to frame 22.
  • the inspection table 10 is rotated to move the object (L) to be tested is located below the measuring unit 30 (section II).
  • the measurement unit 30 moves downward to connect the object L to be tested and the contact pin 21 (section III).
  • the contact pin 21 is a member having a fine probe or cantilever shape with elasticity, vibration may occur due to the contact of the contact pin 21 and the object (L).
  • An object of the present invention is to measure a test object such as an LED chip or a semiconductor chip, and has a single drive unit for simultaneously adjusting the rotation and lifting motions, which can reduce the process time and reduce the cost through component reduction. In providing a rotating device.
  • an inspection table including a support frame extending outwardly from the center of rotation and a seating member for seating the subject under the end of the support frame; A driving unit receiving an electrical signal to generate a rotational force; And a transmission member connected to a lower portion of the rotation center of the inspection table and receiving rotational force from the driving unit to convert the inspection table into an intermittent rotation and elevating motion of the inspection table.
  • Such a rod is preferably a hollow shaft member capable of airflow along the axial direction.
  • the support frame it is preferable that a plurality of branches are formed radially from the rotation center of the inspection table, it may be formed to extend to the same length spaced apart from each other by a predetermined center angle.
  • a coupling member connected between the driving unit and the transmission member, the coupling member being provided to control the magnitude and direction of the rotational force transmitted from the driving unit to the transmission member.
  • the transmission member may use any one of a roller gear cam mechanism and a Geneva gear mechanism.
  • the transmission member may rotate the inspection table by 360 ° / n and drive to have a pause time for a predetermined time.
  • the inspection table may include at least one motion pattern among a motion of lifting and lowering in a direction spaced or approaching the rolling member, a motion of rotating driving, and a motion having a pause time.
  • the inspection table the first motion of driving in the direction of the lifting and moving in the direction away or approaching the transmission member; And a second motion of lifting and lowering in a direction opposite to the first motion and simultaneously rotating to drive in the same direction as the first motion.
  • the inspection table the first motion for driving the lift and the drive in the direction away from or approaching the transmission member; A second motion that only rotates in the same direction as the first motion; And a third motion of elevating and driving in a direction opposite to the first motion and simultaneously rotating and driving in the same direction as the first motion.
  • the inspection table the first motion only driving in the direction of moving away from or approaching the transmission member; A second motion of elevating and rotating while driving in the same direction as the first motion; A third motion of driving up and down in a direction opposite to the first motion and simultaneously rotating to drive in the same direction as the first motion; And a fourth motion of only lifting and lowering in the opposite direction to the first motion.
  • the inspection table the first motion only driving in the direction of spaced apart or approaching the transmission member; A second motion of elevating and rotating while driving in the same direction as the first motion; A third motion of only rotating driving in the same direction as the first motion; A fourth motion of elevating and rotating driving in the direction opposite to the first motion; And a fifth motion of only lifting and lowering in a direction opposite to the first motion.
  • the test object may be a semiconductor chip or LED (LED) chip.
  • the rotating device having a single drive unit for the simultaneous adjustment of the rotation and lifting motion according to the present invention, in the measurement of the defect of the test object, such as an LED chip or a semiconductor chip, the rotation of the test table on which the test object is disposed and By arranging a single drive that can adjust the lifting motion integrally, there is a technical effect that can reduce the process time as well as the cost.
  • the defect of the test object such as an LED chip or a semiconductor chip
  • FIG. 1 is a side view schematically showing a conventional LED chip test apparatus.
  • FIG. 2 is a timing diagram schematically showing a motion pattern of a conventional LED chip test apparatus.
  • Figure 3 is a side view schematically showing an LED chip test apparatus equipped with a rotating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a perspective view schematically showing the operation of the transmission member according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a driving timing diagram illustrating a motion pattern of a rotating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a driving timing diagram illustrating a first operation example corresponding to a motion pattern of a rotating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a driving timing diagram illustrating a second operation example corresponding to a motion pattern of a rotating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a driving timing diagram illustrating a third operation example corresponding to the motion pattern of the rotating apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a driving timing diagram illustrating a fourth operation example corresponding to a motion pattern of a rotating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a rotating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a side view of the rotating apparatus according to FIG. 10.
  • FIG. 12 is a schematic diagram showing a working mode of the inspection table according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 13 and 14 are schematic views showing the configuration of the transmission member according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a side view schematically showing an LED chip test apparatus provided with a rotating apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the LED chip test apparatus includes a rotating device 100, a contact unit 200, and a measuring unit 300, the rotating device 100 is a test table 110, a transmission member 120, And a driver 130.
  • Examination table 110 is a seating member 111 for supporting the test object (L), the support frame 112 extending radially outward about the rotation axis (A) and the lower center of the examination table 110 Connected rod 113.
  • the seating member 111 may be formed integrally with or separately from the support frame 112.
  • a through hole (not shown) may be formed inside the seating member 111 to prevent the test object L from being separated through the air suction method.
  • the material and shape of the mounting member 111 is not particularly limited.
  • the material of the seating member 111 is preferably a conductive material.
  • the material of the seating member 111 may be formed of a material having high reflectance to reduce light loss.
  • a material having a high reflectance at 200 nm to 1000 nm, which is a measurement wavelength band of the LED chip, may be used.
  • the support frame 112 may be formed in a cantilever shape, but it is not necessarily limited to this shape.
  • the support frame 112 may be a plurality, for example four or eight. It may be carried out and changed in other numbers.
  • the seating member 111 formed at each end may be simultaneously adjusted to different working modes.
  • the other seating member 111 may stay in a loading position to test the subject L. have. And another seating member 111 may remain in the position to unload the test object under test (L).
  • the process speed is increased and the work efficiency is improved.
  • the rod 113 is provided below the support frame 112. And the rod 113 is linked to the operation of the transmission member 120 performs a rotation and lifting motion.
  • the rod 113 may be formed of a hollow shaft.
  • the hollow shaft-shaped rod 113 has a structure in which air flows inward along the axial direction, whereby an intake pipe (not shown) connected to a through hole (not shown) of the seating member 111 is connected to the rod ( It can be communicated to the external exhaust pump through the hollow of 113).
  • the transmission member 120 is a component connecting the driving unit 160 and the inspection table 110.
  • the operating structure of the transmission member 120 can be confirmed schematically through FIG. As shown, the transmission member 120 is a power input from the drive unit 160 through the coupling shaft 130, the power is output to the test table 110 through the rod 113.
  • machine elements such as gears, cams, and rollers may be coupled to the inside of the transmission member 120.
  • the rotational force of the driving unit 160 may be implemented by being converted into an intermittent rotational and elevating motion of the inspection table 110.
  • the intermittent rotation and lifting motion refers to a continuous flow of pause times in which a rotation or lifting motion according to a user setting is generated singularly or overlapping within a predetermined time interval, and similarly, no motion is generated according to the user setting.
  • the rotation or lifting motion section and the pause time may be repeatedly performed several times.
  • the transmission member 120 may have a pause time for a time set by the user after rotating the examination table 110 by 360 ° / n.
  • the inspection table 110 is rotated by 45 ° in one process to give a pause time.
  • a process of measuring, loading, and unloading the test object L may be performed within the pause time.
  • the transmission member 120 is connected to the coupling member 140 through the coupling shaft 130.
  • the coupling member 140 is connected to the driving unit 160 through the driving shaft 150.
  • the driving unit 160 may be an electric motor or the like as the power generating means.
  • Coupling member 140 is formed between the drive unit 160 and the transmission member 120 is a configuration for transmitting the rotational force generated through the drive unit (160).
  • the coupling member 140 is a power connection means provided to control the magnitude and / or direction of the rotational force transmitted from the driving unit 160 to the transmission member 120.
  • the driving speed of the driving unit 160 may be kept constant and may be changed according to external control.
  • the rotation speed by the driving unit 160 may be accelerated according to the motion type of the test table 110, that is, the rotation and lifting motion.
  • the inspection table 110 may be set such that the driving speed of the driving unit 160 is lowered in the paused state.
  • the user can set the pause time arbitrarily according to the required time required according to the type of work process performed within the pause time.
  • the contact unit 200 is disposed above the inspection object L seated on the examination table 110.
  • the contact unit 200 is made of, for example, a probe card, and includes a contact pin 210 such as a probe pin.
  • test object L is an LED chip
  • the contact pin 210 contacts the LED chip and supplies a current toward the LED chip, the LED chip emits light and the test is performed.
  • the contact unit 200 may be configured to be fixed in the vertical direction with respect to the frame 220.
  • the contact unit 200 is driven up and down, and thus a separate driving unit is required for vertical movement of the contact unit 200.
  • the inspection table 110 performs the translational motion in the vertical direction as well as the rotational motion, the individual driving of the contact unit 200 is unnecessary. Thereby, process time can be shortened and cost reduction can be aimed at by eliminating an additional structure.
  • the measuring unit 300 is an apparatus for receiving light emitted from an LED chip, for example, an integrating sphere, to measure optical characteristics.
  • the measuring unit 300 may be provided with a measuring device 310 such as a photo detector or a spectrometer.
  • the x axis of FIG. 5 represents the time axis and the y axis represents the rotational angular velocity of the inspection table.
  • the inspection table may have rotational and lifting motions, which are not shown separately here.
  • an examination table may have rotation and translation motions (section I) and pose time (section II).
  • the rotation and translation motion refers to an operation in which the inspection table is elevated in the direction away from or approaching the transmission member and rotates about the rotation axis A at the same time. And within the pause time (section II), the inspection table does not take any motion during rotation and lifting.
  • the inspection table itself may perform the rotation and lifting motions simultaneously. Due to this, the stabilization time of the contact unit is unnecessary as in the prior art, which contributes to the shortening of the process time.
  • the upper graph is a graph showing the rotational motion of the inspection table.
  • the x axis represents the time axis and the y axis represents the rotational angular velocity of the inspection table.
  • the lower graph is a graph showing the lifting motion of the inspection table.
  • the x-axis represents the time axis and the y-axis represents the speed according to the lifting motion of the inspection table.
  • the positive direction on the y axis means that the inspection table has a direction in which the inspection table is spaced apart from each other, that is, a rising motion.
  • the negative (-) direction of the y-axis means that the inspection table has a direction of approaching toward the transmission member, that is, the downward motion.
  • the motion pattern (section I) of the inspection table includes a first rotation and lifting motion section (one section) and a second rotation and lifting motion section (two sections).
  • the first rotational and elevating motion section means a section in which the inspection table takes the lifting motion in the direction approaching the transmission member and rotates at the same time.
  • the second rotational and elevating motion section means a section in which the inspection table takes the lifting motion in the direction away from the transmission member and rotates at the same time.
  • the test table moves downward, so that the connection between the test object L, for example, the LED chip to be tested in the previous step, and the measurement unit is released. And the inspection table rotates.
  • the connection between the object L, for example, the tested LED chip and the measurement unit, is fastened.
  • a pause time II is obtained, in which the examination table takes no motion during rotation and lifting. Therefore, the measurement of the subject can be made stable.
  • the contact unit and the measuring unit are located above the test table.
  • the contact unit and the measuring unit may be positioned below the test table.
  • the lifting table in the first section, takes a lifting motion in a direction away from the rolling member, and in the second section, the lifting table takes a lifting motion in a direction approaching the rolling member.
  • the motion pattern (section I) of the inspection table includes a first rotation and lifting motion section (section 1), a rotation section (section 2), and a second rotation and lifting motion section (section 3). do.
  • the first rotational and elevating motion section (section 1) is a section in which the inspection table performs the lifting motion in the direction approaching the transmission member.
  • the rotation section (section 2) is a section in which the inspection table takes only the rotation motion without taking the lifting motion.
  • the second rotational and elevating motion section is a section in which the inspection table takes a lifting motion in a direction away from the rolling member and the inspection table takes a rotational motion.
  • the lifting pattern of the inspection table can be relatively quickly formed in one and three sections by additionally providing a rotation section (two sections).
  • the motion pattern (section I) of the inspection table includes a first lifting motion section (section 1), a first rotation and lifting motion section (section 2), and a second rotation and lifting motion section (3 section). Section) and a second lifting motion section (four sections).
  • the first lifting motion section (section 1) has only the lifting motion in the direction in which the inspection table approaches the rolling member without taking the rotational motion.
  • the first rotational and elevating motion section (two sections) has the elevating motion in the direction in which the inspection table approaches the rolling member, and has a rotational motion.
  • the second rotational and elevating motion section (three sections) has the elevating motion in the direction in which the inspection table is separated from the transmission member, and has a rotational motion.
  • the inspection table has only the lifting motion in the direction away from the transmission member without taking the rotational motion.
  • the motion pattern of the inspection table illustrated in FIG. 8 includes a first lifting motion section (one section) and a second lifting motion section (four sections).
  • connection or disconnection between the inspected object and the contact unit can be performed more stably.
  • the motion pattern (section I) of the inspection table includes a first lifting motion section (1 section), a first rotation and lifting motion section (2 sections), a rotation section (3 sections), and It includes two rotation and lifting motion sections (4 sections) and a second lifting motion section (5 sections).
  • the first lifting motion section (section 1) has only the lifting motion in the direction in which the inspection table approaches the rolling member without taking the rotational motion.
  • the first rotational and elevating motion section (2 sections) takes the elevating motion in the direction in which the inspection table approaches the rolling member, and has a rotational motion.
  • the rotation section (section 3) has only the rotational motion without the inspection table taking the lifting motion.
  • the second rotational and elevating motion section (four sections) has the elevating motion in the direction in which the inspection table is spaced apart from the transmission member, and has a rotational motion.
  • the inspection table has only the lifting motion in the direction away from the transmission member without taking the rotation motion.
  • connection or disconnection between the inspected object and the contact unit is made more quickly and stably.
  • FIG. 10 is a perspective view showing a rotating device according to an embodiment of the present invention
  • Figure 11 is a side view of such a rotating device.
  • the seating member 111 and the support frame 112 is provided with eight.
  • the angle ⁇ at which the rotary table 110 rotates is 45 ° while passing through one rotation and lifting motion section.
  • -90 ° means 90 ° reverse to the rotation direction of the inspection table.
  • the object to be tested In the loading position, the object to be tested is placed on the test table. In the unloading position, the tested object is collected from the inspection table.
  • Specific examples of the various working modes described above may include a process of cleaning or washing the seating member 111, and a process of correcting the position of the inspected object placed on the seating member 111.
  • a process of re-collecting the inspected object which has not been unloaded from the seating member 111, a process of cooling or heating the inspected object, a process of observing the condition of the inspected object, a process of processing or treating the inspected object, etc. can be.
  • FIG. 13 and 14 are schematic views showing the configuration of a transmission member according to an embodiment of the present invention by way of example.
  • a roller gear cam mechanism is shown in FIG. 13 and a Geneva gear mechanism is shown in FIG.
  • the illustrated transmission member 120 uses the coupling shaft 130 and the rod 113 as the input shaft and the output shaft, respectively.
  • the roller gear cam mechanisms 121 and 122 are interposed therebetween.
  • the driven roller gear cam 122 is provided with eight gear teeth. When the driving roller gear cam 121 rotates by one rotation, the driven roller gear cam 122 rotates by one eighth.
  • the length of the motion section and the pause time is determined according to the tooth design of the driving roller gear cam 121. Accordingly, the continuous movement of the driving unit 160 is converted to the intermittent movement of the test table 110.
  • the transmission member 120 is configured by using the coupling shaft 130 and the rod 113 as the input shaft and the output shaft, respectively, and providing a Geneva gear mechanism therebetween.
  • the rod 113 is rotated 1/4.
  • the rod 113 can be changed to rotate 1/8 by interposing the reduction gear therebetween.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Testing Of Balance (AREA)
  • Accommodation For Nursing Or Treatment Tables (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

본 발명은 회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치에 관한 것으로, 회전 중심으로부터 외측으로 연장된 지지 프레임과, 지지프레임의 끝단에서 피검사체를 안착시키는 안착부재를 포함하는 검사테이블과, 전기적 신호를 인가 받아 회전력을 생성하는 구동부와, 검사테이블의 회전 중심 하부에 연결되어, 구동부로부터 회전력을 도입 받아 검사테이블의 단속적인 회전 및 승강 모션으로 변환하는 전동부재를 포함한다.

Description

회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치
본 발명은 회전 및 병진 운동의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 복수 개의 검사 대상물을 받치는 검사테이블의 회전 및 병진(즉, 승강) 모션을 하나의 구동부에 의해 조절할 수 있는 회전장치에 관한 것이다.
엘이디(LED) 제품이나 반도체의 제조 과정 중에는 여러 가지 원인으로 불량품이 발생된다.
이러한 불량품은 제조 과정 중 즉시 제거되지 못하면 불필요한 후속 공정을 거치게 되므로, 결과적으로 재료비, 공정비 등의 손실을 초래하게 된다.
이와 같은 손실을 줄이기 위하여 엘이디 제품이나 반도체의 제조 공정 상에, 엘이디 칩이나 반도체 칩 등을 검사 대상물, 즉 피검사체로 하여 테스트를 실시하고, 그 테스트 결과에 따라 피검사체를 적절한 등급으로 분류하는 장치가 요구되었다.
이러한 장치의 일례로서, 패키지 공정을 거치기 전에 엘이디 칩의 광특성을 측정하고, 측정된 데이터에 기초하여 엘이디 칩을 등급에 따라 분류하는 엘이디 칩 테스트 장치가 등장하였다.
도 1은 종래의 엘이디 칩 테스트 장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 도시된 종래의 엘이디 칩 테스트 장치(1)는 검사테이블(10), 접촉유닛(20), 측정유닛(30)으로 이루어짐을 알 수 있다.
검사테이블(10)은 엘이디 칩과 같은 대상물(L)을 지지하는 안착부재(11)와, 이 안착부재(11)를 지지하며 회전축(A)을 중심으로 반경 방향으로 연장된 지지 프레임(12)을 포함한다. 지지프레임(12)의 하측에는 모터와 같은 구동부(13)가 연결되며, 지지프레임(12) 및 안착부재(11)는 복수개 마련된다.
구동부(13)의 구동에 의해 검사테이블(10)이 회전됨에 따라 피검사체가 놓여진 안착부재(11)가 순차적으로 테스트 위치에 놓이게 된다.
접촉유닛(20)은 예컨대 프로브 카드로 이루어지며, 프로브 핀과 같은 접촉핀(21)을 구비한다. 접촉핀(21)이 예컨대 안착부재(11) 상의 엘이디 칩에 접촉하여 엘이디 칩으로 전류를 공급하면, 엘이디 칩이 발광하여 테스트가 이루어진다. 접촉유닛(20)은 고정된 프레임(22)에 대해 상하 방향으로 이동 가능하게 연결된다.
측정유닛(30)은 예컨대 적분구와 같이 엘이디 칩으로부터 발광된 빛을 수광하여 광특성을 측정하는 장치이다. 측정유닛(30)에는 광검출기 또는 분광계측기와 같은 측정기(31)가 설치된다.
이러한 종래의 엘이디 칩 테스트 장치의 작동과정은 도 2를 통해 살펴볼 수 있다.
도 2에서 상측 그래프는 검사테이블의 회전 구동 타이밍을 나타낸 그래프이다. 이 그래프 상에서 x축은 시간축, y축은 각속도를 의미한다.
또한, 도 2에서 하측 그래프는 접촉유닛(20)의 구동 타이밍을 도시한 그래프이다. 이 그래프 상에서 x축은 시간축을, y축은 수직 방향 병진운동 속도를 나타낸다.
여기서, y 축의 양(+)의 방향, 즉 상측 방향은 접촉유닛(20)이 프레임(22)에 대해 상향으로 모션을 가지는 것을 나타내고, y축의 음(-)의 방향, 즉 하측 방향은 접촉유닛(20)이 프레임(22)에 대해 하향으로 모션을 가지는 것을 나타낸다.
도 2의 그래프를 통해 확인할 수 있는 바와 같이, 먼저, 측정유닛(30)이 상향 이동하여 테스트를 마친 피검사체(L)와 접속이 차단된다(Ⅰ구간).
다음으로, 검사테이블(10)이 회전 이동하여 테스트가 이루어질 대상물(L)이 측정유닛(30)의 하측에 위치하게 된다(II구간).
다음으로 측정유닛(30)이 하측으로 이동하여 테스트 될 대상물(L)과 접촉핀(21)의 접속이 이루어진다(III구간). 이때, 접촉핀(21)은 탄성을 가진 미세한 탐침 또는 외팔보 형태의 부재이기 때문에, 접촉핀(21)과 대상물(L)의 접촉으로 인해 진동이 발생할 수 있다.
따라서, 접촉핀(21)이 대상물(L)에 접촉한 이후에 소정의 안정화 시간이 요구된다(IV구간).
이후, 접촉핀(21)을 통해 대상물(L)에 전류를 가하고 그 특성을 측정하게 된다(V구간).
상기 IV, V구간에서는 검사테이블(10)이나 접촉유닛(20)의 회전/병진운동이 일어나지 않는다.
이처럼, 종래의 엘이디 칩 테스트 장치에서는 검사테이블과 접촉유닛의 운동구간이 순차적으로 진행되기 때문에 공정 시간을 줄이는 데에 한계가 있었다.
또한, 접촉핀과 대상물의 접촉 이후 안정화 시간이 필요하다는 점도 공정 시간을 줄이는 데에 장애로 작용하였다.
아울러, 종래의 엘이디 칩 테스트 장치에서는 검사테이블과 접촉유닛을 순차적으로 구동시키기 위한 각각의 제어동작이 요구되었으며, 해당 구성을 개별적으로 구동시키기 위해서는 서로 다른 구동부를 필요로 하였기에 비용 측면에서도 불리하였다.
본 발명의 목적은 엘이디 칩이나 반도체 칩 등의 피검사체를 측정하는 데 있어, 공정 시간을 단축시키는 동시에 부품 감축을 통한 비용 절감을 도모할 수 있는 회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치를 제공함에 있다.
본 발명의 사상에 따르면, 회전 중심으로부터 외측으로 연장된 지지 프레임과, 상기 지지프레임의 끝단에서 피검사체를 안착시키는 안착부재를 포함하는 검사테이블; 전기적 신호를 인가 받아 회전력을 생성하는 구동부; 및 상기 검사테이블의 회전 중심 하부에 연결되되, 상기 구동부로부터 회전력을 도입 받아 상기 검사테이블의 단속적인 회전 및 승강 모션으로 변환하는 전동부재;를 포함하는 회전장치를 제공한다.
상기 지지프레임과 상기 전동부재 사이에 연결 형성되며, 상기 전동부재의 모션에 연동하여 상기 지지프레임의 회전 및 승강 모션을 구현하는 로드(rod)를 포함할 수 있다.
이러한 로드는 축 방향을 따라 공기 흐름이 가능한 중공축 부재인 것이 바람직하다.
또한, 상기 지지 프레임은, 상기 검사테이블의 회전 중심으로부터 방사상으로 복수개가 분지 형성되는 것이 바람직하며, 일정 중심각만큼씩 상호 이격되어 동일 길이로 연장 형성될 수 있다.
그리고 상기 구동부와 상기 전동부재 사이에 연결 형성되어, 상기 구동부로부터 전달 받은 회전력의 크기 및 방향을 제어하여 상기 전동부재로 전달 하도록 구비되는 커플링부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 전동부재는, 롤러기어캠(roller gear cam) 기구 또는 제네바 기어(geneva gear) 기구 중 어느 하나를 이용할 수 있다.
그리고 상기 전동부재는, 상기 지지 프레임의 개수가 n개 일 때, 상기 검사테이블을 360°/n 만큼씩 회전시키고 설정된 시간만큼 포즈 타임을 갖도록 구동할 수 있다.
검사테이블은, 상기 전동부재의 구동에 따라, 상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동하는 모션, 회전 구동하는 모션 및 일정 시간 포즈(pause) 타임을 갖는 모션 중 어느 하나 이상의 모션 패턴을 가질 수 있다.
바람직한 실시예에 따라, 상기 검사테이블은, 상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제1 모션; 및 상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 상기 제1 모션과 동일 방향으로 회전 구동하는 제2 모션;을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 가질 수 있다.
또한, 상기 검사테이블은, 상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제1 모션; 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동만 하는 제2 모션; 및 상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동하는 제3 모션;을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 가질 수 있다.
또한, 상기 검사테이블은, 상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동만 하는 제1 모션; 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제2모션; 상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동하는 제3 모션; 및 상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동만 하는 제4 모션;을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 가질 수 있다.
또한, 상기 검사테이블은, 상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동만 하는 제1모션; 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제2모션; 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동만 하는 제3모션; 상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제4 모션; 및 상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동만 하는 제5 모션;을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 가질 수 있다.
바람직한 본 발명의 실시 형태로서, 상기 피검사체는 반도체 칩 또는 엘이디(LED) 칩이 이용될 수 있다.
본 발명에 따른 회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치에 따르면, 엘이디 칩이나 반도체 칩 등의 피검사체의 불량을 측정하는 데 있어서, 피검사체가 배치되는 검사테이블의 회전 및 승강 모션을 통합적으로 조절 가능한 단일의 구동부를 배치함에 따라, 공정 시간 단축은 물론, 비용 절감까지 도모할 수 있는 기술적 효과가 있다.
도 1은 종래의 엘이디 칩 테스트장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 2는 종래의 엘이디 칩 테스트장치의 모션 패턴을 개략적으로 나타낸 타이밍도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치가 구비된 엘이디 칩 테스트장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 전동부재의 작동을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치의 모션 패턴을 설명하기 위해 도시한 구동 타이밍도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치의 모션 패턴에 해당하는 제1 작동예를 설명하기 위해 도시한 구동 타이밍도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치의 모션 패턴에 해당하는 제2 작동예를 설명하기 위해 도시한 구동 타이밍도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치의 모션 패턴에 해당하는 제3 작동예를 설명하기 위해 도시한 구동 타이밍도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치의 모션 패턴에 해당하는 제4 작동예를 설명하기 위해 도시한 구동 타이밍도이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치를 나타낸 사시도이다.
도 11은 도 10에 의한 회전장치의 측면도이다.
도 12는 본 발명의 일실시예에 의한 검사테이블의 작업 모드를 나타낸 모식도이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일실시예에 의한 전동부재의 구성을 나타낸 모식도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치가 구비된 엘이디 칩 테스트 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도시된 바와 같이, 엘이디 칩 테스트장치는 회전장치(100), 접촉유닛(200), 및 측정유닛(300)을 포함하며, 회전장치(100)는 검사테이블(110), 전동부재(120), 및 구동부(130)를 포함한다.
검사테이블(110)은 피검사체(L)를 받쳐주는 안착부재(111), 회전축(A)을 중심으로 하여 외측으로 방사상으로 연장된 지지프레임(112)와, 검사테이블(110)의 하부 중심에 연결된 로드(rod)(113)를 포함한다.
안착부재(111)는 지지프레임(112)과 일체로, 또는 별개로 형성될 수 있다.
그리고 상기 안착부재(111)의 내측에는 공기 흡입 방식을 통해 놓여진 피검사체(L)의 이탈을 방지하기 위한 관통공(미도시)이 형성될 수 있다.
또한, 안착부재(111)의 재질 및 형상은 특별히 한정되지 않는다.
다만, 피검사체(L)가 수직형 엘이디 칩(vertical LED chip)인 경우, 수직형 엘이디 칩의 바닥으로 전류를 공급하여야 하므로, 상기 안착부재(111)의 재질이 전도성 있는 재질인 것이 바람직하다.
그리고 피검사체(L)가 수평형 엘이디 칩(lateral LED chip)인 경우, 광손실을 줄이기 위하여 상기 안착부재(111)의 재질은 반사율이 높은 재질로 이루어질 수 있다.
이러한 경우, 해당 엘이디 칩의 측정파장대역인 200nm ~ 1000nm에서 반사율이 일정하게 높은 재질이 이용되는 것이 좋다.
또한, 안착부재(111)에는 다수의 피검사체(L)가 계속적으로 안착 및 해제되므로, 내마모성이 좋고, 경도가 우수한 재질을 이용하는 것이 바람직하다.
지지프레임(112)은 캔틸레버(cantilever) 형태로 형성될 수 있으나, 이러한 형태에 굳이 제한될 필요는 없다.
그리고 지지프레임(112)은 복수개, 예컨대 4개, 혹은 8개일 수 있다. 그 외의 개수로 실시 변경되어도 무방하다.
다만, 지지프레임(112)이 복수개로 형성될 경우, 각각의 끝단부에 형성된 안착부재(111)는 동시에 서로 다른 작업 모드로 조절될 수 있다.
일 예로서, 어느 하나의 안착부재(111)가 피검사체(L)를 테스트 하는 위치에 머무를 때, 다른 하나의 안착부재(111)는 피검사체(L)를 테스트 하기 위해 로딩하는 위치에 머무를 수 있다. 그리고 또 다른 하나의 안착부재(111)는 테스트 완료된 피검사체(L)를 언로딩 하는 위치에 머무를 수 있다.
이러한 검사 공정 패턴 조절을 통해, 공정 속도가 빨라지며, 작업효율이 향상된다.
로드(113)는 지지프레임(112)의 하측에 마련된다. 그리고 로드(113)는 전동부재(120)의 작동에 연동되어 회전 및 승강 모션을 수행한다.
이러한 로드(113)는 중공축으로 형성될 수 있다.
이러한 중공축 형태의 로드(113)는 축 방향을 따라 내부로 공기 흐름이 가능한 구조를 가지며, 이로써, 안착부재(111)의 관통공(미도시)에 연결된 흡기관(미도시)은 상기 로드(113)의 중공을 통해 외부의 배기펌프까지 연통될 수 있다.
전동부재(120)는 구동부(160)와 검사테이블(110)를 연결하는 구성요소이다.
이러한 전동부재(120)의 작동 구조는 도 4를 통해 개략적으로 확인할 수 있다. 도시된 바와 같이, 전동부재(120)는 커플링축(130)을 통해 구동부(160)로부터 동력이 입력되고, 로드(113)를 통해 검사테이블(110)로 동력이 출력된다.
이를 위해, 전동부재(120)의 내부에는 기어, 캠, 롤러 등의 기계요소(machine element)들이 결합될 수 있다.
이로써, 구동부(160)의 회전력은 검사테이블(110)의 단속적인 회전 및 승강 모션으로 변환되어 구현될 수 있는 것이다.
여기서, 단속적인 회전 및 승강 모션이란 정해진 시간 구간 내에 사용자 설정에 따른 회전 또는 승강 모션이 단일 또는 중첩적으로 발생되고, 마찬가지로 사용자 설정에 따라 어떤 모션도 발생되지 않는 포즈 타임의 연속 흐름을 의미한다.
아울러, 여기서 회전 또는 승강 모션 구간과, 포즈 타임은 수 차례 반복적으로 진행될 수 있다.
한편, 지지프레임(112)의 개수가 n개이면, 전동부재(120)는 검사테이블(110)을 360°/n만큼 회전시킨 후 사용자가 설정해둔 시간만큼 포즈 타임을 가질 수 있다.
예컨대, 지지프레임(112)의 개수가 8개이면(도 10 및 도 12 참조), 1회의 프로세스로서 검사테이블(110)을 45°씩 회전시킨 후 포즈 타임을 둔다.
그리고 이러한 포즈 타임 내에서 피검사체(L)에 대한 측정, 로딩, 언로딩 등의 공정이 진행될 수 있다.
전동부재(120)는 커플링축(130)을 통해 커플링부재(140)와 연결된다.
그리고 커플링부재(140)는 구동축(150)을 통해 구동부(160)에 연결된다.
여기서, 구동부(160)는 동력 발생 수단으로서, 전동 모터 등이 이용될 수 있다.
커플링부재(140)는 구동부(160)와 전동부재(120) 사이에 개재 형성되어 구동부(160)를 통해 생성된 회전력를 전달하는 구성이다.
즉, 상기 커플링부재(140)는 상기 구동부(160)로부터 전달 받은 회전력의 크기 및/또는 방향을 제어하여 상기 전동부재(120)로 전달 하도록 구비되는 동력연결수단이다.
또한, 구동부(160)의 구동속도는 일정하게 유지될 수 있고, 외부의 제어에 따라 변화될 수도 있다.
예컨대, 검사테이블(110)의 모션 형태, 즉 회전 및 승강 모션에 따라 구동부(160)에 의한 회전속도를 빠르게 진행할 수 있다.
이와 달리, 검사테이블(110)이 포즈 상태에서는 상기 구동부(160)의 구동속도가 느려지도록 설정하는 것도 가능하다.
즉, 포즈 타임 내에 이루어지는 작업 공정의 종류에 따라 필요한 소요시간만큼 사용자는 포즈 타임을 임의대로 설정할 수 있다.
접촉유닛(200)은 검사테이블(110)에 안착된 피검사체(L)의 상측에 배치된다.
이러한 접촉유닛(200)은, 예컨대 프로브 카드로 이루어지며, 프로브 핀과 같은 접촉핀(210)을 구비한다.
만일, 피검사체(L)가 엘이디 칩일 경우, 접촉핀(210)이 엘이디 칩에 접촉하여 엘이디 칩 쪽으로 전류를 공급하면, 엘이디 칩은 발광되는 동시에 테스트가 수행된다.
그리고 이러한 접촉유닛(200)은 프레임(220)에 대해 상하 방향으로 고정되는 형태로 이루어질 수 있다.
종래의 엘이디 칩 테스트 장치에서는 도 1에서 살펴보았듯이 접촉유닛(200)이 상하로 구동되었으며, 이로 인해 접촉유닛(200)의 상하 운동을 위한 별도의 구동부가 필요하였다.
그러나 본 발명에서는 검사테이블(110)이 회전 모션은 물론 상하 방향으로 병진 모션을 수행하기 때문에 접촉유닛(200)의 개별적이 구동이 불필요하다. 이로써, 공정 시간이 단축되며, 추가 구성을 배제하여 비용 저감을 도모할 수 있다.
측정유닛(300)은 예컨대 적분구와 같이 엘이디 칩으로부터 발광된 빛을 수광하여 광특성을 측정하는 장치이다.
이러한 측정유닛(300)에는 광검출기 또는 분광계측기와 같은 측정기(310)가 설치될 수 있다.
도 5를 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사테이블의 모션 패턴에 대해 설명하기로 한다.
도 5의 x축은 시간축을, y축은 검사테이블의 회전 각속도를 나타낸다.
검사테이블은 회전 및 승강 모션을 가질 수 있으며, 여기서는 별도로 승강 모션에 대해서는 나타내지 않았다.
도 5에 따르면, 본 발명의 실시예에 따른 검사테이블은 회전 및 병진 모션(I구간)과, 포즈 타임(II구간)을 차례대로 가질 수 있다.
여기서, 회전 및 병진 모션(I구간)은, 검사테이블이 전동부재에 대하여 이격 하거나 접근하는 방향으로 승강됨과 동시에 회전축(A)을 중심으로 회전하는 동작을 의미한다. 그리고 포즈 타임(Ⅱ구간) 내에서는, 상기 검사테이블이 회전 및 승강 중 어떠한 모션도 취하지 않는다.
종래에는 검사테이블의 회전 모션과 접촉유닛의 승강 모션이 순차적으로 연속 진행되어야 했지만, 본 발명에서는 접촉유닛의 승강 조작이 불필요하다.
즉, 본 발명에 따르면, 검사테이블 자체가 회전 및 승강 모션을 동시에 통합적으로 수행할 수 있다. 이로 인하여, 종래와 같이 접촉유닛의 안정화 시간이 불필요하며, 이는 공정 시간의 단축에 기여한다.
다음으로, 도 6 내지 도 9를 참조하여 검사테이블의 다양한 모션 패턴에 대해 더욱 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 6 내지 도 9에서, 상측의 그래프는 검사테이블의 회전 모션을 나타내는 그래프이다.
여기서, x축은 시간축을, y축은 검사테이블의 회전 각속도를 나타낸다.
그리고 도 6 내지 도 9에서, 하측의 그래프는 검사테이블의 승강 모션을 나타내는 그래프이다.
여기서, x축은 시간축을, y축은 검사테이블의 승강 모션에 따른 속도를 나타낸다.
이때, y축 상에서 양(+)의 방향은 검사테이블이 전동부재에 대해 이격 되는 방향, 즉 상승하는 모션을 가짐을 의미한다. 그리고 y축의 음(-)의 방향은 검사테이블이 전동부재 쪽으로 접근하는 방향, 즉 하강하는 모션을 가짐을 의미한다.
도 6을 참조하면, 검사테이블의 모션 패턴(Ⅰ구간)은 제1 회전 및 승강 모션 구간(1 구간)과, 제2 회전 및 승강 모션 구간(2 구간)을 포함한다.
여기서, 제1 회전 및 승강 모션 구간(1 구간)은, 검사테이블이 전동부재에 접근하는 방향으로 승강 모션을 취하는 동시에 회전하는 구간을 의미한다.
그리고 제 2 회전 및 승강 모션 구간(2 구간)은, 검사테이블이 전동부재로부터 이격 되는 방향으로 승강 모션을 취하는 동시에 회전하는 구간을 의미한다.
1구간에서는 검사테이블이 하측으로 이동하므로, 피검사체(L), 예컨대 이전 단계에서 테스트가 완료될 엘이디 칩과 측정유닛의 접속이 해제된다. 그리고 검사테이블은 회전한다.
2구간에서는 검사테이블이 상측으로 이동하므로, 피검사체(L), 예컨대 테스트 완료된 엘이디 칩과 측정유닛의 접속이 체결된다.
이후, 포즈 타임(Ⅱ)을 가지며, 이때의 검사테이블은 회전 및 승강 중 어떠한 모션도 취하지 않는다. 따라서, 피검사체의 측정이 안정적으로 이루어질 수 있다.
한편, 여기서는 접촉유닛과 측정유닛이 검사테이블에 대해 상측에 위치하는 경우에 대해 도면을 참조하여 설명하였으나, 접촉유닛 및 측정유닛이 검사테이블에 대해 하측에 위치하는 것도 가능하다.
이 경우 1구간에서는 검사테이블이 전동부재로부터 이격 하는 방향으로 승강 모션을 취하게 되며, 2구간에서는 검사테이블이 전동부재에 접근하는 방향으로 승강 모션을 취하게 된다.
다음으로, 도 7을 참조하여 검사테이블의 다른 모션 패턴에 대해 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 7을 참조하면, 검사테이블의 모션 패턴(Ⅰ구간)은, 제1 회전 및 승강 모션 구간(1구간)과, 회전 구간(2구간), 제2 회전 및 승강 모션 구간(3구간)을 포함한다.
여기서, 상기 제1 회전 및 승강 모션 구간(1구간)은, 검사테이블이 전동부재에 접근하는 방향으로 승강 모션을 취하는 구간이다.
그리고, 상기 회전 구간(2구간)은, 검사테이블이 승강 모션은 취하지 않고서 회전 모션만 취하는 구간이다.
그리고, 상기 제2 회전 및 승강 모션 구간(3구간)은, 검사테이블이 전동부재로부터 이격 하는 방향으로 승강 모션을 취하는 동시에 검사테이블이 회전 모션을 취하는 구간이다.
도 7에 도시된 모션 패턴은 도 6에서 설명된 것과 달리, 회전 구간(2구간)을 추가적으로 마련함에 따라 1구간과 3구간에서 검사테이블의 승강 모션이 비교적 신속하게 이루어질 수 있다.
이로써, 피검사체와 접촉유닛 사이의 접속 체결 및 해제가 보다 신속하게 수행될 수 있다.
다음으로, 도 8을 참조하여 검사테이블의 또 다른 모션 패턴을 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 8을 참조하면, 검사테이블의 모션 패턴(Ⅰ구간)은, 제1 승강 모션 구간(1구간)과, 제1 회전 및 승강 모션 구간(2구간)과, 제2 회전 및 승강 모션 구간(3구간)과, 제2 승강 모션 구간(4구간)을 포함한다.
여기서, 제1 승강 모션 구간(1구간)은, 검사테이블이 회전 모션은 취하지 않고서 전동부재에 접근하는 방향으로 승강 모션만을 갖는다.
그리고, 제1 회전 및 승강 모션 구간(2구간)은, 검사테이블이 전동부재에 접근하는 방향으로 승강 모션을 취함과 동시에 회전 모션을 갖는다.
그리고, 제2 회전 및 승강 모션 구간(3구간)은, 검사테이블이 전동부재로부터 이격 하는 방향으로 승강 모션을 취하는 동시에 회전 모션을 갖는다.
그리고, 제2 승강 모션 구간(4구간)은, 검사테이블이 회전 모션은 취하지 않고서 전동부재로부터 이격 하는 방향으로 승강 모션만을 갖는다.
도 8에 도시된 검사테이블의 모션 패턴은 도 6 및 도 7에서 설명된 내용과 달리, 제1 승강 모션 구간(1구간) 및 제2 승강 모션 구간(4구간)이 추가적으로 마련된 것이다.
이로써, 회전 모션을 취하지 않는 상태에서 승강 모션만을 가짐에 따라, 피검사체와 접촉유닛 사이의 접속 또는 해제가 더욱 안정적으로 수행될 수 있다.
다음으로, 도 9를 참조하여 검사테이블의 또 다른 모션 패턴을 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 9를 참조하면, 검사테이블의 모션 패턴(Ⅰ구간)은, 제1 승강 모션 구간(1구간)과, 제1 회전 및 승강 모션 구간(2구간)과, 회전 구간(3구간)과, 제2 회전 및 승강 모션 구간(4구간)과, 제2 승강 모션 구간(5구간)을 포함한다.
여기서, 제1 승강 모션 구간(1구간)은, 검사테이블이 회전 모션은 취하지 않고서 전동부재에 접근하는 방향으로 승강 모션만을 갖는다.
그리고, 제 1 회전 및 승강 모션 구간(2구간)은, 검사테이블이 전동부재에 접근하는 방향으로 승강 모션을 취하는 동시에 회전 모션을 갖는다.
그리고, 회전 구간(3구간)은, 검사테이블이 승강 모션을 취하지 않고서 회전 모션만 갖는다.
그리고, 제2 회전 및 승강 모션 구간(4구간)은, 검사테이블이 전동부재로부터 이격 하는 방향으로 승강 모션을 취하는 동시에 회전 모션을 갖는다.
그리고, 제2 승강 모션 구간(5구간)은, 검사테이블이 회전 모션은 취하지 않고서 전동부재로부터 이격 하는 방향으로 승강 모션만을 갖는다.
이처럼 도 9에 도시된 검사테이블의 모션 패턴에 따르면, 피검사체와 접촉유닛 사이의 접속 또는 해제가 더욱 신속하고 안정적으로 이루어진다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 의한 회전장치를 나타낸 사시도이고, 도 11은 이러한 회전장치의 측면도이다.
도 10 내지 도 11을 병행 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 회전장치의 구성을 구체적으로 확인할 수 있다.
도시된 바와 같이, 안착부재(111) 및 지지프레임(112)는 8개가 마련된다.
이 경우, 도 12에 도시된 바와 같이 하나의 회전 및 승강 모션 구간을 거치면서 회전테이블(110)이 회전하는 각도(θ)는 45°가 된다.
하나의 안착부재(111)가 테스트 위치에 놓이게 되면, 테스트 위치에서 -90°위치에 있는 안착부재(111)는 로딩 위치에 놓이게 된다. 여기서, -90°는 검사테이블의 회전 방향에 대해 역방향 90°를 의미한다.
그리고 테스트 위치에서 90°위치에 있는 안착부재(111)는 언로딩 위치에 놓이게 된다.
로딩 위치에서는 테스트 될 피검사체가 검사테이블에 놓이게 된다. 그리고 언로딩 위치에서는 테스트를 마친 피검사체가 검사테이블로부터 수거된다.
그 외의 다른 위치, 예컨대 테스트 위치에서 45°, 135°, 180°, -45°, -135°위치에 놓인 안착부재(111)에서도 여러 가지 다양한 작업 모드가 실행될 수 있다.
상기의 다양한 작업 모드에 대한 구체적인 예로는, 안착부재(111)를 청소 또는 세척하는 공정, 안착부재(111) 상에 놓인 피검사체의 위치를 보정하는 공정이 해당될 수 있다.
또한, 안착부재(111)로부터 언로딩 되지 못한 피검사체를 재수거하는 공정, 피검사체를 냉각 또는 가열하는 공정, 피검사체의 상태를 관찰하는 공정, 피검사체를 가공하거나 처리하는 공정 등이 해당될 수 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 일실시예에 의한 전동부재의 구성을 예시적으로 도시한 모식도이다.
전동부재(120)에 구비된 기계요소의 일부로서, 도 13에는 롤러기어캠(roller gear cam) 기구가 도시되어 있으며, 도 14에는 제네바 기어(geneva gear) 기구가 도시되어 있다.
도 13을 먼저 살펴보면, 도시된 전동부재(120)는 커플링축(130)과 로드(113)를 각각 입력축 및 출력축으로 한다. 그리고 그 사이에 롤러기어캠 기구(121, 122)를 개재함으로써 구성된다.
종동 롤러기어캠(122)에는 8개의 기어치가 마련된다. 구동 롤러기어캠(121)이 1 회전하면 종동 롤러기어캠(122)이 1/8 회전하게 된다.
구동 롤러기어캠(121)의 치형 설계에 따라 모션 구간과 포즈 타임의 길이가 정해진다. 이에 따라 구동부(160)의 연속적인 운동이 검사테이블(110)의 단속적인 운동으로 전환된다.
다음으로 도 14를 참조하면, 전동부재(120)는 커플링축(130)과 로드(113)를 각각 입력축 및 출력축으로 하고, 그 사이에 제네바 기어 기구를 마련함으로써 구성된다.
도시된 바와 같이, 커플링축(130)이 1 회전 시 로드(113)는 1/4 회전한다. 그리고 그 사이에 감속기어를 개재함으로써 로드(113)가 1/8 회전하도록 변경할 수 있다.
이와 같은 롤러기어캠 기구나 제네바 기어 기구의 구성 및 설계방법은 주지된 기술 내용으로서, 이들에 관한 상세한 설명은 생략한다.
그리고 롤러기어캠 기구나 제네바 기어 기구에 감속기어, 가속기어, 캠 등을 추가함으로써, 입력축의 회전운동을 출력 측의 단속적인 회전 및 병진 모션으로 전환하는 방법도 주지된 기술 내용이므로 이에 관한 상세한 설명은 생략한다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예컨대, 일체형 또는 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분리되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분리된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 이해의 편의를 위하여 엘이디 칩의 광특성을 측정하는 것을 중점적으로 설명하였으나, 본 발명의 대상은 이에 한정되지 않는다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (15)

  1. 회전 중심으로부터 외측으로 연장된 지지 프레임과, 상기 지지프레임의 끝단에서 피검사체를 안착시키는 안착부재를 포함하는 검사테이블;
    전기적 신호를 인가 받아 회전력을 생성하는 구동부; 및
    상기 검사테이블의 회전 중심 하부에 연결되되, 상기 구동부로부터 회전력을 도입 받아 상기 검사테이블의 단속적인 회전 및 승강 모션으로 변환시키는 전동부재;를 포함하는 회전장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지프레임과 상기 전동부재 사이에 연결 형성되며, 상기 전동부재의 모션에 연동하여 상기 지지프레임의 회전 및 승강 모션을 구현하는 로드(rod)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 로드는 축 방향을 따라 공기 흐름이 가능한 중공(中空)축 부재인 것을 특징으로 하는 회전장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 프레임은,
    상기 검사테이블의 회전 중심으로부터 방사상으로 복수개가 분지 형성되는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 지지 프레임은,
    상기 검사테이블의 회전 중심으로부터 일정 중심각만큼 상호 이격되어 동일 길이로 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부와 상기 전동부재 사이에 연결 형성되어, 상기 구동부로부터 전달 받은 회전력의 크기 및 방향을 제어하여 상기 전동부재로 전달 하도록 구비되는 커플링부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 회전 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 전동부재는,
    상기 지지 프레임의 개수가 n개 일 때, 상기 검사테이블을 360°/n 만큼씩 회전시키고, 설정된 시간만큼 포즈 타임을 갖도록 구동하는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 전동부재는,
    롤러기어캠(roller gear cam) 기구인 것을 특징으로 하는 회전장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 전동부재는,
    제네바 기어(geneva gear) 기구인 것을 특징으로 하는 회전장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 검사테이블은,
    상기 전동부재의 구동 변환에 따라,
    상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동하는 모션, 회전 구동하는 모션 및 일정 시간 포즈(pause) 타임을 갖는 모션 중 어느 하나 이상의 모션 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 검사테이블은,
    상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제1 모션; 및
    상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 상기 제1 모션과 동일 방향으로 회전 구동하는 제2 모션;
    을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 검사테이블은,
    상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제1 모션;
    상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동만 하는 제2 모션; 및
    상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동하는 제3 모션;
    을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 검사테이블은,
    상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동만 하는 제1 모션;
    상기 제1 모션과 동일한 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제2 모션;
    상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동하는 제3 모션; 및
    상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동만 하는 제4 모션;
    을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 검사테이블은,
    상기 전동부재에 대하여 이격 또는 접근하는 방향으로 승강 구동만 하는 제1 모션;
    상기 제1 모션과 동일한 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제2 모션;
    상기 제1 모션과 동일한 방향으로 회전 구동만 하는 제3 모션;
    상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동하는 동시에 회전 구동하는 제4 모션; 및
    상기 제1 모션과 반대 방향으로 승강 구동만 하는 제5 모션;
    을 연속적으로 구현하는 모션 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 회전장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 피검사체는,
    반도체 칩 또는 엘이디(LED) 칩인 것을 특징으로 하는 회전장치.
PCT/KR2011/000559 2010-02-12 2011-01-27 회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치 WO2011099708A2 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201180009126XA CN102844667A (zh) 2010-02-12 2011-01-27 具备用于同时调节旋转及升降运动的单一驱动部的旋转装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2010-0013254 2010-02-12
KR1020100013254A KR101083273B1 (ko) 2010-02-12 2010-02-12 회전장치, 회전구동방법, 및 회전시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2011099708A2 true WO2011099708A2 (ko) 2011-08-18
WO2011099708A3 WO2011099708A3 (ko) 2011-10-27

Family

ID=44368250

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2011/000559 WO2011099708A2 (ko) 2010-02-12 2011-01-27 회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치

Country Status (4)

Country Link
KR (1) KR101083273B1 (ko)
CN (1) CN102844667A (ko)
TW (1) TWI405285B (ko)
WO (1) WO2011099708A2 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103454458A (zh) * 2013-09-10 2013-12-18 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 芯片角度翻转装置
CN108627762A (zh) * 2018-06-08 2018-10-09 深圳瑞波光电子有限公司 一种测试系统

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103630333A (zh) * 2013-11-27 2014-03-12 正屋(厦门)电子有限公司 一种快速检测led灯具的设备
CN105834584A (zh) * 2016-05-06 2016-08-10 南京航空航天大学 具有运动解耦机构的二自由度定位平台
TWI767556B (zh) * 2021-02-08 2022-06-11 鴻勁精密股份有限公司 載具機構及其應用之作業設備
CN114952332A (zh) * 2021-02-24 2022-08-30 鸿劲精密股份有限公司 载具机构及其应用的作业设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007019237A (ja) * 2005-07-07 2007-01-25 Tokyo Seimitsu Co Ltd 両面発光素子用プロービング装置
KR20080029444A (ko) * 2006-09-29 2008-04-03 미래산업 주식회사 전자부품 테스트용 핸들러
KR100935706B1 (ko) * 2009-06-29 2010-01-08 (주)큐엠씨 엘이디 칩 테스트장치 및 그 전달부재

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5640100A (en) 1994-10-22 1997-06-17 Tokyo Electron Limited Probe apparatus having probe card exchanging mechanism
CN2436606Y (zh) * 2000-08-04 2001-06-27 徐邱丽宝 具升降旋转功能的舞台
CN100410026C (zh) * 2006-10-17 2008-08-13 大连理工大学 一种净化机器人
CN101391376B (zh) * 2008-07-23 2010-06-02 云南昆船设计研究院 单驱动控制工作台旋转和升降的装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007019237A (ja) * 2005-07-07 2007-01-25 Tokyo Seimitsu Co Ltd 両面発光素子用プロービング装置
KR20080029444A (ko) * 2006-09-29 2008-04-03 미래산업 주식회사 전자부품 테스트용 핸들러
KR100935706B1 (ko) * 2009-06-29 2010-01-08 (주)큐엠씨 엘이디 칩 테스트장치 및 그 전달부재

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103454458A (zh) * 2013-09-10 2013-12-18 嘉兴景焱智能装备技术有限公司 芯片角度翻转装置
CN108627762A (zh) * 2018-06-08 2018-10-09 深圳瑞波光电子有限公司 一种测试系统
CN108627762B (zh) * 2018-06-08 2024-03-26 深圳瑞波光电子有限公司 一种测试系统

Also Published As

Publication number Publication date
TWI405285B (zh) 2013-08-11
TW201128722A (en) 2011-08-16
KR101083273B1 (ko) 2011-11-14
CN102844667A (zh) 2012-12-26
KR20110093301A (ko) 2011-08-18
WO2011099708A3 (ko) 2011-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011099708A2 (ko) 회전 및 승강 모션의 동시 조절을 위한 단일 구동부를 구비한 회전장치
WO2018038334A1 (ko) 틸팅 스테이지 시스템
WO2019017670A1 (en) APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING LED MODULE
WO2014148857A1 (ko) 기판과 기판 반송용 트레이 반송장치 및 반송방법
WO2017073845A1 (ko) 드레싱 장치 및 이를 포함하는 웨이퍼 연마 장치
WO2011025273A2 (ko) 카메라 교번 장치를 구비한 태양 전지의 듀얼 라인 생산 장치 및 그 생산 방법
WO2018146658A1 (ko) 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
WO2021071340A1 (ko) 가압모듈 및 그를 가지는 소자 핸들러
WO2016056748A1 (ko) 기판 처리용 히터장치 및 이를 구비한 기판 액처리 장치
WO2016171391A1 (ko) 진동하는 구조물의 마찰측정 장치
WO2019177337A1 (ko) 발광다이오드 칩을 전사하는 전사 장치 및 방법
WO2022107926A1 (ko) 수직형 연속 도금 설비를 위한 기판이송설비
WO2017138705A1 (ko) 기판 반송용 로봇
WO2020153742A1 (ko) 검사 장치용 이송 기구, 검사 장치, 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법
WO2018216949A1 (ko) 접착필름을 이용한 글라스 접착 잔류물질 제거장치 및 이를 이용한 글라스 접착 잔류물질 제거방법
WO2018143581A1 (ko) 면취 장치 및 면취 방법
WO2017217771A1 (ko) 무선이동모듈, 그가 설치된 소자핸들러
WO2017018592A1 (ko) 하이브리드 얼라인먼트
WO2017052090A1 (ko) 소자핸들러
WO2017150812A1 (ko) 이동형 가공기 이송기구
WO2017122990A1 (ko) 기판 반송용 로봇
WO2020184859A1 (ko) 반도체 칩을 전사하는 전사 장치 및 방법
WO2013042906A2 (ko) Fpc에 부재플레이트를 부착하기 위한 부재플레이트 부착장치 및 이에 이용되는 부재플레이트 분리 유닛과 프레스 유닛
WO2024043403A1 (ko) 반도체 웨이퍼 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법
WO2023008637A1 (ko) 원형 배터리 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201180009126.X

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11742400

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11742400

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2