CN102844667A - 具备用于同时调节旋转及升降运动的单一驱动部的旋转装置 - Google Patents

Abstract

本发明关于一种具备用于同时调节旋转及升降运动的单一驱动部的旋转装置，包括：检查台，其包含自旋转中心向外侧延伸的支撑框架，以及位于支撑框架的末端用于安放被检查体的安放部件；驱动部，其接收电信号而产生旋转力；以及传动部件，其连接至检查台的旋转中心的下部，并自驱动部接收旋转力而转换成检查台的断续性的旋转及升降运动。

Description

具备用于同时调节旋转及升降运动的单一驱动部的旋转装置

技术领域

本发明涉及一种具备用于同时调节旋转及并进运动的单一驱动部的旋转装置，特别涉及能够通过一个驱动部调节支撑多个检查对象物的检查台的旋转及并进（即，升降）运动的旋转装置。

背景技术

由于种种原因，在发光二极管（LED）产品或半导体的制造过程中产生不良产品。

如果在制造过程中无法立即去除这些不良产品，其需要经过不必要的后续工序，最终导致材料费、工序费用等的损失。

为了减少此种损失，需要一种装置，该装置在发光二极管产品或半导体的制造工序上，将发光二极管芯片或半导体芯片等作为检查对象物、即被检查体而实施测试，并根据其测试结果按适当的等级分类被检查体。

作为此种装置的一例，推出了发光二极管芯片测试装置，其在封装工序之前测量发光二极管芯片的光特性，并基于测量数据按等级分类发光二极管芯片。

图1为现有技术的发光二极管芯片测试装置的概略图。参阅图1，可以得知，图示的现有技术的发光二极管芯片测试装置1由检查台10、接触单元20以及测量单元30构成。

检查台10包含：安放部件11，用以支撑如发光二极管芯片的对象物L；以及支撑框架12，用以支撑安放部件11，并以旋转轴A为中心向半径方向延伸。在支撑框架12的下侧连接电机等的驱动部13，同时，具备多个支撑框架12及安放部件11。

随着检查台10通过驱动部13的驱动而旋转，放置有被检查体的安放部件11按顺序放置于测试位置。

接触单元20例如由探针卡构成，并具备如探针销的接触销21。如果接触销21例如与安放部件11上的发光二极管芯片接触而向发光二极管芯片供电，则发光二极管芯片发光而实施测试。接触单元20在上下方向可移动地连接于被固定的框架22。

测量单元30为如同积分球接收自发光二极管芯片发射的光线而测量光特性的装置。测量单元30中设置如光检测器或分光仪的测量器31。

可以通过图2获知此种现有的发光二极管芯片测试装置的动作过程。

在图2中，上侧图表为表示检查台的旋转驱动时序的图表。在该图表上x轴表示时间轴，y轴表示角速度。

并且，在图2中，下侧图表为表示接触单元20的驱动时序的图表。在该图表上x轴表示时间轴，y轴表示垂直方向并进运动速度。

在此，y轴的正（+）方向，即上侧方向表示接触单元20相对于框架22具有上行运动，y轴的负（-）方向，即下侧方向表示接触单元20相对于框架22具有下行运动。

通过图2的图表可知，首先，测量单元30上行移动而断开与经过测试的被检查体L的连接（Ⅰ区间）。

然后，检查台10旋转移动而使待测试的对象物L位于测量单元30的下侧（II区间）。

其后，测量单元30向下侧移动而使待测试的对象物L与接触销21相连接（III区间）。此时，由于接触销21为具有弹性的细微探针或者悬臂形态的部件，因此有可能因接触销21与对象物L的接触而发生振动。

因此，在接触销21接触到对象物L之后，需要规定的稳定化时间（IV区间）。

之后，通过接触销21向对象物L施加电流而测量其特性（V区间）。

上述IV、V区间中不发生检查台10或接触单元20的旋转/并进运动。

如此，在现有的发光二极管芯片测试装置中检查台与接触单元的运动区间按顺序进行，因此无法大幅缩减工序时间。

并且，接触销与对象物接触之后需要稳定化时间，这也成为缩减工序时间的障碍。

并且，现有技术的发光二极管芯片测试装置中需要按顺序驱动检查台与接触单元所需的各个控制动作，为了分别驱动相关构成还需要不同的驱动部，因此导致成本增加。

发明内容

因此，鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种旋转装置，其具备同时调节旋转及升降运动的单一驱动部，从而在测量发光二极管芯片或半导体芯片等被检查体时，能够缩短工序时间的同时减少配件而节约费用。

根据本发明的思想，提供一种旋转装置，其包括：检查台，其包括自旋转中心向外侧延伸的支撑框架，以及位于支撑框架的末端用于安放被检查体的安放部件；驱动部，其接收电信号而产生旋转力；以及传动部件，其连接至上述检查台的旋转中心的下部，自驱动部接收旋转力并转换成检查台的断续性的旋转及升降运动。

还可以包含杆，其连接形成于上述支撑框架与上述传动部件之间，并与上述传动部件的运动联动而实现上述支撑框架的旋转及升降运动。

优选地，该杆为空气能够沿轴方向流动的空心轴部件。

并且，优选为，上述支撑框架自检查台的旋转中心以辐射状分枝形成多个，相互隔着一定的中心角并以相同长度延伸形成。

另外，优选进一步包含耦合部件，其连接形成于上述驱动部与上述传动部件之间，控制自上述驱动部接收的旋转力的大小及方向并传递至上述传动部件。

在此，上述传动部件可以利用滚子齿式凸轮（roller gear cam）机构或者槽轮（geneva gear）机构中的任意一个。

另外，在支撑框架的个数为n时，上述传动部件使检查台每次旋转360°/n并具有相当于设定时间长度的暂停时间（pause time）。

根据传动部件的驱动，检查台可以具有向远离或者接近传动部件的方向进行升降驱动的运动、进行旋转驱动的运动及具有一定时间长度的暂停时间的运动中的任意一个以上的运动模式。

根据优选实施例，上述检查台能够具有连续地实现如下运动的运动模式，即，向远离或者接近传动部件的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第一运动；以及以与上述第一运动的相反方向进行升降驱动的同时，以与第一运动相同的方向进行旋转驱动的第二运动。

并且，检查台能够具有连续地实现如下运动的运动模式，即，在远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第一运动；只在与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第二运动；以及以与第一运动相反的方向进行升降驱动的同时，以与第一运动相同的方向进行旋转驱动的第三运动。

并且，检查台能够具有连续地实现如下运动的运动模式，即，仅在远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的第一运动；以与上述第一运动相同的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第二运动；以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的同时，以与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第三运动；以及仅以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的第四运动。

并且，上述检查台能够具有连续地实现如下运动的运动模式，即，只在远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的第一运动；以与上述第一运动相同的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第二运动；仅以与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第三运动；以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第四运动；以及仅以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的第五运动。

作为本发明的优选实施方式，被检查体可以利用半导体芯片或者发光二极管（LED）芯片。

根据本发明的具备用于同时调节旋转及升降运动的单一驱动部的旋转装置，在测量发光二极管芯片或半导体芯片等的被检查体的不良时，配置单一的驱动部，其能够同时调节配置被检查体的检查台的旋转及升降运动，从而具有能够缩短工序时间的同时节约费用的技术效果。

附图说明

图1为现有技术的发光二极管芯片测试装置的概略图。

图2为现有技术的发光二极管芯片测试装置的运动模式的时序图。

图3为概括地表示具备本发明一实施例的旋转装置的发光二极管芯片测试装置的侧视图。

图4为概括地表示本发明一实施例的传动部件的动作的立体图。

图5为说明本发明一实施例的旋转装置的运动模式的驱动时序图。

图6为本发明一实施例的旋转装置的运动模式的第一动作实施例的驱动时序图。

图7为本发明一实施例的旋转装置的运动模式的第二动作实施例的驱动时序图。

图8为本发明一实施例的旋转装置的运动模式的第三动作实施例的驱动时序图。

图9为本发明一实施例的旋转装置的运动模式的第四动作实施例的驱动时序图。

图10为本发明一实施例的旋转装置的立体图。

图11为图10的旋转装置的侧视图。

图12为本发明一实施例的检查台的动作模式的模式图。

图13及图14为本发明一实施例的传动部件的构成的模式图。

具体实施方式

通过参阅附图及稍后描述的详细实施例，可以明确本发明的优点、特征，及其实现的方法。

以下，参照附图详细说明本发明的实施例。

图3为概括地表示具备本发明一实施例的旋转装置的发光二极管芯片测试装置的侧视图。

如图所示，发光二极管芯片测试装置包括旋转装置100、接触单元200及测量单元300，旋转装置100包括检查台110、传动部件120以及驱动部160。

检查台110包括：安放部件111，用以支撑被检查体L；支撑框架112，其以旋转轴A为中心以辐射状向外侧延伸；杆（rod）113，连接于检查台110的下部中心。

安放部件111可与支撑框架112形成为一体或者单独形成。

另外，上述安放部件111的内侧形成有通过空气吸入方式而防止被检查体L脱离的贯通孔（未图示）。

另外，对安放部件111的材质及形状不进行特别的限定。

只是，当被检查体L为垂直型发光二极管芯片（Vertical LED chip）时，由于需要向垂直型发光二极管芯片底部供给电流，因此上述安放部件111的材质优选为具有导电性的材质。

另外，当被检查体L为水平型发光二极管芯片（Lateral LED chip）时，为了减少光损失，上述安放部件111的材质可以由反射率高的材质构成。

此时，优选使用在发光二极管芯片的测量波段的200nm~1000nm中反射率较高的材质。

并且，在安放部件111上经常安放及解除多个被检查体L，因此，最好利用耐磨性好，硬度高的材质。

支撑框架112可以由悬臂（cantilever）形态形成，但并非局限于此种形态。

另外，支撑框架112为多个，例如4个或8个，也可以上述个数外的个数实施。

但是，支撑框架112形成为多个时，在各末端部上形成的安放部件111可以同时调节成相互不同的动作模式。

作为一实施例，当任意一个安放部件111处于测试被检查体L的位置时，另一个安放部件111可处于为测试而装载被检查体L的位置。并且另一个安放部件111可处于卸载完成测试的被检查体L的位置。

通过这些检查工序模式的调节，可以加快工序速度，提高作业效率。

杆113处于支撑框架112的下侧。并且杆113与传动部件120的动作联动而进行旋转及升降运动。

杆113可形成为空心轴。

空心轴形态的杆113具有空气能够沿轴方向在内部流动的结构，由此，连接安放部件111的贯通孔（未图示）的吸气管（未图示）能够通过上述杆113的中空部分连通至外部的排气泵。

传动部件120为连接驱动部160及检查台110的构成组件。

通过图4能够大致确认该传动部件120的工作结构。如图所示，传动部件120通过耦合轴130而从驱动部160输入动力，并通过杆113向检查台110输出动力。

为此，传动部件120的内部可以结合有齿轮、凸轮、滚轮等机械组件。

由此，驱动部160的旋转力转换成检查台110的断续性的旋转及升降运动。

这里，断续性的旋转及升降运动是指，根据用户设定而进行的、在规定的时间段内单一或者重迭地发生的旋转或者升降运动，同样意味着根据用户设定而进行的不发生任何运动的暂停时间的连续。

同时，在旋转或者升降运动区间与暂停时间可以多次反复地进行。

另外，如果支撑框架112的个数为n，则传动部件120将检查台110旋转360°/n后，获得相当于用户设定时间的暂停时间。

例如，如果支撑框架112的个数为8个（参考图10及图12），作为一次处理，将检查台110旋转45°后设置暂停时间。

还有，在此暂停时间内进行对被检查体L的测量、装载、卸载等工序。

传动部件120通过耦合轴130而与耦合部件140相连接。

另外耦合部件140通过驱动轴150连接至驱动部160。

在此，驱动部160作为动力发生装置，可采用电机等。

耦合部件140形成于驱动部160与传动部件120之间，通过驱动部160传输生成的旋转力。

即，耦合部件140是为了控制自驱动部160传递的旋转力的大小及/或者方向，并传递至传动部件120而具备的动力连接装置。

并且，驱动部160的驱动速度可以维持恒定，也可以根据外部的控制而变化。

例如，根据检查台110的运动形态，即旋转及升降运动而使得根据驱动部160的旋转速度加快。

与此不同，可以设定为，在检查台110的暂停状态下，使驱动部160的驱动速度变慢。

即，用户根据在暂停时间内实现的动作工序的种类，可任意设定相当于必要时间的暂停时间。

接触单元200位于安放在检查台110的被检查体L的上侧。

接触单元200，例如由探针卡构成，并具备如探针销等的接触销210。

当被检查体L为发光二极管芯片时，接触销210接触到发光二极管芯片而向发光二极管芯片供应电流，则发光二极管芯片在发光的同时接受测试。

并且，接触单元200可构成在上下方向上固定于框架220的形态。

如图1所示，现有技术的发光二极管芯片测试装置中，接触单元200上下驱动，因此接触单元200需要实现上下运动的单独的驱动部。

但是在本发明中，检查台110除旋转运动以外，还在上下方向进行并进运动，因此不需要接触单元200的单独驱动。由此，缩短工序时间，并排除追加构成而实现费用的节约。

测量单元300为如积分球的接收自发光二极管芯片发光的光线，从而测量光特性的装置。

在测量单元300可以设置例如光检测器或者分光仪等测量器310。

参照图5对根据本发明的优选实施例的检查台的运动模式进行说明。

图5的x轴表示时间轴、y轴表示检查台的旋转角速度。

检查台可进行旋转及升降运动，在此没有单独表示升降运动。

根据图5，根据本发明的实施例的检查台可依次具备旋转及并进运动（I区间），以及暂停时间（II区间）。

在此，旋转及并进运动（I区间）意味着，检查台朝向远离或接近传动部件的方向升降的同时，以旋转轴A为中心进行旋转的动作。并且在暂停时间（Ⅱ区间）内，上述检查台不进行旋转及升降中的任何运动。

现有技术中，检查台的旋转运动与接触单元的升降运动需要按顺序连续进行，但在本发明中不需要接触单元的升降操作。

即，根据本发明，检查台本身可以同时进行旋转及升降运动。因此，不需要如现有技术的接触单元的稳定化时间，这样有助于缩短工序时间。

以下，将参照图6至图9，进一步详细说明检查台的多种运动模式。

在图6至图9中，上侧的图表为表示检查台的旋转运动的图表。

在此，x轴表示时间轴，y轴表示检查台的旋转角速度。

另外，在图6至图9中，下侧的图表为表示检查台的升降运动的图表。

在此，x轴表示时间轴，y轴表示检查台的升降运动的速度。

此时，在y轴上正（+）方向表示检查台进行远离传动部件的方向的运动，即进行上升的运动。而且，y轴的负（-）方向表示检查台进行接近传动部件一侧的方向的运动，即进行下降的运动。

参照图6，检查台的运动模式（Ⅰ区间）包括第一旋转及升降运动区间（第1区间），以及第二旋转及升降运动区间（第2区间）。

在此，第一旋转及升降运动区间（第1区间）意味着，检查台朝向接近传动部件的方向进行升降运动的同时旋转的区间。

另外，第二旋转及升降运动区间（第2区间）意味着，检查台朝向自传动部件远离的方向进行升降运动的同时旋转的区间。

在第1区间，检查台向下侧移动，解除被检查体L例如在前步骤完成测试的发光二极管芯片与测量单元之间的连接。之后检查台进行旋转。

在第2区间，检查台向上侧移动，被检查体L例如完成测试的发光二极管芯片与测量单元进行连接。

其后，具备暂停时间（Ⅱ），此时的检查台不进行旋转及升降中的任何运动。因此，能够稳定地进行被检查体的测量。

另外，在此结合附图说明了接触单元及测量单元位于检查台的上侧的情况，接触单元及测量单元还可位于检查台的下侧。

此时，在1区间，检查台朝向自传动部件远离的方向进行升降运动，在2区间，检查台朝向接近传动部件的方向进行升降运动。

以下，将参照图7具体说明检查台的其它运动模式。

参照图7，检查台的运动模式（Ⅰ区间）包括︰第一旋转及升降运动区间（第1区间）、旋转区间（第2区间）、第二旋转及升降运动区间（第3区间）。

在此，上述第一旋转及升降运动区间（第1区间）为，检查台朝向接近传动部件的方向进行升降运动的区间。

另外，旋转区间（第2区间）为，检查台不进行升降运动而仅进行旋转运动的区间。

此外，上述第二旋转及升降运动区间（第3区间）为，检查台朝向自传动部件远离的方向进行升降运动的同时，检查台进行旋转运动的区间。

图7所示的运动模式与图6中的不相同，通过追加旋转区间（第2区间），能够在第1区间与第3区间迅速地实现检查台的升降运动。

由此，能够更加迅速的进行被检查体与接触单元之间的连接及解除。

以下，将参阅图8，具体说明检查台的另一运动模式。

参照图8，检查台的运动模式（Ⅰ区间）包括︰第一升降运动区间（第1区间）、第一旋转及升降运动区间（第2区间）、第二旋转及升降运动区间（第3区间）、以及第二升降运动区间（第4区间）。

在此，在第一升降运动区间（第1区间），检查台不进行旋转运动而是仅向接近传动部件的方向进行升降运动。

另外，在第一旋转及升降运动区间（第2区间），检查台朝向接近传动部件的方向进行升降运动的同时进行旋转运动。

此外，在第二旋转及升降运动区间（第3区间），检查台朝向从传动部件远离的方向进行升降运动的同时进行旋转运动。

另外，在第二升降运动区间（第4区间），检查台不进行旋转运动而仅在朝向从传动部件远离的方向进行升降运动。

图8中所示的检查台的运动模式与图6及图7中说明的内容不同，追加具备第一升降运动区间（第1区间）及第二升降运动区间（第4区间）。

由此，在不进行旋转运动的状态下仅进行升降运动，从而能够更加稳定的进行被检查体与接触单元之间的连接或者解除。

以下，参照图9详细说明检查台的另一运动模式。

参照图9，检查台的运动模式（Ⅰ区间）包括：第一升降运动区间（第1区间）、第一旋转及升降运动区间（第2区间）、旋转区间（第3区间）、第二旋转及升降运动区间（第4区间）、以及第二升降运动区间（第5区间）。

在此，在第一升降运动区间（第1区间），检查台不进行旋转运动而是朝向接近传动部件的方向进行升降运动。

另外，在第一旋转及升降运动区间（第2区间），检查台朝向接近传动部件的方向进行升降运动的同时进行旋转运动。

此外，在旋转区间（第3区间），检查台不进行升降运动而是仅进行旋转运动。

另外，在第二旋转及升降运动区间（第4区间），检查台朝向远离传动部件的方向进行升降运动的同时进行旋转运动。

此外，在第二升降运动区间（第5区间），检查台不进行旋转运动而仅在朝向远离传动部件的方向进行升降运动。

这样，根据图9所示的检查台的运动模式，能够更迅速且稳定的实现被检查体与接触单元之间的连接或者解除。

图10为表示本发明一实施例的旋转装置的立体图。图11为图10的旋转装置的侧视图。

参照图10至图11，能够具体确认本发明一实施例的旋转装置的构成。

如图所示，具备8个安放部件111及支撑框架112。

此时，如图12所示，经过一个旋转及升降运动区间时旋转台110旋转的角度θ为45°。

如果一个安放部件111位于测试位置，则自测试位置处于-90°位置的安放部件111将位于装载位置。在此，-90°意味着相对于检查台的旋转方向为逆向90°。

另外，在相对于测试位置位于90°位置的安放部件111将位于卸载位置。

在装载位置，待测试的被检查体放置于检查台。并且在卸载位置，拾取完成测试的被检查体。

此外，在其它位置，例如相对于测试位置位于45°、135°、180°、-45°、-135°位置的安放部件111上也可进行多种动作模式。

上述多种动作模式的具体实施例包括，清扫或者清洗安放部件111的工序；对放置于安放部件111上的被检查体的位置进行修正的工序。

并且，还可以包括，再次拾取未能自安放部件111卸载的被检查体的工序、冷却或者加热被检查体的工序、观察被检查体的状态的工序、加工或者处理被检查体的工序等。

图13及图14为表示本发明一实施例的传动部件的构成的模式图。

作为传动部件120中具备的机械组件的一部份，图13的中图示有滚子齿式凸轮（roller gear cam）机构，图14中图示有槽轮（geneva gear）机构。

首先，如图13，图示的传动部件120将耦合轴130及杆113分别作为输入轴及输出轴。另外，在其中间设置滚子齿式凸轮机构121、122。

纵动滚子齿式凸轮122具备8个齿轮齿。如果主动滚子齿式凸轮121旋转1圈，则纵动滚子齿式凸轮122旋转1/8圈。

运动区间及暂停时间的长度根据主动滚子齿式凸轮121的齿形设计而决定。由此驱动部160的连续性运动变成检查台110的断续性运动。

以下请参阅图14，传动部件120将耦合轴130及杆113分别作为输入轴及输出轴，并在中间具备槽轮机构。

如图所示，耦合轴130旋转1圈时，杆113旋转1/4圈。并且，可通过在中间安装减速齿轮而使得杆113旋转1/8圈。

上述滚子齿式凸轮机构或槽轮机构的构成及设计方法为公知的技术内容，因此省略详细说明。

另外，在滚子齿式凸轮机构或槽轮机构追加减速齿轮、加速齿轮、凸轮等，从而将输入轴的旋转运动改变成输出侧的断续性的旋转及并进运动的方法也为公知的技术内容，因此省略详细说明。

上述对本发明的说明用于举例说明，本发明所属领域的技术人员应当理解，可以在不改变本发明的技术思想或必要特征的情况下，容易改变成其它具体方式。

因此应当理解，上述实施例在所有方面为示例性的，并非限制于此。例如，说明为形成一体或者单一形态的各构成要素可分离而实施，同样地，说明为分离的各构成要素也可以相结合的形态实施。

并且，在发明的实施例中，为了理解方便重点说明测量发光二极管芯片的光特性，但本发明的对象不限于此。

本发明的范围通过权利要求范围表示，自权利要求范围的含义及范围及其等同概念推导出的所有变更或者变形的形态均应当包含于本发明。

Claims (15)

1.一种旋转装置，包括：

检查台，包括自旋转中心向外侧延伸的支撑框架，以及位于上述支撑框架的末端用于安放被检查体的安放部件；

驱动部，接收电信号而产生旋转力；以及

传动部件，连接至上述检查台的旋转中心的下部，从上述驱动部接收旋转力并转换成上述检查台的断续性的旋转及升降运动。

2.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，包括杆，该杆连接形成于上述支撑框架与上述传动部件之间，并与上述传动部件的运动联动而实现上述支撑框架的旋转及升降运动。

3.如权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，上述杆为空气能够沿轴方向流动的空心轴部件。

4.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，自上述检查台的旋转中心以辐射状分枝形成有多个上述支撑框架。

5.如权利要求4所述的旋转装置，其特征在于，上述支撑框架自上述检查台的旋转中心相互隔着一定中心角并以相同的长度延伸形成。

6.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，进一步包括耦合部件，其连接形成于上述驱动部与上述传动部件之间，控制自上述驱动部接收的旋转力的大小及方向并传递至上述传动部件。

7.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，当上述支撑框架的个数为n时，上述传动部件使上述检查台每次旋转360°/n后具有相当于预设时间长度的暂停时间。

8.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，上述传动部件为滚子齿式凸轮机构。

9.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，上述传动部件为槽轮机构。

10.如权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，上述检查台根据上述传动部件的驱动转换，具有向远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的运动、进行旋转驱动的运动以及具有规定时间长度的暂停时间的运动中的任意一个以上的运动模式。

11.如权利要求10所述的旋转装置，其特征在于，上述检查台具有连续地实现如下运动的运动模式，即，向远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第一运动；以及以与上述第一运动的相反方向进行升降驱动的同时，以与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第二运动。

12.如权利要求10所述的旋转装置，其特征在于，上述检查台具有连续地实现如下运动的运动模式，即，向远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第一运动；仅以与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第二运动；以及以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的同时，以与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第三运动。

13.如权利要求10所述的旋转装置，其特征在于，上述检查台具有连续地实现如下运动的运动模式，即，仅向远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的第一运动；以与上述第一运动相同的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第二运动；以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的同时，以与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第三运动；以及仅以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的第四运动。

14.如权利要求10所述的旋转装置，其特征在于，上述检查台具有连续地实现如下运动的运动模式，即，仅向远离或者接近上述传动部件的方向进行升降驱动的第一运动；以与上述第一运动相同的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第二运动；仅以与上述第一运动相同的方向进行旋转驱动的第三运动；以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的同时进行旋转驱动的第四运动；以及仅以与上述第一运动相反的方向进行升降驱动的第五运动。

15.如权利要求1所述的旋转装置，上述被检查体为半导体芯片或者发光二极管芯片。

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