TWI353892B - Coating apparatus and method - Google Patents

Description

1353892 (1) 九 '發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種在玻璃基板等的被處理基板的表面 上，排出用來形成被膜等的塗敷液的塗敷裝置及塗敷方法 【先前技術】 • 例如，使用狹縫噴嘴，對被處理基板的表面形成均勻 厚度的被膜時，必須在一定時間的期間，將一定量的塗敷 液供給到被處理基板的表面。 在專利文獻1中，揭示有測定所塗敷的塗敷液的流量 或重量，將該測定値利用在下一次塗敷液的塗敷條件的修 正之技術。特別是在專利文獻1揭示有使用注射泵浦的塗 敷裝置。 依據第2圖，說明使用上述注射泵浦之塗敷裝置的槪 # 略。在第2圖中，101爲塗敷液體的儲留槽，102爲狹縫 噴嘴，〗〇3爲注射泵浦，在儲留槽101的途中與狹縫噴嘴 102的正前方設置有開關閥104、105。此外，在儲留槽 101與開關閥104之間，設置有空氣抽出槽106及脫氣模 組107。此等空氣抽出槽106及脫氣模組107雖未揭示於 專利文獻1，但因爲在一般的塗敷裝置中附設此等構件而 表示之。 在上述塗敷裝置中，以組合比開關閥1 04下游側、比 開關閥1 05上游側的配管內空間與注射泵浦1 03內空間的 -5- (2) 1353892 空間，做爲塗敷液儲留空間。然後，在進行塗敷時，首先 ，以打開開關閥104，關閉開關閥105的狀態，將儲留槽 101內的塗敷液壓送到前述塗敷液儲留空間內，再關閉開 關閥1 04。然後，以關閉開關閥1 〇4的狀態，打開開關閥 105，同時驅動注射泵浦103，藉著縮小塗敷液儲留空間的 體積，從狹縫噴嘴102排出塗敷液。 [專利文獻1]日本特開2001 - 1 2 1 062號公報 第3圖 • 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 驅動定量泵浦，結束第一次的塗敷之後，到進行下一 次的塗敷之間，前述塗敷液儲留空間內的塗敷液壓爲負壓 時，從外部捲入空氣。因此，在塗敷液體儲留空間內的塗 敷液壓具有剩餘壓力（正壓）。然而，該剩餘壓力在連續 進行塗敷時，在每一次塗敷不相同，結果，在每一次塗敷 ® 無法排出一定量的塗敷液。 爲了解決上述不良狀況，在塗敷之前，一但將開關閥 104打開，可經由空氣抽出槽106及脫氣模組107，開放 塗敷液留空間內的剩下壓力。然而，此時，產生一般的塗 敷液體的流動與反方向的流動，使脫氣模組或過濾器的負 擔變大，有促使微粒或異物產生之慮，又，在空氣抽出槽 中’反覆加壓與大氣開放，將導致增加氣體溶解到塗敷液 中。 -6- ⑧ (3) 1353892 [用以解決課題之手段] 爲了解決上述課題，本發明係設爲：經由空氣 將塗敷液儲留槽內的塗敷液饋送到塗敷液儲留空間 浦減少塗敷液儲留空間的體積，從設置在塗敷液儲 的下游側的噴嘴排出塗敷液的塗敷裝置，其特徵爲 述空氣抽出部與泵浦之間的配管以及在前述泵浦與 間的配管分別設置有開關閥，將此等開關閥間的配 • 空間以及泵浦內的空間設爲前述塗敷液儲留空間， 該塗敷液儲留空間的配管之途中，設置具有開關閥 配管，該分歧配管構成可與空氣抽出槽連繫。 前述泵浦一般爲定量泵浦。又，藉著在前述分 置壓力感應器、壓力開關或逆止閥，可將塗敷前的 儲留空間內的壓力設定與大氣壓不同的壓力。 又，本發明之塗敷，係以使用上述的塗敷裝置 ，其特徵爲：將設置於前述空氣抽出部與泵浦之間 ® 之開關閥（11)打開，將設置於前述泵浦與噴嘴之 管的開關閥（14)關閉，將與前述空氣抽出槽連繫 配管的開關閥（17)關閉，從前述空氣抽出部將塗 送到前述塗敷液儲留空間，然後，將開關閥（Π ) 將前述開關閥（1 4 )關閉，打開前述開關閥（1 7 ) 述塗敷液儲留空間內的剩餘壓力逸退，將塗敷液儲 內的塗敷液壓設爲大氣壓或一定壓，然後，將開關 )關閉，打開前述開關閥（14)，並關閉前述開關 )，驅動泵浦，使塗敷液儲留空間內的體積減少’ 抽出部 ，以泵 留空間 :在前 噴嘴之 管內的 在構成 之分歧 歧管設 塗敷液 爲前提 的配管 間的配 的分歧 敷液饋 關閉， ，使前 留空間 閥（" 閥（17 從噴嘴 (4) 1353892 排出塗敷液。 [發明之效果] 根據本發明之塗敷裝置及使用該塗敷裝置的塗敷方法 ，可於基板上形成一定膜厚之被膜。特別是即使在連續進 行複數次的塗敷時，仍可形成一定厚度的被膜。 # 【實施方式】 以下，依據添附圖面，說明本發明的實施形態。第1 圖係本發明之塗敷裝置的構成圖，在該實施例中，從塗敷 液儲留槽1的上昇管2設置有開關閥3,上昇管2與塗敷 液供給配管4連繫。 在圖示例中，塗敷液儲留槽1雖爲1基地，但也可以 配置2基地，當一方的塗敷液儲留槽1內的塗敷液沒有時 ，藉著切換到另一方的塗敷液儲留槽1，可連續進行塗敷 •作業。 又，在塗敷液儲留槽1的下游側設置有空氣抽出部5 。在該空氣抽出部5依序配置有：空氣抽出槽6、過濾器 7及脫氣模組8。此外，在空氣抽出槽6插入有壓力線22 ，形成可切換大氣開放與加壓。 在脫氣模組8的下游側配置有定量泵浦9，該定量泵 浦9與脫氣模組8連繫的塗敷液供給配管10的途中，設 置有開關閥Π，又，在定量泵浦9的下游側配置有狹縫噴 嘴12，在接近該狹縫噴嘴12與定量泵浦9相連的塗敷液 -8- (5) 1353892 供給配管13的狹縫噴嘴12的端部上，設置有開關閥14。 使比前述開關閥1 1下游側’比開關閥1 4上游側的配 管內空間及定量泵浦9內的空間成爲塗敷液儲留空間S。 又，使分歧管15從比前述塗敷液供給配管1〇的開關 閥11下游側的定量泵浦9更上游側的位置分歧出來。在 該分歧配管15設置有：壓力感應器及壓力開關16、開關 閥17及逆止閥18，最後與槽19相連。 # 此外，使塗敷液儲留空間S開放於大氣時’亦可不特 別設置壓力感應器及壓力開關16。 又，前述狹縫噴嘴12內與槽19以返回配管20相連 ，在該返回配管20設置有開關閥21。 以上，說明以全部的開關閥3、11、14、17、21設爲 關閉狀態的時刻開始。 從上述狀態，打開開關閥3，並僅以特定量將塗敷液 體儲留槽1內的塗敷液饋送到空氣抽出槽6，關閉開關閥 • 3。此時，空氣抽出槽6被開放於大氣中，可除去饋送到 空氣抽出槽6的塗敷液的氣泡。 然後，加壓切換空氣抽出槽6的大氣開放，藉由過濾 器7將空氣抽出槽6內的塗敷液饋送到脫氣模組8,並藉 由減壓除去溶解在塗敷液的氣體。 與上述同時，打開開關閥11。於是，通過脫氣模組8 的塗敷液經由塗敷液供給配管10供給到定量泵浦9，更以 塗敷液充滿到開關閥1 4爲止的塗敷液供給配管1 3內。亦 即，塗敷液儲留空間S內被塗敷液充滿。 (6) 1353892 然後，在關閉開關閥11之同時’打開分歧配管15的 開關閥17。於是，塗敷液儲留空間S經由槽19被開放於 大氣中，塗敷液儲留空間S內的塗敷液壓，降低至接近大 氣壓的壓力爲止。 塗敷液儲留空間S內的塗敷液壓若調整爲一定値，則 關閉開關閥11、17的狀態打開開關閥14，並驅動定量泵 浦9可減少塗敷液儲留空間S內的體積。然後，與體積減 • 少量相當的塗敷液從狹縫噴嘴12排出，進行第一次的塗 敷。又，最初僅放入液體時’打開開關閥21，使多餘的塗 敷液返回，再經由配管20饋送到槽19。 若結束上述第一次的塗敷，則關閉開關閥14、21，打 開開關閥11，且使定量泵浦9返回原來的位置，經由脫氣 模組8，再次將塗敷液饋送到塗敷液儲留空間S內。此時 ，塗敷液儲留空間S內以剩餘壓力成爲正壓，以防止氣體 從外部捲入》 ® 然後，在關閉開關閥11之同時，打開分歧配管15的 開關閥17。然後，與前述相同，塗敷液儲留空間S內的 剩餘壓力被除去，降低至接近大氣壓爲止的壓力。如此， 在各塗敷之前，藉著除去塗敷液儲留空間S內的剩餘壓力 ，可經常將每一塗敷的排出前狀態保持在一定的狀態，在 連續進行複數次的塗敷時，可經常從噴嘴排出一定量的塗 敷液。 在圖示例中，雖以定量泵浦作爲泵浦，但並不限定於 此。又，噴嘴也不限定於狹縫噴嘴。再者，雖然分歧配管 -10- (7) 1353892 15從開關閥11與定量泵浦9之間分歧出來，但亦可從定 量泵浦9與開關閥14之間的塗敷液供給配管13分歧出來 [產業上的可利用性] 與本發明有關的塗敷裝置及塗敷方法，係可利用於使 用狹縫噴嘴於玻璃基板的表面形成一定厚度的抗蝕劑膜或 # SOG膜的製程。 【圖式簡單說明】 第1圖係本發明之塗敷裝置的構成圖。 第2圖係使用以往的注射泵浦之塗敷裝置的構成圖。 【主要元件符號說明】 1 塗 敷 液體儲留槽 2 上 昇 管 3 開 關 閥 4 塗 敷 液供給配管 5 空 氣 抽出部 6 空 氣 抽出槽 7 過 濾 器 8 脫 氣 模組 9 定 量 泵浦 10 塗敷液供給配管 (8) (8)1353892 11 開關閥 12 狹縫噴嘴 13 塗敷液供給配管 14 開關閥 15 分歧配管 16 壓力感應器及壓力開關 17 開關閥 18 逆止閥 19 槽 20 返回配管 2 1 開關閥 22 壓力線 S 塗敷液儲留空間 -12- ⑧

Claims (1)

1. (1) 1353892 十、申請專利範圍 1· 一種塗敷裝置，係經由空氣抽出部將塗敷液儲留槽 內的塗敷液饋送到塗敷液儲留空間，以泵浦減少塗敷液儲 留空間的體積，從設置在塗敷液儲留空間的下游側的噴嘴 排出塗敷液的塗敷裝置，其特徵爲： 在前述空氣抽出部與泵浦之間的配管以及在前述泵浦 與噴嘴之間的配管分別設置有開關閥，將此等開關閥間的 # 配管內的空間以及泵浦內的空間設爲前述塗敷液儲留空間 ，在構成該塗敷液儲留空間的配管之途中，設置具有開關 閥之分歧配管，可與空氣抽出槽連繫。 2. 如申請專利範圍第1項之塗敷裝置，其中，在前述 分歧管設置有壓力感應器、壓力開關或逆止閥。 3. —種塗敷方法，係使用申請專利範圍第1或2項之 塗敷裝置，其特徵爲： 將設置於前述空氣抽出部與泵浦之間的配管之開關閥 • (11)打開，將設置於前述泵浦與噴嘴之間的配管的開關 閥（14)關閉，將與前述空氣抽出槽連繫的分歧配管的開 關閥（17)關閉，從前述空氣抽出部將塗敷液饋送到前述 塗敷液儲留空間，然後，將開關閥（11)關閉，將前述開 關閥（14)關閉，打開前述開關閥（17)，使前述塗敷液 儲留空間內的剩餘壓力逸退，將塗敷液儲留空間內的塗敷 液壓設爲大氣壓或一定壓，然後，將開關閥（11)關閉’ 打開前述開關閥（14)，並關閉前述開關閥（17)，驅動泵浦 使塗敷液儲留空間內的體積減少，從噴嘴排出塗敷液。 -13-