JP5272422B2 - 塗布液供給システム - Google Patents
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Description
2a、2b 加圧タンク
3 エアベントタンク
6 ドレインタンク
21 貯留タンク
35 加圧ポート
36 エア抜きポート(大気開放ポート)
Claims (2)
- エアベントタンクの内部を大気圧に開放して加圧タンクから前記エアベントタンクに塗布液を取り込み、前記エアベントタンクに圧縮気体を導いて塗布液を塗布装置に供給する塗布液供給システムであって、
前記エアベントタンクには、塗布液を貯留可能な貯留タンクを大気圧に開放するための配管が接続される大気開放ポートと、前記貯留タンクに圧縮気体を導くための配管が接続される加圧ポートと、がそれぞれ別個に設けられ、
前記加圧タンク及び前記加圧ポートには、共通のエア供給源から圧縮気体が供給されていることを特徴とする塗布液供給システム。 - 前記エアベントタンクには、前記貯留タンクへ塗布液を導入するための配管が接続される導入ポートと、該導入ポートに接続されて前記貯留タンク内に延びる導入配管と、前記貯留タンクからレジスト液を排出するための配管が接続される排出ポートと、該排出ポートに接続されて前記貯留タンク内に延びる排出配管と、がさらに設けられ、
前記導入配管の先端が、前記排出配管の先端よりも上に位置していることを特徴とする請求項1に記載の塗布液供給システム。
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JP2008019398A JP5272422B2 (ja) | 2008-01-30 | 2008-01-30 | 塗布液供給システム |
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JP2008019398A JP5272422B2 (ja) | 2008-01-30 | 2008-01-30 | 塗布液供給システム |
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JP2009178648A JP2009178648A (ja) | 2009-08-13 |
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