JP2007218859A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 液体を収容する内部空間を構成する容器と、
   上記容器の内部空間を大気圧より減圧するための減圧手段と、
   多孔質中空糸膜を、連続的に、上記容器の外部から内部空間へ導入し、上記容器の内部空間に収容した液体中を通過させ、かつ、上記容器の内部空間から外部へ導出するようにガイドする連続浸漬手段と、
   減圧下の上記液体中を通過する上記多孔質中空糸膜の欠陥部から液体中に吸い出された気泡を検出する気泡検出手段と、
   を備えることを特徴とする多孔質中空糸膜の欠陥検査装置。
2. 上記容器は、
   液体を溢れさせて一定の高さの液面を維持する第１液槽と、
   上記第１液槽から溢れた液体を受ける第２液槽と
   から構成され、
   上記第１液槽には、液体供給源から当該第１液槽へ液体を供給するための供給口が設けられ、
   上記第２液槽には、上記第１液槽から受けた液体を吸引排出するための排出口が設けられている
   ことを特徴とする請求項１記載の多孔質中空糸膜の欠陥検査装置。
3. 上記液体供給源から上記第１液槽の供給口までの液体の供給経路に、
   上記供給口の開閉状態を切り替える供給開閉弁と、
   上記第１液槽への液体の供給量を調節す供給調節弁と
   を備えることを特徴とする請求項２記載の多孔質中空糸膜の欠陥検査装置。
4. 上記液体供給源から上記第１液槽の供給口までの液体の供給経路に、
   液体の濾過を行う濾過装置と、
   液体中の気泡を除去する脱気装置と
   を備えることを特徴とする請求項２又は３記載の多孔質中空糸膜の欠陥検査装置。
5. 上記容器は、上記気泡検出手段に面した壁面に沿って液体を噴流させる噴流手段を備える
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の多孔質中空糸膜の欠陥検査装置。
6. 上記容器には、上記多孔質中空糸膜を連続的に導入する導入口と、上記多孔質中空糸を連続的に導出する導出口とが設けられ、
   上記導入口及び導出口は、それぞれ、非接触形のシール構造を有する
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の多孔質中空糸膜の欠陥検査装置。
7. 上記連続浸漬手段は、複数の多孔質中空糸膜を、上記容器に収容した液体中に通過させ、
   上記容器は、内部空間に、互いに異なる多孔質中空糸膜からそれぞれ吸い出された気泡どうしを分離するためのセパレータを備える
   ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の多孔質中空糸膜の欠陥検査装置。