JP3164982U

JP3164982U - 湿式工程用基板の消泡装置

Info

Publication number: JP3164982U
Application number: JP2010006794U
Authority: JP
Inventors: 添達鍾
Original assignee: 揚博科技股▲ふん▼有限公司
Priority date: 2010-10-13
Filing date: 2010-10-13
Publication date: 2010-12-24
Anticipated expiration: 2020-10-13

Abstract

【課題】特に泡を除去して化学薬液を再利用することができると共に、基板の加工技術も高めることができる湿式工程用基板の消泡装置を提供する。【解決手段】気泡濾過容器を備え、該気泡濾過容器は、内部に設置される濾過綿材と、内部を該濾過綿材により区画された上部空間及び下部空間と、上部に形成されると共に、該上部空間と連通する液体吸い取り口と、下部に形成されると共に、該下部空間と連通する液体送出口とを備えるものである。【選択図】図１

Description

本考案は、特に湿式工程におけるプロセスを行う過程に基板を処理する効果を高めるために、化学薬液にある泡を除去するための湿式工程用基板の消泡装置に関するものである。

湿式工程は通常、回路基板、ガラス基板、ウエハなどの基板を、化学薬液により加工するプロセス、例えば、現像剤によって基板に既定の回路を現像された保護層を作り、エッチング液によって基板に保護層が設置されていない部分の銅箔をエッチングして銅箔に回路を表せ、また、基板に付着しているエッチング液を洗浄により除去するなどのプロセスであり、この工程で基板に回路を作成してから他の部品との組み合わせを行う。

図３に示すように、既存の湿式工程用基板の製造装置は、混合タンク４１と、第一ポンプ４２と、第二ポンプ４３とを有し、その内、該混合タンク４１の内部中段に液体貯留タンク４４が設置され、該液体貯留タンク４４の底部に該混合タンク４１と連通する液体移送管４７が連結されると共に、該混合タンク４１内における液体貯留タンク４４の上方に、基板４６を移送するための移送ローラー４５が設置される。

前記第一ポンプ４２は、該混合タンク４１と連通する送出管４２１を備えることから、新たな化学薬液を吸い取ってから該送出管４２１を介して混合タンク４１に注入するので、化学薬液の濃度を維持して加工効果を保持することができる。また、前記第二ポンプ４３は、該混合タンク４１と連結する吸い取り管４３１と、噴出口がそれぞれ該移送ローラー４５の上側及び下側に位置する２本の噴出管４３２とを備える。

上述したように、前記第二ポンプ４３は、混合タンク４１の化学薬液を吸い取って基板４６の上面及び下面に噴出することにより、基板４６に回路を作り、また、前記基板４６から流れ落ちた化学薬液は、液体貯留タンク４４に収集されてから液体移送管４７を介して混合タンク４１に送られて再利用される。

登録実用新案第３１５８３９５号公報

しかしながら、化学薬液が噴出する時、或いは噴出してから混合タンク４１に流れ落ちる時に、空気が化学薬液に入り込んで泡が立つことがあり、空気を含んだ化学薬液が混合タンク４１に流れ込むと、第二ポンプ４３に吸い取られて再度基板４６に噴出する際に基板４６に泡が付着してしまい、その箇所に化学反応が出ないので、基板の製造に問題が生じる。

本考案は、気泡濾過容器を備え、該気泡濾過容器は、内部に設置される濾過綿材と、内部を濾過綿材により区画された上部空間及び下部空間と、上部に形成されると共に、該上部空間と連通する液体吸い取り口と、下部に形成されると共に、該下部空間と連通する液体送出口とを備えるものである。

さらに、前記気泡濾過容器の液体送出口に連結される送出管を備える沈殿タンクを有し、化学薬液は、該沈殿タンクに入れられて静置されることによって、小さいな泡が自然に液体の表面に浮かぶので、小さいな泡を除去することができる。

尚、前記沈殿タンクは、内部空間を区画するための隔壁板を備えると共に、該隔壁板の底部に連通孔が形成されることが好ましい。

また、泡の除去効果を高めるために、複数の気泡濾過容器を設置しても構わなく、例えば、前記気泡濾過容器と沈殿タンクとの間にもう１つの気泡濾過容器を設置すると共に、液体移送管によりこの２つの気泡濾過容器を連結し、その両端をそれぞれ気泡濾過容器の液体送出口と他方の気泡濾過容器の液体送出口と連結させてもよい。

前記気泡濾過容器の上部に気泡排出口が形成されると共に、該気泡排出口に排出管が設置され、これにより、泡を排出する。

本考案に係る湿式工程用基板の消泡装置は上記の課題を解決するものであり、泡を除去することにより化学薬液を再利用できると共に、基板の加工技術をより高めることができる。

本考案に係る湿式工程用基板の消泡装置の使用状態を示す断面図である。本考案に係る湿式工程用基板の消泡装置の部分拡大断面図である。既有の湿式工程用基板の製造装置の使用状態を示す部分断面図である。

以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、下記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、本考案の技術的範囲は、下記実施例そのものに何ら限定されるものではない。

図１に示すように、本考案に係る湿式工程用基板の消泡装置１は、液体循環装置と組み合わせて使用するものであり、この循環装置は、化学薬液を収容するための混合タンク３１と、該混合タンク３１に収容された化学薬液を吸い取って湿式工程用基板の消泡装置１に送るためのポンプ３２と、湿式工程用基板の消泡装置１と連結されると共に、噴出口がそれぞれ基板の上面及び下面に位置する噴出管３３とを備えるものである。

図２に示すように、本考案に係る湿式工程用基板の消泡装置１は、気泡濾過容器１０と、沈殿タンク２０とを有し、その内、該気泡濾過容器１０は、内部に設置される濾過綿材１１と、内部を該濾過綿材１１により区画された上部空間１０１及び下部空間１０２と、上部に形成されると共に、該上部空間１０１と連通する液体吸い取り口１２及び気泡排出口１３と、下部に形成されると共に、該下部空間１０２と連通する液体送出口１４と、該液体吸い取り口１２に設置されると共に、ポンプ３２と連結される送入管１５と、該気泡排出口１３に設置されると共に、空気を排出するための排出管１６とを備えるものである。尚、前記排出管１６は、開口を備え、前記混合タンク３１と連結すると共に、流量の制御可能な制御弁を備えることが好ましい。

本考案に係る湿式工程用基板の消泡装置１は、複数の気泡濾過容器１０が直列に連続されることが好ましく、例えば、本実施例においては、２つの気泡濾過容器１０、１０Ａを備えると共に、液体移送管１７によりこの２つの気泡濾過容器１０、１０Ａが連結され、該液体移送管１７は、両端がそれぞれ気泡濾過容器１０の液体送出口１４及び他方の気泡濾過容器１０Ａの液体吸い取り口１２Ａと連結される。

前記沈殿タンク２０における送出管２１は、前記気泡濾過容器１０Ａの液体送出口１４Ａと連通すると共に、前記噴出管３３と連通する。尚、前記噴出管３３は、該送出管２１と反対する側に設置されることが好ましい。また、前記沈殿タンク２０はさらに、内部空間を区画するための少なくとも１つの隔壁板２２と、該隔壁板２２による区画により内部空間に形成された第一空間２０１及び第二空間２０２と、該隔壁板２２の底部に形成されると共に、該第一空間２０１と第二空間２０２とを連通させるための連通孔２２１とを備え、更に、前記送出管２１は、一端が前記気泡濾過容器１０Ａの液体送出口１４Ａに連結されると共に、他端が該第一空間２０１の上部に連結され、一方、前記２つの噴出管３３の一端はそれぞれ、基板の上面及び下面に位置すると共に、他端は該第二空間２０２の下部に連結される。

本考案に係る湿式工程用基板の消泡装置１を使用する時は、ポンプ３２により混合タンク３１に貯留されている化学薬液を吸い取って送入管１５を介して気泡濾過容器１０の上部空間１０１に送ると共に、該気泡濾過容器１０の濾過綿材１１による化学薬液を濾過して泡を上部空間１０１において集め、泡がない或いは小さい泡を含む化学薬液を濾過綿材１１を通して下部空間１０２に流す。尚、化学薬液にある泡をできる限り濾過するために、複数の気泡濾過容器１０、１０Ａを連続して直列に設置し、その化学薬液を気泡濾過容器１０、１０Ａに通して泡の濾過を繰り返すことにより、化学薬液に含まれる泡を除去してもよい。

そして、化学薬液を、気泡濾過容器１０Ａの下部空間１０２Ａを介して、送出管２１により沈殿タンク２０に送り、該沈殿タンク２０の第一空間２０１において静置させると、化学薬液に含まれる小さいな泡が自然に液体の表面に浮かび、その後、泡が殆ど除去された化学薬液は、隔壁板２２の下部に形成された連通孔２２１を通って第二空間２０２に送られ、そこで、化学薬液に含まれる泡を完全に除去してから噴出管３３から基板３４に送り、噴出させることによって、湿式工程のプロセスを行う。

また、前記気泡濾過容器１０、１０Ａの上部空間１０１、１０１Ａに溜まった泡は、化学薬液と共にそれぞれ排出管１６を介して排出され、且つ、弾けた泡から発生した空気は排出管１６の開口から排出される。さらに、前記排出管１６の制御弁は、化学薬液を濾過綿材１１を通すために、排出管１６の液体流量及び泡の排出スピードを制御することができ、また、該気泡濾過容器１０、１０Ａの上部空間１０１、１０１Ａに溜まった泡が定所の量になると、制御弁を全開にすれば液体と共に泡も排出することができ、その排出された化学薬液は、排出管１６を介して混合タンク３１に戻った後、ポンプ３２により吸い取られて再利用される。

本考案は上記の構成を有することから、泡を除去して化学薬液を再利用することができると共に、基板の加工技術を高めることができる。

１湿式工程用基板の消泡装置
１０、１０Ａ気泡濾過容器
１１濾過綿材
１０１上部空間
１０２下部空間
１２、１２Ａ液体吸い取り口
１３気泡排出口
１４、１４Ａ液体送出口
１５送入管
１６排出管
１７液体移送管
２０沈殿タンク
２１送出管
２２隔壁板
２０１第一空間
２０２第二空間
２２１連通孔
３１混合タンク
３２ポンプ
３３噴出管
４１混合タンク
４２第一ポンプ
４２１送出管
４３第二ポンプ
４３１吸い取り管
４３２噴出管
４４液体貯留タンク
４５移送ローラー
４６基板

Claims

気泡濾過容器を備え、
該気泡濾過容器は、内部に設置される濾過綿材と、内部を該濾過綿材により区
画された上部空間及び下部空間と、上部に形成されると共に、該上部空間と連
通する液体吸い取り口と、下部に形成されると共に、該下部空間と連通する液
体送出口とを備えることを特徴とする湿式工程用基板の消泡装置。
前記気泡濾過容器の液体送出口に連結される送出管を備える沈殿タンクを有す
ることを特徴とする請求項１に記載の湿式工程用基板の消泡装置。
前記沈殿タンクはさらに、内部空間を分画するための隔壁板を備えると共に、
該隔壁板の底部に連通孔が形成されることを特徴とする請求項２に記載の湿式
工程用基板の消泡装置。
前記気泡濾過容器と沈殿タンクとの間に設置されるもう１つの気泡濾過容器
と、
２つの気泡濾過容器を連結するために、一端が気泡濾過容器の液体送出口に、
他端がもう１つの気泡濾過容器の液体吸い取り口に連結される液体移送管とを
有することを特徴とする請求項３に記載の湿式工程用基板の消泡装置。
前記気泡濾過容器の上部に形成される気泡排出口と、
該気泡排出口に設置される排出管とを有することを特徴とする請求項４に記載
の湿式工程用基板の消泡装置。