JP5892064B2 - 多孔質中空糸膜の洗浄装置 - Google Patents

Description

この発明は、多孔質中空糸膜の洗浄装置に関する。
本願は、２０１１年４月２６日に日本に出願された特願２０１１−０９８２０４号、及び２０１１年４月２６日に日本に出願された特願２０１１−０９８２０５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

食品工業、医療、又は電子工業等の分野における有用成分の濃縮、回収、若しくは不要成分の除去、又は造水等には、セルロースアセテート、ポリアクリロニトリル、ポリスルホン、又はフッ素系樹脂等からなり、例えば湿式又は乾湿式紡糸により製造された中空状の多孔質層を有する多孔質中空糸膜が、精密濾過膜、限外濾過膜、又は逆浸透濾過膜等に多用されている。

湿式又は乾湿式紡糸により多孔質中空糸膜を製造する場合には、まず、疎水性ポリマーと親水性ポリマーとを溶媒で溶解した製膜原液を調製する。ここで親水性ポリマーは、製膜原液の粘度を多孔質中空糸膜の形成に好適な範囲に調整し、製膜状態の安定化を図るために添加されるものであって、ポリエチレングリコールやポリビニルピロリドン等が使用されることが多い。また溶媒としては、疎水性ポリマーと親水性ポリマーを溶解可能で、水に可溶のものが用いられ、例えばＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（ＤＭＡｃ）、又はＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）などが挙げられる。
この製膜原液を環状に吐出し、凝固液中で凝固させる凝固工程により、多孔質中空糸膜が得られる。製膜原液は空気と接触する空走部を経て、凝固液中へ導入されても（乾湿式紡糸法）、空走部を経ずに直接凝固液に導入されても（湿式紡糸法）よい。

ところが、凝固が終わった時点の多孔質中空糸膜中には、通常、その多孔質部に溶媒や親水性ポリマーが溶液の状態で多量に残存している。このように溶媒が残存していると多孔質部が膨潤状態のため機械的強度が低く、親水性ポリマーが残存していると多孔質中空糸膜に求められる重要な性能の一つである透水性能が不十分となる。
そのため、凝固工程の後には、このように残存している溶媒や親水性ポリマーを多孔質中空糸膜から除去する工程が必要となる。

そこで、残存している親水性ポリマーを多孔質中空糸膜から除去する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、低コスト、又は短時間で多孔質中空糸膜中に残存する親水性ポリマーを除去することが可能な多孔質中空糸膜の洗浄方法が開示されている。具体的には、減圧洗浄部にて多孔質中空糸膜の外周側の洗浄液を減圧し、膜中の親水性ポリマー水溶液を多孔質中空糸膜の外周側へ排出する減圧工程と、減圧洗浄部の後段に設けられた加圧洗浄部にて多孔質中空糸膜の外周側の洗浄液を加圧して洗浄液を膜表面から圧入し、膜中の親水性ポリマー水溶液を置換、及び希釈しながら膜中空部に押し込む洗浄液供給工程と、加圧洗浄部の後段にさらに設けられた減圧洗浄部にて多孔質中空糸膜の外周側を再度減圧し、親水性ポリマー水溶液を多孔質中空糸膜の外周側へ排出させる減圧工程と、を有している。

ところで、特許文献１には、減圧工程及び洗浄液供給工程の一例として、耐圧性の筒部材を用いる方法が記載されている。具体的には、筒部材の両端には、中空糸膜が走行できる程度のクリアランスを有しつつ、筒部材の内部を外部よりも減圧状態又は加圧状態に保つことのできる、例えばラビリンスシールなどからなるシール機構が設けられている。そして、中空糸膜を筒部材内にその一端から連続的に導入するとともに減圧手段又は加圧手段を作動させることにより、筒部材内において、中空糸膜の外周側が減圧又は加圧され、中空糸膜中に残存する親水性ポリマーが中空糸膜の外周側へと吸引、及び除去される。

特開２００８−１６１７５５号公報

しかしながら、特許文献１の多孔質中空糸膜の洗浄装置には、以下のような問題がある。
特許文献１の多孔質中空糸膜の洗浄装置では，洗浄装置に多孔質中空糸膜を配設する際、筒部材内に多孔質中空糸膜を挿通させる必要がある。ここで、多孔質中空糸膜は軟質の紐状部材であるため、筒部材内に多孔質中空糸膜を挿通させる際の作業性が煩雑である。
したがって、洗浄装置に多孔質中空糸膜を配設する際の作業効率が悪化するおそれがある。

また、何らかの原因により多孔質中空糸膜が筒部材内で詰まる等した場合には、洗浄装置を停止させた後に筒部材を取り外す等して筒部材の内部の確認及びメンテナンスをする必要がある。しかし、筒部材の内部は視認性が悪く、メンテナンスも困難であるという問題がある。特に、筒部材が長く形成されている場合には、この傾向は顕著である。
さらに、筒部材のメンテナンス後に再度多孔質中空糸膜を筒部材内に挿通させる必要があるため、さらに作業効率が悪化し、生産効率が低下するおそれがある。

さらに、例えば、繊維を丸編みして多孔質中空糸膜の円筒状編紐を製造する際に、規定の外径よりも大きな部分が形成され、多孔質中空糸膜を形成したときに瘤等の異常箇所となる場合がある。異常箇所を有する多孔質中空糸膜が筒部材内を走行する際、異常箇所が筒部材内で引っ掛かるおそれがある。これにより、筒部材内で多孔質中空糸膜の詰まりが発生し、洗浄工程の効率が悪化するおそれがある。

そこで、本発明は、簡単かつ効率よく多孔質中空糸膜を配設でき、容易にメンテナンスができる効率の高い多孔質中空糸膜の洗浄装置の提供を目的とする。

また、本発明は、簡単かつ効率よく多孔質中空糸膜を配設でき、多孔質中空糸膜の詰まりを防止して、効率良く多孔質中空糸膜を洗浄できる多孔質中空糸膜の洗浄装置の提供を目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の多孔質中空糸膜の洗浄装置は、洗浄液を収容した洗浄槽に多孔質中空糸膜を走行させ、前記多孔質中空糸膜中の水溶性残存物を除去する多孔質中空糸膜の洗浄装置であって、前記洗浄槽内には、一端側の入口から他端側の出口に向かって前記多孔質中空糸膜が連続的に走行可能な中空糸膜走行流路を有する流路構造体が設けられ、前記流路構造体は、本体部と、前記本体部の上方に配置され前記本体部に対して着脱可能な上蓋部と、からなり、前記多孔質中空糸膜の走行方向に沿って前記本体部の上面に形成された走行溝部と、前記入口と前記出口との間において、前記走行方向と直交する断面積が前記走行溝部よりも大きく形成され、前記洗浄液を圧送又は吸引するための分岐流路が形成された拡大空間部と、を有し、前記中空糸膜走行流路は、前記走行溝部と、前記本体部の前記上面に密接して前記走行溝部を覆う前記上蓋部と、により形成されていることを特徴としている。

本発明によれば、中空糸膜走行流路は、本体部に形成された走行溝部と、本体部に対して着脱可能な上蓋部とにより構成されているので、上蓋部を外すことにより走行溝部の上面が完全に開放され、中空糸膜走行流路内に多孔質中空糸膜を簡単かつ効率よく配設できる。また、多孔質中空糸膜の洗浄時に、何らかの原因により多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内で詰まって洗浄装置が停止した場合であっても、本体部から上蓋部を離脱させることで、中空糸膜走行流路内を簡単に確認して容易にメンテナンスができる。したがって、洗浄装置の効率を高めることができる。

また、前記中空糸膜走行流路は、前記走行方向と直交する断面形状が三角形状又は略矩形状に形成され、前記三角形状又は前記矩形状を形成する二以上の辺のうちの一辺は、前記上蓋により形成されていることが望ましい。

本発明によれば、走行溝部と上蓋部とで形成される中空糸膜走行流路の断面形状を三角形状又は略矩形状に形成することで、中空糸膜走行流路内の多孔質中空糸膜の周囲を流動する洗浄液の流動状態が、多孔質中空糸膜の中心軸に対し軸対称状態となる。これにより、多孔質中空糸膜に対する洗浄液の接触環境が多孔質中空糸膜の周方向で偏らないので、中空糸膜走行流路内の多孔質中空糸膜の走行状態を安定させることができる。さらに、三角形状又は矩形状を形成する二以上の辺のうちの１辺を上蓋部により形成することにより、上蓋部を離脱させて走行溝部に容易に多孔質中空糸膜を配設できる。このように、中空糸膜走行流路内に簡単かつ効率よく多孔質中空糸膜を配設できるので、洗浄装置の効率を高めることができる。

また、前記流路構造体は、前記走行方向と交差する方向に少なくとも二つの前記中空糸膜走行流路を備え、前記各入口と前記各出口との間において、各々個別に拡大空間部が形成されていることが望ましい。

本発明によれば、二以上の中空糸膜走行流路と、各々の中空糸膜走行流路の入口と出口との間に、各々個別に拡大空間部を形成しているので、二以上の多孔質中空糸膜を一度に良好に洗浄できる。したがって、洗浄装置の効率をさらに高めることができる。

また上記の課題を解決するため、本発明の多孔質中空糸膜の洗浄装置は、洗浄液を収容した洗浄槽に多孔質中空糸膜を走行させ、前記多孔質中空糸膜中の水溶性残存物を除去する多孔質中空糸膜の洗浄装置であって、前記洗浄槽内には、一端側の入口から他端側の出口に向かって前記多孔質中空糸膜が連続的に走行可能な中空糸膜走行流路を有する流路構造体が設けられ、前記流路構造体は、本体部と、本体部の上方に配置され前記本体部と着脱可能な上蓋部と、からなり、前記多孔質中空糸膜の走行方向に沿って前記本体部の上面に形成された走行溝部と、前記洗浄液を圧送又は吸引して前記洗浄液を流通させる分岐流路と、を有し、前記中空糸膜走行流路は、前記流路構造体の本体部に形成された前記走行溝部と、前記本体部の前記上面に密接して前記走行溝部を覆う前記上蓋部と、により形成されていることを特徴としている。

本発明によれば、中空糸膜走行流路は、本体部に形成された走行溝部と、本体部に対して着脱可能な上蓋部とにより構成され、上蓋部を外すことにより走行溝部の上面が完全に開放されるので、中空糸膜走行流路内に多孔質中空糸膜を簡単かつ効率よく配設できる。したがって、洗浄装置の作業効率を高めることができる。
また、本発明によれば、上蓋部を外すことにより中空糸膜走行流路を開放できるので、例えば不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行しようとしたときに、本体部から上蓋部を離脱させるとともに多孔質中空糸膜を走行溝部から離脱させることができる。これにより、不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行するのを回避できるので、多孔質中空糸膜の詰まりを防止できる。

また、前記上蓋部の装着と連動して前記走行溝部内に前記多孔質中空糸膜を配置し、前記上蓋部の離脱と連動して前記走行溝部内から前記多孔質中空糸膜を離脱させる中空糸膜移動手段を有することが望ましい。

本発明によれば、多孔質中空糸膜の洗浄時において、不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行しようとしたときに、本体部から上蓋部を離脱させるのと同時に、走行溝部内から多孔質中空糸膜を離脱できる。これにより、不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行するのを回避できる。また、不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行するのを回避した後、本体部に上蓋部を装着させるのと同時に、走行溝部内に多孔質中空糸膜を配置できる。これにより、中空糸膜走行流路内に多孔質中空糸膜を簡単かつ効率よく配設できる。

また、前記多孔質中空糸膜が前記中空糸膜走行流路内に導入される前に前記多孔質中空糸膜の外径を検知する外径検知手段と、前記流路構造体内における前記洗浄液の圧送又は吸引の開始又は停止を制御する洗浄液調整手段と、前記上蓋部を移動させて前記本体部に対して前記上蓋部を着脱させる上蓋部移動手段と、を備えていることが望ましい。

本発明によれば、外径検知手段を有しているので、不良に形成された多孔質中空糸膜を確実に検知できる。また、上蓋部移動手段を有しているので、不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行しようとしたときに、本体部から上蓋部を離脱させるのと同時に、走行溝部内から多孔質中空糸膜を離脱させて、不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行するのを回避できる。また、洗浄液調整手段を有しているので、上蓋部の離脱時に洗浄液の圧送又は吸引を停止させることにより、上蓋部及び多孔質中空糸膜に押圧力又は吸引力が作用するのを防止できる。これにより、上蓋部及び多孔質中空糸膜を容易に移動させることがきる。また、多孔質中空糸膜に押圧力又は吸引力が作用して多孔質中空糸膜が損傷するのを抑制できる。

また、前記外径検知手段により検知した前記多孔質中空糸膜の外径が、所定値よりも大径な異常箇所であると判断した場合に、前記異常箇所が前記中空糸膜走行流路を走行するのを回避する異常箇所回避制御を行い、前記異常箇所回避制御は、前記洗浄液調整手段により前記洗浄液の圧送又は吸引を停止させる洗浄液流動停止動作と、前記洗浄液流動停止動作の後、前記上蓋部移動手段により前記上蓋部を前記本体部から離脱させるとともに、前記中空糸膜移動手段により前記走行溝部内から前記多孔質中空糸膜を離脱させる離脱動作と、を備えていることが望ましい。

本発明によれば、異常箇所回避制御を行うことにより、大径に形成された多孔質中空糸膜の異常箇所を回避できるので、中空糸膜走行流路内における多孔質中空糸膜の詰まりを確実に防止できる。
また、異常箇所回避制御では、洗浄液の圧送又は吸引を停止させる洗浄液流動停止動作の後に、上蓋部及び多孔質中空糸膜を離脱させる離脱動作を行うので、上蓋部及び多孔質中空糸膜に押圧力又は吸引力が作用するのを抑制できる。これにより、上蓋部及び多孔質中空糸膜を容易に移動させることがきる。また、多孔質中空糸膜に押圧力又は吸引力が作用して多孔質中空糸膜が損傷するのを抑制できる。

すなわち、本発明は以下に関する。
（１）洗浄液を収容した洗浄槽に多孔質中空糸膜を走行させ、前記多孔質中空糸膜中の残存物を除去する多孔質中空糸膜の洗浄装置であって、前記洗浄槽内には、一端側の入口から他端側の出口に向かって前記多孔質中空糸膜が連続的に走行可能な中空糸膜走行流路を有する流路構造体を備え、前記流路構造体は、分離可能な少なくとも二つの構造体からなり、前記流路構造体は、前記少なくとも二つの構造体のうち、少なくとも一つの構造体に形成された走行溝部と、前記洗浄液を圧送又は吸引して前記洗浄液を流通させる分岐流路と、を有し、前記分岐流路は、前記中空糸膜走行流路に連結されている流路である、前記洗浄装置、
（２）前記中空糸膜走行流路は、中空糸膜走行方向と直交する断面の断面積が、前記走行溝部の中空糸膜走行方向と直交する断面の断面積よりも大きく形成された拡大空間部を有し、前記拡大空間部は、前記中空糸膜走行流路の一端側の入口から前記中空糸膜走行流路の他端側の出口の間に形成されており、前記分岐流路は、前記拡大空間部に連結されている流路である、（１）に記載の洗浄装置、
（３）前記少なくとも二つの構造体のいずれか一方の構造体が少なくとも一つの平面を有し、前記中空糸膜走行流路を構成する一つの面が前記平面を共有している、（１）又は（２）に記載の洗浄装置、
（４）前記中空糸膜走行流路は、前記走行方向と直交する断面形状が三角形状又は矩形状である、（３）に記載の洗浄装置、
（５）前記流路構造体は、前記走行方向と交差する方向に少なくとも二つの前記中空糸膜走行流路を有する、（１）〜（４）のいずれか一項に記載の洗浄装置、
（６）前記走行流路は、走行する中空糸膜に対応するよう各々個別に形成された流路であり、前記各々個別に形成された前記走行流路に対し、各々個別に前記拡大空間部が形成されている、（５）に記載の洗浄装置、
（７）前記拡大空間部は、中空糸膜の外径をｄとしたときに、中空糸膜走行方向に平行な長さＸが、２ｄ≦Ｘ≦２００ｄを満足し、かつ、中空糸膜走行方向に直交する高さＷが、１．５ｄ≦Ｗ≦３０ｄを満足する、（２）〜（６）のいずれか一項に記載の洗浄装置、
（８）前記拡大空間部の底面と、前記拡大空間部の底面と前記走行溝部の底面とを接続する側面とのなす角度が９０度から１７５度である、（２）〜（７）のいずれか一項に記載の洗浄装置、
（９）前記少なくとも二つの構造体の着脱と連動して、前記走行溝部内から前記多孔質中空糸膜を着脱させる中空糸膜移動手段を有する、（１）〜（８）のいずれか一項に記載の洗浄装置、
（１０）前記多孔質中空糸膜が前記中空糸膜走行流路内に導入される前に前記多孔質中空糸膜の外径異常を検知する外径検知手段と、前記少なくとも二つの構造体の少なくとも一つの構造体を移動させて前記少なくとも二つの構造体を分離させる構造体移動手段と、を備えた（１）〜（９）のいずれか一項に記載の多孔質中空糸膜の洗浄装置、
（１１）前記外径検知手段により検知した前記多孔質中空糸膜の外径が、所定値よりも大径な異常箇所であると判断した場合に、前記異常箇所が前記中空糸膜走行流路を走行するのを回避する異常箇所回避制御を行う異常箇所回避制御装置を有し、前記異常箇所回避制御は、洗浄液調整手段により前記洗浄液の圧送又は吸引を低減若しくは停止させる洗浄液流量調整動作と、前記洗浄流量調整動作の後、前記少なくとも二つの構造体の少なくとも一つの構造体の前記構造体移動手段により、前記少なくとも二つの構造体を分離させるとともに、前記中空糸膜移動手段により前記走行溝部内から前記多孔質中空糸膜を離脱させる離脱動作と、を備えた、（１）〜（１０）のいずれか一項に記載の洗浄装置、及び
（１２）前記少なくとも二つの構造体の一つが本体部であり、一つが上蓋部であり、前記上蓋部は、前記本体部の上方に配置され前記本体部と着脱可能な構造体である、（１）〜（１１）のいずれか一項に記載の洗浄装置。

本発明によれば、中空糸膜走行流路は、本体部に形成された走行溝部と、本体部に対して着脱可能な上蓋部とにより構成されているので、上蓋部を外すことにより走行溝部の上面が完全に開放され、中空糸膜走行流路内に多孔質中空糸膜を簡単かつ効率よく配設できる。また、多孔質中空糸膜の洗浄時に、何らかの原因により多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内で詰まって洗浄装置が停止した場合であっても、本体部から上蓋部を離脱させることで、中空糸膜走行流路内を簡単に確認して容易にメンテナンスができる。したがって、洗浄装置の作業効率を高めることができる。
また、本発明によれば、上蓋部を外すことにより中空糸膜走行流路を開放できるので、例えば不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行しようとしたときに、本体部から上蓋部を離脱させるとともに多孔質中空糸膜を走行溝部から離脱させることができる。これにより、不良に形成された多孔質中空糸膜が中空糸膜走行流路内を走行するのを回避できるので、多孔質中空糸膜の詰まりを防止できる。

多孔質中空糸膜の洗浄装置の説明図である。 流路構造体の斜視図である。 流路構造体の上蓋部を外したときの本体部の斜視図である。 図２における流路構造体のＡ−Ａ線における断面図である。 図２における流路構造体のＢ−Ｂ線における断面図である。 第２実施形態の流路構造体の本体部の斜視図である。 第２実施形態の流路構造体の上流側から見た走行方向に直交する断面図である。 第３実施形態の多孔質中空糸膜の洗浄装置の説明図である。 第３実施形態の流路構造体の側面断面図である。 第３実施形態の流路構造体の上蓋部を外したときの本体部の斜視図である。 第３実施形態の上流側から見た流路構造体の走行方向に垂直な断面図である。 第３実施形態の上蓋部移動手段の説明図である。 第３実施形態の中空糸膜移動手段の説明図である。 第３実施形態の異常箇所回避制御装置のシステムブロック図である。 第３実施形態の異常箇所回避制御の制御フローである。 第３実施形態の離脱動作の説明図である。

本発明の一つの態様である多孔質中空糸膜の洗浄装置は、前記多孔質中空糸膜が順次通過する、洗浄液を収容した少なくとも一つの洗浄槽と、洗浄液に浸漬された多孔質中空糸膜の外周側の洗浄液を加圧し、洗浄液を多孔質中空糸膜の内周側から外周側に通液させる加圧洗浄部及び／又は洗浄液に浸漬された多孔質中空糸膜の外周側の洗浄液を減圧し、洗浄液を多孔質中空糸膜の内周側から外周側へ通液させる減圧洗浄部と、前記洗浄槽に前記洗浄液を供給する供給手段と、前記洗浄槽内に備えられた一端側の入口から他端側の出口に向かって前記多孔質中空糸膜が連続的に走行可能な中空糸膜走行流路を有する流路構造体とを有する洗浄装置であって、前記加圧洗浄部は、前記洗浄液中に配置されて内部が洗浄液で満たされる前記流路構造体と、前記流路構造体の中空糸膜走行流路内に洗浄液を圧入して中空糸膜走行流路内の洗浄液の圧力を上昇させる液体圧入手段とを有し、前記減圧洗浄部は、前記洗浄液中に配置されて内部が洗浄液で満たされる前記流路構造体と、前記流路構造体の中空糸膜走行流路内の洗浄液を吸引して中空糸膜走行流路内の洗浄液の圧力を低下させる液体吸引手段とを有し、前記流路構造体は、分離可能な少なくとも二つの構造体からなり、前記流路構造体は、前記少なくとも二つの構造体のうち、少なくとも一つの構造体に形成された走行溝部と、前記洗浄液を圧送又は吸引して前記洗浄液を流通させる分岐流路と、を有し、前記分岐流路は、前記走行溝部に連結されている流路である。

（第１実施形態の多孔質中空糸膜の洗浄装置）
以下に、第１実施形態の多孔質中空糸膜の洗浄装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態の多孔質中空糸膜Ｍの洗浄装置１１の説明図である。
図１に示す多孔質中空糸膜Ｍの洗浄装置１１は、多孔質中空糸膜Ｍが順次通過する、洗浄液Ｌを収容．した３個の洗浄槽１１０（第１洗浄槽１１１、第２洗浄槽１１２、及び第３洗浄槽１１３）と、多孔質中空糸膜Ｍを洗浄する、第１減圧洗浄部１２０と加圧洗浄部１３０と第２減圧洗浄部１４０と、下流側の洗浄槽に清浄な洗浄液を供給する供給手段１５０と、多孔質中空糸膜Ｍの走行を規制する規制手段１６０とを備えて構成される。
以下の説明において、「上流」及び「下流」は多孔質中空糸膜Ｍの走行方向を基準とし、「上流側」とは洗浄装置１１に多孔質中空糸膜Ｍが供給される側であり、「下流側」とは洗浄装置１１から多孔質中空糸膜Ｍが排出される側とする。

多孔質中空糸膜Ｍの洗浄装置１１は、第１減圧洗浄部１２０と、加圧洗浄部１３０と、第２減圧洗浄部１４０は直列に配列され、この配列の両端には第１減圧洗浄部１２０と第２減圧洗浄部１４０とが位置している。
また、最も上流側に配置された第１洗浄槽１１１には第１減圧洗浄部１２０が収められ、第１洗浄槽１１１の下流側の第２洗浄槽１１２には加圧洗浄部１３０が収められ、第２洗浄槽１１２の下流側の第３洗浄槽１１３には第２減圧洗浄部１４０が収められている。

（洗浄槽）
洗浄槽１１０は、洗浄液Ｌを収容する。
洗浄槽１１０の材質は特に制限されず、例えばポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリアミド、ポリプロピレン、若しくはポリアセタールなどの樹脂、鉄、アルミニウム、銅、ニッケル、若しくはチタンなどの金属、若しくはこれら金属を主な成分とする合金類（例えばニッケル合金・チタン合金やジュラルミン又はステンレスなど）；又は、これらの複合材料などが挙げられる。特に、第１洗浄槽１１の材質はチタンが好ましい。
第１洗浄槽１１１、第２洗浄槽１１２、及び第３洗浄槽１１３の形状及び大きさについては、それぞれ後述する流路構造体１２３，１３３，１４３を浸漬できるものであればよい。

各洗浄槽１１０には、各洗浄槽１１０からあふれた分の洗浄液Ｌを排出するオーバーフロー管１１１ａ，１１２ａ，１１３ａが設けられている。具体的には、第３洗浄槽１１３からオーバーフローした洗浄液Ｌは、第３洗浄槽１１３のオーバーフロー管１１３ａから第２洗浄槽１１２へ供給される。また、第２洗浄槽１１２からオーバーフローした洗浄液Ｌは、第２洗浄槽１１２のオーバーフロー管１１２ａから第１洗浄槽１１１へ供給される。さらに、第１洗浄槽１１１からオーバーフローした洗浄液Ｌは、第１洗浄槽１１１のオーバーフロー管１１１ａから系外へ排出される。

（第１減圧洗浄部）
第１減圧洗浄部１２０は、洗浄液Ｌに浸漬された多孔質中空糸膜Ｍの外周側の洗浄液を減圧し、多孔質中空糸膜Ｍの内周側から外周側へ洗浄液Ｌを通液させる。
図１に示す第１減圧洗浄部１２０は、中空糸膜走行流路１２５と、拡大空間部１２６と、前記拡大空間部１２６から分岐する分岐流路１２２とが内部に形成され、洗浄液Ｌ中に配置されて内部が洗浄液Ｌで満たされる流路構造体１２３と、前記流路構造体１２３の拡大空間部１２６内の洗浄液Ｌを吸引して、拡大空間部１２６内の洗浄液Ｌの圧力を低下させる液体吸引手段１２４とを有している。
洗浄液Ｌは、分岐流路１２２を通じて液体吸引手段１２４により吸引され、中空糸膜走行流路１２５内及び／又は拡大空間部１２６内の洗浄液Ｌの圧力を低下させている。
液体吸引手段１２４は、洗浄液Ｌを吸引するエゼクター１２４ａと、洗浄液Ｌを作動流体としてエゼクター１２４ａに圧送するポンプ１２４ｂと、一端が流路構造体１２３の分岐流路１２２と接続され、他端が第１洗浄槽１１１に接続された第一の配管１２４ｃと、一端が第１洗浄槽１１１に接続され、他端がエゼクター１２４ａに接続された第二の配管１２４ｄを有している。

（流路構造体）
図２は、流路構造体１２３の斜視図である。
本発明の流路構造体は、分離可能な少なくとも二つの構造体からなる。前記構造体の一つが本体部であり、一つが上蓋部であり、前記上蓋部は、前記本体部の上方に配置され前記本体部と着脱可能な構造体であることが好ましい。すなわち、図２に示すように、流路構造体１２３は、本体部１２３ａと上蓋部１２３ｂとにより形成されていることが好ましい。
流路構造体１２３を構成する本体部１２３ａ及び上蓋部１２３ｂの材質としては、洗浄液Ｌで腐食したり、洗浄液Ｌに侵されたりしない素材であり、洗浄液Ｌの吸引で変形や破損しない十分な強度を維持できれば特に制限はなく、例えば、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリアミド、ポリプロピレン、若しくはポリアセタールなどの樹脂、鉄、アルミニウム、銅、ニッケル、若しくはチタンなどの金属若しくは合金類、又はこれらの複合材料などが挙げられる。これらの中でもチタンが好ましい。

（中空糸膜走行流路）
図３は、流路構造体１２３の上蓋部１２３ｂを外したときの本体部１２３ａの斜視図である。
図４は、図２における流路構造体のＡ−Ａ線における断面図である。
図５は、図２における流路構造体のＢ−Ｂ線における断面図である。
図３に示すように、本体部１２３ａには、多孔質中空糸膜Ｍの走行方向に沿って、上面に走行溝部１２５ａ，１２５ｂが形成されている。上蓋部１２３ｂの底面１２３ｃが本体部１２３ａの上面に密接して走行溝部１２５ａ，１２５ｂを覆うことにより、中空糸膜走行流路１２５（図１参照）が形成される。本実施形態の中空糸膜走行流路１２５（図２参照）は、多孔質中空糸膜Ｍの走行方向と平面上で直交する方向に、並列して８本形成されているが、中空糸膜走行流路１２５の本数は８本に限られることはない。
前記流路構造体は、走行方向と平面上で交差する方向に少なくとも二つの中空糸膜走行流路を有することが好ましい。前記走行溝部は、前記流路構造体を構成する分離可能な少なくとも二つの構造体のうちの少なくとも一つに形成されている。

図４に示すように、中空糸膜走行流路１２５の、多孔質中空糸膜Ｍの走行方向と直交する断面形状は、ほぼ三角形状又はほぼ矩形状であればよく、流路の形成が容易な点から矩形が好ましく、特に正方形が好ましい。また、中空糸膜走行流路１２５の断面形状が矩形であれば、断面形状が円形の場合に比べて、多孔質中空糸膜Ｍが流路の壁面と接触したとしてもその接触面積がより小さく、損傷が生じ難い点でも有利である。
また、本体部１２３ａ側と上蓋部１２３ｂの合わせ面の両方に半円形の流路を形成し、閉じ合わせることで円形流路を形成した場合に比べ、中空糸膜走行流路１２５の断面形状を矩形とし、その一辺を上蓋部１２３ｂの底部によって形成すると、走行溝部１２５ａ，１２５ｂの形成は本体部１２３ａ側のみでよく、上蓋部１２３ｂの合わせ面をフラットにすることができる。このようにすると、中空糸膜走行流路１２５を形成する際の加工が容易であり、本体部１２３ａ側と上蓋部１２３ｂの精密な位置合わせは不要となる。また、走行溝部１２５ａ，１２５ｂに多孔質中空糸膜Ｍを配置した際、多孔質中空糸膜Ｍは流路に完全に埋まり込むため、上蓋部１２３ｂを閉じる際に合わせ面に多孔質中空糸膜Ｍを挟みこんでしまう恐れがなくなる。

中空糸膜走行流路１２５の断面形状が三角形の場合も、その一辺を上蓋部１２３ｂの底部によって形成すると矩形と同じ効果が得られる。中空糸膜走行流路１２５の断面形状が三角形の場合、正三角形が好ましい。
中空糸膜走行流路１２５の断面形状を正多角形にすると、中空糸膜走行流路１２５内の多孔質中空糸膜Ｍ周囲を流動する洗浄液Ｌの流動状態が、多孔質中空糸膜Ｍの中心軸に対し軸対称状態となり、中空糸膜走行流路１２５内の多孔質中空糸膜Ｍの走行状態が安定しやすくなる。
ただし、中空糸膜走行流路１２５の断面形状は矩形や三角形には限定されず、三角形以外の多角形や円形などであってもよい。
また、中空糸膜走行流路１２５は曲面で構成されていてもよい。

中空糸膜走行流路１２５の壁面と多孔質中空糸膜Ｍの最小隙間は多孔質中空糸膜Ｍの直径の５％〜４０％が好ましく、１０％〜２０％がより好ましい。
最小隙間が前記下限値以上であれば、多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路１２５の壁面と接触することによる表面損傷や、多孔質中空糸膜Ｍの走行抵抗が増大することを抑制しやすい。
従って、中空糸膜走行流路１２５の幅ｄ１（図２参照）は多孔質中空糸膜Ｍの直径の１１０％〜１８０％が好ましく、１２０％〜１４０％がより好ましいことになる。また、中空糸膜走行流路１２５の高さｄ２（図２参照）も、多孔質中空糸膜Ｍの直径の１１０％〜１８０％が好ましく、１２０％〜１４０％がより好ましいことになる。

一方、最小隙間が前記上限値以下であれば、多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路１２５内で、洗浄液Ｌの流動により振動や屈曲を起こし、多孔質中空糸膜Ｍの走行抵抗が増大することを抑制できる。加えて、多孔質中空糸膜Ｍが走行する中空糸膜走行流路１２５内の洗浄液Ｌの圧力を、所定の圧力に低下又は上昇させるのに必要な液体吸引手段１２４での洗浄液Ｌの吸引量も抑制できる。

中空糸膜走行流路１２５の内壁面は、多孔質中空糸膜Ｍが接触した場合でも多孔質中空糸膜Ｍの表面が損傷しないように、精密研削仕上げや研磨仕上げによって滑らかに仕上げることが好ましい。また前記仕上げに加え、中空糸膜走行流路１２５の内壁面には、多孔質中空糸膜Ｍとの摩擦抵抗を低減させるフッ素系コーティングやダイヤモンドライクカーボンコーティングなどを施すのがさらに好ましい。

（拡大空間部）
図５に示すように、中空糸膜走行流路１２５の一端側の入口（入口１２１ａ）と他端側の出口（出口１２１ｂ）との間には、拡大空間部１２６が形成されている。
拡大空間部１２６は、本体部１２３ａの上面を凹ませることで形成された本体側凹部１２６ｂと、本体側凹部１２６ｂと対応した位置において上蓋部１２３ｂの底面１２３ｃを凹ませることで形成された上蓋側凹部１２６ａとにより形成される。
本体側凹部１２６ｂは、８本並列に配置された走行溝部１２５ａ，１２５ｂの全てと連通するように形成されている。また、走行方向における本体側凹部１２６ｂの幅は、下方から上方に向かって漸次広くなるように形成されている。すなわち、本体側凹部１２６ｂの底面（拡大空間部の底面）と走行溝部１２５ａ，１２５ｂの底面とを接続する側面１２６ｃは、所定の傾斜角度θを有するテーパ面となっている。このように、側面１２６ｃをテーパ面とすることで、多孔質中空糸膜Ｍの走行時に、本体側凹部１２６ｂの側面１２６ｃと走行溝部１２５ａ，１２５ｂとで形成されるエッジに多孔質中空糸膜Ｍが引っ掛かるのを抑制している。

前記傾斜角度、すなわち前記拡大空間部の底面と、前記拡大空間部の底面と前記走行溝部の底面とを接続する側面とのなす角度θ１，θ２は、９０〜１７５度が好ましく、１００〜１７０度がより好ましく、１２０〜１５０度がさらに好ましい。前記傾斜角度が上記範囲内であると、前記拡大空間部内の前記走行溝部１２５ａ，１２５ｂの底面と前記側面１２６ｃとのなす角度が鈍角状になるため、中空糸膜を走行流路に導入することが容易になる。
前記拡大空間部における、上流側の前記傾斜角度θ１と下流側の前記傾斜角度θ２は異なっていてもよく、前記拡大空間部内の多孔質中空糸膜Ｍが均等に加圧されることから、上流側の前記傾斜角度θ１と下流側の前記傾斜角度θ２は等しい角度であることが好ましい。

多孔質中空糸膜Ｍの外周面から上蓋側凹部１２６ａの底面までの離間距離ｈ１は、多孔質中空糸膜Ｍの直径の１〜１０倍が好ましく、多孔質中空糸膜Ｍの直径の３〜７倍がより好ましい。また、多孔質中空糸膜Ｍの外周面から本体側凹部１２６ｂの底面までの離間距離ｈ２も同様に、多孔質中空糸膜Ｍの直径の１〜１０倍が好ましく、多孔質中空糸膜Ｍの直径の３〜７倍がより好ましい。
このように、上蓋側凹部１２６ａ及び本体側凹部１２６ｂを形成することで、拡大空間部１２６の断面積は、中空糸膜走行流路１２５の断面積よりも大きく形成される。拡大空間部１２６の断面積は、中空糸膜走行流路１２５の断面積の１０〜１４０倍が好ましく、３０〜７０倍がより好ましい。
また、このように、拡大空間部１２６を形成することで、拡大空間部１２６内において全ての多孔質中空糸膜Ｍの外周側を略均等に減圧でき、多孔質中空糸膜Ｍの内周側から外周側へ洗浄液Ｌを通液できる。

中空糸膜走行流路１２５と拡大空間部１２６とを合計した全走行流路の長さＤ（図２参照）は、１００〜２０００ｍｍが好ましく、３００〜１０００ｍｍがより好ましい。そのうち、拡大空間部１２６の長さは、全走行流路の長さＤの１０〜５０％が好ましく、全走行流路の長さＤの２０〜４０％がより好ましい。
全走行流路の長さＤが前記下限値以上であれば、多孔質中空糸膜Ｍ周囲の減圧に必要な洗浄液Ｌの吸引量が少なくてすむ。全走行流路の長さＤが前記上限値以下であれば、多孔質中空糸膜Ｍの走行抵抗や洗浄装置１１が過大になることを抑制しやすい。

拡大空間部１２６は、中空糸膜の外径をｄとしたときに、中空糸膜走行方向に平行な長さＸが、２ｄ≦Ｘ≦２００ｄを満足し、かつ、中空糸膜走行方向に直交する高さＷが、１.５ｄ≦Ｗ≦３０ｄを満足することが好ましい。長さＸのより好ましい範囲は２.５ｄ≦Ｘ≦１５０ｄであり、更に好ましい範囲は３ｄ≦Ｘ≦１００ｄである。高さＷのより好ましい範囲は１.８ｄ≦Ｗ≦２５ｄであり、更に好ましい範囲は２ｄ≦Ｗ≦２０ｄである。
長さＸ及び高さＷは、２.５ｄ≦Ｘ≦１５０ｄを満足し、かつ、１.８ｄ≦Ｗ≦２５ｄを満足することがより好ましく、３ｄ≦Ｘ≦１００ｄを満足し、かつ、２ｄ≦Ｗ≦２０ｄを満足することが更に好ましい。
前記長さＸは、拡大空間部における中空糸膜の走行方向と同一方向の拡大空間部の長さである。すなわち、側面１２６ｃと、拡大空間部の上流側に位置する走行溝部１２５ａとの接点ｐ１と側面１２６ｃと、拡大空間部の下流側に位置する走行溝部１２５ａとの接点ｐ２とを結ぶ直線の長さである。
前記高さＷは、拡大空間部における中空糸膜の走行方向に対して直交方向の拡大空間部の高さであり、拡大空間部における中空糸膜の走行方向に対して直交方向の上蓋側凹部１２６ａの底面から本体側凹部１２６ｂまでの高さである。すなわち、多孔質中空糸膜Ｍの外周面から上蓋側凹部１２６ａの底面までの離間距離ｈ１と、多孔質中空糸膜Ｍの外周面から本体側凹部１２６ｂの底面までの離間距離ｈ２に多孔質中空糸膜Ｍの外径ｄを合計した距離である。
長さＸが前記範囲内であると、膜走行方向の洗浄液が流動することにより発生する圧力損失による圧力勾配小さくでき、洗浄液の膜流通量を増やすことができ、かつ、拡大空間部での膜の搖動や撓みを抑制しやすい。
高さＷが前記範囲内であると、中空糸膜の周方向の圧力分布を均一化でき、かつ流路構造体の加工コストを抑制できる。

（分岐流路）
分岐流路は、洗浄液を圧送又は吸引して洗浄液を流通させる流路であり、前記中空糸膜走行流路又は前記拡大空間部に連結されている流路である。
図４に示すように、分岐流路１２２は、本体部１２３ａに形成された本体側凹部１２６ｂの底面から外側に貫通して形成されている。
第１減圧洗浄部１２０では、入口１２１ａから分岐流路１２２までの距離と、出口１２１ｂから分岐流路１２２までの距離とは等しく形成されている。また、入口１２１ａから分岐流路１２２までの流路の構造と、出口１２１ｂから分岐流路１２２までの流路の構造は、分岐流路１２２に対し対称構造であることが好ましい。
このような構造とすると、洗浄液Ｌを分岐流路１２２から液体吸引手段１２４により吸引した際に、中空糸膜走行流路１２５内に多孔質中空糸膜Ｍを引き込む力（膜中心軸方向の圧縮力）が分岐流路１２２を挟んで対称となる。分岐流路１２２の断面形状は特に限定されず、円形でもよいし矩形でもよい。

（上蓋部）
上蓋部１２３ｂは、前記流路構造体１２３を構成する少なくとも二つの構造体のうちの一つである。
上蓋部１２３ｂは、本体部１２３ａに対して着脱可能に形成されており、洗浄装置１１の稼動時には、上蓋部１２３ｂが本体部１２３ａに固定される。
上蓋部１２３ｂの本体部１２３ａへの固定手段としては、ボルトによる締結や、上蓋部１２３ｂを昇降させて本体部１２３ａに対して着脱可能とするネジ送り機構、又は油圧シリンダー、空圧シリンダー、若しくは水圧シリンダーなどの流体推進機構を用いたりすることが好ましい。
このように、上蓋部１２３ｂが本体部１２３ａに対して着脱可能とすることにより、上蓋部１２３ｂを外した状態で走行溝部１２５ａ，１２５ｂ内に容易に多孔質中空糸膜Ｍを挿入することが可能となる。したがって、中空糸膜走行流路１２５内に多孔質中空糸膜Ｍを簡単かつ効率よく配設することができる。また、何らかの原因により多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路１２５内で詰まって洗浄装置１が停止した場合であっても、本体部１２３ａから上蓋部１２３ｂを離脱させることで、中空糸膜走行流路１２５内を簡単に確認して容易にメンテナンスが行える。

図１に示すように、液体吸引手段１２４は、中空糸膜走行流路１２５内の洗浄液Ｌを分岐流路１２２を通じて吸引し、中空糸膜走行流路１２５及び拡大空間部１２６内の洗浄液Ｌの圧力を低下させる。
この例の液体吸引手段１２４は、洗浄液Ｌを吸引するエゼクター１２４ａと、洗浄液Ｌを作動流体としてエゼクター１２４ａに圧送するポンプ１２４ｂと、第一の配管１２４ｃと、第二の配管１２４ｄとを有しており、エゼクター１２４ａは第一の配管１２４ｃを介して分岐流路１２２及び第１洗浄槽１１１と接続されており、拡大空間部１２６内から、分岐流路１２２、及び第一の配管１２４ｃを通じて洗浄液Ｌを吸引できるようになっている。
吸引された洗浄液Ｌは、第一の配管１２４ｃを通じて第１洗浄槽１１１内に戻されるようになっている。ただし、本発明の洗浄装置１１はこの形態には限定されず、液体吸引手段１２４によって吸引した洗浄液Ｌは廃棄、又は別工程に移送される形態であってもよい。

エゼクター１２４ａは、ポンプ１２４ｂから圧送される洗浄液Ｌの運動エネルギーを利用して、拡大空間部１２６内の洗浄液Ｌを分岐流路１２２を通じて吸引する。具体的には、ポンプ１２４ｂより洗浄液Ｌを加圧しノズル（図示略）から高速吐出させ、その洗浄液Ｌの運動エネルギーを利用し、洗浄液Ｌを随伴吸引させる。
通常、液体を高減圧度で吸引する場合、ポンプ流路内やインペラー内で真空泡や減圧沸騰による蒸気泡が発生し、ポンプに異常振動が発生したりキャビテーションによるインペラーの損傷が起こったりする場合がある。
エゼクター１２４ａを用いた吸引は、このような現象やポンプの損傷を防ぐ方法として有効である。

エゼクター１２４ａの構造は極めて単純で、ポンプのような回転部がなく、内部で真空泡や減圧沸騰による蒸気泡が発生して振動が発生しても、エゼクター１２４ａは破損しにくい。加えて、異物を吸引しても破損したり詰まったりする恐れも少ない。
また、例えば第１減圧洗浄部１２０内部で多孔質中空糸膜Ｍが切断された場合、その端部を分岐流路１２２から洗浄液Ｌとともに吸い込むと、ポンプの回転部分に多孔質中空糸膜Ｍの端部が巻き付いて、ポンプがロックして停止したり、ポンプインペラーやモーターが破損したりする恐れがある。
これに対し、エゼクター１２４ａの場合は、多孔質中空糸膜Ｍの端部が巻き付く部分がなく、ポンプ１２４ｂからエゼクター１２４ａに加圧供給される洗浄液Ｌと一緒にエゼクター１２４ａの吐出口から排出されるだけで、ポンプ１２４ｂを損傷させる恐れはほとんどない。

ポンプ１２４ｂとしては、第１洗浄槽１１１から洗浄液Ｌを吸引し、吸引した洗浄液Ｌをエゼクター１２４ａに供給でき、必要な減圧度に到達できるものが好ましい。例えば単段や多段の渦巻きポンプ、カスケードポンプ、スクロールポンプ、又はギヤポンプなどが挙げられる。またポンプの駆動軸とモーター回転軸がマグネットカップリングにより接続されたシールレスタイプのポンプは、ポンプ回転軸は外気と遮断されており、高減圧状態の洗浄液Ｌにシール部から外気が漏入し減圧膨張によりポンプ効率が低下する恐れがなく特に好ましい。

液体吸引手段１２４は、不図示のインバータにより制御できるようになっていることが好ましい。
また、一定の圧力に保ちたい部分に不図示の圧力センサーを設け、前記圧力センサーの出力をインバータにフィードバックして、液体吸引手段１２４のポンプ１２４ｂのポンプ回転速度などを自動制御できるようにすることがより好ましい。

前記減圧洗浄部により減圧した際の圧力範囲は、−０．１ＭＰａ以上０ＭＰａ未満が好ましく、−０．０９ＭＰａ以上−０．０３ＭＰａ未満がより好ましく、−０．０８ＭＰａ以上−０．０４ＭＰａ未満が更に好ましい。

（加圧洗浄部）
図１に示す加圧洗浄部１３０は、洗浄液Ｌに浸漬された多孔質中空糸膜Ｍの外周側の洗浄液を加圧し、多孔質中空糸膜Ｍの外周側から内周側へ洗浄液Ｌを供給させる。
加圧洗浄部１３０は、洗浄液Ｌ中に配置されて内部が洗浄液Ｌで満たされる流路構造体１３３と、前記流路構造体１３３の中空糸膜走行流路１３５内に洗浄液Ｌを圧入して中空糸膜走行流路１３５内の洗浄液Ｌの圧力を上昇させる液体圧入手段１３４とを有している。
液体圧入手段１３４は、洗浄液Ｌを中空糸膜走行流路１３５内に圧送するポンプ１３４ｂと、一端が第２洗浄槽１１２と接続され、他端が流路構造体１３３の分岐流路１３２に接続された第一の配管１３４ｃとを有している。

分岐流路１３２は第一の配管１３４ｃを介して液体圧入手段１３４のポンプ１３４ｂと接続されており、ポンプ１３４ｂによって、分岐流路１３２を通じて中空糸膜走行流路１３５内に洗浄液Ｌを圧入できるようになっている。これにより、中空糸膜走行流路１３５内での洗浄液Ｌの流動圧力損失によって、中空糸膜走行流路１３５内での洗浄液Ｌの圧力を上昇させることができる。
加圧洗浄部１３０は、このように洗浄液Ｌが満たされ、かつ加圧された状態の中空糸膜走行流路１３５内を通過するように、多孔質中空糸膜Ｍを連続的に走行させるようになっている。

流路構造体１３３の構成は、第１減圧洗浄部１２０の流路構造体１２３と同じである。すなわち、図２から図５に示す流路構造体１２３のように、中空糸膜走行流路１２５を形成する走行溝部１２５ａ，１２５ｂ、本体側凹部１２６ｂ及び分岐流路１２２が形成された本体部１２３ａの上部が、上蓋側凹部１２６ａが形成された上蓋部１２３ｂによって閉じられることで形成されている。
流路構造体１３３として図２に示す流路構造体１２３を用いた場合、本体部１２３ａに対し上蓋部１２３ｂを密着させた状態で洗浄液Ｌを圧入すると、中空糸膜走行流路１２５の内部は加圧状態となり、上蓋部１２３ｂを押し上げる力が働いて上蓋部１２３ｂが本体部１２３ａから持ち上がり、隙間が生じて加圧状態の洗浄液Ｌが漏れ、内部の洗浄液Ｌの圧力が低下することがある。そのため、上蓋部１２３ｂには常時、上蓋部１２３ｂを押し上げる力より大きな閉止力を与えるのが好ましい。
上蓋部１２３ｂへの閉止力付与には、前述のとおり、上蓋部１２３ｂを本体部１２３ａにボルトなどで締結したり、上蓋部１２３ｂの昇降と閉止力付与を兼ねることができるネジ送り機構、油圧シリンダー、空圧シリンダー、又は水圧シリンダーなどの流体推進機構を用いたりすることが好ましい。

また、中空糸膜走行流路１３５、拡大空間部１３６及び分岐流路１３２の断面形状についても、第１減圧洗浄部１２０の流路構造体１２３と同一である。
さらに、中空糸膜走行流路１３５の幅や高さ、拡大空間部１３６の長さや面積、又は全走行流路Ｄの長さ等についても、第１減圧洗浄部１２０の流路構造体１２３と同一である。

加圧洗浄部１３０では、入口１３１ａから分岐流路１３２までの距離と、出口１３１ｂから分岐流路１３２までの距離とはそれぞれ等しくてもよいし、分岐流路１３２から出口１３１ｂまでの距離を、分岐流路１３２から入口１３１ａまでの距離よりも短く設定してもよい。
特に、分岐流路１３２から出口１３１ｂまでの距離を、分岐流路１３２から入口１３１ａまでの距離よりも短くした構造とすると、洗浄液Ｌを分岐流路１３２から液体圧入手段１３４により圧入した際、多孔質中空糸膜Ｍには中空糸膜走行流路１３５内から引き出される力（膜中心軸方向の張力）が分岐流路１３２を挟んで発生するが、その力は出口１３１ｂ側が強くなり、多孔質中空糸膜Ｍが入口１３１ａから出口１３１ｂに向かって移動させる推力に利用できる。

液体圧入手段１３４は、第２洗浄槽１１２内の洗浄液Ｌを吸引し、分岐流路１３２を通じて圧入し、中空糸膜走行流路１２５内及び／又は拡大空間部１３６内の洗浄液Ｌの圧力を上昇させる。
この例の液体圧入手段１３４は、洗浄液Ｌを中空糸膜走行流路１３５内に圧送するポンプ１３４ｂと、第一の配管１３４ｃとを有しており、ポンプ１３４ｂは第一の配管１３４ｃを介して分岐流路１３２及び第２洗浄槽１１２と接続されており、第一の配管１３４ｃを通じ分岐流路１３２を経て中空糸膜走行流路１３５内に洗浄液Ｌを圧入できるようになっている。

液体圧入手段１３４としては、拡大空間部１３６内に洗浄液Ｌを分岐流路１３２を通じて圧入し、所定の圧力を発生可能な揚程、及び吐出量を持つもので、洗浄液Ｌで腐食しない材質、又は接液部コーティングがされているものであればよい。例えば単段や多段の渦巻きポンプ、カスケードポンプ、スクロールポンプ、又はギヤポンプなどが挙げられる。またポンプの駆動軸とモーター回転軸がマグネットカップリングにより接続されたシールレスタイプのポンプは、ポンプ回転軸は外気と遮断されており、高減圧状態の洗浄液Ｌにシール部から外気が漏入し減圧膨張によりポンプ効率が低下する恐れがなく特に好ましい。

液体圧入手段１３４は、不図示のインバータにより制御できるようになっていることが好ましい。
また、一定の圧力に保ちたい部分に不図示の圧力センサーを設け、前記圧力センサーの出力をインバータにフィードバックして、液体圧入手段１３４のポンプ１３４ｂのポンプ回転速度などを自動制御できるようにすることがより好ましい。

前記加圧洗浄部により圧力を付与した際の圧力範囲は、０．０１ＭＰａ以上１ＭＰａ未満が好ましく、０．０５ＭＰａ以上０．５ＭＰａ未満がより好ましく、０．１ＭＰａ以上０．３ＭＰａ未満が更に好ましい。

（第２減圧洗浄部）
図１に示すように、第２減圧洗浄部１４０は、洗浄液に浸漬された多孔質中空糸膜Ｍの外周側の洗浄液を減圧し、多孔質中空糸膜Ｍの内側から外周側へ洗浄液Ｌを通液させる。
第２減圧洗浄部１４０は、中空糸膜走行流路１４５と、拡大空間部１４６と、前記拡大空間部１４６から分岐する分岐流路１４２とが内部に形成され、洗浄液Ｌ中に配置されて内部が洗浄液Ｌで満たされる流路構造体１４３と、前記流路構造体１４３の拡大空間部１４６内の洗浄液Ｌを吸引して、拡大空間部１４６内の洗浄液Ｌの圧力を低下させる液体吸引手段１４４とを有している。
液体吸引手段１４４は、洗浄液Ｌを吸引するエゼクター１４４ａと、洗浄液Ｌを作動流体としてエゼクター１４４ａに圧送するポンプ１４４ｂと、一端が流路構造体１４３の分岐流路１４２と接続され、他端が第３洗浄槽１１３に接続された第一の配管１４４ｃと、一端が第３洗浄槽１１３に接続され、他端がエゼクター１４４ａに接続された第二の配管１４４ｄを有している。
第２減圧洗浄部１４０は、第１減圧洗浄部１２０と同じ構成であるため、各部材についての説明は省略する。

（供給手段）
供給手段１５０は、最も下流側に配置された洗浄槽１１０（本実施形態では第３洗浄槽）に清浄な洗浄液を供給する。供給手段１５０は、清浄な洗浄液を収容するタンク１５１と、清浄な洗浄液を第３洗浄槽１１３に送る供給配管１５２とを備える。

（規制手段）
規制手段１６０は、多孔質中空糸膜Ｍの走行を規制する。
図１の規制手段６０は、ガイドロール１６１ａ〜１６１ｊから構成されている。多孔質中空糸膜Ｍは、これらガイドロール１６１ａ〜１６１ｊによって走行を規制される。具体的には、図１に示すように、多孔質中空糸膜Ｍは連続的に第１洗浄槽１１１に収容された洗浄液Ｌ中に引き込まれ、第１減圧洗浄部１２０の入口１２１ａから流路構造体１２３の中空糸膜走行流路１２５内に導入され、中空糸膜走行流路１２５内及び拡大空間部１２６内の洗浄液Ｌ中を通過して出口１２１ｂから導出された後、洗浄液Ｌの外部へと引き出される。ついで、多孔質中空糸膜Ｍは第２洗浄槽１２に収容された洗浄液Ｌ中に引き込まれ、加圧洗浄部１３０の入口１３１ａから流路構造体１３３の中空糸膜走行流路１３５内に導入され、中空糸膜走行流路１３５内及び拡大空間部１３６内の洗浄液Ｌ中を通過して出口１３１ｂから導出された後、洗浄液Ｌの外部へと引き出される。引き続き、第３洗浄槽１３に収容された洗浄液Ｌ中に引き込まれ、第２減圧洗浄部１４０の入口１４１ａから流路構造体１４３の中空糸膜走行流路１４５内に導入され、中空糸膜走行流路１４５内及び拡大空間部１４６内の洗浄液Ｌ中を通過して出口１４１ｂから導出された後、洗浄液Ｌの外部へと引き出されるようになっている。
規制手段１６０におけるガイドロール１６１ａ〜１６１ｊとしては、多孔質中空糸膜Ｍの製造に通常使用されるガイドロールが使用できる。

本洗浄装置の中空糸膜の走行方向の下流側には、中空糸膜走行流路毎にガイドロール１６１ｊを駆動させる、個別定張力駆動アシストロール（図示略）を設置してもよい。前記アシストロールを設置することにより、中空糸膜走行流路１２５内での中空糸膜Ｍの張力を安定化することができ、中空糸膜の撓みや揺動による前記走行流路内の詰まりを回避することができる。

本洗浄装置において、本体部１２３ａの上蓋部１２３ｂと接する面であって、前記走行流路１２５と平行かつ前記流路構造体１２３の最も外側に位置する前記面にパッキンを設置してもよい。前記パッキンを設置することにより、加圧洗浄時に走行流路１２５を流れる洗浄液の、走行方向と直交する方向への漏れを防止できる。洗浄液の漏れを防止することにより、走行流路１２５を走行する多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路１２５上の洗浄液の漏れ部に洗浄液の漏れに伴い貼りついてしまい走行できない状態となり走行流路が詰まる現象を防止できる。

（第１実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、中空糸膜走行流路１２５は、本体部１２３ａに形成された走行溝部１２５ａ，１２５ｂと、本体部１２３ａに対して着脱可能な上蓋部１２３ｂと、により構成されているので、上蓋部１２３ｂを外すことにより、走行溝部１２５ａ，１２５ｂの上面が完全に開放され、中空糸膜走行流路１２５内に多孔質中空糸膜Ｍを簡単かつ効率よく配設できる。また、多孔質中空糸膜Ｍの洗浄時に、何らかの原因により多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路１２５内で詰まって洗浄装置１１が停止した場合であっても、本体部１２３ａから上蓋部１２３ｂを離脱させることで、中空糸膜走行流路１２５内を簡単に確認して容易にメンテナンスができる。したがって、洗浄装置１１の効率を高めることができる。

また、本実施形態によれば、走行溝部１２５ａ，１２５ｂと上蓋部１２３ｂとで形成される中空糸膜走行流路１２５の断面形状を三角形状又は略矩形状に形成することで、中空糸膜走行流路１２５内の多孔質中空糸膜Ｍの周囲を流動する洗浄液Ｌの流動状態が、多孔質中空糸膜Ｍの中心軸に対し軸対称状態となる。これにより、多孔質中空糸膜Ｍに対する洗浄液Ｌの接触環境が多孔質中空糸膜Ｍの周方向で偏らないので、中空糸膜走行流路１２５内の多孔質中空糸膜Ｍの走行状態を安定させることができる。さらに、流路構造体を構成する分離可能な少なくとも二つの構造体のうち少なくとも一つの構造体が少なくとも一つの平面を有し、前記中空糸膜走行流路を構成する一つの面が前記平面を共有していることが好ましい。すなわち、三角形状又は矩形状を形成する二以上の辺のうちの１辺を上蓋部１２３ｂにより形成することにより、上蓋部１２３ｂを離脱させて走行溝部１２５ａ，１２５ｂに容易に多孔質中空糸膜Ｍを配設できる。このように、中空糸膜走行流路２５内に簡単かつ効率よく多孔質中空糸膜Ｍを配設できるので、洗浄装置１１の効率を高めることができる。

（第２実施形態）
図６は、第２実施形態の流路構造体１２３の本体部１２３ａの斜視図である。
図７は、上流側から見た第２実施形態の流路構造体１２３の走行方向に直交する断面図である。
上述した第１実施形態では、図３に示すように、拡大空間部１２６を構成する本体側凹部１２６ｂが８本並列に配置された走行溝部１２５ａ，１２５ｂの全てと連通するように形成されていた。これに対して、第２実施形態では、図６に示すように、本体側凹部１２６ｂが８本並列に配置された走行溝部１２５ａ，１２５ｂに対して、それぞれ独立に８個形成されている点で、第１実施形態とは異なっている。以下に、第２実施形態の流路構造体１２３について説明する。第１実施形態と同様の構成については、説明を省略する。

図７に示すように、本体側凹部１２６ｂは、８本形成された中空糸膜走行流路１２５の入口１２１ａと出口１２１ｂとの間において、それぞれ独立に８個形成されている。各本体側凹部１２６ｂの下方には、各本体側凹部１２６ｂを接続する接続凹部１２６ｄが形成されている。すなわち、各本体側凹部１２６ｂ本体部１２３ａの上面と接続凹部１２６ｄとを連通する貫通孔として形成されており、下方が接続凹部１２６ｄを介して各本体側凹部１２６ｂが連通されている。接続凹部１２６ｄの底部には分岐流路１２２が形成されており、分岐流路１２２を通じて液体吸引手段１２４により洗浄液Ｌが吸引されることで、拡大空間部１２６内の洗浄液Ｌの圧力を低下させている。

（第２実施形態の作用効果）
本実施形態によれば、二以上の中空糸膜走行流路１２５と、各々の中空糸膜走行流路１２５の入口１２１ａと出口１２１ｂとの間に、各々個別に拡大空間部１２６を形成しているので、二以上の多孔質中空糸膜Ｍを一度に良好に洗浄できる。したがって、洗浄装置１１の効率をさらに高めることができる。

（第３実施形態の多孔質中空糸膜の洗浄装置）
本発明の一つの態様である第３実施形態の多孔質中空糸膜の洗浄装置は、前記多孔質中空糸膜が順次通過する、洗浄液を収容した少なくとも一つの洗浄槽と、洗浄液に浸漬された多孔質中空糸膜の外周側の洗浄液を加圧し、洗浄液を多孔質中空糸膜の内周側から外周側に通液させる加圧洗浄部及び／又は洗浄液に浸漬された多孔質中空糸膜の外周側の洗浄液を減圧し、洗浄液を多孔質中空糸膜の内周側から外周側へ通液させる減圧洗浄部と、前記洗浄槽に前記洗浄液を供給する供給手段と、前記洗浄槽内に備えられた一端側の入口から他端側の出口に向かって前記多孔質中空糸膜が連続的に走行可能な中空糸膜走行流路を有する流路構造体と、中空糸膜移動手段とを有する洗浄装置であって、前記加圧洗浄部は、前記洗浄液中に配置されて内部が洗浄液で満たされる前記流路構造体と、前記流路構造体の中空糸膜走行流路内に洗浄液を圧入して中空糸膜走行流路内の洗浄液の圧力を上昇させる液体圧入手段とを有し、前記減圧洗浄部は、前記洗浄液中に配置されて内部が洗浄液で満たされる前記流路構造体と、前記流路構造体の中空糸膜走行流路内の洗浄液を吸引して中空糸膜走行流路内の洗浄液の圧力を低下させる液体吸引手段とを有し、前記流路構造体は、分離可能な少なくとも二つの構造体からなり、前記流路構造体は、前記少なくとも二つの構造体のうち、少なくとも一つの構造体に形成された走行溝部と、前記洗浄液を圧送又は吸引して前記洗浄液を流通させる分岐流路と、を有し、前記分岐流路は、前記走行溝部に連結されている流路であり、前記中空糸膜移動手段は、前記少なくとも二つの構造体の着脱と連動して、前記走行溝部内から前記多孔質中空糸膜を着脱させる。

以下に、第３実施形態の多孔質中空糸膜の洗浄装置について、図面を参照しながら説明する。
図８は、本実施形態の多孔質中空糸膜Ｍの洗浄装置２１の説明図である。
第３実施形態は、走行溝部内から多孔質中空糸膜を着脱させる中空糸膜移動手段を有する点、及び異常箇所回避制御Ｓ１０を行う点で、第１及び第２実施形態とは異なっている。以下に第３実施形態の多孔質中空糸膜Ｍの洗浄装置２１について説明する。第１又は第２実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
図８に示す多孔質中空糸膜Ｍの洗浄装置２１は、多孔質中空糸膜Ｍが順次通過する、洗浄液Ｌを収容した３個の洗浄槽２１０（第１洗浄槽２１１、第２洗浄槽２１２、及び第３洗浄槽２１３）と、多孔質中空糸膜Ｍを洗浄する、第１減圧洗浄部２２０と加圧洗浄部２３０と第２減圧洗浄部２４０と、下流側の洗浄槽に清浄な洗浄液を供給する供給手段２５０と、多孔質中空糸膜Ｍの走行を規制する規制手段２６０とを備えて構成される。

多孔質中空糸膜Ｍの洗浄装置２１は、第１減圧洗浄部２２０と、加圧洗浄部２３０と、第２減圧洗浄部２４０は直列に配列され、この配列の両端には第１減圧洗浄部２２０と第２減圧洗浄部２４０とが位置している。
また、最も上流側に配置された第１洗浄槽２１１には第１減圧洗浄部２２０が収められ、第１洗浄槽２１１の下流側の第２洗浄槽２１２には加圧洗浄部２３０が収められ、第２洗浄槽２１２の下流側の第３洗浄槽２１３には第２減圧洗浄部２４０が収められている。

（洗浄槽）
洗浄槽２１０は、洗浄液Ｌを収容する。
洗浄槽２１０の材質、形状、大きさ、及び構成は、前記第１実施形態の洗浄槽と同じである。

（第１減圧洗浄部）
図９は、第３実施形態の流路構造体２２３の側面図である。
第１減圧洗浄部２２０は、洗浄液Ｌに浸漬された多孔質中空糸膜Ｍの外周側の洗浄液を減圧し、多孔質中空糸膜Ｍの内周側から外周側へ洗浄液Ｌを通液させる。
図８に示す第１減圧洗浄部２２０は、中空糸膜走行流路２２５（図９参照）と、拡大空間部２２６（図９参照）と、前記拡大空間部２２６から分岐する分岐流路２２２（図９参照）とが内部に形成され、洗浄液Ｌ中に配置されて内部が洗浄液Ｌで満たされる流路構造体２２３と、前記流路構造体２２３の拡大空間部２２６内の洗浄液Ｌを吸引して、拡大空間部２２６内の洗浄液Ｌの圧力を低下させる液体吸引手段２２４とを有している。
前記流路構造体２２３の構成は、第１実施形態の流路構造体１２３と同じである。

（流路構造体）
図９に示すように、流路構造体２２３は、本体部２２３ａと、上蓋部２２３ｂと、前記上蓋部２２３ｂの上流側及び下流側に設けられた中空糸膜移動手段２８０（２８０ａ，２８０ｂ）と、を備えている。
流路構造体２２３を構成する本体部２２３ａ及び上蓋部２２３ｂの材質は、第１実施形態の本体部１２３ａ及び上蓋部１２３ｂの材質と同じである。

（中空糸膜走行流路）
図１０は、流路構造体２２３の上蓋部２２３ｂを外したときの本体部２２３ａの斜視図である。
図１１は、上流側から見た流路構造体２２３の走行方向に垂直な断面図である。
図１０に示すように、本体部２２３ａには、多孔質中空糸膜Ｍの走行方向に沿って、上面に走行溝部２２５ａ，２２５ｂが形成されている。図１１に示すように、上蓋部２２３ｂの底面２２３ｃが本体部２２３ａの上面に密接して走行溝部２２５ａ，２２５ｂを覆うことにより、中空糸膜走行流路２２５が形成される。本実施形態の中空糸膜走行流路２２５は、多孔質中空糸膜Ｍの走行方向と平面上で直交する方向に、並列して８本形成されているが、中空糸膜走行流路２２５の本数は８本に限られることはない。

中空糸膜走行流路２２５は、第１実施形態の中空糸膜走行流路１２５と同じ構成であるため、各部材についての説明は省略する。

（拡大空間部）
図９に示すように、中空糸膜走行流路２２５の入口２２１ａと出口２２１ｂとの間には、拡大空間部２２６が形成されている。前記拡大空間部２２６の構成は第１実施形態の拡大空間部１２６と同じである。

多孔質中空糸膜Ｍの外周面から上蓋側凹部２２６ａの底面までの離間距離ｈ１、多孔質中空糸膜Ｍの外周面から本体側凹部２２６ｂの底面までの離間距離ｈ２、拡大空間部２２６の断面積、及び中空糸膜走行流路２２５と拡大空間部２２６とを合計した全走行流路の長さＤは、第１実施形態の拡大空間部１２６と同じである。

（分岐流路）
図１１に示すように、分岐流路２２２は、本体部２２３ａに形成された本体側凹部２２６ｂの底面から外側に貫通して形成されている。前記分岐流路２２２の構成は、第１実施形態の分岐流路１２２と同じである。

（上蓋部）
上蓋部２２３ｂは、前記流路構造体２２３を構成する少なくとも二つの構造体のうちの一つであり、構造体移動手段は、前記少なくとも二つの構造体を分離させる手段である。
図１２は、第３実施形態の上蓋部２２３ｂ、及び上蓋部移動手段（構造体移動手段）２９０の説明図である。図１２は、走行方向から流路構造体２２３及び上蓋部移動手段２９０を見たときの説明図となっている。
図１２に示すように、上蓋部２２３ｂは、後述する上蓋部移動手段２９０により、上蓋部２２３ｂが下降移動することで本体部２２３ａに装着され、上蓋部２２３ｂが上昇移動することで本体部２２３ａから離脱されるように形成されている。すなわち、上蓋部２２３ｂは、昇降動作によって本体部２２３ａに対して着脱可能に形成されている。

上蓋部２２３ｂは、平面視略矩形状に形成されており、上蓋部２２３ｂの四隅には、上蓋部移動手段２９０を構成するガイドロッド２９３が挿通されるガイド孔２９２が形成されている。
上蓋部２２３ｂは、ガイド孔２９２とガイドロッド２９３により水平方向に位置規制されるとともに、ガイドロッド２９３に沿って昇降移動可能となっている。上蓋部移動手段２９０によりガイドロッド２９３に沿うように昇降移動されることで、上蓋部２２３ｂが本体部２２３ａに対して着脱可能となっている。

このように、上蓋部２２３ｂが本体部２２３ａに対して着脱可能とすることにより、上蓋部２２３ｂを外した状態で走行溝部２２５ａ，２２５ｂ内に容易に多孔質中空糸膜Ｍを挿入することが可能となる。したがって、中空糸膜走行流路２２５内に多孔質中空糸膜Ｍを簡単かつ効率よく配設することができる。
さらに、後述する異常箇所回避制御Ｓ１０（図１５参照）では、多孔質中空糸膜Ｍの外径異常箇所を検知したときに、本体部２２３ａから上蓋部２２３ｂを上昇させて離脱させるとともに、多孔質中空糸膜Ｍを上昇させて中空糸膜走行流路２２５から離脱させている。これにより、異常箇所Ｊ（図１６参照）を有する多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内で詰まるのを防止している。

（上蓋部移動手段）
本実施形態の上蓋部移動手段２９０は、上蓋部２２３ｂの上方に配置された空圧シリンダー２９５である。空圧シリンダー２９５は、上蓋部２２３ｂの上面に固定され昇降移動可能なピストン部２９１と、ピストン部２９１を昇降させるシリンダーチューブ２９４と、本体部２２３ａの四隅から上方に立設された４本のガイドロッド２９３と、により構成されている。

上蓋部移動手段２９０は、不図示のエア源により、シリンダーチューブ２９４内へ空気を供給することにより、ピストン部２９１を昇降移動させている。
ピストン部２９１は、上蓋部２２３ｂの上面に固定されており、上蓋部２２３ｂは、ピストン部２９１の昇降移動に連動して昇降移動するように構成されている。前述のとおり、上蓋部２２３ｂの各ガイド孔２９２にはそれぞれガイドロッド２９３が挿通されているため、上蓋部２２３ｂはガイドロッド２９３に沿って昇降移動する。上蓋部２２３ｂの上蓋部移動手段２９０としては、空圧シリンダーに限られることはなく、油圧シリンダー、又は水圧シリンダーであってもよい。

（中空糸膜移動手段）
図１３は、中空糸膜移動手段２８０（２８０ａ，２８０ｂ）の説明図である。上流側の中空糸膜移動手段２８０ａ及び下流側の中空糸膜移動手段２８０ｂは、同一の構成となっている。したがって、以下の説明では、上流側の中空糸膜移動手段２８０ａについてのみ説明をし、下流側の中空糸膜移動手段２８０ｂの説明は省略している。
中空糸膜移動手段２８０ａは、前記流路構造体２２３を構成する少なくとも二つの構造体の着脱と連動して、前記走行溝部２２５ａ，２２５ｂ内から前記多孔質中空糸膜Ｍを着脱させる手段である。
中空糸膜移動手段２８０ａは、主に上蓋部２２３ｂの上流側端面において、走行方向と交差する方向に固定される一対のブラケット２８１ａと、一対のブラケット２８１ａ間において回転可能に軸支された回転ローラ２８５ａと、により構成されている。

図１３に示すように、ブラケット２８１ａは、鉄やＳＵＳ等の金属や樹脂等により平面視略Ｌ字形状に形成されている。ブラケット２８１ａの一辺は上蓋部２２３ｂの上流側端面に固定される台座部２８２ａとなっており、他辺は回転ローラ２８５ａを軸支する軸支部２８３ａとなっている。ブラケット２８１ａは、例えばボルト２８９により上蓋部２２３ｂの上流側端面に固定されるが、固定手段はボルト２８９に限られず、例えば溶接等であってもよい。

図９に示すように、ブラケット２８１ａの軸支部２８３ａは、本体部２２３ａに形成された走行溝部２２５ａ，２２５ｂの底面よりも下方に延出されて形成されている。
軸支部２８３ａの下方への延出長さは、上蓋部２２３ｂが本体部２２３ａに密着して装着されている状態において、一対の軸支部２８３ａの間に配置された回転ローラ２８５ａの外周面が多孔質中空糸膜Ｍの下方に配置されるように設定される。さらに、軸支部２８３ａの下方への延出長さは、回転ローラ２８５ａと多孔質中空糸膜Ｍとの離間距離が、前述の上蓋部移動手段２９０の上昇ストローク長よりも短くなるように設定される。これにより、上蓋部移動手段２９０が上蓋部２２３ｂを上昇させたときに、回転ローラ２８５ａが多孔質中空糸膜Ｍに当接して、多孔質中空糸膜Ｍを上方に移動させることができる。

図１３に示すように、回転ローラ２８５ａは、金属や樹脂等により形成された円柱状構造体であり、一対のブラケット２８１ａの軸支部２８３ａ間に、回転可能に軸支されている。回転ローラ２８５ａの軸方向の移動は、例えばナット２８８を回転ローラ２８５ａの軸芯２８６に締結することで規制される。
また、回転ローラ２８５ａの軸芯２８６と、ブラケット２８１ａの軸支部２８３ａとの間には、回転ローラ２８５ａの軸芯２８６とブラケット２８１ａとの摺動抵抗を低減し、回転中心からの軸芯２８６のズレを防止するベアリング２８４が設けられている。
本実施形態では、ポリエーテルエーテルケトン（以下、「ＰＥＥＫ」という。）からなる樹脂製のベアリング２８４を用いることが好ましい。ＰＥＥＫは、ポリエーテルケトン樹脂の一種で、結晶性の熱可塑性樹脂に属する合成樹脂である。ＰＥＥＫは、非常に高い耐熱特性を有しており、耐疲労性又は耐摩耗性に優れている。さらに、寸法安定性も高く、耐薬品性にも優れている。また、金属製のベアリングとは異なり、非常に軽量である。
ベアリング２８４の材料は、ＰＥＥＫに限られることは無く、例えばフェノール樹脂やポリテトラフルオロエチレン等、その他の樹脂材料であってもよい。また、ベアリング２８４の材料は、樹脂材料に限られることは無く、ＳＵＳ材等の金属材料であってもよい。

図８に示すように、液体吸引手段２２４は、中空糸膜走行流路２２５内の洗浄液Ｌを、分岐流路２２２を通じて吸引し、中空糸膜走行流路２２５及び拡大空間部２２６内の洗浄液Ｌの圧力を低下させる。
第３実施形態の液体吸引手段２２４、エゼクター２２４ａ、及びポンプ２２４ｂの構成は、第１実施形態の液体吸引手段１２４、エゼクター１２４ａ及びポンプ１２４ｂの構成と同じである。

第３実施形態の液体吸引手段２２４は、後述の異常箇所回避制御Ｓ１０（図１５参照）において、洗浄液調整制御部２１３０（図１４参照）により制御されており、外径検知手段２１２０によって多孔質中空糸膜の異常箇所を検出した場合に、ポンプ２２４ｂを停止させて洗浄液流動停止動作Ｓ２０を行っている。洗浄液流動停止動作Ｓ２０の詳細については後述する。

（加圧洗浄部）
図８に示す第３実施形態の加圧洗浄部２３０は、洗浄液Ｌに浸漬された多孔質中空糸膜Ｍの外周側の洗浄液を加圧し、多孔質中空糸膜Ｍの外周側から内周側へ洗浄液Ｌを供給させる。
加圧洗浄部２３０、及び分岐流路２３２の構成は、第１実施形態の加圧洗浄部１３０及び分岐流路１３２の構成と同じである。

流路構造体２３３の構成は、第１減圧洗浄部２２０の流路構造体２２３と同じである。すなわち、図９から図１１に示す流路構造体２２３のように、中空糸膜走行流路２２５を形成する走行溝部２２５ａ，２２５ｂ、本体側凹部２２６ｂ及び分岐流路２２２が形成された本体部２２３ａの上部が、上蓋側凹部２２６ａが形成された上蓋部２２３ｂによって閉じられることで形成されている。
流路構造体２３３として図９に示す流路構造体２２３を用いた場合、本体部２２３ａに対し上蓋部２２３ｂを密着させた状態で洗浄液Ｌを圧入すると、中空糸膜走行流路２２５の内部は加圧状態となり、上蓋部２２３ｂを押し上げる力が働いて上蓋部２２３ｂが本体部２２３ａから持ち上がり、隙間が生じて加圧状態の洗浄液Ｌが漏れ、内部の洗浄液Ｌの圧力が低下することがある。そのため、上蓋部２２３ｂには常時、上蓋部２２３ｂを押し上げる力より大きな閉止力を与えるのが好ましい。

上蓋部２２３ｂへの閉止力付与には、前述の油圧シリンダー、空圧シリンダー、又は水圧シリンダーなどの流体推進機構を用いている。これにより、上蓋部２２３ｂが自動制御で昇降可能に構成されるとともに、上蓋部２２３ｂに閉止力付与が可能となり、加圧洗浄部２３０においても異常箇所回避制御を行うことができる。

また、中空糸膜走行流路２３５、拡大空間部２３６及び分岐流路２３２の断面形状についても、第１減圧洗浄部２２０の流路構造体２２３と同一である。
さらに、中空糸膜走行流路２３５の幅や高さ、拡大空間部２３６の長さや面積、又は全走行流路Ｄの長さ等についても、第１減圧洗浄部２２０の流路構造体２２３と同一である。

加圧洗浄部２３０の入口２３１ａ及び出口２３１ｂの構成は、第１実施形態の加圧洗浄部１３０の入口１３１ａ及び出口１３１ｂと同じである。

液体圧入手段２３４は、第２洗浄槽２１２内の洗浄液Ｌを吸引し、分岐流路２３２を通じて圧入し、拡大空間部２３６内の洗浄液Ｌの圧力を上昇させる。
第３実施形態の液体圧入手段２３４の構成は、第１実施形態の液体圧入手段１３４と同じである。

第３実施形態の液体圧入手段２３４は、不図示のインバータにより制御できるようになっている。
また、一定の圧力に保ちたい部分に不図示の圧力センサーを設け、前記圧力センサーの出力をインバータにフィードバックして、液体圧入手段２３４のポンプ２３４ｂのポンプ回転速度などを自動制御できるように構成されている。
さらに、前記液体圧入手段２３４は、後述の異常箇所回避制御Ｓ１０（図１５参照）において、洗浄液調整制御部２１３０（図１４参照）により制御されており、外径検知手段２１２０により多孔質中空糸膜の異常箇所を検出した場合に、ポンプ２３４ｂを停止させて洗浄液流動停止動作Ｓ２０を行っている。洗浄液流動停止動作Ｓ２０の詳細については後述する。

（第２減圧洗浄部）
図８に示すように、第３実施形態の第２減圧洗浄部２４０は、洗浄液に浸漬された多孔質中空糸膜Ｍの外周側の洗浄液を減圧し、多孔質中空糸膜Ｍの内側から外周側へ洗浄液Ｌを通液させる。前記第２減圧洗浄部２４０の構成は、第１実施形態の減圧洗浄部１４０と同じである。

（供給手段）
供給手段２５０の構成は、第１実施形態の供給手段１５０と同じである。

（規制手段）
規制手段２６０は、多孔質中空糸膜Ｍの走行を規制する。
図８の第３実施形態の規制手段２６０は、ガイドロール２６１ａ〜２６１ｊから構成されている。多孔質中空糸膜Ｍは、これらガイドロール２６１ａ〜２６１ｊによって走行を規制される。第３実施形態の規制手段２６０の構成は、第１実施形態の規制手段１６０と同じである。
また、後述する異常箇所回避制御Ｓ１０の際には、中空糸膜移動手段２８０の回転ローラ２８５も規制手段２６０として機能する。具体的には、異常箇所回避制御Ｓ１０により上蓋部２２３ｂが上昇したときに、流路構造体２２３，２３３，２４３の上流側及び下流側において、回転ローラ２８５ａが多孔質中空糸膜Ｍに当接し、多孔質中空糸膜Ｍを上方に移動させて多孔質中空糸膜Ｍの走行を規制している。

（異常箇所回避制御装置）
図１４は、異常箇所回避制御装置２１００のシステムブロック図である。
異常箇所回避制御装置２１００は、前記外径検知手段２１２０により検知した多孔質中空糸膜Ｍの外径が、所定値よりも大きな異常箇所Ｊであると判断した場合に、前記異常個所Ｊが中空糸膜走行流路２２５を走行することを回避する、異常箇所回避制御Ｓ１０を行う。
多孔質中空糸膜Ｍの外径の所定値とは外径値の閾値であり、中空糸膜走行流路の幅ｄ１、中空糸膜走行流路の高さｄ２より定められる値である。
異常箇所回避制御装置２１００は、多孔質中空糸膜Ｍの直径を検知する外径検知手段２１２０と、洗浄液Ｌの圧送又は吸引の開始若しくは停止を制御する洗浄液調整制御部２１３０（請求項１１の「洗浄液調整手段」に相当。）と、構造体移動手段、すなわち上蓋部移動手段２９０を制御する上蓋部移動手段制御部２１４０と、外径検知手段２１２０の信号から異常箇所を検知し、洗浄液調整制御部２１３０及び上蓋部移動手段制御部２１４０に信号を与える統合制御部２１１０と、により構成されている。

（外径検知手段）
外径検知手段２１２０は、多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内に導入される前に、前記多孔質中空糸膜Ｍの外径の異常箇所Ｊを検知する手段である。
外径検知手段２１２０は、図８に示すように、各洗浄槽２１０の上流側に配置され、多孔質中空糸膜Ｍの直径（外径）を検知している。
外径検知手段２１２０は、例えばＣＣＤカメラ等の画像読取装置であり、画像によって多孔質中空糸膜Ｍの直径（外径）を検知している。外径検知手段２１２０は、ＣＣＤカメラ等の画像読取装置に限られることは無く、例えば、光学式外径測定器や、レーザ式外径測定器であってもよい。

（統合制御部）
統合制御部２１１０は、外径検知手段２１２０により検知された多孔質中空糸膜Ｍの外径が、所定値よりも大径な異常箇所であるか否かを判断している。また、多孔質中空糸膜Ｍの外径が、所定値よりも大径な異常箇所であると判断した場合には、洗浄液調整制御部２１３０及び上蓋部移動手段制御部２１４０に異常箇所回避制御Ｓ１０の開始信号（以下「制御開始信号」という。）を与える。さらに、多孔質中空糸膜Ｍの異常箇所Ｊが流路構造体２２３，２３３，２４３を通過した後には、異常箇所回避制御Ｓ１０の停止信号（以下「制御開始信号」という。）を与える。

（洗浄液調整制御部）
洗浄液調整制御部２１３０は、統合制御部２１１０からの制御開始信号及び制御停止信号に基づき、洗浄液Ｌの圧送又は吸引の停止又は開始を制御している。洗浄液調整制御部２１３０は、第１減圧洗浄部２２０のポンプ２２４ｂ、加圧洗浄部２３０のポンプ２３４ｂ及び第２減圧洗浄部２４０のポンプ２４４ｂと接続されており、統合制御部２１１０からの制御開始信号及び制御停止信号に基づき、各ポンプ２２４ｂ，２３４ｂ，２４４ｂに対して停止又は駆動させるように指令を与えている。

（上蓋部移動手段制御部）
上蓋部移動手段制御部２１４０は、統合制御部２１１０からの制御開始信号及び制御停止信号に基づき、上蓋部移動手段２９０を駆動させて上蓋部２２３ｂを上昇又は降下させている。具体的には、上蓋部移動手段制御部２１４０は、上蓋部移動手段２９０の不図示のエアポンプに接続されている。統合制御部２１１０からの制御開始信号に基づきエアポンプを駆動させてシリンダーチューブ２９４内の空気を吸引することによりピストン部２９１を上昇させ、上蓋部２２３ｂを上昇させている。また、統合制御部２１１０からの制御停止信号に基づきエアポンプを駆動させてシリンダーチューブ２９４内に空気を圧送することによりピストン部２９１を下降させ、上蓋部２２３ｂを下降させている。

（異常箇所回避制御Ｓ１０）
図１５は、異常箇所回避制御Ｓ１０の制御フローである。
統合制御部２１１０により、走行する多孔質中空糸膜Ｍに異常箇所があると判定された場合には、異常箇所回避制御Ｓ１０を行う。
図１５に示すように、異常箇所回避制御Ｓ１０は、洗浄液流動停止動作Ｓ２０と、離脱動作Ｓ３０と、装着動作Ｓ４０と、洗浄液流動開始動作Ｓ５０と、により行われる。以下に各動作について説明する。異常箇所回避制御Ｓ１０は、第１減圧洗浄部２２０、加圧洗浄部２３０及び第２減圧洗浄部２４０の各洗浄部で行われるが、その制御フローは同一である。したがって、以下では、第１減圧洗浄部２２０における異常箇所回避制御Ｓ１０についてのみ説明をし、加圧洗浄部２３０及び第２減圧洗浄部２４０における異常箇所回避制御Ｓ１０については説明を省略する。

（洗浄液流動停止動作Ｓ２０）
異常箇所回避制御Ｓ１０では、始めに洗浄液流動停止動作Ｓ２０が行われる。
洗浄液流動停止動作Ｓ２０では、洗浄液調整制御部２１３０からポンプ２２４ｂに対して停止信号を与えている。これにより、第１減圧洗浄部２２０における洗浄液Ｌの吸引が停止する。

（離脱動作Ｓ３０）
図１６は、離脱動作Ｓ３０の説明図である。図面をわかりやすくするために、図１６では上蓋部移動手段２９０の図示を省略している。
異常箇所回避制御Ｓ１０では、洗浄液流動停止動作Ｓ２０に続いて、離脱動作Ｓ３０が行われる。
離脱動作Ｓ３０では、流路構造体２２３を構成する少なくとも二つの構造体の少なくとも一つの構造体を移動させて、前記少なくとも二つの構造体を分離させる。
離脱動作Ｓ３０では、上蓋部移動手段制御部２１４０から上蓋部移動手段２９０に対して、ピストン部２９１を上昇させるように信号を与える。これにより、ピストン部２９１の上昇に連動して上蓋部２２３ｂが上昇し、図１６に示すように本体部２２３ａから上蓋部２２３ｂが離脱する。さらに、上蓋部２２３ｂの上昇に連動して中空糸膜移動手段２８０の回転ローラ２８５ａが上昇する。そして、回転ローラ２８５ａが多孔質中空糸膜Ｍに当接して、多孔質中空糸膜Ｍを上方に移動させている。これにより、多孔質中空糸膜Ｍは走行溝部２２５ａ，２２５ｂから離脱し、多孔質中空糸膜Ｍの異常箇所Ｊが本体部２２３ａと上蓋部２２３ｂとの間を空走する。したがって、異常箇所Ｊは、中空糸膜走行流路２２５内で詰まることなく通過する。

（装着動作Ｓ４０）
異常箇所回避制御Ｓ１０では、離脱動作Ｓ３０に続いて、装着動作Ｓ４０が行われる。
装着動作Ｓ４０では、異常箇所Ｊが流路構造体２２３を通過して流路構造体２２３の下流側に移動したと判断したとき、上蓋部移動手段制御部２１４０から上蓋部移動手段２９０に対して、ピストン部２９１を下降させるように信号を与える。これにより、ピストン部２９１の下降に連動して上蓋部２２３ｂ及び回転ローラ２８５ａが下降し、図９に示すように、多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内に配置されるとともに、本体部２２３ａに対して上蓋部２２３ｂが装着される。
異常箇所Ｊが流路構造体２２３の下流側に移動したか否かは、例えば、外径検知手段２１２０を異常箇所Ｊが通過した時点から、任意のある時間を経過した時点までの時間における、異常箇所Ｊの走行速度と異常箇所Ｊの移動距離との関係から判断できる。

（洗浄液流動開始動作Ｓ５０）
異常箇所回避制御Ｓ１０では、装着動作Ｓ４０に続いて洗浄液流動開始動作Ｓ５０が行われる。
洗浄液流動開始動作Ｓ５０では、洗浄液調整制御部２１３０からポンプ２２４ｂに対して駆動信号を与えている。これにより、第１減圧洗浄部２２０における洗浄液Ｌの吸引が再度開始され、多孔質中空糸膜Ｍの洗浄が再開される。
以上で、異常箇所回避制御Ｓ１０が終了する。

（作用効果）
本実施形態によれば、中空糸膜走行流路２２５は、本体部２２３ａに形成された走行溝部２２５ａ，２２５ｂと、本体部２２３ａに対して着脱可能な上蓋部２２３ｂと、により構成されているので、上蓋部２２３ｂを外すことにより中空糸膜走行流路２２５内に多孔質中空糸膜Ｍを簡単かつ効率よく配設できる。したがって、洗浄装置２１の作業効率を高めることができる。
また、本実施形態によれば、上蓋部２２３ｂを外すことにより中空糸膜走行流路２２５を開放できるので、例えば不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内を走行しようとしたときに、本体部２２３ａから上蓋部２２３ｂを離脱させるとともに多孔質中空糸膜Ｍを走行溝部２２５ａ，２２５ｂから離脱させることができる。これにより、不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内を走行するのを回避できるので、多孔質中空糸膜Ｍの詰まりを防止できる。

また、本実施形態によれば、多孔質中空糸膜Ｍの洗浄時において、不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内を走行しようとしたときに、本体部２２３ａから上蓋部２２３ｂを離脱させるのと同時に、走行溝部２２５ａ，２２５ｂ内から多孔質中空糸膜Ｍを離脱できる。これにより、不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内を走行するのを回避できる。また、不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内を走行するのを回避した後、本体部２２３ａに上蓋部２２３ｂを装着させるのと同時に、走行溝部２２５ａ，２２５ｂ内に多孔質中空糸膜Ｍを配置できる。これにより、中空糸膜走行流路２２５内に多孔質中空糸膜Ｍを簡単かつ効率よく配設できる。

また、本実施形態によれば、外径検知手段２１２０を有しているので、不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍを確実に検知できる。また、上蓋部移動手段２９０を有しているので、不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２５内を走行しようとしたときに、本体部２２３ａから上蓋部２２３ｂを離脱させるのと同時に、走行溝部２２５ａ，２２５ｂ内から多孔質中空糸膜Ｍを離脱させて、不良に形成された多孔質中空糸膜Ｍが中空糸膜走行流路２２５内を走行するのを回避できる。また、洗浄液調整制御部２１３０を有しているので、上蓋部２２３ｂの離脱時に洗浄液Ｌの圧送又は吸引を停止させることにより、上蓋部２２３ｂ及び多孔質中空糸膜Ｍに押圧力又は吸引力が作用するのを防止できる。これにより、上蓋部２２３ｂ及び多孔質中空糸膜Ｍを容易に移動させることがきる。また、多孔質中空糸膜Ｍに押圧力又は吸引力が作用して多孔質中空糸膜Ｍが損傷するのを抑制できる。

また、本実施形態によれば、異常箇所回避制御Ｓ１０を行うことにより、大径に形成された多孔質中空糸膜Ｍの異常箇所Ｊを回避できるので、中空糸膜走行流路２２５内における多孔質中空糸膜Ｍの詰まりを確実に防止できる。
また、異常箇所回避制御Ｓ１０では、洗浄液Ｌの圧送又は吸引を停止させる洗浄液流動停止動作Ｓ２０の後に、上蓋部２２３ｂ及び多孔質中空糸膜Ｍを離脱させる離脱動作Ｓ３０を行うので、上蓋部２２３ｂ及び多孔質中空糸膜Ｍに押圧力又は吸引力が作用するのを抑制できる。これにより、上蓋部２２３ｂ及び多孔質中空糸膜Ｍを容易に移動させることがきる。また、多孔質中空糸膜Ｍに押圧力又は吸引力が作用して多孔質中空糸膜Ｍが損傷するのを抑制できる。

（他の実施形態）
この発明の技術範囲は上記実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

本発明の洗浄装置１は、図１又は図８に示す洗浄装置１１又は２１に限定されない。例えば洗浄装置１１又は２１では、流路構造体１２３，１３３，１４３、２２３，２３３，又は２４３の全体が洗浄液Ｌ中に浸漬されているが、中空糸膜走行流路１２５，１３５，１４５、２２５，２３５，又は２４５の入口１２１ａ，１３１ａ，１４１ａ、２２１ａ，２３１ａ，又は２４１ａ、及び出口１２１ｂ，１３１ｂ，１４１ｂ、２２１ｂ，２３１ｂ，又は２４１ｂが洗浄液Ｌ中に配置されて各流路内が洗浄液Ｌで満たされるものであれば、流路構造体１２３，１３３，１４３、２２３，２３３，又は２４３の全体を洗浄液Ｌ中に浸漬する形態には限定されない。
加圧洗浄部１３０又は２３０は、液体圧入手段１３４又は２３４によって分岐流路１３２又は２３２から圧入される洗浄液Ｌで中空糸膜走行流路１３５又は２３５内及び拡大空間部１３６又は２３６内が満たされ、中空糸膜走行流路１３５又は２３５を経て入口１３１ａ又は２３１ａ及び出口１３１ｂ又は２３１ｂから洗浄液Ｌが排出される。

また、第１減圧洗浄部１２０又は２２０、及び第２減圧洗浄部１４０又は２４０の液体吸引手段１２４，１４４、２２４，又は２４４は、エゼクター１２４ａ，１４４ａ、２２４ａ，又は２４４ａを用いた吸引システムに限定されず、例えば吸引ポンプ等で中空糸膜走行流路１２５，１４５、２２５，２４５内の洗浄液Ｌを、分岐流路１２２，１４２、２２２，２４２を通じて吸引してもよい。

また、図１又は図８に示す洗浄装置１１又は２１は、第１減圧洗浄部１２０又は２２０、加圧洗浄部１３０又は２３０、及び第２減圧洗浄部１４０又は２４０はそれぞれ別々の洗浄槽１１０（第１洗浄槽１１１〜第３洗浄槽１１３）又は２１０（第１洗浄槽２１１〜第３洗浄槽２１３）に収められているが、例えば、第１減圧洗浄部１２０又は２２０と加圧洗浄部１３０又は２３０とが同じ洗浄槽１１０又は２１０に収められていてもよい。洗浄槽１１０又は２１０の数は技術の適用にあわせて適宜変更される設計事項である。

以上の実施形態では、第１減圧洗浄部１２０又は２２０と第２減圧洗浄部１４０又は２４０の間に一つの加圧洗浄部１３０又は２３０が設けられた洗浄装置１１又は２１を説明したが、本発明はこれに限定されず、加圧洗浄部は二以上設けられていてもよい。

上述した洗浄装置１１又は２１では、下流側の洗浄槽が上流側の洗浄槽よりも高い位置になるように配列されているが、各洗浄槽は同じ高さになるように横並びに配列されていてもよい。
また、各洗浄槽は横並びの配列に限られず、縦並びの配列であってもよい。

また、上述した実施形態では、洗浄槽の個数は３個であったが、洗浄槽の個数は３個に制限されない。ただし、洗浄装置１１又は２１の小型化の観点から、２〜３個程度が好ましい。

第３実施形態における中空糸膜移動手段２８０は、上蓋部２２３ｂの端面に固定されて設けられており、上蓋部移動手段２９０による上蓋部２２３ｂの昇降移動に連動して中空糸膜移動手段２８０も昇降移動するように形成されていた。しかし、例えば、中空糸膜移動手段２８０を上蓋部２２３ｂに固定せずに独立して設け、さらに中空糸膜移動手段２８０を昇降させる昇降手段を独立して設けてもよい。ただし、装置構成が簡単である点で、本実施形態に優位性がある。

また、第３実施形態では、異常箇所回避制御Ｓ１０の装着動作Ｓ４０において、異常箇所Ｊが流路構造体２２３の下流側に移動したか否かは、所定時間経過したときの異常箇所Ｊの走行速度と移動距離との関係から判断をしていた。しかし、例えば、流路構造体２２３の下流側に外径検知手段２１２０を設け、下流側の外径検知手段２１２０の検知データから異常箇所Ｊが流路構造体２２３の下流側に移動したと判断してもよい。ただし、外径検知手段２１２０を流路構造体２２３の下流側に設けることなく低コストに洗浄装置を構成できる点で、本実施形態に優位性がある。

また、第３実施形態では、異常箇所回避制御Ｓ１０において、異常箇所Ｊが流路構造体２２３の下流側に移動した後、装着動作Ｓ４０を自動で行っていた。しかし、装着動作Ｓ４０は必ずしも自動で行われる必要はなく、手動で行ってもよい。

本発明の洗浄装置は、中空糸膜走行流路内に多孔質中空糸膜を簡単かつ効率よく配設でき、中空糸膜走行流路内を簡単に確認して容易にメンテナンスができる。したがって、洗浄装置の作業効率を高めることができるため、食品工業、医療又は電子工業等の分野などにおいて利用可能性がある。

１１，２１ 洗浄装置
１１０，２１０ 洗浄槽
１１１，２１１ 第１洗浄槽（洗浄槽）
１１２，２１２ 第２洗浄槽（洗浄槽）
１１３，２１３ 第３洗浄槽（洗浄槽）
１２１ａ，１３１ａ，１４１ａ，２２１ａ，２３１ａ，２４１ａ 入口
１２１ｂ，１３１ｂ，１４１ｂ，２２１ｂ，２３１ｂ，２４１ｂ 出口
１２２，１３２，１４２，２２２，２３２，２４２ 分岐流路
１２３ａ，１３３ａ，１４３ａ，２２３ａ，２３３ａ，２４３ａ 本体部
１２３ｂ，１３３ｂ，１４３ｂ，２２３ｂ，２３３ｂ，２４３ｂ 上蓋部
１２３，１３３，１４３，２２３，２３３，２４３ 流路構造体
１２５，１３５，１４５，２２５，２３５，２４５ 中空糸膜走行流路
１２５ａ，１３５ａ，１４５ａ，２２５ａ，２３５ａ，２４５ａ 走行溝部
１２５ｂ，１３５ｂ，１４５ｂ，２２５ｂ，２３５ｂ，２４５ｂ 走行溝部
１２６，１３６，１４６ 拡大空間部
２９０ 上蓋部移動手段
２１２０ 外径検知手段
２１３０ 洗浄液調整制御部（洗浄液調整手段）
Ｌ 洗浄液
Ｍ 多孔質中空糸膜
Ｊ 異常箇所
Ｓ１０ 異常箇所回避制御
Ｓ２０ 洗浄液流動停止動作
Ｓ３０ 離脱動作

Claims (12)

1. 洗浄液を収容した洗浄槽に多孔質中空糸膜を走行させ、前記多孔質中空糸膜中の残存物を除去する多孔質中空糸膜の洗浄装置であって、
   前記洗浄槽内には、一端側の入口から他端側の出口に向かって前記多孔質中空糸膜が連続的に走行可能な中空糸膜走行流路を有する流路構造体を備え、
   前記流路構造体は、分離可能な少なくとも二つの構造体からなり、
   前記流路構造体は、前記少なくとも二つの構造体のうち、少なくとも一つの構造体に形成された走行溝部と、前記洗浄液を圧送又は吸引して前記洗浄液を流通させる分岐流路と、を有し、
   前記分岐流路は、前記中空糸膜走行流路に連結されている流路である、前記洗浄装置。
2. 前記中空糸膜走行流路は、中空糸膜走行方向と直交する断面の断面積が前記走行溝部の中空糸膜走行方向と直交する断面の断面積よりも大きく形成された拡大空間部を有し、
   前記拡大空間部は、前記中空糸膜走行流路の一端側の入口から前記中空糸膜走行流路の他端側の出口の間に形成されており、
   前記分岐流路は、前記拡大空間部に連結されている流路である、請求項１に記載の洗浄装置。
3. 前記少なくとも二つの構造体のいずれか一方の構造体が少なくとも一つの平面を有し、
   前記中空糸膜走行流路を構成する一つの面が前記平面を共有している、請求項１又は２に記載の洗浄装置。
4. 前記中空糸膜走行流路の、前記走行方向と直交する断面形状が三角形状又は矩形状である、請求項３に記載の洗浄装置。
5. 前記流路構造体は、前記走行方向と交差する方向に少なくとも二つの前記中空糸膜走行流路を有する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の洗浄装置。
6. 前記走行流路は、走行する中空糸膜に対応するよう各々個別に形成された流路であり、前記各々個別に形成された前記走行流路に対し、各々個別に前記拡大空間部が形成されている、請求項５に記載の洗浄装置。
7. 前記拡大空間部は、中空糸膜の外径をｄとしたときに、
   中空糸膜走行方向に平行な長さＸが、２ｄ≦Ｘ≦２００ｄを満足し、
   かつ、中空糸膜走行方向に直交する高さＷが、１．５ｄ≦Ｗ≦３０ｄを満足する、請求項２〜６のいずれか一項に記載の洗浄装置。
8. 前記拡大空間部の底面と、前記拡大空間部の底面と前記走行溝部の底面とを接続する側面とのなす角度が９０度から１７５度である、請求項２〜７のいずれか一項に記載の洗浄装置。
9. 前記少なくとも二つの構造体の着脱と連動して、前記走行溝部内から前記多孔質中空糸膜を着脱させる中空糸膜移動手段を有する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の洗浄装置。
10. 前記多孔質中空糸膜が前記中空糸膜走行流路内に導入される前に前記多孔質中空糸膜の外径の異常箇所を検知する外径検知手段と、
    前記少なくとも二つの構造体の少なくとも一つの構造体を移動させて前記少なくとも二つの構造体を分離させる構造体移動手段と、を備えた請求項１〜９のいずれか一項に記載の多孔質中空糸膜の洗浄装置。
11. 前記外径検知手段により検知した前記多孔質中空糸膜の外径が、所定値よりも大径な異常箇所であると判断した場合に、前記異常箇所が前記中空糸膜走行流路を走行するのを回避する異常箇所回避制御を行う異常箇所回避制御装置を有し、
    前記異常箇所回避制御は、
    洗浄液調整手段により前記洗浄液の圧送又は吸引を低減若しくは停止させる洗浄液流量調整動作と、
    前記洗浄流量調整動作の後、前記少なくとも二つの構造体の少なくとも一つの構造体の前記構造体移動手段により、前記少なくとも二つの構造体を分離させるとともに、前記中空糸膜移動手段により前記走行溝部内から前記多孔質中空糸膜を離脱させる離脱動作と、を備えた、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の洗浄装置。
12. 前記少なくとも二つの構造体の一つが本体部であり、一つが上蓋部であり、
    前記上蓋部は、前記本体部の上方に配置され前記本体部と着脱可能な構造体である、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の洗浄装置。

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