TWI345259B - Fluid control apparatus with heating device - Google Patents

Description

1345259 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種半導體製造裝置等所使用的流體 控制裝置，尤其係關於一種附加熱裝置之流體控制裝置。 【先前技術】. 半導體製造裝置等所使用的流體控制裝置，係種種的流 體控制裝置配置成複數列，同時相鄰列之流體控制裝置的 流路，在預定地點上以機器連接手段而連接所構成，近年 來，在這種流體控制裝置中，質量流控制器或開閉閥等係 不經由介面而連接的積體化方向而進行。 在這種流體控制裝置中，揭示有（日本特開2002-267 1 0 號公告）：爲防止結露及在常溫下將液體之流體予以氣體化 而流動之時以再液化防止等做爲目的，而有需要加熱裝置 之情況，在如此的附有加熱裝置之流體控制裝置方面，至 少一個管線之兩側上配置有左右帶狀加熱器，這些之左右 帶狀加熱器係以複數個金屬製夾具而保持在對應的接頭構 件中。 使用上述習知之附有加熱裝置之流體控制裝置之時，雖 然具有隨著加熱裝置之附加，而可抑制設置面積的增加之 優點，但是由於夾具僅以·彈性力無法將加熱器充分地密著 到流體控制機器本體上，例如雖然可加熱到50°C左右，但 是無法加熱到80°C以上，因而有對要求溫度的加熱能力不 足之情況。雖然亦考慮以矽海綿做爲保溫材而黏著，從其 上以夾具夾住，但是在此情況下，裝有矽海綿的加熱器之 厚度變大，因而有在上述積體化所需之流體控制裝置中之 1345259 使用不適當的問題。雖然將加熱器的電力提高係當然可 行，但是在此情況下，電力消耗量增加，因而有經濟上及 能源上產生損失的問題。 本發明之目的在提供一種附有加熱裝置之流體控制裝 置，隨著加熱裝置之附加而可抑制設置面稹之增加，同時 加熱能力亦可提高。 【發明內容】 本發明之附有加熱裝置之流體控制裝置，係在配置於上 段的複數個流體控制機器及配置於下段之複數個塊狀接頭 構件所形成的管線，形成並列狀地配置於基部構件上之流 體控制裝置上附有加熱裝置之附有加熱裝置之流體控制裝 置，其特徵爲：至少一條管線之兩側上配置有面狀加熱器， 同時該等面狀加熱器之外側上分別抵接有保溫板，將保溫 板彼此以螺絲構件結合之時，可防止面狀加熱器之脫落。 保溫板之材料較佳爲耐熱性及隔熱性優異者，例如以工 程塑膠製造者。保溫板之熱傳導率較佳爲1.0(W/m · K)以 下，更佳爲0.30(W/m· K)以下。 利用該發明之流體控制裝置之時，做成需要加熱的管線 之兩側上配置有面狀加熱器，同時該等面狀加熱器之外側 上分別抵接有保溫板，將保溫板彼此以螺絲構件結合的話 即可，其隨著加熱裝置之附加而可抑制設置面積之增加， 並且，以少數之手續即可在必須的管線上加熱。並且，工 程塑膠製之保溫板在熱傳導率方面比金屬製夾具（不銹鋼 之熱傳導率爲1.63 W/m · K)更小，因此由於其隔熱效果， 即使使用同一加熱器之時，亦可將管線加熱到更高溫度。 1345259 左右保溫板（13)(14)係做成與面狀加熱器（12)之中央部分 的高度大致相同的高度’同時，其兩端部附近朝向上方突 出。在這些上方突出部上，分別設置有朝向另一方之保溫 板（13)(14)之方向延伸之突出部（13a)(13b)(14a)(14b)，這些 突出部（133)(131))(143)(141))之前端彼此面對。左側之保溫板 (13)之突出部（13a)(13b)，比右側保溫板（14)之突出部 (14a)(14b)具有更大的突出量。 各突出部（13a)(13b)(14a)(14b)係抵止於流體控制機器 (2)(3)(4)之本體的上面。這些突出部（13a)(13b)(14a)(14b) 之中，一方之突出部（13a)(14 a)係配置於高度較高的流體控 制機器（3)間，另一方之突出部（13b) (14b)係配置於高度較 低的流體控制機器（4)間。配置於較高的流體控制機器（3) 間之左側保溫板（13)的突出部（13a)，爲了避免與流體控制 機器（3)干涉，而將左側保溫板（13)的另一方之突出部（13b) 的一部分缺口狀。 如第1圖所示，右側保溫板（14)之突出部（14a)(14b)上設 置有插通結合用螺栓（15)之螺栓插通孔（16)，在左側之保溫 板（13)之突出部（13a)(13b)上則設置有與結合用螺栓（15)螺 合之陰螺紋部（17)。 在上述之中，形成保溫板（13)(14)之工程塑膠的種類，雖 然並未特別限定，其熱傳導率以0.30(W/m· K)以下較佳， 例如熱傳導率爲0.25(W/m · K)之聚醚醚酮（PEEK)、熱傳導 率爲0.22(W/m· K)之聚醚亞醯胺（ULTEM)、熱傳導率爲 0.18(W/m. K)之MC尼龍等。而，形成保溫板（13)(14)之材 料，雖然亦可使用工程塑膠以外者’在此情況下’其熱傳 1345259 導率爲1.0(W/m. K)以下，更佳爲0.30(W/m· K)以下。 產業上利用之可行性 本發明提供一種高性能且汎用性高之流體控制裝置，其 係在半導體製造裝置等所使用的流體控制裝置之中，隨著 加熱裝置之附加而可抑制設置面積之增加，同時亦可使加 熱能力提高，因此在防止結露及在常溫下將液體之流體予 以氣體化而流動之時，可防止其再液化。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明之附有加熱裝置之流體控制裝置的 分解立體圖； 第2圖係顯示本發明之附有加熱裝置之流體控制裝置的 立體圖。 【主要元件符號說明】 1…流體控制裝置 2、3、4…流體控制機器 5···塊狀接頭構件 1 1…加熱裝置 12…面狀加熱器 ]3、14…保溫板 1 5…螺栓 13a、13b、14a、14b …突出部 1 6…螺栓插通孔 1 7…陰螺紋部

Claims (1)

1. IM5259———-~~ ⑼年ι奶正替既 ... I--------mil . 第93 1 1 3 3 8 8號「附加熱裝置之流體控制裝置」專利案 (2011年1月13日修正） 十、申請專利範圍 1. 一種附有加熱裝置之流體控制裝置，其係於流體控制裝 置上附設有加熱裝置，該流體控制裝置係於基部構件上 • 並列狀地配置由配設於上段的複數個流體控制機器與配 - 設於下段之複數個塊狀接頭構件所形成的管線，其特徵 爲· . 加熱裝置具有至少配置在一條管線之兩側用以加熱流 體控制機器及接頭構件的面狀加熱器，使保溫板分別抵 接在該等面狀加熱器之外側，其中在各保溫板的上部設 置有朝向另一方之保溫板方向延伸的至少一個突出部， 該等突出部的前端彼此相面對，而在一方的保溫板的突 出部上，設置有插通結合用螺栓之螺栓插通孔，在另一 方的保溫板的突出部上，則設置有與結合用螺栓螺合之 陰螺紋部，保溫板彼此利用螺栓結合’藉以防止面狀加 熱器脫落。 2. 如申請專利範圍第1項之附有加熱裝置之流體控制裝 置，其中保溫板係工程塑膠製成。 3 .如申請專利範圍第1項或第2項之附有加熱裝置之流體 控制裝置，其中保溫板之熱傳導率爲0.30(w/m· κ)以下。