TWI344315B - Method of making a glass envelope - Google Patents

Method of making a glass envelope Download PDF

Info

Publication number
TWI344315B
TWI344315B TW095145090A TW95145090A TWI344315B TW I344315 B TWI344315 B TW I344315B TW 095145090 A TW095145090 A TW 095145090A TW 95145090 A TW95145090 A TW 95145090A TW I344315 B TWI344315 B TW I344315B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
frit
substrate
mask
wall
laser
Prior art date
Application number
TW095145090A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200733785A (en
Inventor
J Becken Keith
L Logunov Stephan
Original Assignee
Corning Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Corning Inc filed Critical Corning Inc
Publication of TW200733785A publication Critical patent/TW200733785A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI344315B publication Critical patent/TWI344315B/zh

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/842Containers
    • H10K50/8426Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/02Details
    • H05B33/04Sealing arrangements, e.g. against humidity
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/10Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • H10K59/8722Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)

Description

九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於包封顯示器元件之方法,該顯示器元件 例如為使用於平板顯示器裝置之玻璃基板。 【先前技術】 有機發光二極體(OLED)近年來為相當數量研究之主題 ,因為其用途以及可潛在使用於電子照明裝置。例如,單一 OLED能夠使用於獨立發光裝置或〇LED陣列能夠使用於照明 應用或平板顯示器應用中(例如0LE:D顯示器)。〇LE:D平板顯 不器已知具有非常明亮以及良好的色彩對比以及寬廣的觀 看角度。人們了解假如位於OLED中電極及有機層與外界環 境密閉性密封’ OLED顯示器使用壽命將顯著地增加。不過, OLED顯不器,以及特別是位於其中電極及有機層由於與由外 界環境參紐随)顯示n之氧氣及水份相互作帛而產生衰 變°非常不幸地,過去發展密封處理過程以密閉性地密封 OLED顯娜鱗f_的。-些造雜以適當地密封隱 顯示器之因素說明如下: 逸閉性岔封應該提供氧氣(l〇-3cc/m2/日)以及水份 g/m2/曰)之障壁層。 •密閉性密封之寬度應該相當小(例如<2咖),使得其對随^ 顯示盗尺寸並不會產生負面影響。 •在密封處理過程中產±之溫度應該不會損輒肪顯示器 内之材料(例如電極及有機層)。例如在—般㈣顯示 器中’位於靠近於密封卜2麵處_第一圖素在密_理 1344315 過程中溫度並不會高於loot:。 在後、封處理過程中釋出任何氣體不會污染0LED顯示器内 之材料。 •密閉性密封應該能夠作電子連接(例如薄獏電極)以進入 0LED顯示器。 密封0LE:D顯示器一種方式為藉由熔融摻雜高度吸收特 定波長光線材料之低溫玻璃料而形成密閉性密封。例如使 用高功率雷射以加熱及軟化玻璃料而形成密閉性密封於具 有玻璃料在上面覆蓋玻璃與具有0LE1D在上面基板玻璃之間 。玻璃料通常寬度為〇. 5mm至1mm以及厚度約為6-100微米 。假如玻璃料吸收及厚度為均勻的,密封能夠在固定雷射 功率及移動速度下進行以在玻璃料位置處提供均勻的溫度 上昇。儘管如此,沒有適當冷卻加熱之玻璃料(以及基板) ,玻璃料及/或基板會發生裂縫,其由於密封處理過程中產 生熱應力所致。因而需要一種加熱玻璃料之方法,其提供 充份地加熱玻璃料以熔融玻璃料以及密封基板,同時亦提 供適當冷卻玻璃料而並不會過度加熱及對顯示器元件造成 損壞。 【發明内容】 依據本發明一項實施例,所揭示方法包含提供第一基 板以及第二基板,兩者由至少一個玻璃料壁體所分離,以及 至少一個顯示器元件位於第一及第二基板之間,投射雷射 光束於至少一個玻璃料壁體上經由第一基板及光束沿著一 段壁體通過以加熱玻璃料以及密封第一基板至第二基板。 第6 頁 1344315 在光束運行方向之投射光束的強度分佈將減小為離光束縱 向中心軸距離之函數,在垂直於光束運行方向之投射光束 的強度分佈改變不超過光束尖峰強度之。至少一個玻 璃料壁體優先地由架構形狀所構成。除此,一組多個顯示 器元件位於第一及第二基板之間。光束優先地通過包含形 狀如細縫透射區域之遮罩。遮罩可包含吸收性表面或反射 性表面。光束優先地以大於1〇麵/8速度通過玻璃料。光線 通過可藉由至少一個檢流器反射鏡反射光束而達成。 經由參考本發明下列附圖之範例性說明將更容易了解 本發明以及本發明目標,特徵,細節及優點更清楚地顯現出 ’該範例性說明任何情況並非作為限制用途。人們了解所 有額外的系統,方法特性以及優點包含於該說明内,為本發 明之範圍以及受到後面之申請專利範圍保護。 【實施方式】 在下列作為解釋用途及並不作為限制用途之詳細說明 中’揭示出特定細節之範例性實施例以提供完全了解本發 明。不過,熟知此技術者將受益於本發明内容,以及了解本 發明可實施於其他範例中而並不會脫離在此所揭示之細節 。除此’可省略熟知裝置,方法及材料之說明以避免模糊本 發明說明。儘可紐,綱的參考數字表示細的元件。 雖然本發明贿麟已觸製造密職細〇⑽顯示 态說明於底τ,人m解糊或麵的密封處理過程能夠 使用於密封__跋此在—起,其簡使用於廣泛應 用及裝置巾。咖,本發明簡技術不應_斷為受舰 胃7頁 1344*315 制。 參考圖1,其顯示出依據本發明實施例密閉性密封有機 發光二極體(OLED)顯示器裝置之斷面側視圖,其一般以參 考數字10表示,顯示器裝置包含第一基板12,玻璃料14,第 二基板16’至少一個〇LED元件18以及至少一個電極2〇導電 地接觸OLED元件。一般〇led元件導電地接觸陽極及陰極。 如在此所使用清況,圖1中電極2〇代表任何一種電極。雖然 為了單純化只顯示出單一 OLED元件,顯示器裝置1〇可具有 許多OLED元件位於其中。一般〇LED元件18包含一層或多層 有機層(並未顯示出)以及陽極/陰極。不過,業界熟知此技 術者了解任何已知的〇LE:D元件18或未來OLED元件18能夠使 用於顯示器裝置10中。除此,人們了解另一形式薄膜褒置 能夠沉積於0LE:D元件旁邊。例如,薄膜感測器能夠使用本 發明製造出。 在優先實施例中,第一基板為透明的玻璃板例如為本 公司製造及銷售編號為1737玻璃或Eagle 2000玻璃。可加 以麦化,第一;&板能夠為任何透明的玻璃板,例如Samsung Coming Precision Glass Co., NHTechno, Nippon Electric Glass Co.,及 Asahi Glass Co.製造及銷售玻璃 板(例如OA10玻璃及〇A21玻璃)。第二基板16可為與第一基 板12相同,或第二基板16可為非透明的基板。 如圖2-3所示,在密封第一基板12至第二基板16之前, 玻璃料14沉積於第一基板12,通常為一條線玻璃料糊狀物, 其包含玻璃粉末,黏接劑(通常為有機物)及/或液態載體。 第8 頁 破璃料14能夠藉由網板印刷或藉由可程式化螺旋機器裝置 塗覆於第—基板12,其提供良好職之醜於第-級12 上。例如,玻璃料14能夠沉積離第一基板12自由邊緣丨刪處 ’以及通常沉積為閉合架構或壁體形狀。在優先實施例中, 玻璃料14在減紋波長下實壯為舰區域之低溫玻璃 料’該波長與密封處理過程中所使用雷射操作波長相匹配 。破璃料14可含有一種或多種吸收性離子例如由鐵,銅,釩 ’鉬及其混合物選取出。玻璃料14亦可包含填充料(例如逆 膨脹性填充料,添加劑填充料),其改變玻璃料14之熱膨脹 係數使得其貫f上與基;^ 12及16麵嫌鋪。能夠 使用於5亥應用中更詳細說明範例性玻璃料組成份可參考美 國第10/823331號專利案,其發明名稱為”Glass package that is Hermetically Sealed with a Frit and Method Of Fabrication'該專利之說明在此加入作為參考。 玻璃料14在密封第一基板12至第二絲16之前亦可為 預先燒結。為了完成該目標,加熱沉積於第一基板12上玻 璃料14使得其變為黏接至第-級12。因而,具有玻璃料 圖案在上面之第一基板12能夠放置於高溫爐中,該高溫爐 中煆燒玻雜U溫度較於玻璃料德成份。在預先燒結 相過程中,加熱玻璃料14以及包含於破璃料内有機黏接劑 材料將燃燒掉。 在玻璃料14預先燒結後,其能夠加以研磨,假如需要情 況下沿著韻料祕之冑賴化並+會超過24微米,通常 目標高度h能夠為10微米至30微米,其決定於裝置之應用, 1344315 不過通常高度h為12-15微米。彳既如高度變化越大,在雷射 密封至第二基板過程中連接基板12及16在玻璃料12熔融時 ,在玻璃料與基板16間形成之間隙並不會閉合,或間隙會加 入應力’其會使基板破裂特別在玻璃料及/或基板冷卻過程 中。適當但是並不會太厚玻璃料高度h,其能夠促使基板由 第一&反後側加以密封。假如玻璃料丨2太薄,其無法促使 足夠材料吸收雷射輻射線,其將導致破壞。假如玻璃料12 太厚’其能夠在第一基板處吸收足夠能量以熔融,但是將避 免所需要必需熔融玻璃料之能量達到鄰近於第二基板16之 玻璃料區域。其通料致兩個賴紐不良赋零錄黏 接。 假如預先燒結玻璃料14加以研磨,第一基板12經由中 度超音波清洗環境以去除任何累積於該點之碎屑。在此所 使用知谷液此夠為相當溫和的,比清洗並不額外沉積顯 示器玻璃所使用溶液情況溫和。在清洗過程中,保持為低 溫以避免沉積之玻璃料14衰變。 在清理後,能夠進行最終處理步驟以去除殘餘水份。 預先燒結第-絲12能夠放置於100t真空高溫爐中歷時 6小時或更長。在由高溫爐移出後,預先燒結第一基板^ 能夠在進行密封處理之前放置於清理箱中以阻隔^塵及 碎屑累積在其上面。 密封處理過程包含放置具有玻璃料14 具有-個或_獅18之第二級 電極20沉積於第二級上,該方式使得玻璃料14,一個或多 第10 頁 1344315 OLED 18,及電極20炎於玻璃料14所分隔兩個細2及】6 =曰]。對基板12及16施加中度壓相在密封處理過程中保 持接觸。如圖4賴和雷射22糾光束24於玻璃料14上經 由第-基板12以及加熱玻璃料14使得玻璃料14縣以及形 成密閉性密封,該密封連接基板12至基板16。密閉性密封 亦藉由防止大氣中氧氣及水氣進入_顯示器1〇内保護 0LED 18 〇 雷射光束24能夠失焦使玻璃料14内溫度梯度更緩和。 人們了解假如梯度太陡(焦點太小),_顯示器1〇會呈現 出裂縫以及_破f _料14通常在縣前加溫及冷卻 。除此,預先燒結第-絲應該儲存於惰性氣體以在炫融 之前防止再吸收㈣及H2〇。雷射22姆於玻補圖案運 行速度能夠在0. 5mm/s至300mm/s間範圍内,雖然一般速度 在30mm/S及40mm/s之間。所需要功率可加以變化其決定 於玻璃料]4之吸收係數α以及厚度h。假如反射性或吸收 層放置於玻璃料14(在玻璃料14與基板16之間)例如使用來 製造電極20材料底下,所需要功率受到雷射光束24通過玻 璃料之速度影響。因而,玻璃料14之組成份,均勻性及填充 料顆粒尺寸能夠改變。此亦負面地影響玻璃料吸收投射雷 射光束24之光學此董。當雷射光束24通過玻璃料μ時破 璃料14炫融以达·封基板12及16彼此在·—起。由玻璃料產生 基板12及16間之間隙形成0LED元件18之密閉性袋口或包封 於基板之間。人們了解假如第二基板16在密封波長下為透 明的,密封可經由第二基板16或兩個基板12及16進行。 1344315 顯示器裝置冷卻進行使得只密封基板及玻璃料之冷卻 過程中裝置1〇(例如基板12及16)並不會承受過度應力。除 非適當冷卻,這些應力將導致基板間微弱的黏接,以及影響 黏接之密閉性。經由一片基板投射於玻璃料上之雷射光束 在把向斷面優先地為圓形光束形狀。因而投射於玻璃料上 光束—般為圓形點,以及整個光束直徑之強度分佈優先地 減小為離光束中心軸距離之函數,在光束中心軸或靠近光 束中心軸處具有尖峰強度。例如,光束實質上為高斯分佈 。在傳統密封方法中點之直徑為2ω選擇通常大約等於或 小於玻璃料之寬度約為〇· 5及1麵之間(其中ω為離光束中 心軸距離,其中光束密度為最大光束密度Ι/e2)。不過,對 於快速岔封速度例如大於1〇mm/s,雷射點直徑小於lmm,當 雷射點離開玻璃料上特定點時將導致玻璃料/基板快速的 冷卻。—般需要較快速之密封。第一,處理量將增加。第 -’在贿快速下雷射裤可接錢錄為較大。另 外方面’如先前所說明,點直徑增加減緩快速冷卻會導致 夾於紐間相鄰於0⑽元件加熱。為了克服該缺點以及依 據,明實施例,採用增加點直徑之雷射光束(大於玻璃料 之見度)’以及可使帛遮蔽部份擴大點尺寸以防止加熱異於 玻璃料之裂置部份(例如元件18)。 —依據該實_,提歧於第—及第二基板12,16間玻璃 料見,2彳:之點直徑。優辆,整個點直徑之強度分佈為減 =二離光束巾“她離之函數。例如,絲可具有高斯 強度減但是可具有其他形狀,例如為三角形。圖4令所 1344-315 顯示遮罩32位於第一基板上;更特別地遮罩32位置將使得 遮罩透明或敞開部份位於基板間玻璃料線條上方。圖5顯 示出°卩份遮罩32之放大圖,其包含透射區域34及不透明區 域,邊透射區域寬度為Wt大約等於或寬於玻璃料線條寬度, 其決定於遮罩與玻璃料基板12間之距離。雷射光束再沿著 透射區域以箭頭37所示縱向依循路徑以及照射於玻璃料線 條上,加熱玻璃料以及利用密閉性密封密封基板。光束點 在寬度方向藉由不透明區域36在玻璃料14每一側邊加以阻 隔(如點38虛線部份及箭頭39所示),同時在縱向(即沿著玻 璃料長度)並未阻隔通過透射區域34。因為光束(及點)優 先地具有圓形對稱強度分佈以及在縱向中強度分佈並未受 到阻隔,沿著一段玻璃料分佈強度尾端被截除(由於降低強 度分佈所致)提供相當緩慢冷卻玻璃料。另外一方面,通過 透明區域34以及投射於玻璃料上之部份光束具有固定(平 坦)之強度,在整個玻璃料寬度(即當光束通過玻璃料時垂 直於光束運行方向)變化並不超過光束中心軸尖峰值之i 〇0/〇 ,因而^供玻璃料14相當均勻的加熱。 遮罩32可為吸收性或反射性。不過,反射性遮罩為優 先的’因為吸收性遮罩會被光束充份地加熱而破壞相鄰於 玻璃料之靈敏的OLED元件。優先地投射於玻璃料上雷射點 直徑優先地大於1.8ram。遮罩32可藉由喷塗塗膜於清澈玻 璃基板上形成,使得遮罩塗覆部份反射或吸收雷射光線,以 及部份投射光束透射通過未塗覆清澈玻璃部份或遮罩部份 34。優先地,遮罩透明部份與玻璃料14 一致。例如,假如玻 第13 頁 1344315 璃料14為架構形狀,遮罩透明部份需要具有相同的形狀及 尺寸。假如一組多個各別架構形狀玻璃料位於基板上,優 先地遮罩具有相對應陣列之透明區域34。該遮罩顯示於圖 6中。 如上述所說明,依據本發明實施例使用作為密封光束 之雷射光束24可為失焦的,或刻意地失焦。光束失焦將使 得光束焦點並不會落於玻璃料上,其能夠共同使用於降低 縱向(相對於玻璃料線條)強度分佈以擴大玻璃料及/或基 板之冷卻。圖7顯示出光束點具有約為丨· 8麵之1/e2直徑( 即2ω)的冷卻曲線,該光束使用來密封寬度為ln]m之玻璃料 線條。曲線40,42及44顯示出雷射光束通過速度分別為5麵 /s’ 10mm/s及2〇mm/s之玻璃料溫度為時間的函數。所顯示 為本徵性冷卻曲線46,其顯示出當玻璃料被加熱以及雷射 光束快速地熄滅時玻璃料/基板之冷卻特性。在圖7中雷射 光束聚焦於玻璃料上。圖7可與圖8相互比較,圖8顯示出使 用與圖7相同的條件加熱,但是雷射在玻璃料上為失焦的。 藉由比較已知的雷射通過速度(例如兩個圖間1〇mm/s)可立 即地觀察到較為緩慢之冷卻速率。 在另一實施例中,遮罩可連接至或鄰近於雷射本身,由 雷射發出光束通過遮罩。不過,由於遮罩包含細縫狀透明 區域,當雷射通過沉積於基板12上架構狀玻璃料彎角時,需 要旋轉遮罩。在該或先前實施例中,裝置10與雷射光束 間之相對移動可藉由相對於雷射光束移動裝置1〇,或相對 於裝置移動雷射而達成。例如,雷射或裝置可按襞於可在 第14頁 平面上雜之載台。載台能__如線性馬達載 。,其移動可勤計算機加以控制。可加崎化,裳置及雷 射兩者為靜蛾_目對於裝置勤斜光束’如由^ ^ 一個或多個可鑛反射鏡48加以移動,絲由檢流器(並 未』不出)加以湖。離置或姉比較,位於反射鏡 上檢流器之慣量為較低,其能夠提高雷射光束快速速度通 過破璃料。當玻璃料與雷射間距離改變時,固定直徑之點 能夠藉由使用業界已知適當的透鏡技術(例如遠心達 成c 。必需強調上述所綱本發明實施例特別是優先實施例 ”作為可能達成之範例,其卩作為清楚地了解本發明之原 理。上顧說明實施例能夠作許多變化及改變而並不會脫 #本發明理及精神。所冑冑化及賴均包含下列所揭 示申明專利細π以及受到下列_請專利範圍保護。 【圖式簡單說明】 第一圖為依據本發明實施例之顯示器裝置的斷面側視 圖。 第二圖為依據本發明實施例之第一基板及沉積在其上 面玻璃料的斷面侧視圖。 第二圖為第二圖之第一基板頂視圖,其顯示出玻璃料 沉積為架構形狀。 第四圖為依攄本發明實施例之顯示器裝置部份斷面側 視圖’其包含顯示器元件及位於其上面之電極,以及顯示出 在密封操作過程中雷射光束及雷射之位置。 第丨5 頁 1344315 第五圖為第四圖遮罩以及部份玻璃料之頂視圖。 第六圖為具有一組多個透明區域以密封一組多個〇LED 顯示器裝置之遮罩頂視圖。 第七圖為利用聚焦雷射光束在雷射點通過玻璃料不同 的移動速度下密封OLED顯示器裝置冷卻曲線(速率)與本徵 性冷卻曲線比較之圖示。 第八圖為利用失焦雷射光束在雷射點通過玻璃料不同 φ 的移動速度下密封0L_員示器裝置冷卻曲線(速率)與本徵 性冷卻曲線比較之圖示。 第九圖為顯示器裝置之斷面側視圖,該顯示器裝置具 有顯不㈣件以及電極沉齡其上面,以及顯示出密封操 作過程中檢流器控制雷射光束以及雷射之位置。 附圖元件數字符號說明: 顯示器裝置10;基板12;邊緣13;玻璃料14;基板 • 16;有機發光二極體元件叫電極20;雷射22;雷射光束 • %遮罩32;透射區域34;不透明區域3β;箭頭37;點 38;箭頭39;反射鏡48。 第16 頁

Claims (1)

1344315 十、申請專利範圍: 1. 一種包封顯示器元件之方法,其包含: 提供第一基板以及第二基板由至少一個玻璃料壁體所分 離,以及至少一個顯示器元件位於第一及第二基板之間; 投射雷射光束經由第一基板於至少一個破璃料壁體上, 雷射光束在投射至玻璃料之前通過包含透明細縫之遮罩; 光束沿著一段壁體通過以加熱玻璃料壁體以及密封第— 基板至第二基板;以及 其中在光束運行方向之投射光束的強度分佈將減小為離 光束縱向中心軸距離之函數,以及在垂直於光束運行方向 之投射光束的強度分佈將改變不超過光束尖峰強度之丨⑽。 2.依據申請專利範圍第1項之方法,其中玻璃料壁體由閉合 之架構所構成。 3. 依據申請專利範圍第1項之方法,其中光束之點直經大於 玻璃料壁體之寬度阶。 4. 依據申請專利範圍第1項之方法,其中遮罩放置於第一基 板上0 5.依據申清專利範圍第1項之方法,其中遮罩包含反射性表 面。 6.依據申請專利範圍第1項之方法,其中光束以大於1〇mm/s 速度通過。 7‘依據申請專利綱第1項之方法,其中光束以大於3〇mm/s 速度通過。 8.依據申請專利範圍第i項之方法,其中光束通過包含由至 09S145090 第17 頁; 1003122725-0 1344315 少一個移動反射鏡反射光束。 9. 依據申請專利範圍第8項之方法,其中反射鏡藉由檢流 器加以移動。 10. 依據申請專利範圍第1項之方法,其中玻璃料壁體高度 在10及30微米之間。 11. 依據申請專利範圍第1項之方法,其中遮罩包含吸收性 表面。 12. 依據申請專利範圍第3項之方法,其中光束點直徑為大 於玻璃料壁體寬度Wf之二倍。 095145090 第18 頁 1003084112-0
TW095145090A 2005-12-06 2006-12-04 Method of making a glass envelope TWI344315B (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US74829705P 2005-12-06 2005-12-06
US11/599,738 US7537504B2 (en) 2005-12-06 2006-11-15 Method of encapsulating a display element with frit wall and laser beam

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200733785A TW200733785A (en) 2007-09-01
TWI344315B true TWI344315B (en) 2011-06-21

Family

ID=38119403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW095145090A TWI344315B (en) 2005-12-06 2006-12-04 Method of making a glass envelope

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7537504B2 (zh)
EP (1) EP1958228B1 (zh)
JP (1) JP4601673B2 (zh)
KR (1) KR100881795B1 (zh)
CN (1) CN101536133B (zh)
AT (1) ATE556441T1 (zh)
TW (1) TWI344315B (zh)
WO (1) WO2007067420A2 (zh)

Families Citing this family (99)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE602006021468D1 (de) * 2005-12-06 2011-06-01 Corning Inc Herstellungsverfahren für eine luftdicht versiegelte Glasverpackung
KR100673765B1 (ko) * 2006-01-20 2007-01-24 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
US8038495B2 (en) * 2006-01-20 2011-10-18 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and manufacturing method of the same
KR100635514B1 (ko) * 2006-01-23 2006-10-18 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
JP4624309B2 (ja) * 2006-01-24 2011-02-02 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP4456092B2 (ja) * 2006-01-24 2010-04-28 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100688795B1 (ko) * 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
KR100688796B1 (ko) * 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치 및 그의 제작 방법
KR100685853B1 (ko) * 2006-01-25 2007-02-22 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
US8164257B2 (en) * 2006-01-25 2012-04-24 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display and method of fabricating the same
KR100671641B1 (ko) * 2006-01-25 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100703472B1 (ko) * 2006-01-26 2007-04-03 삼성에스디아이 주식회사 프릿 경화 장치 및 이를 이용한 경화 방법
JP4633674B2 (ja) 2006-01-26 2011-02-16 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100732808B1 (ko) * 2006-01-26 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치의 제조방법
KR100671647B1 (ko) * 2006-01-26 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치
KR100688790B1 (ko) * 2006-01-27 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100671639B1 (ko) * 2006-01-27 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100732817B1 (ko) 2006-03-29 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
US20080213482A1 (en) * 2007-03-01 2008-09-04 Stephan Lvovich Logunov Method of making a mask for sealing a glass package
KR100883072B1 (ko) * 2007-07-12 2009-02-10 엘지전자 주식회사 표시장치
US20090246896A1 (en) * 2007-07-19 2009-10-01 Melissa Kreger Method and apparatus for improved printed cathodes for organic electronic devices
US20090023235A1 (en) * 2007-07-19 2009-01-22 Mackenzie John D Method and Apparatus for Improved Printed Cathodes for Light-Emitting Devices
US8247730B2 (en) * 2007-09-28 2012-08-21 Corning Incorporated Method and apparatus for frit sealing with a variable laser beam
KR101374015B1 (ko) * 2007-11-06 2014-03-14 엘지디스플레이 주식회사 합착 장치 및 이를 사용한 유기발광표시장치의 제조 방법
US8025975B2 (en) * 2007-11-20 2011-09-27 Corning Incorporated Frit-containing pastes for producing sintered frit patterns on glass sheets
US7815480B2 (en) * 2007-11-30 2010-10-19 Corning Incorporated Methods and apparatus for packaging electronic components
TWI394732B (zh) * 2008-02-28 2013-05-01 Corning Inc 密封玻璃包封之方法
US8198807B2 (en) * 2008-02-28 2012-06-12 Corning Incorporated Hermetically-sealed packages for electronic components having reduced unused areas
JP5224102B2 (ja) * 2008-03-26 2013-07-03 日本電気硝子株式会社 有機elディスプレイ用封着材料
JP5308717B2 (ja) * 2008-05-26 2013-10-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
JP5308718B2 (ja) 2008-05-26 2013-10-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
US20090295277A1 (en) * 2008-05-28 2009-12-03 Stephan Lvovich Logunov Glass packages and methods of controlling laser beam characteristics for sealing them
US8448468B2 (en) * 2008-06-11 2013-05-28 Corning Incorporated Mask and method for sealing a glass envelope
US10322469B2 (en) * 2008-06-11 2019-06-18 Hamamatsu Photonics K.K. Fusion bonding process for glass
DE112009001326T5 (de) * 2008-06-11 2011-05-05 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Schmelzverbindungsprozess für Glas
JP5535653B2 (ja) * 2008-06-23 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
KR101453878B1 (ko) * 2008-08-07 2014-10-23 삼성디스플레이 주식회사 평판 표시장치의 제조방법
US8245536B2 (en) * 2008-11-24 2012-08-21 Corning Incorporated Laser assisted frit sealing of high CTE glasses and the resulting sealed glass package
JP5673102B2 (ja) * 2008-11-26 2015-02-18 旭硝子株式会社 封着材料層付きガラス部材およびそれを用いた電子デバイスとその製造方法
KR101117715B1 (ko) * 2009-04-30 2012-02-24 삼성모바일디스플레이주식회사 레이저 조사 장치 및 상기 레이저 조사 장치를 이용한 평판 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101065417B1 (ko) * 2009-05-20 2011-09-16 삼성모바일디스플레이주식회사 광 조사 장치 및 이를 이용한 유기 전계 발광 표시장치의 제조 방법
US8440479B2 (en) * 2009-05-28 2013-05-14 Corning Incorporated Method for forming an organic light emitting diode device
JP5481167B2 (ja) * 2009-11-12 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
KR101094281B1 (ko) 2009-11-24 2011-12-19 삼성모바일디스플레이주식회사 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
JP5535588B2 (ja) 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5567319B2 (ja) 2009-11-25 2014-08-06 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5466929B2 (ja) * 2009-11-25 2014-04-09 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535590B2 (ja) 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5535589B2 (ja) * 2009-11-25 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5481172B2 (ja) 2009-11-25 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5525246B2 (ja) 2009-11-25 2014-06-18 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
JP5481173B2 (ja) * 2009-11-25 2014-04-23 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法及びガラス層定着方法
WO2011067700A1 (en) * 2009-12-02 2011-06-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Substrate connection by heat activated binder
KR101243920B1 (ko) * 2010-01-07 2013-03-14 삼성디스플레이 주식회사 기판 밀봉에 사용되는 레이저 빔 조사 장치, 기판 밀봉 방법, 및 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101097328B1 (ko) * 2010-01-07 2011-12-23 삼성모바일디스플레이주식회사 기판 밀봉에 사용되는 레이저 빔 조사 장치, 기판 밀봉 방법, 및 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101097327B1 (ko) * 2010-01-07 2011-12-23 삼성모바일디스플레이주식회사 기판 밀봉에 사용되는 레이저 빔 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101117732B1 (ko) * 2010-01-19 2012-02-24 삼성모바일디스플레이주식회사 기판 밀봉에 사용되는 레이저 빔 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
KR101097340B1 (ko) * 2010-03-08 2011-12-23 삼성모바일디스플레이주식회사 표시 장치
JP5659511B2 (ja) * 2010-03-11 2015-01-28 住友化学株式会社 電気装置
JP5535767B2 (ja) * 2010-05-28 2014-07-02 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着方法
KR101798487B1 (ko) 2010-06-01 2017-11-17 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR101137394B1 (ko) 2010-07-05 2012-04-20 삼성모바일디스플레이주식회사 레이저 빔 조사 장치 및 상기 레이저 빔 조사 장치를 포함하는 기판 밀봉 장치
KR101201720B1 (ko) 2010-07-29 2012-11-15 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치
KR20120028418A (ko) 2010-09-14 2012-03-23 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치용 밀봉기판의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치용 밀봉기판
KR101797715B1 (ko) 2010-10-19 2017-11-16 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치
KR20120044020A (ko) 2010-10-27 2012-05-07 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20120044654A (ko) 2010-10-28 2012-05-08 삼성모바일디스플레이주식회사 표시 장치, 표시 장치의 제조 방법, 및 유기 발광 표시 장치
KR101804554B1 (ko) 2010-11-01 2017-12-05 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치
KR101757810B1 (ko) 2010-11-19 2017-07-17 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치, 유기 발광 표시 장치, 및 밀봉 기판의 제조 방법
WO2012077718A1 (ja) * 2010-12-08 2012-06-14 浜松ホトニクス株式会社 ガラス溶着装置及びガラス溶着方法
KR20120066352A (ko) 2010-12-14 2012-06-22 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
DE102010063511A1 (de) * 2010-12-20 2012-06-21 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zum Herstellen eines optoelektrischen Bauelements und optoelektronisches Bauelement
KR101830300B1 (ko) 2010-12-30 2018-03-30 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
TW201238387A (en) * 2011-01-06 2012-09-16 Asahi Glass Co Ltd Method and device for manufacturing glass members with sealing material layer, and method for manufacturing electronic devices
KR101813906B1 (ko) 2011-03-15 2018-01-03 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 패널
US8917459B2 (en) 2011-05-23 2014-12-23 Eric A. Klein Ergonomic vertical vision redirection
JP2013101923A (ja) * 2011-10-21 2013-05-23 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 分散組成物の加熱方法、及びガラスパターンの形成方法
JP5895689B2 (ja) * 2012-04-27 2016-03-30 コニカミノルタ株式会社 電子デバイスおよびその製造方法
KR102015401B1 (ko) * 2012-12-21 2019-08-29 삼성디스플레이 주식회사 광학계 및 기판 밀봉 방법
KR20140118554A (ko) * 2013-03-29 2014-10-08 삼성디스플레이 주식회사 광학계 및 기판 밀봉 방법
TWI479464B (zh) * 2013-05-09 2015-04-01 Au Optronics Corp 顯示面板及其封裝方法
CN103464900B (zh) * 2013-08-09 2015-12-23 上海大学 激光密封方法和系统
KR102283856B1 (ko) 2013-11-22 2021-08-03 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그의 제조방법
TWI561904B (en) 2014-01-17 2016-12-11 Au Optronics Corp Substrate packaging structure and packaging method thereof
CN104795511A (zh) * 2014-01-20 2015-07-22 上海微电子装备有限公司 一种激光封装设备及其封装方法
TWI574442B (zh) * 2014-04-10 2017-03-11 友達光電股份有限公司 顯示面板
CN105336877B (zh) * 2014-07-29 2018-01-26 上海微电子装备(集团)股份有限公司 激光扫描密封玻璃封装体的系统和方法
CN104157792A (zh) * 2014-08-08 2014-11-19 上海和辉光电有限公司 Oled封装结构及封装方法
CN104716275A (zh) * 2015-03-20 2015-06-17 京东方科技集团股份有限公司 电子器件的封装方法和封装系统
CN104846331B (zh) * 2015-05-28 2018-03-23 京东方科技集团股份有限公司 一种应用于激光照射的掩膜板及激光封装方法
CN105739154B (zh) * 2016-04-29 2019-09-27 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种显示面板以及电子设备
DE102016110868A1 (de) * 2016-06-14 2017-12-14 Leander Kilian Gross Verfahren und Vorrichtung zur Verkapselung von Bauteilen
WO2017221218A1 (en) * 2016-06-25 2017-12-28 Efacec Engenharia E Sistemas, S.A. Laser-assisted hermetic encapsulation process and product thereof
KR102627073B1 (ko) * 2016-11-30 2024-01-19 삼성디스플레이 주식회사 백라이트 유닛, 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN106935731B (zh) * 2017-05-15 2020-03-06 京东方科技集团股份有限公司 有机电致发光显示器件和显示装置
CN107742675B (zh) * 2017-09-11 2019-05-24 上海天马有机发光显示技术有限公司 显示面板及其封装方法
GB201806411D0 (en) 2018-04-19 2018-06-06 Johnson Matthey Plc Kit, particle mixture, paste and methods
CN109671865B (zh) * 2018-12-21 2022-02-01 厦门天马微电子有限公司 显示面板及显示装置
CN111627800B (zh) * 2020-05-11 2023-10-24 天津大学 一种原子级表面及结构超短脉冲光高效加工方法

Family Cites Families (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3414465A (en) 1965-06-21 1968-12-03 Owens Illinois Inc Sealed glass article of manufacture
US3778126A (en) 1971-12-30 1973-12-11 Ibm Gas display panel without exhaust tube structure
JPS526097B2 (zh) 1972-03-14 1977-02-18
US4400870A (en) 1980-10-06 1983-08-30 Texas Instruments Incorporated Method of hermetically encapsulating a semiconductor device by laser irradiation
JPS58211743A (ja) 1982-06-03 1983-12-09 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロクロミツク表示装置の製造方法
GB9126370D0 (en) 1991-12-12 1992-02-12 Shanning Laser Systems Ltd Securing of bodies
US5500917A (en) 1994-04-18 1996-03-19 Gould Electronics Inc. Optical assembly/housing for securing optical fiber components, devices and fibers to the same or to mounting fixtures
SI9400276A (en) * 1994-07-06 1996-02-29 Emil Mlakar Method for constructing, manufacturing and remaking of widened vehicles
JP2754461B2 (ja) 1994-07-08 1998-05-20 双葉電子工業株式会社 容器の封着方法および封着装置
US5489321A (en) 1994-07-14 1996-02-06 Midwest Research Institute Welding/sealing glass-enclosed space in a vacuum
JPH1074583A (ja) 1996-08-30 1998-03-17 Sanyo Electric Co Ltd 有機elディスプレイ及び有機elディスプレイの 製造方法
US5821692A (en) 1996-11-26 1998-10-13 Motorola, Inc. Organic electroluminescent device hermetic encapsulation package
US6109994A (en) * 1996-12-12 2000-08-29 Candescent Technologies Corporation Gap jumping to seal structure, typically using combination of vacuum and non-vacuum environments
US5874804A (en) 1997-03-03 1999-02-23 Motorola, Inc. Organic electroluminescent device hermetic encapsulation package and method of fabrication
US6356376B1 (en) 1997-04-02 2002-03-12 Gentex Corporation Electrochromic rearview mirror incorporating a third surface metal reflector and a display/signal light
US5872355A (en) 1997-04-09 1999-02-16 Hewlett-Packard Company Electroluminescent device and fabrication method for a light detection system
US6069443A (en) 1997-06-23 2000-05-30 Fed Corporation Passive matrix OLED display
US6129603A (en) 1997-06-24 2000-10-10 Candescent Technologies Corporation Low temperature glass frit sealing for thin computer displays
KR20010015682A (ko) * 1997-10-01 2001-02-26 브룩스 나이즐 비쥬얼 디스플레이
US5998805A (en) 1997-12-11 1999-12-07 Motorola, Inc. Active matrix OED array with improved OED cathode
US6370019B1 (en) 1998-02-17 2002-04-09 Sarnoff Corporation Sealing of large area display structures
US6137221A (en) 1998-07-08 2000-10-24 Agilent Technologies, Inc. Organic electroluminescent device with full color characteristics
US6146225A (en) 1998-07-30 2000-11-14 Agilent Technologies, Inc. Transparent, flexible permeability barrier for organic electroluminescent devices
EP1524708A3 (en) 1998-12-16 2006-07-26 Battelle Memorial Institute Environmental barrier material and methods of making.
US6268695B1 (en) 1998-12-16 2001-07-31 Battelle Memorial Institute Environmental barrier material for organic light emitting device and method of making
DE19918672A1 (de) 1999-04-23 2000-10-26 Inst Angewandte Photovoltaik G Verfahren zum Verschweißen von Oberflächen von Materialien
EP1157976A1 (en) 1999-10-22 2001-11-28 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Glass panel and production method therefor
JP2001155855A (ja) * 1999-11-24 2001-06-08 Toyota Motor Corp 有機el素子の封止方法
US6952078B1 (en) 1999-12-17 2005-10-04 Osram Opto Semiconductord Gmbh Encapsulation for organic LED device
US6608283B2 (en) 2000-02-08 2003-08-19 Emagin Corporation Apparatus and method for solder-sealing an active matrix organic light emitting diode
US6226890B1 (en) 2000-04-07 2001-05-08 Eastman Kodak Company Desiccation of moisture-sensitive electronic devices
US6465953B1 (en) 2000-06-12 2002-10-15 General Electric Company Plastic substrates with improved barrier properties for devices sensitive to water and/or oxygen, such as organic electroluminescent devices
US6867539B1 (en) 2000-07-12 2005-03-15 3M Innovative Properties Company Encapsulated organic electronic devices and method for making same
JP4608182B2 (ja) 2000-09-06 2011-01-05 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Oledデバイスのカプセル化
US6639360B2 (en) 2001-01-31 2003-10-28 Gentex Corporation High power radiation emitter device and heat dissipating package for electronic components
KR20040002956A (ko) 2001-05-24 2004-01-07 오리온전기 주식회사 유기전계발광소자의 인캡슐레이션 용기 및 그 제조방법
US6565400B1 (en) * 2001-06-26 2003-05-20 Candescent Technologies Corporation Frit protection in sealing process for flat panel displays
US6470594B1 (en) 2001-09-21 2002-10-29 Eastman Kodak Company Highly moisture-sensitive electronic device element and method for fabrication utilizing vent holes or gaps
TW517356B (en) 2001-10-09 2003-01-11 Delta Optoelectronics Inc Package structure of display device and its packaging method
JP2003229548A (ja) * 2001-11-30 2003-08-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 乗物、表示装置、および半導体装置の作製方法
JP3975739B2 (ja) 2001-12-14 2007-09-12 旭硝子株式会社 有機elディスプレイ用対向基板の製造方法および有機elディスプレイの製造方法
DE10219951A1 (de) * 2002-05-03 2003-11-13 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Verfahren zur Verkapselung eines Bauelements auf Basis organischer Halbleiter
JP2004182567A (ja) * 2002-12-05 2004-07-02 Nippon Sheet Glass Co Ltd 真空ガラスパネルの製造方法、及び該製造方法により製造された真空ガラスパネル
US7344901B2 (en) 2003-04-16 2008-03-18 Corning Incorporated Hermetically sealed package and method of fabricating of a hermetically sealed package
US6998776B2 (en) * 2003-04-16 2006-02-14 Corning Incorporated Glass package that is hermetically sealed with a frit and method of fabrication
US20040206953A1 (en) 2003-04-16 2004-10-21 Robert Morena Hermetically sealed glass package and method of fabrication
JP2005251407A (ja) * 2004-03-01 2005-09-15 Sanyo Electric Co Ltd 表示パネルの製造方法および表示パネル
DE102004044196B4 (de) * 2004-09-14 2019-03-07 Bruker Daltonik Gmbh Massenspektrometer mit einem Lasersystem für die Ionisation einer Probe durch matrixunterstützte Laserdesorption in der massenspektrometrischen Analyse
US7371143B2 (en) * 2004-10-20 2008-05-13 Corning Incorporated Optimization of parameters for sealing organic emitting light diode (OLED) displays
KR100685845B1 (ko) 2005-10-21 2007-02-22 삼성에스디아이 주식회사 유기전계 발광표시장치 및 그 제조방법
US20070096631A1 (en) 2005-11-01 2007-05-03 Un-Cheol Sung Flat panel display and fabricating method thereof
US7431628B2 (en) 2005-11-18 2008-10-07 Samsung Sdi Co., Ltd. Method of manufacturing flat panel display device, flat panel display device, and panel of flat panel display device
KR100673765B1 (ko) 2006-01-20 2007-01-24 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
US8038495B2 (en) 2006-01-20 2011-10-18 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and manufacturing method of the same
US20070170846A1 (en) 2006-01-23 2007-07-26 Choi Dong-Soo Organic light emitting display and method of fabricating the same
KR100635514B1 (ko) 2006-01-23 2006-10-18 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
JP4456092B2 (ja) 2006-01-24 2010-04-28 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
JP4624309B2 (ja) 2006-01-24 2011-02-02 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
US7999372B2 (en) 2006-01-25 2011-08-16 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of fabricating the same
KR100671641B1 (ko) 2006-01-25 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조 방법
KR100685854B1 (ko) 2006-01-25 2007-02-22 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
KR100688795B1 (ko) 2006-01-25 2007-03-02 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치 및 그 제조방법
US8164257B2 (en) 2006-01-25 2012-04-24 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting display and method of fabricating the same
KR100685853B1 (ko) 2006-01-25 2007-02-22 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법
KR100671647B1 (ko) 2006-01-26 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시 장치
KR100732808B1 (ko) 2006-01-26 2007-06-27 삼성에스디아이 주식회사 유기전계발광 표시장치의 제조방법
KR100671638B1 (ko) 2006-01-26 2007-01-19 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치
JP4633674B2 (ja) 2006-01-26 2011-02-16 三星モバイルディスプレイ株式會社 有機電界発光表示装置及びその製造方法
KR100703472B1 (ko) 2006-01-26 2007-04-03 삼성에스디아이 주식회사 프릿 경화 장치 및 이를 이용한 경화 방법

Also Published As

Publication number Publication date
ATE556441T1 (de) 2012-05-15
WO2007067420A3 (en) 2009-04-23
EP1958228A4 (en) 2010-07-07
US7537504B2 (en) 2009-05-26
TW200733785A (en) 2007-09-01
WO2007067420A2 (en) 2007-06-14
EP1958228A2 (en) 2008-08-20
US20070128967A1 (en) 2007-06-07
KR100881795B1 (ko) 2009-02-03
CN101536133B (zh) 2010-12-08
JP4601673B2 (ja) 2010-12-22
JP2008532207A (ja) 2008-08-14
CN101536133A (zh) 2009-09-16
KR20070088671A (ko) 2007-08-29
EP1958228B1 (en) 2012-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI344315B (en) Method of making a glass envelope
TWI416982B (zh) 包封顯示器元件之方法
US9399594B2 (en) Mask and method for sealing a glass envelope
JP4625085B2 (ja) 有機発光ダイオード(oled)ディスプレイを封止するためのパラメータの最適化
JP5690380B2 (ja) 電子部品をパッケージする方法および装置
TWI402948B (zh) 具有還原未使用區域電子組件之密閉性密封包裝
JP2012533853A (ja) フォトニック装置を封止する方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees