TWI339250B - Covering body for heating pipe - Google Patents

Description

1339250 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 · 本發明係關於-種加熱管件之包覆體，係用以裝附至一 管件’致使當被加熱時’例如氣體或液體的流體能夠流經 此管件。 【先前技術】 例如，在—半導體製造裝置或設備+，且在一例如1/4 英叶的管件、3/8英对的管件或1/2英忖的管件之氣體管

件中，會發生一種情形 H ^ ^就疋流經内部的反應性氣體或流 體會凝結而產生阻塞。作為防止該情形之對策，可將管件 加熱且保持在-特定溫度。此外，為了使加熱過的氣體或 液體能夠流動，同時保持高溫狀態，所以必須加熱管件。 作為g件之加熱方法，為了均句地加熱管件，—般來 說採用一種方法，其中將-例如圓柱形峨金屬_ 裝附至官件，且加熱此圍繞體，以便間接加熱管件。 此種加熱方式所使用的加熱管件之包覆體，已知呈 有以下的結構，其中例如半圓私报^ ^ 至-管件，且這塊之圍繞體是装配 —阁‘兀爿旦彼此以螺絲旋緊且固持於 亡二然：’在此加熱管件之包覆體中，由於螺孔需要且有 性，所以圍繞體的加工成本變 且 由於多處需要以螺絲固定’所以需要很多時間進行加工 且；以在，間内實施螺接。而且，取決於螺絲旋緊的 程度’圍繞體的内壁並未均句地接觸管件，而且，需要有 一定的技術程度才行。 而要有 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95丨丨丨441 6 丄3观5〇 中將一0柱分割成許多部位，在一外圍表面上且有 :，轴向形成的許多凹面溝槽之一圍繞體，係製配至一总 圍:二:；半圓：彈簧構件製成的裝配本體兩端係裝入i 、.’錢的凹面溝槽内，致使圍繞體是裝附至該管件 έ持（見荃考文件一）。在此加熱管件 ^ 地：良好的’即使在-狹窄空間内，裝配本體也可以輕易 象，付至圍繞體’且在固持狀態中不會出現不均勻的現 參考文件一 ：JP-A-2003-1 85086 一般來說，在一半導體製造裝置或設 Γ:的維修，且到那時候，必須移除加熱管Κι 考文件—的加熱管件之包覆體，如上所述，ί 土的裝配本體之裝附特性，但是裝配本體的 牛裝配在圍繞體的凹面、、盖燐肉 .... 牛 脫離圍繞體。因此：= 圍繞體移出。 她艮大的力-才能將裳配本體從 為了移除裝配本體’已知有一種方法，其中將一荦狀的 二具插入裝配本體與圍繞體之間’且藉 壓該裝配本體。然而’圍繞體一般是㈣，當工且= 時’其表面很可能受損，且可能會產生紹粉。在 導裝置或設備中，需要高度的清潔，所屬所 V致的污染則變成一項很嚴重的問題。 【發明内容】 3】發明說明書(補件)/95-07/95 ]】】441 7 1339250 有馨於上述情形，因 u曰徂 ^ 吨徒出本發明，且本發明的目的s 要&供-種加熱管件之包覆體，月：目的疋 移除，且不用擔心外在環境的污染。以衣附且可以輕易 二 =上述問題，本發明作了很多的研究 =因=熱管件之包覆體來達成上述優點。藉： 此乂現，因而完成本發明。 和田 本务明主要係關於以下幾點。 1二種加熱管件之包覆體’係用以裝附至該管件，且 “專導外在的熱量來加熱該管 S小-加〜、 匕3 .—圍繞體’包含 —^位，沿著一圓柱體的—軸& |右 狀，該圍繞體直有…I 1古 有K柱體的分割形 九月且〃、有通孔，其直徑對應於該管件的 以及一凹面溝槽，係設置在 二， M . ^ L 你/芏乂 一口ίΜ立中至少一部位的 外圍表面上，且在圍繞體的'縱向方向上延伸；—裝 件’係包含1一裝配板’包括一比圍繞體的外圍表面之 圓周的-半更長的第一弧形帶狀板，且在該第一弧形帶狀 板的一端具有第一延伸部以及第一切口；第二裝配板，包 :-比圍繞體的外圍表面之圓周的一半更長的第二弧形 狀板’且在該第二弧形帶狀板的一端具有第二延伸部以 及第二切口，第二延伸部以及第二切口係用以卡合該第一 :口與該第一延伸部；以及一鉸鏈’可開關地將第一弧形 可狀板以及第二弧形帶狀板的另一端彼此組合在一起，該 裝配構件係裝附至圍繞體上，以便將鉸鏈裝配在凹面溝槽 内’且將第一延伸部裝配至第二切口。 2·如第1項之加熱管件之包覆體，其中第—延伸部以及 312ΧΡ/發明說明書(補件)/95-〇7/95〗11441 8 第二延伸部的尖端是呈朝外彎曲。 3·如第1項之加埶普 -塗層和複數個突起中二=中用於防止磨損的 第二延伸部的至之疋-置在各第-延伸部以及 | J主乂 内側上。 4.如弟3項之加執管杜夕6曼遍 耐熱樹脂的塗層膜Γ 匕復脱，/、中該塗層是一包含 【實施方式】 本發明的包覆體具有一 本發明的圍繞體包:二 裝配構件。 ,；L ^ , 至/ 一部位，其形狀是將一圓柱體 /口者4 0柱體的軸線公 。丨成至>、一。IM立。圍繞體具有：一 通孔，其直徑對應於管件 置在至少二部位中至小^ ^ ’以及―凹面溝槽’係設 θ ^ ^ ^位的一外圍表面上。凹面溝槽 疋在圍繞體的一縱向方向上延伸。 :發：的裝配構件包括第一裝配板、第二裝配板以及一 :二 配板包括第一弧形帶狀板，係比圍繞體的- 、面之周長的一半還要長。而且，第一裝配板在第一 弧形帶狀板的一端具有第一延伸部以及第—切口。第二裝 配板亦包括？二弧形帶狀板，係比圍繞體的一外圍表面之 周長的-半還要長。而且，第二裝配板在S二弧形帶狀板 的：端具有第二延伸部以及第二切口，用以卡合第一切口 與第-延伸部。鉸鏈可開關地將第〆弧形帶狀板以及第二 弧形帶狀板的另一端彼此組合在一起，裝配構件係裝附至 圍、VU肢上以便將叙鏈裝配在凹面溝槽内，且將第一延伸 部裝配至第二切口。 3〗發明說明書(補件)/95-〇7/951丨1441 1339250 ο f才:1:月中第一延伸部以及第二延伸部的尖端最好是 纖個突起，最好是用於防止磨損的-塗層 疋°又置在各弟一延伸部以及第二延伸 部少一内側上。該塗層是一包含耐熱樹脂的塗層膜。 β弓下將 > 考附圖祥細說明本發明的較佳實施例。圖J ::不本發明加熱管件之包覆體的-組裝狀態之外觀立 體圖’圖2是圖1的前視圖，且圖3是顯示在圖i所：力 熱管件之包覆體㈣以前的狀態之㈣立體圖。^加 二圖以1及與圖4Γ’加熱管件之包覆體10包括-圍繞 脰11以及一“己構件12 ’其中圍繞體是裝配至一可供不 ㈣二流广:管件！ ’裂配構件具有第一裳配板13 :及 弟4配板u，兩者藉由一連接構件15而彼此相連。 官件1疋由一耐熱且抗磨損的材質( 所製成之管件。 μ) 圍繞體11是-圓柱塊體’係由具有極佳熱傳導 =例如铭合金）製成，且沿著—轴線被分割成二部分 ^「半圓柱形第一圍繞構件丨6以及第二圍繞構件17。 者第-圍繞構件16的外圍部位之管身方向，— 面溝槽18,且設置在第一圍鍊構件16的凹面溝； 面之—凹面溝槽19，係設置在第二圍繞構件Π的外圍邻 位上。凹面溝槽也可以僅形成於第-圍繞構件16以及; 二圍繞構件17其令一處上。 ϋ以及苐 第一圍繞構件16以及第二圍繞構件_ 平配合表面20與2"皮此一致且將他 ：者的扁 3 J 2ΧΡ/發明說明書(補件)/95_〇7/95⑴44! ^ 起，而形 成—圓柱形。而且，管件丨彳 ^ . t 干1插入所通過的一通孔22是形 成為與該軸線一致。關於通$丨，99 μ & 妞姐關趴逋孔22的外圍壁，最好第一圍 、、‘疋構件16的外圍壁以及第-圍沾 ^ . χ 乐一图繞構件17的外圍壁，是形 Ρ9 .. 、 扪午杬R3更大的曲率半徑R1與 藉此方式，通孔2 2的外ig jg$ i Α, I 曰& — 7 y卜阗壁在剖面上大致變成眼狀， 且確貫與管件丨的外圍產 叫展王直，.泉接觸。而且，可以透 圍繞構件1 6以及第-圍站播从！， 管件】。 弟一圍…構件Π ’確實有效地傳熱至 另一方面，構成裝配構件1 2的义结y. ., 傅幵的各弟一裝配板13以及第 ~展配板14，是由具有財埶性的 辎男T，“、性的惮簧構件所製成（不銹鋼 弓平黃構件）的帶狀板被加工成— 向，_ & / x曲線形狀’此曲線形狀之 内從稍微大於圍繞構件1丨的外 枝飞k夫 卜瓜’且一端是藉由連接構 件15而連接〇連接構件15是—由 苒 —』 疋由不銹鋼製成的鉸鏈，且 包括一對旋轉片23與24。一 及 10 %轉片23係固定至第一梦 配板13的一端，而另一旋轉片9 、 , 疋锝片24則是固定至第二裝配板 14的一端’且第一裝配板u以 欠 開關式支稽。 及第配板14受到可 關裝配板13’從連接構件15側到尖端的一部 :，其長度L2是大於圍繞體u的半圓u，且形成一矩 ::刀口 25,以便從該尖端縮回—特定長度。其中並未形 成刀口 25的-剩餘部位在圓周方向上延伸，以便形成〜 ，伸Γ26:且其尖端部朝向外側彎曲，以形成〆突起I 最好疋形成切口 2 5以及延伸部9 β 的,…“ d”6’以便將第-裝配板13 的1個見度分割成二個相等的部分。 312XP/發明說明書(補件)/95-〇7/95丨丨丨44 j 11 關方；苐—襄配板14，類似a筮 到尖端的-部位，Α長乂 :公：；，13’從底座端 在此尖端部’具有的半圓L1。 ::::广係形成在正對著第一裝配板13的延伸部二 一延伸π°2Γ^第一裳配板13的延伸部26相同形狀的 之位署:係形成在正對著第—裝配板13的切口 25 =4:亦即’第一裝配板13以及第二裝配板“的個 ::一“疋形成為其中切口與延伸部能夠彼此卡合之形 田如上返構成的裝配構件12係裝配至圍繞體^時，较 ?的—轴向部位首先是容納於一凹面溝槽内(在此為 繞構件17的凹面溝才曹19)。其次，在此狀態中， 衣配板1 3以及第二裝配板】4是分別朝向圍繞體j】 移動。最後’裝配板14的延伸部29進人第—裝配板13 的刀口 25，第一裝配板13的延伸部26進入第二裝配板 的刀口 28，且此圓形是藉由第一裝配板丨3以及第二裝 配,14關閉而成。第一裝配板]3以及第二裝配板“分 =疋由彈頁構件製成的，且個別的延伸部26以及29是設 定成大於圍繞體11的半圓。因此，在其中外力並未施加 到延1申部26與29之狀態下，他們不會與圍繞體丨〗分離， 且以管狀方式固持圍繞體丨i。 裝附細作的執行方式’是使裝配構件12的第一裝配板 1 3以及第二裝配板丨4藉由將他們在拇指與食指或中指之 間L起而加以固持’且兩指頭朝内移動，而同時鉸鏈是容 111441 312XP/發明說明書_牛)/95-07/95 1 功 250 、内在圍繞體11的凹面溝槽1 9内，所以，此操作非常簡單。 邮在其中4配構件12在維修時從上述裝配狀態而從圍繞 月:11移除之情形中’第一裝配板13的突起27以及第二 衣=板14的突起3〇會彼此接近，致使第一裝配板13以 及弟二裝配板14會分別沿著圍繞體u的外圍以彼此相反 的方向旋轉。藉此方式，可以鬆開第一裝配板1 3以及第 衣配板14到圍繞體11的裝配狀態，且他們能從圍繞體 11移開。 a 可以僅藉由將第一裝配板丨3的突起27以及第二裝配板 14的大起30於手指之間拾起，就能執行移除操作，而且 此操作报簡單。 在裝配以及移除操作中’第一裝配板13的延伸部26以 及第—裝配板14的延伸部29，在第一圍繞構件16的凹 1 8附近之直徑擴大，當他們已經通過此凹面溝槽 18〜則縮小直徑，且滑動到⑵面溝槽i 8的相反側外圍表 面。因此，在凹面溝槽18周圍的第一圍繞構件16之外圍 表面很可能會受損’且根據實際的情形而發生磨損。 、因此，如11 3所示，最好是將防止磨損塗層31盥32來 成f第—裝配板13的延伸部26以及第二裝配板14的延 伸。P 29之個別内表面上，而且當有需要時(在第一裝配板 13側的防止拄縮泠既π 衣配才反 接m是如目2所示）’會形成在包括 ^ 與28縮回特定長度之部位的個別.内表面上。 :〇:c在一半導？製造裝置中’由於管件被加熱至大約 所以，最好防止磨損塗層31與32是由具有良好 312XP/發明說明書(補件V95-〇7/i)5川441 滑動性以及耐熱性之材質所製成，且當它被剝落時，對於 =污染具有很小的影響。最好是一種包含如氣碳樹脂或 永亞胺/酿胺的耐熱樹脂之塗層膜。 。本^明並未侷限於上述實施例而已’且可以適當地佟鈽 或改良。例如，设有第一裝配板1 3的二延伸部2 7，且 以對應地設置第二裝配板14的二切口 28。此外，取 =損塗層31與32’可以設置許多小突起，以便減少對 if u的接觸面積，且可以藉此降低損壞與磨損。而 田在第裝配板13以及第二裝配板14的整個内表面 土設有許多突起時，即使在裝配構件12與圍繞體n :間 子在有-間隙的話’也可以確保對圍繞體^ @擠壓力， 且可以穩定地固持圍繞體丨】。 错t發明加熱管件之包覆體10包括上述圍繞體11與裂配 ::12。使用的形式可與先前技術相同。圍繞體 =構们2而裝配至管件，整個外圍表面覆蓋有-:: ;‘，、、：=單元’將電力供應至加熱單元以加熱圍繞體 ，且稭由熱傳導加熱管件。 =述，根據本發明加熱管件之包覆體，僅藉由執行 使裝配構件的此對裝配板處於開啟狀態， 的凹面、冓样二配構件敫附至圍繞體，鉸鏈是容納在圍繞體 :==納且:板，致使其中，板 管件移除下來時，此對r圍㈣在维修時從 對裝配板的延伸部僅需要朝向鉸鏈側 阳顶發明說明書(補件州·5〗im] ]4 1339250 延伸’且裝配構件可以非常容易地從圍繞體移除，而不需 要—工具及很大的力量。而且，當裝附或移除裴配構件 % ’可以一很小的力量執行裝配板的開啟/關閉，圍繞體 並不會損壞與磨損，且不會產生外在污染。 雖然已經藉由上述較佳實施例來詳細說明本發明，但是 f然對於熟知此項技術者來說，在不背離本發明的精神= 範圍之前提下，仍可以產生出不同的變化與修改。

本發明係以2005年3月31日申請之曰本專利申請案第 2〇〇5-1〇1800號案為主，其内容在此併入作為參考:木 【圖式簡單說明】 / 一組裝狀態之 圖1是顯示本發明加熱管件之包覆體的 外觀立體圖。 圖2是圖丨所示的加熱管件之包覆體之前視圖。 =是顯示在圖1所示加熱管件之包覆體組裝以前的狀 怨之外觀立體圖。

【主要元件符號說明】 1 管件 10 加熱管件之包覆體 11 圍繞體（圍繞構件） 12 裝配構件 13 第一裝配板 14 第二裝配板 15 連接構件（绞鍵） 16 第一圍繞構件 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95111441 15 1339250

17 第二圍繞構件 18 凹面構槽 19 凹面構槽 20 扁平配合表面 21 扁平配合表面 22 通孔 23 旋轉片 24 旋轉片 25 切口 26 延伸部 27 突起 28 切口 29 延伸部 30 突起 31 ' 32 防止磨損塗層 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95111441

Claims (1)

1. 丄 十、申請專利範圍： 1. 一種加熱管件之包覆體，奋用以裝附至該管件，且用 以傳導外部熱來加熱該管件，包含： 上圍 '凡，包含至少二部位，沿著一圓柱體的一軸線具 有該圓柱體的分割形狀，該圍繞體具有： 一通孔，其直徑對應於該管件的外徑；以及 凹面溝槽，係設置在該至少二部位中至少一部位的外 圍表面上，且在圍繞體的一縱向方向上延伸； 裝配構件，包含： 第-裝配板’包括一比圍繞體的外圍表面之圓周的—半 2的第—弧形帶狀板，且在該第一弧形帶狀板的一端具 有弟一延伸部以及第一切口； :二裝配板’包括一比圍繞體的外圍表面之圓周的一半 :的第二弧形帶狀板，且在該第二弧形帶狀板的一端具 =二延伸部以及第二切口’該第二延伸部以及第二切口 -用財合該第一切口與該第一延伸部；以及 :鉸鏈’可開關地將第一弧形帶狀板以及第二弧形帶狀 扳的另一端彼此組合在一起， =裝配構件係裝附至圍繞體上，以便將鉸鏈裝配在凹面 牡内，且將第—延伸部裝配至第二切口。 2申请專利範圍第1項之加熱管件之包覆體，其中第 T申部f及第二延伸部的尖端是呈朝外彎曲。 於防t ΪΓ專：乾圍第1項之加熱管件之包覆體’其中用 、磨知的-塗層和複數個突起中之―，是設置在各第 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95 U1441 17 1339250 一延伸部以及第二延伸部的至少一内側上。 4.如申請專利範圍第3項之加熱管件之包覆體，其中該 塗層是一包含耐熱樹脂的塗層膜。 312XP/發明說明書(補件)/95-07/95111441 18