JP2003185086A - 熱媒体流通管の被覆体 - Google Patents
熱媒体流通管の被覆体Info
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- JP2003185086A JP2003185086A JP2001388914A JP2001388914A JP2003185086A JP 2003185086 A JP2003185086 A JP 2003185086A JP 2001388914 A JP2001388914 A JP 2001388914A JP 2001388914 A JP2001388914 A JP 2001388914A JP 2003185086 A JP2003185086 A JP 2003185086A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 継手やエルボのある熱媒体流通管を、均一に
加熱しながら一定温度を維持でき、しかも構造が簡単
で、かつコンパクトに取付けできる熱媒体流通管の被覆
体を提供する。 【解決手段】 流通管１を囲繞する２つ割りの囲繞体２
の表面に多数の凹溝３，４を形成し、その凹溝３，４に
その両端部が嵌入する半円形状等の嵌合体５により２つ
割りの嵌合部を跨ぐように取付ける囲繞体２と嵌合体５
とからなる。
加熱しながら一定温度を維持でき、しかも構造が簡単
で、かつコンパクトに取付けできる熱媒体流通管の被覆
体を提供する。 【解決手段】 流通管１を囲繞する２つ割りの囲繞体２
の表面に多数の凹溝３，４を形成し、その凹溝３，４に
その両端部が嵌入する半円形状等の嵌合体５により２つ
割りの嵌合部を跨ぐように取付ける囲繞体２と嵌合体５
とからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造用超臨
界装置の主力配管等、加熱した熱媒体等を均等に加熱し
ながら通過する熱媒体流通管の被覆体に関する。
界装置の主力配管等、加熱した熱媒体等を均等に加熱し
ながら通過する熱媒体流通管の被覆体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造用の超臨界装置の主力
配管である１／４インチから１／２インチ径の熱媒体流
通管内を流れる主としてガス等の熱媒体は、常に一定温
度を維持することが必要である。
配管である１／４インチから１／２インチ径の熱媒体流
通管内を流れる主としてガス等の熱媒体は、常に一定温
度を維持することが必要である。
【０００３】しかしながら、上記の流通管の配管路に
は、継手や、エルボが必要不可欠である。これら継手や
エルボは一般に配管とは異径となるためにその部分での
熱媒体の保温や加熱が不均一となるという恐れがあり、
特に上記のごとく１／４インチ等の細管においては管路
内の均熱がとれにくい問題がある。
は、継手や、エルボが必要不可欠である。これら継手や
エルボは一般に配管とは異径となるためにその部分での
熱媒体の保温や加熱が不均一となるという恐れがあり、
特に上記のごとく１／４インチ等の細管においては管路
内の均熱がとれにくい問題がある。
【０００４】一方、現在使われている装置においては、
流通管配管をアルミ材のブロックではさんで、その中に
大きなヒータを入れて均熱を得るようにし、更に断熱材
にて覆っているが、このような装置では、その均熱のた
めの装置がかさばると共に、高価になるという問題があ
る。
流通管配管をアルミ材のブロックではさんで、その中に
大きなヒータを入れて均熱を得るようにし、更に断熱材
にて覆っているが、このような装置では、その均熱のた
めの装置がかさばると共に、高価になるという問題があ
る。
【０００５】特に、熱媒体流通管の屈曲したエルボの形
状が複雑になり、均一な加熱が困難であり、熱媒体の流
体が金属ガス等の場合には、管路内での凝固の原因とな
る恐れがある。
状が複雑になり、均一な加熱が困難であり、熱媒体の流
体が金属ガス等の場合には、管路内での凝固の原因とな
る恐れがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、継手やエル
ボのある熱媒体流通管を均一に加熱しながら熱媒体を一
定温度に維持することができ、管路内での熱媒流体の凝
固の恐れがなく、しかも構造が簡単で、かつコンパクト
で安価な熱媒体流通管の被覆体を提供する。
ボのある熱媒体流通管を均一に加熱しながら熱媒体を一
定温度に維持することができ、管路内での熱媒流体の凝
固の恐れがなく、しかも構造が簡単で、かつコンパクト
で安価な熱媒体流通管の被覆体を提供する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、熱媒体流通管
を囲繞する２つ割り又はそれ以上の囲繞体の表面に多数
の凹溝を流通管に沿う方向に形成し、その凹溝にその両
端部が嵌入する半円形状等の嵌合体により、前記囲繞体
の２つ割り又はそれ以上の囲繞体を跨ぐように取付ける
囲繞体と嵌合体とからなる熱媒体流通管の被覆体からな
り、また本発明は、熱媒体流通管の屈曲部の一方に、上
記の囲繞体を取付け、それに続く屈曲部に、その屈曲部
を包囲し、かつその屈曲部を収容可能な空隙部を囲繞体
の内側に形成した囲繞体を取付け、両囲繞体を接触して
取付けるようにした熱媒体流通管の被覆体からなり、さ
らに本発明は上記熱媒体流通管の屈曲部に、その屈曲部
を包囲して収納する空間を内部に形成した熱媒体流通管
の被覆体からなる。またさらに本発明は、それらの被覆
体を断熱、保温効果の高いマントルヒータで被覆したも
のからなる。
を囲繞する２つ割り又はそれ以上の囲繞体の表面に多数
の凹溝を流通管に沿う方向に形成し、その凹溝にその両
端部が嵌入する半円形状等の嵌合体により、前記囲繞体
の２つ割り又はそれ以上の囲繞体を跨ぐように取付ける
囲繞体と嵌合体とからなる熱媒体流通管の被覆体からな
り、また本発明は、熱媒体流通管の屈曲部の一方に、上
記の囲繞体を取付け、それに続く屈曲部に、その屈曲部
を包囲し、かつその屈曲部を収容可能な空隙部を囲繞体
の内側に形成した囲繞体を取付け、両囲繞体を接触して
取付けるようにした熱媒体流通管の被覆体からなり、さ
らに本発明は上記熱媒体流通管の屈曲部に、その屈曲部
を包囲して収納する空間を内部に形成した熱媒体流通管
の被覆体からなる。またさらに本発明は、それらの被覆
体を断熱、保温効果の高いマントルヒータで被覆したも
のからなる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の熱媒
体流通管の被覆体における各実施の形態につき説明す
る。
体流通管の被覆体における各実施の形態につき説明す
る。
【０００９】図面に示す熱媒体の流通管１は、前記のご
とく、半導体製造用の超臨界装置等の主力配管であり、
その配管路には、図２に示すような継手７および屈曲部
９、さらには図３に示すような直角の屈曲部１０等が設
けられている。
とく、半導体製造用の超臨界装置等の主力配管であり、
その配管路には、図２に示すような継手７および屈曲部
９、さらには図３に示すような直角の屈曲部１０等が設
けられている。
【００１０】まず、図１の一実施形態で説明すると、こ
の熱媒体の流通管１は主にステンレス鋼パイプからな
り、その周囲を囲繞する２つ割りのアルミ材パイプを加
工した囲繞体２を、流通路の管外周と、囲繞体２の内径
とが十分に接触するようにはさみ込んで設けられてお
り、これら囲繞体２の表面にはＵ字状の凹溝３や、コの
字状の凹溝４が多数形成されており、これら凹溝３，４
は流通管１の長さ方向に沿って形成されている。
の熱媒体の流通管１は主にステンレス鋼パイプからな
り、その周囲を囲繞する２つ割りのアルミ材パイプを加
工した囲繞体２を、流通路の管外周と、囲繞体２の内径
とが十分に接触するようにはさみ込んで設けられてお
り、これら囲繞体２の表面にはＵ字状の凹溝３や、コの
字状の凹溝４が多数形成されており、これら凹溝３，４
は流通管１の長さ方向に沿って形成されている。
【００１１】また、図１に示すスプリング材の嵌合体５
が、その半円弧形状またはリング状等の両端部が図中Ｘ
で示すごとく凹溝３，４に嵌入することにより、囲繞体
２の２つ割り（場合によっては２つ割り以上）の嵌合部
Ｗを跨ぐように取付けられている。
が、その半円弧形状またはリング状等の両端部が図中Ｘ
で示すごとく凹溝３，４に嵌入することにより、囲繞体
２の２つ割り（場合によっては２つ割り以上）の嵌合部
Ｗを跨ぐように取付けられている。
【００１２】次に、図２の他の実施形態では、流通管１
同士が六角形ナット形状の継手７の図示されていない内
径部の内ネジ部を介して接続され、これらの流通管１の
外周にそれぞれ囲繞体２が嵌合体５によって取付けられ
ており、さらに流通管１の一側に屈曲部９が設けられて
おり、その屈曲部９にも図中の左側に示す図１と同様な
囲繞体２を垂直方向に取付けており、これにより水平方
向の囲繞体２と垂直方向の囲繞体２とで屈曲部９を完全
に包囲するが、図２の垂直方向の囲繞体２には上記屈曲
部９を収容可能な空隙部８をその内側に形成しており、
この空隙部８内に矢印Ｈのごとく屈曲部９を挿入して２
つの囲繞体２，２で屈曲部９の全体を収容するようにし
ている。
同士が六角形ナット形状の継手７の図示されていない内
径部の内ネジ部を介して接続され、これらの流通管１の
外周にそれぞれ囲繞体２が嵌合体５によって取付けられ
ており、さらに流通管１の一側に屈曲部９が設けられて
おり、その屈曲部９にも図中の左側に示す図１と同様な
囲繞体２を垂直方向に取付けており、これにより水平方
向の囲繞体２と垂直方向の囲繞体２とで屈曲部９を完全
に包囲するが、図２の垂直方向の囲繞体２には上記屈曲
部９を収容可能な空隙部８をその内側に形成しており、
この空隙部８内に矢印Ｈのごとく屈曲部９を挿入して２
つの囲繞体２，２で屈曲部９の全体を収容するようにし
ている。
【００１３】なお、図２において１２で示すのはサーモ
スタットであり、熱伝導のよいアルミを介して流通管１
の温度を正確に測温することで過昇防止の制御が可能で
ある。更に、凹溝４に、中心に向かって貫通孔を設けて
シース熱電対を差し込み、嵌合体５で固定するようにし
てもよい。
スタットであり、熱伝導のよいアルミを介して流通管１
の温度を正確に測温することで過昇防止の制御が可能で
ある。更に、凹溝４に、中心に向かって貫通孔を設けて
シース熱電対を差し込み、嵌合体５で固定するようにし
てもよい。
【００１４】次に、図３はさらに他の実施形態であり、
２本の流通管１，１の直角の屈曲部１０の被覆体の取付
前の分解図を示しており、図１と同様な囲繞体２の内部
に、上記屈曲部１０を包囲して収納する空間１１を形成
しており、こられの囲繞体２で流通管１の屈曲部１０を
収納するように覆い、囲繞体２のコの字形状の凹溝４
に、半円形状またはリング状のスプリング材の嵌合体６
により矢印Ｙのごとく２つ割りの囲繞体２を跨ぐように
取り付けるようにしている。
２本の流通管１，１の直角の屈曲部１０の被覆体の取付
前の分解図を示しており、図１と同様な囲繞体２の内部
に、上記屈曲部１０を包囲して収納する空間１１を形成
しており、こられの囲繞体２で流通管１の屈曲部１０を
収納するように覆い、囲繞体２のコの字形状の凹溝４
に、半円形状またはリング状のスプリング材の嵌合体６
により矢印Ｙのごとく２つ割りの囲繞体２を跨ぐように
取り付けるようにしている。
【００１５】図３により流通管１の周囲に十分に接触し
て囲繞体２と嵌合体６または５とからなる本発明の被覆
体を取付けた後、図４に示すように、その被覆体の周囲
を、ガラス繊維１３内にニクロム線などのヒータを内設
したマントルヒータ１４で覆い通電することで、本発明
の被覆体を加熱し、流通管１は継手７や屈曲部９，１０
が存在してもアルミ材の囲繞体２を介して均一に加熱さ
れ一定温度を維持することができる。
て囲繞体２と嵌合体６または５とからなる本発明の被覆
体を取付けた後、図４に示すように、その被覆体の周囲
を、ガラス繊維１３内にニクロム線などのヒータを内設
したマントルヒータ１４で覆い通電することで、本発明
の被覆体を加熱し、流通管１は継手７や屈曲部９，１０
が存在してもアルミ材の囲繞体２を介して均一に加熱さ
れ一定温度を維持することができる。
【００１６】なお、図１から図４においては、説明の便
宜上各部を拡大して示しているが、この実施の形態にお
いては、例えば流通管１の外径Ａを６．５mmとし、囲繞
体２の外径Ｂを２０mmとし、さらにマントルヒータ１４
の外径Ｄを４５mm以上としている。本発明で嵌合体を半
円形状と表現したが、正確な半円形だけでなく半円形以
上の円弧状物をも含むものである。
宜上各部を拡大して示しているが、この実施の形態にお
いては、例えば流通管１の外径Ａを６．５mmとし、囲繞
体２の外径Ｂを２０mmとし、さらにマントルヒータ１４
の外径Ｄを４５mm以上としている。本発明で嵌合体を半
円形状と表現したが、正確な半円形だけでなく半円形以
上の円弧状物をも含むものである。
【００１７】
【発明の効果】以上に説明した本発明の熱媒体流通管の
被覆体によれば、継手やエルボのある熱媒体流通管をア
ルミ材等の金属製囲繞体を介して温度を均一に加熱した
り、保温し、一定温度を維持することができ、管路内で
の熱媒体の凝固等の恐れをなくすることができる。
被覆体によれば、継手やエルボのある熱媒体流通管をア
ルミ材等の金属製囲繞体を介して温度を均一に加熱した
り、保温し、一定温度を維持することができ、管路内で
の熱媒体の凝固等の恐れをなくすることができる。
【００１８】また、本発明の被覆体は、構造が簡単であ
り、熱媒体流通管の周囲にコンパクトに、かつ簡単に取
付けられ、場所もとらず、しかも安価に提供することが
できる。
り、熱媒体流通管の周囲にコンパクトに、かつ簡単に取
付けられ、場所もとらず、しかも安価に提供することが
できる。
【００１９】さらに、本発明では半円形状等の嵌合体を
用いて囲繞体を固定するようにしたから固定が簡単であ
ると共に、ネジ止め等とちがって突起物が外部に生じな
いから障害の発生がない。
用いて囲繞体を固定するようにしたから固定が簡単であ
ると共に、ネジ止め等とちがって突起物が外部に生じな
いから障害の発生がない。
【図１】本発明の被覆体の一実施形態における説明用拡
大斜視図である。
大斜視図である。
【図２】本発明の被覆体の他の実施形態における説明用
の一部取付前の状態の拡大斜視図である。
の一部取付前の状態の拡大斜視図である。
【図３】本発明の被覆体のさらに他の実施形態における
部品取付前の状態の説明用拡大斜視図である。
部品取付前の状態の説明用拡大斜視図である。
【図４】図３の屈曲部の被覆体の周囲をマントルヒータ
で覆った状態の説明用拡大斜視図である。
で覆った状態の説明用拡大斜視図である。
１ 流通管 ２ 囲繞体
３ 凹溝 ４ 凹溝
５ 嵌合体 ６ 嵌合体
８ 空隙部 ９ 屈曲部
１０ 屈曲部 １１ 空間
Claims (4)
- 【請求項１】 熱媒体流通管を囲繞する２つ割り又はそ
れ以上の囲繞体の表面に多数の凹溝を流通管に沿う方向
に形成し、その凹溝にその両端部が嵌入する半円形状等
の嵌合体により前記囲繞体の２つ割り又はそれ以上の囲
繞体を跨ぐように取付ける囲繞体と嵌合体とからなる熱
媒体流通管の被覆体。 - 【請求項２】 熱媒体流通管の屈曲部の一方に、請求項
１に記載の囲繞体を取付け、それに続く屈曲部に、その
屈曲部を包囲し、かつその屈曲部を収容可能な空隙部を
囲繞体の内側に形成した囲繞体を取付け、両囲繞体を接
触して取付けるようにした熱媒体流通管の被覆体。 - 【請求項３】 熱媒体流通管の屈曲部に、その屈曲部を
包囲して収納する空間を内部に形成した請求項１に記載
の囲繞体を取付けるようにした熱媒体流通管の被覆体。 - 【請求項４】 外側全面をマントルヒータで被覆された
請求項１、２又は３記載の熱媒体流通管の被覆体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001388914A JP2003185086A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | 熱媒体流通管の被覆体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001388914A JP2003185086A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | 熱媒体流通管の被覆体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003185086A true JP2003185086A (ja) | 2003-07-03 |
Family
ID=27597275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001388914A Pending JP2003185086A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | 熱媒体流通管の被覆体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003185086A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006283807A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Nichias Corp | 配管加熱用被覆体 |
| JP2007002986A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Nichias Corp | 配管加熱用被覆体及び配管加熱構造 |
| KR100978797B1 (ko) * | 2008-05-07 | 2010-08-30 | (주)화인 | 열전달 균일성이 증가된 반도체 공정가스 배출용 히터자켓 |
| JP2014007111A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Nichias Corp | ヒータ及び伝熱部材 |
| US9423185B2 (en) | 2009-11-04 | 2016-08-23 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Heat transfer device |
| US9657880B2 (en) | 2010-12-09 | 2017-05-23 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Heating device |
| JP6305655B1 (ja) * | 2017-02-16 | 2018-04-04 | ニチアス株式会社 | 配管系の熱伝導被覆体、配管系の加熱装置、熱伝導被覆体の製造方法及びその取付方法、並びに、加熱装置の製造方法及びその取付方法 |
| JPWO2017002241A1 (ja) * | 2015-07-01 | 2018-04-12 | ニチアス株式会社 | ヒータ装置及びそれを用いた被加熱体の加熱方法 |
-
2001
- 2001-12-21 JP JP2001388914A patent/JP2003185086A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4563238B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2010-10-13 | ニチアス株式会社 | 配管加熱用被覆体 |
| KR101164689B1 (ko) | 2005-03-31 | 2012-07-11 | 니찌아스 카부시키카이샤 | 배관 가열용 피복체 |
| JP2007002986A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Nichias Corp | 配管加熱用被覆体及び配管加熱構造 |
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| WO2018150518A1 (ja) * | 2017-02-16 | 2018-08-23 | ニチアス株式会社 | 配管系の熱伝導被覆体、配管系の加熱装置、熱伝導被覆体の製造方法及びその取付方法、並びに、加熱装置の製造方法及びその取付方法 |
| KR20190109439A (ko) * | 2017-02-16 | 2019-09-25 | 니찌아스 카부시키카이샤 | 배관계의 열전도 피복체, 배관계의 가열장치, 열전도 피복체의 제조 방법 및 그 부착 방법, 그리고 가열장치의 제조 방법 및 그 부착 방법 |
| CN110382941A (zh) * | 2017-02-16 | 2019-10-25 | 霓佳斯株式会社 | 配管系统的导热覆盖体、配管系统的加热装置、导热覆盖体的制造方法及其安装方法、以及加热装置的制造方法及其安装方法 |
| KR102095690B1 (ko) | 2017-02-16 | 2020-03-31 | 니찌아스 카부시키카이샤 | 배관계의 열전도 피복체, 배관계의 가열장치, 열전도 피복체의 제조 방법 및 그 부착 방법, 그리고 가열장치의 제조 방법 및 그 부착 방법 |
| US11009170B2 (en) | 2017-02-16 | 2021-05-18 | Nichias Corporation | Thermally conductive cover for piping system, heating device for piping system, manufacturing method and attachment method for thermally conductive cover, and manufacturing method and attachment method for heating device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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