TWI337755B - - Google Patents

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^37755 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於具備例如對於被處理基板進行特定製程之 複數製造裝置、及與該複數製造裝置連接之伺服器裝置之 群管理裝置，以及伺服器裝置等。 【先前技術】 於以往之群管理系統，實現可自動且正確地將從測定器

=來之資料予以加工之半導體製造裝置之群管理系統之測 疋資料加工方法（參考例如專利文獻丨）。於本測定資料加工 方法’接收敎器對於群管理系統之群管理冑之測定器通 知部所傳送之各種敎資料^本敎資料加工方法係預先 登錄加工前述敎資料之計算式，接㈣前述測定資料 時’將前述測定資料儲存於測定資料接收緩衝器，並且根 據前述敎資料所具有之配方名冑，從前述登錄之計算式 二選擇2於加工前述測定資料之至少一個具有相同配方 稱之at异式，並儲存於計算式儲存緩衝器，將儲存之前 =定資料適用於前述選擇之計算式而計算’將計算結果 5己憶於加工完畢資料儲存緩衝器。 亍之半導體製造裝置之群管理系，統，具有顯 圖表)之=置测定到之時間序列資㈣下記載為 直:二=成群管理裝置之製造裝置，尚有所謂批式 專/:Γ (參考專利文獻2、專利文獻3)。 獻1]日本特開平㈣伽號公報（第-頁、圖】等） I204l0.doc 1337755 [專利文獻2]曰本專利3543996號公報（第一頁、圖1等） [專利文獻3]曰本特開2002-25997號公報（第一頁、圖1等） 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而，於以往之半導體製造裝置之群管理系統，無法過 渡以製品晶圓片數作為鍵（k e y)所測定之資訊而進行異常檢 測。因此’具有無法實現精度高之異常檢測之課題。具體 而言’例如過濾將包含仿真晶圓片數之總晶圓片數作為鍵 所測定之資訊而進行異常檢測之情況時，測定資訊之偏差 大’為了不將正常狀態判斷為異常，必須寬鬆（大範圍）地 設定異常判斷之臨限值’其結果，無法實現精度高之異常 檢測。進一步具體而言，由於製品晶圓上形成有佈線（圖 案）’因此於表面上具有凹凸，於仿真晶圓上通常未形成 有佈線（圖案）。因此，例如依製品晶圓片數使氣體流動之 情況之電阻值會不同，因此有異常之產生頻率或異常之種 類等不同之情況。於以往之半導體製造裝置之群管理系 統’無法藉由製品晶圓片數之差異來進行異常檢測。 [解決問題之技術手段] 本發明之伺服器裝置係構成具備對於被處理基板進行特 定處理之複數製造裝置及與該複數製造裝置連接之伺服器 裝置，且具有進行異常檢測之功能之群管理系統者；且具 備測疋資訊儲存部，其係可儲存複數測定資訊，該測定 資係有關在前述複數製造裝置測定之資訊之時間序列資 訊係具有以前述製造裝置所製造之製品之晶圓片數之製 120410.doc :晶圓片數及表示時刻之時刻資訊之資訊；指示受理部， ’、係又理包含作為有關製品晶圓片數之條件之製品晶圓片 條件之輸出資訊之輸出指示；條件資訊儲存部，其係儲 :表示用以判斷測定資訊是否異常之條件之條件資訊：異 Μ«測部，其係於前述指示受理部受理到輸出指示之情況 y，從前述測定資訊儲存部讀出與該輸出指示所包含之製 品晶圓片數條件一致之複數測定資訊，判斷該讀出之複數 測定資訊是否與前述條件資訊—致；冑出f訊構成部，其 係構成對應前述異常檢測部之判斷結果之輸出資訊；及輸 出部，其係輸出前述輸出資訊構成部所構成之輸出資訊。 【實施方式】 ° 以下，參考圖式來說明有關伺服器裝置等之實施型態。 此外，由於實施型態中附有相同符號之構成要素進行S同 之動作，因此會有省略再一次說明之情況。 (實施型態） 圖1為本實施型態之群管理系統之概念圖。群管理系統 為控制例如半導體製造裝置、液晶面板製造裝置等製造裝 置之系統。而且，群管理系統具有丨以上之製造裝置丨〗（製 造裝置11(1)至製造裝置11(n))、伺服器裝置12及客戶端裝 置13。 製造裝置11係對於被處理基板進行特定製程之裝置。製 造裝置11係進行例如成膜裝置、蝕刻處理、熱氡化處理等 對於被處理基板之各種處理，製造裝置丨丨為例如上述專利 文獻2或專利文獻3等之批式直立型熱處理裝置。於圖2表 120410.doc 1337755 對於ί: 製造裝置11係作為載入室而形成 對於其他至可密閉，且作為惰性氣氛而可供給A氣體'進 打真㈣取之所謂載入鎖止室構造之裝置。製造裝置㈣ 主要部之結構包令：戴起其 ^ 偁匕3裟表f 3 ’其係於被處理體之晶圓

I施加特定處理之處理室；作為載入室之載入鎖止室 h其係具備對於該製程^，插拔收納有多片之例如⑽ 片之晶圓W之作為保持體之晶圓W之移送機構g;搬出入 室ab ’其係對於該載入鎖止室h，將晶圓w搬出、搬入； 卡1^收容容器用板ae，其係、形成於該搬出人室ab;取入機 構狀’其係將載置於該板ac之卡E收容容器ad取入搬出入 室ab内；纟器保管台af，其係暫時保管取人之卡厘收容容 器ad;卡匣取出台ag，其係取出收容於卡匣收容容器y内 之卡匣c;容器移載機構ah，其係於搬出入室讣内，進行 卡匣收容容器ad之交付；及保持體收容室ai，其係收容配 置於載入鎖止室h與搬出入室ab間之晶圓板卜此外，關於

圖2之製造裝置丨丨之例之其他部位及動作，由於為習知技 術（> 考專利文獻2)’因此省略詳細說明。而且，作為構成 製造裝置11之處理室，宜為專利文獻3之圖1之處理室。 而且’製造裝置11係儲存例如有關對於晶圓之特定製程 之資訊之配方（通常為製程條件值之集合），使用該配方控 制。 而且’飼服器裝置12為構成所謂群管理系統之伺服器裝 置’儲存複數製造裝置1丨之各種測定資訊’具有對於該測 定資訊進行異常檢測之功能。 120410.doc -10- 求而二 =二裝置13係對於飼服器裝置12發出各種要 伺服态裝置12之處理結果。 圖3為本實施型態之 ^ ^ , w S系統之區塊圖。群管理系統 具備1 u上之製造裝置 13。 1 1们服器裝置12及客戶端裝置 製造裝置11具備：輸入受理部11〇1 製造裝置識別符儲存部11〇3、製β :子邛1102、 于1 U〇3 &口口晶圓片數儲存部1104、 處理部11 05、測定部丨丨〇6、《資 送部nQ8。 ^訊積存部蘭及原資訊傳 伺服MB具備：測定資訊儲存部讀、原資訊接收 部⑽、測定資訊取得部⑽、測U訊積存部讀、指 不受理部1205、輸出資訊構成部咖、輸出部⑽、輸出 4日示積存部1208、條#皆印料t六Αιτ , 料貝訊錯存部_及異常檢測部 客戶端裝置13具備：指示輸入部13〇1、指示遞送部 1302、受理部13〇3及顯示部〗304。 輸入受理部1101係從製造裝置u之使用者受理各種輪 入。各種輸入為例如配方、識別配方之識別符、製品晶圓 片數或晶圓之製造指示(處理之執行指示)等。製品晶圓片 數係不含仿真晶圓之片數之晶圓片數’其為作為製品所製 造之晶圓之片數。此外，可收納於製造裝置u之晶圓片數 為例如50片或30片等，其中仿真晶圓為10片或5片等。而 且’可收納之晶圓中’不拘仿真晶圓數、製造晶圓數。來 自使用者之各種輸入之輸入機構可藉由數字鍵盤、鍵盤、 120410.doc 1337755 滑鼠或選單畫面等者，任何均可。輸入受理部11〇1能以數 字鍵盤或鍵盤等輸入機構之元件驅動器、或選單書面之控 制軟體等來實現。 — 配方儲存部u〇2_存為了控㈣造裝置u所使用之配 方。配方係有關對於晶圓之特定製程之資訊，通常包含製 程參數之資訊之集合。製程參數之資訊包含例如種類名、 項目名#數名、值。種類名係表示製程參數之種類之名 稱’例如「溫度」、「氣體流量」、「板升降機之速度」等。 項目名係表示製程參數之屬性之名稱，例如「上下速 度」、「旋轉速度」等。參數名為製程參數之名稱，例如 「C」、「A」值係對於製程參數之變數所賦予之值。 通常’配方係與識別配方之配方識別符(例如配方名)成對 儲存配方儲存部丨丨〇2宜為非揮發性記錄媒體，但以揮發 性之記錄媒體亦可實現。 製造裝置識別符儲存部1103儲存有識別製造裝置"之製 造裝置識別符。此製造裝置識別符為輸入受理部ιι〇ι所受 理之資訊’或於製造裝置出貨時預先儲存之資訊均可。製 造裝置識別符U03為硬碟或R0M等非揮發性記錄謀體、或 RAM等揮發性記錄媒體。 製品晶圓 >；數儲存部11G4儲存有表示製品晶圓片數之資 訊。於此，表示製品晶圓片數之資訊通常為數值（例如 )彳亦可為與數值相對應之記號等。總言之，表示製 品晶圓片數之資訊與製品晶圓片數為相同意義。製品晶圓 片數健存部11〇4之製品晶圓片數為例如輸入受理部_所 I20410.doc 受理之數值。而且，製σ B固u〜 ^ 表口0日日圓片數儲存部1104之製品晶圓 片广為藉由例如未圖示之機構所自動取得之資訊亦可。取 付製品晶圓片數之未圖示之機構係、例如藉由圖像處理，來 檢測製品晶圓與仿直晶（η主二 具ΘΒ圓表面之顏色差異，以算出製品晶 圓之片數之機構。it常’製品晶圓與仿真晶圓之表面顏色 不同❿i取付製品晶圓片數之未圖示之機構係例如藉 由圖像處理’來讀取記載於製品晶圓之m，以算出製品晶 圓之片數之機構。此外’不拘自動取得製品晶圓片數之機 構製。。晶圓片數儲存部i i 04為硬碟或R〇M等非揮發性記 錄謀體、或RAM等揮發性記錄媒體均可。 處理部1105係讀出配方儲存部11〇2之配方，按照該配方 來進行對於晶圓之特定製程。處理部11〇5通常可由Mpu或 記憶體等來實現。處理部1105之處理程序通常以軟體來實 現，該軟體δ己錄於ROM等記錄媒體。但亦能以硬體（專用 電路）來實現。 測定部1106係測定製造裝置丨丨内之溫度、氣體流量或壓 力等’取得圖表化之作為測定資訊之本源之資訊之原資 訊。原資訊為測定之溫度等資訊。原資訊通常具有表示測 定之時刻之時刻資訊。原資訊進一步宜具有：配方識別 符’其係識別測定部11 0 6測定溫度等之值時所處理之配 方’測定之值；及表示測定時刻之時刻資訊。測定部11 當然亦可測定複數處之複數溫度、或溫度及氣體流量等複 數值。總言之，原資訊亦可具有2種以上之測定值。測定 部1 0 6能以1以上之溫度感測器或1以上之流量感測器等感 120410.doc •13- 測器等來實現。 原資訊積存部1107係將測定部1106所取得之原資訊，積 存於未圖示之§己錄媒體。原資訊積存部1107通常可由MPU 或記憶體等來實現。原資訊積存部丨107之處理程序通常以 軟體來實現，該軟體記錄於R〇M等記錄媒體。但亦能以硬 體（專用電路）來實現。而且，上述未圖示之記錄媒體宜為 非揮發性記錄媒體’但以揮發性記錄媒體亦可實現。 原資訊傳送部1108係將原資訊積存部1 1 07所積存之原資 訊傳送至伺服器裝置12。不拘原資訊傳送之觸發。而且， 原資訊傳送部丨〖08所傳送之原資訊具有測定之！種以上（例 如溫度及氣體流量）之值、時刻資訊、製品晶圓片數。而 且’原資訊傳送部11 〇 8所傳送之原資訊進一步宜具有：識 別製造裝置Η之製造裝置識別符、或識別配方之配方識別 符。而且，原資訊傳送部1108所傳送之原資訊亦可具有包 含仿真晶圓片數在内之總晶圓片數等。總言之，原資訊積 存部1107所積存之原資訊及原資訊傳送部u〇8所傳送之資 訊，其構造或結構不同亦可。而且，原資訊亦可對於複數 測疋值，具有1個製品晶圓片數或/及丨個製造裝置識別符 或/及1個配方識別符而構成。原資訊傳送部11〇8能以無線

存部1102或製造裝置識別符儲存部^ ， $晶圓片數儲存部 〒。而且，原資訊 12前，從配方儲 ’分別讀出配方識 I20410.doc 1337755 別符或製造裝置識別符，並附加於原資訊亦可。而且，原 ^訊傳送部1108亦可一次傳送將測定值（例如氣體流量）於 母1秒取樣之匯總資料（例如匯總1〇個之資料）。不拘原資訊 傳送部11G8所傳送之資料之單位或資料構造等。而且，構 成傳送之原資訊之處理不在原資訊傳送部11〇8進行，而在 原資訊積存部1107進行亦可。亦不拘測定之丨種以上（例如 溫度及氣體流量）之值與時刻f訊之配組之資訊、及製品 曰曰圓片數或製造裝置識別符或配方識別符之傳送時序等。 測定資訊儲存部1201可儲存複數測定資訊。複數測定資 訊係有關在複數製造裝置1丨所測定到之丨種以上之資訊（例 如溫度或壓力）之時間序列資訊，其為具有製造裝置〗〗所 製造之製品之晶圓片數之製品晶圓片數及表示時刻之時刻 資訊之資訊·>而且，複數測定資訊係有關在複數製造裝置 Π所測定到之丨種以上之資訊之時間序列資訊，其為具有 製品晶圓片數及識別製造裝置11之裝置識別符及時刻資訊 之資訊亦可。並且，複數測定資訊係有關在複數製造裝置 Π所測定到之1種以上之資訊之時間序列資訊，其為具有 製品晶圓片數、配方識別符及時刻資訊之資訊亦可。測定 資訊係對於原資訊接收部1202所接收到之複數原資訊，由 測定資訊取得部1203進行特定運算所取得之資訊，或與原 資訊相同之資訊均可。測定資訊儲存部12〇1宜為非揮發性 記錄媒體，但以揮發性記錄媒體亦可實現。此外，測定資 訊儲存部1201之測定資訊為測定資訊積存部12〇4所積存之 資訊、從製造裝置11直接接收之資訊、或從未圖示之記錄 120410.doc 15 1337755 媒體讀出之資訊均可。 =貝訊接彳UP12G2係從複數製造裝置〗丨，接收作為複數 測定資訊之本源之資訊之原資訊。原資訊接收部贈能以 無線或有線之通信機構等來實現。 測定資訊取得部12 0 3係對於原資訊接收部丨2 〇 2所接收到 之複數原資訊進行特定運算，取得複數測定資訊。特定運 算係例如於每特定時間間隔，算出複數原資訊所具有之複 數值之平均值、取得最大值、取得最小值、算出標準差或 取得中間值之運算。而且，特定運算係例如於配方内之每 特定步驟，算出複數原資訊所具有之複數值之平均值取 得最大值、取得最小值、算出標準差或取得中間值之運算 亦可。測定資訊取得部1203通常可由MPu或記憶體等來實 現。測定資訊取得部1203之處理程序通常由軟鱧來實現’ 該軟體記錄於R0M等記錄媒體。但亦能以硬體（專用電路） 來實現。 測定資訊積存部1204係將測定資訊取得部12〇3所取得之 複數測定資訊，積存於測定資訊儲存部12〇1。此外，將測 定資訊取得部1203所取得之複數測定資訊配置於測定資訊 儲存部1201之情況’係與測定資訊積存部12〇4所進行之積 存處理為NOP (No Operation :無運算）同義。測定資訊積 存部1204通常可由MPU或記憶體等來實現。測定資訊積存 部1204之處理程序通常由軟體來實現，該軟體記錄於r〇m 等記錄媒體《但亦能以硬體（專用電路）來實現。 指示受理部1205受理指示。該指示通常從客戶端裝置13 1204l0.doc -16- 1337755 接收，但亦可從連接於词服器 理。指示受理部1205所受理之12之鍵盤或滑鼠等受 叙々面* 和不為例如包含製。曰圓u 數之圖表之輸出指示、包含剪。 匕3氣口口曰日圓片 識別符之圖表之輸出指示、及1以上之裝置 方識別符之圖表之輸出指 ：圓片數及1以上配 at _ 0 '口口晶圓片數 裝置識別符與i以上之配 方数及1以上之 丄〈配万識別符之圖 此外，包含盥品a ill y虹 之輸出拐不4。 匕3表口口日日圓片數之圖表之 片數為Μσ曰a7F中之製品晶圓 乃歎马製扣曰日圓片數之範圍 ® , 寻）或僅表示製品晶 圓片數（40等）之資訊均可。 取口口日曰 ispc^ . , a, 褕出礼不亦可包含圖表種類

(SPC圖表、相關圖表或M -介衣寺）之貝訊。而且，輸出指 不亦可包含圖表輸出之對象眘 式蔽…… 枓類型(溫度、氣體流量 或壓力等測定資訊）。而且，輪 _ 輸出指不亦可包含構成圖表 之.站或/及線之屬性資訊。屬性資 貝礼係才曰點顏色、點種類 (形狀）、線顏色、線種類等。並 卫且輸出指不包含配方識 別符之情況時，通常該配方$如Λ立主_ 、吊忑配方識別符表不具有複數裝置之同 一識別符之複數配方。指示受理部12〇5係由例如無線或有 線之接收機構所組成。指示之輸人機㈣藉由數字㈣、 鍵盤' 滑鼠或選單畫面等者，任何均可。指示受理部蘭 能以數字鍵盤或鍵盤等輸入機構之元件驅動器、或選單畫 面之控制軟體等來實現。 一 輸出資訊構成部1206係構成因應異常檢測部121〇之判斷 結果之輸出資訊。例如異常檢測部121〇從測定資訊儲存部 1201，讀出與輸出指示所包含之製品晶圓片數條件一致之 複數測定資訊，輸出資訊構成部1206從該讀出之複數測定 120410.doc -17- 山/755 資二構成圖表。屆時，輸出資訊構成部宜視覺上區別 異:常測定資訊與正常測定資訊而構成輸出資訊。於此，輸 出貧sfl係指例如關於|受 + β。 、/、常之测疋貝訊之測定部名及時刻之 清早資訊。而且，齡Φ =欠# /么^ 貝訊係a例如由該清單資訊所構成 之圖表之資訊。輪中皆句在 _ 出資訊係例如意指正常、意指異常。輸 出資訊係例如表示為正常/異常之何方之聲音資訊（蜂音器 專）。而且，輸出資訊構成部1206亦可為了檢測異常，進 • 行構成表示異常值、正常值之範圍之圓表之處理。該情況 下，異常檢測部1210係讀入與輸出指示一致之測定資訊， 但不拘是否進行異常檢測之處理。輸出資訊構成部讓係 :輸出指示包含2以上之裝置識別符之情況時，宜構成視 上了£別各裝置識別符之測定資訊之態樣之圖表。而 且，輸出資訊構成部1206係於輸出指示包含2以上之配方 !別符之情況時’宜構成視覺上可區別各配方識別符之測 疋責訊之態樣之圖表。於此，視覺上可區別各裝置識別符 • 《測定資訊之態樣之圖表，係指輸出指示包含2以上之裝 置識別付之情況時’各裝置識別符之測定資訊在不同之點 種類（四角及圓圈之形狀、顏色、大小）所輸出之圖表、或 2裝置識別符之測定資訊以不同之線顏色所連結之圖表 圓而且’視覺上可區別各裝置識別符之測定資訊之態樣 表/係指於輸出指示僅包含1個裝置識別符之情況 且，由β亥一敦置識別符之複數測定資訊所組成之圖表。而 ’視覺上可區別各配方識別符之測定資訊之態樣之圖 ，係指輸出指示包含2以上之配方識別符之情沉時，各 120410.doc -18- 1337755 配方識別符之測定資訊在不同之點種類（四角及圓圈之形 狀、顏色、大小）、或各配方識別符之測定資訊以不同之 線種類（實線及虛線等）所連結之圖表等。而且，視覺上可 區別各配方識別符之測定資訊之態樣之圖表，係指於輸出 指示僅包含1個配方識別符之情況時，由該一配方識別符 之複數測疋資訊所組成之圖表。而且，輪出資訊構成部 1206亦可從讀出之複數測定資訊，來構成§?(：圖表（單變量 異常檢測圖表），其係各裝置識別符之測定資訊在視覺上 可區別之態樣，且依1種測定資訊所具有之時刻資訊所示 之時刻順序，將讀出之複數測定資訊予以標繪之圖表。 SPC圖表係用以監視單變量而進行異常檢測之圖表。於 spc圖表中，宜預先設定（條件資訊儲存部12〇9所預先保 持）監視對象之上下限值（管理值），於成為管理值以外之值 之情況時，異常檢測部1210檢測異常，並視覺上地顯示檢 測到之異常。而且’輸出資訊構成部12〇6亦可於輸出指示 包含1以上之裝置識別符之情況時，從具有該

上可區別之態樣， 之相關之圖 其係各配方識別符之測定資訊在視覺 且表不3種以上之測定資訊之相關之圖 120410.doc -19- 1337755 表。圖表之構成係例如按照時間軸’以線來連結複數測定 資訊而獲得圖表之處理。於被賦予複數具有值及時刻資訊 之測定資訊之情況時，由於構成圖表之處理為習知技術， 因此省略詳細說明。而且，於被賦予複數具有值及時刻資 訊之測定資訊之情況時，由於構成S P C圖表 '相關圖表或 MD圖表之處理為習知技術，因此省略詳細說明。而且，2 ， 種測定資訊亦包含一測定資訊中含2種測定值（例如溫度及 氣體流量）之資訊。而且’ 3種以上之測定資訊亦包含一測 癱 疋資訊中含3種以上之測定值（例如溫度、氣體流量及壓 力）。輸出資訊構成部1206通常可由MPU或記憶體等來實 現。輸出資訊構成部1206之處理程序通常以軟體來實現， 該軟體記錄於ROM等記錄媒體。但亦能以硬體（專用電路） 來實現。 輸出部1207係輸出由輸出資訊構成部12〇6所構成之圖 表。於此，輸出通常指對於客户端裝置13之傳送。其中， • 輸出部12 〇 7係在連接於伺服器裝置12之顯示器顯示圖表、 往列印機印子、或對外部裝置傳送均可。輸出部^ 2〇7能以 無線或有線之通信機構來實現。其中，輸出部12()7亦能以 輸出裝置之驅動器軟體，或以輸出裝置之驅動器軟體及輸 . 出裝置等來實現。 輸出札令積存部丨2〇8係積存具有點或/及線之屬性資訊 f裝置識別符、或點或/及線之屬性資訊及配方識別符等 广輸出私不。輸出指示積存部1208係於例如指示受理 部1205受理到積存圖表之設定（包含顏色資訊）之指示之積 120410.doc -20- ⑴ 7755 存指示之情況時，積存具有點或/及線之屬性資訊及裝置 識別符、或點或/及線之屬性資訊及配方識別符之輸出指 不亦可。而且’輸出指示積存部】删通常可由Mpu曰 體等來實現。輸出指示積存部12〇8之處理程序通常以軟^ 來實現，該軟體記錄於R0M等記錄媒體。但亦能人 (專用電路）來實現。 胃

條件資訊储存部12(59㈣存有關異常檢測之條件之資訊 條件資訊{条件資訊為例如表示測定值之正常範圍之 限值及下限值。條件資訊亦可僅為例如正常值與異常值間 之上限值。此外，你彼次 條件貝訊係依測定對象之值（溫度、 力、氣體流量等)而不同。而且，不拘條件資訊之構造。 條件資訊儲存部1209宜為非揮發性記錄媒體， 記錄媒體亦可實現。 異吊檢測部121G係㈣敎資訊料部1201之測定資訊 所具有測定值為異當亦赤 ° 、方或正吊。異常檢測部1210使用條件

資§fl儲存部1 2 0 9之條#杳4 . 保件f訊，來判斷測定資訊所具有之 定值為異常亦或正當。 ' > 常進一步具體而言’異常檢測部1210 係於4日示受理部12 〇 $為to χ▲ 又理到輪出指示之情況時，從測定資 訊儲存部1201讀出與哼 貝 輸出扎示所包含之製品晶圓片數條 件一致之複數測定眘 ^ ΚΙ ίϋϊ /4, ^ 5判斷該讀出之複數測定資訊是否 分別與條件資訊— 而且，異常檢測部1210係於指示受 理口Ρ 1205又理到輸出指 .οη. _ , 之情況時，從測定資訊儲存部 1201，讀出與該輪 功 π θ . 心不所包含之製品晶圓片數條件~ 致，且具有該輪中_ θ不所包含之1以上之裝置識別符之住 120410.doc -21· 1337755

一之複數測定資訊，判斷該讀出之測定資訊是否分別斑條 件資訊一致。而且，異常檢測部1210係於指示受理部12〇5 受理到輸出指示之情況時，從測定資訊儲存部12〇1，讀出 與該輸出指示所包含之製品晶圓片數條件—致且具有該 輸出指示所包含之1以上之配方識別符之任—之複數測定 資訊，判斷該讀出之測定資訊是否分別與條件資訊_致。 異常檢測部1210通常可由MPU或記憶體等來實現。異常檢 測部121〇之處理程序通常以軟體來實現，該軟體記錄於 ROM等記錄媒體。但亦能以硬體（專用電路）來實現。此 外’異常檢測部1210之異常檢測處理亦可為習知之異常檢 測處理。

指示輸入部1301輸入各種指示。各種指示為起動指示、 圖表輸出指示、圖表屬性值（線種類、線顏色、點種類或 點顏色等）之變更指示等。指示之輸入機構係藉由數字鍵 盤、鍵盤、滑鼠或選單畫面等者’任何均可。指示輸入部 1301能以數字鍵盤或鍵盤等輸入機構及其元件驅動器、或 選單畫面之控制軟體等來實現。 指示遞送部1302係將輸入自指示輸入部13〇1之指示，遞 送至伺服器裝置12。在此之遞送通常指使用通信機構之傳 送。指示遞送部13 02能以無線或有線之通信機構等來實 現。 顯示部1303係從伺服器裝置12受理圖表之資訊。在此之 受理通常指使用通信機構之接收。受理部丨3〇3能以無線或 有線之通信機構等來實現。 120410.doc -22. 1337755 顯示部1304係將受理部1303所受理之圖表之資訊顯示於 顯不部。顯不部1304視為包含或不包含顯示器均可❶顯示 部1304能以顯示器之驅動器軟體、或顯示器之驅動器軟體 及顯示器等來實現。 接著，說明有關群管理系統之動作。首先，使用圖4之 流程圖來說明有關製造裝置丨丨之動作。 (步驟S401)處理部11〇5讀出配方儲存部11〇2之配方。 (步驟S402)處理部11〇5將i代入計數器i。 (步驟S403)處理部11〇5係判斷步驟S4〇1所讀入之配方 t，是否存在第i道處理步驟。若存在第丨道處理步驟，則 前往步驟S404，若不存在第i道處理步驟，則前往步驟 S409 〇 (步驟S404)處理部1105執行第i道步驟之處理。 (步驟S405)測定部1106進行預先決定之i種以上之測定 (例如溫度及壓力），取得原資訊（在此之原資訊通常僅具有 1種以上之值）。 (步驟S406)測定部1106從未圖示之時鐘取得時刻資訊， 對於測定之資訊賦予時刻資訊，構成原資訊。 (步驟S407)原資訊儲存部ιι〇7係將步驟S4〇6中所構成之 原資訊’暫時儲存於未圖示之記憶體。 (步驟S408)原資訊傳送部ι1〇8係將步驟S4〇7所暫時儲存 之原資訊（在此為1種以上之值與時刻資訊之配組）傳送至伺 服益裝置I2。此外，原資訊傳送部丨丨〇8保持用以與伺服器 裝置12通信之資訊（例如伺服器裝置12之1?位址等）。 】204 l〇.d〇c •23· 1337755 (步驟S409)處理部丨1〇5係將計數器丨遞增1，並回到步驟 S403 ° (步驟S410)原資訊傳送部丨108係從製品晶圓片數儲存部 1104，讀出製品晶圓片數。 (步驟S411)原> §K傳送部1108係從配方儲存部η。]讀出 配方識別符。此識別符係於步驟S401讀入之配方之配方識 別符。 (步驟8412)原為訊傳送部1108係從製造裝置識別符儲存 部1103讀出製造裝置識別符。 (步驟S413)原資訊傳送部11〇8係將步驟至步驟S412 所讀出之製品晶圓片數、配方識別符及製造裝置識別符， 傳送至伺服器裝置12。此外’原資訊傳送部11〇8係保持用 以與伺服器裝置12通信之資訊（例如伺服器裝置丨2之1?位 址等）。 此外’於圖4之流程圖中’亦可將傳送之原資訊所具有 之1種以上之值與時刻資訊之複數配組、製品晶圓片數、 配方識別符及製造裝置識別符，一同傳送至伺服器裝置 12 ° 接著’使用圖5之流程圖來說明有關伺服器裝置12之動 作。 (步驟S501)指示受理部1205判斷是否受理到指示。若受 理到指示，則前往步驟S502，若未受理到指示，則前往步 驟 S508。 (步驟S502)異常檢測部1210係判斷步驟S501所受理到之 120410.doc • 24- U37755 不是否為圓表之輸出指示。若為圖表之輸出指示，則前 在步驟S503’若非圖表之輸出指示，則回到步驟㈣1。 (步驟S503)異常檢測部121〇取得步驟_所受理到之指 示所具有之製品晶圓片數(製品晶圓片數之範圍亦可)、製: 品晶圓片數及i以上之裝置識別符、製品晶圓片數及i以上 之配方識別符、或製品晶圓片數及】以上之裝置識別符與丨 以上之配方識別符。此外，步驟咖所受理到之指示包含 總晶圓片數等其他屬性值之情況時，異常檢測部⑵〇亦取 得相關之其他屬性值。 (步驟S5G4)異常檢測部121G係將步驟S5Q3所取得之製品 曰日圓片數（製品晶圓片數之範圍亦可）等作為鍵，檢索測定 資訊健存部，取得上之測^資訊。此外，測定資 讯至少具有值(溫度或氣體流量之值等）、時刻資訊及製品 晶圓片數。而且，將m上之裝置識別符作為鍵來檢索， 係指取得具有!以上之裝置識別符中之任一之測定資訊。 而且’將1以上之配方識別符作為鍵來檢索，係指取得具 有1以上之配方識別符中之任一之測定資訊。 (步驟S505)異常檢測部121〇係列斷步驟s5〇4所取得之具 有1以上之測定資訊之各測定值為異常亦或正常。異常檢 測部1210係使用條件資訊來判斷各測定值為異 常。 一 (v驟S5 06)輸出資訊構成部12〇6係從步驟s5〇4所取得之 測定資訊’構成按照受理到之輸出指示之圖表等之輸出資 $ H ^出資tfi為@表之情況’圖表之線之屬性（線 120410.doc -25- 1337755 顏色、線種類、點顏色或點種類等）為被指示之屬性值或 預設之屬性值等，輪出資訊構成部1206使用該屬性值來構 成圖表。構成之圖表係視覺上可區別各裝置識別符之測定 資訊之態樣之圖表、或/及視覺上可區別各配方識別符之 測定資訊之態樣之圖表。而且，構成之圖表係按照具有輸 出指示之圖表之種類之資訊（SPc圖表、相關圖表、MD圖 表等）之圖表。而且，輸出資訊構成部1206係構成因應步 驟S505之異常檢查處理之結果之輸出資訊。「因應異常檢 測處理之結果之輸出資訊」為明示異常之測定結果亦或正 常之測定結果之態樣之輪出資訊，或明示異常與正常之臨 限值之圖表等均可。 (步驟S5 07)輸出部1207係輸出步驟S505中所構成之輸出 資訊。於此，輸出係指對於客戶端裝置13之傳送。回到步 驟S501 。 (步驟S508)原資訊接收部12〇2判斷是否從製造裝置丨〖接 收到1種以上之值與時刻資訊之配組。若接收到丨種以上之 值與時刻資訊之配組，則前往步驟S5〇9，若未接受i種以 上之值與時刻資訊之配組，則前往步驟5丨〇。 (步驟S509)原資訊接收部12〇2係於未圖示之記憶體，、 加記錄在步驟S508所接收到之丨種以上之值與時刻資訊 配組。回到步驟S501。 之 (步驟S5 10)原資訊接收部12〇2判斷是否從製造裝 收到製品晶圓片數等屬性值。若接收到製品晶圓片數等 性值，則前往步驟S511，若未接收製品晶圓片數等屬性 120410.doc •26· 1337755 值，則回到步驟S501。製品晶圓片數等屬性值為例如製品 晶圓片數、裝置識別符及配方識別符。 (步驟S5 11)原資訊接收部12〇2係對於追加記錄於記憶體 之1種以上之值與時刻資訊之複數配組，附加在步驟Μ⑺ 接收到之製品晶圓片數等屬性值而構成原資訊。於此，構 成有複數原資訊。而且，製品晶圓片數等屬性值係對於^ 種以上之值與時刻資訊之配組賦予丨個，或對於丨種以上之 值與時刻資訊之各配絚賦予i個屬性值均可。總言之，不 拘原資訊之資料構造。 (步驟S512)測定資訊取得部1203係對於步驟S51丨中所構 成之複數原資訊進行特定運算，取得1以上之測定資訊。 對於複數原資訊進行特定運算，係指對於複數原資訊所具 有之複數配組所具有之1種以上之值，分別進行特定運算 (平均值算出、標準差算出、最大值取得等）。而且，作為 特定運算之對象之複數原資訊，係指每特定間隔（例如ι〇 分鐘）之每複數原資訊、每特定步驟數之每複數原資訊。 (步驟S5 13)測定資訊積存部1204係將步驟S5 12所取得< 1以上之測定資訊積存於測定資訊儲存部12〇1。回到步驟 S501。 此外，於圖5之流程圖，藉由插入電源關閉或處理結東 而結束處理。 而且，於圖5之流程圖中，原資訊及測定資訊亦可為相 同資訊。該情況下，於步驟S512中進行讀出原資訊之處 理。 120410.doc •27- 而且’於圖5之流程圖中，於受理圖表之輸出指示前即 積存有測定資訊。 而且’於圖5之流程圖中，預先儲存原資訊，於進行圖 表等之輸出資訊之輸出時，對於複數原資訊進行特定運 算，取得1以上之測定資訊，使用該1以上之測定資訊來構 成輪出資訊而輸出亦可。總言之，不拘構成測定資訊之時 〇 並且，於圖5之流程圖中，使用者宜藉由輸入包含製品 晶圓片數條件之輸出資訊之輸出指示，即時地開始異常檢 測，每當接收到原資訊，即一面更新輸出資訊（圖表等）， 一面進行異常檢測處理，若發生異常則立即通知使用者。 總言之，於圖5之流程圖中，進行以下處理更適宜。總言 之，原資訊接收部1202係從製造裝置u陸續即時地（於製 造裝置11之製造中）接收原資訊，測定資訊取得部12〇3係 ^原資訊陸續構成測定資訊，測定資訊積存部12〇4係於測 定資訊儲存部1201，至少暫時地配置測定資訊，異常檢測 部1210係從陸續構成之測^資訊進行異常檢測處理，輸出 資訊構成部⑽更新輸出資訊，輸出部⑽陸續輸出更新 之輪出資訊。#由該處理’可即時地進行異常檢測，使用 者可立即意識到異常之發生。 接著，說明有關客戶端裂置13之動作。客戶㈣置13之 指示輸入受理部13()1從使用者受理到圖表之輸出指示之情 況時，指示受理部1302係將該輪出指示遞送至飼服器裝置 12 ’受理部1303受理在伺服器裝置12之處理結果之圖表之 120410.doc •28- 資訊，顯示部1304則顯示圖表。 以下’說明有關本實施型態之群管理系統之具體動作。 群管理系統之概念圖為圖i。 於本具體例中，複數製造裝置11之輸入受理部ιι〇ι若受 理來自使用者之晶圓製造之開始指示，則處理部11〇5讀出 配方儲存部11〇2之配方，執行讀出之配方，進行晶圓之製 造處理。然後’測定部1106係於晶圓之製造處理中，例如 每1秒測定預先決定之爐内之氣體流量，使取得之氣體流 量與取自未圖示之時鐘之時刻資訊成對’原資訊傳送部 nos例如於每1秒對於伺服器裝置12傳送。該傳送之原資 訊之例為圖6 ^原資訊具有氣體流量、時刻資訊。此外， 時刻資訊係表示時刻之資訊，其為特定出時/分/秒之資 訊、曰時及僅有時之資訊均可。 而且，於配方之所有步驟之執行結束之階段，製造裝置 11之原資訊傳送部11 08讀出製造裝置識別符儲存部丨丨〇3之 製造裝置識別符、配方儲存部i丨02之配方識別符（對於被 處理基板進行特定製程時所執行之配方之識別符）及製品 晶圓片數儲存部1104之製品晶圓片數，並傳送至伺服器裝 置12。 接著，伺服器裝置12之原資訊接收部12〇2係例如於每1 秒，依序接收氣體流量及時刻資訊之配組之資訊並暫時儲 存。然後，接收製造裝置識別符、配方識別符及製品晶圓 片數。然後，原資訊接收部1202係於記憶體暫時記錄氣體 流量與時刻資訊之複數配組、製品晶圓片數、配方識別 120410.doc -29- ^37755 符、及具有製造裝置識別符之原資訊。於圖7表示該原資 訊之例。圖7為原資訊管理表。原資訊管理表具有「製造 裝置識別符」、「配方識別符」、「製品晶圓片數」、「值（氣 體机量）」及「時刻資訊」。於圖7中係對於一製造裝置識 別符、配方識別符、製品晶圓片數，對應有複數值（於此 為1種值）及時刻資訊之資料構造。而且，於圖7中，管理 複數製造裝置1丨及對於複數配方之執行之原資訊。 接著，測定資訊取得部1203係對於每同一製造裝置識別 符配方識別符及製品晶圓片數，取得複數原資訊，對於 该複數原資訊進行特定運算，取得複數測定資訊。於此， 特疋運算為平均值之算出，測定資訊取得部1 203係每隔1 】、時算出平均值。然後，測定資訊取得部1203係從圖7之 原資訊管理表獲得圖8所示之測定資訊管理表。 接著’測疋資訊積存部丨2〇4係於測定資訊儲存部12〇 1， 儲存測又 訊取得部丨203所取得之圖8之測定資訊管理 表。 重複以上處理，於測定資訊儲存部1201，儲存有例如龐 大之資料量之測定資訊。 而且於條件資訊儲存部1209 ’儲存有判斷爐内之氣體 "_L里之正常/異常之條件資訊「300<=氣體流量<=3 50」。條 件資訊「3〇〇<=氣體流量<=350」係表示氣體流量300以 上3 50以下之情況為正常。總言之，條件資訊r 3 〇〇<=氣 田. 'L置 5 0」係表示氣體流量小於3 0 0或比3 5 0大之情況 為異常。 120410.doc •30- /:〇 於該情況下，使用去從w 〇 用者係、從客戶端裝置13，對於圖9所示 之畫面輸入所需資訊，按下「圖表輸出」按紐 以輸入圖表之輸出指示、輪出圖表之畫面。於此，所= :係指資料類型㈤定資訊之資料之種類，例如氣 :了或壓力等)、晶圓片數之資訊、製造裝置識別 1配方制符中之1以上之資訊。通常資料類型為必 對於圖9之畫面，僅輸入資料類型、晶圓片數 製造裝置識別符，面，僅輸人資料類型、 ^輸人資料類型、配方識別符均可。 :Γ4輸入有資料類型「氣體流量」、製品晶圓片數 ’」、製造裝置識別pE1J、配方識別符「R1」、 」。製品晶圓片數係藉由選#「僅製品」之撥-而被 辨”载。因此，於兮站 紐，Ml 使用者若按下「圖表輸出」按 訊(例如：1301係受理輸出「氣體流量」之測定資 如圖8所示之資訊）中，與「35<=製品晶圓片數 R5」之 + E1」且「配方識別符=以或 示之例為“纟之測疋貝訊之輸出指示。此外’該輸出指 製品曰曰圓如「圖表輸*冑料類型="氣體流量"且35<= 日或二數」蝴且製造裝置識別符臂且配方識別符 類型示遞送部⑽係將輸出指示「圖表輸出資料 別^流量..且价製品晶圓片數<=嫩製造裝置識 12。"'配方識別符，"或"心」傳送至飼服器裝置 120410.doc 然後，伺服器裝置12之指示受理部1205係接收輸出指示 「圖表輸出 資料類型="氣體流量”且35<=製品晶圓片數 <-40且製造裝置識別符且配方識別符="R1"或 "R2，，」。 接著，伺服器裝置12之異常檢測部1210係從儲存於測定 資訊儲存部i 2〇丨之測定資訊，檢索並取得與輸出指示「圖 表輸出資料類型="氣體流量"且35<=製品晶圓片數<=40 且製造裝置識別符="E1"且配方識別符="r 1，，或，，R2 "」一致 之測定資訊。具體而言，異常檢測部丨2 1 〇從圖8之測定資 訊管理表，檢索與「35<=製品晶圓片數<=4〇且製造裝置識 別符=’Έ 1 ”且配方識別符="R1 "或"R2"」一致之記錄。然 後’異常檢測部12 1 0獲得圖1 〇之資訊。 接著，異常檢測部1 2 1 0從條件資訊儲存部丨209讀出條件 =貝訊300<=氣體流量<=350」，使用該條件資訊檢測圖i 〇 之測定資訊之異常。圖10之資訊「平均值」全部均小於 300，因此判斷為異常值。 接著，輪出資訊構成部12〇6係使用圖1〇之資訊及異常檢 測。[U 2 10之判斷結果來構成輸出資訊之圖表。本圖表係橫 轴表不時刻資訊之時刻，縱轴為值（氣體流量之平均值）之 折線圖。 接著，輸出部1207係將輸出資訊構成部12〇6所構成之折 線圖傳送至客戶端裝置13。 接著，

文理邵1303接收該折線圖，顯示 示器顯示折線圖。於圖11中，以 120410.doc 1337755 網格表示正常範圍。

藉由以上處理’使用者僅著眼於以包含所需製品晶圓片 數之條件所測定之值，可得知製造裝置之製造狀態，對於 製造裝置之異常檢測極為有效。具體而言，依製品晶圓片 數’流有氣體之情況之電阻值會不同，因此有異常之發生 頻率或異常之種類等不同之情況，為了應付該情況，僅著 眼於以包含所需製品晶圓片數之條件所測定之值，可得知 製造裝置之製造狀態，高精度地進行異常檢測。此外，圖 11之折線圖中，於製品晶圓片數較多而為35至40之情況 時，氣體流量比正常範圍少（例如設定300為正常狀態之下 限值），可判斷發生故障之可能性高 而且，於圖9’使用者選擇晶圓片數之「全部」之情況 夺會以包s仿真晶圓及製品晶圓片數所組成之所n 片數之條件來檢索測定資訊。該情況下，敎資訊包含所 有晶圓片數之屬性值。 …。。卵四/7双、取品晶圓 片數或所有晶圓片數）、1以上之製造裳置識別符、 之配方識別符之條件為何。總言使用者僅指定製品曰 圓片數而獲得圖表輸出、僅指定製品晶圓片數及 製造裝置識別符而聛锃尉主认， 上之 寸而獲仔圖表輸出、僅指定製 1以上之配方識別符而獲得圖表輪出、或指定製=及 數及1以上之製造裝置識別符與!以上之配方識別=片 圖表輸出均可。該情況下，到輸出圖表為止之處理:獲4 述處理相同。而且，於圖 "理係與上 疋之明圓片數為具有_ 1204l0.doc •33· 1337755 之資訊（From及To之方塊雙方均被核取），但當然亦可僅指 定一值。 以上，若根據本實施型態，可使用製品晶圓片數，過濾 測定到之資訊而構成圖表。其結果，可實現精度高之異常 檢測。具體而言，通常於製品晶圓連接有佈線，於仿真晶 圓未連接有佈線，而例如依製品晶圓片數，流有氣體之情 況之電阻值會不同，因此有異常之發生頻率或異常之種類 等不同之情況。若根據本實施型態，可進行能實現應付該 情況之異常檢測之圖表輸出。進一步具體而言，由於過濾 例如以不含仿真晶圓片數之製品晶圓片數作為鍵所測定之 資訊，並進行異常檢測，因此可縮小測定資訊之偏差，故 I範圍狹窄地設定異常判斷之臨限值，其結果可實現精度 尚之異常檢測。 此外，於本實施型態中’如圖12所示，輸出之圖表亦可 為從測定資訊儲存部1201讀出與輸出指示（輸出spc圖表之 指示）一致之複數測定資訊，從該讀出之測定資訊，各裝 置識別符或/及各配方識別符之測定資訊在視覺上可區別 之態樣，且依！種測定資訊所具有之時刻資訊所示之時刻 順序，標緣有讀出之複數測定資訊之圖表之沉圖表。此 外，圓所示之SPC圖表為例如由i個裝置識別符之測定資 戒所構成之SPC11S。而且，於圖12所示之spc圖表中， 輸出有管理值（上限）及管理值（下限）。成為該管理值以外 時’顯示為異常。f理值（上限）及管理值（下 限）係由條件資訊儲存部1209預先保持。 120410.d〇c -34 - 1337755

而且，於本實施型態中，如圖"所示，輸出之圖表亦可 為從測定資訊儲存部⑽讀出與輸出指示（輸出相關圖表 之指示）一致之複數測定資訊，從該讀出之測定資訊各 裝置識別符或/及各配方識別符之測定資訊在視覺L可區 別之態樣，且表示2種測定資訊（例如溫度及壓力等）之相關 之圖表之相關圖表。此外，圖13所示之相關圖表係由例如 1個裝置識別符之2種測定資訊所構成之相關圖表。而且， 於圖13所示之相關圖表中’輸出有2種管理值。成為該2個 管理值之範圍外之值之情況時，則顯示為異常。 而且，於本實施型態中，如圖14所示，輸出之圖表亦可 為從敎資訊儲存部12()1，讀出具有輸出指示（輸出婦圖 表之指示）所包含之1以上之裝置識別符之任一、或/及i以 上之配方識別符之任一之複數測定資訊’從該讀出之測定 資訊，各裝置識別符或/及各配方識別符之測定資訊在視 覺上可區別之態樣，且表示3種以上之測定資訊（例如2處

之溫度、氣體流量及壓力）之相關之圖表2Md圖表。此 外，圖14所示之MD圖表係由例如丨個裝置識別符之測定資 訊所構成之MD圖表。而且，圖14所示iMD圖表係使用例 如馬哈朗諾比斯距離來進行異常判斷之圖表。進一步具體 而言，圖14所示之MD圖表係將正常時之資料予以模型 化，使用馬哈朗諾比斯距離，將異常時之程度以數值表示 之圖表。而且，於圖14所示2MD圖表中，輸出有2個管理 值。成為該2個管理值之範圍外之值之情況時，則顯示為 異常》 120410.doc -35- 而且，於本實施型態之具體例中，輸出之圖表係表示有 —裝置識別符或一配方之測定資訊之圖表，其為依1種測 定資訊所具有之時刻資訊所示之時刻順序，連結讀出之複 數測定資訊之一折線圖。然而，如圖15所示，輸出之圖表 亦可為從測定資訊儲存部1201，讀出具有輸出指示所包含 之3個裝置識別符之複數測定資訊，從該讀出之測定資 訊’各裝置識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣之圖 表’且依1種測定資訊所具有之時刻資訊所示之時刻順 序’標繪讀出之複數測定資訊之3個圖表亦可。該情況 下，輸出指示係包含例如「裝置A」、「裝置B」、「裝置c」 之3個裝置識別符。然後，異常檢測部12 1〇係將「裝置 AJ、「裝置B」'「裝置C」分別作為鍵’ 3次檢索測定資訊 儲存部1201 ’ 3次取得測定資訊，針對各個鍵，輸出資訊 構成部1206個別地構成不同點或線之屬性值之圖表，取得 3個圖表。然後，輸出3個圊表。 於本實施型態中，由於如上述可自由選擇3個以上之圖 表（SPC圖表、相關圖表、MD圖表等）之顯示型態，因此可 實現因應所有檢查結果之狀況分析。 而且，於本實施型態之具體例中，原資訊或測定資訊亦 可預先由伺服器裝置12來保持，該情況下，原資訊或測定 資訊係由未圖示之機構而從製造裝置丨丨取得，並經由記錄 媒體等而交付至伺服器裝置12。 而且，於本實施型態中，使用者宜輸入放大所著眼之圖 表之一部分之指示，改變該圖表之一部分之縮放比例（改 120410.doc 1337755 餐：'則定資訊之時間間隔或步驟之間隔）而輸出圖表 而且’於本實施型態中，原資訊及測定資訊為相同構成 亦可nm需要測定資訊取得部及測定資訊積存 部。 而且，於本實施型態中，未必須於製造裝置與伺服器裝 置間傳送、接收原資訊。原資訊亦可經由例如記錄媒體： 從製造裝置賦予伺服器裝置。

货而且，於本實施型態中，群管理系統亦可不具有客戶端 裝置13。該情況下，使用者係對於伺服器裝置12輸入輸出 指示等指示。 而且，於本實施型態之具體例令，指定裝置識別符或配 方識別符而輸出圖表，但指定丨以上之裝置識別符及丨以上 之配方識別符而輸出圖表亦可。使用者輸入包含1以上之 裝置識別符及1以上之配方識別符之輸出指定之情況時， 異常檢測部1210係將指定之丨以上之各裝置識別符及i以上 之各配方識別符，分別作為鍵而檢索測定資訊（或原資 訊），檢測異常，輸出資訊構成部丨2〇6係構成圖表。 而且，於本實施型態中，將指示受理部受理到輸出指示 作為觸發，即時地進行異常檢測處理，每當接收到原資訊 即更新輸出資訊（圖表等）係極為適宜因為使用者會立即 得知發生異常。此外，該即時之異常檢測為以下之處理。 總言之，異常檢測部係對於測定資訊取得部所陸續取得之 測定資訊，立即判斷是否與條件資訊—致；輸出資訊構成 P係陸，只構成因應異常檢測部之判斷結果之輸出資訊；輪 120410.doc -37· 1337755 出部係一面更新輸出資訊構成部所構成之輸出資訊，一面 予以輸出。

並且，本實施型態之處理亦能以軟體來實現。然後，亦 可藉由軟體下載等來發送該軟體。而i，亦可將該軟體記 錄於CD-ROM等記錄媒體而傳布。此外，實現本實施型態 之伺服器裝置之軟體係如下之程式。總言之，該程式係於 電腦，儲存複數有關在對於被處理基板進行特定製程之複 數製造裝置測定之資訊之時間序列資訊，且具有前述製造 裝置所製造之製品之晶圓片數之製品晶圓片數及表示時刻 之時刻資訊之資訊之測定資訊；該程式用以使電腦執行以 下步驟：指示受理步驟，其係受理包含有關製品晶圓片數 之條件之製品晶圓片數條件之圖表之輸出指示；異常檢測 步驟，其係於前述指示受理部受理到輸出指示之情況下， 讀出與該輸出指示所包含之製品晶圓片數條件一致之複數 測定資訊，判斷該讀出之複數測定資訊是否與條件資訊— 致；輸出資訊構成步驟，其係構成因應前述異常檢測步驟 之判斷結果之輸出資訊；及輸出步驟，其係輸出前述輸出 資訊構成步驟所構成之輸出資訊， 而且’上述程式宜為如下之程式：前述測定資訊係有關 在前述複數製造裝置測定之資訊之時間序列資訊，且且有 識別前述製造裝置之裝置識別符、製品晶圓片數及時刻資 訊之資訊；前述輸出資訊之輸出指示係具有製品晶圓片數 條件及1以上之裝置識別符；前述異常檢測步驟中，於前 述指示受理步驟受理到輸出指示之情況下，讀出與該輸出 1204l0.doc •38· 1337755 指示所包含之製品晶圓片數條件一 所包含之1以上之裝詈场 且具有該輪出指示 i識別符之任_ 判斷該讀出之測定資訊β 複數測定資訊，並 。疋否與前述條件資 而且，上述程式宜為 :貢訊致。 在前述複數製造裝⑼ km系有關 心貝況之時間序列資訊， 識別配方之配方識別符、 曰 且具有 表口口日曰圓片數及時刻資邙 > 签 訊；前述輸出資訊之輪出# _ a a +a 于J貧訊之資 抝出私不係具有製品晶 1以上之配方識別符.诰、+.田i 双係件及

1迷異常檢測步驟中，於前 _ 受理步驟受理到輸出指示 这札不 ^ ^ 凊/兄下，璜出與該輸出指示所 3之製品晶圓片數條件一 双且具有該輸出指示所包合 之1以上之配方識別符之权 ....; #之任一之複數測定資訊，並判斷誃 讀出之測定資訊是否與前述條件資訊一致。 / 而且’上述程式亦可為進一步使電腦執行以下步驟之程 式：原資訊接收步驟’其係從前述複數製造裝置，接收作 為前述複數測；t資訊之本源之f訊之原資訊；測定資訊取 得步驟’其係對於前述原f訊接收步驟所接收之複數原資 訊進行特定運算，以取得複數測定資訊；及測定f訊積存 步驟，其係積存前述測定資訊取得步驟所取得之複數測定 資訊。 而且’於上述程式之前述輸出資訊構成步驟中，宜從前 述異常檢測步驟所讀出之測定資訊，來構成SPC圖表，其 係各敦置識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且依 1種剛定資訊所具有之時刻資訊所示之時刻順序將前迷 讀出之複數測定資訊予以標繪之圖表。 120410.d〇c • 39- 、而且，於上述程式之前述輸出資訊構成步驟中，宜從前 述異常檢測步驟所讀出之測定資訊，來構成相關圖表，其 係各裝置識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表 示2種測定資訊之相關之圖表。 而且，於上述程式之前述輸出資訊構成步驟中，宜從前 述異常檢測步驟所讀出之測定資訊，來構成MD圖表，其 係各裝置識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表 示3種以上之測定資訊之相關之圖表。 而且，於上述程式之前述輸出資訊構成步驟中，宜從前 述異常檢測步驟所讀出之測定資訊，來構成spc圖表，其 係各配方識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且依 1種測定資訊所具有之時刻資訊所示之時刻順序，將前述 讀出之複數測定資訊予以標繪之圖表。 而且，於上述程式之前述輸出資訊構成步驟中，宜從前 述異常檢測步驟所讀出之測定資訊’來構成相關圖表，其 係各配方識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表 示2種測定資訊之相關之圖表。 而且’於上述程式之前述輸出資訊構成步驟中，宜從前 述異常檢測步驟所讀出之測定資訊，來構成MD圖表，其 係各配方識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表 示3種以上之測定資訊之相關之圖表。 而且’於上述各實施型態中，各處理（各功能）係藉由利 用單一裝置（系統）進行集中處理來實現，或藉由利用複數 裝置進行分散處理來實現。 120410.doc -40- 1337755 此外，於上述程式中，值详这— 送資訊之步驟或接收資訊之步 驟專，並不包含藉由硬體所進 α ^ ^ ^ 丁之處理，例如傳送步驟中 乂數據機或介面卡等所進行 油、 < 處理（僅以硬體進行之處 進行集中處理或分散處理均可。 而且，於上述各實施型態中，存在於一

通㈣冓(原資訊接收部或輸出部等)當然在物理上亦能以 一媒體來實現》 本發明不限定於以上實施型態，可 其等亦包含於本發明之範圍内。 更田，，，、 而且’於雇年5月9日_請之日本專财請案號藤· 包含詳細說明、圖式、中請專利範圍在内之揭 示，係藉由參考其全體而含於本揭示中。 [產業上之可利用性]

机仃上述程式 如以上，關於本發明之词服器裝置係具有能以製品晶圓 片數作為鍵，來過濾測定之資訊之效果，作為具備對於被 處理基板進行特定製程之複數製造裝置'及與該複數製造 裝置連接之伺服器裝置之群管理系統等有用。 【圖式簡單說明】 圖1係表示實施型態之群管理系統之概念圖之圖。 圖2係表示該半導體晶圓製造裝置之例之圖。 圓3為該群管理系統之區塊圖。 圖4係說明有關該製造裝置之動作之流程圖。 120410.doc -41 - 丄337755 圖5係說明有關該伺服器裝置之動作之流程圖。 圖6係表示該原資訊之例之圖。 圖7係表示該原資訊管理表之圖。 圖8係表示該測定資訊管理表之圖。 圖9係表示該客戶端裝置之輸出指示之輸 置面之例之

圖10係表示該異常檢測部所取得之圖表之本源之資訊之 例之圖。 圖11係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖12係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖13係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖14係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖15係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 【主要元件符號說明】 11, Π(1), 11(2),製造裝置

12 13 1101 1102 1103 1104 1105 1106 伺服器裝置 客戶端裝置 輸入受理部 配方儲存部 製造裝置識別符儲存部 製品晶圓片數储存部 處理部 測定部 120410.doc -42- 1337755

1107 1108 1201 1202 1203 1204 1205 1206 1207 1208 1209 1210 1301 1302 1303 1304 a ab ac ad ae af ag ah 原資訊積存部 原資訊傳送部 測定資訊儲存部 原資訊接收部 測定資訊取得部 測定資訊積存部 指示受理部 輸出資訊構成部 輸出部 輸出指示積存部 條件資訊儲存部 異常檢測部 指示輸入部 指示遞送部 受理部 顯示部 製程管 搬出入室 卡匣收容容器用板 卡匣收容容器 取入機構 容器保管台 卡匣取出台 容器移載機構 120410.doc -43- 1337755 ai 保持體收容室 C 卡匣 El 製造裝置識別符 f 晶圓板 g 移送機構 h 載入鎖止室 Rl，R5 配方識別符 W 晶圓 120410.doc -44-

Claims (1)

1337755 十、申請專利範圍： 1. 一種伺服器裝置，其係構成包含對於被處理基板進行特 定處理之複數製造裝置及與該複數製造裝置連接之伺服 器裝置，且具有進行異常檢測之功能之群管理系統者； 其包含：

測定資訊儲存部，其係可儲存複數測定資訊，該測定 資訊係有關在前述複數製造裝置測定之資訊之時間序列 資訊，且係具有以前述製造裝置所製造之製品之晶圓片 數之製品晶圓片數及表示時刻之時刻資訊之資訊； 指示受理部，其係受理包含作為有關製品晶圓片數之 條件之製品晶圓片數條件之輸出資訊之輸出指示； 條件資訊儲存部，其係儲存表示用以判斷測定資訊是 否異吊之條件之條件資訊； 異常檢測部，其係於前述指示受理部受理到輸出指示 =況下，從前述測定資㈣存部讀出與該輪出指示所 :含之製品晶圓片數條件一致之複數測定資訊，判斷該 項出之複數測定資訊是否與前述條件資訊一致. :出資訊構成部，其係構成對應前述異常檢测部之判 斷，，、。果之輸出資訊；及 •輸出部，其係輸出前述輸出資^ μ ^ 資訊。 ㈣出#訊構成部所構成之輸出 2.如請求項】之伺服器裝置，1 前述複數製造裝置挪定之資訊之：戽疋資訊係有關在 有識別前述製造裝置之裝 /訊’且係具 裝置識别符、製品晶圓片數及時 I204\0.doc 1337755 刻資訊之資訊； 前述輸出資訊之輪ψ^_ 個以上裝置識別符；曰^、有製品晶圓片數條件及1 别述異常檢測部於前述指示受 情況下，從前述測定眘㈣^ &幻輸出指不之 含之製品晶圓片數停件较 …哀_曰不所包 … 条件"致’且具有該輸出指示所包含 之1個以上裝置識別符之杠^ n ^ 3 φ 符之任一個複數測定資訊，並判斷 該讀出之敎資訊是否與前述條件資訊-致。 如請求項1之伺服器衷置’其t 前述複數製造裝置測定之資 戾…係有關在 貢訊之時間序列資訊，且係且 有硪別配方之配方識別符、製^ f1TL . 付“aa圓片數及時刻資訊之 前述輸出資訊之輸出指示且有3 ，、有衮οσ晶圓片數條件及】 個以上配方識別符； 前述異常檢測部於前述指示受理部受理到輪 情況二從前述測定資訊儲存部讀出與該輸出指=包 含之製品晶圓片數條件一致，且 且具有該輸出指示所包含 之1個以上配方識別符之任一個 妖〜疋貧訊，並判斷 該讀出之測定資訊是否與前述條件資訊一致。 如請求項1之㈣n裝置，其巾進 ‘原資訊接 收部，其係從前述複數製造裝置接收作 队作馬則4複數測定 資訊本源之資訊之原資訊； 測定資訊取得部，其係對於前述原資訊接收部所接收 之複數原資訊進行特定運算，以取得複數測定資訊’及 1204l0.doc 測定資訊積存部，其係將前述測定資訊取得部所取得 之複數測定資訊積存於前述測定資訊儲存部。 件 5.如請求項4之词服器裝置，其中將前述指示受理部受理 到輸出指示作為觸發； & 前述異常檢測部對於前述測定資訊取得部所陸續取得 之測疋資訊，判斷是否與前述條件資訊一致； 則述輸出資訊構成部陸續構成對應前述異常檢 判斷結果之輸出資訊； °丨之 :述輸出部-面更新前述輸出f訊構成部所構成之輸 出資訊，—面予以輸出。 J 吁：Γ:1之伺服15裝置，其中前述輸出資訊構成部從 檢㈣自前述敎f訊儲存料出之測定資訊 圖表’其係各裝置識別符之測定資訊在視覺上 :資區：：態樣之圖表，且係依1種測定資訊所具有之時 之圖^時刻順序，標繪前述讀出之複數測定資訊 表^迷輪*部輸*前述輸m構成部所構成之SPC圖 7·如請求们之飼服 前述異A + 、 置其中刖述輸出資訊構成部從 構成相：圖Γ部：前述測定資訊儲存部讀出之測定資訊 可區別之能/、係各裝置識別符之測定資訊在視覺上 J <態樣之圖砉，n Μ 士 _ 表； 且係表不2種测定資訊相關之圖 120410.doc 輪出部輸出前述輸出資訊構成部所構成之相 關圖 1337755 表 8.如請求項1之伺服器奘番 #丄1 置，其中則述輸出資訊構成部從 前述異常檢測部自前述測定咨1神六μ # , <叫疋#訊儲存部讀出之測定資訊 構成MD圖表，並俜ι # $ _ , » ，、保各裝置識別符之測定資訊在視覺上 可區別之態樣之圖表， 且係表不3種以上之測定資訊相 關之圖表； 前述輸出部輸出前述輪+ 利出貝訊構成部所構成之MD圖 表0 9· t請求項1之伺服器裝置’其中前述輸出資訊構成部從 刖述異常檢測部自前述測m儲存部讀出之測定資訊 構成SPC圖表，装仫夂&山 其係各配方識別符之測定資訊在視覺上 可區別之離檨之固矣 ^ 〜、樣之圖表，且係依1種測定資訊所具有之時 刻資訊所示之時刻順序二 ^ 铉繪則述讀出之複數測定資訊 之圖表； 則述輸出部輸出前述輸出資訊構成部所構成之SPC圖 表。 一;：：1之伺服器裝置，其中前述輸出資訊構成部從 媒'1 i *檢測部自前述測^資訊儲存部讀出之測定資訊 構成相關圖表，1A I 其係各配方識別符之測定資訊在視覺上 11區別之態樣之 ， - 主. 固衣且係表不2種測定資訊相關之圖 表 j述輪出部輸出前述輪出資訊構成部所構成之相關圖 前述輸出資訊構成部從 11.如請求項]夕 唄1之伺服器裝置，其中 120410.doc 1337755 則述異* &測部自前述測定資訊儲存部讀出之測定資訊 構成MD圖表’其係、各配方識別符之測^資訊在視覺上 可區別之態樣之圖表，且在主從 衣 1係表不3種以上之測定資訊相 關之圖表； 前述輸出部輸出前述輸出資訊構成部所構成之MD圖 表0 12· 一種記錄程式之電腦可讀取之記錄媒體，該程式係用於

使電腦儲存複數測定資訊’該測定資訊係有關在對於被 處理基板進行特定處理之複數製造裝置測定之資訊之時 間序列貝訊，且係、具有以前述製造裝置所製造之製品之 晶圓片數之製品晶圓片數及表示時刻之時刻資訊之資 訊；並使電腦執行以下步驟： 才曰不受理步驟’其係受理包含作為有關製品晶圓片數 之條件之製品晶圓片數條件之輸出資訊之輸出指示.

=常檢測步驟，其係於前述指示受理部步驟受理到輸 HU曰不之情況下’讀出與該輸出指示所包含之 片數條件-致之複數測定資訊，判斷該讀出之複二;定 資讯是否與儲存之條件資訊一致； 輸出資訊構成步驟，其係構成對應前述異常檢測步驟 之判斷結果之輸出資訊；及 於剛述輸出資訊構成步驟所構成 輸出步驟，其係輸出 之輸出資訊。 13. 如請求項1 2之記錄程式 前述測定資訊係有關在 之電腦可讀取之記錄媒體，其中 前述複數製造裝置測定之資訊之 120410.doc /間序列資訊，且係具有識別前述製造裝置之裝置識別 符、製品晶圓片數及時刻資訊之資訊； 前述輸出資訊之輸出指示具有製品晶圓片數條件及^ 個以上裝置識別符； 前述異常檢測步驟中， 於前述指示受理步驟受理到輸出指示之情況下，讀出 與該輸出指示所包含之製品晶圓片數條件一致，且具有 該輸出指示所包含t㈣以上裝置識別#之任一個複數 測定資tfL ’並判斷該讀出之測定資訊是否與前述條件資 訊一致。 14. =請求項之記錄程式之電腦可讀取之記錄媒趙，其中 前述測定資訊係有關在前述複數製造裝置測定之資訊之 時間序列資訊’係、具有識別配方之配方識別符、製品晶 圓片數及時刻資訊之資訊； 前述輸出資訊之輸出指示具有製品晶圓片數條件L 個1以上配方識別符； 前述異常檢測步驟中， 於前述指示受理步驟受理到輸出指示之情況下，讀出 與該輸出指示所包含之製品晶圓片數條件一致，且具有 該輸出指示所包含之"固以上配方識別符之任一個複數 測定資訊’並騎該讀出之敎資訊Μ與前述條件資 訊一致。 15. 如凊求項12之記錄程式之電腦可讀取之記錄媒體其中 進一步使電腦執行以下步驟： 120410.doc 1337755 原資訊接收步驟，其係從前述複數製造裝置接收作為 前述複數測定資訊本源之資訊之原資訊； 測定資訊取得步驟，其係對於前述原資訊接收步驟所 接收之複數原資訊進行特定運算，以取得複數測次 訊；及 胃 測定資訊積存步驟，其係積存於前述測定資訊取得步 驟所取得之複數測定資訊。 16.如請求項15之記錄程式之電腦可讀取之記錄媒體其中 將前述指示受理步驟中受理到輸出指示作為觸發； 前述異常檢測步驟中， 對於前述測定資訊取得步驟所陸續取得之測定資訊， 判斷是否與前述條件資訊一致； 前述輸出資訊構成步驟中， 陸續構成對應前述異常檢測步驟之判斷結果之輪出資 訊； 前述輪出步驟中， "'面更新於前述輸出資訊構成步驟所構成之輪出資 訊’一面予以輸出。 120410.doc