KR20090007426A - 서버 장치 및 프로그램 - Google Patents

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Abstract

종래에, 제품 웨이퍼 매수(枚數)로 측정된 정보를 필터링하여 차트를 구성하는 것이 불가능하였다. 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시(時) 계열의 정보이며, 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장하고 있고, 제품 웨이퍼 매수를 포함하는 차트의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수부와, 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되는 복수의 측정 정보를 판독하고, 해당 판독한 복수의 측정 정보가 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 이상 검지부와, 이상 검지부의 판단 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성부와, 상기 출력 구성부가 구성한 출력 정보를 출력하는 출력부를 구비하는 서버 장치에 의하여, 제품 웨이퍼 매수로 측정된 정보를 필터링하여 차트를 구성하는 것이 가능하다.

Description

서버 장치 및 프로그램 {SERVER AND PROGRAM}
본 발명은, 예를 들면, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되는 서버 장치를 구비하는 군(群) 관리 시스템, 서버 장치 등에 관한 것이다.
종래의 군 관리 시스템에서, 측정기로부터 전송되는 데이터를 자동적으로 또한 정확하게 가공할 수 있는 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서의 측정 데이터 가공 방법을 실현한다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 본 측정 데이터 가공 방법에 있어서, 군 관리 시스템의 군 관리부의 측정기 통신부에, 측정기가 송신되는 여러 종류의 측정 데이터를 수신한다. 본 측정 데이터 가공 방법은, 상기 측정 데이터를 가공하는 계산식을 사전에 등록해 두고, 상기 측정 데이터를 수신했을 때에, 상기 측정 데이터를 측정 데이터 수신 버퍼에 저장하고, 또한, 상기 측정 데이터가 갖는 레시피 명칭에 기초하여, 상기 등록된 계산식 중에서, 상기 측정 데이터를 가공하는 데에 적합한 적어도 하나의 동일한 레시피 명칭을 갖는 계산식을 선택하여 계산식 저장 버퍼에 저장하고, 저장된 상기 측정 데이터를 상기 선택된 계산식에 적용하여 계산하여, 계산 결과를 가공이 끝난 데이터 저장 버퍼에 기억시키는 것이다.
또한, 종래의 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서는, 반도체 제조 장치에서 측정된 시 계열(時系列)의 정보(이하, 차트로 기재)를 표시하는 기능을 갖고 있었다.
또한, 군 관리 시스템을 구성하는 제조 장치로서, 이른바 뱃치식 종형(縱型) 열처리 장치가 있다(특허 문헌 2, 특허 문헌 3 참조).
특허 문헌 1 : 일본특허공개공보 평11-354395호(1 페이지, 도 1 등)
특허 문헌 2 : 일본특허공보 3543996호(1 페이지, 도 1 등)
특허 문헌 3 : 일본특허공개공보 2002-25997호(1 페이지, 도 1 등)
그러나, 종래의 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서는, 제품 웨이퍼 매수를 키(key)로 하여 측정된 정보를 필터링하여 이상(異常) 검지를 실시하는 것이 불가능하였다. 이 때문에, 정밀도가 높은 이상 검지가 불가능하다고 하는 과제가 있었다. 구체적으로는, 예를 들면, 더미의 웨이퍼 매수를 포함한 총 웨이퍼 매수를 키로 하여 측정된 정보를 필터링하여 이상 검지를 실시한 경우, 측정 정보의 불균일성이 크고, 정상 상태가 이상 상태로 판단되지 않게 하기 위해, 이상 판단의 임계치를 여유있게(넓게) 설정해야 하고, 그 결과, 정밀도가 높은 이상 검지를 할 수 없었다. 또한 구체적으로는, 제품 웨이퍼에는 배선(패턴)이 형성되어 있으므로, 표면 상에 요철을 갖고, 더미의 웨이퍼에는 배선(패턴)이 형성되어 있지 않은 것이 통상적이다. 따라서, 예를 들면, 제품 웨이퍼 매수에 따라 가스를 흐르도록 한 경우의 저항값이 다르고, 이 때문에, 이상의 발생 빈도 또는 이상의 종류 등이 다른 경우가 있다. 종래의 반도체 제조 장치의 군 관리 시스템에서는, 제품 웨이퍼 매수의 상이함에 따른 이상 검지를 실시할 수 없었다.
본 발명의 서버 장치는, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하여, 이상 검지를 실시하는 기능을 갖는 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서, 상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치에서 제조하는 제품의 웨이퍼 매수인 제품 웨이퍼 매수와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부와, 제품 웨이퍼 매수에 관한 조건인 제품 웨이퍼 매수 조건을 포함하는 출력 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수부와, 측정 정보에 이상이 있는지의 여부를 판단하기 위한 조건을 나타내는 조건 정보를 저장하고 있는 조건 정보 저장부와, 상기 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되는 복수의 측정 정보를 상기 측정 정보 저장부로부터 판독하고, 해당 판독한 복수의 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 이상 검지부와, 상기 이상 검지부의 판단 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성부와, 상기 출력 정보 구성부가 구성한 출력 정보를 출력하는 출력부를 구비하는 서버 장치이다.
도 1은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 개념도를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 실시예에서의 반도체 웨이퍼 제조 장치의 예를 나타내는 도면이 다.
도 3은 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 블록도이다.
도 4는 본 실시예에서의 제조 장치의 동작에 대하여 설명하는 순서도이다.
도 5는 본 실시예에서의 서버 장치의 동작에 대하여 설명하는 순서도이다.
도 6은 본 실시예에서의 원 정보의 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 실시예에서의 원 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 실시예에서의 측정 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 실시예에서의 클라이언트 장치의 출력 지시의 입력 화면의 예를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 실시예에서의 이상 검지부가 취득한 차트의 바탕이 되는 정보의 예를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 14는 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 실시예에서의 클라이언트 장치에서의 차트의 출력예를 나타내는 도면이다.
이하, 서버 장치 등의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 실시예에서 동일한 부호를 붙인 구성 요소는 동일한 동작을 실시하므로, 재차의 설명을 생략하는 경우가 있다.
(실시예)
도 1은, 본 실시예의 군 관리 시스템의 개념도이다. 군 관리 시스템은, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치를 제어하는 시스템이다. 또한, 군 관리 시스템은, 1 개 이상의 제조 장치(11)(제조 장치(11(1))부터 제조 장치(11(n)), 서버 장치(12) 및 클라이언트 장치(13)를 갖는다.
제조 장치(11)는 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 장치이다. 제조 장치(11)는, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열 산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 실시한다. 제조 장치(11)는, 예를 들면, 상술한 특허 문헌 2 또는 특허 문헌 3 등에서의 뱃치식 종형 열처리 장치이다. 본 제조 장치(11)의 예를 도 2에 도시한다. 본 제조 장치(11)는, 로딩실로서, 다른 실(室)에 대하여 밀폐가 가능하도록 이루어지고, 불활성 분위기로서 N2 가스를 공급·진공 배기할 수 있도록 이루어진 이른바 로드록실 구조로 이루어진 장치이다. 제조 장치(11)는, 피처리체인 웨이퍼(W)에 소정의 처리를 실시하는 처리실인 프로세스 튜브(a)와, 이 프로세스 튜브(a)에 대하여 다수 매, 예를 들면 100 매의 웨이퍼(W)를 수납한 유지 체로서의 웨이퍼 보트(f)를 삽탈(揷脫)하는 이송 기구(g)를 구비한 로딩실로서의 로드록실(h)과, 이 로드록실(h)에 대하여 웨이퍼(W)를 반출입하는 반출입실(ab)과, 이 반출입실(ab)에 형성된 카세트 수용 용기용 포트(ac)와, 이 포트(ac)에 재치된 카세트 수용 용기(ad)를 반출입실(ab) 내로 운반하는 운반 수단(ae)과, 운반된 카세트 수용 용기(ad)를 일시적으로 보관하는 용기 보관 스테이지(af)와, 카세트 수용 용기(ad) 내에 수용된 카세트(C)를 취출(取出)하는 카세트 취출 스테이지(ag)와, 반출입실(ab) 내에서 카세트 수용 용기(ad)의 전달을 실시하는 용기 이재(移載) 수단(ah)과, 로드록실(h)과 반출입실(ab)과의 사이에 배치되는 웨이퍼 보트(f)를 수용하는 유지체 수용실(ai)로 주요부가 구성되어 있다. 또한, 도 2의 제조 장치(11)의 예에서의 그 밖의 부위 및 동작에 대해서는, 공지의 기술(특허 문헌 2 참조)이므로 상세한 설명은 생략한다. 또한, 제조 장치(11)를 구성하는 챔버로서, 특허 문헌 3의 도 1에서의 챔버가 바람직하다.
또한, 제조 장치(11)는, 예를 들면, 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보인 레시피(통상적으로, 프로세스 조건 값의 집합)를 저장하고 있고, 해당 레시피를 이용하여 제어된다.
또한, 서버 장치(12)는, 이른바 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치이며, 복수의 제조 장치(11)에서의 각종 측정 정보를 저장하고 있고, 해당 측정 정보에 대하여 이상 검지를 실시하는 기능을 갖는다.
또한, 클라이언트 장치(13)는, 서버 장치(12)에 대하여 각종 요구를 내어 서버 장치(12)에서의 처리된 결과를 받아들인다.
도 3은, 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 블록도이다. 군 관리 시스템은, 1 개 이상의 제조 장치(11), 서버 장치(12), 클라이언트 장치(13)를 구비한다.
제조 장치(11)는, 입력 접수부(1101), 레시피 저장부(1102), 제조 장치 식별자 저장부(1103), 제품 웨이퍼 매수(枚數) 저장부(1104), 처리부(1105), 측정부(1106), 원(元) 정보 축적부(1107), 원 정보 송신부(1108)를 구비한다.
서버 장치(12)는, 측정 정보 저장부(1201), 원 정보 수신부(1202), 측정 정보 취득부(1203), 측정 정보 축적부(1204), 지시 접수부(1205), 출력 정보 구성부(1206), 출력부(1207), 출력 지시 축적부(1208), 조건 정보 저장부(1209), 이상 검지부(1210)를 구비한다.
클라이언트 장치(13)는, 지시 입력부(1301), 지시 송부(送付)부(1302), 접수부(1303), 표시부(1304)를 구비한다.
입력 접수부(1101)는, 제조 장치(11)의 유저로부터 각종 입력을 받아들인다. 각종 입력이란, 예를 들면, 레시피 또는 레시피를 식별하는 레시피 식별자, 또는 제품 웨이퍼 매수, 또는 웨이퍼 제조 지시(처리의 실행 지시) 등이다. 제품 웨이퍼 매수란, 더미의 웨이퍼 매수를 포함하지 않는 웨이퍼의 매수이며, 제품으로서 제조하는 웨이퍼의 매수이다. 또한, 제조 장치(11)에 수납할 수 있는 웨이퍼의 매수는, 예를 들면, 50 매 또는 30 매 등이며, 그 중, 더미의 웨이퍼가 10 매 또는 5 매 등이다. 또한, 수납할 수 있는 웨이퍼 중, 더미의 웨이퍼의 수, 제조하는 웨이퍼의 수는 상관없다. 유저로부터 각종 입력된 입력 수단은, 텐 키(ten key) 또는 키보드, 또는 마우스, 또는 메뉴 화면에 의한 것 등, 무엇이든지 상관없다. 입력 접수 부(1101)는, 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버, 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.
레시피 저장부(1102)는, 제조 장치(11)를 제어하기 위해 사용되는 레시피를 저장하고 있다. 레시피란, 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보이며, 통상적으로, 프로세스 파라미터의 정보의 집합을 포함한다. 프로세스 파라미터의 정보는, 예를 들면, 카테고리명, 아이템명, 파라미터명, 값을 포함한다. 카테고리명이란, 프로세스 파라미터의 종류를 나타내는 명칭이며, 예를 들면, 「온도」 「가스 유량」 「보트 엘리베이터의 스피드」등이다. 아이템명은, 프로세스 파라미터의 속성을 나타내는 명칭이며, 예를 들면, 「상하 속도」 「회전 속도」 등이다. 파라미터명은, 프로세스 파라미터의 명칭이며, 예를 들면, 「C」 「A」 등이다. 값은, 프로세스 파라미터라고 하는 변수에 부여하는 값이다. 통상적으로, 레시피는, 레시피를 식별하는 레시피 식별자(예를 들면, 레시피명)와 쌍을 이루어 저장되어 있다. 레시피 저장부(1102)는 비휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다.
제조 장치 식별자 저장부(1103)는, 제조 장치(11)를 식별하는 제조 장치 식별자를 저장하고 있다. 이 제조 장치 식별자는, 입력 접수부(1101)가 받아들인 정보여도 좋고, 제조 장치 출하 시에 사전에 저장한 정보여도 좋다. 제조 장치 식별자 저장부(1103)는, 하드 디스크 또는 ROM 등의 비휘발성의 기록 매체여도 좋고, RAM 등의 휘발성의 기록 매체여도 좋다.
제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)는, 제품 웨이퍼 매수를 나타내는 정보를 저 장하고 있다. 여기서, 제품 웨이퍼 매수를 나타내는 정보란, 통상적으로, 수치(예를 들면, 40)이지만, 수치에 대응하는 기호 등이여도 좋다. 즉, 제품 웨이퍼 매수를 나타내는 정보와 제품 웨이퍼 매수란 같은 의미이다. 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)의 제품 웨이퍼 매수는, 예를 들면, 입력 접수부(1101)가 받아들인 수치이다. 또한, 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)의 제품 웨이퍼 매수는, 예를 들면, 도시하지 않은 수단에 의하여 자동적으로 취득한 정보여도 좋다. 제품 웨이퍼 매수를 취득하는 도시하지 않은 수단이란, 예를 들면, 제품 웨이퍼와 더미 웨이퍼의 표면의 색의 차이를 화상 처리에 의해 검지하여, 제품 웨이퍼의 매수를 산출하는 수단이다. 통상적으로, 제품 웨이퍼와 더미 웨이퍼의 표면의 색은 다르다. 또한, 제품 웨이퍼 매수를 취득하는 도시하지 않은 수단이란, 예를 들면, 제품 웨이퍼에 기재된 ID를 화상 처리에 의하여 판독하고, 제품 웨이퍼의 매수를 산출하는 수단이다. 그 밖에, 자동적으로 제품 웨이퍼 매수를 취득하는 수단은 상관없다. 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)는, 하드 디스크 또는 ROM 등의 비휘발성의 기록 매체여도 좋고, RAM 등의 휘발성의 기록 매체여도 좋다.
처리부(1105)는, 레시피 저장부(1102)의 레시피를 판독하여, 해당 레시피에 따라 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스를 실시한다. 처리부(1105)는, 통상적으로, MPU 또는 메모리 등으로 실현될 수 있다. 처리부(1105)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
측정부(1106)는, 제조 장치(11) 내의 온도 또는 가스 유량, 압력 등을 측정 하여, 차트화되는 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원 정보를 취득한다. 원 정보는, 측정한 온도 등의 정보이다. 원 정보는, 통상적으로, 측정한 시각(時刻)을 나타내는 시각 정보를 갖는다. 원 정보는, 측정부(1106)가 온도 등의 값을 측정한 때에 처리하고 있던 레시피를 식별하는 레시피 식별자와, 측정한 값과, 측정한 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 것은 보다 바람직하다. 측정부(1106)는, 복수의 개소의 복수의 온도, 또는 온도와 가스 유량 등의 복수의 값을 측정해도 당연히 좋다. 즉, 원 정보는, 두 종류 이상의 측정된 값을 가져도 좋다. 측정부(1106)는 1 개 이상의 온도 센서 또는 1 개 이상의 유량 센서 등의 센서 등으로 실현될 수 있다.
원 정보 축적부(1107)는, 측정부(1106)가 취득한 원 정보를, 도시하지 않은 기록 매체에 축적한다, 원 정보 축적부(1107)는, 통상적으로, MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 원 정보 축적부(1107)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 상기의 도시하지 않은 기록 매체는, 비휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다.
원 정보 송신부(1108)는, 원 정보 축적부(1107)가 축적한 원 정보를 서버 장치(12)로 송신한다. 원 정보의 송신의 트리거는 상관없다. 또한, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 측정된 한 종류 이상(예를 들면, 온도와 가스 유량)의 값, 시각 정보, 제품 웨이퍼 매수를 갖는다. 또한, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 제조 장치(11)를 식별하는 제조 장치 식별자, 또는 레시피를 식별하는 레시피 식별자를 갖는 것이 보다 바람직하다. 또한, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 더미의 웨이퍼 매수를 포함하는 총 웨이퍼 매수 등을 가져도 좋다. 즉, 원 정보 축적부(1107)가 축적한 원 정보와, 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 원 정보는, 그 구조 또는 구성이 달라도 좋다. 또한, 원 정보는, 복수의 측정된 값에 대하여, 하나의 제품 웨이퍼 매수 또는/및 하나의 제조 장치 식별자 또는/및 하나의 레시피 식별자를 갖는 구성이여도 좋다. 원 정보 송신부(1108)는, 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는, 원 정보를 서버 장치(12)로 송신하기 전에, 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)로부터 웨이퍼 매수를 판독하여 원 정보에 부가해도 좋다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는, 원 정보를 서버 장치(12)로 송신하기 전에, 레시피 저장부(1102) 또는 제조 장치 식별자 저장부(1103)로부터 각각 레시피 식별자 또는 제조 장치 식별자를 판독하여 원 정보에 부가해도 좋다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는, 측정된 값(예를 들면, 가스 유량)을 1 초마다 샘플링하여 모은 데이터(예를 들면, 10 개를 모은 데이터)를 한번에 송신해도 좋다. 원 정보 송신부(1108)가 송신하는 데이터의 단위 또는 데이터 구조 등은 상관없다. 또한, 송신하는 원 정보를 구성하는 처리는, 원 정보 송신부(1108)가 아닌, 원 정보 축적부(1107)가 실시해도 좋다. 측정된 한 종류 이상(예를 들면, 온도와 가스 유량)의 값과 시각 정보의 조(組)의 정보 및 제품 웨이퍼 매수 또는 제조 장치 식별자 또는 레시피 식별자의 송신 타이밍 등도 상관없다.
측정 정보 저장부(1201)는 복수의 측정 정보를 저장할 수 있다. 복수의 측정 정보는, 복수의 제조 장치(11)에서 측정된 한 종류 이상의 정보(예를 들면, 온도 또는 압력)에 대한 시 계열의 정보이며, 제조 장치(11)에서 제조하는 제품의 웨이퍼 매수인 제품 웨이퍼 매수와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보이다. 또한, 복수의 측정 정보는, 복수의 제조 장치(11)에서 측정된 한 종류 이상의 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 제품 웨이퍼 매수와 제조 장치(11)를 식별하는 장치 식별자와, 시각 정보를 갖는 정보여도 좋다. 또한, 복수의 측정 정보는, 복수의 제조 장치(11)에서 측정된 한 종류 이상의 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 제품 웨이퍼 매수와 레시피 식별자와 시각 정보를 갖는 정보여도 좋다. 측정 정보는, 원 정보 수신부(1202)가 수신한 복수의 원 정보에 대하여, 측정 정보 취득부(1203)가 소정의 연산을 실시하여 취득된 정보여도 좋고, 원 정보와 동일한 정보여도 좋다. 측정 정보 저장부(1201)는, 비휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다. 또한, 측정 정보 저장부(1201)의 측정 정보는, 측정 정보 축적부(1204)가 축적한 정보여도 좋고, 제조 장치(11)로부터 직접 수신한 정보여도 좋으며, 도시하지 않은 기록 매체로부터 판독한 정보여도 좋다.
원 정보 수신부(1202)는, 복수의 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원 정보를 복수의 제조 장치(11)로부터 수신한다. 원 정보 수신부(1202)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.
측정 정보 취득부(1203)는, 원 정보 수신부(1202)가 수신한 복수의 원 정보 에 대하여 소정의 연산을 실시하여 복수의 측정 정보를 취득한다. 소정의 연산이란, 예를 들면, 소정의 시간 간격마다 복수의 원 정보가 갖는 복수의 값의 평균치 를 산출하거나, 최대치를 취득하거나, 최소치를 취득하거나, 표준 편차를 산출하거나, 또는 중앙치를 취득하는 연산이다. 또한, 소정의 연산이란, 예를 들면, 레시피 내의 소정의 단계마다 복수의 원 정보가 갖는 복수의 값의 평균치를 산출하거나, 최대치를 취득하거나, 최소치를 취득하거나, 표준 편차를 산출하거나, 또는 중앙치를 취득하는 연산이여도 좋다. 측정 정보 취득부(1203)는, 통상적으로, MPU 또는 메모리 등으로 실현될 수 있다. 측정 정보 취득부(1203)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
측정 정보 축적부(1204)는, 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)에 축적한다. 또한, 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)에 배치하는 경우에는, 측정 정보 축적부(1204)가 실시하는 축적 처리는 NOP(No Operation)와 같은 의의를 갖게 된다. 측정 정보 축적부(1204)는, 통상적으로, MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 측정 정보 축적부(1204)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
지시 접수부(1205)는 지시를 받아들인다. 이 지시는, 통상적으로, 클라이언트 장치(13)로부터 수신되지만, 서버 장치(12)에 접속되어 있는 키보드 또는 마우스 등으로부터 받아들여도 좋다. 지시 접수부(1205)가 받아들이는 지시는, 예를 들면, 제품 웨이퍼 매수를 포함하는 차트의 출력 지시, 또는 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 장치 식별자를 포함하는 차트의 출력 지시, 또는 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 레시피 식별자를 포함하는 차트의 출력 지시, 또는 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 장치 식별자와 1 개 이상의 레시피 식별자를 포함하는 차트의 출력 지시 등이다. 또한, 제품 웨이퍼 매수를 포함하는 차트의 출력 지시에 있어서의 제품 웨이퍼 매수는, 제품 웨이퍼 매수의 범위(20 ~ 40 등)여도 좋고, 제품 웨이퍼 매수(40 등)를 나타내는 정보만이여도 좋다. 출력 지시는, 차트의 종류(SPC 차트, 상관(相關) 차트, 또는 MD 차트 등)의 정보를 포함해도 좋다. 또한, 출력 지시는, 차트 출력하는 대상의 데이터의 타입(온도, 가스 유량, 압력 등의 측정 정보)을 포함해도 좋다. 또한, 출력 지시는, 차트를 구성하는 점 또는/및 선의 속성 정보를 포함해도 좋다. 속성 정보란, 점의 색, 점의 종류(형상), 선의 색, 선의 종류 등이다. 또한, 출력 지시가 레시피 식별자를 포함하는 경우, 통상적으로, 해당 레시피 식별자는 복수의 장치의 동일한 식별자를 갖는 복수의 레시피를 나타내는 것이다. 지시 접수부(1205)는, 예를 들면, 무선 또는 유선의 수신 수단으로 이루어진다. 지시의 입력 수단은 텐 키 또는 키보드, 마우스 또는 메뉴 화면에 의한 것 등, 뭐든지 상관없다. 지시 접수부(1205)는, 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.
출력 정보 구성부(1206)는 이상 검지부(1210)의 판단 결과에 따른 출력 정보를 구성한다. 예를 들면, 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되는 복수의 측정 정보를 이상 검지부(1210)가 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 복수의 측정 정보로부터, 출력 정보 구성부(1206)는 차트를 구성한다. 이 때, 출력 정보 구성부(1206)는, 이상이 있는 측정 정보와 정상적인 측정 정보를 시각적으로 구별하여 출력 정보를 구성하는 것이 바람직하다. 여기서, 출력 정보란, 예를 들면, 이상이 있는 측정 정보에 관한 측정부명과 시각(時刻)의 리스트 정보이다. 또한, 출력 정보란, 예를 들면, 해당 리스트 정보로 구성된 차트의 정보이다. 출력 정보란, 예를 들면, 정상이라는 취지, 이상이라는 취지이다. 출력 정보란, 예를 들면, 정상/이상 중 어느 하나를 나타내는 음(音) 정보(부저 등)이다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는, 이상 검지를 위하여 이상치, 정상치의 범위를 나타낸 차트를 구성하는 처리를 실시해도 좋다. 이러한 경우, 이상 검지부(1210)가 출력 지시에 합치되는 측정 정보를 판독하지만, 이상 검지의 처리를 실시하는지의 여부는 상관없다. 출력 정보 구성부(1206)는, 출력 지시에 2 개 이상의 장치 식별자가 포함되는 경우, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트를 구성하는 것이 바람직하다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는, 출력 지시에 2 개 이상의 레시피 식별자가 포함되는 경우, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트를 구성하는 것이 바람직하다. 여기서, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 2 개 이상의 장치 식별자를 포함하는 경우, 장치 식별자마다의 측정 정보가 다른 점의 종류(사각과 동그라미의 형상, 색, 크기)로 출력되어 있는 차트, 또는 장치 식별자마다의 측정 정보가 다른 선의 색으로 연결되어 있는 차트 등이다. 또한, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 하나의 장치 식별자만을 포함하는 경우, 해당 1 개의 장치 식별자의 복 수의 측정 정보로 이루어진 차트를 말한다. 또한, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 2 개 이상의 레시피 식별자를 포함하는 경우, 레시피 식별자마다의 측정 정보가 다른 점의 종류(사각과 동그라미의 형상, 색, 크기), 또는 레시피 식별자마다의 측정 정보가 다른 선의 종류(실선과 파선 등)로 연결되어 있는 차트 등이다. 또한, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트란, 출력 지시가 하나의 레시피 식별자만을 포함하는 경우, 해당 1 개의 레시피 식별자의 복수의 측정 정보로 이루어진 차트를 말한다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는, 판독한 복수의 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 판독한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트(단변량(單變量) 이상 검지 차트)를 구성해도 좋다. SPC 차트는, 단변량을 감시하여 이상 검지를 실시하기 위한 차트이다. SPC 차트에서, 감시 대상의 상하한치(관리치)를 설정(조건 정보 저장부(1209)가 사전에 유지)해 두고, 관리치 밖의 값이 된 경우, 이상 검지부(1210)가 이상을 검지하고, 검지된 이상을 시각적으로 나타내는 것은 바람직하다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는, 출력 지시가 1 개 이상의 장치 식별자를 포함하는 경우, 해당 1 개 이상의 장치 식별자 중의 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트(2 변량 이상 검지 차트)를 구성해도 좋다. 상관 차트는, 2 변량의 상관 관계를 감시하는 차트이다. 또한, 출력 정보 구 성부(1206)는, 출력 지시가 1 개 이상의 레시피 식별자를 포함하는 경우, 해당 1 개 이상의 레시피 식별자 중의 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보로부터, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성해도 좋다. 차트의 구성은, 예를 들면, 시간축에 따라 복수의 측정 정보를 선으로 연결하여 차트를 얻는 처리이다. 값과 시각 정보를 갖는 측정 정보가 복수 주어진 경우, 차트를 구성하는 처리는 공지의 기술이므로, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 값과 시각 정보를 갖는 측정 정보가 복수 주어진 경우, SPC 차트, 상관 차트, 또는 MD 차트를 구성하는 처리는 공지의 기술이므로, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 두 종류의 측정 정보란, 1 개의 측정 정보의 중에 두 종류의 측정된 값(예를 들면, 온도와 가스 유량)을 포함하는 정보도 포함한다. 또한, 세 종류 이상의 측정 정보란, 1 개의 측정 정보의 중에 세 종류 이상의 측정된 값(예를 들면, 온도와 가스 유량과 압력)을 포함하는 정보도 포함한다. 출력 정보 구성부(1206)는, 통상적으로, MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 출력 정보 구성부(1206)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
출력부(1207)는 출력 정보 구성부(1206)가 구성한 차트를 출력한다. 여기서, 출력이란, 통상적으로, 클라이언트 장치(13)로의 송신이다. 단, 출력부(1207)는, 서버 장치(12)에 접속되어 있는 디스플레이에 차트를 표시하거나, 프린터로 인쇄하거나, 외부 장치로 송신해도 좋다. 출력부(1207)는, 무선 또는 유선의 통신 수단으 로 실현될 수 있다. 단, 출력부(1207)는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현해도 좋다.
출력 지시 축적부(1208)는, 점 또는/및 선의 속성 정보와 장치 식별자, 또는 점 또는/및 선의 속성 정보와 레시피 식별자를 갖는 등의 지시인 출력 지시를 축적한다. 출력 지시 축적부(1208)는, 예를 들면, 지시 접수부(1205)가 차트의 설정(색 정보를 포함)을 축적하는 지시인 축적 지시를 받아들인 경우, 점 또는/및 선의 속성 정보와 장치 식별자, 또는 점 또는/및 선의 속성 정보와 레시피 식별자를 갖는 출력 지시를 축적해도 좋다. 또한, 출력 지시 축적부(1208)는, 통상적으로, MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 출력 지시 축적부(1208)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
조건 정보 저장부(1209)는 이상 검지의 조건에 관한 정보인 조건 정보를 저장하고 있다. 조건 정보는, 예를 들면, 측정치의 정상 범위를 나타내는 상한치와 하한치이다. 조건 정보는, 예를 들면, 정상치와 이상치 간의 상한치만이여도 좋다. 그 밖에, 조건 정보는, 측정 대상의 값(온도, 압력, 가스 유량 등)에 따라 다르다. 또한, 조건 정보의 구조는 상관없다. 조건 정보 저장부(1209)는, 비휘발성의 기록 매체가 바람직하지만, 휘발성의 기록 매체로도 실현이 가능하다.
이상 검지부(1210)는 측정 정보 저장부(1201)의 측정 정보가 갖는 측정치가 이상인지 정상인지를 판단한다. 이상 검지부(1210)는 조건 정보 저장부(1209)의 조건 정보를 이용하여, 측정 정보가 갖는 측정치가 이상인지 정상인지를 판단한다. 보다 구체적으로는, 이상 검지부(1210)는 지시 접수부(1205)가 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 복수의 측정 정보가, 각각 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단한다. 또한, 이상 검지부(1210)는 지시 접수부(1205)가 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 해당 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 장치 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 측정 정보가, 각각 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단한다. 또한, 이상 검지부(1210)는 지시 접수부(1205)가 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 해당 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 측정 정보가, 각각 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단한다. 이상 검지부(1210)는 통상적으로, MPU 또는 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 이상 검지부(1210)의 처리 수순은, 통상적으로, 소프트웨어로 실현되고, 해당 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 이상 검지부(1210)에서의 이상 검지 처리는 공지의 이상 검지 처리여도 좋다.
지시 입력부(1301)는 각종 지시를 입력한다. 각종 지시란, 기동의 지시, 차트의 출력 지시, 또는 차트의 속성치(선 종류 또는 선의 색, 점의 종류 또는 점의 색 등)의 변경 지시 등이다. 지시의 입력 수단은, 텐 키 또는 키보드, 마우스 또는 메뉴 화면에 의한 것 등, 뭐든지 좋다. 지시 입력부(1301)는, 텐 키 또는 키보드 등의 입력 수단과, 그 디바이스 드라이버 또는 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.
지시 송부부(1302)는 지시 입력부(1301)로부터 입력된 지시를 서버 장치(12)로 송부한다. 여기서의 송부란, 통상적으로, 통신 수단을 이용한 송신이다. 지시 송부부(1302)는 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.
접수부(1303)는 서버 장치(12)로부터 차트의 정보를 받아들인다. 여기서의 접수란, 통상적으로, 통신 수단을 이용한 수신이다. 접수부(1303)는, 무선 또는 유선의 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.
표시부(1304)는 접수부(1303)가 받아들인 차트의 정보를 디스플레이에 표시한다. 표시부(1304)는 디스플레이를 포함한다고 생각해도 좋고, 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 표시부(1304)는 디스플레이의 드라이버 소프트 또는 디스플레이의 드라이버 소프트와 디스플레이 등으로 실현될 수 있다.
이어서, 군 관리 시스템의 동작에 대하여 설명한다. 우선, 제조 장치(11)의 동작에 대하여 도 4의 순서도를 이용하여 설명한다.
(단계 S401) 처리부(1105)는 레시피 저장부(1102)의 레시피를 판독한다.
(단계 S402) 처리부(1105)는 카운터(i)에 1을 대입한다.
(단계 S403) 처리부(1105)는 단계 S401에서 판독한 레시피 중에서, i 번째의 처리 단계가 존재하는지의 여부를 판단한다. i 번째의 처리 단계가 존재하면 단계 S404로 가고, i 번째의 처리 단계가 존재하지 않으면 단계 S409로 간다.
(단계 S404) 처리부(1105)는 i 번째의 단계의 처리를 실행한다.
(단계 S405) 측정부(1106)는 사전에 결정된 한 종류 이상의 측정(예를 들면, 온도와 압력)을 실시하고, 원 정보(여기서의 원 정보는, 통상적으로, 한 종류 이상의 값만을 가짐)를 취득한다.
(단계 S406) 측정부(1106)는 도시하지 않은 시계로부터 시각 정보를 취득하고, 측정한 정보에 시각 정보를 부여하여 원 정보를 구성한다.
(단계 S407) 원 정보 축적부(1107)는 단계 S406에서 구성한 원 정보를 도시하지 않은 메모리에 일시(一時) 축적한다.
(단계 S408) 원 정보 송신부(1108)는 단계 S407에서 일시(一時) 축적한 원 정보(여기서는, 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 조(組))를 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는 서버 장치(12)와 통신하기 위한 정보(예를 들면, 서버 장치(12)의 IP 어드레스 등)를 유지하고 있다.
(단계 S409) 처리부(1105)는 카운터(i)를 하나 인크리먼트하여 단계 S403로 되돌아간다.
(단계 S410) 원 정보 송신부(1108)는 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)로부터 제품 웨이퍼 매수를 판독한다.
(단계 S411) 원 정보 송신부(1108)는 레시피 저장부(1102)로부터 레시피 식별자를 판독한다. 이 레시피 식별자는 단계 S401에서 판독한 레시피의 레시피 식별자이다.
(단계 S412) 원 정보 송신부(1108)는 제조 장치 식별자 저장부(1103)로부터 제조 장치 식별자를 판독한다.
(단계 S413) 원 정보 송신부(1108)는 단계 S410부터 단계 S412에서 판독한 제품 웨이퍼 매수, 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자를 서버 장치(12)로 송신한다. 또한, 원 정보 송신부(1108)는, 서버 장치(12)와 통신하기 위한 정보(예를 들면, 서버 장치(12)의 IP 어드레스 등)를 유지하고 있다.
또한, 도 4의 순서도에서, 송신하는 원 정보가 갖는 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 복수의 조(組)와, 제품 웨이퍼 매수, 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자를 함께 서버 장치(12)로 송신해도 좋다.
이어서, 서버 장치(12)의 동작에 대하여 도 5의 순서도를 이용하여 설명한다.
(단계 S501) 지시 접수부(1205)는 지시를 받아들였는지의 여부를 판단한다. 지시를 받아들이면 단계 S502로 가고, 지시를 받아들이지 않으면 단계 S508로 간다.
(단계 S502) 이상 검지부(1210)는 단계 S501에서 받아들인 지시가 차트의 출력 지시인지의 여부를 판단한다. 차트의 출력 지시이면 단계 S503으로 가고, 차트의 출력 지시가 아니면 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S503) 이상 검지부(1210)는 단계 S501에서 받아들인 지시가 갖는 제품 웨이퍼 매수(제품 웨이퍼 매수의 범위여도 좋다), 또는 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 장치 식별자, 또는 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 레시피 식별자, 또는 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 장치 식별자와 1 개 이상의 레시피 식별자를 취득 한다. 또한, 단계 S501에서 받아들인 지시가 총 웨이퍼 매수 등 다른 속성치를 포함하는 경우, 이상 검지부(1210)는 이러한 다른 속성치도 취득한다.
(단계 S504) 이상 검지부(1210)는 단계 S503에서 취득한 제품 웨이퍼 매수(제품 웨이퍼 매수의 범위여도 좋다) 등을 키로 하여 측정 정보 저장부(1201)를 검색하여, 1 개 이상의 측정 정보를 취득한다. 또한, 측정 정보는, 적어도 값(온도 또는 가스 유량의 값 등)과 시각 정보와 제품 웨이퍼 매수를 갖는다. 또한, 1 개 이상의 장치 식별자를 키로 하여 검색한다고 하는 것은, 1 개 이상의 장치 식별자 중의 어느 하나를 갖는 측정 정보를 취득하는 것이다. 또한, 1 개 이상의 레시피 식별자를 키로 하여 검색한다고 하는 것은, 1 개 이상의 레시피 식별자 중의 어느 하나를 갖는 측정 정보를 취득하는 것이다.
(단계 S505) 이상 검지부(1210)는 단계 S504에서 취득한 1 개 이상의 측정 정보가 갖는 각 측정치가 이상인지 또는 정상인지를 판단한다. 이상 검지부(1210)는, 조건 정보를 이용하여 각 측정치가 이상인지 또는 정상인지를 판단한다.
(단계 S506) 출력 정보 구성부(1206)는 단계 S504에서 취득한 측정 정보로부터 받아들인 출력 지시에 따른 차트 등의 출력 정보를 구성한다. 또한, 출력 정보가 차트인 경우, 차트의 선의 속성치(선의 색 또는 선의 종류, 점의 색 또는 점의 종류 등)는 지시된 속성치 또는 디폴트의 속성치 등이며, 출력 정보 구성부(1206)는 이러한 속성치를 이용하여 차트를 구성한다. 구성된 차트는, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트, 또는/및 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이다. 또한, 구성된 차트 는, 출력 지시가 갖는 차트의 종류의 정보(SPC 차트, 상관 차트, MD 차트 등)에 따른 차트이다. 또한, 출력 정보 구성부(1206)는 단계 S505에서의 이상 검지 처리의 결과에 따른 출력 정보를 구성한다. 「이상 검지 처리의 결과에 따른 출력 정보」란, 이상이 있는 측정 정보인지 또는 정상적인 측정 정보인지를 명시하는 태양의 출력 정보여도 좋고, 이상과 정상의 임계치를 명시한 차트 등이여도 좋다.
(단계 S507) 출력부(1207)는 단계 S505에서 구성한 출력 정보를 출력한다. 여기서, 출력이란, 클라이언트 장치(13)로의 송신이다. 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S508) 원 정보 수신부(1202)는 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 조를 제조 장치(11)로부터 수신했는지의 여부를 판단한다. 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 조를 수신하면 단계 S509로 가고, 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 조를 수신하지 않으면 단계 S510로 간다.
(단계 S509) 원 정보 수신부(1202)는 단계 S508에서 수신한 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 조를 도시하지 않은 메모리에 추가 기록한다. 단계 S501로 되돌아간다.
(단계 S510) 원 정보 수신부(1202)는 제품 웨이퍼 매수 등의 속성치를 제조 장치(11)로부터 수신했는지의 여부를 판단한다. 제품 웨이퍼 매수 등의 속성치를 수신하면 단계 S511로 가고, 제품 웨이퍼 매수 등의 속성치를 수신하지 않으면 단계 S501로 되돌아간다. 제품 웨이퍼 매수 등의 속성치란, 예를 들면, 제품 웨이퍼 매수와 장치 식별자와 레시피 식별자이다.
(단계 S511) 원 정보 수신부(1202)는 메모리에 추가 기록한 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 복수의 조에 대하여, 단계 S510에서 수신한 제품 웨이퍼 매수 등의 속성치를 부가하여 원 정보를 구성한다. 여기서, 복수의 원 정보가 구성된다. 또한, 제품 웨이퍼 매수 등의 속성치는, 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 복수의 조에 대하여 하나가 부여되어 있어도 좋고, 한 종류 이상의 값과 시각 정보의 각 조에 대하여 하나의 속성치가 부여되어 있어도 좋다. 즉, 원 정보의 데이터 구조는 상관없다.
(단계 S512) 측정 정보 취득부(1203)는 단계 S511에서 구성한 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시하여, 1 개 이상의 측정 정보를 취득한다. 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시한다고 하는 것은, 복수의 원 정보가 갖는 복수의 조가 갖는 한 종류 이상의 값 각각에 대하여 소정의 연산(평균치 산출, 표준 편차 산출, 최대치 취득 등)을 실시하는 것이다. 또한, 소정의 연산의 대상이 되는 복수의 원 정보란, 소정 시간 간격(예를 들면, 10 분)마다의 복수의 원 정보마다이며, 소정의 단계 수마다의 복수의 원 정보마다이다.
(단계 S513) 측정 정보 축적부(1204)는 단계 S512에서 취득한 1 개 이상의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)에 축적한다. 단계 S501로 되돌아간다.
또한, 도 5의 순서도에서, 전원 오프 또는 처리 종료의 인터럽트(interrupt)에 의하여 처리는 종료된다.
또한, 도 5의 순서도에서, 원 정보와 측정 정보는 동일한 정보여도 좋다. 이러한 경우, 단계 S512에서 원 정보를 판독하는 처리를 실시한다.
또한, 도 5의 순서도에서, 차트의 출력 지시를 받아들이기 전에 측정 정보가 축적되어 있다.
또한, 도 5의 순서도에서, 원 정보를 축적해 두고, 차트 등의 출력 정보의 출력을 실시할 때에, 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시하여 1 개 이상의 측정 정보를 취득하고, 해당 1 개 이상의 측정 정보를 이용하여 출력 정보를 구성하여 출력해도 좋다. 즉, 측정 정보를 구성하는 타이밍은 상관없다.
또한, 도 5의 순서도에서, 유저가 제품 웨이퍼 매수 조건을 포함하는 출력 정보의 출력 지시를 입력함으로써, 실시간으로 이상 검지가 개시되고, 원 정보를 수신할 때마다, 출력 정보(차트 등)를 갱신하면서 이상 검지 처리를 실시하여, 이상이 생기면 곧바로 유저에게 알리도록 하는 것은 바람직하다. 즉, 도 5의 순서도에서, 이하의 처리를 실시하는 것은 보다 바람직하다. 즉, 원 정보 수신부(1202)는 제조 장치(11)로부터 원 정보를 계속 실시간(제조 장치(11)에서의 제조 중)으로 수신하고, 측정 정보 취득부(1203)는 원 정보로부터 측정 정보를 계속 구성하고, 측정 정보 축적부(1204)는 측정 정보 저장부(1201)에 측정 정보를 적어도 일시적으로 배치하고, 이상 검지부(1210)는 계속 구성되는 측정 정보로부터 이상 검지 처리를 실시하고, 출력 정보 구성부(1206)는 출력 정보를 갱신하고, 출력부(1207)는 갱신된 출력 정보를 계속 출력한다. 이러한 처리에 의하여, 실시간으로 이상 검지가 이루어져, 유저는 이상의 발생을 즉시 인식할 수 있다.
이어서, 클라이언트 장치(13)의 동작에 대하여 설명한다. 클라이언트 장치(13)의 지시 입력 접수부(1301)가 유저로부터 차트의 출력 지시를 받아들인 경우, 지시 송부부(1302)는 해당 출력 지시를 서버 장치(12)로 송부하고, 서버 장 치(12)에서의 처리 결과인 차트의 정보를 접수부(1303)가 받아들이고, 표시부(1304)가 차트를 표시한다.
이하, 본 실시예에서의 군 관리 시스템의 구체적인 동작에 대하여 설명한다. 군 관리 시스템의 개념도는 도 1이다.
본 구체예에서, 복수의 제조 장치(11)의 입력 접수부(1101)가 유저로부터의 웨이퍼 등의 제조의 개시 지시를 받아들이면, 처리부(1105)는 레시피 저장부(1102)의 레시피를 판독하고, 판독한 레시피를 실행하여 웨이퍼 제조 처리를 진행한다. 그리고, 측정부(1106)는, 웨이퍼 제조 처리 중, 예를 들면, 1 초마다 사전에 결정된 로 내의 상부 온도를 측정하고, 취득한 가스 유량과 도시하지 않은 시계로부터 취득한 시각 정보를 쌍으로 하며, 원 정보 송신부(1108)는, 예를 들면, 1 초마다 서버 장치(12)로 송신한다. 이 송신하는 원 정보의 예는 도 6이다. 원 정보는, 가스 유량, 시각 정보를 갖는다. 또한, 시각 정보는 시각을 나타내는 정보이며, 시·분·초까지를 특정하는 정보여도 좋고, 일시 및 시(時)만의 정보여도 좋다.
또한, 레시피의 모든 단계의 실행이 완료된 단계에서, 제조 장치(11)의 원 정보 송신부(1108)는, 제조 장치 식별자 저장부(1103)의 제조 장치 식별자, 레시피 저장부(1102)의 레시피 식별자(피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 때에 실행한 레시피의 식별자) 및 제품 웨이퍼 매수 저장부(1104)의 제품 웨이퍼 매수를 판독하고, 서버 장치(12)로 송신한다.
이어서, 서버 장치(12)의 원 정보 수신부(1202)는, 예를 들어, 1 초마다 순차적으로 가스 유량과 시각 정보의 조(組)의 정보를 수신하여 일시(一時) 축적한 다. 그리고, 제조 장치 식별자, 레시피 식별자 및 제품 웨이퍼 매수를 수신한다. 그리고, 원 정보 수신부(1202)는, 가스 유량과 시각 정보의 복수의 조(組), 제품 웨이퍼 매수, 레시피 식별자 및 제조 장치 식별자를 갖는 원 정보를 일시적으로 메모리에 기록한다. 이러한 원 정보의 예를 도 7에 나타낸다. 도 7은 원 정보 관리표이다. 원 정보 관리표는, 「제조 장치 식별자」 「레시피 식별자」 「제품 웨이퍼 매수」 「값(가스 유량」 「시각 정보」를 갖는다. 도 7에서, 하나의 제조 장치 식별자, 레시피 식별자, 제품 웨이퍼 매수에 대하여, 복수의 값(여기서는, 한 종류의 값)과 시각 정보가 대응하는 데이터 구조이다. 또한, 도 7에서, 복수의 제조 장치(11) 및 복수의 레시피의 실행에 대한 원 정보가 관리되고 있다.
이어서, 측정 정보 취득부(1203)는, 동일한 제조 장치 식별자, 레시피 식별자 및 제조 웨이퍼 매수마다 복수의 원 정보를 취득하고, 해당 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시하여 복수의 측정 정보를 취득한다. 여기서는, 소정의 연산은 평균치의 산출이며, 측정 정보 취득부(1203)는 1 시간 간격으로 평균치를 산출한다. 그리고, 측정 정보 취득부(1203)는, 도 7의 원 정보 관리표로부터 도 8에 나타낸 측정 정보 관리표를 얻었다.
이어서, 측정 정보 축적부(1204)는 측정 정보 취득부(1203)가 취득한 도 8의 측정 정보 관리표를 측정 정보 저장부(1201)에 축적한다.
이상의 처리를 반복하여, 측정 정보 저장부(1201)에는, 예를 들면, 팽대(膨大)한 데이터량의 측정 정보가 저장되어 있다.
또한, 조건 정보 저장부(1209)에는, 로(爐) 내의 가스 유량의 정상/이상을 판단하는 조건 정보 「300 < = 가스 유량 < = 350」를 저장하고 있다. 조건 정보 「300 < = 가스 유량 < = 350」은, 가스 유량이 300 이상, 350 이하인 경우는 정상임을 나타낸다. 즉, 조건 정보 「300 < = 가스 유량 < = 350」은, 가스 유량이 300 미만, 또는 350보다 큰 경우는 이상이 있음을 나타낸다.
이러한 상황에서, 유저는, 클라이언트 장치(13)로부터, 도 9에 나타낸 화면 에 대하여 필요한 정보를 입력하고, 「차트 출력」 버튼을 누른다. 도 9는, 차트의 출력 지시를 입력하여 차트를 출력하기 위한 화면이다. 여기서, 필요한 정보란, 데이터 타입(측정 정보의 데이터의 종류이며, 예를 들면, 가스 유량, 온도, 또는 압력 등이 있다), 웨이퍼 매수의 정보, 제조 장치 식별자, 레시피 식별자 중 1 개 이상의 정보이다. 통상적으로, 데이터 타입은 필요하다. 또한, 도 9의 화면에 대하여, 데이터 타입, 웨이퍼 매수의 정보만의 입력이여도 좋다. 또한, 도 9의 화면에 대하여, 데이터 타입, 제조 장치 식별자만의 입력이여도 좋고, 데이터 타입, 레시피 식별자만의 입력이여도 좋다. 도 9에서, 데이터 타입 「가스 유량」, 제품 웨이퍼 매수 「35 ~ 40」, 제조 장치 식별자 「E1」, 레시피 식별자 「R1」 「R5」가 입력되어 있게 된다. 제품 웨이퍼 매수는, 「제품만」의 토글이 선택되어 있음으로써 인식된다. 따라서, 이러한 상황에서 유저가 「차트 출력」 버튼을 누르면, 지시 입력부(1301)는 「가스 유량」의 측정 정보(예를 들면, 도 8에 나타낸 정보) 중, 「35 < = 제품 웨이퍼 매수 < = 40」, 「제조 장치 식별자 = E1」, 「레시피 식별자 = R1 또는 R5」의 조건에 합치되는 측정 정보를 출력하는 출력 지시를 받아들인다. 또한, 이러한 출력 지시의 예는, 예를 들면, 「차트 출력 데이터 타입 = “가 스 유량” and 35 < = 제품 웨이퍼 매수 < = 40 and 제조 장치 식별자 = “E1” and 레시피 식별자 = “R1” or “R2”」이다.
이어서, 지시 송부부(1302)는, 출력 지시 「차트 출력 데이터 타입 = “가스 유량” and 35 < = 제품 웨이퍼 매수 < = 4 and 제조 장치 식별자 = “E1” and 레시피 식별자 = “R1” or “R2”」를 서버 장치(12)로 송신한다.
그리고, 서버 장치(12)의 지시 접수부(1205)는, 출력 지시 「차트 출력 데이터 타입 = “가스 유량” and 35 < = 제품 웨이퍼 매수 < = 4 and 제조 장치 식별자 = “E1” and 레시피 식별자 = “R1” or “R2” 」를 수신한다.
이어서, 서버 장치(12)의 이상 검지부(1210)는, 측정 정보 저장부(1201)에 저장되어 있는 측정 정보로부터, 출력 지시 「차트 출력 데이터 타입 = “가스 유량” and 35 < = 제품 웨이퍼 매수 < = 4 and 제조 장치 식별자 = “E1” and 레시피 식별자 = “R1” or “R2” 」에 합치되는 측정 정보를 검색하여 취득한다. 구체적으로는, 이상 검지부(1210)는, 도 8의 측정 정보 관리표로부터, 「35 < = 제품 웨이퍼 매수 < = 4 and 제조 장치 식별자 = “E1” and 레시피 식별자 = “R1” or “R2”」에 합치되는 레코드를 검색한다. 그리고, 이상 검지부(1210)는 도 10의 정보를 얻는다.
이어서, 이상 검지부(1210)는, 조건 정보 저장부(1209)로부터 조건 정보 「300 < = 가스 유량 < = 350」을 판독하고, 해당 조건 정보를 이용하여 도 10의 측정 정보의 이상을 검지한다. 도 10의 정보 「평균치」의 모두가 300 미만이므로, 이상치라고 판단된다.
이어서, 출력 정보 구성부(1206)는, 도 10의 정보와 이상 검지부(1210)의 판단 결과를 이용하여 출력 정보인 차트를 구성한다. 본 차트는, 횡축이 시각 정보를 나타내는 시각, 종축이 값(가스 유량의 평균치)인 꺾은선 그래프이다.
이어서, 출력부(1207)는, 출력 정보 구성부(1206)가 구성한 꺾은선 그래프를 클라이언트 장치(13)로 송신한다.
이어서, 클라이언트 장치(13)의 접수부(1303)는 해당 꺾은선 그래프를 수신 하고, 표시부(1304)는 도 11에 나타낸 바와 같이, 꺾은선 그래프를 디스플레이에 표시한다. 도 11에서, 정상 범위를 해칭(hatching)으로 나타내고 있다.
이상의 처리에 의하여, 유저는 원하는 제품 웨이퍼 매수를 포함하는 조건에서 측정된 값만에 착안하여 제조 장치의 제조 상태를 알 수 있어, 제조 장치의 이상을 검출하는 데에 매우 효과적이다. 구체적으로는, 제품 웨이퍼 매수에 따라 가스를 흐르게 한 경우의 저항치가 달라, 이 때문에 이상 발생 빈도 또는 이상의 종류 등이 달라지는 경우가 있어, 이러한 상황에 대응하기 위하여 원하는 제품 웨이퍼 매수를 포함하는 조건에서 측정된 값만에 착안하여 제조 장치의 제조 상태를 알아, 이상 검출을 정밀도 높게 실시할 수 있다. 또한, 도 11의 꺾은선 그래프에서, 제품 웨이퍼 매수가 35부터 40으로 많은 경우에, 가스의 유량이 정상 범위보다 적어져서(예를 들면, 300이 정상 상태의 하한치라고 함) 불량이 발생될 가능성이 높다고 판단할 수 있다.
또한, 도 9에서, 유저가 웨이퍼 매수의 「모두」를 선택한 경우, 더미 웨이퍼와 제품 웨이퍼 매수로 이루어진 모든 웨이퍼 매수를 포함하는 조건에서 측정 정 보를 검색하게 된다. 이러한 경우, 측정 정보는, 모든 웨이퍼 매수의 속성치를 포함하게 된다.
또한, 도 9에서, 유저는 웨이퍼 매수(제품 웨이퍼 매수 또는 모든 웨이퍼 매수), 1 개 이상의 제조 장치 식별자, 1 개 이상의 레시피 식별자를 포함하는 조건을 어떻게 지정해도 좋다. 즉, 유저는 제품 웨이퍼 매수만을 지정하여 차트 출력을 얻어도 좋고, 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 제조 장치 식별자만을 지정하여 차트 출력을 얻어도 좋고, 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 레시피 식별자만을 지정하여 차트 출력을 얻어도 좋고, 제품 웨이퍼 매수와 1 개 이상의 제조 장치 식별자와 1 개 이상의 레시피 식별자를 지정하여 차트 출력을 얻어도 좋다. 이러한 경우에도, 차트를 출력할 때까지의 처리는 상술한 처리와 같다. 또한, 도 9에서, 지정한 웨이퍼 매수는 범위를 갖는 정보였으나(From과 To의 BOX의 양쪽 모두가 체크되어 있음), 하나의 값만의 지정이여도 물론 좋다.
이상, 본 실시예에 의하면, 제품 웨이퍼 매수를 이용하여, 측정된 정보를 필터링하여 차트를 구성할 수 있다. 그 결과, 정밀도가 높은 이상 검지가 가능하다. 구체적으로는, 제품 웨이퍼에는 배선이 접속되어 있고, 더미의 웨이퍼에는 배선이 접속되어 있지 않은 것이 통상적이지만, 예를 들면, 제품 웨이퍼 매수에 따라 가스를 흐르게 한 경우의 저항치가 다르고, 이 때문에, 이상의 발생 빈도 또는 이상의 종류 등이 달라지는 경우가 있다. 본 실시예에 의하면, 이러한 상황에 대응한 이상의 검지가 가능해지는 차트의 출력이 가능하다. 보다 구체적으로는, 예를 들면, 더미의 웨이퍼 매수를 포함하지 않는 제품 웨이퍼 매수를 키로 하여 측정된 정보를 필터링하여 이상 검지를 실시하므로, 측정 정보의 불균일성을 작게할 수 있고, 이 때문에, 이상의 판단의 임계치를 좁게 설정할 수 있어, 그 결과, 정밀도가 높은 이상의 검지가 가능하다.
또한, 본 실시예에서, 출력되는 차트는, 도 12에 나타낸 바와 같이, 출력 지시(SPC 차트를 출력하는 지시)에 합치되는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다 또는/및 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 판독한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트여도 좋다. 또한, 도 12에 나타낸 SPC 차트는, 예를 들면, 하나의 장치 식별자의 측정 정보로 구성되어 있는 SPC 차트이다. 또한, 도 12에 나타낸 SPC 차트에서, 관리치(상한) 및 관리치(하한)가 출력되어 있다. 이 관리치 외의 값이 된 경우, 이상이 있음을 나타내고 있다. 관리치(상한) 및 관리치(하한)는 조건 정보 저장부(1209)가 사전에 유지하고 있다.
또한, 본 실시예에서, 출력되는 차트는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 출력 지시(상관 차트를 출력하는 지시)에 합치되는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다 또는/및 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보(예를 들면, 온도와 압력 등)의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트여도 좋다. 또한, 도 13에 나타낸 상관 차트는, 예를 들면, 하나의 장치 식별자의 두 종류의 측정 정보로 구성되어 있는 상관 차트이다. 또한, 도 13에 나타낸 상 관 차트에서, 2 개의 관리치가 출력되어 있다. 이 2 개의 관리치의 범위 외의 값이 된 경우, 이상이 있음을 나타내고 있다.
또한, 본 실시예에서, 출력되는 차트는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 출력 지시(MD 차트를 출력하는 지시)가 포함하는 1 개 이상의 장치 식별자 중 어느 하나, 또는/및 1 개 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다 또는/및 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보(예를 들면, 2 개소의 온도와 가스 유량과 압력)의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트여도 좋다. 또한, 도 14에 나타낸 MD 차트는, 예를 들면, 하나의 장치 식별자의 측정 정보로 구성되어 있는 MD 차트이다. 또한, 도 14에 나타낸 MD 차트는, 예를 들면, 마하라노비스의 거리를 이용하여 이상 판정을 하고 있는 차트이다. 보다 구체적으로는, 도 14에 나타낸 MD 차트는, 정상 시의 데이터를 모델화하고, 마하라노비스의 거리를 이용하여 이상 시의 정도를 수치로 나타낸 차트이다. 또한, 도 14에 나타낸 MD 차트에서, 2 개의 관리치가 출력되어 있다. 이 2 개의 관리치의 범위 외의 값이 된 경우, 이상이 있음을 나타내고 있다.
또한, 본 실시예의 구체예에서, 출력된 차트는, 1 개의 장치 식별자 또는 1 개의 레시피의 측정 정보가 표시된 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 판독한 복수의 측정 정보를 연결한 1 개의 꺾은선그래프였다. 그러나, 출력되는 차트는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 출력 지시가 포 함하는 3 개의 장치 식별자를 갖는 복수의 측정 정보를 측정 정보 저장부(1201)로부터 판독하고, 해당 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 판독한 복수의 측정 정보를 플로팅한 3 개의 차트여도 좋다. 이러한 경우, 출력 지시는, 예를 들면, 「장치 A」 「장치 B」 「장치 C」의 3 개의 장치 식별자를 포함한다. 그리고, 이상 검지부(1210)는 「장치 A」 「장치 B」 「장치 C」를 각각 키로 하여 3 번 측정 정보 저장부(1201)를 검색하고, 3 번 측정 정보를 취득하고, 각각의 키마다에, 출력 정보 구성부(1206)는 다른 점 또는 선의 속성치의 차트를 별개로 구성하여 3 개의 차트를 얻는다. 그리고, 3 개의 차트가 출력된다.
본 실시예에서, 상기와 같이 3 개 이상의 차트(SPC 차트, 상관 차트, MD 차트 등)의 표시 형태를 자유롭게 선택할 수 있으므로, 전체 검사의 결과에 따른 상황 분석이 가능해진다.
또한, 본 실시예의 구체적인 예에서, 원 정보 또는 측정 정보는, 사전에 서버 장치(12)가 유지하고 있어도 좋다. 이러한 경우, 원 정보 또는 측정 정보는, 도시하지 않은 수단에 의해 제조 장치(11)로부터 취득되어, 기록 매체 등을 경유하여 서버 장치(12)로 전달된다.
또한, 본 실시예에서, 유저는 보고 있는 차트의 일부를 확대하는 지시를 입력하고, 해당 차트의 일부의 스케일을 변경하여(측정 정보의 시간 간격 또는 단계의 간격을 변경하여) 차트 출력하는 것은 바람직하다.
또한, 본 실시예에서, 원 정보와 측정 정보가 동일한 구성이여도 좋다. 이러한 경우, 측정 정보 취득부 및 측정 정보 축적부는 불필요해진다.
또한, 본 실시예에서, 제조 장치와 서버 장치 사이에서 원 정보를 송수신하는 것은 필수적이지 않다. 원 정보는, 예를 들면, 기록 매체를 경유하여 제조 장치로부터 서버 장치로 주어져도 좋다.
또한, 본 실시예에서, 군 관리 시스템은, 클라이언트 장치(13)를 갖지 않아도 좋다. 이러한 경우, 유저는, 서버 장치(12)에 대하여, 출력 지시 등의 지시를 입력한다.
또한, 본 실시예의 구체적인 예에서, 장치 식별자 또는 레시피 식별자를 지정하여 차트를 출력하였으나, 1 개 이상의 장치 식별자 및 1 개 이상의 레시피 식별자를 지정하여 차트를 출력해도 좋다. 유저가, 1 개 이상의 장치 식별자 및 1 개 이상의 레시피 식별자를 포함하는 출력 지정을 입력한 경우, 이상 검지부(1210)는, 지정된 1 개 이상의 각 장치 식별자 및 1 개 이상의 각 레시피 식별자를 각각 키로 하여 측정 정보(또는 원 정보)를 검색하여 이상을 검지하고, 출력 정보 구성부(1206)는 차트를 구성한다.
또한, 본 실시예에서, 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 것을 트리거로 하여 실시간으로 이상 검지 처리를 실시하고, 원 정보를 수신할 때마다 출력 정보(차트 등)를 갱신하는 것은 매우 바람직하다. 이상의 발생을 유저가 즉시 알 수 있기 때문이다. 또한, 이러한 실시간의 이상 검지는 이하의 처리와 같다. 즉, 이상 검지부는 측정 정보 취득부가 계속 취득하는 측정 정보에 대하여, 조건 정보에 합 치되는지의 여부를 즉시 판단하고, 출력 정보 구성부는 이상 검지부의 판단 결과에 따른 출력 정보를 계속 구성하고, 출력부는 출력 정보 구성부가 구성한 출력 정보를 갱신하면서 출력한다.
또한, 본 실시예에서의 처리는 소프트웨어로 실현해도 좋다. 그리고, 이 소프트웨어를 소프트웨어 다운로드 등에 의하여 배포해도 좋다. 또한, 이 소프트웨어를 CD―ROM 등의 기록 매체에 기록하여 유포해도 좋다. 또한, 본 실시예에서의 서버 장치를 실현하는 소프트웨어는 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터에 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치에서 제조하는 제품의 웨이퍼 매수인 제품 웨이퍼 매수와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장하고 있으며, 제품 웨이퍼 매수에 관한 조건인 제품 웨이퍼 매수 조건을 포함하는 차트의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수 단계와, 상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되는 복수의 측정 정보를 판독하고, 해당 판독한 복수의 측정 정보가 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 이상 검지 단계와, 상기 이상 검지 단계의 판단 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성 단계와, 상기 출력 정보 구성 단계에서 구성한 출력 정보를 출력하는 출력 단계를 실행시키기 위한 프로그램이다.
또한, 상기 프로그램에서, 상기 측정 정보는 상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보이며, 상기 출력 정보의 출력 지시는, 제품 웨이퍼 매수 조건과 1 개 이상의 장치 식별자를 갖고, 상기 이상 검지 단계에 있어서, 상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 해당 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 장치 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 판독하고, 해당 판독한 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 프로그램인 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램에서, 상기 측정 정보는 상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보이며, 상기 출력 정보의 출력 지시는, 제품 웨이퍼 매수 조건과 1 개 이상의 장치 식별자를 갖고, 상기 이상 검지 단계에 있어서, 상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 해당 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 장치 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 판독하고, 해당 판독한 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 프로그램인 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램에서, 상기 측정 정보는 상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 레시피를 식별하는 레시피 식별자와 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보이며, 상기 출력 정보의 출력 지시는, 제품 웨이퍼 매수 조건과 1 개 이상의 레시피 식별자를 갖고, 상기 이상 검지 단계에 있 어서, 상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 경우, 해당 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 해당 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 판독하고, 해당 판독한 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 프로그램인 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램은, 컴퓨터에 상기 복수의 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원 정보를 상기 복수의 제조 장치로부터 수신하는 원 정보 수신 단계와, 상기 원 정보 수신 단계에서 수신한 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시하고, 복수의 측정 정보를 취득하는 측정 정보 취득 단계와, 상기 측정 정보 취득 단계에서 취득한 복수의 측정 정보를 축적하는 측정 정보 축적 단계를 더 실행시키기 위한 프로그램이여도 좋다.
또한, 상기 프로그램의 상기 출력 정보 구성 단계에 있어서, 상기 이상 검지 단계에서 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 상기 판독한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램의 상기 출력 정보 구성 단계에 있어서, 상기 이상 검지 단계에서 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램의 상기 출력 정보 구성 단계에 있어서, 상기 이상 검지 단계에서 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램의 상기 출력 정보 구성 단계에 있어서, 상기 이상 검지 단계에서 판독한 측정 정보로부터, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 상기 판독한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램의 상기 출력 정보 구성 단계에 있어서, 상기 이상 검지 단계에서 판독한 측정 정보로부터, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 프로그램의 상기 출력 정보 구성 단계에 있어서, 상기 이상 검지 단계에서 판독한 측정 정보로부터, 레시피 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성하는 것은 바람직하다.
또한, 상기 각 실시예에서, 각 처리(각 기능)는, 단일의 장치(시스템)에 의하여 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 또는, 복수의 장치에 의하여 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.
또한, 상기 프로그램에서, 정보를 송신하는 단계 또는 정보를 수신하는 단계 등에서는, 하드웨어에 의해 실시되는 처리, 예를 들면, 송신하는 단계에서의 모뎀 또는 인터페이스 카드 등으로 실시되는 처리(하드웨어로밖에 실시되지 않는 처리)는 포함되지 않는다.
또한, 상기 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 단수여도 좋고 복수여도 좋다. 즉, 집중 처리를 실시해도 좋고, 또는 분산 처리를 실시해도 좋다.
또한, 상기 각 실시예에서, 하나의 장치에 존재하는 2 개 이상의 통신 수단 (원 정보 수신부 또는 출력부 등)은 물리적으로 하나의 매체로 실현되어도 물론 좋다.
본 발명은, 이상의 실시예에 한정되지 않고 다양한 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 범위 내에 당연히 포함된다.
또한, 2006년 5월 9일에 출원된 일본특허출원 2006-129729호의 상세한 설명, 도면, 특허 청구의 범위를 포함하는 개시는, 그 전체의 참조에 의하여 이 개시에 포함된다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 서버 장치는, 제품 웨이퍼 매수를 키로 하여, 측정된 정보를 필터링할 수 있는 효과를 가지며, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 해당 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하는 군 관리 시스템 등으로서 유용하다.

Claims (16)

  1. 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치와, 상기 복수의 제조 장치와 접속되어 있는 서버 장치를 구비하여, 이상(異常) 검지를 실시하는 기능을 갖는 군 관리 시스템을 구성하는 서버 장치로서,
    상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치에서 제조하는 제품의 웨이퍼 매수(枚數)인 제품 웨이퍼 매수와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장할 수 있는 측정 정보 저장부와,
    제품 웨이퍼 매수에 관한 조건인 제품 웨이퍼 매수 조건을 포함하는 출력 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수부와,
    측정 정보에 이상이 있는지의 여부를 판단하기 위한 조건을 나타내는 조건 정보를 저장하고 있는 조건 정보 저장부와,
    상기 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되는 복수의 측정 정보를 상기 측정 정보 저장부로부터 판독하고, 상기 판독한 복수의 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 이상 검지부와,
    상기 이상 검지부의 판단 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 출력 정보 구성부와,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 출력 정보를 출력하는 출력부를 구비하는 서버 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 정보는,
    상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보이며,
    상기 출력 정보의 출력 지시는,
    제품 웨이퍼 매수 조건과 1 개 이상의 장치 식별자를 갖고,
    상기 이상 검지부는,
    상기 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 상기 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 장치 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 상기 측정 정보 저장부로부터 판독하고, 상기 판독한 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 서버 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 정보는,
    상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 레시피를 식별하는 레시피 식별자와 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보이며,
    상기 출력 정보의 출력 지시는,
    제품의 웨이퍼 매수 조건과 1 개 이상의 레시피 식별자를 갖고,
    상기 이상 검지부는,
    상기 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 상기 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 상기 측정 정보 저장부로부터 판독하고, 상기 판독한 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 서버 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원 정보를 상기 복수의 제조 장치로부터 수신하는 원 정보 수신부와,
    상기 원 정보 수신부가 수신한 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시하고, 복수의 측정 정보를 취득하는 측정 정보 취득부와,
    상기 측정 정보 취득부가 취득한 복수의 측정 정보를 상기 측정 정보 저장부에 축적하는 측정 정보 축적부를 더 구비하는 서버 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 지시 접수부가 출력 지시를 받아들인 것을 트리거로 하여,
    상기 이상 검지부는,
    상기 측정 정보 취득부가 계속 취득하는 측정 정보에 대하여, 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하고,
    상기 출력 정보 구성부는,
    상기 이상 검지부의 판단 결과에 따른 출력 정보를 계속 구성하고,
    상기 출력부는,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 출력 정보를 갱신하면서 출력하는 서버 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 정보 구성부는,
    상기 이상 검지부가 상기 측정 정보 저장부로부터 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 상기 판독한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하고,
    상기 출력부는,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 SPC 차트를 출력하는 서버 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 정보 구성부는,
    상기 이상 검지부가 상기 측정 정보 저장부로부터 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하고,
    상기 출력부는,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 상관 차트를 출력하는 서버 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 정보 구성부는,
    상기 이상 검지부가 상기 측정 정보 저장부로부터 판독한 측정 정보로부터, 장치 식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성하고,
    상기 출력부는,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 MD 차트를 출력하는 서버 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 정보 구성부는,
    상기 이상 검지부가 상기 측정 정보 저장부로부터 판독한 측정 정보로부터, 레시피식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 한 종류의 측정 정보가 갖는 시각 정보가 나타내는 시각의 순서대로, 상기 판독한 복수의 측정 정보를 플로팅한 차트인 SPC 차트를 구성하고,
    상기 출력부는,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 SPC 차트를 출력하는 서버 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 정보 구성부는,
    상기 이상 검지부가 상기 측정 정보 저장부로부터 판독한 측정 정보로부터, 레시피식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 두 종류의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 상관 차트를 구성하고,
    상기 출력부는,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 상관 차트를 출력하는 서버 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 출력 정보 구성부는,
    상기 이상 검지부가 상기 측정 정보 저장부로부터 판독한 측정 정보로부터, 레시피식별자마다의 측정 정보를 시각적으로 구별할 수 있는 태양의 차트이며, 세 종류 이상의 측정 정보의 상관을 나타내는 차트인 MD 차트를 구성하고,
    상기 출력부는,
    상기 출력 정보 구성부가 구성한 MD 차트를 출력하는 서버 장치.
  12. 컴퓨터에,
    피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 실시하는 복수의 제조 장치에서 측정 된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치에서 제조하는 제품의 웨이퍼 매수인 제품 웨이퍼 매수와, 시각을 나타내는 시각 정보를 갖는 정보인 측정 정보를 복수 저장하고 있고,
    제품 웨이퍼 매수에 관한 조건인 제품 웨이퍼 매수 조건을 포함하는 출력 정보의 출력 지시를 받아들이는 지시 접수 단계와,
    상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되는 복수의 측정 정보를 판독하고, 상기 판독한 복수의 측정 정보가, 저장되어 있는 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 이상 검지 단계와,
    상기 이상 검지 단계에서의 판단 결과에 따른 출력 정보를 구성하는 출력 정보 단계와,
    상기 출력 정보 구성 단계에서 구성한 출력 정보를 출력하는 출력 단계를 실행시키기 위한 프로그램.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 측정 정보는,
    상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 상기 제조 장치를 식별하는 장치 식별자와 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보이며,
    상기 출력 정보의 출력 지시는,
    제품의 웨이퍼 매수 조건과 1 개 이상의 장치 식별자를 갖고,
    상기 이상 검지 단계에 있어서,
    상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 상기 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 장치 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 판독하고, 상기 판독한 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 프로그램.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 측정 정보는,
    상기 복수의 제조 장치에서 측정된 정보에 대한 시 계열의 정보이며, 레시피를 식별하는 레시피 식별자와 제품 웨이퍼 매수와 시각 정보를 갖는 정보이며,
    상기 출력 정보의 출력 지시는,
    제품의 웨이퍼 매수 조건과 1 개 이상의 레시피 식별자를 갖고,
    상기 이상 검지 단계에 있어서,
    상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 경우, 상기 출력 지시가 포함하는 제품 웨이퍼 매수 조건에 합치되고, 상기 출력 지시가 포함하는 1 개 이상의 레시피 식별자 중 어느 하나를 갖는 복수의 측정 정보를 판독하고, 상기 판독한 측정 정보가 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하는 프로그램.
  15. 제 12 항에 있어서,
    컴퓨터에,
    상기 복수의 측정 정보의 바탕이 되는 정보인 원 정보를 상기 복수의 제조 장치로부터 수신하는 원 정보 수신 단계와,
    상기 원 정보 수신 단계에서 수신한 복수의 원 정보에 대하여 소정의 연산을 실시하고, 복수의 측정 정보를 취득하는 측정 정보 취득 단계와,
    상기 측정 정보 취득 단계에서 취득한 복수의 측정 정보를 축적하는 측정 정보 축적 단계를 더 실행시키기 위한 프로그램.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 지시 접수 단계에서 출력 지시를 받아들인 것을 트리거로 하여,
    상기 이상 검지 단계에 있어서,
    상기 측정 정보 취득 단계에서 계속 취득하는 측정 정보에 대하여, 상기 조건 정보에 합치되는지의 여부를 판단하고,
    상기 출력 정보 구성 단계에 있어서,
    상기 이상 검지 단계에서의 판단 결과에 따른 출력 정보를 계속 구성하고,
    상기 출력 단계에 있어서,
    상기 출력 정보 구성 단계에서 구성한 출력 정보를 갱신하면서 출력하는 프로그램.
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