TWI329238B - Pellicle and pellicle stripping device - Google Patents

Description

1329238 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於姓刻技術用防護薄膜組件，其在製造半導體裝 置、印刷基板或液晶顯示器等時，作為除塵器而使用；尤其係關 於供作製造液晶顯示器之大型防護薄膜組件。 【先前技術】

於LSI等半導體裝置或液晶顯示器等的製造中，係將光加以 照射到半導體晶圓或液晶用之素玻璃，以製作圖案。然而，當此 時所用之光罩或初縮遮罩（以下僅稱光罩）上附著^塵日寺，由二該 ，塵使光線遮蔽，並使其折曲，於是發生所轉印之圖案受損的問 題0 因此，該等作業通常在無塵室内進行；但即便如此，欲總是 將光罩保持潔淨一事，有其困難。 疋而’祕光罩表面去除粉塵而言，有人制贿防護薄膜 、·且件之方法。 、 防並非直接附著於光罩之表面上，而係附著在 2薄酿壯，·進行侧技㈣，若歸焦軸光罩上的 ^案對準起來，則魏防護薄膜組件±之異物不影響到轉印的狀 =該防護薄膜組件中，對於使一般光線穿透良好之硝化 不錄，酸纖較錢赖脂等觸成的透贿護細，、’'、 2鋼、聚乙烯等所構成的防護薄聽架之上端面，將_ 溶劑加以塗佈，並風乾而接著（參照專利文獻1);或者，以 接著劑’而進行接著（參照專利文獻2、3)。 勒拉ί ίί 狀T端面，設置用以安裝（_)到光罩i 樹雁;酸雜接層係由聚丁稀 又，於防護_組件_在光罩的狀態中，為了將防護薄膜 =MU通過小所造成之異 具：:=護通常以專業裝置或治 以1於光罩而加壓-定框架予 時，則必須進行剝離。此時人們採用以下之2原因=須重貼 進光罩黏接劑層，財高防㈣趣架而输冶具插 5(a)、5(b)所示，將銷狀剝離用具27加以推，3上士备口圖 架外側面的非貫通之圓孔23，而利用損、護薄膜框 加以舉起，以使其從光罩22剝離。 、巴5濤膜框架21 其優ί:由:ί:ί;插:二J'?:版進行剝離之情況下， 周而加喝：：防之膜，全 刮傷，非常不理想。 並且先罩可此被板狀治具所 *的S法=====側 護薄膜組件所使用，並不適合大型防護i触件 小型防 出現ίί，ΐ必要ί離防護薄膜組件者，除了防護薄膜組件本身 之 使防護_崎衫錢，紋 ^29238 再加以使用。 之防胺Γί是防護薄膜組件並無問題之情況，必續對健後 之”組件加以處理，而導致成本提高的問題。_剝離後 c f利文獻1)日本專利制昭58_219023號公 專利文獻2)日本專利特公昭63_277〇7號公 (專利文獻3)美國專利第4861402號說明書 (專利文獻4)曰本專利實公昭63_3937〇3號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之課題） 本發明係有鑑於上述問題所構成，其課題在於提供一 薄膜框架，係在貼附到光罩之後，可容易地進行剝離j、並且供 一種^==貼狀㈣雜崎㈣無鶴地剝離: 亦即’為解決上述課題，本發明之防護薄膜組件係 之邊長在3_11以上的大型防護薄膜組件，其特徵為：於 光罩2之狀態中，在防護薄膜框架丨之外侧全周8〇 ' ' 光罩2及防護薄膜框架！二者間設有寬2刪以上、冑域’ 的間隙（申請專利範圍第1項）。 此外’本發明之防護薄膜組件剝離裝置，係對於申許 圍第1項所載防護薄膜組件所適用的剝離裝置；其特徵^:由， 下部份構成：剝離具7，下部具有平板狀部15 ;及升降機構12^ 將該剝離具7保持與光罩2平行之狀態下，而往上方升高。並且’， 藉由把剝離具7之平板狀部15加以插進防護薄骐框架丨及該光罩 2兩者的間隙，以將光罩2及防護薄膜組件二者分開（申往= 圍第2項）。 °月』軏 在此，剝離具7之平板狀部15較佳為，佔有防護薄膜框架 之外側全周長80%以上的區域（申請專利範圍第3項）。、 進一步而言，平板狀部15的至少一面之表面材質較佳為，係 1329238 採用樹脂（申請專利範圍第4項）。 (發明之效果） 防護框架不會發生f曲。因此，簡層不ΐίΪ 剝離=_廳件在使壯不成_,可^= ’ = 巧如’將防護薄膜組件貼附到已完成之光罩上以後，當= :鼻膜之光罩上發現異物時’在已往係無條件地將防嘆 ifitl。依本發明，則可於將防護薄膜組件剝離後 以ίΐί:之異物加以除去’並再次貼附相同的防護薄膜組件， 以進行再利用。 丁 【實施方式】 (實施發明之最佳形態） 當有必要將防護薄膜組件從光罩加以剝離時，習知的 具對防護薄膜框架所為之作用，係呈點狀分布，且_槓桿原理 而以彎曲方向地進行；相對概，本發明之基本職為：係呈 狀分布，以防護細組件與鮮働平行之狀態，而將防 膜組件往上方升高。 以下，一邊參照圖式，一邊詳細說明本發明。 圖1係顯示用以說明依本發明的防護薄膜組件之一實施形態的剖 面圖。圖2顯示本發明的防護薄膜組件及防護薄膜組件剝離裝置 二者關係的示意圖；2(a)係俯視圖；2(b)係沿2(a)2A_A箭頭線 的剖面圖。® 3(a)〜3(c)係依序顯示使用本發明之防護薄膜組件 剝離裝置，以將防護薄膜組件從光罩加以剝離之程序的說明圖。 ^ 4顯示習知的防護薄膜框架之說明圖；4(a)係俯視圖；4(b)係 ，視圖。圖5(a)、5(b)係依序顯示將習知的防護薄膜框架加以剝 離之程序的說明圖〇圖6係顯示於使用習知的剝離用具，以將防 g膜組件從光罩加以制離後’該時之防護薄膜組件之狀態的說 附之架在光罩2上所貼 間隙3。嗲門1¾ q M 。卩/、光罩2間，係裝設有凹槽狀 度— 架=發=而且，在=罩= 而i生進一事’係變得極為困難， 而發生產生ii問題ΐ可能插進一事，係變得極為 架周下卿關隙3錢貫著防護薄膜框 為出發。較佳為’以加卫便利性、設計便利性等 就機能性而言，不進行全周而連續裝設亦可。其全體 在防3的製作方法’如圖1所示’最簡便而較佳為， =«=;?劑層4之高度充分地加高，並且藉由不ά ίίίΐΐ下端面之整體寬度上’而獲得相同之剖面形狀。 ’圄，Λ’、ίί5係防護薄膜，符號6係防護薄膜接著劑層。 離梦置所：圖3(a)〜3(C)顯示本發明之防護薄膜組件剝 離襄置所$了防制敵件师方法的_實施形態。 Ρ方濩薄膜崎係在具有上述剖面形狀之防護薄難架】的上 =面，隔著防護薄膜接著劑層6而貼附有防護薄膜5 ;並且在另一 邊之光罩侧的下端面，則裝設有光罩黏接劑層4所構成。此外， CJ6 該防組件隔著光罩黏接劑層4而貼附到光罩2。 離具係由以下H剝 旋钮10 ;剝離具框體U，係套9及其操作 降機構’用以將防護薄膜組 古Ί頂3 ’作為升 放到底板14上，並乍將貼附有防護薄膜組件之光罩2 裝置加以進行搭纟罩外側，從其上方把防護薄膜組件剝離 避。:Ϊ狀=操=外側突出而讓 裝設之間隙3的側邊，將剝離具7加^^框木1之外侧全周所 整體可與底板f 組件剝離裝置 附於光罩2的光罩3(b)所示，貼 上擧二整體加以往 將雖可見：受=形二 但^耆時間、㈣’將復原而恢_縣之雜。 ㈣進間隙3的部分係形成平板狀部15 ;且為防止 外側從側邊插進全周的至少、職以上之區域。 至或用其他處理治具，而使防護薄膜組件從防 剝，裝置容易取出，因此在防護薄膜框架i的直角ί 刀等亦可不插進剝離具而先空下些許空間。 時，為了使其接觸至防護薄膜框架或光罩 =不致於又知，且為了盡量減少產生灰塵，因此以使用具有強 度之工程塑勝為佳。例如，Ρ腿、pps、環氧樹脂等。又可使用含 有強化纖維者，亦屬當然。 但必須於表面塗佈有鐵氟龍（註 ’先考慮防護薄膜框架1之剖面 構件加工上之限制等，再進行 不銹鋼等金屬顯然亦可使用， 冊商標）等樹脂。該等材質較佳為 形狀、光罩黏接劑層4之接著力、 決定。 =離具7的材質，特別是其平 剝離具7到傷防護薄膜框架及光罩。==他 屬，村崎減少_1擦所發生的產生灰塵。 2°0〜_咖程度)，比起防護薄膜組件係將距 本實麵態巾，升降機構12採賴旋式千相；但若可進 2:致動他形式。例如’亦可使用電動、空壓或油 摩ttr有關與底板14接觸的部份，為了減少因 俾^姻_ΐί4本身耻神份_，柯伽耐磨板， ,,層4的接耆力，再作決定。很顯然地，若對於 4之剝離情況’以明顯太快的速度加以升高，將可 月bk成黏接層上形成扯裂等損傷。 底板14之内側較佳為，不與光罩2之圖案區域進行接觸而空 出來。又’光罩2所接觸之部份則可安裝上樹脂構件（未圖示）， 以防止因摩擦所發生之產生灰塵。 口丁； 广外，有時由於光罩2之重量及光罩黏接劑層4之接著力間 的均衡’使光罩2在剝離時往上升。於此種情況下，較佳為，在 裝設用以真空吸著的機構，以將光罩2加w及著固定到底 (實施例） 以下’說明本發明之實施例，但本發明並不限於此。 於1如，1所示，具有剖面形狀而係鋁合金製的防護薄膜框架1， 处八下端部形成因機械加工而成的落差。該 狀，係令外尺寸782x474咖，内尺寸76祕6晒，高5麵之^开: 且又，如圖1所示，於該防護薄膜框架丨之外周面的下端部， 巧右，^黏接劑層4側，係沿靠著環繞外周所設置的落差C，而裝 所形士，3並且令该落差c之尚度為〇.3麵，又令光罩黏接劑層 “尺防護薄膜框架之全寬-段落寬)為―，而以該 商於乾燥該防護薄膜框架1以後，採用甲苯將石夕氧黏接 冰，品名，信越化學工業公司製，Shin—Etsu Chemicai 二以稀釋，並分別塗佈到—邊之端面上’以作為防護薄 且蕤d而塗佈到另一邊之端面上，以作為光_接劑層4; 】f由加熱使其等硬化。在此，將光罩黏接劑層4之高度調整成 .mm 且令其與防護薄膜框架i整體計算之高度為& 1咖。 如姑步，以旋轉塗佈法將氟素聚合物（商品名(音譯） 長方幵二，ilAsahi Glass c。·，1^10加以在麵x92°x厚 8_之 Ϊ t f板上成膜，並且接著到與基板外形具相同形狀的框 ^加而所得之厚約4⑽的防護細予以貼附到該防護薄膜 除木以子將防護薄膜框架周圍之多餘薄膜加以切斷去 除，以作為防護薄膜組件。 w玄 到枚ίΐ,ϊί成之防護薄膜組件以12〇kg之重量，加以貼附 ' 罩之52Gx_mmx厚8mm的平滑石英玻璃基板上。 之防護薄膜組件及光罩(石英玻璃基板)2的剖面將成 5mm 3™： b ίϊ :占接層嫒低，長邊、短邊皆成為1.2刪。 置。Ιί且及圖3(a)〜3(C)所示構成之剝離裝 離” 7係於將鋼加以機械加工之後，在表面進行厚4〇 12 1329238 鐵氟龍(註冊商操）的塗佈。 旋紐Ϊ)外，配制以使其水平滑動之滑練8、滾_套9及操作 在4;直角部’並；套搬動 _8細螺紋採用不錄 於前端安裝幫聚氧化；=。24為 邊緣σρ之各邊，分職裝4處吸著σ (未圖 旱2 處的配管集中，而連接到真空栗(未圖示）。）使連接到該 並且護細組件之光罩2加以搭載至_離農置， 並且進仃防護薄膜組件的剝離實驗。 矛罝 户# 把貼附有防護薄膜組件之光罩2放到底板14上，並且 ，先罩外側，從其上方把剝離裝置加以^且 剝離具7將比防護_框架1往外側編it於此狀態中， 八2作Γ510 ’而從防護薄膜框架1之外側全周所 Η保U行藉而^作螺旋式千斤頂12，使制離裝置整體可與底板 劑所示’貼附於光罩2的光罩黏接 =4被拉上來’而逐漸發生剝離。此時，拉起之速度約略 ."1Γ，’lif1占接層之剝離情況，而採取間歇式進行。 表面制離。G_時’、光罩黏接劑層4完全從光罩2的 防護薄膜組:從光罩將剝離裝置整體往上升高，而使 最後，小心翼翼地將防護薄膜組件從剝離裝置加以取出，並 13 1329238 ΐίΐΐΐ接劑層4及防護薄膜框架1的損傷情況。其結果，伞 貝4兀全看*雜裂缝鮮損壞；又，防護薄膜框加】 則也完全看不綱傷或料變料損傷。 框架1 (比較例） ，圖4(a)、4⑹所示，製作齡金製的防護薄膜框 768xS方護薄-膜，架21之形狀，係令外尺寸782x474mm'、内財

長方形。此外，在分別麟長邊侧面的2 =各36咖之4處，皆裝設直徑2. 5咖、深2. 5臟的非貫 基板上 ”且======= 二、此外，如圖5(a)、5(b)所示，把剝離用具27插進圓孔， 而4行將防護薄臈組件從光罩22(石英玻璃基板)進行剝離。 其結果，藉由操作剝離用具27，可使防護薄膜框架21之 1完全地剝離；並且，當__針對全部4處之圓孔23進行制 B、’將成為僅防護薄膜框架21之各邊的中央部未從光罩22離 而殘存的狀態。 ，後，當以手把防護薄膜框架加以直接握取，而緩慢地往上 方升同時，可從石英玻璃基板完全地剝離開來。然而，由於該剝 離作業’使護薄膜框架產线乎無法修復之,f曲變形，且已經 無法使用（參照圖6)。 (產業上利用性） 依本發明’當有必要把防護薄膜組件剝離時，由於可將所撥 剝離下之防護薄臈組件加以再利用’因此在使用蝕刻技術之技術 領域中，可謂為一大貢獻。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示用以說明依本發明的防護薄膜組件之一實施形態

14 1329238 的剖面圖。 圖2顯示本發明的防護薄膜組件及防護薄膜組件剝離裝置二 者關係的示意圖；2(a)係俯視圖；2(b)係沿2(a)之A—A箭頭繞: 剖面圖。 即 圖3(a)〜3(c)係依序顯示使用本發明之防護薄膜組件剝離裝 置，以將防護薄膜組件從光罩加以剝離之程序的說明圖。 圖4顯不習知的防護薄膜框架之說明圖；4(；a)係俯視圖；4(b) 係前視圖。 圖5(a)、5(b)係依序顯示將習知的防護薄膜框架加以剝離之 栓序的說明圖。 圖6係顯不於使用習知的剝離用具，以將防護薄膜組件從光 罩加以剝離後’該時之防護薄膜組件之狀態的說明圖。 【主要元件符號說明】 1〜防護薄膜框架 2〜光罩(石英玻璃基板） 3, 3a〜間隙 4〜光罩黏接劑層 5〜防護薄膜 6〜防護薄膜接著劑層 7〜剝離具 8〜滑動軸 9〜滾珠襯套 10〜操作旋紐 Η〜剝離具框體 12〜升降機構(螺旋式千斤頂） 13〜握把 W〜底板 15〜剝離具7下部之平板狀部

15 S 1329238 20〜防護薄膜框架之直角部 21〜防護薄膜框架 22〜光罩（石英玻璃基板） 23〜圓孔 27〜（習知的）剝離用具 31〜防護薄膜框架 32〜光罩 34〜光罩黏接劑層 a〜間隙3之寬度 b〜間隙3之高度 c〜防護薄膜框架1下端面所形成之落差 16

Claims (1)

1. ^29238 十、申請專利範圍·· 護薄膜組件，其至少-邊之邊長在300麵以上， 以上在光罩之狀態中，在防護_框架之外側全周之80% 〇. 5刪=的=罩及防護細㈣二相設有寬2臟以上、高 項所係適用於中請專利範圍第1 其特徵為： 的間li:内，而將===插人到防護薄膜框架及該光罩兩者 7而將先罩及防護薄膜組件二者 可 ，該平fci大護薄膜組件剝離裝置，其 ^面之表面材質係採用樹脂。 ν Ι3Π · 該二:之防護薄膜組件剝離裝置，其中， 以上的區域。 。有防護薄膜框架外側之全周長之80% 中 十一、囷式： 17