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CD 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於測定電路基板的導電特性用的基板檢查 _ 用接觸件，將複數個基板檢查用接觸件支撐在引導基底所 ' 構成的基板檢查用治具及使用基板檢查用治具的基板檢查 • 裝置。 φ 【先前技術】 . 近年來，由於搭載電路基板的半導體元件或電阻器等 的電子零件集成度的提高，以致形成佈線圖形的細緻化。 以上的電路基板中，電子零件搭載在電路基板之前的裸板 "的狀態下測定佈線圖形的電阻可檢查電路基板導電特性的 良否。例如，將基板檢查用接觸件（探針）抵接在構成檢 査對象的電路基板所形成佈線圖形的檢査點2處的接點 間，預定電位的電流流動於佈線圖形間，使其接點間產生 Φ 的電壓和臨界値成對比以檢査電路基板導電特性的良否。 - 並且，本發明所謂的電路基板除了印刷配線基板之外，當 ^ 然也包含撓性配線基板、多層配線基板、液晶顯示器或電 漿顯示器用等的電極板，或者半導體封裝用的封裝基板或 膜載體等。 運用在進行以上電路基板的檢査用的基板檢查裝置的 基板檢查用治具，提出一種例如第8圖所示，一端抵接在 電路基板B的接點L的複數個基板檢查用接觸件200與支 撐該複數個基板檢查用接觸件200的導板202所構成的治 -5- (2) 1327222 具（例如，日本專利文獻l)。 在此，基板檢査用接觸件2 00爲第1的銷體2 04;第 2的銷體206;及配設在第1銷體2 04和第2銷體206之 _ 間的壓縮螺旋彈簧208所構成。導板202爲支撐第1銷體 ' 204的2個引導基部210、212;保持2個引導基部210、 • 212的間隔的隔件214;支撐第2銷體206的2個引導基 部216、218;保持2個引導基部216、218的間隔的隔件 φ 220;及支撐壓縮螺旋彈簧208的2個引導基部222、2 24 . 所構成。 以上所構成的基板檢查用治具在基板檢查用接觸件 200的第1銷體204 —端抵接在電路基板B的接點L的狀 *態下相對於電路基板B推壓可以使壓縮螺旋彈簧208壓 縮，藉此形成第1銷體204 —端彈性抵接在電路基板B的 接點L上。 〔日本專利文獻1〕 特開200 1 -4 1 977號公報 • 【發明內容】 . 〔發明所要解決的課題〕 但是，上述習知的基板檢查用治具，由於需要支撐第 1銷體2 04的2個引導基部210、212;支撐第2銷體206 的2個引導基部216、218;及支撐壓縮螺旋彈簧208的引 導基部222、224的3種類的引導基部而導致導板2 02構 成的複雜化的結果，造成組裝繁雜的問題。並且，基板檢 查用治具的組裝繁雜的結果，也會導致有基板檢查裝置的 -6- (4) 1327222 直徑的大直徑部’及上述一端側形成比上述大直徑部較小 直徑的小直徑部’同時在上述另一端側具備比上述大直徑 部較小直徑的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺 - 旋彈簧’上述第1引導基部，具有：上述大直徑部插穿其 ^ 貫穿部的大直徑的第1貫穿孔，及插穿上述小直徑部的小 ' 直徑的第2貫穿孔。 申請專利範圍第3項的發明，在申請專利範圍第2項 φ 渉及的發明中，其特徵在於：上述第2銷體形成比上述第 • 1銷體的大直徑部的較小直徑，且較上述第1銷體短小， 一端被固定在上述壓縮螺旋彈簧上，上述第2引導基部， 具有：上述第1銷體的另一端及上述壓縮螺旋彈簧全長插 穿其貫穿孔的第1貫穿孔，及上述第2銷體插穿用的小直 徑的第2貫穿孔。 申請專利範圍第4項的發明是將測定電路基板的導電 特性用的複數個基板檢查用接觸件支撐在導板所成基板檢 ® 查用治具，上述基板檢查用接觸件是以導電性材料所構 - 成，具備：一端抵接在上述電路基板的測定端所成的第1 . 銷體；同軸配設使其一端朝向該第1銷體的另一端，另一 端形成外部連接端的第2銷體；及配設在上述第1銷體的 另一端及上述第2銷體一端之間的壓縮螺旋彈簧，上述導 板是以絕緣性材料所形成，具備：形成有在形成測定端的 一端露出外部的狀態下可滑動地插穿上述第1銷體的貫穿 孔的第1引導基部，及相對於該第1引導基部以預定間隔 配設，遊動嵌入上述壓縮螺旋彈簧全長的同時，可滑動地 -8 - (5) 1327222 插穿上述第1銷體的另一端，並且形成有外部連接端的另 一端露出外部的狀態下插穿上述第2銷體而予以保持的貫 穿孔的第2引導基部。 . 申請專利範圍第5項的發明，在申請專利範圍第4項 / 涉及的發明中，其特徵在於：上述第1銷體形成和上述壓 ' 縮螺旋彈簧的外徑相同直徑或較外徑大直徑的同時，在上 述另一端具備和上述壓縮螺旋彈簧的內徑相同直徑或較小 • 直徑的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮螺旋彈 簧。 申請專利範圍第6項的發明，在申請專利範圍第4項 涉及的發明中，其特徵在於：上述第1銷體，具備：上述 另一端側形成和上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同直徑或外徑 較大直徑的大直徑部，及上述一端側形成比上述大直徑部 較小直徑的小直徑部，上述第1引導基部，具有：上述大 直徑部插穿上述貫穿孔的大直徑的第1貫穿孔，及插穿上 • 述小直徑部的小直徑的第2貫穿孔。 • 申請專利範圍第7項的發明，在申請專利範圍第4項 , 涉及的發明中，其特徵在於：上述第1銷體，具備：上述 另一端側形成和上述壓縮螺旋彈簧的外徑相同直徑或較外 徑大直徑的大直徑部，及上述一端側形成比上述大直徑部 較小直徑的小直徑部，同時在上述另一端具備比上述大直 徑部較小直徑的彈簧安裝部，該彈簧安裝部壓入上述壓縮 螺旋彈簧，上述第1引導基部，具有：其貫穿孔插穿上述 大直徑部的大直徑的第1貫穿孔，及插穿上述小直徑部的 -9- (6) 1327222 小直徑的第2貫穿孔。 申請專利範圍第8項的發明，在申請專利範圍第6或 7項涉及的發明中，其特徵在於：上述第2銷體，具備： - 形成比上述第1銷體的大直徑部的較小直徑，且較上述第 , 1銷體短小，一端被固定在上述壓縮螺旋彈簧上，上述第 ' 2引導基部，具有：其貫穿孔插穿上述第1銷體的另一端 及上述壓縮螺旋彈簧全長的大直徑的第1貫穿孔，及插穿 • 上述第2銷體的小直徑的第2貫穿孔。 申請專利範圍第9項的發明藉著測定電路基板的導電 特性檢査電路基板良否的基板檢査裝置，其特徵在於，具 備：申請專利範圍第4項至第8項中任一項記載的基板檢 查用治具，及一端連接在構成上述基板檢查用治具的基板 檢查用接觸件的第2銷體的外部連接端，另一端連接在執 行上述電路基板檢查的基板檢查部的電纜。 〔發明效果〕 根據申請專利範圍第1項的發明，壓縮螺旋彈簧遊動 嵌於第2引導基部的貫穿孔的同時，可滑動地插穿第1銷 體的端部，第2引導基部除了壓縮螺旋彈簧並形成可保持 第I銷體的端部的結果，不需要保持第1銷體端部的其他 引導基部可簡化導板的構成，獲得基膽檢查用治具組裝容 易的基板檢查用接觸件。 根據申請專利範圍第2項的發明，將第1銷體的大直 徑部插穿於第1引導基部的大直徑的第1貫穿孔，將第1 -10- (7) 1327222 銷體的小直徑部插穿於第1引導基部的小直徑的第2貫穿 孔，藉此形成以第1引導基部的第1貫穿孔和第2貫穿孔 的邊界部卡止第1銷體的大直徑部的結果，可獲得阻止第 . 1銷體從第1引導基部脫落的基板檢査用接觸件，將第1 ' 銷體的彈簧安裝部壓入到壓縮螺旋彈簧內可獲得第1銷體 • 和壓縮螺旋彈簧的導電連接優異的基板檢查用接觸件。 根據申請專利範圍第3項的發明，將第2銷體固定在 φ 壓縮螺旋彈簧可獲得第2銷體和壓縮螺旋彈簧的導電連接 優異的基板檢查用接觸件，第2銷體形成較第1銷體的大 直徑部的較小直徑，在形成相鄰的第2銷體的外部連接端 的另一端間可取得確保電絕緣性用所需距離的結果，可獲 得提高基板檢査用治具的電絕緣性的基板檢查用接觸件。 根據申請專利範圍第4項的發明，第2引導基部的貫 穿孔遊動嵌入壓縮螺旋彈簧的同時，可滑動地插穿第1銷 體的端部，第2引導基部除了壓縮螺旋彈簧之外並可保持 # 第1銷體端部的結果，不須保持第1銷體端部的其他引導 - 基部可以簡化導板的構成，獲得組裝容易的基板檢查用治 . 具。 根據申請專利範圍第5項的發明，將具備第1銷體端 部的彈簧安裝部壓入至壓縮螺旋彈簧形成第1銷體和壓縮 螺旋彈簧的優異導電連接的結果，可獲得動作可靠度優異 的基板檢查用治具，第1銷體和壓縮螺旋彈簧可在軸向維 持著正確的位置關係，藉此形成第1銷體可確實推壓壓縮 螺旋彈簧的結果，可獲得動作可靠度優異的基板檢查用治 -11 - (8) 1327222 具。 根據申請專利範圍第6項的發明’第1銷體的大直徑 部插穿於第1引導基部大直徑的第1貫穿孔，第1銷體的 /小直徑部插穿於第1引導基部小直徑的第2貫穿孔，藉此 * 以第1引導基部的第1貫穿孔和第2貫穿孔的邊界部卡止 0 • 第1銷體的大直徑部的結果，可獲得阻止第1銷體從第1 引導基部脫落的基板檢查用治具。 φ 根據申請專利範圍第7項的發明，第1銷體的大直徑 部插穿於第1引導基部大直徑的第1貫穿孔，第1銷體的 小直徑部插穿於第1引導基部小直徑的第2貫穿孔，藉此 以第1引導基部的第1貫穿孔和第2貫穿孔的邊界部卡止 第1銷體的大直徑部的結果，可獲得阻止第1銷體從第1 引導基部脫落的基板檢查用治具，第1銷體的端部所具備 的彈簧安裝部壓入至壓縮螺旋彈簧形成第1銷體和壓縮螺 旋彈簧形成優異導電連接的結果，可獲得動作可靠度優異 • 的基板檢査用治具。 - 根據申請專利範圍第8項的發明，第2銷體固定在壓 . 縮螺旋彈簧可獲得第2銷體和壓縮螺旋彈簧優異的導電連 接的基板檢查用治具，第2銷體形成較第1銷體大直徑的 較小直徑，在形成相鄰的第2銷體的外部連接端的另一端 間可取得確保電絕緣性所需距離的結果，可獲得電絕緣性 優異的基板檢查用治具。 根據申請專利範圍第9項的發明，第2引導基部的貫 穿孔遊動嵌入壓縮螺旋彈簧的同時，可滑動地插穿第1銷 -12- (9) 1327222 體的端部，第2引導基部除了壓縮螺’旋彈簧之外並可保持 第1銷體端部的結果，除了可實現組裝容易的基板檢查裝 置之外，並具備一端連接在構成檢査基板檢查用治具的基 / 板檢查用接觸件的第2銷體的外部連接端，另一端連接在 , 執行電路基板檢查的基板檢查部的電纜，形成可將移動的 * 基板檢查用治具確實連接在基板檢查部的結果，可執行動 作可靠性優異的基板檢査裝置。 【實施方式】 第1圖爲運用使用本發明一實施形態涉及基板檢查用 接觸件所構成基板檢查用治具的基板檢查裝置的內部構成 圖，第2圖爲其上面圖。並且，圖中一倂記載方向明確用 的座標軸。亦即，運用本發明所涉及基板檢查用治具的基 板檢查裝置10，具備：進行配設在呈大致長方型體的框體 12內部的前面側（-Y方向）和後面側（+Y方向）的大致 • 中間位置的電路基板B的良否檢查的檢查部14:及配設 - 在框體1 2的前面側和後面側之間，將前面側設定的檢查 . 開始前的電路基板B搬運到檢査部14，另一方面將檢查 結束後的電路基板B從檢查部14搬運到前面側的搬運機 構部16 ^ 檢查部14具備分別配設在電路基板B的上方側（+Z 方向）和下方側（-Z方向），檢查設置在電路基板B的 表內側的佈線圖形良否的檢查單元20。該檢查單元20， 具備：具有抵接在電路基板B的佈線圖形連接銲墊的複數 -13- (10) 1327222 支（例如，200支）的基板檢查接觸件（探針）22的基板 檢査用治具24;及基板檢查用治具24在基板檢查裝置1〇 的橫向（X方向）、基板檢查裝置10的前後方向（Y方 - 向）及基板檢査裝置1〇的上下方向（Z方向）移動的同 時，使基板檢查用治具24在上下方向延伸的軸周圍轉動 * 的治具驅動機構26。 搬運機構部16’具備：載放電路基板b的搬運台 φ 30;將搬運台30栓緊在螺帽部32朝著前後方向（γ方 向）移動的滾珠螺桿34;與滾珠螺桿34平行配設，搬運 台30對應於滾珠螺桿34的轉動而移動引導的一對導軌 36;及轉動驅動滾珠螺桿34，爲後述動作控制部40所驅 動控制的電動機38。此外，搬運台30的適當處形成有幾 板檢查用治具24的基板檢查用接觸件22接觸在電路基板 B內面的佈線圖形連接銲墊用的省略圖示的貫穿開口。 第3圖是表示基板檢査裝置10的電結構的方塊圖。 Φ 亦即，基板檢查裝置10具備CPU、ROM、RAM等所構成 - 的微電腦，爲根據預先記憶在ROM的程式控制裝置整體 • 的動作的動作控制部40;掃描抵接在電路基板B的佈線 圖形的連接銲墊L的複數個基板檢查用接觸件22，依序 選擇抵接在位在應檢査佈線圖形兩端的2個階端面L的2 個基板檢查用接觸件22的另一方面，對於選擇後的2個 基板檢查用接觸件22輸出檢查訊號的掃描部42:接受來 自動作控制部40的檢查開始指令，對於掃描部42輸出掃 描指令的檢測控制器44 ;及具有輸入來自操作員的指令的 -14- (11) 1327222 輸入部或顯示佈線圖形的檢查結果的顯示器等的操作面扳 46。並且，掃描部42和檢測控制器44構成可執行電路基 板B導電特性的檢査的基板檢査部48。 __ 第4圖爲表示掃描部42的電結構的方塊圖。亦即，
/ 掃描部42，具備：連接在配設於電路基板B的佈線圖形C * 兩端的2個連接銲墊L間，輸出預定位準的測定用電流的 恆流源所構成的電流產生部50;輸出預定位準的測定用電 φ 流，測定電流流動於佈線圖形C時的連接銲墊L間所產生 電壓的電壓測定部52;在基板檢查用治具24具備的複數 個基板檢查用接觸件22中所選擇的一對基板檢查用接觸 件22間，連接電流產生部50及電壓測定部52用的開關 陣列等所構成的轉換開關54;及對此轉換開關54輸出轉 換控制訊號的檢查處理部56。該檢查處理部56同時具有 將電壓測定部52所測定的電壓與預定的基準電壓比較判 別形成檢查對象的電路基板B的良否（佈線圖形C導通狀 # 態的良否），將其判別結果送訊至檢測控制器44的功 • 能。 第5圖爲槪略表示基板檢查用治具24的構成的要部 麵 剖面圖。並且，配設在上方側與下方側的檢查單元20除 了基板檢查用接觸件22的配置構成’形成同樣的構成’ 在此針對配設在下方側的檢查單元20的基板檢查用治具 24的構成說明。亦即，基板檢査用治具24在對應形成檢 查對象的電路基板B的佈線圖形的預定排列狀態下彼此呈 排列配設，藉著檢查電路基板B的導電特性用的導電性材 -15- (12) 1327222 料所形成的複數個針狀的基板檢查用接觸件22，被支撐在 合成樹脂等絕緣材料形成的導板60所構成。該導板60構 成爲彼此隔開預定間隔相對配置的第1引導基部62及藉 著在適當處配設第2引導基部64的複數個連結支柱66所 / 支撐。 * 在此，各基板檢查用接觸件22的一端構成測定端 2 2a，從第1引導基部62露出到外部分別彈性（或者壓 • 接）抵接在電路基板B的連接銲墊L。各基板檢査用接觸 件22的另一端構成外部連接端22b，壓接（彈性）地抵接 在配設於和第2引導基部64相對配置而成的電極板68的 各電極70。並且，各電極70連接有對應各基板檢查用接 觸件22而配設的電纜72，經由基板檢查用接觸件22將測 定用電流供應到預定的一對連接銲墊L間，同時可測定其 一對連接銲墊L間的電壓。 針對以上所構成的基板檢查裝置1〇的動作，持續參 # 閱第3圖至第5圖說明如下。首先，控制搬運機構部16 • 及治具驅動機構26的動作將各基板檢查用接觸件22的測
^ 定端分別抵接（接觸）於載放在搬運台30的電路基板B 的各佈線圖形的連接銲墊L上。並根據來自檢測控制器 44的掃描指令，掃描部42掃描後選擇抵接在位於電路基 板B應檢查佈線圖形兩端的一對連接銲墊L的一對基板檢 查用接觸件22。 亦即，選擇一對連接銲墊L中，抵接一方連接銲墊L 的基板檢查用接觸件22藉同軸電纜72所連接的轉換開關 -16- (13) 1327222 54的連接埠PI，及抵接另一方連接銲墊L的基板檢查用 接觸件22藉同軸電纜72所連接的轉換開關54的連接埠 P2，在該等連接埠P1與連接埠P2間連接電流產生部50 __ 與電壓測定部5 2。 * 接著從電流產生部50經連接埠P1與連接埠P2，使 * 測定用電流I流動於電路基板B的一對連接銲墊L間的佈 線圖形，藉著電壓測定部52測定該一對連接銲墊L間的 φ 電壓V。該電壓V以R作爲佈線圖形的電阻時，以V = RxI 表示。該電壓測定部52所測定的電壓V以檢查處理部56 和預定的基準電壓Vf比較，電壓V超過基準電壓Vf時 (V > Vf )判別爲佈線圖形的導通狀態不良（途中缺少導 體的一部份），電壓V在基準電壓Vf以下時（VSVf) 判別爲佈線圖形的導通狀態良好。將此判別結果送訊至檢 測控制器44。 判別結果良好時，進行接著的佈線圖形的檢査，因此 # 根據來自檢測控制器44的掃描指令，掃描部42掃描後選 ‘ 擇抵接在位於電路基板B的接著應檢査佈線圖形兩端的一 v 對連接銲墊L的一對基板檢查用接觸件22，與上述同樣 進行接著的佈線圖形的檢查。另一方面’判別結果爲不良 時，從檢測控制器44對於動作控制部40輸出顯示檢查對 象的電路基板B不良的訊號’在操作面板46的顯示器上 進行電路基板B不良的顯示。該電路基板B在此時刻結束 檢查。 第6圖及第7圖爲更詳細說明第5圖表示的基板檢查 -17- (14) 1327222 用治具24的構成用的圖。亦即，第6圖爲放大第5圖的 A部顯示的要部剖面圖，第7圖是分解基板檢查用接觸件 22顯示的圖。該等第6圖及第7圖中，基板檢查用接觸件 - 22，具備：形成一端抵接在電路基板B的測定端的第1銷 / 體80;朝一端相對於第1銷體80同軸配置在第1銷體80 * 的另一端，另一端形成外部接觸端的第2銷體82;及配設 在第1銷體80的另一端與第2銷體82的一端間的壓縮螺 • 旋彈簧84。第1銷體80及第2銷體82是以例如具有鎢或 鈹銅等具撓性的金屬材料所構成，壓縮螺旋彈簧84是以 例如鋼琴線等具有彈性的金屬材料所構成。 在此，第1銷體，具備：壓縮螺旋彈簧84側的另一 端側形成直徑大於壓縮螺旋彈簧84外徑的大直徑部86， 及測定端側的一端側形成小於大直徑部的小直徑，前端呈 尖銳形的小直徑部8 8，同時具備連續在另一端所形成，比 大直徑部86較小直徑而和壓縮螺旋彈簧84的內徑相同直 • 徑的彈簧安裝部90，該彈簧安裝部90被壓入到壓縮螺旋 • 彈簧84的內徑部》 , 第2銷體82形成比第1銷體80的大直徑部較小直 徑，並且較第1銷體80短小，一端焊接於壓縮螺旋彈簧 84等一體固定在壓縮螺旋彈簧84上。 如上述，第1銷體80，構成測定端的一端側形成比大 直徑部86較小直徑，可以在彼此鄰接形成第1銷體80測 定端的一端間確保預定的距離’阻止麈埃等污染物的附 著，所以即使複數個基板檢查用接觸件22彼此接近配置 -18- (15) 1327222 提高基板檢查用接觸件22的配置密度時，仍可獲得動作 可靠度優異的基板檢査用治具24。 將第1銷體80另一端具備的彈簧安裝部壓入壓縮螺 - 旋彈簧84，不僅可維持著第1銷體80與壓縮螺旋彈簧84 / 在軸上的正確位置關係，並形成第1銷體80與壓縮螺旋 * 彈簧84的良好導電連接，可獲得動作可靠度優異的基板 檢査用治具24。 φ 第2銷體82形成比第1銷體80的大直徑部86較小 直徑，在形成相鄰第2銷體82的外部連接端的另一端間 可確保電絕緣所需的距離，提高基板檢查用治具24的電 絕緣性。第2銷體82形成較第1銷體80短小，可以有效 縮小基板檢查用接觸件22的長度尺寸’促進基板檢査用 治具24的小型化。 構成導板60的第1引導基部62是層疊和電路基板B 相對的外部側的第1板94、中間部的第2板96及和第2 φ 引導基部64相對的內側部的第3板98的3個板所構成’ . 第1銷體80形成測定端的一端露出於外部的狀態下’在 . 厚度方向形成有可滑動插穿的貫穿孔100。 該貫穿孔100同軸形成有第1銷體80的大直徑部86 一部份可滑動插穿的大直徑的第1貫穿孔102，及第1銷 體80的小直徑部88 —部份可滑動插穿的小直徑的第2貫 穿孔1 04。大直徑的第1貫穿孔1 〇2形成在中間部的第2 板96及內部側的第3板98，小直徑的第2貫穿孔104形 成在外部側的第1板94。以上構成的第引導基部62在各 -19- (16) 1327222 板94、96、98上預先形成貫穿孔，’隨後栓緊等加以層 暨。 藉此，可容易獲得形成有具備2個不同直徑貫穿孔 100的第1引導基部62。貫穿孔100是以第1銷體80的 ' 大直徑部86的一部份可滑動插通的大直徑的第1貫穿孔 • 102，及第1銷體80的小直徑部88的一部份可滑動插通 的小直徑的第2貫穿孔1 04所構成，形成第1銷體80的 φ 大直徑部86被大直徑的第1貫穿孔102與小直徑的第2 貫穿孔104的邊界部所卡止，可以阻止第1銷體80對於 電路基板B側的脫落。此一滑動是設定貫穿孔1〇〇的直徑 若干大於第1銷體80，使得第1銷體80不致在貫穿孔 1 〇〇內顫動獲得順暢移動的狀態。 構成導板60的第2引導基部64是將和第1引導基部 62相對的內部側的第1板1 08、中間部的第2板1 1 0及和 電極板68相對的外部側的第3板112的3個板層疊所構 Φ 成，遊動嵌入壓縮螺旋彈簧84的同時，可滑動插入第1 - 銷體80的另一端，並且在厚度方向形成另一端露出外部 . 的狀態下插穿第2銷體82加以保持的貫穿孔114。 該貫穿孔114遊動嵌入壓縮螺旋彈簧84全長的同 時，同軸形成有第1銷體80的大直徑部86的端部可滑動 插穿的大直徑的第1貫穿孔116，及可插穿第2銷體82保 持的小直徑的第2貫穿孔1 1 8。大直徑的第1貫穿孔1 1 6 形成在內部側的第1板108、中間部的第2板110及外側 部的第3板1 1 2的內側一部份上，小直徑的第2貫穿孔 -20- (17) 1327222 1 1 8形成在外部側的第3板1 1 2的外‘側一部份上。形成以 上構成的第2引導基部64在各板108、110、112預先形 成貫穿孔，隨後栓緊等加以層疊》第2銷體82的第2貫 — 穿孔118的保持是藉著對於第2銷體82的第2貫穿孔118 / 的緩慢壓入予以實現。 ’ 所以，可容易獲得形成具有2個不同直徑貫穿孔114 的第2引導基部64。遊動嵌入即是設定使貫穿孔114的直 φ 徑大於壓縮螺旋彈簧84，壓縮螺旋彈簧84在貫穿孔114 內可自由伸縮的狀態。可自由滑動則是設定貫穿孔114的 直徑若干大於第1銷體80，可以使第1銷體80不致震顫 可順利地在貫穿孔1 4內移動的狀態。 以上，第2引導基部64是構成第1貫穿孔116遊動 嵌入壓縮螺旋彈簧84的同時，具有第1銷體80的端部可 滑動插穿的直徑，所以在第2引導基部64不僅壓縮螺旋 彈簧84，也可以保持第1銷體80的端部的結果，由於不 # 需使用保持第1銷體80端部用的習知技術的其他引導基 - 部而可簡化基板檢查用治具24的構成。 _ 以上構成的基板檢査用治具24控制治具驅動機構26 的動作，朝著載放在搬運台30的電路基板B移動’形成 各第1銷體80測定端的一端抵接在電路基板B的各連接 焊墊的狀態下推壓，第1銷體80朝著第2引導基部64側 移動，端部推壓壓縮螺旋彈簧84抵抗其彈性的結果’形 成第1銷體80測定端的一端彈性抵接在電路基板B的連 接焊墊L的狀態，獲得接觸阻力小的動作的高可靠度。 -21 - (18) 1327222 導板60爲第1引導基部62與第2引導基部64的2 個構件所構成，構造簡化的結果，可獲得組裝容易的基板 檢查用治具24，藉此可獲得組裝容易的基板檢查裝置 - 10。導板60爲第1引導基部62與第2引導基部64的2 - 個構件所構成’構造簡化的結果，更換基板檢査用接觸件 ' 22時，僅分離第1引導基部62與第2引導基部64及可取 出基板檢查用接觸件22，可容易進行更換作業。 Φ 以具撓性的金屬材料構成第1銷體80，第1銷體80 抵接在電路基板B的連接焊墊L的狀態下朝電路基板B 側推壓，在壓縮螺旋彈簧84被壓縮後使第1銷體80在第 1引導基部62與第2引導基部64間的空間部撓曲，藉其 所產生的彈性提高對於第1銷體80的電路基板B的連接 焊墊L彈力的結果，可以實現更小接觸阻力的動作可靠性 優異的基板檢查用治具24。 本發明不僅限定於上述實施形態，必要時也可以採用 # 以下所述的種種變形態樣。 . (1 )上述實施形態中，第1引導基部62與第2引導 基部64雖都是層疊3個板所構成，但是不僅限於此。例 如，也可以層疊2個板所構成，或層疊4個以上的板所構 成。只要在可確保貫穿孔1〇〇、114的直徑精度的範圍 內，即使不層疊複數個板，也可以僅壁厚較厚的1個板的 構成° (2)上述實施形態中，第1銷體80雖是具備大直徑 部86與小直徑部88，但是不僅限於此。例如’第1銷體 -22- (19) 1327222 80整體也可以形成相同直徑》並且第’ 1銷體80具備：λ 徑部86與小直徑部88，大直徑部86被卡止在大直徑纪 穿孔1 02和小直徑的貫穿孔1 04的邊界部，可阻止第1 - 體80從第1引導基部62朝著電路基板Β側脫落，但是 / 使第1銷體80整體形成相同直徑的場合，預先使第1 • 體80的直徑近似於貫穿孔100的直徑，可以藉著第1 體80周圍面產生的摩擦力有效阻止朝著電路基板Β側 • 脫落。 (3 )上述實施形態中，第1銷體8 0雖是將大直徑 86 (整體相同直徑的場合爲第1銷體80)形成比壓縮螺 彈簧84外径的較大直徑，但是不僅限於此。例如，也 以將銷體80的大直徑部86 (整體相同直徑的場合爲第 銷體80 )形成與壓縮螺旋彈簧84的外径相同直徑。以 的場合，第1銷體80的端部同樣可滑動插穿於第2引 基部64的大直徑貫穿孔116內，不需要保持第1銷體 • 端部用的習知技術使用的其他引導基部，可以簡化基板 - 査治具24的構成。 . (4)上述實施形態中，在第1銷體80的端部形成 壓縮螺旋彈簧84的內徑相同直徑的彈簧安裝部90，將 彈簧安裝部90壓入至壓縮螺旋彈簧84的內徑部，但是 僅限於此》例如，彈簧安裝部90也可以形成比壓縮螺 彈簧84內徑的較小直徑。此時彈簧安裝部90被形成遊 嵌入壓縮螺旋彈簧84的狀態，第1銷體80與壓縮螺旋 簧84形成以彼此的端面確保導電連接。即第1銷體8〇 直 丨貫 銷 即 銷 銷 的 部 旋 可 1 上 導 80 檢 與 此 不 旋 動 彈 的 -23- (20) 1327222 彈簧安裝部90內嵌於壓縮螺旋彈簧纟4的內徑部即可，任 意的場合在實用面上都不致造成大的問題。並且也可以除 去彈簧安裝部90。此時，壓縮螺旋彈簧84在大直徑貫穿 -孔116內雖是被以自由的狀態遊動嵌入，但此時同樣在實 , 用面上不會產生大的問題。 • (5)上述實施形態中，第2銷體82雖是形成比第1 銷體80的大直徑部86的較小直徑，但是不僅限於此。例 φ 如，也可以將第2銷體82形成與第1銷體80的大直徑部 86 (整體相同直徑的場合爲第1銷體80 )相同直徑。此 時，實用面上也不會產生大的問題。也可以將第2銷體82 形成比壓縮螺旋彈簧84較小直徑。此時，形成壓縮螺旋 彈簧84被卡止在大直徑的第1貫穿孔116與小直徑的第2 貫穿孔118的邊界部的結果，可以阻止第2銷體8 2從第2 引導基部朝著電極板68側的脫落。 (6) 上述實施形態中，第2銷體82雖是被焊接在壓 Φ 縮螺旋彈簧84等固定，但是不僅限於此。例如，也可以 . 使第2銷體82形成相對於壓縮螺旋彈簧84呈自由的狀 態。此時，第2銷體82與壓縮螺旋彈簧84是以端面彼此 間確保導電連接，因此實用面上不會產生大的問題。 (7) 上述實施形態中，電路基板B的導電特性測定 法的具體例中，檢查處理部56是將電壓測定部52所測定 的電壓V與基準電壓Vf比較來檢查佈線圖形的良否，但 是不僅限於此。例如’也可以從電壓測定部52所測定的 電壓V，藉著R = V/I運算處理的執行算出佈線圖形的電阻 -24- (21) 1327222 R，電阻R與基準電阻Rf比較以檢·查佈線圖形良否的構 成。 (8) 上述實施形態中，在一對基板檢查用接觸件22 -的外部連接端連接電流產生部50使預定位準的電流流動 . 於佈線圖形中，藉著佈線圖形兩端的電壓連接在基板檢查 ' 用接觸件22外部連接端的電壓測定部52所測定的僞四端 子法實施電路基板B導電特性的檢查，但是不僅限於此。 # 例如，也可以藉著二端子法實施電路基板B導電特性的檢 查。此時，例如經由一對基板檢查用接觸件22對佈線圖 形施加預定位準的電壓，測定流動於其佈線圖形中的電流 艮P可。 (9) 上述實施形態中，構成基板檢査用接觸件22的 第1銷體80、第2銷體82及壓縮螺旋彈簧84雖是以金屬 材料構成，但是不僅限於此。例如，也可以使用在含氟樹 脂或矽樹脂等的強韌合成樹脂的表面以化學鍍層或噴濺等 ® 包覆金屬材料而成的導電材料所構成。 • ( 1〇)上述實施形態中，雖是在一對基板檢查用接觸 - 件22的外部接觸端藉著同軸電纜72連接電流產生部50 及電壓測定部52，但是不僅限於此。例如，也可以藉單芯 線或絞線等所成的電纜連接電流產生部50及電壓測定部 52 〇 (11)上述實施形態中，基板檢查裝置10雖是在電 路基板B的上方側與下方側具備檢查單元20，各檢查單 元2〇具備基板檢查用治具24，但是不僅限於此。例如， -25- (22) 1327222 也可以在電路基板B的上方側與下方側的任一側具備檢查 單元20。此時，表裡兩面存在有佈線圖形的連接焊墊L 的電路基板B只要進行每單面檢查即可。 _ 【圖式簡單說明】 • 第1圖爲運用本發明一實施形態涉及的基板檢查用治 具的基板檢查裝置的內部構成圖。 φ 第2圖爲第1圖表示的基板檢查裝置的上面圖。 第3圖是表示第1圖所示基板檢查裝置的電氣構成方 塊圖。 第4圖是表示第3圖所示掃描部的電氣構成方塊圖。 第5圖爲槪略表示運用在第1圖所示基板檢查裝置的 基板檢查用治具的構成圖。 第6圖是詳細表示第5圖所示基板檢查用治具的構成 的要部剖面圖。 # 第7圖爲構成第6圖所示基板檢查用治具的基板檢查 - 用接觸件的分解前面圖。 . 第8圖是表示以往基板檢查用治具的構成的要部剖面 圖。 【主要元件符號說明】 10 :基板檢査裝置 22:基板檢査用接觸件 48 :基板檢查部 -26- (23) 1327222 60 :導板 62 :第1引導基部 64 :第2引導基部 — 80 :第1銷體 * 82 :第2銷體 84 :壓縮螺旋彈簧 8 6 :大直徑部 φ 8 8 :小直徑部 90 :彈簧安裝部 1 00 :貫穿孔 102 :第1貫穿孔 104 :第2貫穿孔 1 1 4 :貫穿孔 1 1 6 :第1貫穿孔 1 1 8 :第2貫穿孔 # B :電路基板 - C :佈線圖形 L :連接焊墊 -27