1325360 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於具備有搬運臂可將玻璃基板或半導體晶 圓等薄板狀工件在保管庫之間進行取出放入的機器人’特 別是關於具備有2個搬運臂的雙臂式機器人。 【先前技術】 習知以來對於玻璃基板或半導體晶圓等薄板狀工件的 搬運大多數是利用機器人。特別是近年來隨著液晶面板或 PDP (電漿顯示面板）用玻璃的大型化，很明顯地該等搬 運用的機器人也有大型化的趨勢。 於上述趨勢中，採用可節省機器人設置空間的同時還 能夠提高搬運效率達到生產能力提昇，具備有工件載置搬 運用的2個搬運臂的雙臂式機器人。 特別是，藉由採用以不同高度將2個搬運臂設置在上 下方向的雙臂式機器人，以一方的搬運臂將工件搬入保管 庫的同時以另一方的搬運臂從保管庫的另一棚板搬出工件 藉此達到搬運效率提昇，再加上是將2個搬運臂配置成重 疊在上下方向藉此降低機器人設置所需面積，能夠達到節 省空間（例如專利文獻1 )。 專利文獻1的雙臂式機器人如第7圖所示。於專利文 獻1的雙臂式機器人，2個搬運臂是連結在1個支撐構件 ，形成爲可上下移動的機構，所以2個搬運臂的上下間隔 —定並且2個搬運臂的上下移動是同時進行。因此產生無 -5- 1325360 法改變2個搬運臂上下方向間隔，或無法彼此獨立進 下移動的問題。 即，當保管庫等的棚板間距（上下間隔）和2個 臂上下方向間隔不一致時，則需進行下述動作：首先 一方的搬運臂搬出收納在保管庫某一棚板的工件後， 2個搬運臂朝上下方向移動，以另一搬運臂從另—棚 出工件，以致於即使具備有2個搬運臂但搬運循環時 是長。 爲解決該問題，於是就有將2個搬運臂形成可上 動的雙臂式機器人（例如專利文獻2 )。 專利文獻2所記載的雙臂式機器人如第8圖所示 雙臂式機器人由於是構成爲可自由改變2個水平多關 45 A、45B上下方向的間隔，因此將搬運臂上下方向 隔配合保管庫等的棚板間隔就能夠使2個搬運臂並排 搬出、搬入工件。其結果，可發揮雙臂的優點提昇搬 率。 此外，專利文獻2所記載的雙臂式機器人，如第 所示，是將各別支撐搬運臂用的2個支撐構件44A、 的側部形成爲彼此不同的突出形狀使2個搬運臂的上 隔構成不會成爲指定最小距離以下。 [專利文獻1]日本特開2001-274218號公報 [專利文獻2]日本特開2 005 - 1 505 7 5號公報 【發明內容】 行上 搬運 是以 再將 板搬 間：@ 下移 。該 節臂 的間 同時 運效 9圖 44B 下間 -6- 1325360 [發明欲解決之課題] 然而’專利文獻2所記載的雙臂式機器人有下述問題 〇 因上下2個支撐構件44 A、44B的側部接觸面露出在 外部，所以於接觸時會產生微粉粒有可能對清淨度要求高 的工件造成不良影響。再加上，因是質量大的支撐構件彼 此接觸，所以接觸時的衝擊有可能造成搬運手（48A、 48B)上的工件位置偏離’最差的狀況時工件有可能從搬 運手落下。 又加上’因支撐構件44A、MB的側面是突出成較大 所以質量增加’導致搬運臂45A、45B及支撑構件44A、 44B上下移動用的馬達或動力傳達機構等驅動機構也有大 型化的問題。 另外’於專利文獻2雖然未詳細說明，但在支撐構件 、立柱（41A、41B)的各自內部，內藏有可使各搬運臂 或支撐構件的驅動源形成驅動用的或可取得該等位置用的 電纜類，或設置成可對載置在搬運臂的工件進行檢測的感 測器用的電纜。
當構成爲2個搬運臂個別上下動作的構造時，因該等 電纜也會隨著搬運臂的上下移動而在立柱內形成上下移動 ’所以立柱內部需要有足夠的空間。其結果，隨著搬運臂 上下移動的行程變大立柱也勢必成爲大型化，牽涉到設置 面積或旋繞半徑的擴大。例如於專利文獻2的雙臂式機器 人中’就需要有2個可對支撐構件進行保持的立柱（41A 1325360 、41B)，其結果就產生需要有較寬廣設置面積的問題， 或產生台座50旋繞機構的旋繞半徑變大的問題。 本發明是有鑑於上述問題點而爲的發明，目的是提供 —種具備有各自獨立可上下移動的雙臂，藉由將上下支撐 構件的間隔控制在適當範圍使搬運效率提昇的同時，使立 柱構成小型化，可減少設置面積或旋繞半徑，能夠避免上 下支撐構件的動作對工件造成不良影響的雙臂式機器人。 [用以解決課題之手段] 爲解決上述問題，本發明是構成如下述。 申請專利範圍第丨項記載的發明是一種具備有：搬運 物載置用的搬運手部；連結於上述搬運手部，至少具有2 個旋轉關節，可伸縮動作成使上述搬運手部朝一方向移動 的多關節臂於上下配置有2個，支撐上述2個多關節臂之 中配置在上方的第1多關節臂的第1支撐構件·，位在上述 第1支撐構件的下方，支撐上述2個多關節臂之中配置在 下方的第2多關節臂，配置與上述第1支撐構件重疊的第 2支撐構件；；安裝有上述2個支撐構件的立柱；及可使 2個支撐構件沿著上述立柱分別獨立朝上下方向移動地連 結於上述立柱的移動機構之雙臂式機器人，其特徵爲，上 述2個支撐構件被連結在上述立柱內使其上下方向的間隔 可在指定的範圍內變動，藉由上述2個支撐構件的一方或 雙方的上下移動使上述2個支撐構件上下方向的間隔擴 大，當該間隔達到第1指定値時就停止上述支撐構件的上 • 8 - 1325360 . '下動作。 申請專利範圍第2項記載的發明是以下述爲其特徵， 即，藉由上述2個支撐構件的一方或雙方的上下移動使上 述2個支撐構件上下方向的間隔變窄，當該間隔達到第2 指定値時就停止上述支撐構件的上下動作。 申請專利範圍第3項記載的發明是以下述爲其特徵， 即，上述2個支撑構件，具有設置在上述立柱內分別朝向 另一方支撐構件的突起部，上述突起部具有限位開關，上 述限位開關，是在上述個支撐構件上下方向的間隔成爲上 述第1指定値或上述第2指定値時由另一方的上述支撐構 件的突起部使其動作。 申請專利範圍第4項記載的發明是以下述爲其特徵， 即，上述2個支撐構件的一方或雙方，分別具有朝另—方 上述支撐構件形成設置的距離感測器，上述感測器，是對 上述2個支撐構件上下方向的間隔進行量測。 申請專利範圍第5項記載的發明，上述2個多關節臂 當中配置在上方的第1多關節臂其內部所配設的電纜是上 述2個支撐構件當中經由第丨支撐構件內部配設在上述第 1支撐構件外部後收納至上述第2支撐構件內，配設在第 2上述多關節臂內部的電纜，是和來自於上述第1支撐構 件被收納的電纜一起經過上述第2支撐構件內部收納在上 述立柱的內部’上述立柱內的電纜是於配設至上述立柱下 端後配設至上述雙臂式機器人的外部。 申請專利範圍第6項記載的發明是以下述爲其特徵， -9- 1325360 即’配設在上述第1支撐構件和上述第2支撐構件之間的 電纜，是比針對上述2個支撐構件的一方或兩雙方上下移 動造成改變的上述2個支撐構件上下方向的間隔事先所設 定的上限値還長，露出在上述第1支撐構件外部後，形成 爲大致U字型往上述第2支撐構件形成收納。 申請專利範圍第7項記載的發明是以下述爲其特徵， 即’上述2個支撐構件，是一起突出在上述搬運手部移動 方向的正交方向對上述多關節臂進行支撐的同時，被安裝 在上述立柱的上述搬運手部移動方向正交方向的面；配設 在上述第1支撐構件和上述第2支撐構件之間的電纜是設 置在上述2個支撐構件突出方向的相反側。 申請專利範圍第8項記載的發明是以下述爲其特徵， 即’配設在上述立柱內的電纜是經過設置在上述立柱高度 方向大致中央部的電纜卡留部配設至上述立柱下端。 申請專利範圍第9項記載的發明是以下述爲其特徵， 即，上述多關節臂是上述旋轉關節可繞著垂直軸旋轉的水 平多關節臂。 申請專利範圍第1 0項記載的發明是以下述爲其特徵 ’即’上述2個多關節臂是於上下方向形成彼此對面分別 支撐在上述支撐構件。 [發明效果] 根據申請專利範圍第1項記載的發明時，能夠使2個 支撐構件的間隔對應各種保管庫等之棚架間距，能夠提昇
[S -10- 1325360 工件搬運效率。 根據申請專利範圍第2項記載的發 個支撐構件間隔變小的狀況，支撐構件 觸造成上下動作停止，因此能夠抑制對 之微粉粒或振動的產生。 根據申請專利範圍第3項至第4項 時，當將2個支撐構件的間隔控制在一 抑制對工件造成不良影響之微粉粒或振 根據申請專利範圍第5項記載的發 多關節臂獨立進行上下移動的同時，能 內的電纜成爲一條化配設在立柱內，能 根據申請專利範圍第6項記載的發 支撐構件間的電纜對於2個支撐構件的 夠有彈性加以應對，不會有張力的施加 根據申請專利範圍第7項記載的發 在2個支撐構件的電纜極力遠離搬運手 隨著支撐構件的上下移動造成從該電纜 是能夠極力排除對載置在搬運手部之工 根據申請專利範圍第8項記載的發 內的電纜應對支撐構件上下移動的同時 成簡化，能夠使立柱小型化。 根據申請專利範圍第9至第10項 時，能夠使2個臂上下方向的最小間隔 應各種間距的保管庫，能夠使雙臂式機 丨明時，即使是在2 彼此也不會直接接 工件造成不良影響 任一項記載的發明 定範圍內時，能夠 動的產生。 明時，能夠使2個 夠使配設在2個臂 夠使立柱小型化。 明時，配設在2個 上下間隔變化也能 〇 明時，能夠將配設 部形成配置，即使 產生微粉粒時，還 件的不良影響。 明時，能夠使立柱 能夠使立柱內的構 任一項記載的發明 形成較小，能夠對 器人的設置面積和 -11 - 1325360 旋繞半徑抑制成較小。 【實施方式】 [發明之最佳實施形態] 以下’參照圖面對本發明的實施形態進行說明。 實施例1 第1圖爲表示本發明雙臂式機器人全體構造的透視圖 〇 本發明的雙臂式機器人1，具備有二組由肩關節3、 肘關節4、手關節5連結成可旋轉可傳達旋轉驅動源形成 的旋轉力使肩關節3、肘關節4、手關節5成爲所期望動 作的水平多關節臂2。此外，安裝在水平多關節臂2前端 成爲工件載置用的手部8，是由水平多關節臂2使其直線 動作成朝圖中所示伸縮方向（正交座標系的X軸方向） ’執行工件搬入、搬出於保管庫等的搬出入動作。 圖號101及102爲臂的支撐構件，構成爲由1〇1支撐 構件懸掛著一方的臂，由1 02支撐構件支撐著另一方的臂 。水平多關節臂2是分別由肩關節3連結於支撐構件1 〇 1 或1〇2，其結果使2個臂於上下方向配置成彼此對面。 再加上，本發明的雙臂式機器人1，具備有可使支撐 構件101及102沿著立柱12形成個別上下移動的上下移 動機構11，構成爲可調整臂2的上下位置。 如上述，藉由將2個臂2配置成對面，可極力縮小最 -12- 1325360 接近支撐構件101和102時的2個手部8的上下間隔，其 結果’能夠對應各種間距的保管庫。 第2圖是表示本發明雙臂式機器人動作的詳細三面圖 〇 第2(a)圖爲上面圖’是相當於從第1圖正交座標 系Z軸方向往原點方向下看的圖。第2(b)圖爲側面圖 ’是相當於從第1圖正交座標系的原點往Y軸方向看的 圖。第2(c)圖爲正面圖，是相當於從第1圖正交座標 系的原點往X軸方向看的圖。另’第2圖中是省略圖示 手部8。 第2(a)圖是表示臂2的伸縮動作範圍。圖中，以 實線表示臂2折疊成上腕6和前腕7成重疊的狀態，以虛 線表示伸縮動作的最大行程。 此外’台座13是設置成可相對於基台14形成轉動， 使臂2或整個支撐構件旋繞立柱12，形成可改變其朝向 。利用該旋繞功能，形成可對配置在雙臂式機器人1周圍 的複數保管庫執行工件的搬運作業，能夠提昇每單位面積 的作業效率。 另一方面，第2(b)圖、第2(c)圖是表示臂2的 昇降動作範圍。圖中，以實線表示臂2位於昇降動作上端 的狀態，以虛線表示臂2位於昇降動作下端的狀態。 如第2(a)圖所示，上下移動機構μ是相對於立柱 12配置成和手部8的伸出方向同方向，支撐構件1〇1、 102是從上下移動機構11突出在相對於手部8移動方向 -13- 1325360 的正交方向，於其前端部連結著臂2的肩關節部3。經由 上述的配置，可讓立柱12在臂2伸縮動作時不會造成妨 礙。 從第2(a)圖得知，二組臂2的肩關節部3的旋轉 中心軸並不是在同一線上，下臂22的肩關節部3是相對 於上臂21的肩關節部3朝手部8的伸出方向成偏位配置 〇 此外，連結下臂22的支撐構件102因也是相對於支 撐構件1 0 1朝手部8的伸出方向成偏位配置，所以當由上 下移動機構11使支撐構件102朝下方移動時就不會干涉 到台座13，能夠加大昇降動作範圍。另外，上下移動機 構Π是以具有密封功能的保護蓋（未圖示）覆蓋著所以 能夠抑制立柱1 2內部產生的微粉粒往外部飛散。 本發明的雙臂式機器人是以支撐構件101及102沿著 立柱1 2個別上下移動就能夠配合保管庫的間距調整2個 臂的上下間隔，能以個別的臂進行工件搬出、搬入的同時 能夠提昇搬運效率。 例如第3圖所示，可進行下述作業.：首先是於設置面 起算的1 000 ( mm )高度，由個別的臂同時進行從未圖示 的保管庫A搬出工件，接著旋繞台座13使立柱12改變 朝向的同時使支撐構件101及102上昇，於設置面起算的 3 0 00 (mm)高度對未圖示的保管庫B (和保管庫A的棚 板間距不同）執行個別臂同時搬入工件。 於此，保管庫B的棚板間距是比保管庫A的棚板間 -14- 1325360 距還大，爲了配合保管庫B而需要將支撐構件101和102 的間隔從保管庫A的狀況加大50(mm)時，支撐構件 101上下方向的移動距離是2050 (mm)，支撐構件1〇2 的移動距離是20 00 (mm)。於該狀況，支撐構件1〇1和 支撐構件102的移動距離的比爲2050: 2000=1.025: 1， 所以當相對於支撐構件102的移動速度將支撐構件1〇1的 移動速度設定快2·5(%)，同時開始移動2個支撐構件 ，同時停止時就能夠配合保管庫Β的棚板間距。 即，支撐構件101和102的上下移動量即使不同時， 配合該差値適當調整兩者的移動速度，藉由同時開始移動 ，同時停止即能夠以短時間移動所期望的位置。 此外，當保管庫Α和保管庫Β的棚板間距相同時， 只要使支撐構件101和102的移動速度相同，同時開始移 動2個支撐構件，同時停止2個支撐構件的移動即可。 另一方面，支撐構件101和102的間隔是構成爲不脫 離一定範圍。如此一來能夠如上述簡化支撐構件101、 1 02移動控制的同時其間隔能夠應對各種棚板間距，再加 上，應用下述電纜配線，就能夠使立柱和單臂式機器人或 和2支搬運臂成爲一體形成上下移動的雙臂式機器人的狀 況相同成爲小型化。 以下，針對可將支撐構件1 〇 1、1 02的間隔限制在一 定範圍內的機構進行說明》 第4圖是表示從第2(b)圖相同方向看時的支撐構 件101、102及上下移動機構11 一部份的剖面模式圖。上 -15- 1325360 下移動機構11的一部份是收納在立柱12的內部。 如上述，2個支撐構件1 Ο 1、1 02是構成爲個別沿著 立柱102上下移動，但是由制動機構31、32使其間隔不 會超過一定間隔。制動機構31是形成爲L字型，構成和 支撐構件101 —體移動在立柱12內，制動機構32是形成 爲T字型，構成爲和支撐構件102 —體移動在立柱12內 〇 當支撐構件1 〇 1和1 02的間隔小時，成爲如第4 ( a )圖的狀態，但支撐構件101、102的任一方或雙方上下 移動時其間隔會變大，形成如第4 ( b )圖所示τ字型制 動機構32是鉤住L字型制動機構31的狀態。該機構使支 撐構件101和102的間隔不會超過指定的尺寸。此外，當 支撐構件101、102上下移動用驅動機構的負荷成爲一定 値以上時’檢測出該狀況的機器人控制器（未圖示）就會 停止驅動機構的動作，驅動機構不會有負荷過載的狀況。 再加上’即使是在上下移動機構11故障等造成支撐 構件102因重力而沿著立柱12落下時，該機構會讓支撐 構件1 02以吊掛在支撐構件1 〇1的狀態停止落下，因此就 能夠防止支撐構件102連下臂22整個落下至台座13。 制動機構3 1、3 2因是收納在立柱1 2內部，所以制動 接觸時產生的微粉粒不會直接飛散在工件上，能夠抑制對 工件造成的不良影響。此外，對於制動機構31、32的接 觸部是採用彈性體’所以能夠緩和制動機構3 1、3 2接觸 時施加在支撐構件上的衝擊，能夠抑制搬運手部8上載置 -16- 1325360 '的工件位置偏離等。 接著，針對支撐構件1 〇 1、1 0 2的間隔變小時制動機 構的功能進行說明。第5圖是表示和第4圖相同從第2( b)圖相同方向看時的支撐構件101、102及上下移動機構 1 1 —部份的剖面模式圖。於本實施例中，第5圖的制動 機構33、34是配置比第4圖所示的制動機構31、32還靠 近閱圖者側。 當支撐構件101、102的任一方或雙方上下移動使其 間隔變小時，會從第5 ( a )圖的狀態成爲如第5 ( b )圖 所示的狀態，制動機構3 3和3 4的前端部彼此會形成接觸 。如此一來，支撐構件1 〇 1和1 02的間隔就不會成爲比此 更小。此外，和第4圖的狀況相同，當支撐構件101、 102上下移動用驅動機構的負荷成爲一定値以上時，檢測 出該狀況的機器人控制器（未圖示）就會停止驅動機構的 動作，驅動機構不會有負荷過載的狀況。 制動機構33、34因是收納在立柱12內部，所以制動 接觸時產生的微粉粒不會直接飛散在工件，能夠抑制對工 件造成的不良影響。此外，對於制動機構33、34的接觸 部是採用彈性體，所以能夠緩和制動機構33、34接觸時 施加在支撐構件上的衝擊，能夠抑制搬運手部8上載置的 工件位置偏離等。 以上的說明，對於可將支撐構件1 〇1、1 02間隔限制 在一定範圍內的機構，是採用單純的機械性機構但其只不 過是一個例子，還可採用其他的手法。例如可在第4圖、 -17- 1325360 第5圖各別的制動機構一方或雙方設置開關，構成在另一 方制動機構接觸時推壓該開關。開關的ΟΝ/OFF是由機器 人控制器（未圖示）檢測，只要停止支撐構件101、102 上下移動用驅動機構就能夠使支撐構件101、102的間隔 限制在一定範圍內。 此外，還可構成爲：於支撐構件101、102的任一方 或雙方，設有距離感測器朝向另一方支撐構件，由同一機 器人控制器（未圖示）檢測支撐構件1 0 1、1 0 2的間隔， 根據需求停止支撐構件101、102上下移動用驅動機構。 於採用距離感測器時，因可避免支撐構件101、102的接 觸，所以對於抑制微粉粒或工件位置偏離的產生有不錯的 效果。再加上，還可對該等手法加以併用。 又加上，採用上述構成時就不需要如專利文獻2所示 將支撐構件的側部大量突出，因此能夠抑制支撐構件的質 量，以致能夠使支撐構件的驅動機構小型化。 另外，可使支撐構件101和102形成連結的外部電纜 1 7的長度，是根據支撐構件間的指定最大間隔加以決定 。具體而言’外部電纜17的長度是形成在支撐構件ιοί 和102的間隔最大時也不會有張力施加的足夠長度，並且 在支撐構件1 〇 1和1 02的間隔爲最小時，寬鬆份量的長度 也不致於太長。再加上，外部電纜1 7長度是以可順暢應 對支撐構件1 0 1和1 02的間隔變化形成大致υ字型配設 。針對外部電纜1 7將於後述說明。 接著，針對本發明雙臂式機器人的內部電纜配線進行 -18- 1325360 •說明。 第6圖是表示雙臂式機器人1的內部電纜配線狀態3 面圖。 第6(a)圖是和第2(a)圖相同的上面圖，是表示 臂2內的電纜配線狀態。於第6(a)圖中省略圖示台座 部1 3內的電纜配線。 第6(b)圖是和第2(b)圖相同的側面圖，表示支 撐構件1 0 1、1 02內和立柱1 2內的電纜配線狀態。 第6(c)圖是和第2(c)圖相同的正面圖，表示臂 2內和立柱1 2內的一部份及台座部1 3內的電纜配線狀態 。另，於第6圖中省略圖示搬運手部8。 於支撐構件1〇1內，收納著上臂21伸縮動作用的驅 動機構及對搬運手部8上載置的工件位置進行檢測的感測 用電纜。同樣地於支撐構件102內，收納著下臂22伸縮 動作用的驅動機構及對搬運手部8上載置的工件位置進行 檢測的感測用電纜18。接著，支撐構件101內的電纜是 集結成外部電纜17 —旦配設成露出在支撐構件101外部 後，收納至支撐構件102，經過支撐構件102內和下臂22 的內部電纜集結收納在立柱12。 另，如第6圖所示，外部電纜17是配置成露出在支 撐構件101、102和臂2的連結部背側。如上述，因是將 外部電纜配置成遠離搬運手部8，所以在支撐構件1〇1、 102的間隔改變時就能夠極力排除外部電纜產生的微粉粒 對工件造成不良影響。 -19- 1325360 如第6(b)圖所示，立柱12內的內部電纜18是利 用托座1 9卡留在立柱1 2中央部以S字橫躺形態形成配設 。因是在中央部卡留著內部電纜18，所以在支撐構件101 、102上下移動時張力不會施加在內部電纜18。再加上， 透過單純的構成使內部電纜18追隨著支撐構件101、102 ，因此能夠使立柱小型化。 內部電纜18是從立柱12下端經過台座13內部後， 露出在雙臂式機器人1的外部。露出在外部的電纜是連接 至未圖示的機器人控制器。 假設從支撐構件1 〇 1、1 02往立柱1 2內個別配設有電 纜時，則對應著各支撐構件的上下移動，在立柱12內需 要有可適度處理各電纜用的設備或空間。即，立柱12構 成大型化，導致質量增加使設置面積變大，或爲了旋繞台 座13而需要大型的驅動裝置。 相對於此，將支撐構件1 0 1內的電纜收納在支撐構件 102，從支撐構件102收納至立柱12內的構成，是能夠使 立柱1 2內的電纜集結成1個，能夠使立柱1 2小型化並且 輕型，同時又具有能夠減少雙臂式機器人設置面積的效果 [產業上之可利用性] 上述實施例是以玻璃基板和半導體晶圓等薄板狀工件 的搬運用途爲例子進行了說明，但本申請發明的機構理所 當然也可廣泛利用在其他的搬運用途。 -20- 1325360 【圖式簡單說明】 第1圖爲本發明雙臂式機器人透視圖。 第2圖爲本發明雙臂式機器人的三面圖。 第3圖爲表示本發明動作例的側面圖。 第4圖爲支撐構件間的間隔變大時制動機構動作說明 用的剖面圖。 第5圖爲支撐構件間的間隔變窄時制動機構動作說明 用的剖面圖。 第6圖爲表示本發明雙臂式機器人的電纜配線狀態3 面圖。 第7圖爲專利文獻1的雙臂式機器人透視圖。 第8圖爲專利文獻2的雙臂式機器人透視圖。 第9圖爲表示專利文獻2雙臂式機器人的支撐構件動 作透視圖。 【主荽元件符號說明】 1 :雙臂式機器人 2 :水平多關節臂 3 :肩關節部 4 :肘關節部 5 :手關節部 6 :上腕 7 :前腕 -21 - 1325360 8 :手部 9 :工件 1 〇 :支撐構件 1 1 :上下移動機構 1 2 :立柱 1 3 :台座 1 4 :底座 1 6 :立柱方塊 1 7 :外部電纜 1 8 :內部電纜 19 :托座 21 :上臂 22 :下臂 3 1、3 2 :制動構件 3 3、3 4 :制動構件 101 :上支撐機構 1 02 :下支撐機構 4 1 A :左側支柱 4 1 B :右側支柱 44A :下臂支撐構件 44B :上臂支撐構件 45A :下側水平多關節臂 45B :上側水平多關節臂 4 8 A :下手 -22 1325360 48B :上手 50 :台座 5 1 :下側緊固板 5 2 :上側緊固板 -23-