CN103223674B - 搬运机器人 - Google Patents

Abstract

本发明涉及搬运机器人。根据实施方式的一方面的机器人系统包括隔热构件和多个工件保持单元。这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件并且在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置。所述隔热构件被设置在所述工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一表面侧。

Description

搬运机器人

技术领域

本文所讨论的实施方式涉及搬运机器人。

背景技术

常规地，已知一种搬运机器人，该搬运机器人在形成于所谓的EFEM（设备前端模块）的局部清洁设备中的空间内在半导体制造过程中将基板（例如，晶片）搬入或搬出处理设备。

搬运基板的搬运机器人总体上包括设置有保持单元的臂，所述保持单元在其末端保持基板并且在保持该基板（例如将基板放置在该保持单元的上表面上）的同时通过沿水平方向操作臂以及保持单元来搬运基板。

这种搬运机器人的示例包括这样的搬运机器人，该搬运机器人包括多个保持单元并且通过单独操作保持单元而将平行的多个基板搬运到彼此平行的平面上（例如，参见日本专利特开公报2007-005582）。

半导体制造过程包括加热基板的处理，例如，烘烤处理。因此，包括多个保持单元的搬运机器人在一些情况下需要与由保持单元搬运处理后的高温基板的操作并行地执行由另一保持单元搬运处理前的室温基板的操作。

然而，在包括多个保持单元的常规搬运机器人中，在一些情况下，另一保持单元不利地受到从在搬运高温基板期间的保持单元辐射的辐射热或者从搬运期间的受热基板辐射的辐射热的影响。

例如，当搬运高温基板的保持单元以及搬运室温基板的保持单元被设置成使它们彼此竖向靠近的位置关系时，搬运室温基板的保持单元能够不利地受到从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从搬运期间的受热基板辐射的辐射热的影响。

实施方式的一方面鉴于前述被实现，并且实施方式的一方面的目的在于提供一种搬运机器人，该搬运机器人能够降低从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从在另一保持单元上搬运期间的受热基板辐射的辐射热的不利影响。

发明内容

根据实施方式的一方面的机器人系统包括隔热构件和多个工件保持单元。这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件并且在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置。所述隔热构件被设置在所述工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一表面侧上。

根据实施方式的一方面，可以提供这样一种搬运机器人，该搬运机器人能够降低从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从在另一保持单元上搬运期间的受热基板辐射的辐射热的不利影响。

附图说明

结合附图，参考下面的详细说明，能够容易地获得并更好地理解对本发明的更全面的认识以及本发明的许多附带优点，在附图中：

图1是示出根据第一实施方式的搬运系统的总体构造的示意图；

图2是示出根据第一实施方式的搬运机器人的构造的示意图；

图3是根据第一实施方式的下部手的示意性立体图；

图4是根据第一实施方式的上部手的示意性立体图；

图5是示出根据第一实施方式的隔热板的形状的示意性立体图；

图6是示出根据第一实施方式的搬运机器人的姿势的示例的示意性侧视图；

图7是包括除了根据第一实施方式的隔热板之外的隔热构件的搬运机器人的示意性侧视图；

图8是根据第一实施方式的搬运机器人的示意性侧视图，所述搬运机器人在下段侧设置有用于高温的手并且在上段侧设置有用于低温的手；以及

图9和图10是根据第二实施方式的搬运机器人的示意性俯视图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细地解释在本申请中公开的包括搬运机器人的搬运系统的实施方式。本发明不局限于下列实施方式。

在下文中，对以下情况进行说明，其中，作为待搬运对象的工件是基板，并且该基板是半导体晶片，并且“半导体晶片”被描述为“晶片”。此外，作为末端执行器的“机器人手”被描述为“手”。

（第一实施方式）

首先，将参考图1说明根据第一实施方式的搬运系统的总体构造。图1是示出根据第一实施方式的搬运系统1的总体构造的示意图。

为了便于理解，在图1中，示出了三维笛卡尔坐标系，该三维笛卡尔坐标系包括其中正向竖直向上并且负向竖直向下（即，“竖直方向”）的Z轴。因此，沿着XY平面的方向表示“水平方向”。在一些情况下在用于下列说明的其他附图中示出了该笛卡尔坐标系。此外，在下文中，对于包括多个元件的部件，仅其中一个元件用附图标记表示，并且在一些情况下省略了其他元件的附图标记。

如图1所示，根据第一实施方式的搬运系统1包括基板搬运单元2、基板供给单元3和基板处理单元4。基板搬运单元2包括搬运机器人10和容纳该搬运机器人10的外壳20。基板供给单元3设置在外壳20的一个侧表面21上，并且基板处理单元4设置在另一个侧表面22上。搬运系统1包括安装表面100。

搬运机器人10包括臂单元12，该臂单元包括工件保持单元（在下文中被描述为“手”）11，该工件保持单元能够在上下两段处保持作为待搬运对象的晶片W。臂单元12被支承为相对于设置在基座安装框架23上的基座13能够升起和降下并且此外能够沿水平方向枢转，所述该基座安装框架23形成外壳20的底壁部。将在下文参考图2详细地描述搬运机器人10。

外壳20是所谓的EFEM，并且借助设置在上部中的过滤器单元24来形成清洁空气的向下流。外壳20的内部由该向下流保持在高清洁状态。腿部25设置在基座安装框架23的下表面上，并且在外壳20与安装表面100之间设置有预定间隙C的状态下支承该外壳20。

基板供给单元3包括环箍30和环箍打开器（未示出），所述环箍30沿高度方向以多段的方式存放多个晶片W，所述环箍打开器开闭所述环箍30的盖，以能够将晶片W从外壳20移除以及搬运到该外壳20中。能够在具有预定高度的台31上以预定间隔平行地设置多组环箍30和环箍打开器。

基板处理单元4例如是这样的处理单元，该处理单元在半导体制造过程中对晶片W执行预定处理，例如清洁处理、膜沉积处理和光刻处理。基板处理单元4包括处理设备40，该处理设备执行预定处理。处理设备40设置在外壳20的与基板供给单元3对置的另一个侧表面22上，其中搬运机器人10位于该基板供给单元和处理设备40之间。

此外，在外壳20中设置有预对准设备26，该预对准设备执行晶片W的对中和刻痕对准。

接着，根据第一实施方式的搬运系统1使得搬运机器人10借助执行提升操作和枢转操作来移除环箍30中的晶片W，并且基于该构造借助预对准设备26将该晶片W搬运到处理设备40中。接着，在处理设备40中经受预定处理的晶片W被再次搬出并且借助搬运机器人10的操作被搬运以再次容纳到环箍30中。

接下来，将参照图2来说明根据第一实施方式的搬运机器人10的构造。图2是示出根据第一实施方式的搬运机器人10的构造的示意图。

如图2所示，根据第一实施方式的搬运机器人10包括手11、臂单元12和基座13。臂单元12包括提升单元12a、关节12b、关节12d、关节12f、第一臂12c以及第二臂12e。

如上所述，基座13是设置在基座安装框架23（参见图1）上的搬运机器人10的基础单元。提升单元12a设置成能够从基座13沿竖直方向（Z轴方向）滑动（参见图2中的双头箭头a0），并且沿竖直方向升起以及降下臂单元12。

关节12b是绕轴线a1的旋转关节（参见图2中的绕轴线a1的双头箭头）。第一臂12c借助关节12b连接到提升单元12a，以能够相对于提升单元12a旋转。

此外，关节12d是绕轴线a2的旋转关节（参见图2中的绕轴线a2的双头箭头）。第二臂12e借助关节12d连接到第一臂12c，以能够相对于第一臂12c旋转。

此外，关节12f是绕轴线a3的旋转关节（参见图2中的绕轴线a3的双头箭头）。手11借助关节12f连接到第二臂12e，以能够相对于第二臂12e旋转。

此外，在提升单元12a、第一臂12c以及第二臂12e中设置有未示出的驱动机构（例如，马达、带轮和带），并且关节12b、关节12d和关节12f中的每个都基于驱动源的驱动而旋转。

此外，在提升单元12a、第一臂12c以及第二臂12e中设置有各种传感器，这些传感器检测所述提升单元12a、第一臂12c以及第二臂12e的操作状态。

手11是保持晶片W的末端执行器，并且包括两个手，即，设置在不同高度处的下部手11a以及上部手11b。下部手11a以及上部手11b以轴线a3作为公共枢轴彼此相邻地设置，并且能够彼此独立地绕轴线a3枢转。

接着，在根据第一实施方式的搬运系统1中，晶片W被设置在下部手11a和上部手11b的每个中，并且例如借助搬运机器人10同时搬运两个晶片，因此，能够实现作业效率的改善、吞吐量的改善等。将在后文描述下部手11a和上部手11b的详细构造。

此外，待由搬运机器人10执行的各种操作由控制设备50来控制。控制设备50与搬运机器人10连接以能够彼此通信，并且例如在外壳20内（参见图1）设置在搬运机器人10旁边、设置在外壳20的外部等。搬运机器人10和控制设备50能够形成为一体。

基于事先存储在控制设备50中的教导数据来执行由控制设备50执行的对搬运机器人10的各种操作的操作控制，然而，在一些情况下，控制设备50从上级设备60获得教导数据，该上级设备60与控制设备50连接以能够彼此通信。此外，上级设备60能够顺序地监控搬运机器人10（及其各部件）的状态。

在本实施方式中，为了便于说明，控制设备50从上级设备60接收教导数据和搬运机器人10的状态等的通知。该点并不限制搬运系统1中的分散式处理系统。

接下来，将参照图3和图4描述根据第一实施方式的手11的详细构造。图3是根据第一实施方式的下部手11a的示意性立体图，图4是根据第一实施方式的上部手11b的示意性立体图。

在该实施方式中，对下列情况进行说明，其中，下部手11a是保持并搬运室温晶片W的室温工件保持单元，并且上部手11b是在比室温更高的温度下保持并搬运高温晶片W的高温工件保持单元。

如图3所示，下部手11a包括：板111、末端侧支承单元112、基端侧支承单元113、挤压驱动单元114以及挤压单元114a。挤压驱动单元114包括突出部114b和传感器114c。

板111是与供放置晶片W的基座底部或基座部对应的部件，并且例如是铝板体。图3例示出其末端侧是V形的板111，但是板111的形状部不局限于图3所示的形状。

末端侧支承单元112设置在板111的末端部处。此外，基端侧支承单元113设置在板111的基端部处。图3示出了这样的示例，其中，设置有一对末端侧支承单元112和一对基端侧支承单元113。

接着，如图3所示，将晶片W放置在末端侧支承单元112和基端侧支承单元113之间。此时，在晶片W与板111间隔开的状态下，末端侧支承单元112和基端侧支承单元113在从下方支承晶片W的同时主要借助摩擦力来保持晶片W。末端侧支承单元112和基端侧支承单元113的形状未被具体地限制，只要末端侧支承单元112和基端侧支承单元113具有至少在水平方向和竖向方向与晶片W接触的表面即可。

挤压驱动单元114是这样的驱动机构，该驱动机构借助使得突出部114b突出而使挤压单元114a沿着X轴方向直线移动，并且该挤压驱动单元114例如包括气缸等。挤压驱动单元114、挤压单元114a以及与图3所示的挤压驱动单元114相关的每个部件的形状是示例性的并且不限制其形状。

挤压驱动单元114和挤压单元114a形成夹持机构，该夹持机构与上述的末端侧支承单元112一起夹持晶片W。

具体地，挤压驱动单元114通过使得突出部114b突出而使挤压单元114a挤压晶片W的周缘，沿X轴的正向推出晶片W，并且使得晶片W的周缘在与挤压侧相反的一侧接触末端侧支承单元112的侧壁。因此，晶片W经由预定的挤压力被保持并夹持在挤压单元114a和末端侧支承单元112之间。

此外，传感器114c基于突出部114b的突出位置来检测晶片W是否被挤压单元114a夹持。因此，下部手11a是通过夹持晶片W来保持该晶片W的夹持型工件保持单元。

另一方面，上部手11b是用于搬运高温晶片W的手，且因此与搬运室温晶片W的下部手11a不同，上部手11b是主要借助摩擦力保持从上方掉落的晶片W的掉落型工件保持单元。

具体地，如图4所示，上部手11b包括板111b、末端侧支承单元112b以及基端侧支承单元113b。板111b是与供放置晶片W的基座底部或基座部对应的部件。考虑在该板111b上放置高温晶片W的事实，板111b例如由耐热材料（例如，陶瓷和纤维增强塑料）形成。

末端侧支承单元112b设置在板111b的末端部处。基端侧支承单元113b设置在板111b的基端部处。接着，如图4所示，晶片W被放置在末端侧支承单元112b和基端侧支承单元113b之间。

此时，在晶片W与板111b隔开的状态下，末端侧支承单元112b和基端侧支承单元113b在从下方支承晶片W的同时主要借助摩擦力来保持晶片W。考虑到末端侧支承单元112b和基端侧支承单元113b保持高温晶片W，因此该末端侧支承单元112b和基端侧支承单元113b例如由超耐热材料（例如，聚酰亚胺树脂）形成。

以这种方式，由于上部手11b主要借助摩擦力来保持晶片W，因此能够安全地保持容易翘曲或损坏的高温晶片W。

当将高温晶片W放置在上部手11b的板111b上时，该板111b被来自晶片W的热加热并且辐射辐射热。例如，当将上部手11b和下部手11a设置成它们竖向叠置地布置并且彼此竖向地接近的位置关系时，辐射热不利地影响下部手11a的传感器114c等。

因此，根据第一实施方式的上部手11b包括位于板111b的下表面上的隔热构件（在下文中被称为“隔热板”）115。隔热板115例如由超耐热材料（例如，聚酰亚胺树脂）形成。

由此，在搬运机器人10中，在第二臂12e的末端侧设置有多个手（即，下部手11a和上部手11b）以能够绕同一旋转轴线a3旋转，并且下部手11a和上部手11b均在其上表面上保持晶片W并且搬运该晶片W。

此外，在搬运机器人10中，与下部手11a相比，上部手11b被设置在更远离第二臂12e的位置，其中上部手11b是搬运高温晶片W的高温工件保持单元，下部手11a是搬运室温晶片W的室温工件保持单元。在该情况下，在搬运机器人10中，作为隔热构件的隔热板115被设置在上部手11b的背面侧。

因此，即使下部手11a和保持高温晶片W的上部手11b设置成使它们竖向叠置地布置并且彼此竖向地接近的位置关系，也可以降低从上部手11b的板111b辐射到下部手11a上的辐射热的不利影响。

接下来，将参照图5来说明隔热板115的形状。图5是示出根据第一实施方式的隔热板115的形状的示意性立体图。图5示出了沿Z轴的负向与板111b分离的隔热板115的分解立体图。

如图5所示，在隔热板115中，与板111b对置的表面具有与板111b相同的形状，并且隔热板115设置在板111b的下表面侧，而在俯视时与该板111b重叠。

根据隔热板115，能够最小化阻挡从板111b辐射到下部手11a的辐射热所必需的区域，因此能够最小化成本。

接下来，将参照图6来说明通过提供隔热板115而实现的进一步操作和影响。图6是示出根据第一实施方式的搬运机器人10的姿势的示例的示意性侧视图。图6选择性地示出了沿延伸方向在中间部的末端侧搬运机器人10的第一臂12c。

如图6所示，在一些情况下，搬运机器人10采用这样的姿势，在该姿势中，第一臂12c的末端部和第二臂12e的末端部都指向X轴的正向，并且下部手11a的末端部和保持高温晶片W的上部手11b的末端部都指向X轴的负向。

换句话说，在搬运机器人10中，第一臂12c、第二臂12e、下部手11a和上部手11b在一些情况下被设置成这样的位置关系，其中，在由上部手11b搬运高温晶片W期间，所述第一臂12c、第二臂12e、下部手11a和上部手11b在俯视时重叠并且彼此接近。

在这种情况下，如上所述，虽然在第一臂12c和第二臂12e中设置有驱动机构（例如，马达、带轮和带），但因为在上部手11b的下表面上设置隔热板115，因此能够保护驱动机构免受来自板111b的辐射热的影响。

此外，如图6所示，隔热板115与板111b的下表面以预定间隔隔开。因此，能够防止隔热板115与板111b直接接触而被加热。因此，能够防止从隔热板115辐射的辐射热不利地影响下部手11a、第一臂12c和第二臂12e。

设置在上部手11b的下表面上的隔热构件不局限于隔热板115。在下文中，将参照图7说明设置有除了隔热板115外的隔热构件的搬运机器人10a。

图7是包括除了根据第一实施方式的隔热板115外的隔热构件的搬运机器人10a的示意性侧视图。图7选择性地示出了沿延伸方向在中间部的末端侧搬运机器人10a的第一臂12c，并且与图6所示的部件相同的部件用相同的附图标记来表示。

如图7所示，除了上部手21b包括作为隔热构件被涂覆在板111b的下表面上的隔热树脂215的方面之外，搬运机器人10a具有与图6所示的搬运机器人10相同的构造。例如，在隔热特性方面优良的聚酰亚胺树脂能够被用作隔热树脂215，而成为隔热构件。

以这种方式，同样通过用隔热树脂215来涂覆上部手21b的板111b的下表面而能够保护下部手11a、第一臂12c和第二臂12e免受从上部手21b的板111b辐射的辐射热的影响。

此外，通过使用涂覆在板111b的下表面上的隔热树脂215作为设置在上部手21b的下表面上的隔热构件，能够以低成本容易地形成具有与板111b相同的形状的隔热构件。

在上文中，说明了设置在下段上的手用于室温并且设置在上段上的手用于高温的情况，但是，用于高温的手能够设置在下段侧并且用于低温的手能够设置在上段侧。在下文中，将参照图8说明搬运机器人10b，该搬运机器人10b在下段侧设置有用于高温的手以及在上段侧设置有用于低温的手。

图8是根据第一实施方式的搬运机器人10b的示意性侧视图，所述搬运机器人10b在下段侧设置有用于高温的手以及在上段侧设置有用于低温的手。图8选择性地示出了沿延伸方向在中间部的末端侧搬运机器人10b的第一臂12c，并且与图6所示的部件相同的部件用相同的附图标记表示。

如图8所示，除了搬运机器人10b包括位于下段侧的用于高温的手31a以及位于上段侧的用于室温的手31b的不同方面以外，搬运机器人10b具有与图6所示的搬运机器人10相同的构造。此外，用于高温的手31a具有与图6所示的上部手11b相同的构造，并且包括位于板311a的下表面上的隔热板315a。

因此，在搬运机器人10b中，当保持高温晶片W的用于高温的手31a、第一臂12c和第二臂12e竖向叠置地布置并且彼此竖向地接近时，能够借助隔热板315a保护第一臂12c和第二臂12e免受来自板311a的辐射热的影响。

另一方面，设置在上段上的用于室温的手31b与图6所示的下部手11a的不同之处在于，手31b包括位于板311b的下表面上的隔热板315b。

因此，在搬运机器人10b中，当保持高温晶片W的用于高温的手31a和用于室温的手31b竖向叠置地布置并且彼此竖向地接近时，能够借助隔热板315b保护用于室温的手31b免受来自晶片W的辐射热的影响。

此外，在搬运机器人10b中，用于高温的手31a能够被附接到上段和下段两者。借助该构造，即使当高温晶片W由用于高温的两个手31a中的任一个或两者保持时，也能够借助隔热板315a保护第一臂12c和第二臂12e免受来自板311a的辐射热的影响。在本实施方式中，说明了隔热构件是隔热板315a和315b的情况，但是隔热构件能够是图7所示的隔热树脂215。

如上所述，根据第一实施方式的搬运机器人包括隔热构件以及多个工件保持单元。这些工件保持单元均在一个表面上保持待搬运的工件，并且在搬运工件期间在一些情况下竖向叠置地布置。隔热构件被设置在这些工件保持单元中的至少一个工件保持单元的另一个表面侧。

因此，根据第一实施方式中的搬运机器人，可以减少从搬运高温基板的保持单元辐射的辐射热或者从在另一个保持单元上搬运期间的受热基板辐射的辐射热的不利影响。

在第一实施方式中，说明了搬运机器人设置有两个工件保持单元的情况，但是搬运机器人能够设置有三个或更多个工件保持单元。在该情况下，在至少一个工件保持单元的与工件保持表面对置的一侧设置有隔热构件。

因此，当高温工件保持单元设置有隔热构件时，能够保护其工件保持表面接近隔热构件的其他工件保持单元免受该高温工件保持单元的辐射热的影响。

另一方面，当室温工件保持单元设置有隔热构件时，即使高温工件由其工件保持表面接近隔热构件的其他工件保持单元来保持，也能够保护该室温工件保持单元免受来自高温工件的辐射热的影响。

（第二实施方式）

接下来，将说明根据第二实施方式的搬运机器人10c。图9和图10是根据第二实施方式的搬运机器人10c的示意性俯视图。如图9所示，搬运机器人10c包括躯干部5、以及从躯干部5延伸的左臂单元5a和右臂单元5b。

躯干部5是固定到地板等的搬运机器人10c的基础单元，并且形成为使得在Y轴的正向侧（在下文中称为“右侧”）的顶表面沿Z轴方向比Y轴的负向侧（在下文中称为“左侧”）的顶表面更高。

左臂单元5a包括第一臂51a和第二臂52a。第一臂51a使得基端侧设置在躯干部5的左侧顶表面上，以能够绕作为旋转轴线的平行于Z轴的轴线z1旋转。

此外，第二臂52a使得基端侧设置在第一臂51a的末端侧，以能够绕作为旋转轴线的平行于Z轴的轴线z2旋转。此外，工件保持单元（在下文中称为“左手”）53a被设置在第二臂52a的末端侧，以能够绕作为旋转轴线的平行于Z轴的轴线z3旋转。

另一方面，右臂单元5b包括第一臂51b和第二臂52a。第一臂51b使得基端侧设置在躯干部5的右侧顶表面上，以能够绕作为旋转轴线的平行于Z轴的轴线z4旋转。

此外，工件保持单元（在下文中称为“右手”）53b设置在第二臂52b的末端侧，以能够绕作为旋转轴线的平行于Z轴的轴线z6旋转。此外，第二臂52b使得基端侧设置在第一臂51b的末端侧，以能够绕作为旋转轴线的平行于Z轴的轴线z5旋转。

在搬运机器人10c中，左手53a和右手53b均在一个表面（在该实施方式中，上表面）上保持晶片W，并且将晶片W搬运到沿Z轴方向高度不同并且彼此平行的平面上。

因此，在搬运机器人10c中，如图10所示，在一些情况下，左手53a和右手53b竖向叠置地布置并且彼此竖向地接近。在该实施方式中，右臂单元5b与左臂单元5a相比设置在沿Z轴方向更高的位置处，因此，在一些情况下，保持高温晶片W的右手53b定位在保持室温晶片W的左手53a的上方。

因此，在室温晶片W由左手53a搬运并且高温晶片W由右手53b搬运的情况下，左手53a构造成与图6所示的下部手11a相同，并且右手53b构造成与图6所示的上部手11b相同。

因此，即使当保持高温晶片W的右手53b定位在用于室温的左手53a的上方时，由于右手53b包括位于下表面侧的隔热板，因此也能够保护左手53a免受来自右手53b的辐射热的影响。

另一方面，在高温晶片W由左手53a搬运并且室温晶片W由右手53b搬运的情况下，左手53a构造成与图8所示的下部手31a相同，并且右手53b构造成与图8所示的上部手31b相同。

因此，即使当用于室温的右手53b定位在保持高温晶片W的左手53a的上方时，由于右手53b包括位于下表面侧的隔热板，因此也能够保护右手53b免受来自晶片W的辐射热的影响。

即使右臂52a和保持高温晶片W的左手53a竖向叠置地布置，由于左手53a包括位于下表面侧的隔热板，因此也能够保护第二臂52a免受来自左手53a的辐射热的影响。

如上所述，根据第二实施方式的搬运机器人的工件保持单元被设置在分别从同一躯干部延伸的多个臂的末端侧，在其下表面上保持工件，并且将该工件搬运到彼此平行的平面上。

此外，如果搬运处于高于室温的温度下的高温工件的高温工件保持单元在一些情况下定位在搬运室温工件的室温工件保持单元的上方，那么隔热构件被设置在高温工件保持单元的下表面侧。

因此，根据第二实施方式的搬运机器人，当搬运处于高于室温的温度下的高温工件的高温工件保持单元定位在室温工件保持单元的上方时，能够保护室温工件保持单元免受来自高温工件保持单元的辐射热的影响。

此外，如果搬运室温工件的室温工件保持单元在一些情况下定位在搬运处于高于室温的温度下的高温工件的高温工件保持单元的上方，那么根据第二实施方式的搬运机器人的隔热构件被设置在室温工件保持单元以及高温工件保持单元的下表面侧。

因此，根据第二实施方式的搬运机器人，当室温工件保持单元定位在高温工件保持单元的上方时，能够保护该室温工件保持单元免受来自高温工件的辐射热的影响。此外，当室温工件保持单元与臂重叠并且彼此接近时，能够保护所述臂免受来自高温工件保持单元的辐射热的影响。在上述第二实施方式中，说明了设置在搬运机器人中的臂的数量是两个的情况，但是，设置在搬运机器人中的臂的数量能够是三个或更多个。

此外，在第一和第二实施方式中，说明了每个工件保持单元均在上表面侧保持工件并且隔热构件被设置在这些工件保持单元中的至少任一个工件保持单元的下表面侧的情况，但是，工件保持表面以及隔热构件的布置表面能够被互换。

具体地，搬运机器人能够构造成使得，每个工件保持单元均在下表面侧保持工件并且隔热构件被设置在这些工件保持单元中的至少任一个工件保持单元的上表面侧。即使采用该构造，以与根据第二实施方式的搬运机器人相似的方式，也能够保护室温工件保持单元免受来自高温工件保持单元的辐射热的影响。

Claims (4)

1.一种搬运机器人，所述搬运机器人包括：

臂单元；以及

第一工件保持单元和第二工件保持单元，这些工件保持单元与所述臂单元连接，并且均在一个表面上保持待搬运的工件，这些工件保持单元设置在所述臂单元的末端侧，以能够绕同一旋转轴线旋转，

所述第一工件保持单元和第二工件保持单元具有放置部，所述放置部具有作为所述一个表面的上表面，并在该上表面上放置工件，并且所述第一工件保持单元和第二工件保持单元在一些情况下在搬运所述工件期间竖向叠置地布置；并且

所述第一工件保持单元和第二工件保持单元还分别具有隔热构件，所述隔热构件设置在所述放置部的下表面侧，搬运处于高于室温的温度下的工件的高温用所述第二工件保持单元被设置成比搬运处于室温下的工件的室温用所述第一工件保持单元更接近所述臂单元。

2.根据权利要求1所述的搬运机器人，其中，所述隔热构件是隔热板，所述隔热板具有与所述放置部相同的形状，并且所述隔热板设置成在俯视时与所述放置部重叠。

3.根据权利要求2所述的搬运机器人，其中，所述隔热板与所述放置部的下表面隔开预定间隔。

4.根据权利要求1所述的搬运机器人，其中，所述隔热构件是涂覆在所述放置部的下表面上的隔热树脂。