TWI322340B - - Google Patents

Description

1322340 複數種單s圖案之步驟，前述複數種單元圖案分別包含配 置於别述單位框内且與前述原始圖案對應之圖案丨及 基於前述複數種單元圖案和具有前述單位框之1^倍@為 數）尺寸之配置框，製作複數種評估圖案之步驟，前 述複數種評估圖案分別包含為了使前述配置框内被前述複 數種之前述單元圖案鋪滿而g&置於前述配置框内之前述複 數種之評估單元圖案。

【實施方式】 以下，參照圖式對本發明之實施例進行說明。 (第1實施例） 圖1係顯示第1實施例之評估圖案之製作方法之流程圖。 首先，在輸入資料中使用含有複數種原始圖案的原始圖 案群⑴及單位框⑴，製作複數種單元 料）（步驟S1)。 、于J »貝 圖2A-2F係顯示原始圖案群〇1之

示例。 、SF表示原始圖案框。 。原始圊案框SF内之白 案。在此，原始圖案框 在圖2A-2F中，sp表示原始圖案 原始圖案框SF係原始圖案SP之框 色區域表示空白、斜線區域表示圖 SF之形狀為正方形。 圖2A顯示原始 SP。圖2_示心 内之整體為空白之原始圖案 四刀割之原始圖案框SF内之左上矩形 區域存在圖幸$ κ ^ ^原始圖案卯。圖％顯示僅在原始圖案框 内之左半部區域在方岡安今 - 圖案之原始圖案SP。圓2D顯示僅 刀J之原始圖案框灯内 石上£域存在空白之原始圖 III553.doc 1322340 案SP。圖2E顯示原始圖案框SF内之整體為圖案之原始圖 案SP。而且，圖2F顯示在原始圖案框SF内之兩側存在圖案 之原始圖案SP。 圖3A-3H顯示其他原始圖案群D1之示例。與圖2a_2fjsj 樣’即使在圖3A-3H中，原始圖案框SF也是正太# 乃市’而且 原始圖案框SF内之白色區域表示空白，斜線區域表示圖 Μ ° 正如圖2A-2F及圖3Α-3Η所示，在原始圖案sp中選擇擁 有單純形狀之圖案。所以’原始圖案SP之製作容易。原始 圖案SP之製作無論由軟體（程式）或由人進行， J 巧不成問 題。 圖4顯示從原始圖案群D1及單位框D2製作複數種之單元 圖案D3之方法。 單位框D2之縱向及橫向之邊長（單位框尺寸）乙i係將原於 圖案框SF之縱向及橫向邊分別等倍地放大之長度。單位樞 D2之形狀成為正方形。隨著原始圖案框灯之縱向邊及樺 向邊之放大，原始圖案SP也被同樣放大。放大後即為單元 圖案D3。 所以，藉由將經指定原始圖案SP之原始圖案框sf之一邊 長放大（變更）與單位框尺寸L1相對應之程度，可以獲得單 元圖案D3。例如，當原始圖案框訂之一邊長為u/4時了: 由將經指定原始圖案SP之原始圖案框”之一邊長L〖Μ變更 為L(指定尺寸），可獲得單元圖案⑴。故，複數種之單元 圖案D3可以藉由指；^指^尺寸L，將經指定各原始圖㈣ 111553.doc 1322340 之2圖案框SF之-邊之長度u/4變更為匕而獲得。 、 在輪入貝料中使用複數種之單元圖案D3及配置框 ·- D4，進杆里— 办 早70圖木之配置（步驟S2)，製作複數種之評估圖 '· 案 D5。 員示彳心單元圖案D3及配置框D4製作評估圖案D5之方 圖之—種砰估圖案D5係配線圖案用之評估圖案。配 私D4之形狀為正方形。在圖5中’設配置框之一邊長 • 度?為0PC之光學半徑之二倍，並使用圖2A-2F所示之六 種單元圖案D3。 。。圖所示，各6平估圖案D 5係在配置框内配置複數種 • 之單兀圖案D3 ’使配置框D4内被複數種之單元圖案D3鋪 滿者。 . 藉由改變複數之單元圖案之配置，可以獲得所需數量 之砰估圖案D5。在此，製作全部之配置變化。 單元圖案D3之種類的總數M，比構成評估圖案出所 • 單元圖案D3之數量（N)還少（Μ<Ν)β為此，在構成_㈣ 木D5之N個之單元圖案£>3中，存在同種類之單元圖案D3。 單元圖案D3之種類的總數M，在比構成評估圖案D5所需 之單元圖案D3還多時或相同時（Mg N)，有時會產生不能 使用之單元圖案D3。 圖25顯示比較例之評估圖案之製作方法之流程圖。 首先，在輸入資料中使用表現基本圖案之座標點〇1〇1 , 製作基本圖案（步驟SI0I)，並製作基本圖案Dio”輸出資 料）。 / s~* '.3 I11553.doc 圊26A顯示基本圖案之— ^ ^ ^ ^ . 1 基本圖案必須為可一筆畫 成之圖案。其理由為， 之m〜 帛於比較例之評估圖案之製作方法 Α 筆里成）所故。圓26Β顯示表現 丞本圖案之座標點（黑點）。 其k ’在輸入賢料中伸用么4_ 使基本圖案中之值（尺寸）浮 ==動部位)及其值(浮動值)_，進行基本圖案 之值·子動（步驟Sl02)，製作評估圖案m〇4。 圖26C顯示在圖26a中所示美 叮丞本圖案中之浮動部位1 0之 一例。 再藉由改變該浮動部 圖案。 在比較例情況下，製作基本圖案， 位10及浮動值，獲得所需數量之評估 在上述之比較例中，存在三個問題 首先’第-問題點係必須由人來考慮圖案形狀之變化 (基本圖案之形狀、浮動部位、浮動值）。為此，實現豐富 之圖案變化變得很困難。 第一問題點係基本圖案只能是可以一筆畫成實現之圖 案，其他不行。這也使實現豐富變化變得困難。 第三問題點係生成所需數量之評估圖案頗為費事。即， 每·人製作基本圖案，都必須輸入座標點，相當費時費力。 相對於此，在本實施例之情況下，則僅以軟體（程式）或 由人來製作擁有單純形狀之原始圖案群DI及單位框d2即 可，故而第一問題解決了。 關於第二問題，在本實施例之情況下，因為不使用由比 較例製作之基本圓案，所以第二問題亦不復存在。再者， J11553.doc -10· 1322340 若藉由本實施例，如圖5所示 實現之評估圖案D5。 還可製作由一筆畫成無法 在本實施例之情況下，兹I & g由電腦等資訊處理裝置施行步 驟S 1、S2，可以容易地製竹夕 es , 夕種之評估圖案，故第三個問 題也不存在了。 由此，若藉由本實施例 化0

(第2實施例） 圖6係顯示第2實施例之評估 估圖案之製作方法之流程圖。 再者，在以下圖式中，在虚e巾 甘興匕出現之圖式對應之部分賦 予與已出現之圖式相同符號，從而嗜略詳細說明。 本實施例與第1實施例之不同點在於，除原始圖案群叫 及單位框D2之外，在輸入資料中還使用描繪格子（設計格 子）Dg，進行單元圖案之製作（步驟81)。

即可容易地製作豐富之圖案變 因此，單元圖案D3如圖7A-7D所示，以描繪格子Dg為單 位製作。藉由在單元圖案D3之單位内選擇描繪格子Dg， k而圖案變化增加。 即使在本實施例中也可獲得第1實施例之相同效果。此 外，若藉由本實施例，可以製作已網羅〇pC之驗證上所需 之所有變化之評估圖案，其結果，可完全省略在比較例之 OPC之驗證方法中實施的中規模、大規模資料驗證β關於 該OPC之驗證方法，將在第12實施例中進一步詳細說明。 (第3實施例） 圖8係顯示第3實施例之評估圖案之製作方法之流程圖。 H1553.doc 在本實施例中，把由單元圖案之配置步驟（步驟S2)所製 作之複數個評估圖案分別設為評估圖案候補D5c。藉由使 用設計規則DR之設計規則檢查，來檢查此等評估J案候 補D5c，抽出符合設計規則者（步驟S3)。將抽出之評估圖 案候補D5c作為評估圖案D5。圖9顯示藉由設計規則檢查 進行檢查，符合設計規則之評估圖案候補D5c，即評估圖 案之一例。 若藉由本實施例，除與第丨實施例相同之效果外，還能 夠獲得可抑制具有膨大化之可能的評估圖案數。 (第4實施例） 圖10係顯示第4實施例之評估圖案之製作方法之流程 本實施例與第i實施例之不同點在於，並不是在單元圖 案之配置步驟(步驟S2)中製作全部之配置變化，而是隨機 配置單元圖案D3。作為隨機配置單元圖案卬之方法，可 列舉使用蒙特卡羅法之方法。 若藉由本實施例，除與第！實施例才目同之效果外，還可 獲得可將具有膨大之可能的評估圖案數抑制到可實際作業 之數量内之效果。 此外，取代使用蒙特卡羅法隨機地 由改變單元圖案03之發生機率，來 "oj- 〇 配置單元圖案D3，藉 配置單元圖案D3亦 圖2A-2F之原始圖案群 均為1/6，但是，舉例 在使用蒙特卡羅法之情況下，與 D1相對應之單元圖案m之發生機率 ill553.doc • 12 ‘ 而言，與圖2A之原始圖案群D1對應之單元圖案E)3之發生 機率為1/2’其他之發生機率為1/12亦可。 在使用蒙特卡羅法之方法中’此類配置方法可藉由使某 單元圖案D3之發生機率與其他單元圖案D3之發生機率不 同，加以修正而得以實施。 (第5實施例） 圖11係顯示第5實施例之評估圖案之製作方法之流程 圖。 本實施例與第1實施例之不同點在於，在單元圖案之配 置步驟（步驟S2)中，以使相連接之單元圖案D3彼此之間不 出現點連接處之方式製作配置變化。 若藉由本實施例，可獲得與第丨實施例相同之效果。再 者，若藉由本實施例，藉由禁止點連接而配置單元圖案 D3 ’亦可獲得可將具有膨大之可能的評估圖案數量抑制到 見實數里内之效果。再者，因為點連接處不能在晶圓上實 現之可能性很高，所以可不製作無用之評估圖案而完成。 (第6實施例） 圖12係顯示第6實施例之評估圖案之製作方法之流程 圖。 本實施例與第1實施例之不同點在於，在單元圖案之配 置乂驟（步驟S2)中，包含在配置單元圖案⑴後，如圖13所 藉由使工白和圖案之交界線（水平線灿向上或向下移 $ 1者使^白和圖案之交界線（垂直線）Lv向右或向左移 動，使空白之寬度或線寬之值浮動之步驟’和把浮動空白 III553.doc 之寬度或線寬的值所獲得之評估圖案追加到評估圖案D” 之步驟。 若藉由本實施例，可獲得與第！實施例相同之效果。再 :’若藉由本實施例’還可藉將浮動空白之寬度或線寬的 所獲得之圖案作為評估圖案D5來利用，使評估圖案之變 化變得更為豐富。 (第7實施例） 圖14係顯示第7實施例之評估圖案之製作方法之流程 本實施例與第1實施例之不同點在於，在單元圖案之製 作步驟（步驟S1)中，包含在冑作單元圖案的之後，如圖 15A-15D所示，使已製作之單元圖案出（旋轉角度㈣度）旋 轉（θ=90度、刚度、270度）之步驟；和將單元圓案⑴旋轉 後所獲得之圖案追加到單元圖案D3中之步驟。 若藉由本實施例，可獲得與第〗實施例同樣之效果。再 者’若ϋ由本實施例’料元圖案D3旋轉所獲得之圖案亦 可作為單元圖案D3利用，從而可有效率地增加評估圖案之 變化。 (第8實施例） 圖16係顯示第8實施例之評估圖案之製作方法之流程 圖。 本實施例與第2實施例之不同點在於，在單元圖案之製 作步驟（步驟S1)中，包含在製作單元圖案D3之後，如圖 17A-17D所，將已製作之單元圖案⑴僅向一個方向擴大 111553.doc •14· 或縮小之步驟，和藉由將該單元圖案D3僅向一個方向擴大 或縮小而獲得之圖案追加到單元圖案D3中之步驟。 若藉由本實施例，可獲得與第2實施例同樣之效果。再 者，若藉由本實施方式’則可藉由將單元圖案D3僅向一個 方向擴大或縮小而獲得之圖案作為追加之單元圖案D3利 用，而可有效地抑制膨大之評估圖案數量。 (第9實施例） 圖1 8係顯示第9實施例之評估圖案之製作方法之流程 圖。 本實施例與第1實施例之不同點在於，在單元圖案之製 作步驟（步驟S1)中，包含在製作單元圖案！^之後，收縮^ 製作之單元圖案D3之步驟，和將已收縮之單元圖案出追 加到單元圖案D3中之步驟。上述所謂收縮’係指基於比例 原則將某一階段之圖案變換為更微細階段之圖案。 若藉由本實施例，可獲得與第丨實施例同樣之效果。再 者，若藉由本實施例，因為藉由收縮單元圖案D3而獲得之 圖案也作為單元圖案，也獲得不同階段之評估圖 案’故而可使評估圖案之變化變得更豐富。 (第1 0實施例） 圖19係顯示第10實施例之評估圖案製作方法之流程圖。 本實施例與第i實施例之不同點在於，作為單位框D2, 係使用對預先準備之單位框（圓！之單位框D2)之尺寸（單位 框尺寸L)已進行調整後的單位框。 若藉由本實施例，可獲得與第1實施例相同之效果。再 I11553.doc Γ322340 藉由使用經調整成尺寸變大之單位 圖案數，相反地，藉由使用經調整 可增加評估圖案之變化。 者，若藉由本實施例， 框’可抑制膨大之評估 成尺寸變小之單位框， 再者，如果追加調整已預先準備之單位框(圖】之單位框 叫之尺寸之步驟，便無須預先準備已經調整尺寸之單位 (第】〗實施例）

圖20係顯示第11實施例之評估圖案之製作方法之流程 本實施例與2實施例之不同點在於，藉由加粗描繪格子 Dg，來抑制膨大之評估圖案數量。 (第1 2實施例） 圖21係顯示第12實施例之〇pC之驗證方法之流程圖。 ，首先，在輸入資料中使用以第卜第丨丨實施例中任一方法 製作之評估圖案(小規模資料)D5，和作為驗證物件之〇pc 式Dll，藉由用以驗證〇pc程式之驗證程式，進行ο?。 程式之第1驗證（步驟su)。第丨驗證（步驟su)係對應於後 述之比較例之小規模資料驗證。

其次，基於第1驗證之結果，判斷〇PC程式是否存在錯 誤（步驟S12)。 S 當存在錯誤時’進行OPC程式Dll之調整（步驟Sl3)。其 後，再次進行第1驗證。步驟S11-S13之迴圈，舉例而言， —達到預先決定之次數值即結束’不會變為無限迴圈。 當沒有錯誤時’在輸入資料中使用實際製品之設計圖案 ⑴ 553.doc

1JZZJ4U \ 規模資料）D12，藉由用於驗證OPC程式之驗證程 彡進仃0?(：程式之第2驗證（步驟S14)。第2驗證（步驟 S14)與後述之比較例之大規m驗證對應。 曰十圖案資料D12之資料量一般會比評估圖案D5之資料 曰夕在此，當在本實施例之情況下，由於評估圖案D5之 圊案變化豐富，故可省略第2驗證（步驟si4)。即，評估圖 案D5有時也包含在第2驗證（步驟si4)中使用之資料。 ”人，基於第2驗證之結果，判斷在〇pc程式中是否存 在錯誤（步驟S15) 當存在錯誤時，進行〇PC程式Dn之調整（步驟si6)。其 後再進行第1驗證處理。步驟S14-S16之迴圈，舉例而 言，即變成一達到預先決定之次數值便結束。 在沒有錯誤時，進行認定為可作為實際之製品發表之 OPC程式（步驟S1 7)。 圖22顯示比較例之0Pc之驗證方法之流程圖。 比較例之OPC之驗證方法有三道驗證步驟（小規模資料 驗證S2 1 ’中規模資料驗證S23，大規模資料驗證S25),及 三道判斷步驟S22，S24，S26。 相對於此’在本貫施例之情況下，最多以二個驗證步驟 Sll、S14及二個判斷步驟SI2、S15即完成。所以，若藉由 本實施例’與比較例相比較，可在短時間内進行〇pc驗 證。 比較例之OPC之驗證方法’作為小規模資料D2 1，需要 準備標準圖案、在過去發生過問題之圖案、以及自動生成 111553.doc - 17- 製作之圖案。再者，在比較例之情況下，還需要準備本實 轭例中未使用之中規模資料D22。所以，比較例在〇pc驗 證用之資料準備方面很費時間。相對於此，在本實施例情 況下’則不需要中規模資料D22，而且，相當於小規模資 料D2 1之評估圖案D5很容易製作，故而與比較例相比，在 資料準備方面不費時間。 圖23顯示使用藉由本實施例之OPC之驗證方法判斷沒有 錯誤之OPC程式之〇pc處理之流程圖。 使用OPC程式D 11和製品之設計圖案資料d 12進行OPC處 理（步驟S31)。根據需要，可使用驗證程式〇32進行OPC處 理之驗證及確認（步驟S32、步驟S33)。 本實施例之OPC程式Dl 1係使用圖案變化豐富之評估圖 案D5製作的。為此’推定實施例之評估圊案D5包含於〇pc 處理而生成之全部圖案（附加圖案、變形圖案）。所以，本 實施例之OPC處理基本上不需要驗證及確認（步驟S32、 S33)。 在圖24中，顯示使用藉由比較例之〇pc之驗證方法判斷 為無錯誤之OPC程式之OPC處理流程圖。 使用OPC程式D31和製品之設計圖案資料D12進行OPC處 理（步驟S41)。 其次’使用驗證程式D32進行OPC處理之驗證（步驟 S42) 〇 驗證之結果，當OPC處理中存在錯誤時，進行OPC程式 之調整及設計資料之修正’再者，已形成錯誤之圖案（預 * 11553.doc -18* 1322340 圖18係顯示第9實施例之評估圖案之製作方法之流程 圖。 圖19係顯示第10實施例之評估圖案之製作方法之流程 圖。 圖20係顯示第11實施例之評估圖案之製作方法之流程 圖。 圖21係顯示第12實施例之OPC之驗證方法之流程圖。 圖22係顯示比較例之OPC之驗證方法之流程圖。 圖23係顯示使用實施例之OPC程式之OPC處理之流程 圖。 圖24係使用比較例之OPC程式之OPC處理之流程圖。 圖25係顯示比較例之評估圖案之製作方法之流程圖。 圖26A-26C係顯示基本圖案之一例之圖。 圖2 7係用於說明實施例之電腦程式產品之圖。 【主要元件符號說明】 10. 浮動部位 20. 電腦 21. 系統執行之程式 22. 電腦程式產品 D1. 原始圖案群 D2. 單位框 D3. 單元圖案 D4. 配置框 D5. 評估圖案 111553.doc -21 - 1322340 D5c 評估圖案候補 DR 設計規則

Dll OPC程式 D12 設計圖案資料（大規模資料） D21 小規模資料 D22 中規模資料 D31 OPC程式 D32 驗證程式

D1 0 1 基本圖案之座標點 D102 基本單元 D103 浮動值 D104 評估圖案

Dg 描繪格子 L1 單位框D2之縱向及橫向之邊長（單位框尺寸） L2 配置框D4之一邊長度

Lh 圖案之交界線（水平線）

Lv 空白和圖案之交界線（垂直線） 51 製作單元圖案步驟 52 配置單元圖案步驟 53 步驟 511 驗證步驟 512 判斷步驟 513 步驟 514 驗證步驟 1 11553.doc -22- 1322340

S15 判斷步驟 S16 步驟 S17 步驟 S21 小規模資料驗證 S22 判斷步驟 S23 中規模資料驗證 S24 判斷步驟 S25 大規模資料驗證 S26 判斷步驟 S31 步驟 S32 步驟 S33 步驟 S41 步驟 S42 步驟 S44 步驟 S101 步驟 S102 步驟 SF 原始圖案框 SP 原始圖案 Θ 旋轉角度 111553.doc -23·

Claims (1)

1. 十、申請專利範圍·· 1 * 一種評估圖案之塑# t、土 ^ 固系之I作方法，其包含以下步驟： 基於含有複數種原始圖幸 .^ _ 國栗的原始圖案群和單位框，| 作複數種之單元圖幸牛 _ 1 圃茶之步驟，前述複數種之 別包含配置於前述單位框 Ί 圖案；及 〖内且與則述原始圖案相對應之 基於前述複數種之單元圖案、 τ ^ 和具有刖述早位框Ν倍 整數）尺寸之配置框，势作满# # + _ 二 展作複數種之評估圓案之步 •皮：述複數種之評估圖案分別包含為了使前述配置框 =則述複數種之前述單元圖案鋪滿而配置㈣述配置 框内之别述複數種之評估單元圖案。 2.如請求項〗之評估圖案之製作方法，其中 ，於含有前述複數種原始圖案的前述原始圖案群和前 述早位框，製作前述複數 3. 早70圖案之步驟，係包含 :了則述原始圖案群和前述單位框外，制描繪格子製 依照前述描繪格子之複數種之翠元圖案之步驟。 如請求項1之評估圖案之製作方法，其中 4. 基於含有前述複數種原始圖案之前述原始圖案群和前 述早位框，製作前述複數種之單元圖案之步驟，係包含 除了前述原始圖案群和前述單位框外，使用設計規則製 作依照前述設計規則之複數種之單元圖案之步驟。 如請求項1之評估圖案之製作方法，其中 製作前述複數種之評估圖案之步驟，係包含藉由蒙特 卡羅法在前述配置框内隨機配置前述複數種之評估單元 Ill553.doc 5. 圖案之步驟。 如請求们之評估圖案之製 拙Φ < /、你進一步包含 月'J述複數種之評估圖案中符合 前述抽出之呼估圖宏於& 彳規則者’並將 6. 出之㈣圖案作為評估圖案而使用之步驟。 戈喷未項丨之評估圖案 將箱一、 其係進-步包含 動刖述評估圖案内之空白和 之圖幸括a si i 茶之乂界線所獲得 ，追加到剛述複數種之評估圖案中之步驟。 ^求項1之評估圖案之製作方法，其係進-步包含 之單元圖案中之步锁。 圖―複數種 8. 如：求項1之評估圖案之製作方法，其係進—步包含 9. =述複數種之單元圖案中追加向一個方向 小則述單元圖案所獲得之圖案。 ，… 如請求項1之評估圖案之製作方法’其係進-步包含 將收縮前述單元圖荦所媒 之單-㈣所獲仔之圖案追加到前述複數種 之早凡圖案中之步驟。 10.如請求項1之評估圖案之製作方法，其中 前述單位框係經調整践準備之單位框之尺寸者。 11 · 一種電腦程式產品，焱Μ + 一 係儲存有用以讓電腦系統執行之電 脑系統執行用程式步驟者，其包含以下步驟： 基於含有複數種原始圖案的原始圖案群和單位框，製 種之單：圖案之步驟，前述複數種之單元圓案分 配置於前述單位框内且與前述原始圖案相對應之 圖案，及 I11553.doc g- 1322340

   岙於刖通複数種之單元圖案 '和 八男别迷單位框之Ν 倍（Ν為正整數）尺寸之配置框，製作複數種之評估圖案之 步驟，前述複數種之評估圖案分別包含為了使前述配置 框内被則述複數種之前述單元圖案鋪滿而配置於前述配 置框内之前述複數種之評估單元圖案。 1ll553.doc