TWI321841B - System on chip development with reconfigurable multi-project wafer technology - Google Patents
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Description
1321841 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於半導體元件,特別是關於可重組 (reconfigurable)之多專案晶圓(multi-project wafer,MPW) 半導體之運用,來縮短產品上市的時間、降低開發成本 以及減小當今整合性單晶片(system-on-chip,SOC)設計上 的潛在風險。 【先前技術】 隨著半導體技術演進到深次微米(deep sub-micron) 尺寸的時代,以及整合性單晶片設計變的越來越複雜, 製程流程 '研發時間、研發成本以及開發這些電路的技 術風險都急速成長。一個複雜的電路可能需要有數位信 號處理(digital signal processing)、乙太網路(Ethernet)、 記憶體、高速輸出入模組(high speed input/output module)、類比數位轉換器(analog-to-digital converter, ADC)、數位類比轉換器(digital-to^analog convejrtejr, DAC)、或是其他特別的電路。在傳統的電路晶片設計 上,在整合到整個電路之前,每一個個別模組的效能都 必須先設計以及驗證過。然後,整個電路的操作效能才 可以被驗證。電路設計者花費了可觀的時間以及金錢, 用於原型化(prototype)這些元件以及使他們足以置入產 品中。然而,因為交叉干擾(cross-talk)、電遷移 (electro-migration)、連線延遲(wire delay)等等原因,深 0503-A31705TWF/Edward 5 1321841 次微米元件的功能表現可能被嚴重的影響,因此,對於 研發計晝往往造成了額外的風險。這樣的流程造成了耗 時的光罩與晶圓往返之實驗時間,導致了產品上市時間 的延遲、研發成本的激增、流程步驟的複雜以及技術風 險的增加。 因此,當今需要是一種適用於多種產品的額外標準 設計,並且,可以將客製化(customization)的動作,留給 最後幾道產品製程步驟,來節省下金錢以及時間。於整 合性單晶片電路設計的領域中,也需要一個有效率的方 法來研發原型與產品電路,透過使用成本分享的可重組 模組,來降低產品研發至上市的時間。 【發明内容】 本發明之一實施例提供於一多專案晶圓上之一半導 體電路。該半導體電路包含有至少一標準模組、至少一 可重組模組以及至少一連接層。該標準模組具有驗證過 之功能。可依據一預定設計,該可重組模組可以被程式 化,且該標準模組以及該可重組模組可以相互連接。該 標準模組包含有至少一記憶模組以及一輸出入模組。 本發明之一實施例提供一種用以在一多專案晶圓上 設計至少一半導體電路的方法。該方法包含有下列步 驟:提供至少一標準模組,具有驗證過之功能;於至少 一連接層中產生至少一連接,以程式化至少一可重組模 組;以及,依據一預定電路設計,連接該被程式化的可 0503-A31705TWF/Edward 6 1321841 重組模組以及該標準模組。該標準模組包含至少一記憶 模組以及一輸出入模組。於程式化之前,該標準模組以 及該可重組模組具有至少一製作完成的金屬層,且該程 式化以及連接係實現於該金屬層之後的至少一連接層。 本發明之一實施例提供在整合性單晶片(SOC)單元 上的一可調適性系統(adaptive system)。該調適性系統包 含有至少一標準模組以及至少一可重組模組。該標準模 組具有驗證過之功能,由至少一廠商所設計。該可重組 模組具有至少一功能,該功能可以透過於至少一連接層 中產生至少一連接來啟動。該連接係依據一預定之電路 設計來產生且位於該晶片單元的最後至少一連接層,且 連接該標準模組與該可重組模組。 為使本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易 懂,下文特舉一較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細 說明如下: 【實施方式】 本說明書提供一種方法,使用可重組之多專案晶圓 (multi-project wafer,MPW)半導體,來研發客戶電路設 計(custom circuit design)。一個特別的MPW也許具有數 個晶粒(die),而每個晶粒可能具有不同的電路設計。每 一個晶粒可以視為一個調適性之SOC,具有成本分享單 元或是重組模組。重組模組是在最後幾個製造層時,才 被客製化而具有需要的功能。這些功能可以當客戶有需. 0503-A31705TWF/Edward 7 1321841 求時候,才客製化而實現。在重組層被製作之前,此成 本分享單元可以具有至少一層已經製作完成的金屬層。 重組的動作可以在最後幾個製造層中加以實現’或是’ 如果可能的話,只有在最後的一個製造層中加以實現。 調適性之SOC也可以具有由不同薇商提供的不同設 計模組或是智財(intellectual property,IP),然後加以製 作直到最後幾個製造層。這些可重組調適性之SOC的產 品可以利用可重組模組,譬如說數個内建的記憶單元, 或是可重組的邏輯單元。可重組的邏輯單元可以透過一 些最後幾個連接層所提供之程式化動作,來實現任何的 布林(Boolean)功能。SOC也可以依照現場重組、光罩重 組、或是效能重組功能加以歸類。具有現場可重組功能 的可重組模組也可以在整個SOC製作完成後,以施加電 壓電流方式加以重組。現場可重組元件可以是單次可程 式化(one-time programmable,OPT)或是多次可程式化 (multiple-time programmable,MTP)現場可程式化閘陣列 (field programma"ble gate array,FPGA)、複雜可程式化邏 輯元件(complex programmable logic device,CPLD)、快 閃記憶體(Flash RAM)或是非揮發性記憶體(non-volatile RAM)元件。具有光罩重組功能的可重組模組僅僅可以在 製造薇中,以光罩或是電子束寫入的方式,來加以程式 化。光罩式唯讀記憶體為其中的一個例子。具有效能重 組功能的可重組模組比較著重在功效上,而非功能上。 這些可以調整的功效或是效能可以是速度(speed)、電路 0503-A31705TWF/Edward 1321841 時脈(circuit rate)、頻寬(bandwidth)、位元截割寬度(bit slice width)、類比效能或是精確度。簡而言之,可重組模 組可以是各種的元件,譬如說,特殊應用積體電路 (ASIC)、記憶體、輸出入電路、類比智財、無線、混合 模式智財、MEM、PLA或是PLD元件。 雖然在此這個發明是以利用内建記憶體模組以及可 重組邏輯模組的一種研發客製電路設計方法來表示,但 是本發明並非被限制在所示的實施例中,因為在沒有脫 離本發明的精神之條件下,許多的調整或是結構上的變 化都可以據以實施,並且,這些調整或是結構上的變化 都可能依然落入申請專利範圍的均等範疇之内。 第1圖為在客製化之前於一可重組之MFW上的一標 準調適性SOC 100。一般標準模組是内建在可重組或是 調適性SOC 100的基底(substrate)中,預留給客製化電路 所使用。調適性SOC 100包含有一可重組記憶體模組 1〇4、一可重組邏輯模組106、數個資料匯流排(data bus) 區域108、以及一些其他驗證過的標準功能性模-組(譬如 說混合信號(Mixed Signal)、鎖相迴路(phase Lock loop, PLL)、ADC、DAC等等)。在這個例子中,這些標準功能 性模組是由廠商A到Η所提供’用以符合客製化電路時 候,各樣所需要的功能。在客製化或是重組之前,調適 性S0C 100具有至少一個已經製作完成的連接層。所有 的或是部份的標準模組將會用來符合最終電路之需求。 這些標準模組都已經測試過了,所以對於這些模組的功 0503-Α31705TWF/Edward 9 1321841 能而言,也不需要有額外的偵錯動作。任何沒有用到的 標準模組依然會待在電路基底上,只是沒有連接到這個 原型機(prototype unit)。這些沒有用到的標準模組的輸出 入之信號可能會固定鎖在VDD或是GND以避免無用的 漏電流。這些沒有用到的標準权組,在產品晶片上的時 候,可以被移除,來減小產品晶片之基底面積。此外, 在一 MPW上,可以有針對不同產品設計的許多個不同的 S 0 C或是個別獨立分開的晶片’因為本質上’這個晶圓 是·一個測試用的晶圓’不同的SOC或是晶片一起共用·一 個晶圓,可以節省成本。而收費方式,可以視使用者選 取了哪些標準模組而在一固定成本上,額外增加付費, 所以基本上是使用者付費的方式。 内建的記憶體模組104以及重組邏輯模組106可以 被客製化以符合客戶功能上以及内連線上的需求。此外 標準模組之間的繞線(routing)也可以同時完成。譬如說, 資料匯流排繞線區域108也可以重新定位(realign),以確 保資料是否正確的傳遞。所以,除了最後幾個金屬層製 程步驟或是最後幾個連接層之外,這個使用驗證過模組 的調適性S0C之製作過程大致已經完成。這最後幾個内 連接層允許這標準調適性S0C被程式化或是客製化,也 可以連接附近之電路上所有所需要的標準模組。因此, 可以預期的是,設計與驗證的週轉時間(turnaround time) 就會很短。這樣實施如此客製化設計之好處是,客製化 可以在最後幾個金屬層時才被實現,因此,可以縮小其 0503-A31705TWF/Edward 10 1321841 他需要完成整個SOC的製程時間。也就是說,絕大部分 的模組,在客製化之前,都已經預先製作或是生產到一 些製造層。一旦客製化所需要的動作一決定,晶圓就可 以從那些製造層之後直接接著開始下一步製程,因而減 短生產時間以及成本。 第2圖為依據本發明的一實施例,為客製化之後的 一客戶SOC 200的佈局圖。客戶SOC 200是設計來符合 一特別產品之最終電路需求。換言之,在調適性S0C 100 上的許多的標準功能模組,在圖上雖然都已經被删除, 但是事貫上其電路是依然存在在晶圓上’而其他的功能 模組,包含了内建記憶體模組104以及一些可重組邏輯 模組106,都已經為了 一個特定電路客戶的產品,而被客 製化。 比較第1圖跟第2圖的佈局就可以發現,很清楚的, 因為IP#1、混合信號1、以及可重組I/O等模組都已經沒 有在第2圖中了,所以在第2圖中,那些區域就以點狀 區202來表示,意咮著沒有用到的晶片基底。換言之, 客戶S0C 200並不需要那些模組的功能。然而,這並非 意味著那些模組就此消失在晶圓上,事實上,那些模組 依然會出現在原型佈局中,(譬如說,混合信號1就會出 現在點狀區204中),他們只是沒有連接出去,或是說, 沒有運作罷了。請注意,那些沒有用到的模組,就算是 經過客製化之後,在第2圖中的相對位置,實際上並沒 有改變。金屬連接以及内連接線是在標準製程的最後幾 0503-A31705TWF/Edward 11 1321841 個連接層(譬如說,最後兩層金屬層)才製作,因此,可重 組邏輯模組可以適當的被程式化,並且,標準模組也可 以適切的被連接在一起。 到目前的階段,所有有連接的模組就可以針對功能 性,來被測試以及驗證。因為,客製化是在最後幾道製 造層,所以,相較於傳統的半導體設計方法以及流程, 這個客戶SOC 200可以很快的被製造出來,因為標準的 基底部局並沒有改變、使用的是標準模組、以及其他客 製化的模組是在最後幾道製造層時才被製作。譬如說, 利用這個調適性SOC流程,一個SOC的生產週期(cycle time)可能可以大幅的從60天縮短到7至10天。從成本 上的考量,對於一個傳統的90奈米(nm)SOC設計而言, 因為客製化光罩的數量減少,SOC的成本也許可以從一 個MPW所需的7萬5千美金,大幅縮減到一個可重組之 MPW所需的7千五百美金。換言之,客戶僅僅需要負擔 最後幾道光罩的費用,而其他大部分的主要光罩費用都 因為大量投片的晶圓,而與其他客戶分享或是攤提。 第3圖依據本發明的一實施例,顯示一 SOC產品晶 片300的佈局圖。在SOC產品晶片300中,雖然說一樣 是具有那些被驗證過的標準模組(也就是内建記憶體模組 104、ADC、DAC等等),整個佈局是重新的安排,以使 沒有用到的電路基底區域302,可以減到最小。因而一樣 的電路設計就可以實施在一個比較小的晶粒上,來增加 晶圓良率(wafer yield)。這個產品晶片符合了客戶電路功 0503-A31705TWF/Edward 12 1321841 能上的需求,但是,透過了驗證過的標準模組之使用以 及在最後幾道製程對於邏輯、記憶體以及内連接線路之 客製化,能夠大幅的降低了傳統電路設計所需要的時間 以及成本。
該SOC至少具有一個記憶體模組(譬如說靜態隨機 存取記憶體(Static Random Access Memory,SRAM)模組) 以及一個輸出入模組,都透過金屬連接,連接到可重組 模組,而組成了循序或是組合邏輯電路。該SOC也涵蓋 了對於不同客戶的多重設計,而整個晶片的功能性方 面,是透過金屬連接的方式,來產生所需要的功能。 第4圖顯示依據本發明之一實施例的一產品生產流 程400,為使用調適性SOC的一產品生產流程。產品生 產流程400從步驟402開始,選用一標準可重組MPW, 準備用於一特定的SOC設計中。這個標準可重組MPW 具有一個或是多個調適性SOC,譬如說SOC 100。調適 性SOC依照特定某些連接層繞線的不同,可以轉變成不 同的元件。也就是說,某些SOC上的功能,可以透過連 接層繞線的不同,來被致動。產品生產流程400接著執 行步驟404,選取所有符合最終SOC設計所需要的標準 模組。然後進行步驟406,排除或是去除那些沒有符合最 終SOC設計所需要的標準模組。也就是,使那些沒有符 合最終SOC設計所需要的標準模組不會被連接出去。接 著進行步驟408,其中,透過定義在最後幾個金屬層的連 接線,來程式化可重組模組,以完成最終SOC設計。譬 0503-A31705TWF/Edward 13 1321841 如說,至少用最後一層連接層來客製化可重組模組。在 最後的生產步驟還沒有做之前,該MPW可以在步驟410 被重定位以及包裝,來減少所需要的基底面積。最後, 在步驟412,在MPW上的該SOC就可以進行最後幾道 生產步驟了。 總而言之,當那SOC要用來設計一個半導體電路 時,由一個或是多個廠商驗證過的至少一個標準模組會 被找出來或是選擇出來。至少SOC上的一個可重組之邏 輯模組將被程式化,透過一或多個連接層,來產生一個 或是多個連接。標準模組與可重組之邏輯模組彼此透過 一預定的設計相連接。然後,整個電路才被驗證。需了 解的是,標準模組包含了至少一記憶體模組以及一輸出 入模組,而對可重組之邏輯模組的程式化以及模組之間 的連接,是透過一個半導體製造流程中,最後幾道連接 製程來完成。所謂最後幾道連接製程可以是產生金屬連 接線或是層間連接物的製程。 對於該SOC而言,·除了最後的幾道用來客製化記憶 體與邏輯設計的連接層之外,生產標準驗證過之晶片基 底都是可以預先完成。而透過驗證過之標準模組以及額 外的客戶邏輯、記憶體以及内連接線,這樣的一個標準 驗證過之晶片基底可以給許多的客戶設計所使用。這樣 的一個電路設計之功能需求,可以決定最後原型設計 中,哪一個標準模組將會被選取以及連接。至於在基底 所具有的其他模組將不會在最後原始設計中所使用,但 0503-A31705TWF/Edward 14 1321841 是仍然會停放在晶片上。客戶邏輯重組以及客戶模組連 接是在最後幾道連接層中實施,因此可以減少完成整個 SOC所需要的步驟,也同時減少了要完成原型電路所需 要的製程步驟。經過驗證原型電路設計之後,正式的產 品晶片僅僅需要去除不用的模組,重新安排各個需要模 組的位置以及相對應的連接,就可以減少基底面積。 本發明雖以較佳實施例揭露如上,然其並非用以限 定本發明,任何熟習此項技藝者,在不脫離本發明之精 神和範圍内,當可做些許的更動與潤飾,因此本發明之 保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
0503-A31705TWF/Edward 15 1321841 【圖式簡單說明】 第1圖為在客製化之前於一可重組之MPW上的一標 準調適性SOC。 第2圖為依據本發明的一實施例,為客製化之後的 一客戶SOC的佈局圖。 第3圖依據本發明的一實施例,顯示一 SOC產品晶 片的佈局圖。 第4圖顯示依據本發明之一實施例的一產品生產流 程400,為使用調適性SOC的一產品生產流程。 【主要元件符號說明】 標準調適性SOC 100 ; 可重組邏輯模組106 ; 客戶 SOC 200 ; SOC產品晶片300 ; 可重組記憶體模組104; 資料匯流排區域108 ; 點狀區202、204 ; 電路基底區域3 02。 0503-A31705TWF/Edward 16
Claims (1)
1321841 / # 第95115249號申請專利範圍修正本 _修正日期:98.6.6 i~98 6 v ~一一-- ’ 十、申請專利範圍·· L年月·飞修馥)正替 •· 1. 一種於一多專案晶圓上之一種半導體電路 , 導體電路包含有: 至少一標準模組,具有驗證過之功能; 至少一可重組模組;以及 至少一運接層,包含有複數金屬線以及複數層間連 接物,可依據一預定設計,來連接該標準模組以及該可 . 重組模組,並藉由在該金屬線以及該層間連接物建立連 Φ接,來程式化該可重組模組; 其中,該標準模組包含有至少一記憶模組以及一輸 出入模組; 其中,該可重組模組是在程式化後被驗證。 2. 如申請專利範圍第1項所述之於一多專案晶圓上 之一種半導體電路,其中,該半導體電路具有複數個標 準模組,該等標準模組係由不同廠商所設計。 3. 如申請專利範圍第1項所述之於一多專案晶圓上 ® 之一種半導體電路,其中,該半導體電路具有複數個標 準模組,該等標準模組係以依據使用者付費。 4. 如申請專利範圍第1項所述之於一多專案晶圓上 之一種半導體電路,其中,該連接層係於一製造流程中, 由包含有最後一道金屬製程的步驟所製造。 5. —種用以在一多專案晶圓上設計至少一半導體電 路的方法,該方法包含有: 提供至少一標準模組,具有驗證過之功能; 0503-A3 ]705TWFl/nikey 17 ^98.6.0 6 / - ,,· : 98.6.6 I321§41 第95115249號申請專利範圍修正本 於至少一連接層中產生至少一連接,以程式化至少 一可重組模組; 依據一預定電路設計,於該連接層連接該被程式化 的可重組模組以及該標準模組;以及 驗證該被程式化的可重組相:組, 其中,該標準模組包含至少一記憶模組以及一輸出 入模組;以及
其中,於程式化之前,該標準模組以及該可重組模 組具有至少一製作完成的金屬層,且該程式化以及連接 係實現於該金屬層之後的至少一連接層。 6. 如申請專利範圍第5項所述之用以在一多專案晶 圓上設計至少一半導體電路的方法5其中,該方法提供 複數個標準模組,該等標準模組係由不同廠商所設計。 7. 如申請專利範圍第5項所述之用以·在一多專案晶 圓上設計至少一半導體電路的方法,其中,該方法提供 複數個標準模組,該等標準模組係以依據使用者付費。 8. 如申請專利範圍第5項所述之用以在一多專案晶 圓上設計至少一半導體電路的方法,其中,該方法提供 複數連接層,該等連接層包含有複數金屬線以及複數連 接層(interlayer)連接。 9. 如申請專利範圍第5項所述之用以在一多專案晶 圓上設計至少一半導體電路的方法,更包含有另一步驟: 依據該多專案晶圓上的電路,移除在一產品晶片上 不需要的標準模組。 0503-A31705TWFl/nikey 18
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