TWI310540B - Electro-optical device and electronic apparatus - Google Patents
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Description
1310540 (1) 九、發明說明 . 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於例如液晶裝置等之光電裝置及具備該光 電·裝置之例如液晶投影機等之電子機器之技術分野。 【先前技術】 該種之光電裝置中，設置有顯示用電極及用以驅動此 • 之電路部之基板和對向基板，是夾著液晶等之光電物質而 被相向配置。具體而言，以規定間隔使該些基板予以相向 ，在利用密封材貼合該相向面之邊緣而所形成之內部空間 ，封入光電物質。 設置有顯示用電極之一方的基板，由平面觀看是一邊 比對向基板突出’在該突出部份（以下，稱爲突出部）設 置有外部連接端子。外部連接端子是與自電路部等導出之 配線連接，另外被設置成表面露出於外部，以使訊號或電 # 源自外部被輸入。其他’與畫像訊號供給用之外部連接端 子連接之驅動電路通常也被設置在該突出部。 對此’例如專利文獻1所記載，若採用將驅動電路配 置在內部空間’在突出部上僅設置外部連接端子之裝置構 成時’則可以短縮突出部之寬度，以謀求縮小基板尺寸。 〔專利文獻1〕日本特開平9-113906號公報 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 -4- (2) 1310540 但是，在實際之光電裝置中，要在內部空間設置配置 _ 驅動電路，且自驅動電路僅導出配線之空間則有困難。再 者，假設即使在突出僅有設置外部連接端子之時’由於被 連接於外部連接端子之導出配置之至少一部分是被配置在 突出部上，故爲了縮小突出部之寬度，還有考慮該些外部 連接端子和導出配線之佈局的餘地。 本發明是鑒於上述問題點而所創造出，其課題爲提供 φ 可縮小基板尺寸之光電裝置，及具備有如此光電裝置之電 子機器。 〔用以解決課題之手段〕 本發明之第1光電裝置爲了解決上述課題，具備有： 以特定間隔互相相向，且由平面觀看至少在一邊，一方的 基板是比另一方基板突出的一對基板；被設置在上述一方 基板的顯示用電極；供以驅動上述顯示用電極，被設置在 φ 上述一方基板的電路部；自用以驅動上述電路部及上述顯 示用電極之配線中之至少一方，各被導出至上述一方基板 中在上述一邊突出而所構成之突出部的多數導出配線；各 被連接於該多數導出配線，且由平面觀看至少與上述多數 導出配線部分性重疊地被設置在上述突出部中與上述另一 方基板相向之側的表面上的多數外部連接端子。 若依據本發明之第1光電裝置時，在至少一邊以特定 間隔使一方基板比另一方基板突出之一對基板相向。一對 基板中’在比另一方基板突出之基板上，藉由資料線等之 -5- (3) 1310540 配線或薄膜電晶體（T h i n F i 1 e T r a n s i s t e r :以下適當稱爲 . “TFT”）等之電子元件、資料線驅動電路或掃描線驅動電 路等構成用以驅動顯示用電及之電路部，在該上層側形成 有顯示用電極。 然後，在該基板中，在上述一邊比另一方基板突出之 突出部上，設置有電性與電路部連接之外部連接端子。外 部連接端子是沿著例如突出部之外緣而被多數配列，各被 φ 連接於自電路部或是顯示用電極所導出之導出配線上。導 出配線通常是被拉引至配列有外部連接端子之區域以外的 區域。 對此，本發明之突出部是被配置成由平面觀視時外部 連接端子和導出配線至少是部份重疊（即是，在突出部中 爲立體）。如此之構成是可以藉由例如一面經由接觸孔使 導出配線及外部連接端子至至少一部分導通，一面經由層 間絕緣膜予以疊層而實現。此時，成爲配線或端子之導電 φ 膜即使被疊層2層或該以上即可，即使各層之導電膜是單 層膜或是多層膜中之任一者亦可。 如此地在佈局上下工夫，則可以短縮突出部之突出方 向的寬度。因此，藉由縮小基板尺寸，則可實現光電裝置 之省空間化。再者，尤其藉由縮小基板尺寸’則可以增加 從每~片晶圓所製造出之光電裝置之數量，對於降低製造 成本及提昇製造效率，則發揮極大效果。例如，即使針對 一片之縮小量爲1 mm左右之比較小的量’若該僅以從數 片至數十片或是數百片份被配列在相同晶圓上時’則在相 -6- 1310540
同晶圓上僅在一行或是多數行份額外安裝光電裝置之情形 • 也有可能。因此，在實踐上明顯有利。 ， 本發明之第1光電裝置之一態樣中，上述外部連接端 子及上述導出配線是層間絕緣膜介於中間而被疊層，上述 外部連接端子是包含與構成上述電路部之第1導電膜相同 的膜，上述導出配線是包含與構成上述電路部之第2導電 膜相同的膜。 # 若依據該態樣，外部連接端子和導出配線是經由層間 絕緣膜而被疊層，藉由互相不同之導電膜所形成，依此構 成由平面觀看即使爲互相重疊，但在藉由接觸孔等而連接 之部份以外則不電性導通。 再者，外部連接端子和導出配線因形成與構成電路部 之導電膜相同膜，或是包含如此之導電膜之相同膜而所形 成’故可以不需要將外部連接端子及導出配線和電路部分 開設置。依此，可以簡化基板上之構造，可比較容易形成 •。並且，就以導電膜之材料而言，較佳以使用例如低電阻 之鋁（A1 )。 本發明之第1光電裝置之另外的態樣中，上述多數外 部連接端子是被配列於沿著上述一邊之方向，上述多數導 出配線是各延伸於沿著上述一邊之方向，並且與外部連接 端子中和沿著上述一邊之方向交叉之方向中的邊緣部連接 〇 若依據該態樣，由於多數導出配線突出於多數外部連 接端子之配列方向，外部連接端子和導出配線爲立體交差 (5) 1310540 。兩者是在外部連接端子中，與沿著上述一邊交差之方向 . 之邊緣部（即是，外部連接端子中外緣側至內緣側之邊緣 部），例如經由接觸孔而被連接。如此之佈局是可以在外 部連接端子之形成區域內效率佳配置導出配線。再者，導 出配線因在偏離本身所延伸之區域的區域上與外部連接端 子連接，故依據例如接觸孔之形成位置之誤差等，則可以 防止與作爲連接對象之配線錯誤導通。依此，本態樣之光 φ 電裝置可以高信賴性予以製造。 或是，其他之態樣中，上述多數外部連接端子是被配 列於沿著上述一邊之方向，上述多數導出配線是各延伸於 沿著上述一邊之方向，並且在平面觀看與上述外部連接端 子交叉之區域，與上述外部連接端子連接。 若依據該態樣，多數外部連接端子和多數導出配線， 是在平面觀視互相交差之區域中，經由例如接觸孔而被連 接。如此之佈局，是可以有效率在外部連接端子之形成區 • 域上配置配線，並且導出配線因在本身延伸之區域與外部 連接端子連接，故可不用另外設置用以形成接觸孔之區域 ，可縮小導出配線及外部連接端子之配置空間。依此，本 態樣所涉及之光電裝置是更縮短突出部突出之方向的寬度 ，更縮小基板尺寸。 本發明之第2光電裝置是爲了解決上述課題，具備有 :以特定間隔互相相向，且由平面觀看至少在一邊’一方 的基板是比另一方基板突出的一對基板；被設置在上述一 方基板的顯示用電極；供以驅動上述顯示用電極，被設置 (6) 1310540 在上述一方基板的電路部；自用以驅動上述電路部及上述 . 顯示用電極之配線中之至少一方’各被導出至上述一方基 板中在上述一邊突出而所構成之突出部的多數導出配線； 各被連接於該多數導出配線，且由平面觀看至少與上 述電路部部分性重疊地被設置在上述突出部中與上述另一 方基板相向之側的表面上的多數外部連接端子。 若依據本發明之第2光電裝置，電路部和外部連接端 φ 子是被配置成由平面觀看至少重疊在突出部上。如此之構 成是例如可以實現經由層間絕緣膜使電路部及外部連端子 之至少一部分予以疊層。此時，構成電路部或端子之導電 膜疊層兩層或該以上即可，各層之導電膜即使爲單層膜或 多層膜中之任一者亦可。 藉由如此地對佈局下工夫，則可以短縮突出部之突出 方向中之寬度，並藉由縮短基板尺寸，則可以達到與上述 第1光電裝置相同之效果。 # 本發明之第2光電裝置之一態樣中，上述電路部是與 上述多數外部連接端子中供給畫像訊號之端子電性連接， 並且包含有接受上述畫像訊號之供給而被驅動之驅動電路 ，該驅動電路之至少一部分是被設置成由平面觀看與上述 外部連接端子重疊。 若依據該態樣’驅動電路即是所謂資料線驅動電路是 被配置成由平面觀看與外部連接端子至少部份重疊。資料 線驅動電路一般是沿著上述一邊延伸而被設置，在兩端經 由導出配線連接有用以輸入畫像訊號的多數連接端子。因 -9- (7) 1310540 此，因在周邊必須設有僅用以導出多數導出配線之區域， _ 故資料線驅動電路與外部連接端子是被設置在空間性限制 少的突出部上之情形爲多。此時，一般爲了將外部連接端 子和資料線驅動電路設置在相同平面上’突出部之寬度是 因應資料線驅動電路之尺寸形狀而被擴張。 對此，於本態樣中，被設置在突出部之資料線驅動電 路之全體或是至少一部分因被設置在與外部連接端子相同 φ 之空間，故僅該部份則可縮短突出部之寬度，可有效果地 實現光電裝置之省空間化或小型化。 本發明之第2光電裝置之其他態樣中，上述外部連接 端子和上述電路部之一部分是層間絕緣膜介於中間而被疊 層，上述外部連接端子是包含與構成上述電路部之第1導 電膜相同的膜。 若依據該態樣，外部連接端子和電路部各經由層間絕 緣膜而被疊層，依此可以構成由平面觀看即使互相疊層也 φ 不電性導通。再者，因外部連接端子是形成與構成電路部 之導電膜相同膜，戶包含如此之導電膜之相同膜而所形成 ，故可以簡化基板上之構造，可以比較容易形成。並且， 就以導電膜之材料而言，較佳以使用例如低電阻之鋁（A1 )° 本發明之第1及第2光電裝置中之其他態樣中，又具 備有使上述一對基板間形成內部空間地貼合上述一對基板 之互相相向之面之邊緣的密封材，和被收容於上述內部空 間的光電物質，上述顯示用電極及上述電路部之一部分是 -10- (8) 1310540 面對於上述內部空間而被配置。 _ 若依據該態樣，在構成光電裝置之一對基板間，藉由 密封材密封兩基板中之所相向之面的邊緣，依此構成內部 空間，突出部自該邊緣突出。在內部空間封入液晶等之光 電物質。顯示用電極爲了使光電物質予以動作，是面對內 部空間而被配置。再者，電路部之一部分，例如掃描線、 資料線及TFT等之配線或元件、掃描線驅動電路等之一 φ 部分之驅動電路，是與顯示用電極同時被設置在面對內部 空間之區域上。依此，可以將突出部之幾乎全區域當作用 以形成外部連接端子之區域而予以利用。 本發明之電子機器爲了解決上述課題，具備有上述本 發明之光電裝置（但是，包含該各種態樣）。 若依據本發明之電子機器，因具備有上述本發明之光 電裝置，故可以實現省空間化或是小型化之投射型顯示裝 置、液晶電視、行動電話、電子記事本、文字處理器、取 • 景型或是螢幕直視型之錄影機、工作台、電視電話、POS 終端、觸控面板等之各種電子機器。再者，就以本發明之 電子機器而言，亦可實現例如電子紙等之電泳裝置等。 本發明之如此的作用及其他優點，由下述之實施形態 明顯可知。 【實施方式】 以下，根據圖面說明本發明之實施形態。 -11 - (9) 1310540 〔1 :光電裝置之實施形態〕 • 參照第1圖至第1 3圖’針對本發明之光電裝置所涉 及之實施形態，予以說明。並且，以下之實施形態是將本 發明之光電裝置適用於液晶裝置。 〔1 -1 :第1實施形態〕 參照第1圖至第7圖，針對本發明之第1實施形態所 φ 涉及之液晶裝置予以說明。 〔1 - 1 - 1 :液晶裝置之槪略構成〕 首先，參照第1圖至第3圖，針對該液晶裝置之槪略 構成予以說明。第1圖是表示本實施形態所涉及之液晶裝 置之構成的平面圖，第2圖是表示第1圖之1-1’線截面。 第3圖是表示本實施形態所涉及之液晶裝置之比較例。 於第1圖及第2圖中’液晶裝置1〇〇是藉由以特定間 # 隔使對向基板2 0與TFT陣列基板1 〇相向，並以密封材 5 2 a貼合兩基板所相向之面的邊緣’依此形成內部空間。 TFT陣列基板1〇上存有由平面觀視由對向基板20突出之 突出部201，密封材52a是對該突出部201所延伸之邊的 特定處（在此，該邊之兩端），規定通過內部空間之開口 。然後，藉由自開口被注入至內部空間之液晶’而構成液 晶層5 0，開口是藉由封口鑄模材1 5 1 a及1 5 1 b而各被封 口。沿著密封材52a之內緣而被設置之框緣遮光模53是 規定顯示畫像之畫像顯示區域l〇a。 -12- (10) 1310540 TFT陣列基板10之對向面（第2圖中，上面）中， 、 於畫像顯示區域1 〇a，畫像開關用TFT或掃描線、資料線 . 等之配線之上層，設置有作爲本發明之「顯示用電極」之 一例的畫素電極9a。然後，在畫素電極9a之正上方形成 有定向膜。在對向基板20之對向面（第2圖中，下面） 上經由條紋狀之遮光膜23而形成有對向電極2 1，在該上 層形成有定向膜。再者，在對向基板20之角部之至少1 % 處（在此，全部爲4處），設置有使TFT陣列基板10之 間予以電性導通之上下導功端子1 06。液晶層50之液晶 之定向狀態，是因應被施加於畫素電極9a和對向電極2 1 之間之電場而變化，在不施加電場之狀態下，取得藉由定 向膜所規定之初期定向。 在TFT陣列基板10之對向面中，框緣遮光膜53之 形成區域上，設置有驅動掃描線之掃描線驅動電路1 04和 配線105。於第1圖中’在框緣遮光膜53之左右邊上各 % 設置一個掃描線線驅動電路配線105是應連接該兩 個掃描線驅動電路104之間’而被拉引至框緣遮光膜53 之上邊。 TFT陣列基板1 〇之突出部20 1是本發明「驅動電路 」之一具體例’驅動資料線之資料線驅動段路1 0 1 a ’是 在第1圖中，沿著密封材523之下邊而被配置。但是，由 平面觀看，資料線驅動電路1013之上半份是被設置成與 密封材5 2a重疊。再者，該下半份是在兩端各重疊自封口 鑄模材1 5 1 a及1 5 1 b之開口突出之部份。 -13- (11) 1310540 並且’於本實施形態中，包含有TFT等之電子元件 • 或掃描線、資料線等之配線、掃描線驅動電路1 04或資料 . 線驅動電路1 〇 1 a之TFT陣列基板1 0之電路全體，是對 應於本發明之「電路部」之具體例。再者，在突出部20 1 上’除資料線驅動電路部1 01之外，即使形成以特定時間 施加畫像訊號至多數資料線的取樣電路、搶先於畫像訊號 將特定電壓位準之預充電訊號各供給至多數資料線之預充 • 電電路、用以檢查製造途中或出貨時之液晶裝置1〇〇之品 質、缺陷等之檢查電路等亦可。 並且，於本實施形態中，突出部201中，多數導出配 線l〇3a之至少一部分是被設置成由平面觀看與外部連接 端子102a重疊。具體而言雖然後述，但是在該液晶裝置 1〇〇中，形成有外部連接端子102a之層和形成有導出配 線1 03 a之層，是經由例如層間絕緣膜而被疊層，外部連 接端子102a之形成區域和導出配線103a之形成區域至少 • —部分是互相重疊。成爲配線或端子之導電膜即使被疊層 兩層或該些以上即可，各層之導電膜即使爲單層膜或是多 層膜中之任一者亦可。 該些外部連接端子1 02a是爲了將電源或訊號從藉由 FPC而被連接之外部電路，供給至液晶裝置1 〇〇內而所設 置，各個經由導出配線1 〇3a而適當與掃描線驅動電路 104或資料線驅動電路等之驅動電路連接。液晶裝 置1 00是因應從外部被輸入之外部連接端子之訊號而驅動 畫素電極9a，顯示畫像。在此，資料線驅動電路】0 1 a是 -14- (12) 1310540 在突出部201側之兩側，經由導出配線103a而與多數外 ， 部連接端子〗〇2a連接。 如第3圖所示般，在本實施形態之比較例所涉及之液 晶裝置中，外部連接端子1 02和導出配線1 03是被配置成 由平面觀看在相同平面上不互相重疊。外部連接端子1〇2 因還必須與FPC110連接，故爲了防止在該上方封口鑄模 材1 5 0重疊，則必須離開封口鑄模材某種程度。其結果， φ 突出部200具有規定寬度L0，並且產生僅可以配置資料 線驅動電路1 〇 1全體之空間。 對此，本實施形態1 〇 〇是如上述說明般，因配置成由 平面觀看重疊，故可以實現省空間化。尤其，在此，因外 部連接端子102a沿著突出部201之外緣被配列，故可以 比通常更短縮突出部201之突出方向的寬度L11。 並且，在此，因在密封鑄模材1 5 1 a和密封鑄模材 151b之間的區域配置外部連接端子l〇2a，故外部連接端 # 子102a可對密封鑄模材151a及151b不取間隔。並且， 在第1圖中，在配置有密封材5 2a之區域，設置資料線驅 動電路1 0 1 a之上半份，依此可以將外部連接端子1 〇2a推 至上側。以上之結果，突出部2 0 1之寬度L 1 1也可以比比 較例之突出部200之寬度Lo短縮。 因此，本實施形態之液晶裝置1 〇 〇可省空間化，對於 適用此之電子機器可以給予高設計自由度。再者，可以增 加從每一晶片所製造出之液晶裝置之個數，對於提昇製造 效率及降低製造成本，發揮極大效果。即是，一個液晶裝 -15- (13) 1310540 置100中之突出部201之縮小寬度即使僅有一些，在晶圓 . 上，通常以數百至數千單位形成對應於上述TFT基板10 之區域，並且由於多數生產如此之晶圓，故在製造上極爲 有效。 並且，在此，因在第1圖中之密封材5 2a至對向基板 20之下邊，於兩端部各配置開口部及封口鑄模材150a及 15 0b，並在中央部配置外部連接端子102a，故導出配線 φ l〇3a即使從中央部被分往左右拉引，亦可以在左右使配 線長幾乎成爲相等，不產生左右之訊號延遲等之不良狀況 。再者，因開口被規定在左右兩端，故可以效率佳且均勻 地將液晶注入至內部空間。 〔1 -1 -2 :突出部之構成〕 接著，參照第4圖至第7圖’針對液晶裝置100中之 突出部201之具體構造予以詳細說明。第4圖是放大本實 • 施形態所涉及之液晶裝置之突出部的主要部分’第5圖是 表示第4圖之A-A’線截面。第6圖是表示本實施形態所 涉及之液晶裝置之畫像顯示區域中’畫素部所構成之等效 電路。第7圖及第8圖是表示畫素部之構造的平面圖和截 面圖。並且，第8圖（a)是表示第7圖之ΙΙ-ΙΓ線截面， (b)是表示第7圖之ΙΠ-ΙΙΓ線截面。再者’於第8圖中 ，因將各層、各構件設成在圖面上可辨識之大小，故適當 改變該各層、各構件之縮尺比率。 於第4圖中，多數外部連接端子〗〇2a是被配列成一 -16- (14) 1310540 子 孔 端 份 伸 據 端 導 信 線 是 地 5 43 重 膜 上 ， 氮 子 線 方向，多數導出配線1 0 3 a之各個是延伸於外部連接端 , 1 0 2 a之配列方向，並且經由外部連接端子1 0 2 a和接觸 20a而被連接。接觸孔20a是多數被連接在各外部連接 子102a之外緣。並且，如此之接觸孔之全部或是一部 即使被設置在各外部連接端子1 0 2 a之內緣側亦可。 在如此之佈局中’導出配線1 03 a因在偏離本身延 之區域的區域上與外部連接端子端子102a連接’故依 • 例如接觸孔之形成位置之誤差等’則可以防止外部連接 子102a，和與連接對象之導出配線l〇3a連接而延伸之 出配線l〇3a錯誤導通。依此’該液晶裝置1〇〇可以高 賴性予以製造。 於第5圖中，如此之外部連接端子1 〇 2 a和導出配 l〇3a是經由層間絕緣膜43而疊層。再者’接觸孔20a 貫通該層間絕緣膜4 3而所形成。導出配線1 0 3 a是如此 經由所欲之外部連接端子102a和接觸孔20a而被連接 # 並且除此之外之外部連接端子l〇2a是藉由層間絕緣膜 而被絕緣，依此由平面觀視形成與外部連接端子1 0 2 a 叠。 在此，在TFT陣列基板1〇上’依序疊層層間絕緣 41〜44，在層間絕緣膜42上設置導出配線l〇3a，在該 方之層間絕緣膜43上設置有外部連接端子l〇2a。在此 導出配線l〇3a及外部連接端子l〇2a同時由鋁層40A、 化鈦層40TN之兩層所構成’由部份性除去外部連接端 102a之露出面D (第4圖中，外部連接端子l〇2a之斜 -17- (15) 1310540 區域）層間絕緣膜4 4及氮化鈦4 0 TN而所形成之開口對 . 外表予以露出。 如此之疊層構造是使用TFT陣列基板1 0上之畫像顯 示區域1 0 a之疊層構造而被構成。在此’接著針對畫像顯 示區域]0a中之疊層構造之構成而予以說明。 〔1-1-3 :畫像顯示區域之構成〕 φ 於第6圖中，在畫像顯示區域l〇a上，互相交差配列 多數多數掃描線111a及多數資料線6a，在該線間’依據 掃描線1 1 a、資料線6a之各一而構成所選擇之畫素部。 各畫素部是包含TFT30、畫素電極9a及蓄積電容70。 TFT30是爲了將自資料線6a所供給之畫像訊號SI、S2、 …、Sn施加至選擇畫素而所設置，閘極連接於掃描線11a ，源極連接於資料線6a，汲極連接於畫素電極9a。畫素 電極9a是在後述之對向電極2 1之間形成液晶電容，使所 # 輸入之畫像訊號S1'S2.....Sn保持成一定期間。即是 ’依據畫素電極9a劃界每畫素部之開口區域.。蓄積電容 70之一方電極是與畫素電極9a並列連接於TFT30之汲極 ’另一方電極是使能夠成爲電位固定之電容配線地被連接 於電容配線400上。 液晶裝置100是採用例如TFT主動矩陣驅動方式， 自掃描線驅動電路1 04 (參照第〗圖）線順序施加掃描訊 號G1........Gm至各掃描線1 1 a，並且依此對於 TFT3 0成爲接通狀態之水平方向之選擇畫素部之列，通過 -18- (16) 1310540 資料線施加來自資料線驅動電路1 0 1 (參照第1圖 . 像訊號S 1、S 2.....S η。其結果，畫像訊號被供 應於選擇畫素之畫素電極9a。TFT陣列基板1 0因 層介於中間而與對向基板2 0相向配置（參照第2 如此一來藉由在每畫素部施加電場至液晶層5 0 ’ 素控制兩基板之透過光量’灰階顯示畫像。此時’ 素所保持之畫像訊號是藉由蓄積電容70防止洩漏‘ φ 於第7圖及第8圖中’上述畫素部之各電路要 案化，當作被疊層之導電膜構築在TFT陣列基板 本實施形態之T F T陣列基板1 〇是由石英基板所構 由玻璃基板或石英基板等所構成之對向基板20相 。再者，各電路要素是由下依序由包含掃描線11 層、包含閘極電極3a之第2層、包含蓄積電容70 電位側電容電極之第3層、包含資料線6a等之第 包含電容配線400等之第5層、包含畫素電極9a • 6層所構成。再者，在第1層至第2層間設置基底 1 2、在第2層至第3層間設置第1層間絕緣膜41、 層至第4層間設置第2層間絕緣膜42、在第4層 層間設置第3層間絕緣膜43、在第5層至第6層 第4層間絕緣膜44，防止上述各要素間之短路。 (第1層之構成-掃描線等-) 第1層是由掃描線Π a所構成。掃描線I 1 a是 製作成由沿著第7圖之X方向而延伸之本線部， )之畫 給至對 使液晶 圖）， 對每畫 被各畫 3 素被圖 10上。 成，與 向配置 之第1 之固定 4層、 等之第 絕緣膜 在第3 至第5 間設置 被圖案 和延伸 -19- (17) 1310540 於資料線6a或電容配線400所存在之第7圖之γ方向上 . 的突出部所構成之形狀。如此之掃描線1 1 a是由例如導電 _ 性聚矽所構成，其他也可以藉由包含鈦（Ti )、鉻（Cr ) 、鎢（W )、鉬（Ta )、鉬（Mo )等之高熔點金屬中之至 少一個的金屬單體、合金、金屬矽化物或是該些疊層體等 形成。即是，本實施形態中之掃描線Π a僅可能藉由覆蓋 開口區域之間的區域，也當作自下側遮光TFT3 0之遮光 # 膜而予以發揮功能。 (第2層之構成-TFT等-) 第2層是由TFT3〇及中繼電極719所構成。TFT30 爲LDD ( Lightly Doped Drain)構造，具備有閘極電極3a 、半導體層la、用以絕緣閘極電極3a和半導體層la之 閘極絕緣膜2。閘極絕緣膜2是由例如HTO ( High Temperature Oxide)或被熱氧化之矽氧化膜所構成。閘極 • 電極3a是由例如導電性矽所形成。半導體層la是由例如 聚矽所構成，通道區域】a’、低濃度源極區域lb及低濃度 汲極區域lc以及高濃度源極區域Id及高濃度汲極區域 1 e所構成。中繼電極7 1 9是被形成與例如閘極電極3 a相 同膜上。 TFT30之閘極電極3a是經由被形成在基底絕緣膜12 之接觸孔1 2cv而被電性連接於掃描線1 1 a。基底絕緣膜 12是由例如HTO等之矽氧化膜或是NSG (非矽玻璃）膜 所構成，絕緣第1層和第2層之層間之外，也具有藉由形 -20- (18) 1310540 成在TFT陣列基板1 0之全面，而防止基板表面硏磨所引 • 起之粗糙或髒污而導致TFT3 0之元件特性變化的機能。 (第3層之構成-蓄積電容等-) 第3層是由蓄積電容70所構成。蓄積電容70爲經由 介電質膜75使電容電極300和下部電極71對向配置的構 成。其中，電容電極300是經由接觸孔801、803及電容 φ 配線用中繼層6al與電容配線層間絕緣膜41電性連接。 下部電極71和高濃度汲極區域le是經由開孔在第1層間 絕緣膜41之接觸孔83而被連接。再者，下部電極71和 畫素電極9a是藉由接觸孔881、882、8 04及中繼電極 719、第2中繼電極6a2、第3中繼電極4〇2中繼各層， 在接觸孔89中電性連接。 電容電極 300是由例如包含有 Ti、Cr、W、Ta、Mo 等之高熔點金屬中之至少一個的金屬單體、合金、金屬矽 • 化物、聚矽化物所構成之單層或多層膜，最佳爲鎢矽化物 所構成，具有遮蔽從第8圖上側欲射入至TFT30之光的 機能。下部電極71是使用導電性之聚矽。介電質膜75是 由例如膜厚5〜200nm左右之比較薄的HTO膜' LTO ( Low Temperature Oxide)膜等之氧化砂膜或是氮化砂膜等 所構成。 再者，第1層間絕緣膜41是例如藉由NSG所形成。 其他，第1層間絕緣膜41是可以使用PSG (磷矽玻璃） 、BSG (砸矽玻璃）、BPSG (硼磷矽玻璃）等之矽玻璃 -21 - (19) 1310540 、氮化矽或氧化矽等。 . (第4層之構成-資料線等-) 第4層是由資料線6a、電容配線用中繼層6al及第2 中繼電極6a2所構成。資料線6a是由鋁膜、氮化鈦膜之 兩層所構成，依據氮化矽覆蓋表面。資料線6 a是經由貫 通第1層間絕緣膜41及第2層間絕緣膜42之接觸孔84 # ’與TFT3〇之高濃度源極區域Id電性連接。並且在與資 料線6a相同膜上’形成有電容配線用中繼層6a 1及第2 中繼電極6a2。 再者’第2層間絕緣膜42除可以藉由NSG所構成之 外’又可以藉由 PSG、BSG、BPSG等之矽玻璃、氮化矽 或氧化矽等所形成。 (第5層之構成-電容配線等_) Φ 第5層是藉由電容配線400及第3中繼電極402所構 成。電容配線400是被延伸設置至畫像顯示，區域i〇a之 周圍，藉由電性連接被供給至週邊驅動電路上之電源，或 經由上下導通端子而被供給至對向基板之對向電極電位等 之定電位源，成爲固定電位。再者，電容配線400是經由 被開孔在第3層間絕緣膜43上之接觸孔803，而與電容 配線用中繼層6al電性連接。如此之電容配線400爲疊層 例如鋁膜、氮化鈦膜之二層構造。
電容配線400是如第7圖所示般，被形成延伸於X -22- (20) 1310540 方向、Y方向之格子狀，於延伸於X方向之部分上’爲了 . 確保第3中繼電極402之形成區域，設置有缺口。並且’ 電容配線400也當作遮光膜發揮功能，形成比該些電路要 素之寬度還寬，使能夠覆蓋掃描線11a、TFT30等’成爲 最終規定非開口區域之形狀。並且，第5層是在與電容配 線400相同膜上形成有第3中繼電極402。 在第5層之下方，全面形成有第3層間絕緣膜43。 φ 第3層間絕緣膜43是可以藉由例如NSG、PSG、BSG、 BPSG等之矽玻璃、氮化矽或氧化矽等所形成。再者’爲 了平坦化第3層間絕緣膜43之表面，即使藉由CMP ( Chemical Mechanical Polishing )等予以硏磨亦可，或藉 由SOG ( Spin On Glass )等形成平坦化膜亦可。藉由平坦 化，可以防止因配線間之階差等所引起之裂紋發生。 (第6層之構成-畫素電極等-) # 在第5層之全面上，形成第4層間絕緣膜44’並且 又在其上方，形成有畫素電極9a以當作第6層。第4層 間絕緣膜44上開孔有用以電性連接畫素電極9a-第3中繼 電極402之接觸孔89。如此之第4層間絕緣膜44是可以 藉由例如NSG、PSG、BSG、BPSG等之矽玻璃、氮化矽 或氧化矽等所形成。再者’爲了平坦化第4層間絕緣膜 44之表面，即使藉由CMP等予以硏磨亦可，或藉由SO G 等予以平坦化也亦可。藉由平坦化’可以防止由於配線間 之階差等所引起之裂紋發生。 -23- (21) 1310540 畫素電極9a (第7圖中，以虛線9a’表示輪廓）是大 . 略與被縱橫區劃配列之各個畫素區域對應而被配置。如此 之畫素電極9a是由例如ITO( Indium Tin Oxide)等之透 明導電膜所構成。並且，在畫素電極9a上，形成有配向 膜1 6。以上爲TFT陣列基板1 0側之畫素部之構成。 即是，在對向基板20上，於相向面之全面上設置有 對向電極21，並且，於該上方（第8圖中對向電極21之 # 下側）設置有配向膜22。對向電極21是與畫素電極9a 相同，由例如ITO膜等之透明導電性膜所構成。對向基板 2〇與對向電極21之間，因防止TFT30中之光洩漏電流之 發生等，設置有遮光膜23，以使能夠至少覆蓋與TFT30 正對之區域。 本實施形態中，在如此之畫像顯示區域1 〇a之疊層構 造之延長部分上，形成有突出部201。即是，突出部201 中，突出配線1 〇3a是被形成在第4層，與資料線等相同 # 膜（參照第5圖及第8圖）。因此，不需要將第5圖所示 之經由層間絕緣膜疊層導出配線103a和外部連接端子 l〇2a而所疊層之構造，與畫像顯示區域l〇a之疊層構造 另外設置。依此，可以簡化TFT陣列基板1 0上之構造’ 可比較容易形成。 再者，在此，因第4層和第5層同時含有鋁，所以當 然資料線6a、電容配線400是構成低電阻，就連導出配 線1 03a及外部連接端子1 〇2a也構成低電阻。即是，第4 層及第5層是藉由位於需要熱處理之蓄積電容70或 -24- (22) 1310540 TFT3 0之上層，可使用耐熱性低之鋁。在此，畫像顯示區 . 域10a中之疊層構造中，在第4層及第5層上各設置有導 線配線103a及外部連接端子l〇2a，可容易形成配線之低 電阻化和外部連接端子1 02a之露出面D。 〔1-2 :變形例〕 接著，參照第9圖及第1 0圖，針對第1實施形態之 • 變形例的液晶裝置予以說明。第9圖是放大表示第〗實施 形態之變形例所涉及之液晶裝置中，突出部之主要部分， 第1〇圖是表示第9圖之B-B’線截面。 本發明所涉及之外部連接端子及導出配線若被配置成 由平面觀看至少是部分重叠即可，該佈局於上述第1實施 形態中所說明之外，亦可做各種變形實施。 於第9圖中，是以多數外部連接端子102b被配列在 一方向，經由接觸孔20b和導線配線103b連接，以作爲 # 一例。接觸孔20b由平面觀看是各被設置在與多數導出配 線l〇3b與多數外部連接端子102b交差之區域上。 如此之佈局中，導出配線l〇3b由於在本身延伸之區 域與外部連接端子l〇2b連接，故不需要另外設置用以形 成接觸孔之區域即可，可使導出配線及外部連接端子之配 置空間，比例如第1實施形態小（參照第5圖及第1 〇圖 )。依此，本實施形態中，可更短縮突出部之寬度’更縮 小TFT陣列基板之尺寸。 -25- (23) 1310540 〔1-3 :第2實施形態〕 . 接著，參照第1 1圖至第1 3圖，針對第2實施形態所 涉及之液晶裝置予以說明。在此，第〗1圖是表示本實施 形態所涉及之液晶裝置之槪略構成。第1 2圖是放大表示 第2實施形態所涉及之液晶裝置中，突出部之主要部分， 第13圖是表示第12圖之C-C’線截面。並且’本實施形 態100A除突出部內之佈局不同外，由於與液晶裝置1〇〇 φ 爲相同構成，故針對與液晶裝置100相同之構成要素’賦 予相同符號，適當省略該說明。 於第11圖中，對於液晶裝置100A，由平面觀看資料 線驅動電路1 〇 1 C及導線配線1 〇 3 C之各個，是在相對於沿 著突出部202之外緣而被配列之多數外部連接端子l〇2c 被重疊之狀態下被配置。藉由如此精心設計突出部202之 佈局，則可以短縮突出部202之寬度L12，依此縮小TFT 陣列基板1 〇之尺寸，則可達到與上述第1實施形態相同 _之效果。 第12圖及第13圖是表示放大表示該模樣。導出配線 l〇3c是與第1實施形態之變形例相同’藉由被設置在與 外部連接端子l〇2c交差之區域上之接觸孔20c’而與外 部連接端子l〇2c連接。另外，導出配線〗03c是依據被設 置在本身所延伸之區域上之接觸孔21c而與資料線驅動電 路l〇lc連接。 在此，T F T陣列基板1 〇上之疊層構造中’導出配線 l〇3c是被設置在第4層上，外部連接端子1〇2(；是被設置 -26- (24) 1310540 在第5層上’接觸孔2 0 c是被射製程能夠貫通層間絕緣膜 • 43。資料線驅動電路101C是被設置在第1層至第5層中 之至少任一者（圖不之範圍爲第2層和第4層），接觸孔 21c是被設置成能夠貫通層間絕緣膜41及42。 如此一來，在本實施形態中，外部連接端子I〇2c和 導出配線1 〇 3 c之各個是與構成資料線驅動電路1 〇〗c或畫 像顯不區域l〇a中之電路部分的導電膜爲相同膜，或包含 φ 如此之導電膜的相同膜而所形成，依此可以簡化TFT基 板上之構造’可比較容易形成。其他作用及效果是與 上述第1實施形態相同，即使對於第2實施形態，亦可實 施與第1實施形態之變形相同的變形實施。 再者’上述第2實施形態中，外部連接端子1 〇 2 c和 導出配線1 〇 3 c、外部連接端子1 〇 2 c和資料線驅動電路 101c之各個雖然由平面觀看爲重疊，但是如第〗4圖所示 般，即使在對外部連接端子僅重疊資料線驅動電路之佈局 # 中，縮短突出部之寬度，亦可以取得本發明之效果。 〔2 :電子機器〕 接著，參照第〗5圖，針對將以上所說明之液晶裝置 適用於電子機器之時，予以說明。在此，將上述液晶裝置 當作光閥使用之投影機，作爲本發明所涉及之電子機器之 一例予以說明。第15圖是表示該投影機之構成例。 於第15圖中，投影機11〇〇內部在設置有由鹵素燈等 之白色光源所構成之燈元件1 1 0 2。自該燈元件1 1 0 2所射 -27- (25) 1310540 出之投射光是藉由被配置在光導內之4片鏡1106及兩片 . 分色鏡1108而被分離成RGB之3原色，被射入至當作對 應於各原色之光閥的液晶裝置100R、100B及l〇〇G。液 晶裝置l〇〇R、100B及100G之構成是與上述液晶裝置相 等。藉由液晶裝置100R、100B及100G所調製之光，是 自3方向射入至分色稜鏡1112。依此，合成各色之畫像 ，經由投射透鏡1 1 1 4，而在螢幕1 1 2 0等上投射彩色畫像 •。 並且，本發明之光電裝置除上述液晶裝置外，可實現 例如有機EL裝置、電子紙等之電泳裝置、利用電子放射 元件之顯示裝置（Field Emission Display Conduction Electron-Emitter Display)等之各種裝置。 再者，如此之本發明的光電裝置除先前所說明之投影 機之外，亦可適用電視受像機、取景型或是螢幕直視型之 錄影機、汽車導航裝置、呼叫器、電子記事本、電子計算 # 機、文字處理器、工作台、電視電話、POS終端、具有觸 控密板之裝置等之各種電子機器。 本發明並不限定於上述實施形態及實施例，只要在不 違反從申請專利範圍及說明書中所讀出之發明要旨或思想 的範圍下，可做適當變更，隨此變更之光電裝置及具備此 之電子機器也包含於本發明之技術範圍內。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明之第1實施形態所涉及之液晶裝 -28- (26) 1310540 置之構成的平面圖。 • 第2圖是第1圖所示之液晶裝置之Ι-Γ線之截面圖。 , 第3圖是表示第1實施形態所涉及之液晶裝置之比較 例的平面圖。 第4圖是表示第1實施形態所涉及之液晶裝置之比較 例的平面圖。 第5圖是第4圖所示之突出部之A-A’線之截面圖。 # 第6圖是表示第1實施形態所涉及之液晶裝置之畫像 顯示區域中之等效電路之模式圖。 第7圖是表示第1實施形態所涉及之液晶裝置之畫像 顯示區域之構成的平面圖。 第8圖是表示第1實施形態所涉及之液晶裝置之畫像 顯示區域之構成的截面圖，（a)爲第7圖之ΙΙ-ΙΓ線之截 面圖，（b)爲第7圖之ΙΙΙ_ΙΙΓ線之截面圖。 第9圖是表示第1實施形態所涉及之液晶裝置之變形 Φ例的平面圖。 第10圖是表示第9圖所示之突出部Β-Β’線之截面圖
Q 第11圖是表示第2實施形態所涉及之液晶裝置之構 成的平面圖。 第12圖是表示第2實施形態所涉及之液晶裝置中之 主要部分之構成的平面圖。 第13圖是轰示第12圖所示之突出部之C-C’線之截 面圖。 -29- (27) 1310540 第1 4圖是表示第2實施形態所涉及之液晶裝置之變 形例的平面圖。 第1 5圖是表示本發明之電子機器之實施形態所涉及 之液晶投影機之構成的截面圖。 【主要元件符號說明】
1 0 : TFT陣列基板 9a :畫素電極 1 0 a :畫像顯示區域 20 :對向基板 21 :對向電極 5 〇 :液晶層 52、52a:密封材 53 :框緣遮光膜 1 0 1、1 0 1 a〜1 0 1 d :資料線驅動電路 102、102a〜102d:外部連接端子 1 0 3 a〜1 0 3 d :配線 1 〇 4 :掃描線驅動電路 1 〇 5 :配線 106 :上下導通端子 1 10 :撓性印刷電路（FPC ) 200〜202:突出部 1 5 0〜1 5 3 :封口鑄模材 L0、LI 1、L12 :(突出部的）寬度 -30-
Claims (1)
1310540 (1) 十、申請專利範圍 . 1.一種光電裝置，其特徵爲：具備有 以特定間隔互相相向，且由平面觀看至少在一邊，一 方的基板是比另一方基板突出的一對基板； 被設置在上述一方基板的顯示用電極； 供以驅動上述顯示用電極，被設置在上述一方基板的 電路部； φ 自用以驅動上述電路部及上述顯示用電極之配線中之 至少一方，各被導出至上述一方基板中在上述一邊突出而 所構成之突出部的多數導出配線； 各被連接於該多數導出配線，且由平面觀看至少與上 述多數導出配線部分性重疊地被設置在上述突出部中與上 述另一方基板相向之側的表面上的多數外部連接端子。 2.如申請專利範圍第1項所記載之光電裝置，其中， 上述外部連接端子及上述導出配線是層間絕緣膜介於中間 Φ 而被疊層， 上述外部連接端子是包含與構成上述電路部之第1導 電膜相同的膜， 上述導出配線是包含與構成上述電路部之第2導電膜 相同的膜。 3 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之光電裝置 ’其中’上述多數外部連接端子是被配列於沿著上述一邊 之方向’上述多數導出配線是各延伸於沿著上述一邊之方 向’並且與外部連接端子中和沿著上述一邊之方向交叉之 -31 · (2) 1310540 方向中的邊緣部連接。 4. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之光電裝置 ，其中，上述多數外部連接端子是被配列於沿著上述一邊 之方向，上述多數導出配線是各延伸於沿著上述一邊之方 向，並且在平面觀看與上述外部連接端子交叉之區域’與 上述外部連接端子連接。 5. —種光電裝置’其特徵爲：具備有 以特定間隔互相相向’且由平面觀看至少在一邊’一 方的基板是比另一方基板突出的一對基板； 被設置在上述一方基板的顯示用電極； 供以驅動上述顯示用電極，被設置在上述一方基板的 電路部： 自用以驅動上述電路部及上述顯示用電極之配線中之 至少一方，各被導出至上述一方基板中在上述一邊突出而 所構成之突出部的多數導出配線； 各被連接於該多數導出配線，且由平面觀看至少與上 述電路部部分性重疊地被設置在上述突出部中與上述另一 方基板相向之側的表面上的多數外部連接端子。 6. 如申請專利範圍第5項所記載之光電裝置，其中， 上述電路部是與上述多數外部連接端子中供給畫像訊號之 端子電性連接，並且包含有接受上述畫像訊號之供給而被 驅動之驅動電路，該驅動電路之至少一部分是被設置成由 平面觀看與上述外部連接端子重疊。 7. 如申請專利範圍第5項或第6項所記載之光電裝置 -32- (3) 1310540 ’其中，上述外部連接端子和上述電路部之一部分是層間 . 絕緣膜介於中間而被疊層，上述外部連接端子是包含與構 成上述電路部之第1導電膜相同的膜。 8. 如申請專利範圍第丨項、第2項、第5項、第6項 所記載之光電裝置，其中，又具備有使上述一對基板間形 成內部空間地貼合上述一對基板之互相相向之面之邊緣的 密封材’和被收容於上述內部空間的光電物質，上述顯示 # 用電極及上述電路部之一部分是面對於上述內部空間而被 配置。 9. 一種電子機器’其特徵爲：具備有如申請專利範圍 第1項至第8項中之任一項所記載之光電裝置。
-33-
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