CN1773334A - 电光装置和电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于缩小液晶装置等的电光装置的基板尺寸。具备以指定间隔相对的并且平面看在至少一边上一方的基板(10)比另一方的基板(20)伸出的一对基板。在一方的基板上设置了驱动显示用电极的电路部，在由在上述一边伸出而形成的伸出部(201)的与另一方的基板相对的一侧的面上设置了通过引出布线(103a)与电路部电连接的多个外部连接端子(102a)。外部连接端子按照平面看与引出布线至少部分地重叠的方式设置。

Description

电光装置和电子设备
技术领域
本发明涉及例如液晶装置等的电光装置和具备该电光装置的例如液晶投影机等的电子设备的技术领域。
背景技术
在这种电光装置中，设置了显示用电极和用于驱动它的电路部的基板与对置基板夹着液晶等电光物质而相对配置。具体地说，以指定间隔使这些基板相对，并在用密封部件将其相对面的周缘粘合而形成内部空间内封入了电光物质。
设置了显示用电极的一方的基板，平面看其一边伸出对置基板，在该伸出的部分(以下称为伸出部)上设置有外部连接端子。外部连接端子按照与从电路部等引出的布线连接并且表面向外部露出以能够外部输入信号或电源的方式设置。除此之外，与图像信号供给用的外部连接端子连接的驱动电路通常也设置在该伸出部上。
对此，例如专利文献1所述，如果采用将驱动电路配置在内部空间而在伸出部上仅设置外部连接端子的装置结构，则能够缩短伸出部的宽度而能够实现基板尺寸的缩小。
专利文献1：特开平9-113906号公报。
然而，在实际的电光装置中，难以在内部空间内设置配置驱动电路并从驱动电路引出布线的空间。此外，即使在假定在伸出部上只设置外部连接端子的情况下，由于与外部连接端子连接的引出布线的至少一部分要配置在伸出部上，所以为了缩小伸出部的宽度，往往还要考虑到这些外部连接端子和引出布线的布局。
发明内容
本发明就是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供能够缩小基板尺寸的电光装置和具备这样的电光装置而构成的电子设备。
为了解决上述问题，本发明的第1电光装置，具备：以指定间隔相对的并且平面看在至少一边上一方的基板比另一方的基板伸出的一对基板；设置在上述一方的基板上的显示用电极；为了驱动上述显示用电极而设置在上述一方的基板上的电路部；在用于驱动上述电路部和上述显示用电极的布线之中，从至少一方分别引出到上述一方的基板之中的在上述一边伸出而形成的伸出部的多条引出布线；以及分别与该多条引出布线连接的以平面看与上述多条引出布线至少部分地重叠的方式设置在上述伸出部的与上述另一方的基板相对的一侧的面上的多个外部连接端子。
按照本发明的第1电光装置，则在至少一边上一方的基板比另一方的基板伸出的一对基板以指定间隔相对。在一对基板之中的比另一方伸出的基板上，构成有例如扫描线、数据线等的布线或薄膜晶体管(Thin FilmTransistor，以下适当地称为“TFT”)等的电子元件、以及由数据线驱动电路或扫描线驱动电路等驱动显示用电极的电路部，并在其上层侧形成有显示用电极。
此外，在该基板之中的上述一边，在从另一方的基板伸出的伸出部上设置有与电路部电连接的外部连接端子。外部连接端子，沿着例如伸出部的外缘排列有多个，并分别与从电路部或显示用电极引出的引出布线连接。引出布线通常引绕到排列了外部连接端子的区域以外的区域上。
对此，在本发明的伸出部上，平面看外部连接端子与引出布线按照至少部分地重叠的方式(即，在伸出部上立体地配置)配置。这样的结构，例如能够实现使引出布线与外部连接端子的至少一部分在通过接触孔等导通的同时隔着层间绝缘膜而叠层。在这种情况下，成为布线或端子的导电膜可以2层或2层以上地进行叠层，各层的导电膜可以是单层膜或多层膜的任意一种。
通过这样地设计布局，能够缩小伸出部在伸出方向上的宽度。因此，通过缩小基板尺寸而能够实现电光装置的省空间化。此外，特别是通过缩小基板尺寸而能够增加由1块晶片制造的电光装置的数量，从而对于制造成本的降低和制造效率的提高将发挥巨大的效果。例如，即使1块电光装置的缩小量是1mm左右比较小，但由于在同一晶片上将其排列从数块到数十块或数百块，所以会出现在同一晶片上多余地制作出1行或多行的电光装置的情况。因此，在实际中是明显有利的。
在本发明的第1电光装置的一种方式中，上述外部连接端子和上述引出布线隔着层间绝缘膜进行叠层，上述外部连接端子包括与构成上述电路部的第1导电膜相同的膜，上述引出布线包括与构成上述电路部的第2导电膜相同的膜。
按照这种方式，通过外部连接端子与引出布线隔着层间绝缘膜进行叠层并利用相互不同的导电膜形成，能够构成为平面看相互重叠并且在由接触孔等连接的部位以外没有进行电导通。
此外，由于外部连接端子和引出布线作为与构成电路部的导电膜相同的膜形成，或包括这样的与导电膜相同的膜而形成，所以不必与电路部分开而另外地设置外部连接端子和引出布线的叠层结构。因此，能够简化基板上的结构而能够比较容易地形成。另外，作为导电膜的材料，可以最佳地使用例如低电阻的铝(Al)。
在本发明的第1电光装置的另一种方式中，上述多个外部连接端子排列在沿着上述一边的方向上，上述多条引出布线，分别地在沿着上述一边的方向上延伸并且连接到上述外部连接端子之中的与沿着上述一边的方向进行交叉的方向的边缘部上。
按照这种方式，由于在多个外部连接端子的排列方向上伸出多条引出布线，所以外部连接端子与引出布线进行立体交叉。两者在外部连接端子之中的与沿着上述一边的方向进行交叉的方向(即，外部连接端子的外缘侧或内缘侧的边缘部)的边缘部通过例如接触孔进行连接。在这样的布局中，能够在外部连接端子的形成区域内效率良好地配置引出布线。此外，由于引出布线在距自身延伸的区域远的区域与外部连接端子进行连接，所以能够防止例如由于接触孔的形成位置的误差等而导致错误地使外部连接端子和与作为连接对象的布线相邻的布线导通。因此，能够以高的可靠性制造本方式的电光装置。
或者，在另一种方式中，上述多个外部连接端子排列在沿着上述一边的方向上，上述多条引出布线，分别地在沿着上述一边的方向上延伸并且在平面看与上述外部连接端子交叉的区域中与上述外部连接端子进行连接。
按照这种方式，则多个外部连接端子与多条引出布线，在平面看相互交叉的区域中通过例如接触孔进行连接。在这样的布局中，由于能够效率良好地在外部连接端子的形成区域内配置引出布线并且引出布线在自身延伸的区域与外部连接端子进行连接，所以不必另外地设置用于形成接触孔的区域，从而能够减小引出布线和外部连接端子的配置空间。因此，本方式的电光装置，能够进一步缩小伸出部在伸出的方向上的宽度，从而能够进一步缩小基板尺寸。
为了解决上述问题，本发明的第2电光装置，具备：以指定间隔相对的并且平面看在至少一边上一方的基板比另一方的基板伸出的一对基板；设置在上述一方的基板上的显示用电极；为了驱动上述显示用电极而设置在上述一方的基板上的电路部；从用于驱动上述电路部和上述显示用电极的布线之中的至少一方，分别引出到上述一方的基板之中的在上述一边伸出而形成的伸出部的多条引出布线；以及分别与该多条引出布线连接的以平面看与上述电路部至少部分地重叠的方式设置在上述伸出部的与上述另一方的基板相对的一侧的面上的多个外部连接端子。
按照本发明的第2电光装置，则在伸出部上，按照平面看至少部地重叠的方式配置了电路部和外部连接端子。这样的结构，例如能够通过隔着层间绝缘膜使电路部和外部连接端子的至少一部叠层来实现。在这种情况下，构成电路部或端子的导电膜，可以2层或2层以上地进行叠层，各层的导电膜可以是单层膜或多层膜中的任意一种。
通过这样地设计布局，能够缩小伸出部在伸出方向上的宽度，从而通过缩小基板尺寸而能够获得与上述第1电光装置同样的效果。
在本发明的第2电光装置的一种方式中，上述电路部，包括与上述多个外部连接端子之中的供给图像信号的端子电连接并且接收上述图像信号的供给而被驱动的驱动电路，上述外部连接端子与上述驱动电路至少部分地重叠。
按照这种方式，则驱动电路、即所谓的数据线驱动电路，按照平面看与外部连接端子至少部分地重叠的方式配置。数据线驱动电路，通常被设置成沿着上述一边进行延伸，并在两端，为了输入图像信号而通过引出布线与多个外部连接端子进行连接。因此，由于在周边需要引绕多条引出布线的区域，所以多数情况下数据线驱动电路与外部连接端子一起设置在空间上的限制小的伸出部上。在这种情况下，通常由于外部连接端子与数据线驱动电路被设置在同一平面上，所以伸出部的宽度与数据线驱动电路的尺寸形状等对应地被扩大。
对此，在本方式中，由于设置在伸出部上的数据线驱动电路全体或至少一部分与外部连接端子设置在相同的空间内，所以相应地缩小了伸出部的宽度，从而能够效率良好地实现电光装置的省空间化或小型化。
在本发明的第2电光装置的另一种方式中，上述外部连接端子与上述电路部的一部分隔着层间绝缘膜进行叠层，上述外部连接端子包括与构成上述电路部的第1导电膜相同的膜。
按照这种方式，通过外部连接端子与电路部分别隔着层间绝缘膜进行叠层，能够构成为平面看相互重叠但不会电导通。此外，由于外部连接端子，作为与构成电路部的导电膜相同的膜形成，或包含这样的与导电膜相同的膜而形成，所以能够简化基板上的结构而能够比较容易地形成。另外，作为导电膜的材料，可以最佳地使用例如低电阻的铝(Al)。
在本发明的第1和第2电光装置的另一种方式中，还具备以在上述一对基板间形成内部空间的方式将上述一对基板的相对的面的周缘粘合的密封部件、以及被收容在上述内部空间内的电光物质；其中，上述显示用电极和上述电路部的一部分面向上述内部空间配置。
按照这种方式，通过在构成电光装置的一对基板之间将两基板的相对的面的周缘用密封部件进行密封而构成内部空间，伸出部从该周缘伸出。并在内部空间内封入了液晶等的电光物质。为了使电光物质动作，显示用电极面向内部空间配置。此外，电路部的一部，例如扫描线、数据线和TFT等的布线或元件、扫描线驱动电路等的一部分的驱动电路，与显示用电极一起设置在面向内部空间的区域上。因此，能够将伸出部的几乎整个区域作为用于形成外部连接端子的区域来利用。
为了解决上述问题，本发明的电子设备，具备上述的本发明的电光装置(其中包括其各种方式)。
按照本发明的电子设备，由于具备上述的本发明的电光装置，所以能够实现省空间化或小型化的投影型显示装置、液晶电视、移动电话、电子记事簿、文字处理机、取景器式或监视器直视式的视频录像机、工作站、电视电话、POS终端、触摸面板等的各种电子设备。此外，作为本发明的电子设备，还能够实现例如电子页面等的电泳装置等。
本发明的这样的作用和其它的优点，通过下面说明的实施例将会了解。
附图说明
图1是表示本发明的实施例1的液晶装置的结构的平面图。
图2是图1所示的液晶装置的I-I’线的剖面图。
图3是表示实施例1的液晶装置的比较例的平面图。
图4是表示实施例1的液晶装置的主要部分的结构的平面图。
图5是图4所示的伸出部的A-A’线的剖面图。
图6是表示实施例1的液晶装置的图像显示区域的等效电路的模式图。
图7是表示实施例1的液晶装置的图像显示区域的结构的平面图。
图8是表示实施例1的液晶装置的图像显示区域的结构的剖面图，(a)是图7的II-II’线的剖面图，(b)是图7的III-III’线的剖面图。
图9是表示实施例1的液晶装置的变形例的平面图。
图10是图9所示的伸出部的B-B’线的剖面图。
图11是表示实施例2的液晶装置的结构的平面图。
图12是表示实施例2的液晶装置的主要部分的结构的平面图。
图13是图12所示的伸出部的C-C’线的剖面图。
图14是表示实施例2的液晶装置的变形例的平面图。
图15是表示本发明的电子设备的实施例的液晶投影机的结构的剖面图。
标记说明
10-TFT阵列基板，9a-像素电极，10a-图像显示区域，20-对置基板，21-对置电极，50-液晶层，52、52a-密封部件，53-框遮光膜，101、101a～101d-数据线驱动电路，102、102a～102d-外部连接端子，103a～103d-布线，104-扫描线驱动电路，105-布线，106-上下导通端子，110-柔性印刷电路(FPC)，200～202-伸出部，150～153-密封模铸部件(封止モ一ルド材)，L0、L11、L12-(伸出部的)宽度。
具体实施方式
下面，根据附图说明本发明的实施例。
1.电光装置的实施例
参见图11～图13对本发明的电光装置的实施例进行说明。另外，以下的实施例是将本发明的电光装置应用于液晶装置的实施例。
1-1.实施例1
参见图1～图7对本发明的实施例1的液晶装置进行说明。
1-1-1.液晶装置的概要结构
首先，参见图1～图3对该液晶装置的概要结构进行说明。图1是表示本实施例的液晶装置的结构的平面图，图2表示图1的I-I’线剖面。图3表示本实施例的液晶装置的比较例。
在图1和图2中，在液晶装置100中，以指定间隔使对置基板20与TFT阵列基板10相对，并用密封部件52a将两基板的相对的面的周缘粘合而形成内部空间。在TFT阵列基板10上具有平面看从对置基板20伸出的伸出部201，密封部件52a对于该伸出部201延伸的边上的指定位置(在此为该边的两端)规定通往内部空间的开口。并且，由从开口向内部空间注入的液晶构成液晶层50，开口分别利用密封模铸部件151a和151b密封。沿密封部件52a的内缘设置的框遮光膜53规定显示图像的图像显示区域10a。
在TFT阵列基板10的相对面(图2中的上表面)内的图像显示区域10a中，在像素开关用TFT或扫描线、数据线等的布线的上层设置了作为本发明的“显示用电极”的一例的像素电极9a。并且，在像素电极9a正上面形成了取向膜。在对置基板20的相对面(图2中的下表面)上隔着条状的遮光膜23形成了对置电极21，并在其上层形成有取向膜。此外，在对置基板20的角部的至少1处(在此全部为4处)设置有使其与TFT阵列基板10之间电导通的上下导通端子106。液晶层50的液晶的取向状态虽然会与施加在像素电极9a与对置电极21之间的电场对应地进行变化，但在未施加电场的状态下，则呈现由取向膜规定的初始取向。
在TFT阵列基板10的相对面内的框遮光膜53的形成区域上，设置有驱动扫描线的扫描线驱动电路104和布线105。在图1中，扫描线驱动电路104在框遮光膜53的左右的每条边各设置1个，布线105引绕到框遮光膜53的上边以将这2个扫描线驱动电路104的相互间连接。
在TFT阵列基板10的伸出部201上，作为本发明的“驱动电路”的一个具体例子，在图1中，沿着密封部件52a的下边配置了驱动数据线的数据线驱动电路101a。而平面看，数据线驱动电路101a的上半部分设置成与密封部件52a重叠。此外，其下半部分，在两端分别重叠了从密封模铸部件151a和151b的开口伸出的部分。
另外，在本实施例中，包括TFT等的电子元件或扫描线以及数据线等的布线、扫描线驱动电路104或数据线驱动电路101a的TFT阵列基板10上的全部电路与本发明的“电路部”的具体例相对应。此外，在伸出部201上，除了数据线驱动电路101之外，也可以形成以指定的定时向多条数据线施加图像信号的采样电路、先于图像信号向多条数据线分别供给指定电压电平的预充电信号的预充电电路、用于对制造过程中或出厂时的液晶装置100的质量、缺陷等进行检查的检查电路等。
此外，在本实施例中，平面看，在伸出部201上多条引出布线103a的至少一部分设置成与外部连接端子102a重叠。具体情况将在后边说明，在该液晶装置100中，形成了外部连接端子102a的层与形成了引出布线103a的层隔着例如层间绝缘膜进行叠层，外部连接端子102a的形成区域与引出布线103a的形成区域至少一部重叠。成为布线或端子的导电膜可以2层或2层以上地进行叠层，各层的导电膜也可以是单层膜或多层膜的任意一种。
这些外部连接端子102a，是为了从通过FPC110连接的外部电路向液晶装置100内供给电源或信号而设置的，它们分别通过引出布线103a与扫描线驱动电路104或数据线驱动电路101a等的驱动电路适当地连接。在液晶装置100中，根据从外部输入到这些外部连接端子102a的信号驱动像素电极9a而显示图像。其中，数据线驱动电路101a在伸出部201侧的两端通过引出布线103a与多个外部连接端子102a连接。
如图3所示，在本实施例的比较例的液晶装置中，以平面看相互不重叠的方式在例如同一平面上配置外部连接端子102与引出布线103。此外，由于外部连接端子102必须与FPC110连接，所以为了防止在其上重叠密封模铸部件150而需要使其一定程度地离开密封模铸部件150。其结果，伸出部200产生了具有指定的宽度L0的仅能够配置数据线驱动电路101整体的空间。
对此，在本实施例的液晶装置100中，如以上的说明，由于将外部连接端子102a与引出布线103a的至少一部分以平面看重叠的方式进行了配置，所以能够实现省空间化。特别是，其中由于外部连接端子102a沿着伸出部201的外缘排列，所以能够与通常相比缩短伸出部201的伸出方向上的宽度L11。
另外，其中由于设计成将外部连接端子102a配置在密封模铸部件151a与密封模铸部件151b之间的区域，所以外部连接端子102a可以相对于密封模铸部件151a和151b不形成间隔。此外，在图1中，通过在配置了密封部件52a的区域上设置数据线驱动电路101a的上半部分，能够将外部连接端子102a的位置向上侧提升。以上的结果是能够使伸出部201的宽度L11与比较例中的伸出部200的宽度L0相比缩短。
因此，本实施例的液晶装置100能够实现省空间化，从而能够给应用该液晶装置的电子设备提供高的设计自由度。此外，能够增加由1块晶片制造的电光装置的数量，从而对于提高制造效率和降低制造成本发挥巨大的效果。即，即使1个液晶装置100的伸出部210的缩小宽度例如很微小，但由于通常在晶片上以数百到数千个为单位形成与上述TFT阵列基板10对应的区域，而且要生产多块这样的晶片，所以在制造上是极其有效的。
此外，其中由于设计成在图1的密封部件52a乃至对置基板20的下边，在两端部上配置开口以及密封模铸部件150a和150b中的每一个，并且将外部连接端子102a配置在中央部，所以即使从中央部左右分开地引绕引出布线103a，在左右也能够使布线长度大致相等，从而不会产生左右的信号延迟等的问题。此外，由于开口被限定在左右两端，所以能够效率良好地且均匀地向内部空间注入液晶。
1-1-2.伸出部的结构
下面，参见图4～图7详细地对液晶装置100的伸出部210的具体结构进行说明。图4放大地表示本实施例的液晶装置的伸出部的主要部分，图5表示图4的A-A’线剖面。图6表示在本实施例的液晶装置的图像显示区域中构成像素部的等效电路。图7和图8是表示像素部的结构的平面图和剖面图。另外，图8的(a)表示图7的II-II’线剖面，(b)表示图7的III-III’线剖面。此外，在图8中，为了使各层·各部件达到能够识别程度的大小，适当地改变了这些各层·各部件的缩放比例。
在图4中，多个外部连接端子102a排列在一个方向上，多条引出布线103a中的每一条在外部连接端子102a的排列方向上延伸并且通过接触孔20a与外部连接端子102a连接。在各个外部连接端子102a的外缘上设置了多个接触孔20a。另外，这样的接触孔的全部或一部分也可以设置在各个外部连接端子102a的内缘侧。
在这样的布局中，由于引出布线103a在距离自身延伸的区域远的区域与外部连接端子102a进行连接，所以能够防止例如由于接触孔20a的形成位置的误差等而导致错误地使外部连接端子102a和与连接对象的引出布线103a相邻地延伸的引出布线103a导通。因此，能够以高的可靠性制造该液晶装置100。
在图5中，这样的外部连接端子102a与引出布线103a隔着层间绝缘膜43进行叠层。此外，接触孔20a形成为贯通该层间绝缘膜43。引出布线103a，这样地通过接触孔20a与所期望的外部连接端子102a连接并且通过层间绝缘膜43与除此之外的外部连接端子102a进行绝缘，从而平面看与外部连接端子102a重叠。
其中，在TFT阵列基板10上，基底绝缘膜12、层间绝缘膜41～44按该顺序进行叠层，在层间绝缘膜42上设置了引出布线103a，在其上的层间绝缘膜43上设置了外部连接端子102a。其中，引出布线103a和外部连接端子102a都由铝层40A和氮化钛层40TN这2层构成，并且从部分地除去外部连接端子102a的露出面D(图4中的外部连接端子102a的斜线区域)、层间绝缘膜44和氮化钛层40TN而形成的开口对于外表露出。这样的叠层构造是以TFT阵列基板10上的图像显示区域10a的叠层结构为基础构成的。在下面对图像显示区域10a的叠层结构进行说明。
1-1-3.图像显示区域的结构
在图6中，在图像显示区域10a中，多条扫描线11a和多条数据线6a相交叉地进行排列，在其线间构成由扫描线11a和数据线6a的各一条选择的像素部。各个像素部包括TFT30、像素电极9a和存储电容70。TFT30是为将从数据线6a供给的图像信号S1、S2、…、Sn施加给选择像素而设置的，栅极与扫描线11a连接，源极与数据线6a连接，漏极与像素电极9a连接。在像素电极9a与后述的对置电极21之间形成液晶电容，从而成为在一定期间保持输入的图像信号S1、S2、…、Sn。即，由像素电极9a划定每个像素部的开口区域。存储电容70的一方的电极和像素电极9a并列地与TFT30的漏极进行连接，另一方的电极则与电位固定的电容布线400连接而成为恒定电位。
液晶装置100采用例如TFT有源矩阵驱动方式，按照线顺序从扫描线驱动电路104(参见图1)向各条扫描线11a施加扫描信号G1、G2、…、Gm，并且对于由此TFT30成为ON状态的水平方向的选择像素部的列，通过数据线6a施加来自数据线驱动电路101(参见图1)的图像信号S1、S2、…、Sn。其结果，向与选择像素对应的像素电极9a供给图像信号。由于TFT阵列基板10隔着液晶层50与对置基板20相对配置(参见图2)，所以通过这样地以每个像素部的方式向液晶层50施加电场，而以每个像素的方式控制两基板间的透过光量，按灰度级显示图像。这时，保持于各个像素部的图像信号，利用存储电容70防止泄漏。
在图7和图8中，上述的像素部的各个电路要素被图形化而作为叠层的导电膜构筑于TFT阵列基板10上。本实施例的TFT阵列基板10由石英基板构成，其与由玻璃基板或石英基板等构成的对置基板20相对配置。此外，各个电路要素按照从下面开始的顺序依次由包括扫描线11a的第1层、包括栅电极3a的第2层、包括存储电容70的固定电位侧电容电极的第3层、包括数据线6a等的第4层、包括电容布线400等的第5层、以及包括像素电极9a等的第6层构成。此外，分别地在第1层-第2层间设置有基底绝缘膜12、在第2层-第3层间设置有第1层间绝缘膜41、在第3层-第4层间设置有第2层间绝缘膜42、在第4层-第5层间设置有第3层间绝缘膜43、以及在第5层-第6层间设置有第4层间绝缘膜44，从而防止了上述的各个要素间的短路。
(第1层的结构—扫描线等)
第1层由扫描线11a构成。扫描线11a被图形化为由沿着图7的X方向延伸的本线部、以及在数据线6a或电容布线400所延伸的图7的Y方向上延伸的突出部构成。这样的扫描线11a由例如导电性多晶硅构成，除此之外也可以由包含钛(Ti)、铬(Cr)、钨(W)、钽(Ta)和钼(Mo)等的高熔点金属之中的至少一种的金属单体；合金；金属硅化物；聚硅化物或它们的叠层体形成。即，本实施例的扫描线11a，通过尽可能地覆盖开口区域之间的区域也作为从下侧对TFT30进行遮光的遮光膜发挥作用。
(第2层的结构-TFT等)
第2层由TFT30和中继电极719构成。TFT30采用例如LDD(LightlyDoped Drain)结构，具备：栅电极3a、半导体层1a、使栅电极3a与半导体层1a绝缘的栅极绝缘膜2。栅极绝缘膜2由例如HTO(High TemperatureOxide)或热氧化的硅氧化膜构成。栅电极3a由例如导电性多晶硅形成。半导体层1a由例如多晶硅构成，由沟道区域1a’、低浓度源区域1b和低浓度漏区域1c、以及高浓度源区域1d和高浓度漏区域1e构成。中继电极719形成为与例如栅电极3a同一膜。
TFT30的栅电极3a通过在基底绝缘膜12上形成的接触孔12cv与扫描线11a电连接。基底绝缘膜12由例如HTO等的硅氧化膜或NSG(非硅酸盐玻璃)膜构成，其除了对第1层与第2层的层间进行绝缘之外，还通过形成在TFT阵列基板10的整个面上而具有防止由于基板表面的研磨而形成的粗糙或污物等而导致TFT30的元件特性的改变的功能。
(第3层的结构—存储电容等)
第3层由存储电容70构成。存储电容70形成电容电极300与下部电极71以电介质膜75介于中间而相对配置的结构。其中，电容电极300通过接触孔801、803以及电容布线用中继层6a1与电容布线400电连接。下部电极71与高浓度漏区域1e通过在第1层间绝缘膜41上开孔的接触孔83连接。此外，下部电极71与像素电极9a利用接触孔881、882、804和中继电极719、第2中继电极6a2、第3中继电极402对各层进行中继，并在接触孔89中电连接。
电容电极300，由含有例如Ti、Cr、W、Ta、Mo等的高熔点金属之中的至少一种的金属单体；合金；金属硅化物；以及由聚硅化物构成的单层或多层膜，优选地由钨硅化物构成，其具有遮挡从图8的上侧向TFT30入射的光的功能。下部电极71使用例如导电性的多晶硅。电介质膜75由例如膜厚约为5～200nm左右的比较薄的HTO膜、LTO(Low TemperatureOxide)膜等的氧化硅膜、或氮化硅膜等构成，
此外，第1层间绝缘膜41由例如NSG形成。除此之外，第1层间绝缘膜41可以使用PSG(磷硅酸盐玻璃)、BSG(硼硅酸盐玻璃)、BPSG(硼磷硅酸盐玻璃)等的硅酸盐玻璃、以及氮化硅或氧化硅等。
(第4层的结构—数据线等)
第4层由数据线6a、电容布线用中继层6a1以及第2中继电极6a2构成。数据线6a由铝膜、氮化钛膜这2层构成，并由氮化硅膜覆盖表面。数据线6a通过贯通第1层间绝缘膜41和第2层间绝缘膜42的接触孔81与TFT30的高浓度源区域1d电连接。此外，作为与数据线6a相同的膜(同一膜)而形成了电容布线用中继层6a1和第2中继电极6a2。
此外，第2层间绝缘膜42由例如NSG构成，除此之外，可以由PSG、BSG、BPSG等的硅酸盐玻璃、以及氮化硅或氧化硅等形成。
(第5层的结构-电容布线等)
第5层由电容布线400和第3中继电极402构成。电容布线400一直延伸到图像显示区域10a的周围，其与向周边驱动电路供给的电源或通过上下导通端子向对置基板供给的对置电极电位等的恒定电位源进行电连接而成为固定电位。此外，电容布线400通过在第3层间绝缘膜43上开孔的接触孔803与电容布线用中继层6a1电连接。这样的电容布线400形成了将例如铝膜、氮化钛膜叠层的二层结构。
如图7所示，电容布线400形成为在X方向、Y方向上延伸的网格状，在X方向上延伸的部分上，为了确保第3中继电极402的形成区域而设置有切口部。此外，电容布线400作为遮光膜发挥作用，其按照覆盖下层的数据线6a、扫描线11a、TFT30等的方式形成为比这些电路要素的宽度更宽，从而形成最终规定非开口区域的形状。此外，在第5层上作为与电容布线400相同的膜形成了第3中继电极402。
在第5层之下，整个面地形成有第3层间绝缘膜43。第3层间绝缘膜43可以由例如NSG、PSG、BSG、BPSG等的硅酸盐玻璃、氮化硅或氧化硅等形成。此外，为了使第3层间绝缘膜43的表面平坦化，可以利用CMP(Chemical Mechanical Polishing)等进行研磨，也可以利用SOG(Spin OnGlass)等形成平坦化膜。通过平坦化能够防止由于布线间的台阶而导致产生裂纹。
(第6层的结构-像素电极等)
在第5层的整个面上形成了第4层间绝缘膜44，并在其上作为第6层形成了像素电极9a。在第4层间绝缘膜44上用于将像素电极9a-第3中继电极402间电连接的接触孔89形成开孔。这样的第4层间绝缘膜44可以由例如NSG、PSG、BSG、BPSG等的硅酸盐玻璃、氮化硅或氧化硅等形成。此外，为了使第4层间绝缘膜44的表面平坦化，可以利用CMP等进行研磨，也可以利用SOG等形成平坦化膜。通过平坦化能够防止由于布线间的台阶而导致产生裂纹。
像素电极9a(图7中，由虚线9a’表示轮廓)，与纵横地划分排列的各个像素区域大致对应地配置。这样的像素电极9a由例如ITO(IndiumTin Oxide)等的透明导电膜构成。此外，在像素电极9a上形成有取向膜16。以上是TFT阵列基板10侧的像素部的结构。
另外，在对置基板20上，在其相对面的整个面上形成有对置电极21，进而在其上(在图8中为对置电极21的下侧)设置有取向膜22。对置电极21与像素电极9a同样，由例如ITO膜等的透明导电性膜构成。在对置基板20与对置电极21之间，为了防止TFT30的光泄漏的发生等，设置了遮光膜23以覆盖至少与TFT30正对的区域。
在本实施例中，在这样的图像显示区域10a的叠层结构的延长的基础上形成了伸出部201。即，在伸出部201上，引出布线103a作为与数据线6a等相同的膜在第4层上形成，外部连接端子102a作为与电容布线400等同一膜在第5层上形成(参见图5和图8)。为此，就不必与图像显示区域10a的叠层结构分开地另外设置隔着层间绝缘膜将图5所示的引出布线103a和外部连接端子102a叠层的结构。因此，能够简化TFT阵列基板10上的结构而能够比较容易地形成。
此外，其中，由于第4层和第5层都含有铝，所以当然数据线6a、电容布线400、以及引出布线103a和外部连接端子102a构成为低电阻。另外，通过使第4层和第5层位于需要进行热处理的存储电容70或TFT30的上层，能够使用耐热性低的铝。其中，通过在图像显示区域10a的叠层结构之中的第4层和第5层上设置引出布线103a和外部连接端子102a的各个，能够实现布线的低电阻化和容易地形成外部连接端子102a的露出面D。
1-2.变形例
下面，参见图9和图10对实施例1的变形例的液晶装置进行说明。图9放大表示实施例1的变形例的液晶装置之中的伸出部的主要部分，图10表示图9的B-B’线剖面。
本发明的外部连接端子和引出布线，只要平面看按照至少部分地重叠的方式配置即可，其布局除了上述实施例中所说明的情况以外，能够进行各种的变形实施。
在图9中，作为这样的一个例子，多个外部连接端子102b排列在一个方向上，并通过接触孔20b与引出布线103b连接。接触孔20b，平面看设置在多条引出布线103b与多个外部连接端子102b进行交叉的各个区域上。
在这样的布局中，由于引出布线103b在自身延伸的区域上与外部连接端子102b连接，所以不必另外地设置用于形成接触孔的区域，从而能够使引出布线和外部连接端子的配置空间比例如实施例1更小(参见图5和图10)。因此，本变形例能够进一步缩小伸出部的宽度，从而能够进一步缩小TFT阵列基板的尺寸。
1-3.实施例2
下面，参见图11～图13对实施例2的液晶装置进行说明。其中，图11表示本实施例的液晶装置的概要结构。图12放大表示实施例2的液晶装置之中的伸出部的主要部分，图13表示图12的C-C’线剖面。另外，由于本实施例的液晶装置100A除了伸出部内的布局有所不同之外与液晶装置100同样地构成，所以对于与液晶装置100同样的构成要素附加相同的标记并将其说明适当地进行省略。
在图11中，在液晶装置100A中，相对于沿着伸出部202的外缘排列的多个外部连接端子102c，数据线驱动电路101c和引出布线103c中的各个都以平面看部分地重叠的状态进行配置。通过这样地设计伸出部202的布局，能够缩小伸出部201的宽度L12，从而通过TFT阵列基板10的尺寸的缩小能够获得与上述的实施例1同样的效果。
在图12和图13中，放大表示了其状态。引出布线103c与实施例1的变形例同样，通过设置在与外部连接端子102c进行交叉的区域上的接触孔20c与外部连接端子102c进行连接。另一方面，引出布线103c利用设置在自身延伸的区域上的接触孔21c与数据线驱动电路101c连接。
其中，在TFT阵列基板10上的叠层构造之中，引出布线103c设置在第4层上，外部连接端子102c设置在第5层上，接触孔20c设置成贯通层间绝缘膜43。数据线驱动电路101c设置在从第1层到第5层中的至少任意一层(在图示的范围内为第2层和第4层)上，接触孔21c设置成贯通层间绝缘膜41和42。
这样，在本实施例中，由于外部连接端子102c和引出布线103c的各自，作为与构成数据线驱动电路101c或图像显示区域10a的电路部分的导电膜相同的膜形成、或包含这样的与导电膜相同的膜而形成，所以能够简化TFT阵列基板10上的结构而比较容易地形成。除此之外的作用和效果与上述实施例1是同样的，并且对于实施例2也能够进行与对于实施例1的变形同样的变形实施。
此外，在上述实施例2中，虽然设计成外部连接端子102c与引出布线103c、外部连接端子102c与数据线驱动电路101c的各自平面看进行重叠，但如图14所示，即使是相对于外部连接端子只有数据线驱动电路进行重叠的布局，也能够缩小伸出部的宽度，从而能够获得本发明的效果。
2.电子设备
下面，参见图15对将以上所说明的液晶装置应用于电子设备的情况进行说明。其中，作为本发明的电子设备的一个例子，对将上述的液晶装置作为光阀使用的投影机进行说明。图15表示该投影机的结构例。
在图15中，在投影机1100内部设置有由卤素灯等白色光源构成的灯单元1102。从该灯单元1102射出的投影光由配置在光导内的4块反射镜1106和2块分色镜1108分离成RGB这3原色，并向作为与各原色对应的光阀的液晶装置100R、100G、100B入射。液晶装置100R、100G、100B的结构与上述的液晶装置是同等的，在它们各自中调制从图像信号处理电路供给的R、G、B原色信号。由液晶装置100R、100G、100B调制的光从3个方向入射到十字分色棱镜1112上。由此，合成各色的图像并通过投影透镜1114向屏幕1120等上投影彩色图像。
另外，本发明的电光装置，除了上述的液晶装置以外，还能够作为例如有机EL装置、电子页面等的电泳装置、利用电子发射元件的显示装置(Field Emission Display和Surface-Conduction Electron-EmitterDisplay)等各种装置来实现。
此外，这样的本发明的电光装置，除了上述说明的投影机之外，还可以应用在电视接收机、取景器式或监视器直视式的视频录像机、汽车导航装置、呼机、电子记事簿、计算器、文字处理机、工作站、电视电话、POS终端、具备触摸面板的装置等各种电子设备上。
本发明并不限于上述的实施方式和实施例，在不违反权利要求的范围以及说明书全体所述的发明宗旨或思想的范围内能够适当地进行变更，而随着这样的变更而派生出的电光装置和具备它的电子设备也包括在本发明的技术范围内。

Claims (9)

1.一种电光装置，其特征在于，具备：
以指定间隔相对的并且平面看在至少一边上一方的基板比另一方的基板伸出的一对基板；
设置在上述一方的基板上的显示用电极；
为了驱动上述显示用电极而设置在上述一方的基板上的电路部；
从用于驱动上述电路部和上述显示用电极的布线之中的至少一方分别引出到在上述一方的基板之中的上述一边伸出而形成的伸出部的多条引出布线；以及
分别与该多条引出布线连接的以平面看与上述多条引出布线至少部分地重叠的方式设置在上述伸出部的与上述另一方的基板相对的一侧的面上的多个外部连接端子。
2.根据权利要求1所述的电光装置，其特征在于：
上述外部连接端子和上述引出布线隔着层间绝缘膜进行叠层；
上述外部连接端子包括与构成上述电路部的第1导电膜相同的膜；
上述引出布线包括与构成上述电路部的第2导电膜相同的膜。
3.根据权利要求1或2所述的电光装置，其特征在于：上述多个外部连接端子排列在沿着上述一边的方向上，上述多条引出布线分别地在沿着上述一边的方向上延伸并且连接到上述外部连接端子之中的与沿着上述一边的方向进行交叉的方向的边缘部上。
4.根据权利要求1或2所述的电光装置，其特征在于：上述多个外部连接端子排列在沿着上述一边的方向上，上述多条引出布线分别地在沿着上述一边的方向上延伸并且在平面看与上述外部连接端子交叉的区域中与上述外部连接端子连接。
5.一种电光装置，其特征在于，具备：
以指定间隔相对的并且平面看在至少一边上一方的基板比另一方的基板伸出的一对基板；
设置在上述一方的基板上的显示用电极；
为了驱动上述显示用电极而设置在上述一方的基板上的电路部；
从用于驱动上述电路部和上述显示用电极的布线之中的至少一方分别引出到在上述一方的基板之中的上述一边伸出而形成的伸出部的多条引出布线；以及
分别与该多条引出布线连接的以平面看与上述电路部至少部分地重叠的方式设置在上述伸出部的与上述另一方的基板相对的一侧的面上的多个外部连接端子。
6.根据权利要求5所述的电光装置，其特征在于：上述电路部，包括与上述多个外部连接端子之中的供给图像信号的端子电连接并且接收上述图像信号的供给而被驱动的驱动电路，该驱动电路的至少一部分以平面看与上述外部连接端子重叠的方式设置。
7.根据权利要求5或6所述的电光装置，其特征在于：上述外部连接端子与上述电路部的一部分隔着层间绝缘膜进行叠层，上述外部连接端子包括与构成上述电路部的第1导电膜相同的膜。
8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的电光装置，其特征在于：还具备以在上述一对基板间形成内部空间的方式将上述一对基板的相对的面的周缘粘合的密封部件、以及被收容在上述内部空间内的电光物质；其中，上述显示用电极和上述电路部的一部分面向上述内部空间配置。
9.一种电子设备，其特征在于：具备权利要求1～8中的任意一项所述的电光装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110707100A (zh) * 2019-10-16 2020-01-17 友达光电（昆山）有限公司 显示面板
WO2024092429A1 (zh) * 2022-10-31 2024-05-10 京东方科技集团股份有限公司 显示基板和显示面板和显示装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4834477B2 (ja) * 2006-07-07 2011-12-14 東芝モバイルディスプレイ株式会社 表示装置
TWI401588B (zh) * 2008-12-26 2013-07-11 Higgstec Inc 具有平行電極結構之觸控面板
JP5304536B2 (ja) * 2009-08-24 2013-10-02 ソニー株式会社 半導体装置
WO2012046624A1 (ja) * 2010-10-08 2012-04-12 シャープ株式会社 電子機器
US9472507B2 (en) * 2013-06-17 2016-10-18 Samsung Display Co., Ltd. Array substrate and organic light-emitting display including the same
KR20150019904A (ko) * 2013-08-16 2015-02-25 삼성디스플레이 주식회사 평판 표시 장치 및 그 제조 방법
JP2015230607A (ja) * 2014-06-05 2015-12-21 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置
US9933812B2 (en) * 2014-09-05 2018-04-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display panel, input/output device, and data processor
CN104880852B (zh) * 2015-06-16 2019-02-15 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09113906A (ja) 1995-10-13 1997-05-02 Sony Corp 透過型表示装置
KR19990009398A (ko) 1997-07-09 1999-02-05 구자홍 액정표시장치의 데이터 인가부의 구조
JP4034915B2 (ja) * 1999-09-22 2008-01-16 株式会社ルネサステクノロジ 半導体チップおよび液晶表示装置
JP2002189228A (ja) * 2000-09-29 2002-07-05 Seiko Epson Corp 電気光学装置及びその製造方法、並びに投射型表示装置
JP2002196699A (ja) * 2000-12-25 2002-07-12 Toshiba Corp アクティブマトリクス基板および液晶表示装置
JP3702895B2 (ja) * 2001-04-16 2005-10-05 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、その製造方法及び電子機器
JP3736513B2 (ja) * 2001-10-04 2006-01-18 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
JP2003121875A (ja) * 2001-10-09 2003-04-23 Seiko Epson Corp 素子基板装置の製造方法及び電気光学装置の製造方法並びにレチクル
JP2003161957A (ja) * 2001-11-26 2003-06-06 Toshiba Corp 液晶表示装置及びその製造方法
JP3772888B2 (ja) 2003-05-02 2006-05-10 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
JP3767607B2 (ja) * 2003-05-02 2006-04-19 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置及び電子機器
JP4072493B2 (ja) * 2003-11-14 2008-04-09 Ｎｅｃ液晶テクノロジー株式会社 基板モジュール及び液晶モジュール

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110707100A (zh) * 2019-10-16 2020-01-17 友达光电（昆山）有限公司 显示面板
WO2021072781A1 (zh) * 2019-10-16 2021-04-22 友达光电（昆山）有限公司 显示面板
WO2024092429A1 (zh) * 2022-10-31 2024-05-10 京东方科技集团股份有限公司 显示基板和显示面板和显示装置

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Publication number Publication date
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JP2006139092A (ja) 2006-06-01
CN100394263C (zh) 2008-06-11
TWI310540B (en) 2009-06-01
US20060102906A1 (en) 2006-05-18
TW200627036A (en) 2006-08-01
US7335913B2 (en) 2008-02-26
KR20060052276A (ko) 2006-05-19

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