TWI303595B - Polishing apparatus and pad replacing method thereof - Google Patents

Description

•I3〇4J§J：tW3190PA -九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種研磨機台及其換墊方法，且特別 是有關於一種可自動更換研磨墊之研磨機台及其換墊方 法0 【先前技術】 • 隨著半導體技術的發展，更密集的線路佈局不斷發 展。在半導體製程中，越密集的線路佈局越是必須提高晶 • 圓表面之平整度，以提高微影製程之精準度。因此，化學 • 機械研磨（Chemical Mechanical Polishing，CMP)的平 坦化技術係成為半導體製程之一重要關鍵技術。 請參照第1圖，其繪示傳統之研磨機台之示意圖。研 ⑩ 磨機台900係為一倒置式化學機械研磨機台900。研磨機 台900包括一研磨頭（polishing head) 930、一承載座 960及一研磨液注入器97〇。晶圓（Wafer) 8〇〇係置放承 載座960上，研磨頭93〇係對應於晶圓8〇〇上方。一研磨 墊（polishing pad) 7〇〇係以一黏著劑黏貼於研磨頭93〇 之研磨表面930a上。研磨墊700之材質例如是聚安基 曱酸乙酯。在研磨過程中，研磨頭93〇及晶圓8〇〇係以相

J3〇3|^ ：TW3190PA 反之方向旋轉。研磨頭930施加一適當壓力F於晶圓800 上，並以研磨液注入器970注入一研磨液971於晶圓800 及研磨墊700之間，而移除晶圓800凹凸不平之表面，以 達到所需的平坦度。 在半導體製程機台中，機台的生產率（晶圓數/工作 時間）係為評估機台優劣的重要因素之一。不論是研磨速 度、晶圓置放速度或是更換研磨墊的時間皆可能影響機台

的生產率。 其中，在研磨機台900運作一段時間後，研磨墊700 將逐漸磨損。此時研磨機台900必須更換新的研磨墊700, 以繼續進行研磨製程。由於研磨墊700係以黏著劑黏貼於 研磨頭930上。因此在更換新的研磨墊700時，必須以工 具（如銼刀）完全清除研磨墊700後，才可貼附新的研磨 墊700。不僅耗費相當多的時間進行更換，更造成研磨機 台900長時間停擺。不僅使得研磨機台900整體生產率大 幅降低，更可能因此損傷研磨頭930。 此外，各種研磨墊700均具有適合的硬度及孔洞，以 搭配晶圓800表面所欲移除之物質（例如是金屬導體或介 電質）及製程條件。若晶圓800表面所欲移除之物質改變， 或者在製程條件改變時，則必須採用不同的研磨墊700。 8 .1303595

三達編號：TW3190PA ^ 然而，在更換研磨墊700之過程中，卸下的研磨墊700已 遭破壞，根本無法使用。不僅相當地浪費，更因此不適合 任意變更所欲移除之物質及製程條件，而降低研磨機台 900的製程彈性。 因此，如何研發一種研磨機台，以解決上述種種問題 實為目前研發之重要方向之一。 【發明内容】 . 有鑑於此，本發明的目的就是在提供一種研磨機台及 • 其換墊方法，其利用第一夾具及第二夾具夾持研磨墊，並 搭配換墊匣之結構設計，使得研磨機台及其換墊方法相當 地方便且具有「減少換墊時間」、「增加機台生產率」、「增 丨加研磨墊利用率」及「避免研磨頭損傷」之優點。 根據本發明之一目的，提出一種研磨機台。研磨機台 包括一第一夹具、一第二夾具及一研磨頭。第一夾具包括 一第一上夾及一第一下夹。第一上夾及第一下夾用以上下 夹持一第一研磨墊之一侧邊。第二夾具包括一第二上夾及 一第二下夹。第二上夾及第二下夾用以上下夾持第一研磨 墊之另一侧邊。其中，當第一夾具及第二夾具夾持第一研 9

TW3190PA 磨墊且套接於研磨頭之外圍時，第—研磨墊平貼於研磨頭 之一研磨表面。當第-夾具及第二夾具失持第一研磨塾且 離開研磨頭時’第一研磨塾係可滑出第一夾具及第二夾 具，並且-第二研磨塾係可滑入第一失具及第二爽具。 根據本發明另-目的，提出一種換塾方法。換塾方法 係用以更換-研磨機台之一第一研磨塾。研磨機台包括一 弟一夾具、一第二夾具及一研磨頭。第一夾具包括-第一 上夾及一第一下夾。第二夾具包括一第二上夹及一第二下 ^第一上夾及第-下夾用以上下夾持第—研磨塾之一侧 邊，第二上夾及第二下夾用以上下夾持第一研磨塾之另一 :邊。當第-夾具及第二夹具夹持第—研磨塾且套接於研 :頭之外_，第卿貼於研麵之_研磨表面， 、塾方法至少包括以下之步驟：⑷驅動第—夾具及第二 離開研磨頭；⑴判斷第一夹具及第二夹具是否夹持 研磨塾，若是則執行步驟(c)，若否則執行娜)； 帶動第—研磨塾滑出第—夾具及第二夹具；以及⑷ -一第二研磨墊滑入第一夹具及第二夹具。 為讓本發明之上述目的、特徵、和優點能更明顯易 如下文特舉-較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說 明如下： 1303595

三達編號：TW3190PA 【實施方式】 請參照第2圖，其繪示依照本發明較佳實施例之研磨 機台100的示意圖。研磨機台（polishing apparatus) 100包括一第一夾具110、一第二夾具！2〇及一研磨頭 130。第一夾具11〇包括一第一上夾及一第一下夾 112。第一上夾in及第一下夾112用以上下夾持一第一 研磨墊（polish pad) 200之一側邊（第一研磨墊2〇〇係 繪示於第3A圖及第3B圖中）。第二夾具12〇包括一第二 上夾121及一第二下夾122。第二上夾121及第二下夾122 •用以上下夾持第一研磨墊200之另一側邊。 •請參照第3A圖及第3B圖，第3A〜3B圖繪示第2圖 之研磨機台100沿截面線3-3，之剖面圖。研磨頭 (polishing head) 130具有一研磨表面130a。當第一夾 具110及第二夾具丨2〇夾持第一研磨墊2〇〇且套接於研磨 頭130之外圍時’第一研磨墊2〇〇平貼於研磨表面i3〇a。 如第3B圖所示，當第一夾具110及第二夾具120夾持第 研磨墊200且離開研磨頭Ho時，第一研磨塾200係可 滑出第一夾具110及第二夾具12〇，並且一第二研磨墊3〇〇 係可滑入第一失具110及第二夾具12Q (第二研磨墊3〇〇 繪示於第6H圖中）。 1303595

三達編號：TW3D0PA 凊參照第4圖’其、纟會示第2圖之第一夾具11 〇及第— 夾具120之分解圖。第一夾具11〇更包括數個第一滾輪 R110。此些第一滾輪R110係設置於第一上夾m及第— 下夾112之間。當此些第一滾輪Rn〇滾動時，第一研磨 墊200即藉由此些第一滾輪R110滑出於第一上夾U1及 第一下夾112之間。同理，當此些第一滾輪R110滾動時， 第二研磨墊300亦可藉由此些第一滾輪ri 滑入第一上 _ 夾及第一下夾112之間（其中第一研磨墊2〇〇係繪示 於第3A〜3B圖中，第二研磨墊300係繪示於第6H圖中）。 • 第二夾具120更包括數個第二滾輪r12〇。此些第二 滾輪R120係設置於第二上夾121及第二下夾122之間。 第一研磨墊200及第二研磨墊300係藉由此些第二滾輪 R120可順暢地滑動於第二上夾121及第二下夾122之間。 • 較佳地，此些第一滾輪ΚΠ0及第二滾輪R120平行於同一 方向，以利於順暢地滑動第一研磨墊2〇〇或第二研磨墊 300 〇 至於本發明之研磨機台100的換墊方法係以流程圖 並搭配動作圖詳細說明如下：

請參照第5圖，其繪示依照本發明之換墊方法的流程 圖。為了清楚說明本發明之換墊方法，以下更搭配第6A 12

1303^95 • TW3190PA 6K圖之動作圖說明如下。第6A〜6K圖緣示第5圖之換 墊方法之各步驟動相。首先，如第Μ圖解，當第一 夾具110及第二赤目10n丄 一 文/、丨20夾持第一研磨墊200且套接於研 磨頭13 0之外圍昧，势 — 弟一研磨墊20〇平貼於研磨表面130a。 ”接著在第5圖之步驟（a)中，如第βΒ圖所示。驅 第夹，、110及第二夾具120離開研磨頭13〇。 接著在第5圖之步驟（b)中，判斷第一夾具11〇

及第-夾具120疋否夾持第—研磨墊_，若是則執行步 驟（c)，若否則執行步驟（d)。

在第5圖之步驟（c)中，如第6C圖及第4圖所示。 將第一研磨塾200滑出第一夾具110及第二夾具120。在 本實知例中，第—夾具11G係驅動此些第-滾輪R110滾 動，以帶動第一研磨墊2〇〇滑出第一上夾⑴與第一下夹 112之間以及第二上夹121與第二下夾122之間。在第一 研磨墊200滑動的同時，第二滾輪R12〇僅需空轉即可幫 助第一研磨墊200順暢地滑動於第二上夾121及第二下夾 122之間（第一滾輪RU〇及第二滚輪R12〇係繪示於第* 圖中）。 然後，在第5圖之步驟（d)中，如第6D〜6G圖所示。 f動一弟一研磨塾300滑入第一夾具no及第二夾具12〇 13 的年利日修(襄)正替換頁 1303595

三達編號：TW3190PA (第二研磨墊300繪示於後續之第6H圖之透視圖中）。步 驟（d)更包括數個子步驟（d0)〜（d4)，在說明步驟（d) 之前，先敘明研磨機台100之細部結構，以便後續動作說 明。 請參照第6D圖，研磨機台100更包括一換墊匣140， 換墊匣140用以提供第二研磨墊300。其中，第二研磨墊 300係儲存於換墊匣140内。換墊匣140具有一匣内移動 執145，匣内移動軌145係由換墊匣140之外側底部延伸 至換墊匣140内部。第二上夾121具有二夾具移動執125, , 各匣内移動執145係連接於各夾具移動軌125，而形成一 -L形通道。 研磨機台100更包括二移動臂150，各移動臂150包 括一樞軸151、一第三滾輪R15Q及一撓性機構153。樞軸 151係設置於移動臂150之一端，移動臂150係藉由樞軸 151框接於第一夾具110,使得移動臂150係可以樞轴151 為軸心，相對第一夾具110擺動。第三滾輪R150係設置 於移動臂150之另一端，第三滾輪R150係可移動於上述 之夾具移動執125及匣内移動軌145。撓性結構153係設 置於樞軸151及第三滾輪R15 0之間，用以提供移動臂15 0 在移動過程之位移形變量。 14

130濯 ：TW3190PA 此外，第二夾具120更包括二彈性元件123，彈性元 件123係耦接於第二上夾121及該第二下夾122之間，用 以使第二上夾121及第二下夾122彈性地開啟或閉合。 其中，上述之步驟（d)係透過數個子步驟（dO)〜 (d4)以進入換墊匣140内並夾持第二研磨墊300。以下 分別以數張動作圖說明如下。 在子步驟（d0)中，如第6D圖所示。開啟第二上夾 121及第二下夾122，以使第一夾具110可穿越於第二上 夾121及第二下夾122之間。 在子步驟（dl)中，如第6E〜6G圖所示，驅動此些 移動臂150之第三滾輪R150滾動，以使移動臂150沿著 夾具移動執125及匣内移動執145滑動。並帶動第一夾具 110穿越第二夾具120，而移入換墊匣140。 請參照第6H圖，換墊匣140更包括一儲存槽141、 一拖盤142及數個第四滾輪R140。儲存槽141用以儲存第 二研磨墊300。拖盤142係設置於儲存槽141之槽底，用 以承載第二研磨墊300。此些第四滾輪R140係設置於儲存 槽141之槽頂。拖盤142之底部係以數個彈簧支撐，使得 拖盤142向上推擠第二研磨墊300接觸於第四滾輪R140。 接著，在子步驟（d2)中，如第6H圖所示。驅動此 15

mm ：TW3190PA 些第四滾輪R140滾動，以帶動第二研磨墊300滑入第一 上夾111與第一下夾112之間。當第二研磨墊300滑入第 一上夾111及第二下夾112之間時，更藉由第一夾具110 之第一滾輪R110的滾動，而使得第二研磨墊300順利的 滑入至第一夾具110的末端。 然後，在子步驟（d3)中，如第61圖所示。再以反 方向驅動此些移動臂150之第三滾輪R150滾動，以使移 動臂150沿著匣内移動軌145及夾具移動執125滑動。並 帶動第一夾具110穿越第二夾具120,而移出換墊匣140。 在子步驟（d3)中，係與子步驟（dl)之動作相反。 接著，在子步驟（d4)中，如第6J圖所示。閉合第 二上夹121及第二下夾122，以夾持第二研磨墊300。至 此，則完成步驟（d)。 _ 然後，在第5圖之步驟（e)中，如第6K圖所示。驅 動第一夾具110及第二夾具120套接於研磨頭130之外圍。 此外，請參照第7圖，其繪示第3圖之研磨機台100 之功能方塊圖。研磨機台100更包括一第一驅動單元 D110、一第二驅動單元D150、一第三驅動單元D140、一 第四驅動單元D120及一控制單元170。控制單元170係電 性連接第一驅動單元D110、第二驅動單元D150、第三驅 16 1303595

三達龜號：TW3190PA *動單元D140及第四驅動單元012〇。第一驅動單元mi〇、 第二驅動單元D150、第三驅動單元趴仙及第四驅動單元 D120例如是驅動馬達。第一驅動單元叭“用以驅動此些 第一滾輪R110，第二驅動單元D15〇用以驅動此些第三滾 輪R150，第三驅動單元D140用以驅動此些第四滾輪 R140，第四驅動單元Di2〇用以驅動第二上夾121及第二 下夾122開啟或閉合。 上在述之換墊方法中，僅需以控制單元17〇分別控制 第一驅動單元D110、第二驅動單元D150、第三驅動單元 D140及第四驅動單元D120，即可達到自動更換研磨墊之 目的。完全不需以工具移除，相當地方便。 本發明上述實施例所揭露之研磨機台及其換墊方法 係利用第一夾具及第二夾具夾持研磨墊，並搭配換墊匣之 結構設計’使得研磨機台及其換墊方法相當地方便且具有 下列優點： 第一、「減少換墊時間」：本發明之研磨機台在移除研 磨墊之過程中，不需再以工具移除研磨塾，而僅需將研磨 墊滑出第一夾具及第二夾具即可達到卸除研磨塾之目 的。並且再將新的研磨墊滑入第一夾具及第二夾具即可達 到更新研磨塾之目的。此外’更透過換塾！、第一驅動單

i3〇m TW3190PA 兀第一鶴早凡、第三驅動單元及第四驅動單元即可自 動㈣進行換•序，更節省換塾所需的時間。 ^ 9力°機台生產率」··藉由本發明之設計，僅兩 化費極短的㈣g卩可完成軸程序。因此 Γ g力11研磨塾則率」:透過本發明之的研磨播 口及/、換墊方去’當關要因情況（例如是欲移除物質或 製程條件變更）Μ要更換研耗時，研賴台所卸下之 研磨墊仍可保持完整並可 利用率，進㈣恤本 w物之 …' 避免研磨仙傷」：在本發明之換墊過程中， ^ 〃移除研磨塾，因此可避免卫具損傷研磨頭之問 、，/述雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然 其二限定本發明。本發明所屬技術領域中具有通常 知識者’在不脫離本發明 更_。因此，本發明圍内’當可作各種之 利範圍所界定者為準。〜_纽後附之申請專

：TW3190PA 【圖式簡單說明】 第1圖繪示傳統之研磨機台之示意圖； 第2圖繪示依照本發明較佳實施例之研磨機台的示 意圖， • 第3A〜3B圖繪示第2圖之如第3A圖所示，研磨機台 * 沿截面線3-3’之剖面圖； 第4圖繪示第2圖之第一夾具及第二夾具之分解圖； 參 第5圖繪示依照本發明之換墊方法的流程圖； 第6A〜6K圖繪示第5圖之換墊方法之各步驟動作 圖；以及 第7圖繪示第3圖之研磨機台之功能方塊圖。

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130 濯 ：TW3190PA ^ 【主要元件符號說明】 100 :研磨機台 110 :第一夾具 111 ··第一上夾 • 112 :第一下夾 ‘ 120 ··第二夾具 121 :第二上夾 • 122 :第二下夾 123 :彈性元件 125 :夾具移動軌 130 :研磨頭 130a :研磨表面 140 :換墊匣 141 :儲存槽 142 :拖盤 145 :匣内移動軌 150 :移動臂 151 :樞軸 153 :撓性結構 170 :控制單元

J3〇涵 ：TW3190PA 200 :第一研磨墊 300 :第二研磨墊 700 :研磨墊 800 ·晶圓 900 :研磨機台 930 :研磨頭 930a :研磨表面 ❿ 960 :承載座 970 :研磨液注入器 _ 971 :研磨液 - D110 :第一驅動單元 D120 :第四驅動單元 D140 :第三驅動單元 φ D150 :第二驅動單元 R110 :第一滾輪 R120 :第二滾輪 R140 :第四滾輪 R150 :第三滾輪 F :壓力 21

Claims (1)

1. J303595 三達編號：TW3190PA 十、申請專利範圍： 1· 一種研磨機台（polishing apparatus)，包括： 一第一夾具，包括： 一第一上夾；及 一第一下夾，該第一上夾及該第一下夾用以上 下夾持一第一研磨墊（P〇 1 i sh pad )之一側邊；及 一第二夾具，包括：

   一第二上夾；及 一第二下夾，該第二上夾及該第二下夾用以上 下夾持該第一研磨墊之另一侧邊；以及 一研磨頭（polishing head); 其中，當該第一夾具及該第二夾具夾持該第一研磨墊 且套接於該研磨頭之外圍時，該第一研磨墊平貼於該研磨 頭之一研磨表面； 當該第一夾具及該第二夾具夹持該第一研磨墊且離 開該研磨頭時，該第一研磨墊係可滑出該第一夾具及該第 二夾具，並且一第二研磨墊係可滑入該第一夾具及該第二 夾具。 2.如申請專利範圍第1項所述之研磨機台，其中該 第一夾具更包括： 22 ：TW3190PA 複數個第一滾輪，係設置於該第一上夾及該第一下夾 之間，該第一研磨墊係藉由該些第一滾輪滑出於談第一上 夾及該第一下夾之間，該第二研磨墊係藉由該些第一滾輪 滑入該第一上夾及該第一下夾之間。 3. 如申請專利範圍第2項所述之研磨機台，更包括： 一第一驅動單元，用以驅動該些第一滾輪。 4. 如申請專利範圍第1項所述之研磨機台，其中該 第二夾具更包括： 複數個第二滾輪，係設置於該第二上夾及該第二下夾 之間，該第一研磨墊及該第二研磨墊係藉由該些第二滾輪 滑動於該第二上夾及該第二下夾之間。 5. 如申請專利範圍第1項所述之研磨機台，其中該 第二上夾具有二夾具移動執，該研磨機台更包括： 一換墊匣，用以提供該第二研磨墊，該換墊匣具有二 匣内移動軌，各該匣内移動軌係連接於各該夾具移動執； 以及 二移動臂，各該移動臂係樞接於該第一夾具； 其中該些移動臂係沿著該夾具移動軌及該匣内移動 軌滑動，以帶動該第一夾具穿越該第二夾具，並移入或移 出該換墊匣 23 130通 ：TW3190PA 6·如申請專利範圍第5項所述之研磨機台，其中各 該移動臂包括： 一框轴，係設置於該移動臂之一端，該移動臂係藉由 該樞軸樞接於該第一夾具；以及 一第二滾輪，係設置於該移動臂之另一端，該移動臂 锤 係藉由該第二滾輪滑動於該夾具移動軌及該匣内移動軌。 7·如申請專利範圍第6項所述之研磨機台，更包括： 釀一第二驅動單元，用以驅動該些第三滾輪。 8·如申請專利範圍第6項所述之研磨機台，其中各 _ 該移動臂更包括： 一撓性結構，係設置於該樞軸及該第三滾輪之間，用 以提供該移動臂之位移形變量。 9·如申請專利範圍第5項所述之研磨機台，其中該 • 第二夾具更包括： 二彈性元件，係耦接於該第二上夾及該第二下夾之 間，用以使該第二上夾及該第二下夾彈性地開啟或閉合； 當該第二上夾及該第二下夾開啟時，該第一夾具係可 穿越該第二失具； 當該第二上夾及該第二下夾閉合時，該第二夾具係可 夾持該第一研磨墊或該第二研磨墊。 24 mm ：TW3190PA 10. 如申請專利範圍第5項所述之研磨機台，其中該 換墊匣更包括： 一儲存槽，用以儲存該第二研磨墊； 一拖盤，係設置於該儲存槽之槽底，用以承載該第二 研磨墊；以及 複數個第四滾輪，係設置於該儲存槽之槽頂，當該第 一夾具移入該換墊匣時，此些第四滾輪用以帶動該第二研 磨墊滑入該第一上夾及該第一下夾之間。 11. 如申請專利範圍第10項所述之研磨機台，更包 括： 一第三驅動單元，用以驅動該些第四滾輪。 12. —種換墊方法，用以更換一研磨機台之一第一研 磨墊，該研磨機台包括一第一夾具、一第二炎具及一研磨 頭，該第一夾具包括一第一上炎及一第一下夾，該第二夾 具包括一第二上夹及一第二下夾，該第一上夾及該第一下 夹用以上下夾持該第一研磨墊之一側邊，該第二上夾及該 第二下夾用以上下夾持該第一研磨墊之另一側邊，當該第 一夾具及該第二夾具夾持該第一研磨墊且套接於該研磨 頭之外圍時，該第一研磨墊平貼於該研磨頭之一研磨表 面，該換墊方法包括： 25 ：TW3190PA (a) 驅動該第一夾具及該第二夾具離開該研磨頭； (b) 判斷該第一夾具及該第二夾具是否夾持該第一 研磨墊，若是則執行步驟（C)，若否則執行步驟（d); (c) 帶動該第一研磨墊滑出該第一夾具及該第二夾 具；以及 (d) 帶動一第二研磨墊滑入該第一夾具及該第二夾 具。 參 13.如申請專利範圍第12項所述之換墊方法，其中 該研磨機台更包括一換墊匣及二移動臂，該換墊匣用以提 . 供該第二研磨墊，該換墊匣具有一匣内移動軌，該第二上 - 夾具有二夾具移動軌，各該匣内移動軌係連接於各該夾具 移動執，該步驟（d)更包括： (dl)驅動該些移動臂沿著該夾具移動軌及該匣内移 φ 動軌滑動，以帶動該第一夹具穿越該第二夾具，並移入該 換墊匣； (d2)帶動該第二研磨墊滑入該第一上夾與該第一下 夾之間；以及 (d3)驅動該些移動臂沿著該夾具移動軌及該匣内移 動軌滑動，以帶動該第一夾具穿越該第二夾具，並移出該 換墊匣。 26 1303595 三達編號：TW3190PA ' 14.如申請專利範圍第13項所述之換墊方法，其中 該第二夾具更包括二彈性元件，該些彈性元件係耦接於該 第二上夾及該第二下夾之間，用以使該第二上夹及該第二 下夾彈性地開啟或閉合，在該步驟（dl)之前更包括： (dO)開啟該第二上夾及該第二下夾，以使該第一夾 具可穿越於該第二上夾及該第二下夾之間。 15. 如申請專利範圍第14項所述之換墊方法，其中 1 在該步驟（d3)之後，更包括： (d4)閉合該第二上爽及該第二下夾，以夾持該第二 研磨塾。 16. 如申請專利範圍第15項所述之換墊方法，其中 該第一夾具更包括複數個第一滾輪，該些第一滾輪係設置 於該第一上夾及該第一下夾之間，在該步驟（c)中，係 ► 驅動該些第一滾輪滾動，以帶動該第一研磨墊滑出該第一 上夾與該第一下夹之間以及該第二上夾與該第二下夾之 間。 17. 如申請專利範圍第16項所述之換墊方法，其中 在該步驟（d2)中，係驅動該些第一滾輪滾動，以帶動該 第二研磨墊滑入該第一上夾與該第一下夾之間以及該第 二上夾與該第二下夾之間。 27 ： TW3190PA …队*㈣專利範圍第Μ項所述之換塾方法，其中 -夹/、更包括複數個第二滾輪’係設置於該上夹 及該第二下夾之門 ^ 曰’在該步驟（c)及步驟（d)中，該第 ★研磨藝或_二研磨塾係藉由該些第二滾輪滑動於該 弟二上失及該第二下夹之間。 19.如申請專利範圍第15項所述之換墊方法，其中 各該移動臂包括—樞軸及一第三滾輪，該樞軸係設置於該 ^ ’該移動臂係藉由該樞軸樞接於該第一失 /、該第二滾輪係設置於該移動臂之另一端，在該步驟 . (dl)及該步驟（d3)中，係驅動該些第三滾輪滾動，以 - 使該些移動臂滑動於該夾具移動軌及該匣内移動軌。 2〇·如申請專利範園第12項所述之換墊方法，在該 y驟（d)之後，該換塾方法更包括： I (e)驅動該第一夾具及該第二夾具套接於該研磨頭 之外圍。 28