JPH08187656A - ポリッシング装置 - Google Patents
ポリッシング装置Info
- Publication number
- JPH08187656A JPH08187656A JP33916894A JP33916894A JPH08187656A JP H08187656 A JPH08187656 A JP H08187656A JP 33916894 A JP33916894 A JP 33916894A JP 33916894 A JP33916894 A JP 33916894A JP H08187656 A JPH08187656 A JP H08187656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- turntable
- cartridge
- polishing
- cloth
- fastening member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B45/00—Means for securing grinding wheels on rotary arbors
- B24B45/006—Quick mount and release means for disc-like wheels, e.g. on power tools
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/11—Lapping tools
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クロスカートリッジのターンテーブルへの着
脱が容易でかつ強固な固定ができ、良好な作業性と品質
を確保できるポリッシング装置を提供することを目的と
する。 【構成】 台座にクロスを張り付けてなるクロスカート
リッジをターンテーブルに着脱可能に取り付け、このタ
ーンテーブルを回転させつつクロスカートリッジ上面の
クロスに研磨砥液を流下し、クロス上面に被加工物を押
し付けて被加工物を研磨するポリッシング装置におい
て、上記ターンテーブルに、上記ターンテーブルの回転
軸と直交する面に対して傾斜したテーパ面とを有する締
結部材を回転可能に設け、上記クロスカートリッジに上
記締結部材の回転に伴い上記テーパ面と係合する係合面
を形成し、上記締結部材と上記ターンテーブルの間に弾
性部材を介在させ、上記締結部材の回転に伴い上記弾性
部材が変形して上記テーパ面と上記係合面の間に弾発力
が負荷されるようにしたものである。
脱が容易でかつ強固な固定ができ、良好な作業性と品質
を確保できるポリッシング装置を提供することを目的と
する。 【構成】 台座にクロスを張り付けてなるクロスカート
リッジをターンテーブルに着脱可能に取り付け、このタ
ーンテーブルを回転させつつクロスカートリッジ上面の
クロスに研磨砥液を流下し、クロス上面に被加工物を押
し付けて被加工物を研磨するポリッシング装置におい
て、上記ターンテーブルに、上記ターンテーブルの回転
軸と直交する面に対して傾斜したテーパ面とを有する締
結部材を回転可能に設け、上記クロスカートリッジに上
記締結部材の回転に伴い上記テーパ面と係合する係合面
を形成し、上記締結部材と上記ターンテーブルの間に弾
性部材を介在させ、上記締結部材の回転に伴い上記弾性
部材が変形して上記テーパ面と上記係合面の間に弾発力
が負荷されるようにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はポリッシング装置に係
り、特に半導体ウエハ等のポリッシング対象物を平坦か
つ鏡面状に研磨するポリッシング装置に関する。
り、特に半導体ウエハ等のポリッシング対象物を平坦か
つ鏡面状に研磨するポリッシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体デバイスの高集積化が進む
につれて回路の配線が微細化し、配線間距離もより狭く
なりつつある。特に０．５μｍ以下の光リソグラフィの
場合、焦点間深度が狭くなるためステッパーの結像面の
平坦度を必要とする。そこで、半導体ウエハの表面を平
坦化することが必要となるが、この平坦化法の１手段と
してポリッシング装置により研磨することが行われてい
る。
につれて回路の配線が微細化し、配線間距離もより狭く
なりつつある。特に０．５μｍ以下の光リソグラフィの
場合、焦点間深度が狭くなるためステッパーの結像面の
平坦度を必要とする。そこで、半導体ウエハの表面を平
坦化することが必要となるが、この平坦化法の１手段と
してポリッシング装置により研磨することが行われてい
る。
【０００３】従来、この種のポリッシング装置は、上面
にクロス（研磨布）を張り付けたターンテーブルと、こ
の上面に対向して配置されたトップリングが、それぞれ
独立した回転数で回転するように構成されている。そし
て、トップリングが一定の圧力をターンテーブルに与
え、クロスとトップリングとの間にポリッシング対象物
を介在させてクロス上面に研磨砥液を流下しつつ、ポリ
ッシング対象物の表面を平坦且つ鏡面に研磨するように
している。
にクロス（研磨布）を張り付けたターンテーブルと、こ
の上面に対向して配置されたトップリングが、それぞれ
独立した回転数で回転するように構成されている。そし
て、トップリングが一定の圧力をターンテーブルに与
え、クロスとトップリングとの間にポリッシング対象物
を介在させてクロス上面に研磨砥液を流下しつつ、ポリ
ッシング対象物の表面を平坦且つ鏡面に研磨するように
している。
【０００４】このようなポリッシング装置のターンテー
ブル上のクロス張り替えは、装置を停止し、ターンテー
ブルからクロスをはがし、ターンテーブル上面に残留し
た研磨液を洗い落とし、ターンテーブルを乾燥させてか
ら、新しいクロスを直接ターンテーブル上面に張り付け
ることにより行っていた。このため、作業性が悪く、装
置を停止した状態での作業時間が長くなり、装置の単位
時間当たりの生産ロット数が低下する欠点があった。
ブル上のクロス張り替えは、装置を停止し、ターンテー
ブルからクロスをはがし、ターンテーブル上面に残留し
た研磨液を洗い落とし、ターンテーブルを乾燥させてか
ら、新しいクロスを直接ターンテーブル上面に張り付け
ることにより行っていた。このため、作業性が悪く、装
置を停止した状態での作業時間が長くなり、装置の単位
時間当たりの生産ロット数が低下する欠点があった。
【０００５】この欠点を解決するために、台座にクロス
を張り付けてなるクロスカートリッジをターンテーブル
上に着脱可能に取り付ける方法が行われている。クロス
の交換を、予めクロスを張り付けた着脱が容易なカート
リッジの交換で行うことにより、交換時の作業時間、す
なわち装置を停止させる時間を短縮し、装置の単位時間
当たりの生産ロット数を上げている。このような方法
は、例えば米国特許第４，５２７，３５８号に記載され
ている。
を張り付けてなるクロスカートリッジをターンテーブル
上に着脱可能に取り付ける方法が行われている。クロス
の交換を、予めクロスを張り付けた着脱が容易なカート
リッジの交換で行うことにより、交換時の作業時間、す
なわち装置を停止させる時間を短縮し、装置の単位時間
当たりの生産ロット数を上げている。このような方法
は、例えば米国特許第４，５２７，３５８号に記載され
ている。
【０００６】ターンテーブルとカートリッジの固定手段
としては、交換時の着脱を容易とするために、特公昭５
９−４４１８５号公報に記載のようにカートリッジの外
周部を押えリングを介してターンテーブルにボルト固定
するものや、特開平４−２０６９２９号に示すようにカ
ートリッジとターンテーブルの対応箇所に嵌合部分を設
ける構造が開示されている。
としては、交換時の着脱を容易とするために、特公昭５
９−４４１８５号公報に記載のようにカートリッジの外
周部を押えリングを介してターンテーブルにボルト固定
するものや、特開平４−２０６９２９号に示すようにカ
ートリッジとターンテーブルの対応箇所に嵌合部分を設
ける構造が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の技術においては、ボルトによって外周部を
固定するものは強固な固定ができるが、カートリッジの
交換時においてボルトを外す必要があり、作業に手間が
かかるという問題がある。一方、嵌合部分を形成する方
法では、着脱は容易であるが、ある程度のガタの発生が
避けられず、特に研磨作業中にトップリングからカート
リッジに偏荷重が掛かる場合にカートリッジが移動し
て、円滑な研磨作業や被研磨物の平坦度に悪影響を及ぼ
すという問題があった。
ような従来の技術においては、ボルトによって外周部を
固定するものは強固な固定ができるが、カートリッジの
交換時においてボルトを外す必要があり、作業に手間が
かかるという問題がある。一方、嵌合部分を形成する方
法では、着脱は容易であるが、ある程度のガタの発生が
避けられず、特に研磨作業中にトップリングからカート
リッジに偏荷重が掛かる場合にカートリッジが移動し
て、円滑な研磨作業や被研磨物の平坦度に悪影響を及ぼ
すという問題があった。
【０００８】この発明は、上記のような課題に鑑みて、
クロスカートリッジの着脱が容易でかつ強固な固定がで
き、良好な作業性と品質を確保できるポリッシング装置
を提供することを目的とするものである。
クロスカートリッジの着脱が容易でかつ強固な固定がで
き、良好な作業性と品質を確保できるポリッシング装置
を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】以上のような課題を解決
するために、この発明は、台座にクロスを張り付けてな
るクロスカートリッジをターンテーブルに着脱可能に取
り付け、このターンテーブルを回転させつつクロスカー
トリッジ上面のクロスに研磨砥液を流下し、クロス上面
に被加工物を押し付けて被加工物を研磨するポリッシン
グ装置において、上記ターンテーブルに、上記ターンテ
ーブルの回転軸と直交する面に対して傾斜したテーパ面
とを有する締結部材を回転可能に設け、上記クロスカー
トリッジに上記締結部材の回転に伴い上記テーパ面と係
合する係合面を形成し、上記締結部材と上記ターンテー
ブルの間に弾性部材を介在させ、上記締結部材の回転に
伴い上記弾性部材が変形して上記テーパ面と上記係合面
の間に弾発力が負荷されるようにしたものである。
するために、この発明は、台座にクロスを張り付けてな
るクロスカートリッジをターンテーブルに着脱可能に取
り付け、このターンテーブルを回転させつつクロスカー
トリッジ上面のクロスに研磨砥液を流下し、クロス上面
に被加工物を押し付けて被加工物を研磨するポリッシン
グ装置において、上記ターンテーブルに、上記ターンテ
ーブルの回転軸と直交する面に対して傾斜したテーパ面
とを有する締結部材を回転可能に設け、上記クロスカー
トリッジに上記締結部材の回転に伴い上記テーパ面と係
合する係合面を形成し、上記締結部材と上記ターンテー
ブルの間に弾性部材を介在させ、上記締結部材の回転に
伴い上記弾性部材が変形して上記テーパ面と上記係合面
の間に弾発力が負荷されるようにしたものである。
【００１０】上記の締結部材は、ターンテーブルの周方
向に複数を配置するのが好ましい。係合面はクロスカー
トリッジの任意の箇所に形成してよいが、側部に凹部を
形成してその中に形成するのが便利である。その場合
は、締結部材の一部を切り欠くことによって、締結部材
の係合解除位置において切り欠き部分をクロスカートリ
ッジに対向させるようにしてもよい。締結部材の回転
は、締結部材に係合部を形成しこれに係合する適当な治
具（ハンドル）を用いるようにしてもよい。弾性部材と
しては、係合に必要な弾発力を付与できるものであれ
ば、適宜のものが採用されてよく、例えば、金属やプラ
スチックからなる皿バネ、コイルバネなどが用いられ、
また、バネに限ることなく、ゴム、プラスチック等の弾
性体で構成してもよい。
向に複数を配置するのが好ましい。係合面はクロスカー
トリッジの任意の箇所に形成してよいが、側部に凹部を
形成してその中に形成するのが便利である。その場合
は、締結部材の一部を切り欠くことによって、締結部材
の係合解除位置において切り欠き部分をクロスカートリ
ッジに対向させるようにしてもよい。締結部材の回転
は、締結部材に係合部を形成しこれに係合する適当な治
具（ハンドル）を用いるようにしてもよい。弾性部材と
しては、係合に必要な弾発力を付与できるものであれ
ば、適宜のものが採用されてよく、例えば、金属やプラ
スチックからなる皿バネ、コイルバネなどが用いられ、
また、バネに限ることなく、ゴム、プラスチック等の弾
性体で構成してもよい。
【００１１】
【作用】このような本発明によれば、締結部材を回転さ
せることによりテーパ面と係合面が係合し、楔の作用に
よってターンテーブルとクロスカートリッジとを互いに
押圧する力が発生し、この力により弾性部材が変形し、
テーパ面と係合面の間に弾発力が負荷される。弾性部材
の変形量が概ね一定であるので、係合面とテーパ面の間
に負荷される力も概ね一定となる。
せることによりテーパ面と係合面が係合し、楔の作用に
よってターンテーブルとクロスカートリッジとを互いに
押圧する力が発生し、この力により弾性部材が変形し、
テーパ面と係合面の間に弾発力が負荷される。弾性部材
の変形量が概ね一定であるので、係合面とテーパ面の間
に負荷される力も概ね一定となる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明に係るポリッシング装置の実施
例を図面に基づいて説明する。図１は本発明のポリッシ
ング装置の全体構成を示す縦断面図である。クロスカー
トリッジ１は台座２の上面にクロス３が張り付けられて
構成され、ターンテーブル４の上面に配置されて、チャ
ックユニットＡによってターンテーブル４に固定され
る。チャックユニットＡは複数がターンテーブル４の縁
部に周方向等間隔で設けられているが、図面では１つの
み示している。ターンテーブル４は回転軸５を中心に回
転することができるようになっており、固定されたクロ
スカートリッジ１はターンテーブル４と共に回転する。
例を図面に基づいて説明する。図１は本発明のポリッシ
ング装置の全体構成を示す縦断面図である。クロスカー
トリッジ１は台座２の上面にクロス３が張り付けられて
構成され、ターンテーブル４の上面に配置されて、チャ
ックユニットＡによってターンテーブル４に固定され
る。チャックユニットＡは複数がターンテーブル４の縁
部に周方向等間隔で設けられているが、図面では１つの
み示している。ターンテーブル４は回転軸５を中心に回
転することができるようになっており、固定されたクロ
スカートリッジ１はターンテーブル４と共に回転する。
【００１３】ターンテーブル４の上方には、半導体ウエ
ハ１０を保持するためのトップリング１１が配置されて
いる。トップリング１１は回転軸１３を中心に回転する
とともに、上下動するようになっており、半導体ウエハ
１０を下方に任意の圧力で押圧することができる。
ハ１０を保持するためのトップリング１１が配置されて
いる。トップリング１１は回転軸１３を中心に回転する
とともに、上下動するようになっており、半導体ウエハ
１０を下方に任意の圧力で押圧することができる。
【００１４】また、ターンテーブル４の上方には研磨砥
液ノズル１４が設置されており、研磨砥液ノズル１４に
よってクロスカートリッジ１に張り付けたクロス３上に
研磨砥液Ｑが供給されるようになっている。
液ノズル１４が設置されており、研磨砥液ノズル１４に
よってクロスカートリッジ１に張り付けたクロス３上に
研磨砥液Ｑが供給されるようになっている。
【００１５】図２及び図３は、この発明の要部であるチ
ャックユニットを拡大して示す断面図である。チャック
ユニット本体２１はターンテーブル４の側面に固定さ
れ、これには上下方向に延びる支持孔２２と、この支持
孔２２の下側のバネ収容凹部２３が形成されている。こ
の支持孔２２には軸体２４が挿通され、上下方向及び周
方向に摺動自在に支持されている。バネ収容凹部２３に
は皿バネ２５が収容され、この皿バネ２５は軸体２４の
下端に形成されたバネ受け部２６とバネ収容凹部２３の
上壁の双方に当接して軸体２４を下方に付勢している。
ャックユニットを拡大して示す断面図である。チャック
ユニット本体２１はターンテーブル４の側面に固定さ
れ、これには上下方向に延びる支持孔２２と、この支持
孔２２の下側のバネ収容凹部２３が形成されている。こ
の支持孔２２には軸体２４が挿通され、上下方向及び周
方向に摺動自在に支持されている。バネ収容凹部２３に
は皿バネ２５が収容され、この皿バネ２５は軸体２４の
下端に形成されたバネ受け部２６とバネ収容凹部２３の
上壁の双方に当接して軸体２４を下方に付勢している。
【００１６】軸体２４の本体２１の上面より突出する上
端には、図４に詳しく示すような締結部材２７が固着さ
れている。この締結部材２７は、中央に軸体２４が挿入
される軸孔２８が形成された筒状の部材で、下側に周方
向外側に延びる係止部２９が形成され、その上側にはこ
れを回動させるためのレンチ３０（図３参照）の先端部
３１を挿入する駆動溝３２が形成されている。係止部２
９は、上側から見て一部が切り欠かれたほぼ円板状の部
分であり、その下面には周方向に沿って傾斜するテーパ
面３３とそれに続く平坦面３４が形成されている。
端には、図４に詳しく示すような締結部材２７が固着さ
れている。この締結部材２７は、中央に軸体２４が挿入
される軸孔２８が形成された筒状の部材で、下側に周方
向外側に延びる係止部２９が形成され、その上側にはこ
れを回動させるためのレンチ３０（図３参照）の先端部
３１を挿入する駆動溝３２が形成されている。係止部２
９は、上側から見て一部が切り欠かれたほぼ円板状の部
分であり、その下面には周方向に沿って傾斜するテーパ
面３３とそれに続く平坦面３４が形成されている。
【００１７】係止部２９の下端外面には径方向に突出す
るロッド３５が形成され、一方、本体２１の上面にはこ
のロッド３５に係合して締結部材２７の回転を阻止する
ストッパー３６，３７が２本形成されている。締結部材
２７の所定位置にはスリット３８が形成され、一方、本
体２１の上面の所定位置に形成された凹所３９にはバネ
４０によって付勢されたロックピン４１が装着されてお
り、締結部材２７が回転してスリット３８がロックピン
４１の上方に来たときにロックピン４１がスリット３８
に入ってロックがなされるようになっている。一方、ク
ロスカートリッジ１の側面には、チャックユニットＡに
対応する位置に凹所４２が形成され、この凹所の底面は
締結部材２７の回転に伴い上記テーパ面３３と係合する
係合面４３となっている。
るロッド３５が形成され、一方、本体２１の上面にはこ
のロッド３５に係合して締結部材２７の回転を阻止する
ストッパー３６，３７が２本形成されている。締結部材
２７の所定位置にはスリット３８が形成され、一方、本
体２１の上面の所定位置に形成された凹所３９にはバネ
４０によって付勢されたロックピン４１が装着されてお
り、締結部材２７が回転してスリット３８がロックピン
４１の上方に来たときにロックピン４１がスリット３８
に入ってロックがなされるようになっている。一方、ク
ロスカートリッジ１の側面には、チャックユニットＡに
対応する位置に凹所４２が形成され、この凹所の底面は
締結部材２７の回転に伴い上記テーパ面３３と係合する
係合面４３となっている。
【００１８】なお、４４はターンテーブル４の上面の所
定箇所に固着された位置決めピンであり、台座２の裏面
に形成された凹部４５に嵌入させられてクロスカートリ
ッジ１の周方向の位置決めがなされるようになってい
る。また、レンチ３０は、図３に示すように、締結部材
２７の駆動溝３２に挿入される一対の先端部３１とハン
ドル部４６からなっており、先端部よりの下面には先端
部３１を駆動溝３２に係合させたときに上記ロックピン
４１を押し下げて締結部材２７の回り止めを解除する突
起部４７が形成されている。
定箇所に固着された位置決めピンであり、台座２の裏面
に形成された凹部４５に嵌入させられてクロスカートリ
ッジ１の周方向の位置決めがなされるようになってい
る。また、レンチ３０は、図３に示すように、締結部材
２７の駆動溝３２に挿入される一対の先端部３１とハン
ドル部４６からなっており、先端部よりの下面には先端
部３１を駆動溝３２に係合させたときに上記ロックピン
４１を押し下げて締結部材２７の回り止めを解除する突
起部４７が形成されている。
【００１９】以下に、上記構成のポリッシング装置にお
いて、クロスカートリッジ１を装着する手順を述べる。
締結部材２７は、図２又は図４（ａ）に示すようにロッ
ド３５が第１のストッパー３６に当接する位置にあるも
のとし、この場合は、係止部２９の切り欠き部がターン
テーブル４に対向しているので、クロスカートリッジ１
と干渉することがない。この状態で、位置決めピン４４
を台座２の凹部４５に挿入することによってクロスカー
トリッジ１が位置決めされてターンテーブル４の上に載
せられる（図２（ａ））。
いて、クロスカートリッジ１を装着する手順を述べる。
締結部材２７は、図２又は図４（ａ）に示すようにロッ
ド３５が第１のストッパー３６に当接する位置にあるも
のとし、この場合は、係止部２９の切り欠き部がターン
テーブル４に対向しているので、クロスカートリッジ１
と干渉することがない。この状態で、位置決めピン４４
を台座２の凹部４５に挿入することによってクロスカー
トリッジ１が位置決めされてターンテーブル４の上に載
せられる（図２（ａ））。
【００２０】次に、レンチ３０を約４５度回転させる
と、係止部２９のテーパ面３３がクロスカートリッジ１
の係合面４３に当接する（図４（ｂ））。さらにレンチ
３０を回転させると、テーパ面３３が係合面４３を押圧
してクロスカートリッジ１を下向きに押圧する。係合面
４３から係止部２９に作用する反力が一定値以上になる
と皿バネ２５が撓み始め、この撓み量に応じた力がテー
パ面３３と係合面４３の間に、つまりクロスカートリッ
ジ１とターンテーブル４の間に作用する。
と、係止部２９のテーパ面３３がクロスカートリッジ１
の係合面４３に当接する（図４（ｂ））。さらにレンチ
３０を回転させると、テーパ面３３が係合面４３を押圧
してクロスカートリッジ１を下向きに押圧する。係合面
４３から係止部２９に作用する反力が一定値以上になる
と皿バネ２５が撓み始め、この撓み量に応じた力がテー
パ面３３と係合面４３の間に、つまりクロスカートリッ
ジ１とターンテーブル４の間に作用する。
【００２１】さらにレンチ３０を回転すると、係合面４
３の接触はテーパ面３３から平坦面３４に移行し、ロッ
ド３５は第２のストッパー３７に接触し、クロスカート
リッジ１はターンテーブル４に安定的に締結される。こ
の状態でレンチ３０を締結部材２７から外すと、図３に
示すように、ロックピン４１がスリット３８の中に突き
出されて締結部材２７が回り止めされる。
３の接触はテーパ面３３から平坦面３４に移行し、ロッ
ド３５は第２のストッパー３７に接触し、クロスカート
リッジ１はターンテーブル４に安定的に締結される。こ
の状態でレンチ３０を締結部材２７から外すと、図３に
示すように、ロックピン４１がスリット３８の中に突き
出されて締結部材２７が回り止めされる。
【００２２】同様の固定作業を他のチャックユニットＡ
において行うことにより、クロスカートリッジ１が完全
にターンテーブル４に固定される。クロスカートリッジ
１の交換などのためにこれを取り外す作業は上記を逆に
行えばよい。
において行うことにより、クロスカートリッジ１が完全
にターンテーブル４に固定される。クロスカートリッジ
１の交換などのためにこれを取り外す作業は上記を逆に
行えばよい。
【００２３】このポリッシング装置においては、チャッ
クユニットＡにおいて締結部材２７とターンテーブル４
の間に弾性部材である皿バネ２５を介在させており、こ
れの変形によってテーパ面３３と係合面４３とのすり合
わせによる楔効果に基づく軸方向の相対変位が吸収され
る。従って、クロスカートリッジ１の製造やチャックユ
ニットＡの取り付けの際の寸法精度が多少落ちるような
場合でも、締結部材２７の回転によってクロスカートリ
ッジ１とターンテーブル４の間に過大な力が作用した
り、逆に締結力が弱くて固定が不十分になるという事態
が防止される。また、どのチャックユニットＡにおいて
も弾性部材２５の変形に応じて概ね均一な締結力が作用
するので、固定力が偏ることがない。さらに、固定位置
においてロックピン４１により回り止めがされているの
で、ポリッシング作業中に締結部材２７が回転して緩む
という事態の発生が防止される。
クユニットＡにおいて締結部材２７とターンテーブル４
の間に弾性部材である皿バネ２５を介在させており、こ
れの変形によってテーパ面３３と係合面４３とのすり合
わせによる楔効果に基づく軸方向の相対変位が吸収され
る。従って、クロスカートリッジ１の製造やチャックユ
ニットＡの取り付けの際の寸法精度が多少落ちるような
場合でも、締結部材２７の回転によってクロスカートリ
ッジ１とターンテーブル４の間に過大な力が作用した
り、逆に締結力が弱くて固定が不十分になるという事態
が防止される。また、どのチャックユニットＡにおいて
も弾性部材２５の変形に応じて概ね均一な締結力が作用
するので、固定力が偏ることがない。さらに、固定位置
においてロックピン４１により回り止めがされているの
で、ポリッシング作業中に締結部材２７が回転して緩む
という事態の発生が防止される。
【００２４】なお、上記実施例においては、弾性部材と
して皿バネを用いたが、コイルバネ等の他の種類のバネ
でもよく、また、所定の弾発力があれば、ゴム、プラス
チック等の弾性体で形成してもよい。
して皿バネを用いたが、コイルバネ等の他の種類のバネ
でもよく、また、所定の弾発力があれば、ゴム、プラス
チック等の弾性体で形成してもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
楔の作用によってターンテーブルとクロスカートリッジ
とを互いに押圧する力が発生し、この力により弾性部材
が変形し、テーパ面と係合面の間に弾発力が負荷され
る。弾性部材の変形量が概ね一定であるので、係合面と
テーパ面の間に負荷される力も概ね一定となり、クロス
カートリッジの着脱が容易でかつ強固な固定ができ、良
好な作業性と品質を確保できるポリッシング装置が提供
される。
楔の作用によってターンテーブルとクロスカートリッジ
とを互いに押圧する力が発生し、この力により弾性部材
が変形し、テーパ面と係合面の間に弾発力が負荷され
る。弾性部材の変形量が概ね一定であるので、係合面と
テーパ面の間に負荷される力も概ね一定となり、クロス
カートリッジの着脱が容易でかつ強固な固定ができ、良
好な作業性と品質を確保できるポリッシング装置が提供
される。
【図１】本発明のポリッシング装置の全体を示す縦断面
図である。
図である。
【図２】本発明のポリッシング装置の要部であるチャッ
クユニットの解放時の状態を示す図で、（ａ）は上面
図、（ｂ）は正面断面図である。
クユニットの解放時の状態を示す図で、（ａ）は上面
図、（ｂ）は正面断面図である。
【図３】本発明のポリッシング装置のチャックユニット
の締結時の状態を示す図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は
正面断面図である。
の締結時の状態を示す図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は
正面断面図である。
【図４】本発明のポリッシング装置のチャックユニット
の動作を拡大して示す図で、（ａ）は解放時、（ｂ）は
中間時、（ｃ）は締結時の状態を示す。
の動作を拡大して示す図で、（ａ）は解放時、（ｂ）は
中間時、（ｃ）は締結時の状態を示す。
１ クロスカートリッジ ２ 台座 ３ クロス ４ ターンテーブル Ａ チャックユニット ２４ 軸体 ２５ 皿バネ（弾性部材） ２７ 締結部材 ２９ 係止部
Claims (3)
- 【請求項１】 台座にクロスを張り付けてなるクロスカ
ートリッジをターンテーブルに着脱可能に取り付け、こ
のターンテーブルを回転させつつクロスカートリッジ上
面のクロスに研磨砥液を流下し、クロス上面に被加工物
を押し付けて被加工物を研磨するポリッシング装置にお
いて、 上記ターンテーブルには、上記ターンテーブルの回転軸
と直交する面に対して傾斜したテーパ面を有する締結部
材が回転可能に設けられ、 上記クロスカートリッジには上記締結部材の回転に伴い
上記テーパ面と係合する係合面が形成され、 上記締結部材と上記ターンテーブルの間には弾性部材が
介在させられ、上記締結部材の回転に伴い上記弾性部材
が変形して上記テーパ面と上記係合面の間に弾発力が負
荷されることを特徴とするポリッシング装置。 - 【請求項２】 上記弾性部材は、バネであることを特徴
とする請求項１に記載のポリッシング装置。 - 【請求項３】 上記弾性部材は、ゴム、プラスチック等
の弾性体であることを特徴とする請求項１に記載のポリ
ッシング装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33916894A JPH08187656A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ポリッシング装置 |
| US08/580,341 US5647792A (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | Polishing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33916894A JPH08187656A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ポリッシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08187656A true JPH08187656A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=18324889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33916894A Pending JPH08187656A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | ポリッシング装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5647792A (ja) |
| JP (1) | JPH08187656A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2011161522A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Toho Engineering Kk | 研磨パッド用補助板およびそれを用いた研磨パッドの再生方法 |
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| JP2019188480A (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-31 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及び基板処理装置 |
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-
1994
- 1994-12-28 JP JP33916894A patent/JPH08187656A/ja active Pending
-
1995
- 1995-12-28 US US08/580,341 patent/US5647792A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5647792A (en) | 1997-07-15 |
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