TWI296695B

TWI296695B -

Info

Publication number: TWI296695B
Application number: TW093115120A
Authority: TW
Inventors: Eiichi Kameda
Original assignee: Daishinku Corp
Priority date: 2003-05-29
Filing date: 2004-05-27
Publication date: 2008-05-11
Also published as: US7387840B2; US20050253048A1; WO2004106995A1; CN100392440C; JP2004354735A; TW200506272A; CN1697987A

Description

1296695 (1) 玖、發明說明【發明所屬之技術領域】本發明係關於令事先設定的波長帶之光線不透過之遮光濾光片。【先前技術】以一般的影像照相機或數位靜像攝影機等爲代表之電子照相機的光學系統，係沿著光軸而由被照體側依序配設有耦合光學系統、紅外線遮光濾光片、光學低通濾波器、 CCD(Charge Coupled Device :電荷稱合元件）或 MOS(Metal Oxide Semiconductor:金屬氧化半導體）等之攝影裝置而成（例如，參考日本專利特開2000-2095 1 0號公報）。此處所謂之攝影裝置係如第1 3圖所示般，具有響應比人眼可辨識之波長帶的光線（可見光）還廣之波長帶的光線之感度特性。即在可見光之外，也響應紅外線領域或紫外領域之光線。另外，第1 3 ( a )圖係顯示人眼的感度特性，第1 3 ( b )圖係顯示一般的CCD的感度特性。如此，人眼在暗處中，係響應400〜620nm程度之範圍的波長光線，在亮處，係響應420〜7 0 0nm程度之範圍的波長光線。相對於此，在CCD中，不單是400〜700nm 範圍之波長的光線，也響應未達400nm之波長的光線，或超過7 0 0 n m之波長的光線。因此，如日本專利特開2 000-2095 1 0號公報所記載之 (2) 1296695 攝影裝置般，在C C D之外，也設置紅外線遮光濾光片，令攝影裝置不達到紅外線領域的光線，使得可以獲得接近人眼之攝影畫像。且說，此處之紅外線遮光濾光片，目前爲止有透過可見光線，且吸收紅外線之紅外線吸收玻璃，或透過可見光線，且反射紅外線之紅外線遮光塗層等。紅外線吸收玻璃例如可舉：令銅離子等之色素分散之藍色玻璃。紅外線遮光塗層例如可舉：在透明基板上交互積層 Ti02、Zf〇2、Ta2〇5、Nb205等之高折射率物質，和 Si02、MgF2等之低折射率物質成爲數十層之電介質多層膜。利用第1 4圖，於下面說明這些紅外線吸收玻璃和紅外線遮光濾光片。另外，第1 4 ( a )圖係顯示攝影裝置使用紅外線吸收玻璃之情形的透射率特性’第1 4 ( b )圖係顯示使用紅外線遮光濾光片之情形的透射率特性。首先，在使用紅外線吸收玻璃之情形，如第14(a) 圖所示般’由可見光領域至紅外線領域’可以獲得接近人眼的感度特性之「透射率緩慢下降之特性」° 但是，在使用紅外線吸收玻璃之情形’難於令透射率設爲略〇%之點對在7〇〇nm ’第14 ( a )所示之紅外線吸收玻璃的情形，變成也令7 5 0 n m程度之光線透過。即紅外線領域之光線的遮斷並不完全’成爲攝影裝置也攝取此紅外線領域之畫像。 -5- 1296695 、 (3) 接著，在使用紅外線遮光濾光片之情形，如第14 (b )圖所示般，由可見光領域至紅外線領域，可以獲得「透射率急遽減少之特性」故，容易令透射率設爲〇 %之點對在7 〇〇 n m。但是，在如此透射率急遽轉變者中，攝影裝置以與人眼感覺到的色度不同之色度進行攝影。因此，爲了解決前述課題，本發明之目的在於提供：在事先設定的波長帶，例如可見光領域中，可以防止透射率急遽轉變，獲得接近人眼之透射率特性之遮光濾光片。【發明內容】爲了達成前述目的，關於本發明之遮光濾光片係由：透明基板，及形成在此透明基板上的多層膜所成，多層膜係由高折射率材料所成之第1薄膜，和由低折射率材料所成之第2薄膜交互積層複數層所成，其特徵爲：爲了防止透射率在事先設定的波長帶內急遽轉變，前述多層膜係具有在透射率急遽轉變之轉變波長帶的波長形成變極點之急遽防止手段。如依據此發明，設置有形成變極點之急遽防止手段故，在事先設定的波長帶，例如可見光領域中，防止透射率急遽轉變，可以獲得接近人眼之透射率特性。因此，可以接近人眼感覺到的色度之色度以攝影裝置進行攝影，能夠謀求顏色之再現性的提升。另外，此處所謂之第1薄膜和第2薄膜交互積層複數層，並不是指第1薄膜和第2薄 -6- (4) 1296695 膜交互連續積層，也可插入有其他媒體，例如由氧化 (Al2〇3 )所成之薄膜等。在前述構造中，前述多層膜係由從前述透明基板側序以序數詞所定義之複數層所構成，前述各層係分別由述第1薄膜和前述第2薄膜所積層而構成，藉由令這些積層之前述第1薄膜和前述第2薄膜之光學膜厚不同，述各層之個別的厚度也不同，前述急遽防止手段係在前層之中，於至少1個以上之層中所積層之前述第1薄膜前述第2薄膜的光學膜厚略相同，同時，在其他層中所層之前述第1薄膜和前述第2薄膜之光學膜厚可以由前透明基板側逐漸增加，如此設定前述各層之個別的前述薄膜之光學膜厚。在此情形下，急遽防止手段係在前述層之中’於至 1個以上之層中所積層之前述第1薄膜和前述第2薄膜光學膜厚略相同，同時，在其他層中所積層之前述第1 膜和前述第2薄膜之光學膜厚可以由前述透明基板側逐增加，如此設定前述各層之個別的前述各薄膜之光學膜故，可在透射率急遽轉變之轉變波長帶的波長形成變具體爲，在前述構造中，前述層係由第1層、第層、第3層所構成，同時，這些第1層、第2層、第3 係其膜厚依序增加而構成，前述第1薄膜和前述第2薄的光學膜厚略相同之層，係前述第2層和前述第3層，述其他之層可以是前述第1層° 鋁依 .XJLm 刖所 •1^· m 述和積述各少的薄漸厚極 2 層膜前 -7- (5) 1296695 在此情形，第1層、第2層、第3層係其膜厚依序增加而構成，第1薄膜和第2薄膜之光學膜厚略相同之層’ 係第2層和第3層，其他之層係第1層故’在透射率高的領域，例如，透射率9 0 %附近中，可以防止透射率急遽轉變〇另外，在前述構造中’前述層係由第1層、第2層、第3層所構成的同時，這些第1層、第2層、第3層係其膜厚依序增加而構成，前述第1薄膜和前述第2薄膜之光學薄膜略相同之層，係前述第1層和前述第3層，前述其他之層可以是前述第2層。在此情形，第1層、第2層、第3層係其膜厚依序增加而構成，第1薄膜和第2薄膜之光學膜厚略相同之層，係第1層和第3層，其他之層係第2層故，在透射率低的領域，例如，透射率30%附近中，可以防止透射率急遽轉變。另外，在前述構造中，可以於前述透明基板之一面上形成有對應由可見光領域至紅外線領域之波長帶的波長之前述多層膜，可以在前述透明基板另一面上形成對應由紫外線領域至可見光領域之波長帶的波長之前述多層膜。在此情形下，於透明基板之一面上形成有對應由可見光領域至紅外線領域之波長帶的波長之前述多層膜，在透明基板另一面上形成對應由紫外線領域至可見光領域之波長帶的波長之前述多層膜故，在由紫外線領域通過可見光領域直到紅外線領域之可見的全部波長帶中，可以防止透 -8- 1296695

射率急遽轉變。進而，在前述構造中，前述第1薄膜和則述第2薄膜之光學膜厚略相同之層的前述第1薄膜和前述第2薄膜之光學膜厚，也可設定爲微量地改變。

在此情形下，第1薄膜和第2薄膜之光學膜厚略相同之層的第1薄膜和第2薄膜之光學膜厚’係設定爲微量地改變故，在透射率急遽轉變之轉變波長帶以外的事先設定之波長帶內，可以抑制由於外部雜訊等，微量轉變之透射率的轉變量。另外，在前述構造中，前述急遽防止手段係在前述各層之間及其之兩端的至少一個位置，至少積層1層以上之調整層所成，可以藉由前述調整層，以抑制在前述各層間急遽轉變之透射率的轉變量。

在此情形下，積層有調整層，在各層間急遽轉變之透射率的轉變量藉由調整層得以抑制故，比起形成變極點更爲理想。【實施方式】以下，參考圖面’說明本發明之實施形態。另外，在以下所示之各實施形態中，遮光濾光片係顯示於紅外線遮光濾光片使用本發明之情形。 <實施形態1 > 如第1 ( a )圖所示般，關於本實施形態1之紅外線 -9- 1296695 (7) 遮光濾光片1係由·、、未日日其说今j曰田· ：¾明基板之水晶板2及形成在此水晶板2 —面上之多層膜3所成。夕層^ J係由：由高折射率材料所成之第1薄膜3 1 和由低折射十材料所成之第2薄膜Μ交互積層複數層所成。即由水曰曰板2 一面側數起，奇數層係藉由第1薄膜 3 1所構成，偶數靥係藉由第2薄膜32所構成。另外，在此實施形態1中，第1薄膜係使用Ti〇2 ,第2薄膜係使用 Si02 〇此多層膜3之製造方法係對於水晶板2之—面，Ti〇2 和Si〇2藉由周知的真空蒸鍍裝置（省略圖示）而交互真空蒸鍍，形成第1(a)圖所示之多層膜3。另外，各薄膜 31、32之膜厚調整係藉由一面監視膜厚一面進行蒸鍍動作，在到達特定膜厚時，關閉設置於蒸鍍源（省略圖示）附近之擋門（省略圖示）等，停止蒸鍍物質（Ti02、 S i 0 2 )之蒸鍍而進行。另外，如第1 ( b )圖所示般，多層膜3係由從水晶板2之一面側依序& @ ®所定義之複數層’在本實®形態1中爲第1層3 a、第2層3 b、第3層3 c所構成。這些第1層3a、第2層3b、第3層3c之個別之層係由第1薄膜3 1和第2薄膜3 2所積層而構成。藉由令這些所積層之第1薄膜31和第2薄膜32之光學膜厚不同，第1層 3a、第2層3b、第3層3c之個別之厚度因而不同。另外，這些第1層3a、第2層3b、第3層3c係其厚度依序增加而構成。另外’此處所謂之光學膜厚係錯由下述數學 -10- 1296695 (8) 式1所求得。 [數學式1]

Nd-d X N X 4/ λ (Nd :光學膜厚，d :實體膜厚，Ν :折射率，λ :中心波長）另外，多層膜3係具有防止在事先設定的波長帶內，透射率急遽轉變之急遽防止手段。藉由此急遽防止手段， ______________——一…一-........................ 在第2圖所示之透射率急遽轉變的轉變波長帶之波長形成變極點X。另外，在本實施形態1所謂之事先設定的波長帶，係表示可見光領域（ 400〜700nm)。急遽防止手段係在第1層3a、第2層3b、第3層3c 中之其中2層所積層之第1薄膜31和第2薄膜32之光學膜厚略相同，同時，在其他層所積層之第1薄膜31和胃 2薄膜之光學膜厚由水晶板2側逐漸增加，如此設定胃1 層3a、第2層3b、第3層3c之個別的各薄膜31、32的光學膜厚所成。另外，急遽防止手段係如第1 ( b )圖所示般’在第1 層3a和第2層3b和第3層3c之間，及於其兩端積層有調整層3 d。藉由此調整層3 d，可以抑制第1層3 a和第2 層3b和第3層3c之各層間急遽轉變之透射率的轉變量° 另外，在本實施形態1中，第1薄膜3 1和第2薄膜 32之光學膜厚略相同之層係第2層3b和第3層3c’其他 -11 - 1296695 Ο) 之層係第1層3 a。另外’第1薄膜3 1和3 2之光擧膜_ 略相同之層之第2層3b和第3層3c之第1薄膜31和第 2薄膜3 2之光學膜厚係微調整紅外線遮光濾光片1的& 長特性故，設定微微量地改變。藉由前述之構造，在關於本實施形態1之紅外線遮％濾光片1中，可以獲得如第2圖所示之透射率特性。

實際測量關於本實施形態1之紅外線遮光濾光片1的波長特性。接著，顯示其測量結果。 <實施例1 > 在本實施例1中，透明基板係使用折射率1 .5 4之水晶板2。另外，第1薄膜31係使用折射率2.30之Ti〇2 ’ 第2薄膜32係使用折射率1 ·46之Si02，設這些的中心波長爲700nm。

藉由由前述40層所成之多層膜3的製造方法，形成各薄膜31、32，令這些各薄膜31、32之各個的光學膜厚成爲如表1所示之値，可以獲得如第3圖所示之透過特性。另外，在此實施例1中，設光線的射入角度爲0度’ 即垂直令光線射入。 -12- (10) 1296695 [表i] 層蒸鍍物質折射率N 光學膜厚Nd 中心波長λ (nm) 1 Ti02 2.30 1.20 700 2 Si02 1 .46 1.05 700 3 Ti02 2.30 1.05 700 4 Si02 1 .46 1.05 700 5 Ti〇2 2.30 1.05 700 6 Si02 1.46 1.05 700 7 Ti02 2.30 1.12 700 8 Si02 1.46 1.12 700 9 Ti02 2.30 1.12 700 10 Si02 1 .46 1.12 700 11 Ti02 2.30 1.07 700 12 Si02 1.46 1.07 700 13 Ti02 2.30 1.12 700 14 Si02 1.46 1.12 700 15 Ti02 2.30 1.12 700 16 Si02 1.46 1.12 700 17 Ti02 2.30 1.12 700 18 Si02 1.46 1.08 700 19 Ti02 2.30 1.20 700 20 Si02 1.46 1.20 700 2 1 Ti02 2.30 1.20 7 00 22 Si02 1 .46 1.30 700 23 Ti02 2.30 1.40 700 24 Si02 1.46 1.40 700 25 Ti02 2.30 1.40 700 26 Si02 1.46 1.40 700 27 Ti02 2.30 1.40 700 28 Si02 1.46 1.40 700 29 Ti02 2.30 1.40 700 30 Si02 1.46 1 .40 700 3 1 Ti02 2.30 1.40 700 32 Si02 1.46 1.40 700 3 3 Ti02 2.30 1.40 700 34 Si02 1.46 1.40 7 00 35 Ti02 2.30 1.40 700 36 Si02 1 .46 1 .40 700 37 Ti02 2.30 1.40 700 38 Si02 1 .46 1.40 700 39 Ti02 2.30 1.40 700 40 Si02 1.46 0.70 700 -13- (11) 1296695 表1係表示紅外線遮光濾光片1之多層膜3的組成及各薄膜3 1、3 2的光學膜厚。另外，在此實施例1中，如表1所示般，多層膜3的 4 0層之中，1、1 1、1 2、1 8〜2 2、4 0層係構成作爲調整層 3d ° 如第3圖所示般，在關於此實施例1之紅外線遮光濾光片1中，知道波長約5 5 0 n m之光線至約6 5 0 n m之光線係透射率逐漸減少。即由可見光領域至紅外線領域之波帶中，透射率逐漸減少，知道可以防止透射率急遽減少。如前述般，如依據此紅外線遮光濾光片1，設置有形成變極點X之急遽防止手段故，在由可見光領域至紅外線領域之波帶中，可防止透射率急遽轉變，能獲得接近人眼之透射率特性。因此，可以接近人眼感覺到的色度之色度以攝影裝置進行攝影，能夠謀求顏色之再現性的提升。另外，急遽防止手段係在第1層3a、第2層3b、第 3層3c中，於其中2層所積層之第1薄膜31和第2薄膜 32之光學膜厚略相同的同時，在其他層所積層之第1薄膜3 1和第2薄膜3 2之光學膜厚是由水晶板2逐漸增加，而設定第1層3a、第2層3b、第3層3c之個別的各薄膜之光學膜厚故，可以在透射率急遽轉變之轉變波長帶的波長形成變極點。另外，第1層3a、第2層3b、第3層3c係其厚度依序增加而構成，第1薄膜31和第2薄膜32之光學膜厚略相同之層爲第2層3b和第3層3c，其他之層係第1層3a -14 - (12) 1296695 故，可以防止在透射率局之域’例如如第2圖所示般，在透射率9 0 %附近，透射率急遽轉變。另外，弟2層3b和弟3層3c之第1薄膜31和第2 薄膜3 2的光學膜厚係設定爲微量地改變故，在透射$急遽轉變之轉變波長帶以外之事先設定的波長帶內，可以抑制微量（例如，爲顯示在表1所示之光學膜厚Ncl之有效數字以下之値）轉變之透射率的轉變量。另外，積層有調整層3 d，藉由調整層3 d，得以抑制在第1層3a和第2層3b和第3層3c之各層間急遽轉變之透射率的轉變量故，比起形成變極點X更爲3E里想。另外，在本實施形態1中，雖形成以遮斷自可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，但是，並不限定於此，也可形成以遮斷自紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜。在此情形下，於可見光領域中，形成如第4圖所示之波長，在紫外線領域至可見光領域之波帶中，可以獲得接近人眼之透射率特性。另外，在本實施形態1中，雖在水晶板2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，但是，並不限定於此，例如，可以在水晶板 2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3的同時，在水晶板2之另一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜3。在此情形下，於可見光領域中，形成如第 5圖所示之波長，可以獲得接近人眼之透射率特性。另 -15- (13) 1296695 外，在水晶板2的另一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3的同時，在水晶板2的一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，也可以獲得相同的透射率特性。另外，在本實施形態1中，透明基板雖使用水晶板 2，但是，並不限定於此，只要是光線可以透過之基板，也可以是玻璃板。另外，並不限定爲水晶板2，也可以是單板之水晶板，例如，雙折射板，也可以是由複數片所成之雙折射板。另外，在本實施形態1中，第1薄膜3 1雖使用 Ti〇2，但是，並不限定於此，第1薄膜3 1只要是由高折射率材料形成即可，例如，也可使用 Zr02、Ta2 05、 Nb2〇5等。另外，第2薄膜32雖使用Si02，但是，並不限定於此，第2薄膜3 2只要是由低折射率材料形成即可，例如，也可使用M g F 2等。另外’在本竇施形態1中，雖將事先設定的波長帶設爲可見光領域，但是，並不限定於此，可將波長帶設定爲任意的其他波帶，而且，也可設定爲在可見光領域中，進一·步限疋的波帶。另外’在本實施形態1中，急遽防止手段雖係在第1 層3a和第2層3b和第3層3c之間，及其之兩端積層調整層3 d而成，但是，並不限定於此，例如，爲了抑制在第1層3 a和第2層3 b和第3層3 c之某一層間急遽轉變 -16- 1296695 (14) 之透射率的轉變量，也可在第1層3a和第2層3b和第3 層3 c之間，及其兩端之任一位置積層調整層3 d ° 另外，在本實施形態1中，如第2圖所示般，變極點 X雖設定在透射率6 0、9 6 %，但是，此不過是方便上所設定的値，並不限定於此。另外，在本實施形態1中，雖設多層膜3由第1層 3a、第2層3b、第3層3c之3層所構成，但是，並不限定於此，例如，也可由3層以上之層所構成。在此情形下，可形成更多的變極點X，更爲理想。進而，也可由第 1層3 a和3 B所構成，在此情形下，令其對應由紫外線領域至可見光領域之波帶爲佳。，另外，在本實施例1中，多層膜3雖係由40層所構成，但是，其層數並不限定於此。 <實施形態2 > 關於實施形態2之紅外線遮光濾光片係只在關於前述實施形態1之紅外線遮光濾光片1，和第1層3 a、第2層 3 b、第3層3 c、調整層3 d之點不同，其他構造是由相同構造形成。因此，在此實施形態2中，說明此不同之第1 層3 a、第2層3 b、第3層3 c、調整層3 d，對於相同之構造，賦予相同的符號，省略其說明。關於本實施形態2之紅外線遮光濾光片1的構造之多層膜係如第1 ( b )圖所示般，在水晶板2的一面測依序由第1層3a、第2層3b、第3層3c所構成。這些第1層 -17- 1296695 (15) 3a、第2層3b、第3層3c之各層係由第1薄膜31和第2 薄膜32所積層而成。藉由令這些所積層之第1薄膜3 i和第2薄膜32之光學膜厚不同，第1層3a、第2層3b、第 3層3c個別之厚度不同。另外，這些第1層3a、第2層 3 b、第3層3 c係其厚度依序增加而構成。另外，多層膜3具有防止在事先設定的波長帶內，透射率急遽轉變之急遽防止手段。藉由此急遽防止手段，；£ 第6圖所示之透射率急遽轉變之轉變波長帶之波長形成_ 極點X。急遽防止手段係在第1層3a、第2層3b、第3層3c 之中，於其中2層中所積層之第1薄膜31和第2薄膜32 的光學膜厚略相同的同時，在其他層所積層之第1薄膜 3 1和第2薄膜3 2之光學膜厚是由水晶板2測逐漸增加，如此設定第1層3 a、第2層3 b、第3層3 c個別之各薄膜的光學膜厚。另外，急遽防止手段係如第1 ( b )圖所示般，由在第1層3 a和第2層3 b和第3層3 c之間，及其兩端積層調整層3 d而成。藉由此調整層3d，得以抑制第1層3 a 和第2層3 b和第3層3 c之各層間急遽轉變之透射率的轉變量。另外，在本實施形態2中’第1薄膜3 1和第2薄膜 32之光學膜厚略相同之層係第1層3a和第3層3c’其他之層係第2層3 b。另外，第1薄膜3 1和第2薄膜3 2之光學膜厚略相同 •18- (16) 1296695 之層之第1層3a和第3層3C之第1薄膜31和第2薄膜 3 2之光學膜厚爲了微調整紅外線遮光濾光片1之波長特性故，設定爲微量地改變。藉由前述構造，於關於本實施形態2之紅外線遮光濾光片1中，可以獲得如第6圖所示之透射率特性。實際測量關於此實施形態2之紅外線遮光濾光片丨的波長特性。接著，顯示其測量結果。

<實施例2 > 在本實施例2中，透明基板係使用折射率1 . 5 4之水晶板2。另外，第1薄膜3 1係使用折射率2.30之Ti02，第2薄膜32係使用折射率1·46之Si 02，設這些的中心波長爲7 0 0 n m。

藉由由前述40層所成之多層膜3的製造方法，形成各薄膜31、32，令這些各薄膜31、32之各個的光學膜厚成爲如表2所示之値，可以獲得如第7圖所示之透過特性。另外，在此實施例2中，設光線的射入角度爲0度，即垂直令光線射入。 -19- (17) 1296695 [表2] 層蒸鍍物質折射率N 光學膜厚Nd 中心波長λ (n m ) 1 Ti02 2.3 0 1.28 700 2 Si02 1.46 1.17 700 3 Ti02 2.3 0 1.08 700 4 Si02 1.46 1.08 700 5 Ti02 2.3 0 1.08 700 6 Si02 1.46 1.08 700 7 Ti02 2.30 1.08 700 8 Si02 1.46 1.08 700 9 Ti02 2.3 0 1.08 700 10 Si02 1.46 1.10 700 11 Ti02 2.3 0 1.10 700 12 Si02 1.46 1.14 700 13 Ti02 2.30 1.14 700 14 Si02 1.46 1.17 700 15 Ti02 2.30 1.17 700 16 Si02 1.46 1.17 700 17 Ti02 2.30 1.17 700 18 Si02 1.46 1.13 700 19 Ti〇2 2.3 0 1.20 700 20 Si02 1.46 1.20 700 2 1 Ti02 2.30 1 .20 700 22 Si02 1.46 1.30 700 23 Ti02 2.3 0 1.40 700 24 Si02 1.46 1.40 700 25 Ti02 2.3 0 1.40 700 26 Si02 1.46 1.40 700 27 Ti02 2.30 1.40 700 28 Si02 1.46 1.40 700 29 Ti〇2 2.30 1.40 700 30 Si02 1.46 1.40 700 3 1 Ti02 2.3 0 1.40 700 32 Si02 1.46 1.40 700 ο η J J Ti02 2.30 1.40 700 34 Si02 1.46 1.40 700 3 5 Ti02 2.30 1.40 700 36 Si〇2 1.46 1.40 700 37 Ti〇2 2.30 1 .40 700 3 8 Si02 1.46 1.40 700 39 Ti02 2.30 1.40 700 40 Si02 1.46 0.70 700 -20- (18) 1296695 表2係表示紅外線遮光濾光片1之多層膜3的組成及各薄膜3 1、3 2的光學膜厚。另外，在此實施例2中，如表2所示般，多層膜3的 4 0層之中，1、2、1 0、1 1、1 8〜2 2、4 0層係構成作爲調整層3 d。如第7圖所示般，在關於此實施例2之紅外線遮光濾光片1中，知道波長約6 5 0nm之光線至約700nm之光線係透射率逐漸減少。即由可見光領域至紅外線領域之波帶中，透射率逐漸減少，知道可以防止透射率急遽減少。如前述般，如依據此紅外線遮光濾光片1，具有與前述之本實施形態1之紅外線遮光濾光片1同樣的作用和效果。另外，與本實施形態1不同之作用和效果係第1層 3a、第2層3b、第3層3c其厚度依序增加而構成，第1 薄膜31和第2薄膜32之光學膜厚略相同之層爲第1層 3a和第3層3c，其他之層爲第2層3b故，在透射率低之領域’例如如第6圖所示般，透射率3 0 %附近中，可以防止透射率急遽轉變。另外，第1層3a和第3層3c之第1薄膜31和第2 薄膜3 2之光學膜厚係設定爲微量地改變故，在透射率急遽轉變之轉變波長帶以外的事先設定之波長帶內，可以抑制微量（例如，沒有顯示在表2所示之光學膜厚Nd之有效數子下之値）轉變之透射率的轉變量。力外，積層有調整層3 d，藉由調整層3 d，得以抑制 -21 - 1296695 (19) 在第1層3 a和第2層3 b和第3層3 C之各層間急遽轉變之透射率的轉變量故，比起形成變極點X更爲理想。另外，在本實施形態2中，雖形成以遮斷自可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，但是，並不限定於此，也可形成以遮斷自紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜。在此情形下，於可見光領域中，形成如第8圖所示之波長，在紫外線領域至可見光領域之波帶中，可以獲得接近人眼之透射率特性。另外，在本實施形態2中，雖在水晶板2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，但是，並不限定於此，例如，可以在水晶板 2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3的同時，在水晶板2之另一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜3。在此情形下，於可見光領域中，形成如第 9圖所示之波長，可以獲得接近人眼之透射率特性。另外，在水晶板2的另一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3的同時，在水晶板2的一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，也可以獲得相同的透射率特性。另外，也可以在水晶板2之一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之前述實施形態 1的多層膜3的同時，在水晶板2的另一面上形成以遮斷 -22- (20) 1296695 由紫外線領域至可見光李率之波帶的光線爲對象之本實施形態2的多層膜3。在此情形，於可見光領域中，形成如第1 〇圖所示之波長，在與攝影裝置組合時，可以獲得接近人眼之透射率。另外，也可以在水晶板2的一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之前述實施形態1之多層膜3的同時，在水晶板2的另一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之本實施形態2之多層膜3。在此情形下，於可見光領域中，形成如第1 1圖所示之波長，在與攝影裝置組合時，可以獲得接近人眼之透射率特性。另外，在此例中，雖在水晶板2的一面上形成關於前述實施形態1之多層膜 3，在水晶板2之另一面上形成關於本實施形態2之水晶板2，但是，並不限定於此，也可在水晶板2之一面上形成關於本實施形態2之多層膜3，在水晶板2的另一面上形成關於前述實施形態1之多層膜3。另外，在本實施形態2中，雖係在水晶板2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，但是，並不限定於此，例如，也可以在水晶板2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3的同時，在水晶板2的另一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜3。在此情形下，於可見光領域中，形成如第9圖所示之波長，可以獲得接近人眼之透射率特性。另外，在水晶板2的另一面上形成以遮斷由可見光領域至 -23- (21) 1296695 紅外線領域之波帶的光線爲對象之多層膜3的同時，在水晶板2的一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之多層膜3，也可以獲得相同的透射率特性。另外，也可以在水晶板2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲爲對象之前述實施形態1的多層膜3之同時，在水晶板2的另一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之本實施形態2之多層膜3。在此情形下，於可見光領域中，形成如第1 〇圖所示之波長，再予攝影裝置組合時，可以獲得接近人眼之透射率特性。另外，也可以在水晶板2的一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領域之波帶的光線爲對象之前述實施形態1之多層膜3的同時，在水晶板2 的另一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之本實施形態2之多層膜3。在此情形下，於可見光領域中，形成如第1 1圖所示之波長，在與攝影裝置組合時，可以獲得接近人眼之透射率特性。另外，在此例中，雖於水晶板2的一面上形成關於前述實施形態1 之多層膜3，在水晶板2的另一面上形成關於本實施形態 2之多層膜3，但是，並不限定於此，也可以在水晶板2 的一面上形成關於本實施形態2之多層膜3，在水晶板2 的另一面上形成關於前述實施形態1之多層膜3。另外，在本實施形態2中，急遽防止手段雖係在第1 層3 a和第2層3 b和第3層3 c之間，及其兩端積層有調 -24- 1296695 (22) 整層3 d所成，但是，並不限定於此，例如，爲了抑制在第1層3 a和第2層3 b和第3層3 c之某一層間急遽轉變之透射率的轉變量，也可在第1層3a和第2層3b和第3 層3 c之間，及其兩端之某一任意的位置積層調整層3 d。另外，在本實施形態2中，如第6圖所示般，雖將變極點X設定在透射率40%，但是，此不過是方便上所設定之値，並不限定於此。另外，在本實施形態2中，雖設多層膜3是由第1層 3a、第2層3b、第3層3c之3層所構成，但是，並不限定於此，也可由第1層3 a和第2層3 b所構成，在此情形下，令其對應由紫外線領域至可見光領域之波帶較爲理想。另外，多層膜3也可以由3層以上之層所構成。在此情形下，可以形成更多的變極點X，更爲理想。例如，在水晶板2的一面上形成以遮斷由可見光領域至紅外線領域之波帶的光線爲對象之前述實施形態1及本實施形態2之多層膜3的同時，在水晶板2的另一面上形成以遮斷由紫外線領域至可見光領率之波帶的光線爲對象之前述實施形態1及本實施形態2之多層膜3。在此情形下，於可見光領域中，形成如第12圖所示之波長，在與攝影裝置組合時，可以獲得接近人眼之透射率特性，更爲理想。另外，在此例中，雖係在水晶板2的一面上形成前述實施形態1 之多層膜3，在水晶板2的另一面上形成本實施形態2之多層膜3，但是，並不限定於此，也可以在水晶板2的一面上形成本實施形態2之多層膜3，在水晶板2的另一面 -25- 1296695 (23) 上形成前述實施形態1之多層膜3。另外，在本實施例2中，多層膜3雖成，但是，其層數並不受此限制。如前述說明般，如依據關於本發明之遮以防止在事先設定的波長帶，例如可見光領急遽轉變，能獲得接近人眼之透射率特性。即如依據本發明之遮光濾光片，爲了防先設定的波長帶內急遽轉變，令多層膜具有轉變之轉變波長帶的波長形成變極點之急遽在事先設定的波長帶，例如可見光領域中，急遽轉變，獲得接近人眼之透射率特性。。接近人眼所感覺到的色度之色度，以攝影裝能夠謀求顏色的再現性提升。另外，在不脫離其精神或主要特徵下，他之各種形式加以實施。因此，前述之實施在所有觀點而言，都不過是單純所舉之例，釋。本發明之範圍係藉由申請專利範圍所示明書本文所拘束。進而，屬於申請專利範圍變形或變更，係全部爲本發明之範圍內者。另外，本申請案係請求基於在2003年本提出申請之特願200 3 - 1 5 2 7 5 1號之優先權案，其之全部的內容係倂入於本申請案中。產業上之利用可能性由 4 0層所構光濾光片，可域中，透射率止透射率在事在透射率急遽防止手段故，可防止透射率因此，可以以置進行攝影，本發明可以其形態及實施例並非限定性解者，並不受說之等同範圍的 5月29日於曰。基於言及該 -26- (24) 1296695 本發明不單是紅外線遮光濾光片，也可以使用在任意的遮光濾光片。【圖式簡單說明】第1 ( a )係顯示關於本實施形態1之紅外線遮光濾光片之構造的模型圖。第1 ( b )圖係關於本實施形態1 之紅外線遮光濾光片之槪略構造圖。第2圖係顯示關於本實施形態1之紅外線遮光濾光片之透射率特性之槪略圖。第3圖係顯示關於本實施例1之紅外線遮光濾光片之透射率特性圖。第4圖係顯示關於本實施形態1之紫外線遮光濾光片之透射率特性之槪略圖。第5圖係顯示關於本實施形態1之紫外線及紅外線遮光濾光片之透射率特性之槪略圖。第6圖係顯示關於本實施形態2之紅外線遮光爐光片之透射率特性之槪略圖。第7圖係顯示關於本實施例2之紅外線遮光濃、光片之透射率特性圖。第8圖係顯示關於本實施形態2之紫外,線^ ^^慮#片之透射率特性槪略圖。第9圖係顯示關於本實施形態2之紫外線及紅外線遮光濾光片之透射率特性之槪略圖。第1 0圖係顯示關於本實施形態1、2之紫外線及紅外 -27- (25) 1296695 線遮光濾光片之透射率特性槪略圖。第1 1圖係顯示關於本實施形態1、2之紫外線及，紅外線遮光濾光片之透射率特性之槪略圖。第1 2圖係顯示關於本實施形態1、2之紫外線及紅外線遮光濾光片之透射率特性之槪略圖。第1 3 ( a )係顯示人眼之感度特性圖。第1 3 ( b )圖係顯示一般的CCD之感度特性圖。

第1 4 ( a )圖係顯示紅外線吸收玻璃之透射率特性圖。第1 4 ( b )圖係顯示紅外線遮光塗層之透射率特性圖。主要元件對照表

1紅外線遮光濾光片 2水晶板 3多層膜 3 1第1薄膜 32第2薄膜 -28-

Claims

(1) 1296695 拾、申請專利範圍 1 · 一種遮光濾光片，是針對由透明基板，及形成透明基板之多層膜所成，多層膜是由高折射率材料所第1薄膜，及由低折射率材料所成之第2薄膜相互積複數層所成，其特徵爲：爲了防止透射率在事先設定的波長帶內急遽轉變述多層膜係具有在透射率急遽轉變之轉變波長帶的波成變極點之急遽防止手段。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之遮光濾光片，其前述多層膜由從前述透明基板側依序以序數詞所定義數層所構成；前述各層係分別由前述第1薄膜和前述第2薄膜層而構成’藉由令這些所積層之前述第1薄膜和前述薄膜之光學膜厚不同，前述各層之個別的厚度也不同前述急遽防止手段係在前述層之中，於至少1個之層中所積層之前述第1薄膜和前述第2薄膜的光學略相同，同時，在其他層中所積層之前述第1薄膜和第2薄膜之光學膜厚由前述透明基板側逐漸增加，如定前述各層之個別的前述各薄膜之光學膜厚。 3 ·如申請專利範圍第2項所述之遮光濾光片’其前述層係由第1層、第2層、第3層所構成，同時’ 第1層、第2層、第3層係其膜厚依序增加而構成；前述第1薄膜和前述第2薄膜的光學膜厚略相層，係前述第2層和前述第3層，前述其他之層是前在此成之層爲 Λ ，刖長形中，之複所積第2 9 以上膜厚前述此設中，這些同之述第 -29- (2) 1296695 1層。 4 .如申請專利範圍第2項所述之遮前述層係由第1層、第2層、.第3層所第1層、第2層、第3層係其膜厚依序前述第1薄膜和前述第2薄膜之層，係前述第1層和前述第3層，前述 2層。 5 .如申請專利範圍第2項所述之遮於前述透明基板之一面上形成有對應由線領域之波長帶的波長之前述多層膜，一面上形成對應由紫外線領域至可見光長之前述多層膜。 6·如申請專利範圍第2項至第5項光濾光片，其中，前述第1薄膜和前述厚略相同之層的前述第1薄膜和前述| 厚’係設疋爲微量地改變。 7 ·如申請專利範圍第2項至第5項光濾光片’其中，前述急遽防止手段係其之兩W的至少一個位置，至少積層1 成；藉由前述調整層，得以抑制在前述透射率的轉變量。光濾光片，其中，構成的同時，這些增加而構成；光學薄膜略相同之其他之層是前述第光濾光片，其中，可見光領域至紅外在前述透明基板另領域之波長帶的波中任一項所述之遮第2薄膜之光學膜 I 2薄膜之光學膜中任一項所述之遮在前述各層之間及層以上之調整層所各層間急遽轉變之 -30-