JP2013200519A - 光学フィルタおよび撮像デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】可視域から近赤外域に至るまでの帯域(特に400nmから1000nm超までの帯域)を透過帯域とする。
【解決手段】光学フィルタ4には、水晶板6と、水晶板6上に形成され、可視域および近赤外域の2つの波長帯域において透過特性を有するフィルタ群8とが備えられている。フィルタ群8には、可視域から近赤外域の予め設定した波長まで連続して透過する透過特性を有する広帯域透過フィルタ群87が含まれ、近赤外域の予め設定した波長は、1000nm超である。
【選択図】図3
【解決手段】光学フィルタ4には、水晶板6と、水晶板6上に形成され、可視域および近赤外域の2つの波長帯域において透過特性を有するフィルタ群8とが備えられている。フィルタ群8には、可視域から近赤外域の予め設定した波長まで連続して透過する透過特性を有する広帯域透過フィルタ群87が含まれ、近赤外域の予め設定した波長は、1000nm超である。
【選択図】図3
Description
本発明は、光学フィルタおよび撮像デバイスに関する。
一般的なビデオカメラやデジタルスチルカメラ等に代表される電子カメラの光学系では、光軸に沿って被写体側から、結合光学系、光学フィルタ、CCD(Charge Coupled Device )やMOS(Metal Oxide Semiconductor )等の撮像素子が順に配設されている(例えば、特許文献1参照)。なお、ここでいう撮像素子は、人の目が視認可能な波長帯域の光線(可視光線)よりも広い波長帯域の光線に応答する感度特性を有している。そのため、撮像素子は、可視光線に加えて、赤外域や紫外域の光線にも応答する。
人の目は、暗所において400nm〜620nm程度の範囲の波長の光線に応答し、明所において420nm〜700nm程度の範囲の波長の光線に応答する。これに対し、例えば、CCDでは、400nm〜700nmの範囲の波長の光線に高感度で応答し、さらに400nm未満の波長の光線や700nmを越える波長の光線にも応答する。
このような光学系で用いる光学フィルタとして、400〜900nmを透過帯域とするものがあり(下記の特許文献1参照)、この光学フィルタに赤外線カットフィルタ(以下、IRカットフィルタとする)を設けて、撮像素子に赤外域の光線を到達させないようにし、人の目に近い撮像画像が得られるようにしている。
ところで、特許文献1に示すような従来の光学フィルタとして、可視域(例えば、400〜700nm)のみや、400〜900nmを透過する透過特性を有するものがあるが、透過率を下げずに透過帯域幅を、可視域から1000nm超の近赤外域まで(例えば400〜1200nm)広げることができない。特に、1000nm超の波長まで透過帯域幅を広げることは、特許文献1の技術ではできない。
現在、可視域だけでなく、可視域から近赤外域に至るまでの帯域を透過帯域として用いる光学フィルタが求められており(例えば、監視カメラや車載カメラなど)、従来の可視域のみを透過帯域とする光学フィルタでは、このような要求に応じることができない。
そこで、上記課題を解決するために本発明は、可視域から近赤外域に至るまでの帯域(特に400nmから1000nm超までの帯域)を透過帯域とすることができる光学フィルタを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明にかかる光学フィルタは、透明基板と、前記透明基板上に形成され、可視域および近赤外域の2つの波長帯域において透過特性を有するフィルタ群とが備えられ、前記フィルタ群には、可視域から近赤外域の予め設定した波長まで連続して透過する透過特性を有する広帯域透過フィルタ群が含まれ、前記近赤外域の予め設定した波長は、1000nm超であることを特徴とする。具体的な構成として、前記フィルタ群は、低屈折率材料からなる第1薄膜と、高屈折率材料からなる第2薄膜とが交互に複数積層されてなり、さらに、前記透明基板に対して屈折率が低い第1フィルタ部と、前記透明基板に対して屈折率が高い第2フィルタ部と、前記第1フィルタ部の屈折率より高く前記第2フィルタ部の屈折率より低い屈折率を有する第3フィルタ部とに区分され、前記広帯域透過フィルタ群は、前記第1フィルタ部、前記第3フィルタ部、前記第2フィルタ部、前記第3フィルタ部、および前記第1フィルタ部が順に積層されて構成されてもよい。
本発明によれば、可視域から近赤外域に至るまでの帯域(特に400nmから1000nm超までの帯域)を透過帯域とすることが可能となる。特に、本発明にかかる光学フィルタを用いることで、1つの光学フィルタで可視域と近赤外域での撮影に対応でき、また監視カメラや車載カメラなどに用いることができる。
前記構成において、前記フィルタ群には、複数の前記広帯域透過フィルタ群が含まれてもよい。
この場合、前記フィルタ群には、複数の前記広帯域透過フィルタ群が含まれているので、透過帯域の波形特性を急峻なものとすることが可能となる。
前記構成において、前記フィルタ群には、屈折率が変化する位置に調整部が含まれてもよい。
この場合、前記フィルタ群には、屈折率が変化する位置に調整部が含まれているので、透過帯域におけるリップルの発生を抑制することが可能となる。
前記構成において、前記フィルタ群は、前記透明基板に対して屈折率が低い低屈折率材料からなる第1薄膜と、前記透明基板に対して屈折率が高い高屈折率材料からなる第2薄膜とが交互に複数積層されてなり、前記低屈折率材料には、SiO2、またはMgF2が用いられ、前記高屈折率材料には、TiO2、Nb2O5、またはTa2O5が用いられてもよい。
前記構成において、前記フィルタ群による透過特性を有する帯域は、400〜1200nmであってもよい。
現在、夜間撮影に用いる赤外線照明用の赤外発光ダイオードは900〜1100nmぐらいが主流であり、このように、本構成によれば、夜間や暗所などで用いるのに好ましい。
上記の目的を達成するため、本発明にかかる撮像デバイスは、本発明にかかる光学フィルタが設けられたことを特徴とする。
本発明によれば、本発明にかかる光学フィルタが設けられているので、本発明にかかる光学フィルタによる作用効果を有することが可能となり、可視域から近赤外域に至るまでの帯域(特に400nmから1000nm超までの帯域)を透過帯域とすることが可能となる。
本発明によれば、可視域から近赤外域に至るまでの帯域(特に400nmから1000nm超までの帯域)を透過帯域とすることが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
本実施の形態にかかる撮像デバイス1には、図1に示すように、光軸2に沿って外部の被写体側から、少なくとも、外部から光を入射する結合光学系であるレンズ3、光学フィルタ4、CCDやCMOSなどの撮像素子5が順に配設されている。
光学フィルタ4には、図2に示すように、透明基板である水晶板6と、この水晶板6の一主面61上に形成され、可視域から近赤外域に至るまでの波長帯域において透過特性を有するフィルタ群8と、水晶板6の他主面62上に形成された一層のARコート7(MgF2など)とが設けられている。なお、フィルタ群8は、従来のIRカットフィルタに対応するものであるが、可視域から近赤外域に至るまでの波長帯域に透過特性を有するので、IRカットフィルタとは異なるフィルタである。ここでいう近赤外域とは、可視域に近い赤外域のことをいい、本実施の形態では、700nmから2500nmまでの波長領域をいう。なお、本実施の形態では、700nmから2500nmまでの波長領域を近赤外域としているが、これは、本発明の出願時において当業者が認識している近赤外域の定義であり、今後近赤外域の定義が長波長側に広がる場合(例えば3000nm)、広がった範囲までの領域が近赤外域となる。なお、本明細書において定義する波長の数字は、厳密に限定されるものではなく、当業者が許容する範囲であればその数値近傍も含まれる。
フィルタ群8は、図2に示すように、水晶板6に対して屈折率が低い低屈折率材料からなる第1薄膜81と、水晶板6に対して屈折率が高い高屈折率材料からなる第2薄膜82とが交互に複数積層されてなる。具体的には、水晶板6の一主面61側から数えて奇数番目の層が第1薄膜81により構成され、偶数番目の層が第2薄膜82により構成されている。なお、本実施の形態では、第1薄膜81にSiO2を用い、第2薄膜82にTiO2を用いている。フィルタ群8は、水晶板6の一主面61側から順に序数詞で定義される複数層、本実施の形態では1層〜61層で構成され、第1薄膜81と第2薄膜82とが交互に積層されている。また、第1薄膜81と第2薄膜82との光学膜厚が異なることにより1層〜61層それぞれの物理膜厚が個別に設定されている。ここでいう光学膜厚は、下記する数式1により求められる。
[数式1]
Nd=λ/4(Nd:光学膜厚、d:物理膜厚、N:屈折率、λ:中心波長)
このフィルタ群8の製造方法として、水晶板6の一主面61に対して、周知の真空蒸着装置(図示省略)によってTiO2とSiO2とが交互に真空蒸着され、図2に示すようなフィルタ群8が形成される。なお、第1薄膜81および第2薄膜82の膜厚調整は、膜厚をモニタしながら蒸着動作を行い、所定の膜厚に達したところで蒸着源(図示省略)近傍に設けられたシャッター(図示省略)を閉じるなどして蒸着物質(TiO2、SiO2)の蒸着を停止することにより行われる。
Nd=λ/4(Nd:光学膜厚、d:物理膜厚、N:屈折率、λ:中心波長)
このフィルタ群8の製造方法として、水晶板6の一主面61に対して、周知の真空蒸着装置(図示省略)によってTiO2とSiO2とが交互に真空蒸着され、図2に示すようなフィルタ群8が形成される。なお、第1薄膜81および第2薄膜82の膜厚調整は、膜厚をモニタしながら蒸着動作を行い、所定の膜厚に達したところで蒸着源(図示省略)近傍に設けられたシャッター(図示省略)を閉じるなどして蒸着物質(TiO2、SiO2)の蒸着を停止することにより行われる。
また、上記のフィルタ群8は、図3に示すように、可視域(400〜700nm)および、可視域に隣接する近赤外域の予め設定した波長(1200nm)に至るまで連続して透過する透過特性を有する。すなわち、フィルタ群8は、図3に示すように、400nm〜1200nmにおいて透過特性を有し、400nm未満と1200nm超において遮断特性を有する。また、フィルタ群8には、屈折率が変化する位置に配した調整部83が含まれている。ここでいう透過特性とは、透過率90%以上を有する波長のことをいう。また、本実施の形態における調整部83は、フィルタ群8と水晶板6との界面層となる1層目(図2参照)に設定されている。
上記のフィルタ群8の具体的な構成は、次の通りである。フィルタ群8は、水晶板6に対して屈折率が低い低屈折率からなる第1フィルタ部84と、水晶板6に対して屈折率が高い高屈折率からなる第2フィルタ部85と、第1フィルタ部84の屈折率より高く第2フィルタ部85の屈折率より低い屈折率を有する第3フィルタ部86とに区分され、第1フィルタ部84と第2フィルタ部85と第3フィルタ部86との屈折率の関係は、第2フィルタ部85>第3フィルタ部86>第1フィルタ部84とされる。
第1フィルタ部84は、低屈折率材料からなる第1薄膜81からなる。第2フィルタ部85は、高屈折率材料からなる第2薄膜82からなる。第3フィルタ部86は、低屈折率材料からなる第1薄膜81と、高屈折率材料からなる第2薄膜82との組み合わせからなる。
本実施の形態では、第1フィルタ部84の第1薄膜81の光学膜厚は0.4とされ、第2フィルタ部85の第2薄膜82の光学膜厚は0.4とされる。また、第3フィルタ部86の第1薄膜81の光学膜厚は0.1とされ、第2薄膜82の光学膜厚は0.14とされる。そして、フィルタ群8では、水晶板6の一主面61側から順に、第1フィルタ部84の第1薄膜81、第3フィルタ部86の第2薄膜82、第3フィルタ部86の第1薄膜81、第2フィルタ部85の第2薄膜82、第3フィルタ部86の第1薄膜81、第3フィルタ部86の第2薄膜82、および第1フィルタ部84の第1薄膜81を積層して1つの広帯域透過フィルタ群87が構成され、この広帯域透過フィルタ群87が複数積層されている。また、フィルタ群8と水晶板6との界面層となる1層目は、調整部83と、広帯域透過フィルタ群87の第1フィルタ部84の第1薄膜81とを積層して構成される。また、複数の広帯域透過フィルタ群87の積層間に関して、それぞれの第1フィルタ部84の第1薄膜81が積層されて1つの層として設定されている。そのため、本実施の形態では、複数の広帯域透過フィルタ群87の積層間は、1つの層として示しているが、技術思想としてはそれぞれの第1フィルタ部84の第1薄膜81が積層されたものである。
上記の複数の広帯域透過フィルタ群87および調整部83によりフィルタ群8を構成することで、従来の図4に示す波長に対する透過率の透過特性が、図3に示す波長に対する透過率の透過特性に変更される。図3に示す透過特性では、図4に示す透過特性に対して、900〜1200nmで透過率が0となる遮断領域を、透過可能な透過領域に可変させることができる。この可変の原因は、合計7つの薄膜の積層体による広帯域透過フィルタ群87によるものであることは各種実験から明らかとなっているが、出願時において発明の原理の究明には至っていない。なお、ここでいう各種実験のデータは多量であるため、ここでの列挙は省略する。
上記の通り、本実施の形態にかかる光学フィルタ4では、図3に示すような可視域から近赤外域に至るまでの帯域(400nmから1200nm超までの帯域)を透過帯域とする透過特性が得られる。
次に、本実施の形態にかかる光学フィルタ4の波長特性を実際に測定し、その測定結果や構成を実施例として図5や表1に示す。
本実施例では、透明基板として、大気中における屈折率が1.54である水晶板6を用いる。第1薄膜81として、大気中における屈折率が1.46であるSiO2を用いる。第2薄膜82として、大気中における屈折率が2.30であるTiO2を用いる。
また、フィルタ群8は61層からなっており、上記のフィルタ群8の製造方法により、第1薄膜81および第2薄膜82が水晶板6上に形成されてフィルタ群8が構成され、図5に示すような透過特性が得られる。本実施例では、光線の入射角を0度、すなわち光線を垂直入射させている。
表1は、光学フィルタ4のフィルタ群8の組成及び各薄膜(第1薄膜81、第2薄膜82)の光学膜厚を示している。本実施例の設計波長は1600nmである。
また、本実施例では、表1に示すように、フィルタ群8は、低屈折率材料からなる第1薄膜81と、高屈折率材料からなる第2薄膜82と、が交互に61層積層されてなる。このフィルタ群8の61層のうち1層目が調整部83としても機能し、7,13,19,25,31,37,43,49,55層目が、複数の広帯域透過フィルタ群87の積層間の層となる。
図5に示すように、本実施例にかかる光学フィルタ4では、可視域である400nmから1200nmまでの波長の光線を透過し(透過率90%以上)、かつ、400nm未満および1200nm超の波長を遮断している(透過率10%以下)。
上記の本実施の形態、本実施例にかかる光学フィルタ4および光学フィルタ4が設けられた撮像デバイス1によれば、可視域から近赤外域までの帯域(特に1000nm超の波長までの帯域)を透過帯域とすることができる。本実施の形態では、400〜1200nmを透過帯域とすることができる。特に、本実施の形態にかかる光学フィルタ4によれば、1つ用いることで可視域と近赤外域での撮影に対応でき、監視カメラや車載カメラなどに用いることができる。
また、フィルタ群8には、複数の広帯域透過フィルタ群87(本実施の形態では、10個の広帯域透過フィルタ群87)が含まれているので、透過帯域の波形特性を急峻なものとすることができる。
また、フィルタ群8には、屈折率が変化する位置となる1層目に調整部83が含まれているので、透過帯域におけるリップルの発生を抑制することができる。
また、現在、夜間撮影に用いる赤外線照明用の赤外発光ダイオードは900〜1100nmぐらいが主流であり、本実施の形態によれば、フィルタ群8による透過特性を有する帯域は、400〜1200nmであるので、夜間や暗所などで用いるのに好ましい。
なお、上記した本実施の形態では、61層のフィルタ群8について説明しているが、フィルタ群8の層数はこれに限定されるものではなく、任意に設定可能である。
また、本実施の形態では、10個の広帯域透過フィルタ群87が用いられている、その数は、限定されるものでなく、数が増えれば増えるほど、安定した透過率を得ることが可能となり、任意に設定可能である。
また、本実施の形態では、透明基板に水晶板6を用いているが、これに限定されるものではなく、光線が透過可能な基板であれば、例えばガラス板であってもよい。また、水晶板6も限定されるものではなく、単板の水晶板、例えば複屈折板であってもよく、複数枚からなる複屈折板であってもよい。また、水晶板とガラス板を組合わせて透明基板を構成してもよい。
また、本実施の形態では、第1薄膜81にSiO2を用いているが、これに限定されるものではなく、第1薄膜81が低屈折率材料からなっていればよく、例えば、MgF2を用いてもよい。
また、本実施の形態では、第2薄膜82にTiO2を用いているが、これに限定されるものではなく、第2薄膜82が高屈折率材料からなっていればよく、例えば、Nb2O5、またはTa2O5を用いてもよい。なお、Nb2O5、またはTa2O5は、TiO2と略同じ屈折率を有するので、第2薄膜82にNb2O5、またはTa2O5を用いた場合、上記した実施例と同様の効果を有する。
また、本実施の形態では、第1フィルタ部84と第2フィルタ部85とは夫々単層で構成されているが、複数層で構成されてもよい。
また、本実施の形態では、第3フィルタ部86は複数層で構成されているが、これに限定されるものではなく、単層で構成されてもよい。
また、本実施の形態では、フィルタ群8を真空蒸着法により水晶板6に形成しているが、これに限定されるものではなく、これらフィルタ群8をイオンアシスト蒸着法やスパッタリング法などの他の手法により水晶板6に形成してもよい。
また、本実施の形態では、水晶板6の一主面61(片面)上にフィルタ群8を設けているが、これに限定されるものではなく、水晶板6の両主面(一主面61,他主面62)上にフィルタ群8を設けてもよい。
また、本実施の形態では、水晶板6の他主面62に一層からなるARコート7を形成しているが、これに限定されるものではなく、多層からなるARコートを形成してもよい。なお、一層のARコート7は、多層からなるARコートに比べて400〜1200nmの帯域において全体として反射防止率が高いので、1000nm超までも透過帯域とする本発明では、一層のARコート7が好ましい。
なお、本発明は、その精神や主旨または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
本発明は、監視カメラや車載カメラなどに用いる撮像デバイスや光学フィルタに好適である。
1 撮像デバイス
2 光軸
3 レンズ
4 光学フィルタ
5 撮像素子
6 水晶板
61 一主面
62 他主面
7 ARコート
8 フィルタ群
81 第1薄膜
82 第2薄膜
83 調整部
84 第1フィルタ部
85 第2フィルタ部
86 第3フィルタ部
87 広帯域透過フィルタ群
2 光軸
3 レンズ
4 光学フィルタ
5 撮像素子
6 水晶板
61 一主面
62 他主面
7 ARコート
8 フィルタ群
81 第1薄膜
82 第2薄膜
83 調整部
84 第1フィルタ部
85 第2フィルタ部
86 第3フィルタ部
87 広帯域透過フィルタ群
Claims (7)
- 透明基板と、前記透明基板上に形成され、可視域および近赤外域の2つの波長帯域において透過特性を有するフィルタ群とが備えられ、
前記フィルタ群には、可視域から近赤外域の予め設定した波長まで連続して透過する透過特性を有する広帯域透過フィルタ群が含まれ、
前記近赤外域の予め設定した波長は、1000nm超であることを特徴とする光学フィルタ。 - 請求項1に記載の光学フィルタにおいて、
前記フィルタ群は、低屈折率材料からなる第1薄膜と、高屈折率材料からなる第2薄膜とが交互に複数積層されてなり、さらに、前記透明基板に対して屈折率が低い第1フィルタ部と、前記透明基板に対して屈折率が高い第2フィルタ部と、前記第1フィルタ部の屈折率より高く前記第2フィルタ部の屈折率より低い屈折率を有する第3フィルタ部とに区分され、
前記広帯域透過フィルタ群は、前記第1フィルタ部、前記第3フィルタ部、前記第2フィルタ部、前記第3フィルタ部、および前記第1フィルタ部が順に積層されて構成されたことを特徴とする光学フィルタ。 - 請求項1または2に記載の光学フィルタにおいて、
前記フィルタ群には、複数の前記広帯域透過フィルタ群が含まれたことを特徴とする光学フィルタ。 - 請求項1乃至3のうちいずれか1つに記載の光学フィルタにおいて、
前記フィルタ群には、屈折率が変化する位置に調整部が含まれたことを特徴とする光学フィルタ。 - 請求項1乃至4のうちいずれか1つに記載の光学フィルタにおいて、
前記フィルタ群は、前記透明基板に対して屈折率が低い低屈折率材料からなる第1薄膜と、前記透明基板に対して屈折率が高い高屈折率材料からなる第2薄膜とが交互に複数積層されてなり、
前記低屈折率材料には、SiO2、またはMgF2が用いられ、
前記高屈折率材料には、TiO2、Nb2O5、またはTa2O5が用いられることを特徴とする光学フィルタ。 - 請求項1乃至5のうちいずれか1つに記載の光学フィルタにおいて、
前記フィルタ群による透過特性を有する帯域は、400〜1200nmであることを特徴とする光学フィルタ。 - 請求項1乃至6のうちいずれか1つに記載の光学フィルタが設けられたことを特徴とする撮像デバイス。
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JP2020201351A (ja) * | 2019-06-07 | 2020-12-17 | キヤノン株式会社 | 光学素子、およびそれを有する光学系、撮像装置 |
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