TWI293477B - Pellicle storage container - Google Patents

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Description

1293477 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以收容·保管 刷電路板、或液晶顯示器等時被當忿置田印 護膠膜組件之防護膠膜組件收納容哭。使用之千版印刷用防 【先前技術】 曰圓導 =裝置或液晶顯示11等之製造時,係利用對半導俨 原板照射光來形成圖案,然而,此時所ί用f 先、或使先轉向,而有轉印之圖案受損之問題。 J隔 時都=光;在無塵室内進行,然而,仍然難以隨 膜組件上之異物不會^轉f_料罩之圖案,則防護黟 然而’賴軸組件賴具有防止異物 卜部侵入内部之效果,當防護二 先罩表二===:=止有;於 如上面所述,強烈要求防護膠膜組件收納 ,㈣牛之保管及運送時可維持防護膠膜組 因此,儘量減少灰塵發生源之要素極為重要。 月匕 灰塵發生源之要素包括構成防護膠敵件㈣容器之 才i、電性特性、清淨度、構成防護膠膜組件收納容器 之接觸、P方護細組件收納容||及防讎酿件之接g、以及夕曰卜 1293477 力對防護雜組件收納容II所造成之摩捧等。 ㈣防護膠膜組件收納容“材料之材質、強度、電 膠膜組件之_方法等之各種要素皆必須考廣 膜組件=ΪΞ用2膠膜組件收納容器係由用以載置防護膠 體互:嵌合以蓋蔓膠膜組件且邊緣部與容器本 性。 &之盍體所構成’其材質皆為獅,蓋體具有透明 法有固定於半導體用防娜膜組件收納败 利文^),。喊_麵触娜難架之上端面之方法(參照專 之 方法專二不之以蓋體内壁壓迫防護膠膜框架之上端面 點,秋^, 屯之構件構成確實地保持防護膠膜框架之優 對於來:容器芯祕由樹脂所製成, 時更=ϊ象在1邊長度超過4GGmm之大型液晶用防護膠膜組件 方法列如在容器本體增設肋部構造來提高剛性之 法,示之在容器本體增設肋部構造來提高剛性之方 化所導;:,或空運等運送中 程度·Β请導紅減抑餐待影_防郝膜組件之 組件固定用以保護塗佈於防護膠膜 文獻3)。 ,、相城接®精娜雜架之找(參照專利 1293477 夕」2戶斤不之利用推壓體固定用以保護塗佈於防護膠膜 法, 且器外部之力對防護膠膜框架較沒ί景;ΪΪ優點 组件之赴装I: 列用雅靨體固定用以保護塗佈於防 不Ιιίϊίίϋ離岐防護賴框架之方法,可以在 雜臈框架本體之狀態下夾鉗保護臈,故具有來自防嘆 铁而,i 7 A R ,▼-丨〜叹π狀π不干乂 ^送中’保護膜通常會塗佈著脫模劑,故 I 树料赌娜酿架雌保護膜。 劑時ϋϊΐίΐ形而使用重剝離類型之物做為保護膜之脫模 膠膜植件i附義時可能導致黏著劑之變形,在將防護 情形,而發生出現空現該變形部位無法貼附於遮罩之 利文獻1】曰本實公平6—45965號公報 [專利文獻2】日本特開2000—173887號公報 【專利文獻3】日本特開平n—〇52553號公報 【發明内容】 有鑑於上述問題,本發明之目的在提 於收納之防護膠膜組件= / 相平版印刷用防護膠膜組件收納容器。 述料為目的之本發明,係由用以載置防護膠膜 =谷盗本體、及覆蓋防護膠膜組件 ^相、、 ,定之蓋體所構成之防護膠膜組件收納互: 膜ί架外側面之孔來保持防護膠膜組王 仟則述谷為本體為樹脂、前述容器本體接合芸厶凰搂此 容器本體之前述金屬構件係以機械方式 纟士 ^ ί^Γίΐΐ^Γ與防護膠膜框架 阻值為她旨且具有表面電 依據本發明,可在極力避免接翻接觸部之情形下,確實地 1293477 握持防濩膠膜框架,而降低發生灰塵之 高之容器本體設置框架保持銷,故具有可且,在剛性提 件之影響之絲。此外,域容器本:對防護膠臈組 之位置,故S少護膠膜組件之位置定’ 之接::設===之;, 低振動對防護膠膜組件之影響 輸送、操作中,可降 體ί材質為樹脂且具有表面電阻值為 lx 題等之異物附著防止效果 :所導致之靜電問 【實施方式】 發』:受針對本發明之實施形態進行說明,然而’本 -士 2圖係本發明之防護膠膜組件收納容11之—實施形態之容 林f表面說_,第4 ®係容ϋ本體#面說明圖。 \圖中’本發明之防護膠臈組件收納容器係由容器本體1、 J體2、框架保持銷3、銷固定構件4、以及補強金屬構件5所構 之防護膠膜組件收納容器相同,容器本體1之中央配 叹者以載置防護膠膜組件之較高之載置台,覆蓋以邊緣部與容 1293477
器本互相嵌合固定之蓋體2而形成封閉空間。 t、容器本體及蓋體之材質方面,考慮容器整體之輕量化,以樹 脂為佳,然而,液晶用之大型防護膠膜組件時,尤其是樹脂之變 形對製品會造成很大影響時,以減少容器本體i之反_目的, 而在容器本體1之背面接合補強金屬構件5。 為I防止防護膠膜組件帶電而成為灰塵附著之原因,容器本 體1及蓋體2所使用之樹脂應具有防靜電性能。防靜電性能以表 面電阻值為lxl〇12Q/□以下為佳。 脂之材f方面’並無特別限制,可使用壓克力樹脂、聚乙 =本二曱樹脂、丙稀脂· 丁二稀·苯乙稀樹脂、聚苯乙稀 树月曰、聚碳酸賴脂、氯化乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、聚乙烯樹脂、 以及丙烯脂·乙烯·苯乙稀等。 ㈣之方式只要沒有發生灰塵之問題,可以從對基底聚合 聚合物之方式、導電膜之覆蓋、以及導電材料之精 虐J夕二ίί材!斗可以為鋁、不銹鋼、碳鋼、銅、黃銅等,考 慮比重及彈性率的話,以紹為佳。
龍ΐίίΐ之放大圖所示,防護膠膜框架6之111定係將框架保 从护枝/又於框架外側面之夾具孔10來實施。為了更以更柔和 至銷3::用f f銷3之前端設置彈性體8、。 式之連結,故匕有強金5進行機械方 而扭=體亦可維; 橡膠、翕丁方面,如腈橡膠、苯乙烯橡膠、矽橡膠、含氟 橡膠二s橡巧甲酸,膠、4氣化乙烯樹脂、聚丙稀 氟化乙稀橡膠為蚀。,、;二丰,以耐久性之觀點而言,以矽橡膠及4 能f往。“、。靜電對策而言,使相關材料具有防靜電機 1293477 利用框架保持鎖3固定防護膠膜框架6之部位至 以上’ ^第3 _示,最好為包括防護膠廳架6 ^ 内之4處以上。 q丨ιππ隹 如第4圖之容器本體之背面之平面圖所示,為了防止 件ί 本體之背面設置補強金屬構件5。補強金°屬構 體亦可獲得效果,然而,如圖所示,以縱橫連結 ^^早 可以獲得更高之效果。 刀八求β又置, 【實施例】 ρ艮於f ’針對本發明之實施舰行說明,然而,本發明並未受 〔實施例〕 製作第1圖〜第4圖所示之防護膠膜組件收納容哭。 P方護膠膜組件收納容H之構成上,主要係由利用^ 以防靜電性ABS樹脂((股)T0RAY製、商品名稱:八 / TOYOLACPAREL ΤΡΙΟ、表面電阻值 5χ1〇ιι Ω/□)進行 之容器本體卜及·_真空細法膽靜電性f传到 面δ又置者σ愐為4Gx6mm之!g合金製補強金屬構件5,如第 示,縱橫蚊連結著5支觀金屬構件5。 W 4圖所 jit,本體表面之銷固賴件4及設置於容器本 ,二面f補強孟屬構件5係夾縣器本體以M4之螺絲進行機械 ΓίΐΐΓ-此外’銷固定構件4及框架保持銷3之材質係PPS, 圖所不,護賴框架6之角部附近之4處配設著框 持銷3 ’雜架保制3之前酬設置著含氟橡膠製之彈性體、^ 踹面782X474X6mm之鋁合金製防護膠膜框架6之-'面塗佈石夕黏者劑(信越化學卫*(股〉製、商品名稱:跋 防》膜則黏著劑,而在另—端面塗佈雜著纖信越化學二業 11 1293477 (股)製、商品名稱:KR120)當做遮罩黏著劑,斟 之防護膠膜組件收納於完成 力^間進行往返空運’檢測運送前後之防護膠膜内^上^=增 7 丰二=:f:萬勒克斯之光’調查防護膠膜膜片 用ION SYSTEM公司(美國加利福尼亞州)製之I〇N、 SYSTEM/MODEL775檢測到運送後之防護膠膜膜片之帶電量 —O.lkV 〇 〔比較例〕 加製作第5圖所示之習用公知之以蓋體内壁2壓迫防護勝膜框 杀6之上端面之構成之防護膠膜組件收納容器。容器本體丨及蓋 體2之材質為表面電阻值1〇ΐ8Ω/□以上之壓克力性樹脂。
山在外部尺寸為782x474x6mm之鋁合金製防護膠膜框架6之一 端,^佈矽黏著劑(信越化學工業(股)製、商品名稱:奴|2〇)當做 P方:蒦膠膜膜片黏著劑,而在另一端面塗佈矽黏著劑(信越化學工業 (股)製、商品名稱:KR120)當做遮罩黏著劑,對其加熱進行烘焙, 再$防護膠膜框架6貼附著利用旋塗法所得到之氟系聚合物(商品 名稱· CYTOP、旭硝子(股)製)之厚度約4#m之防護膠膜膜片7 之防護膠膜組件收納於此防護膠膜組件收納容器,在東京一福岡 間進行往返空運,檢測運送前後之防護膠膜膜片上之異物增加數。 ^在等級100之無塵室内從防護膠膜組件收納容器取出防護膠 膜組件’並在暗房内照射4〇萬勒克斯之光,調查防護膠膜膜片7 表面之異物增加數,結果,防護膠膜膜片7上之10#m以上之異 物增加了 48個,此外,在抵接防護膠膜膜片黏著劑之蓋體之部^ 12 1293477 觀察到運送前沒有之壓痕。此外,利用IONSYSTEM/MODEL775 檢測到運送後之防護膠膜膜片之帶電量為_3 8kv,代表其帶電。 送、附ϊίί發=,收納之防護膠膜組件在保管、運 維持品質。 者”物’而且,可防止防護膠膜組件之污損而 13 1293477 【圖式簡單說明】 面說:月 ^圖係本發明之防護膠膜組件收納容器之〆實施形態之剖 架保防娜驗件㈣容器之-實施形態之框 器本體之^之制f容器之-實施形態之容 說明圖。 (糸表面祝月圖,(b)係容器本體之剖面
哭太係本發明之防護膠雜件收納” 夕— 第5圖係習用之防護膠獏組件收納容器之說明圖。 【主要元件符號說明】 1 容器本體 2 蓋體 3 框架保持銷 4 銷固定構件 5 補強金屬構件 6 防護膠膜框架 7 防護膠膜膜片 8 彈性體 9 連結用螺絲 10 框架夾具孔

Claims (1)

1293477 十、申請專利範圍·· 防護i膜^納容器,包含:容器本體,用以載晋 本體互相盍ϊ特S防護膠膜組件,且其邊緣=容载ί 膠膜=架保_插人設於防護膠驗料側面之孔來保持防護 器,其中 該容^==^-容 器,3其中如输利瓣…軸護=件收納容 及 中心如申請專利範圍第⑷項之防t膠容器,其 中 部設膠膜組件之該框架保持鎖與防護膠膜框架之接觸 5、如申請專利範圍第1或2項之防護膠膜組件收納容器,其 該容器本體及該蓋體之材質為榭 有表面電_為⑽巧/口町^^電^林體及該蓋體具 十一、囷式
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