TWI291807B - Surface acoustic wave device - Google Patents

Description

1291807 玖、發明說明 (發明說明應敘明：發明所屬之技術領域、先前技術、内容、實施方式及圓式簡單說明） 【發明戶斤屬之技術領域3

本發明係有關於一種表面聲波裝置，尤其是有關於一 種將表面聲波共振器連接成多段梯形者。 ϋ先前技I 近年末彳于動電活不等之無線裝置急速朝小型化暨高 機月b化邁進。其咼頻電路上使用有濾波器，其扮演著亟重 要的角色。而為了實現如此之濾波器，乃使用有表面聲波 裝置。 10 15 將表面聲波共振器連接成多段梯形結構之表面聲波裝 =之概略圖顯示於第丨i圖中所示之表面聲波裝置為四 u冓之濾波器，其包含有：設在串聯支路之三個表面聲 波共振器（以下稱為串聯共振器）8卜S2、s3及設於並聯支 路之一個表面聲波共振器（以下稱為並聯共振||)P1、P2、 P3。並聯共振器P2餘第二段及第三段共用，串聯共振 器S3則於第三段及第四段共用者。各共振器係具有一個 驅動電極1〇及配置於其兩側之兩個反射器12、14。為方 便起見’其等參照編號只記載於串聯共振胃s3。反射器 12、14係具有將由驅動電極1G傳播而至之表面聲波密閉 之作用。驅動電極1G與反射電極12、⑷系形成在板狀壓 電體上。如此結構之驅動電極1〇係可被稱為數位間轉換 益ODT)、梳形電極、梳形驅動電極或簾狀電極。以下將 驅動電極稱作梳形驅動電極。 在一將圖1所示之表面聲波共振器連接成多段梯形之 20 1291807 玖、發明說明 極周期（或亦稱為反射器周期），表示間隔-個之電極又之 間之周期。又，在以下說明中，⑴丁周期^中，在 無須特別區分並聯共振器與串聯共振器時，亦寫成 如前述，本發明係於將表面聲波共振器連接成多段梯 形之表面聲波裝置中，令並聯共振器之梳形驅動電極周期 周Ί 2種以上且串聯共振器之梳形驅動電極周期 具2種以上（以下稱為第i條件），且令設置於梳形駆動電 "兩側之反射電極周期與該梳形驅動電極之周期相異(以 下稱為第2條件）’並將並聯共振器之靜電容量具2種以 10 15 上且串聯八振益之靜電容量具2種以上（以下稱做第3條 件）。 ”亥構造以第1圖所示之表面聲波裝置為例，詳細說 明如下。 第1圖之結構係一將表面聲波共振器連接成四段梯形 之表面聲波裝置。對該表面聲波裝置套用第ι條件時，該 表面聲波裝置中並聯共振器P1〜P3之IDT周期“ 、λΡ3有2種以上’串聯共振器s1~Suidt周期“、 λ S2、又S3有2種以上。所謂2種以上，換言之，即指相 異值有2個以上存在者。與並聯共振器ρι~ρ3有關之第1 _^λρι〇Ρ2=λρ3、λρι=λρ2_λρ3、λρι=λρ3 ★λΡ2、或又又Ρ3# 4種方式。同樣，與串聯共 aH 1^#^λδ1^λ82=λ83> λ81=λ AS1=又 S3〇S2、或 As#As2 古 ^等 4 種 方式。 9 20 1291807 玖、發明說明 改變IDT周期，共振器之頻率特性亦有變化。具體 而言，IDT周期加大時，則頻率特性便往較低頻率側移動 。反之，縮短餅周期時，關率特性便往較高頻率側移 動。如同習知，在又P1=又ρ2=λρ3時，三個並聯共振器之 頻率特性便相重疊。因此，源自大量幅射之亂真會大大浮 現1此，以第夏條件設置IDT周期至少具2種以上時， 便形成不相疊之2種以上的頻率特性。藉此，可將大量幅 射分射，且可分散亂真並將之抑制。同時可緩和阻抗失配 10 15 20 。又’如後述’第1條件係與後述之第3條件相組合，可 大幅改善濾波器特性。 接著就前述第2條件進行說明。將第2條件套入第i 圖所示之表面聲波共振器，則配置於梳形驅動電極⑺兩 ，反射電極12、14之周期；^係與該梳形驅動電極⑺ 周期U相異。此外，反射電極12與14係具有同一周期 λ ref ° 第4圖係-梳形驅動電極10周期又⑷與反射電極i2 、14周期L關係圖。第4圖係顯示出“：“㈠夺 之共振_率特性以及時之共振器頻率特性。 此外，弟4圖之橫軸係表示頻率（MHz)、縱軸係表示絕對 -減科之情形係與“〜之情形相 比，更能抑制接近通帶之敗真，又其位置亦相異，同時亦 改善角形性。 *其次’針對前述第3條件進行說明。第丨圖所示之表 面聲波裝置套用第3條件時’該表面聲波袋置係使並聯共 10 1291807 玖、發明說明

振器P1〜P3之缚 h B ^ 之月f電谷1心、^、心3具2種以上，且串 振器S1〜S3之靜電容哥c 絲、 f尾谷里Csi、CS2、CS3具2種以上。2 種以上指的是，換t夕 、。之，相異值有兩個以上存在者。與並 耶/、振器Ρ1〜古關 C 有關之弟3條件係CP1_CP2=CP3、CP1 = /2^3 ' CP1==CWCP2、或 Cp4C#CP3 等 4 種方式 ”串如共振器S1〜S3有關之第3條件為CS1#CS2 10 S: Cs2=^Cs3、CS1 = CS3 关 CS2、或 CS1 关 Cs2关 Cs3 、式此外，並聯共振器P2及串聯共振器S3在動 :上為共用者，但本發”所說之靜電容量與有無共用者 …、關係指實際共振器本身之靜電容量。 、可為以前述第1及第3條件相同之並聯及串聯共振器 成立之結構，亦可為以上述第丨條件與第3條件不同之並 聯及串聯共振器成立之構造。 第5圖係顯示串聯共振器S1及S2之通過特性之圖。 15又^ “之形態中令Csi>Cs^，以靜電容量不同時， 可使成為最小插入損耗之頻率相異者。具有相對較大之靜 ^谷1 Cs丨之串聯共振器s 1具備有陡山肖下降特性。第$ 圖係顯示並聯共振器P1與P2之通過特性之圖。λρι=λ Ρ2之形態中，令Cpi<Cp2時，以靜電容量之不同，可使成 20為最小插入損失之頻率相異者。具有相對較小之靜電容量 CP1之並聯共振器P1係具有較陡峭之下降特性。 進而，在如此之第3條件上組合前述第1條件時，可 改善帶寬及角形性兩者。如前述，將IDT周期增大時，頻 率特性便朝低頻側移動。反之，縮小IDT周期時，則頻率 1291807 玖、發明說明 10 15

特性朝高頻特性側移動。例如，在第5圖中，將具有較陡 峭特性之串聯共振器S1之最小插入損耗之頻率（以下稱為 Μ頻率）與串聯共振器S2之尖译頻率相配時，串聯共振 益S1之IDT周期又S1變大。藉此，串聯共振器si之尖峰 頻率便往低頻側移動，將串聯共振器S1與s2之通過特性 合成後之特性係成為可改善插入損耗及角形性兩方者。又 例如第6圖’將具有較陡山肖特性之並聯共振器pi之尖 峰，率與並聯共振器p2之尖峰頻率相配時，可將並聯^ 振盗P1之周期縮小。藉此，並聯共振器P1之尖峰頻 率往高頻側移動，使將並聯共振器ρι及ρ2之通過特性合 成後之特㈣形成插人損耗及角雜兩方改善者。 又列舉幾個較佳實施形態，即如下所述。 並聯共振益ρ 1〜Ρ3中，省备雪六> β旦丄 Τ硭電谷I最大之並聯共振器（諸 如Ρ2)之梳形驅動電極之周期最大。

串聯共振器S1〜S3中，靜電容量最小之串聯共振器（諸 如S3)之梳形驅動電極之周期最小。 並聯共振器Ρ1〜Ρ3中’梳形驅動電極之周期最小之並 聯共振器（諸如Ρ3)之靜電容量最小。 串聯共振器S1〜S3巾，梳形驅動電極周期最大之串聯 20共振器（諸如S1)之靜電容量最大。 並聯共振器Ρ1〜Ρ3令’令任意兩個並聯共振器ρι與 P2、P2與P3或P1與P3之靜電容量各為c押' ¥，且 令梳形電極周期各為又pa、Apb時，在“a〉·時，則 又又pb。 12 1291807 玖、發明說明 串聯共㈣S1〜S3 I令任意之兩個㈣共振器S1 』、82與83或81與83之靜電容量為〜、 梳形電極周期各為；Ua、 b 在 Csa>Csb 時，則 λ sa> λ sb 〇 5 又’靜電容量係以開口長度L及驅動電極對數N來決 定’因此並聯共振器P1〜P3中，梳形驅動電極之周期相里 2Γ共振器，其中梳形驅動電極之開口長度與驅動電極 t之至少—方是不同的。當然，兩者都不同亦可。同樣 10 ，串：共振器S1〜S3中，梳形驅動電極之周期相異之串聯 共振器’其中梳形驅動電極之開口長度與驅動電極對數之 v方疋不同的。當然，兩者都不同亦可。 15 20 進而，靜電容量亦與梳形驅動電極之電極又寬度與相 鄰接之電極又間之間隙的比有關係，因此並聯共振器 Pi P3中，其甲梳形驅動電極之周期相異之並聯共振器之 梳形驅動電極之電極叉寬度與相鄰接之電極又間之間隙的 比不同。同樣，串聯共振器81,中，其中梳形驅動電極 之周期相異之串聯共振器之梳形驅動電極之電極又盥 相鄰接之電極又間之間隙的比是不同的。 …、 此外，將表面聲波共振器連接成多段梯形之表面聲波 裝置並不限於第i圖所示者’本發明係包含其他各種梯形 表面聲波震置。例如，第1圖所示之串聯共振器S3係於 第三段與第四段共通設置，亦可如第—段與第二段一樣個 ㈣成。反之，亦可使用合成第一段與第二段之率聯共振 态S1及S2之串聯共振器。進而亦可在每一段使用單一串 13 Ϊ291807 玖、發明說明 知共振器。並聯共振益P2亦可以兩個並列共振器構成者 。又，第1圖之第二段的並列共振器P2係位於第二段串 聯共振器S2之後段，但仍可位於前段。此時的並聯共振 器不與另-段共用。進而，將第一段改變形態，在串聯共 5振器S1之後段配置並列共振器P1亦可。又，段數不限於 四段，本發明係包括兩段以上全部的梯形表面聲波裝置。 以下，說明本發明之實施例。 (第1實施例） 第7圖係顯示本發明之第i實施例。如第7圖所示， 10對於PCS之收訊濾波器（通帶=1930〜1990MHZ、衰減（送 訊）帶= 1850〜1910MHz)，而連接 P1_sl_S2-p2_S3-S4 p3 而 成之梯开》;慮波器係藉於壓電基板42Gγ_χ LiTa03上以μ 合金形成。P1為IDT周期AP1 = 2.024/zm、反射器周期λ refP1 = 2.044#m、開口長度Lpi== 54 6//m、驅動電極對數 15 NP1 = 20對；P2為IDT周期又ρ2 = 2·〇43/ζιη、反射器周期 ArefP2= 2.063 #m、開 口長度 Lp2= 83 8 Am、驅動電極對 數NP2 — 72對，P3為IDT周期又p3==2.〇18/zrn、反射器周 期入_ = 2.038，、開口長度Lp3== 54 5 //m、驅動電極 對數NP3 = 2〇對；S1及S4係實周期人π λ ^ ΐ 94ι 20 # m、反射器周期λ refsi =又refS4= ΐ·93ΐ # m、開口長度

Lsl = LS4=25.2/zm、驅動電極對數 Nsi = Ns4=121 對；幻 及S3係IDT周期又S2= ；LS3== 1 969 /zm、反射器周期入 refS2二；UfS3= 1.964//m、開 口長度 Ls2==Ls3= 25 6 //m、 驅動電極對數Ns2 = Ns3=123對等所構成。又全部共振器 14 1291807 玖、發明說明 係以IDT圖案寬度w與IDT間之間隙G之比w/G=i 5 來設計的。 第7圖所示之濾波器之靜電容量關係為 # CS1 = CS4 古 Cs2 = Cs3、IDT 周期為 λ ^ # 入 5 si=AS4^S2=As3 ’ IDT周期與反射器周期相異。在本 圖中’共振器之反射器並沒有降低到接地qnd，當然亦 可定為GND電位。 第8圖中顯示有比較例（濾m)特性與本實施例⑽ 波為B)特性。結果可知插入損耗及慮波器之角形有大幅改 ίο善。又，諸如在符合前述之Cpa>Cpb則，或/ 及务Csa> Csb則Xsa> Isb之條件下，改變靜電容量與 IDT周期時，亦獲得同樣之效果。 (實施例2) 本實施例係具有第1圖之結構，且並聯共振器P1〜P3 15中靜電谷量最大之並聯共振器P2之IDT周期最大之濾波 ° pi係idt周期λρι== 2 032 /ζιη、反射器周期人_ = 2.052 # m、開口長度Lpi== 54·9“㈤、驅動電極對數Νρι = 42對，Ρ2為IDT周期又ρ2==: 2.040 " m、反射器周期；I refP2 —2.060// m、開口長度lP2= 84·3 # m、驅動電極對數nP2 20 — 84對，P3為iDT周期λ p尸2 〇32#瓜、反射器周期入

refP3 —2·052/ζ m、開 口長度[ρ3==54·9# m、驅動電極對數 NP3 = 40 對；81及82為1〇丁 周期又 51=；152= 1 952 _、 反射器周期 λ refsl= λ refS2 = 1.947 /Z m、開 口長度 LS1 = LS2 —25·0# m、驅動電極對數 = 132 對；S3 為 IDT 15 !2918〇7 玖、發明說明 周期 λ53 = 1.952 μπι、反射器周期 ArefS3 == 1.947 //m、開 口長度Ls3=25.0#m、驅動電極對數Nss=66對所構成者 又玉部的共振器係以W/G == 1.5設計的。 第9圖係顯示比較例（濾波器A)與本實施例（濾波器B) 通過特性比較者。藉使靜電容量最大之並聯共振器p2 之1DT周期最大，可大幅改善通帶低頻邊緣之插入損耗。 從處於λ μ變更刖後之插入損耗之低頻側之頻率變化 1 Χ與送訊帶衰減量之頻率變化量Υ之差X—γ>0來看 1〇 ’ 角形。此時之、（W與λΡ2間之差異及各靜 ^ ”畺可藉所要求之濾波器特性，而做任意的改變。又， 入Ρ1與λ Ρ3亦可不相等。 (苐3實施例） 15 20 本貫施例係具備第1圖之結構，且前述並聯共振器P1 、P3中IDT周期最小之並聯共振器p3之靜電容量最小之 :、波為pi為IDT周期λρι = 2 〇32心、反射器周期又 1 # 111開口長度54·9# m、驅動電極對數 = 42 對；P2 為 idt 周期；^ ~ 9 门屑人μ — 2.032# m、反射器周期 又 refP2 = 2.052 #m、開口县 * r __ 0/1 Λ 1食度LP2—84·〇# m、驅動電極對 數NP2 = 84對；P3為IDT月细〕 勹 周期AP3 = 2.〇22//m、反射器周 期又refP3 = 2.042 " m、開口長度^二54 6 #爪、驅動電極 對數NP3 = 40對；周期 心、反射器周d一〜、開口長度 Lsl = LS2=25.0#m、驅動電極對數 Nsi==j^=i32 對⑺ 為IDT周期又^:(.952 久对丁裔周期又refs3== 1.947# 16 1291807 玖、發明說明 m、開口長度LS3 = 25.0gm、驅動電極對數Ns3==66對所 構成。又，全部的共振器係以W/G==l 5來設計的。 · 第10圖係顯示比較例⑽波！！ A)與本實施例⑽波器 B)之通過特性比較者。藉使靜電容量最小之並聯共振器 5 P3之IDT周期最小，可改善通帶低頻邊緣之插入損耗及 角形。此時之λ Ρ2(λ P3)與λ pi間之差異或各靜電容量係可 藉所要求之濾波器特性而作任意的改變。又，λ η與又μ 亦可不相等。又’以入ρ2 >又>又之條件，亦可得到 _ 同樣的結果。 1〇 (第4實施例） 本實施例係具備第1圖之結構，且串聯共振器S1〜S3 中靜電容量最小之串聯共振器S3之IDT周期最小之濾波 為° P1為IDT周期λρι = 2·030#πι、反射器周期；lrefP1 = 2.050#m、開口長度Lpi==52〇“m、驅動電極對數= 15 23對；P2為IDT周期久p2：=2 〇6〇/zm、反射器周期入咖 U80”、開口長度LP2=83.3//m、驅動電極對數NP2 _ =76對；P3為IDT周期λρ3=2·〇20#πι、反射器周期λ refP3—2_040 //m、開口長度、驅動電極對數 ·

Np3—20對’ Sl為1DT周期λ S1= 1.972// m、反射器周期 refSl — 1·967 V m、開口長度[$1 = 30 0〆m、驅動電極對 數 NS1=190 對；S2 為 IDT 周期 As2== 1 972//m、反射器 周期又 refS2 — 1.967 /Z m、開口長度 Ls2 = 31.0 // m、驅動電 極對數 Ns2== 123 對；S3 為 idt 周期；^3= 1.962 /zm、反 射器周期；I refS3= 1952# m、開 口長度 ^=30.0# m、驅 17 1291807 玖、發明說明 動電極對數NS3 = 76對所構成者。又，人加^ 再风f又全部的共振器係以 W/G= 1.5來設計的。 第11圖係顯示比較例(濾波器A)與本實施例(濾波器 B)之通過特性比較者。藉使靜電容量最小之串聯共振器 5 S3之IDT周期最小，可大幅改善通帶高頻邊緣之插入損 耗。又，從處於Aw變更前後之插入損耗之高頻側之頻率 變化量X與通帶高頻側衰減量之頻率變化量γ間之差χ —Υ>0來看’角形亦有改善。此時之與 之差異及各靜電容量係可藉所要求之濾波器特性，而作任 10 意的改變者。又，；lS1與；lS2也可不相等。 (第5實施例） 本實施例之渡波器係具備第1圖之結構，且串聯共振 器S1〜S3中IDT周期最大之串聯共振器si之靜電容量最 大之濾波器。P1為IDT周期人pi = 2.030/zm、反射器周期 15 又 refpi = 2.050 // m、開 口長度 lp1 = 52.0 // m、驅動電極對 數NP1 = 23對；P2為IDT周期λ Ρ2=2·060μ m、反射器周 期 λ refP2 = 2.080 # m、開 口長度 lP2= 83.3 # m、驅動電極 對數NP2= 76對；P3為IDT周期λ P3 = 2.020 # m、反射器 周期 λ refP3 = 2.040 // m、開 口長度 LP3 = 52·0 // m、驅動電 20 極對數 Np3=20 對；S1 為 IDT 周期；lsl = 2.012/zm、反射 器周期又 refsi = 2·007 # Hi、開 口長度 LS1= 30.4 // m、驅動 電極對數 NS1= 190 對；S2 為 IDT 周期 λ s2= 1.972# m、 反射器周期又 refS2= 1 ·962 /z m、開 口長度 Ls2= 31 ·0 /z m、 驅動電極對數Ns2= 123對；S3為IDT周期又S3= 1.972 # 1291807 玖、發明說明 m、反射器周期 λ rem: 1.962/z m、開 口長度 LS3 = 30.0# m、驅動電極對數76對所構成。又，全部的共振器 係以W/G= 1.5來設計的。 第12圖係顯示比較例（濾波器A)與本實施例（濾波器 5 B)之通過特性比較者。藉使靜電容量最大之串聯共振器 S1之IDT周期最大，可改善通帶高頻邊緣之插入損耗及 角形。此時之λ S1與；lS2( Ass)間之差異及各靜電容量係可 藉所要求之遽波器特性，而作任意之改變。又，A s2與入 S3亦可不相專。又，以λ S3 <又S2 <又S1之條件，亦可得 10 到同樣的效果。 在上述各實施例中，藉開口長度與對數Ν以調整共振 器之靜電容量，但亦可藉改變IDT圖案寬度w與IDT間 之間隙G之比W/G，來調整靜電容量（如果降低W/G時， 便可將靜電容量縮小）❶進而，改變開口長度L與對數N 15以及IDT圖案寬度W與IDT間之間隙G之比W/G兩者 ，亦無妨。 第13圖係本發明表面聲波裝置之一構造例之俯視圖。 42° Y切型-X傳播LiTa〇3之壓電基板3〇上形成有八丨合 金之電極。不用說，使用其他壓電基板或其他電極材料亦 20可獲得同樣的效果。此外，第13圖係用以顯示於單一壓 電基板20上形成有串聯共振器S1〜S3之電極及並聯共振 器P1〜P3之表面聲波裝置者，電極圖案係為了與上述條件 一致，而為非嚴密顯示於圖面者。 19 1291807 玖、發明說明 以上，已參考所附圖式說明本發明實施形態及實施例 :本發明係不限於其等實施形態及實施例者，在本發明t . 範圍内可涵蓋各種實施態樣及變形例。 如乂上°兒明’按本發明，可提供一種表面聲波裝置， 八係同時改良連接共振器成多段梯形之表面聲波裝置之插 入損失及角形性者。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示表面聲波裝置之一構造例之示意圖。 · 第2圖係顯示習知設計手法之濾波器特性之示意圖。 10第3圖係_示部分關於共振器之參數之示意圖。 第4圖係顯不梳形驅動電極周期及反射電極周期之關係圖

o J 第5圖係_示串聯共振器之通過特性之示意圖。 · 第6圖係_示並聯共振器之通過特性之示意圖。 15 第7圖孫& ”·、、員示本發明第1實施例之表面聲波裝置之示咅圖 第8圖係1員示比較例與第1實施例之濾波器特性之示意圖 〇 第9圖传盘 * '、項示比較例與第2實施例之濾波器特性之示意圖 20 。 第1 〇圖仫〜一 Α 示比較例與第3實施例之濾波器特性之示意 圖。 第1 1圖仫Β 系顯示比較例與第4實施例之濾波器特性之示意 圖。 20 1291807 玖、發明說明 第12圖係顯示比較例與第5實施例之濾波器特性之示意 圖。 第13圖係顯示本發明表面聲波裝置之一實施形態之示意圖 5 【圖式之主要元件代表符號表】 S1〜S4…串聯共振器 12，14...反射器 P1〜P3...並聯共振器 16，18…惡化部分 λ...梳形驅動電極周期 20,22.··亂真部分 C...靜電容量 W…寬度 L...開口長度 G···距離 Ν...驅動電極對數 波器 10…驅動電極 30...壓電基板 21

Claims (1)

1291807 拾、申請專利範匱 第92103683號申請案申請專利範圍替換本 修正日期：95年12月6曰 1· -種表面聲波裝i，係將表面聲波共振器連接成多段梯 形者，其中令並聯共振器之梳形驅動電極之周期具2種 5 以上，且串聯共振器之梳形驅動電極之周期具2種以上 並々配置於梳形驅動電極兩侧之反射電極之周期與該 梳形驅動電極之周期相異，又令並聯共振器之靜電容量 有2種以上且串聯共振器之靜電容量有2種以上，前述 並聯共振器中，靜電容量最大之並聯共振器之梳形驅動 10 電極的周期係最大者。 2·種表面聲波裝置，係將表面聲波共振器連接成多段梯 幵> 者，其中令並聯共振器之梳形驅動電極之周期具2種 以上且串聯共振之梳形驅動電極之周期具2種以上 ，並令配置於梳形驅動電極兩侧之反射電極之周期與該 15 梳形驅動電極之周期相異，又令並聯共振器之靜電容量 有2種以上且串聯共振器之靜電容量有2種以上，前述 串聯共振器中，靜電容量最小之串聯共振器之梳形驅動 電極的周期係最小者。 3 · —種表面聲波裝置，係將表面聲波共振器連接成多段梯 2〇 形者，其中令並聯共振器之梳形驅動電極之周期具2種 以上’且串聯共振器之梳形驅動電極之周期具2種以上 ’並令配置於梳形驅動電極兩侧之反射電極之周期與該 梳形驅動電極之周期相異，又令並聯共振器之靜電容量 有2種以上且串聯共振器之靜電容量有2種以上，前述 22 1291807 拾、申請專利範圍 並聯共振器中，梳形驅動電極之周期最小之並聯共振器 的靜電容量係最小者。 4· 一種表面聲波裝置，係將表面聲波共振器連接成多段梯 形者，其中令並聯共振器之梳形驅動電極之周期具2種 5 以上’且串聯共振器之梳形驅動電極之周期具2種以上 ，並令配置於梳形驅動電極兩側之反射電極之周期與該 梳形驅動電極之周期相異，又令並聯共振器之靜電容量 有2種以上且串聯共振器之靜電容量有2種以上，前述 串聯共振器中，梳形驅動電極之周期最大之串聯共振器 1〇 的靜電容量係最大者。 如申請專利範圍第卜2、3或4項之表面聲波裝置，其 中前述並聯共振器中梳型驅動電極周期相異之並聯共振 时，係梳形驅動電極之電極叉寬度與相鄰接之電極叉之 間的間隙之比相異者。

6.如申請專利範圍第1、 k型驅動電極周期相異之串聯共振 之電極叉寬度與相鄰接之電極叉之 中前述串聯共振器中梳型 ° ’係极形驅動電極之電 間的間隙之比相異者。 23