TWI282661B - Surface acoustic wave filter - Google Patents

Description

1282661 A7 B7 五、發明説明（i [技術領域] 本發明係有關於一種表面聲波（SAW)濾波器，其係具有 低損失，且廣頻帶之衰減特性。 [習知背景] 近年來，表面聲波濾波器係以壓制收發信號時之無用信 號為目的，故於手機等方面其用途廣泛，且，需要正增加 中。舉例而言，表面聲波濾波器可使用於手機之高頻（rf) 電路部，而且，表面聲波濾波器希望得到插入損失小，且， 頻帶廣之衰減特性作為其特性。 第1圖係習知表面聲波濾波器之一構造例之平面圖。於 第1圖中，表面聲波濾波器係於LiTa〇3或LiNb〇3等壓電 基板1上形成一組反射電極2— 1、2—2。 進而’於刖述一組反射電極2—1、2—2之間，且於前 述壓電基板1上形成多數（第1圖之例為三個）梳形電極3 1、3 — 2、3 — 3。該梳形電極3 — 1、3 — 2、3 — 3係分別 具有多數叉指型電極而構成。 用以構成刖述梳形電極3 — 1、3 _ 2、3 — 3之多數叉指 型電極係每隔一根地且相互共通地接地，又，每隔一根地 插入共通地接地之叉指型電極間之叉指型電極則與輸入端 或輸出端共通連接。 於第1圖之例子中，中央的梳形電極3 — 2之交錯設置 之叉指型電極係與輸入端IN共通連接，而梳形電極3 —卜 3一 3之交錯設置之叉指型電極則與輸出端OUT共通連 接。又，梳形電極3 — 1、3 — 2、3 — 3之叉指型電極間之間 、本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂· -4- 1282661 A7 ----- —_ B7_ 五、發明説明（2 ) · 隔（以下稱作電極間隔）係設定成一樣大。 輸入於輸入端IN之信號係藉濾波器之通帶特性，附帶 特性後朝輸出端OUT輸出。此時，藉表面聲波，於濾波器 整體具有第1駐波A與第2駐波3，第丨駐波A具有共振 波長’且第2駐波B係每個梳形電極3 — 1、3 — 2、3 — 3 皆具有共振波長，且於梳形電極3 — 2具有用以反轉極性 者。因此’於第1圖之例子中，構成具有兩個共振波形之 多重波形濾波器。 依據該等第1駐波A之共振特性及第2駐波B之共振 特性，可決定通帶之特性。 第2圖係以第丨圖之構成之濾波器為單位，串接多數組 而構成之表面聲波濾波器。如第2圖所示，藉著串接濾波 器’可使頻帶端部之衰減特性更加急遽。 又，於第2圖中，係省略前述壓電基板丨來顯示，但於 一個壓電基板1上係形成有兩組反射電極（2 一 1、2 — 2)、 (2 — 3、2 — 4) ’且於各組反射電極間形成有三個梳形電極 (3- 1、3- 2、3 - 3)、（3- 4、3—5、3 - 6)。 該第2圖之形態亦為具有駐波之多數共振波形之多重 波形濾波器。 如此，多重波形濾波器之通帶特性之一例顯示於第3 圖。縱軸表示衰減量，橫軸表示頻率。將從最小衰減值再 衰減3dB之低波側之頻率與高波側之頻率的範圍稱作通帶 寬度。 前述之最小衰減值小，且通帶寬度為廣頻帶者為理想的 。I ； ...... ..... — 本紙張尺度適财晒家鮮（CNS) A4規格(210 X 297公楚) ^ .....................!0----------------tr---------------费 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1282661 A7 _____B7_ 五、發明説明（3 ) 濾波器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於此，如先前於第1圖業已說明，梳形電極3 — i、3 一 2、3— 3,再者，第2圖之例子為梳形電極3一4、3—5、3 —6全部，其中叉指型電極間之電極間距皆一樣大。 進而，為了使濾波器特性之通帶寬度為廣頻帶，必須將 每個梳形電極3 — 1至3 — 6之最外側之又指型電極的間 隔’即，與相鄰接之梳形電極之間隔，例如，梳形電極3 —1與梳形電極3 — 2之間隔設定成與叉指型電極間距相異 之距離。然而，當將梳形電極之最外側之又指型電極的間 隔5又疋成與叉指型電極相異之距離時，於相鄰接之梳形電 極之最外侧之叉指型電極的間隔GAP中，於共振波長之相 位會產生不連續。 第4圖係將於第1圖之構造中，由中央的梳形電極3一 2之中心分成兩半之左侧部分放大顯示。由於右侧部分係 將第4圖朝右側折疊之構造，故省略其圖示。 前述梳形電極3 — 1與梳形電極3 —2中之叉指型電極間 之電極間距的大小皆一致。再者，於第4圖中，梳形電極 3 — 1之最外侧叉指型電極與梳形電極3一2之最外側叉指 型電極之間會產生間隙GAP。當該間隙GAp的大小不等 於梳形電極3 — 1與梳形電極3 — 2之電極間距的大小時， 於產生於梳形電極3— 1之表面聲波SAW1及產生於梳形 電極3 —2之表面聲波SAW2會產生相位的不連續。 以下藉由從刖述壓電基板1之截面方向觀察之第5圖說 明該表面聲波之相位的不連續性。如第5圖所示，於間隙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） -6- !282661 A7 ---— 67__ 五、發明說明（4 )

Gap中，會產生表面聲波SAW1及SAW2之不連續，藉此， 會產生潛入前述壓電基板1之大量聲波放射4。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 該大量聲波放射4成為表面聲波濾波器之傳送損失的 大因素。因此’必須保持表面聲波之相位的連續性。 德國特許專利公報DE4212517號所揭示之技術有作為 用以保持表面聲波之連續性的方法。於該技術中，於相鄰 接之梳形電極間，隨著線性函數或正弦波，配置電極後插 入疑似性反覆構造。 但，一般而言，若相鄰接之梳形電極間之間隔GAP變 大’則傳送損失會有變大的傾向，因此，於可插入前述德 國特許專利公報所揭示之疑似性反覆構造之程度相鄰接之 梳形電極間之間隔GAP大者並不理想。 [發明之揭示] 如此一來，有鑑於上述問題點，本發明之目的在於提供 一種可得到低損失，且廣頻帶之衰減特性之表面聲波濾波 器。 進而，更具體而言，本發明之目的在於以於壓電基板上 至少設一組反射電極，且於該反射電極間設置輸出暨輸入 梳形電極，並於反射電極間内激勵表面聲波之表面聲波渡 波器為前提，提供一種用以降低因前述梳形電極間之表面 聲波之相位的不連續性使傳送損失之表面聲波濾波器。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第1 態樣，係包含有：壓電基板、形成於前述壓電基板上之一 組反射電極及於前述一組反射電極之間形成於前述壓電基 3本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） 1282661 A7 —-一-— B7 _ 五、發明説明（5 ) 上之多數梳形電極，又，與前述多數梳形電極之相鄰接 之兩&心電極有關’且其中一梳形電極之電極間距係設定 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 成在與相鄰接之另一梳形電極之最外側的叉指型電極之間 隔中，以前述兩梳形電極所產生之表面聲波之相位為連續 變化。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第2 態樣，係包含有：壓電基板、形成於前述壓電基板上，且 串接之夕數組濾波器單位，且，前述多組濾波器之各組具 有·一組反射電極及於前述一組反射電極之間形成於前述 壓電基板上之多數梳形電極，又，與前述多數梳形電極之 相鄰接之兩梳形電極有關，且其中一梳形電極之電極間距 係設定成在與相鄰接之另一梳形電極之最外侧的叉指型電 極之間隔中，以前述兩梳形電極所產生之表面聲波之相位 為連續變化。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第3 態樣’係包含有：形成於前述壓電基板上之一組反射電極 及於前述一組反射電極之間形成於前述壓電基板上之多數 梳形電極，又，與前述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電 極有關，且各個梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接 之梳形電極之最外側的叉指型電極之間隔中，以前述兩梳 形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第4 態樣，係包含有：形成於前述壓電基板上，且串接之多數 組濾波器單位，且，前述多數濾波器之各組具有：形成於 約%紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 1282661 A7 __ B7_ 五、發明説明（6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述壓電基板上之一組反射電極及於前述一組反射電極之 間形成於前述壓電基板上之多數梳形電極，又，與前述多 數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有關，且各個梳形電極 之電極間距係設定成在與相鄰接之另一梳形電極之最外側 的叉指型電極之間隔中’以前述兩梳形電極所產生之表面 聲波之相位為連續變化。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第5 態樣，於前述第1或第2態樣，其中前述相鄰接之兩梳形 電極之其中一個係區分為多數區塊，且於每個前述被區分 之多數區塊係設定成具有不同的電極間距。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第6 態樣，於前述第3或第4態樣，其中前述各個相鄰接之兩 梳形電極係區分為多數區塊，且於每個前述被區分之多數 區塊係設定成具有不同的電極間距。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第7 態樣’於前述第1或第2態樣，其中前述相鄰接之兩梳形 電極之其中一梳形電極的電極間距係設定成依序不同。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第8 態樣’於前述第3或第4態樣，其中各個前述相鄰接之兩 梳形電極之電極間距係設定成依序不同。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第9 態樣，於前述第1或第3態樣，其中前述相鄰接之兩梳形 電極係輸入用梳形電極與輸出用梳形電極。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第 %紙張尺度適用中國國家標準獻297公楚) ~ — 1282661 A7 B7 五、發明説明（7 ) — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 10態樣’於前述第2或第4態樣，其中前述串接之多組濾、 波器内’第1段組之前述相鄰接之兩梳形電極之其中一個 係輸入用梳形電極，而最末段組之前述相鄰接之兩梳形電 極之另一個係輸出用梳形電極。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第 11態樣，係包含有··壓電基板、形成於前述壓電基板上之 表面聲波共振器及形成於前述壓電基板上，且與前述表面 聲波共振器直列地連接之多重波形濾波器，且，前述多重 波开> 濾波器係具有：一組反射電極及於前述一組反射電極 之間形成於前述壓電基板上之多數梳形電極，且，與前述 多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有關，其中一梳形電 極之電極間距係設定成在與相鄰接之另一梳形電極之最外 側的叉指型電極之間隔中，以前述兩梳形電極所產生之表 面聲波之相位為連續變化。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第 12態樣，係包含有：壓電基板、形成於前述壓電基板上之 表面聲波共振器及形成於前述壓電基板上，且與前述表面 聲波共振器直列地連接之第1及第2多重波形濾波器，且， 前述第1及第2多重波形濾波器具有··一組反射電極及於 前述一組反射電極之間形成於前述壓電基板上之多數梳形 電極’又，與前述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有 關，其中一梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接之另 一梳形電極之最外侧的叉指型電極之間隔中，以前述兩梳 形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化。 …“本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） -10- 1282661 A7 --------- B7_ 五、發明説明（" 鶴"~ ^ 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第 U態樣，於第U或12態樣，其中前述表面聲波共振器係 進而與第2表面聲波共振器並列地連接。 用以達成上述課題之本發明表面聲波濾波器，作為第 14 L樣，於第丨2態樣，其中前述表面聲波共振器係與不 平衡之輸入端或不平衡之輸出端相連接，且，前述第丨及 第2多重波形濾波器之端子間係與相對應之平衡的輸出端 或平衡的輸入端相連接。 本發明之特徵係隨著圖示，從以下所說明之發明實施形 態更加明白。 [圖式之簡單說明] 第1圖係習知表面聲波濾波器之一構造例之平面圖。 第2圖係將第1圖之構成之濾波器串接而構成之表面聲 波濾波器。 第3圖係顯示依多重波形濾波器之通帶特性之一例。 第4圖係將於第1圖之構成中，由中央梳形電極3 — 2 之中心分成兩半之左側部分放大顯示。 第5圖係由壓電基板丨之截面方向觀察表面聲波之相位 的不連續性。 第6圖係本發明之第1實施形態例，且與第4圖同樣地 省略壓電基板1而僅顯示電極構造之平面圖。 第7(A)、（B)圖係用以說明使第6圖之實施形態例中， 於與梳形電極3 — 1之最外側之叉指型電極322之間隔中之 表面聲波之相位連續。 ^ - I ' III····· u 1.1. 1 ' 1 _請· 1^本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） ----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、可| 身- -11- 1282661 A7 B7 五 發明説明 9 第8圖係本發明之第2實施形態例。 第9圖係另一實施形態例。 第1 〇圖係就第9圖之實施形態例中，分兩段串接之實 施例，顯示所測定之通帶特性。 第11(A)、（B)圖係使表面聲波（SAW)共振器與多重波形 遽波器直列地連接之表面聲波濾波器之一構成例。 第12(A)、（B)圖係相對於第11圖之濾波器構成，進而 使另一多重波形濾波器21與多重波形濾波器20並列地連 接之構成例。 第13圖係於第12 A圖之構成中，於多重波形濾波器 20、21之各個梳形電極適用本發明之表面聲波遽波器之特 性圖。 第14圖係將第13圖之特性圖之通帶領域放大顯示。 [發明之實施形態] 第6圖係本發明之第1實施形態例，且與第4圖同樣地 省略壓電基板1而僅顯示電極構造之平面圖。即使於以下 的實施形態例亦相同。再者，第6圖係與第4圖所示之同 樣地，將於第1圖之構成中由中央梳形電極3 — 2之中心分 成兩半之左侧部分放大顯示圖。 又，第6圖之表面聲波濾波器係使用漏（Leaky)表面聲 波作為實施例。 第6圖所示之實施形態例之特徵在於中央梳形電極3 — 2之電極間距P4維持不變，而將與梳形電極3一 2相鄰接 之梳形電極3 — 1 (於右側半份之構成則為梳形電極3 — 3) Γ'ί f'·. Ud C請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁} ·、τ· $本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -12- 1282661 A7 B7 10 五、發明説明（ 區分為多數區塊。於第6圖所示之例子中，梳形電極3—i 係區分為三個區塊31、32、33。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 進而，刖述二個區塊3丨、32、33各個係分別階段性地 相異成為電極間距……^藉^可使於梳形電㈣ 2之最外侧之叉指型電極321與梳形電極3 —丨之最外側 之叉指型電極322之間隔中之表面聲波之相位連續。 該情形則顯示於第7圖。第7A圖係再次顯示第5圖， 且於梳形電極3—1與3 —2之間，於表面聲波SAW1與 SAW2間產生相位的不連續。第7B圖係依照第6圖之實施 形態例，且藉由梳形電極3 — 1之已區分為多數之區塊33 之電極間距，調整其與梳形電極3 — 2之最外側之叉指型電 極的間隔。 藉此’梳形電極3 — 1之區塊33之表面聲波SAW1與 梳形電極3 — 2之表面聲波SAW2間之表面聲波的相位可 連續，且可防止潛入壓電基板之大量聲波放射。 第8圖係本發明之第2實施形態例。於該實施形態例 中’係使梳形電極3 — 1之間距依序不同，且使與梳形電極 3 — 2 —端之叉指型電極間之波長相位連續而構成。 特別是於第8圖中，從梳形電極3 — 1之中心朝兩方向， 諸如，具有？4<?3<?2<?1 = ?1，>?2，>?3，>?4，之關 係’以調整電極間距的大小，使得表面聲波之相位即使於 梳形電極3 — 2及反射電極2— 1之間亦連續。 第9圖係另一實施形態例。於上述實施形態例中，僅調 整梳形電極3 — 1及已省略圖示之右侧部分的梳形電極3 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 13- 1282661 A7 _— _ B7_ 五、發明説明（u ) 3之電極間距，而實現與相鄰接之中央梳形電極卜2之間 的表面聲波之相位的連續性。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 相對於此，於第9圖所示之實施形態例中，即使於梳形 電極3 —2亦試圖調整電極間距。藉此，相較於僅藉梳形電 極3— 1(3 —3)之情形，電極間距之調整較為容易。 於該實施形態例中，係將梳形電極3 —丨區分為區塊 31、32'33，且各自的電極間距為1>1、1>2、1>3。另一方面， 梳形電極3 —2亦區分為三個區塊21、22、23(已省略圖示 之梳形電極3 — 2之右側部分之與區塊2丨相對應之區塊）。 梳形電極3 — 2之三個區塊21、22、23之電極間距係P4、 P5、P6。且，於第9圖中，梳形電極3一 2之區塊23及區 塊22的右半份則未出現於圖中。 若該等電極間距PI、P2、P3、P4、P5之比率以梳形電 極3 — 2之中央區塊22之電極間距P5為基準值”丨，，作為 實施例，則設定成如下之關係。 P1 = 0.9976 P2= 0.9669 P3= 0.8986 P4= 0.9375 P5= 1 第10圖係就於第9圖之實施形態例中，以電極間距p 5 為基準’如上所述地設定電極間距PI、P2、P3、p4、P5 之關係’且如第2圖所示分兩段串接之實施例，顯示所測 定之通帶特性。 °本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -14- 1282661 A7 B7 12 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於第10圖中，特性A係表示本發明表面聲波濾波器之 L帶f f生而特性B則表示未進行電極間距之調整之習知 表面聲波濾波器之通帶特性。 根據第10圖之比較，於依本發明之表面聲波濾波器 中，相對於未進行電極間距之調整之習知表面聲波濾波器 之特性B，本發明表面聲波濾波器之特性A係改善插入損 失約ldB(ML)。進而，可理解本發明表面聲波濾波器之通 帶寬度I係較習知表面聲波濾波器之通帶寬度π更廣。 於此’雖然於上述各實施形態中，與多數梳形電極有 關’僅顯示三個梳形電極之情形，但本發明之適用係不限 於此。於分別形成一個輸出暨輸入用梳形電極之濾波器或 於具有三個以上的梳形電極之表面聲波濾波器皆可適用。 進而，於上述實施形態例中，雖然以第丨圖之構成為遽 波器單位而圖示，但如第2圖所示，於分兩段或者分更多 段串接多數組濾波器單位之表面聲波濾波器中，以各個渡 波器早位調整依本發明之梳形電極中之電極間距亦可適 用。 又，於第6圖與第8圖之實施形態例中，雖然先固定中 央梳形電極3 — 2之電極間距，再調整與其相鄰接之梳形電 極3 — 1 (3 — 3 )之電極間距，但，相反地，亦可固定梳形電 極3— 1(3— 3)之電極間距後，調整中央梳形電極3 — 2之電 極間距而構成。 於此，可知作為表面聲波濾波器之形態，藉由使表面聲 波（SAW)共振器與多重波形濾波器直列地連接，以改善衰 -15 - y’本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Μ規格（210X297公爱） 1282661 A7 _______ _B7_ 五、發明説明（13 ) 減特性之手法。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第11圖係作為可得到上述濾波器整體之插入損失降低 及廣頻帶特性之構成，使SAW共振器與多重波形濾波器 直列地連接之表面聲波濾波器之一構成例。 第11A圖之構成係於壓電基板1上形成有用以構成 SAW共振器1〇及多重波形濾波器2〇之電極，且將該等直 列地連接者。又，於第11A圖之例子中，係將SAW共振 器1 〇侧視為不平衡輸入IN，且由多重波形濾波器20得到 不平衡輸出之構成。該輸出暨輸入關係亦可逆向進行。 第11B圖係相對於第11A圖之構成，進而於saw共振 器10並列地連接有另一 SAW共振器11之構成。於該構成 中，可得到更理想的濾波器特性。 第12圖雖然省略壓電基板1而顯示，但相對於第“A 圖、第11B圖之濾波器構成，係進而使另一多重波形濾波 器21與多重波形濾波器20並列地連接之構成例。於該第 12圖之構成中’可使輸入或輸出側平衡，且有利於適用於 需不平衡與平衡變換之電路。 本發明係於將前述第11圖、第12圖所示之SAW共振 器10與多重波形濾波器20、21直列地連接之構成之表面 聲波濾波器中，具有多數（第11圖、第12圖中為三個）梳 形電極之前述多重波形濾波器20、21可適用本發明者。 第13圖、第14圖係用以比較於第12B圖之構成中， 於多重波形濾波器20、21之各個梳形電極適用本發明，且 使梳形電極與反射電極間之表面聲波之相位連續之表面聲 辟^本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） -16 - 1282661 14 五、發明説明（ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 波濾波器之特性（實線A)與於第圖之構成中，不適用 本毛月，而於梳形電極與反射電極間之表面聲波之相位產 生不連續之習知表面聲波渡波器之特性（虛線B)。 於第13圖、第14圖中，橫軸為正規之頻率，且於縱韩 ^不通過知失。再者’帛14圖係將第圖之特性圖中之 通帶領域部分放大顯示。 進而’具有實線A之特性之本發明表面聲波濾波器係 具有以下尺寸^ 於第12B圖之構成中，多重波形濾波器2〇、21係使左 側反射電極—三個梳形電極（IDT1 _ IDT2 - IDT1)_右側 反射電極並排而構成。 該等梳齒電極對數於左側及右側反射電極分別為 (52)，再者，三個梳形電極之電極對數為[(13一2一 15) 一 (2- 13.5-2)-(1.5—2- 13)]。 左側反射電極之電極間距為2 〇7)Lim，右側反射電極之 電極間距為2·〇6μιη，三個梳形電極之電極間距為（2 〇65 — 1.995 — 1.855) — (1.920 — 2.040 — 1.92) — (1.855 — 1.995 — 2·065)μιη 〇 又，電極交叉寬度為61μηι。

再者，直列的SAW共振器10之構成為（反射電極—mT 一反射電極）’而電極對數為5〇— 105—50對。 電極間距為2.007 — 2.007 — 2·007μηι，交叉寬度為 43μηι 〇 並列的SAW共振器11之構成為（反射電極一 IDT一反射 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 17_ 15 1282661 五、發明説明（ 電極） 極對數為50—67—50對 電極間距為2〇67— Ολοι • 7 — 2·〇87 — 2·067μιη，交叉寬度為 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 55μιη 〇 方面具有虛線Β之特性之習知構成之表面聲波 滤波器則具有以下尺寸。 於第12Β圖之構成中，多重波形濾波器2〇、21之電極 對數及電極間距係與實線Α之適用本發明之表面聲波濾波 器不同。 於夕重波㈣波|| 2〇、21中，電極對數於左側及右侧 反射電極刀別為（6〇)、（4〇)，三個梳形電極之電極對數為 [(10.5)— (14.5) —（ΐ〇·5)]。 左側反射電極之電極間距為2 ()5μιη，右侧反射電極之 電極間距為2·05μιη，三個梳形電極之電極間距為2〇5一 2·01 —2·05μηι，交叉寬度為 6〇μηι。 於此，於第13圖、第14圖中之實線Α與虛線3之特 性的比較中，具有虛線B之特性之習知表面聲波濾波器係 以具有一定的頻帶寬度為前提而決定設計值。再者，具有 實線A之特性之適用本發明之表面聲波濾波器則同樣地以 前述具有一定的頻帶寬度為前提而決定設計值。 因此，如上所述，可以理解雖然具有實線A之特性之 適用本發明之表面聲波濾波器與具有虛線B之特性之習知 表面聲波濾波器之各個多重波形濾波器20、2 1之梳形電極 的對數不同，但，即使於由SAW共振器與多重波形據波 器之直列連接所構成之表面聲波濾波器亦可適用本發明 __ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 1282661 A7 五、發明説明（16 )

且’亦無知通帶之急遽性，而更可驻A 叫更了精由本發明減少插入損 失。 、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) [產業可利用性] 隨著以上圖示，如業已說明之實施形態例，根據本發明 之構成’可提供一種相較於習知例可改善傳送損失及通帶 寬度之表面聲波渡波器。 [圖中標號說明] 1…壓電基板 2— 1、2— 2…反射電極 3 — 1、3 — 2、3 — 3…梳形電極 4···大量聲波放射 10、11...SAW 共振器 20、21…多重波形濾波器 31、32、33···區塊 321、322…叉指型電極 GAP···間隔 PI、P2、P3、P4、P5·.·電極間距 A、B·.·駐波 SAW1、SAW2···表面聲波 IN·.·輸入端 OUT···輸出端 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 19-

Claims (1)

1282661 A8 B8 C8 --------- D8 六、申請專利範圍 1 · 一種表面聲波濾波器，包含有： 壓電基板； 一組反射電極，係形成於前述壓電基板上；及 多數梳形電極，係於前述一組反射電極之間形成於 前述壓電基板上， 又，與前述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有 關’且其中一梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接 之另一梳形電極之最外側的叉指型電極之間隔中，以前 述兩梳形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化。 2 · —種表面聲波濾波器，包含有： 壓電基板；及 多數組濾波器單位，形成於前述壓電基板上，且係 串接者， 且，前述多數組濾波器之各組具有： 一組反射電極；及 多數梳形電極，係於前述一組反射電極之間形成於 前述壓電基板上者， 又’與前述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有 關’且其中一梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接 之另一梳形電極之最外側的叉指型電極之間隔中，以前 述兩梳形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化。 3 · —種表面聲波濾波器，包含有： 一組反射電極，係形成於前述壓電基板上；及 多數梳形電極，係於前述一組反射電極之間形成於 I本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（2ι〇Χ297公楚) -- -20- 1282661 A B c D 六、申請專利範圍 前述壓電基板上者， 又，與前述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有 關，且各個梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接之 梳形電極之最外側的叉指型電極之間隔中，以前述兩梳 形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化。 4 · 一種表面聲波渡波器，包含有·· 形成於前述壓電基板上，且串接之多數組濾波器單 位， 且，前述多數濾波器之各組具有： 一組反射電極，係形成於前述壓電基板上；及 多數梳形電極，係於前述一組反射電極之間形成於 前述壓電基板上者， 又’與則述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有 關，各個梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接之另 一梳形電極之最外側的又指型電極之間隔中，以前述兩 梳形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化。 5.如申請專利範圍第1或2項之表面聲波濾波器，其中前 述相鄰接之兩梳形電極之其中一梳形電極係區分為多 數區塊’且於每個前述被區分之多數區塊係設定成具有 不同的電極間距。 6·如申請專利範圍第3或4項之表面聲波濾波器，其中前 述各個相鄰接之兩梳形電極係區分為多數區塊，且於每 個前述被區分之多數區塊係設定成具有不同的電極 距0 1282661 A B c D 六、申請專利範圍 7·如申請專利範圍第丨或2項之表面聲波濾波器，其中前 述相鄰接之兩梳形電極之其中一梳形電極的電極間距 係設定成依序不同。 8_如申請專利範圍第3或4項之表面聲波濾波器，其中各 個前述相鄰接之兩梳形電極之電極間距係設定成依序 不同。 9·如申請專利範圍第1或3項之表面聲波濾波器，其中前 述相鄰接之兩梳形電極係輸入用梳形電極與輸出用梳 形電極。 10.如申請專利範圍第2或4項之表面聲波濾波器，其中前 述串接之多數組濾波器内，第i段組之前述相鄰接之兩 梳形電極之其中一梳形電極係輸入用梳形電極，而最末 段組之前述相鄰接之兩梳形電極之另一梳形電極係輸 出用梳形電極。 11 · 一種表面聲波濾波器，包含有： 壓電基板； 表面聲波共振器，係形成於前述壓電基板上；及 多重波形濾波器，係形成於前述壓電基板上，且與 前述表面聲波共振器直列地連接， 且，前述多重波形濾波器具有·· 一組反射電極；及 多數梳形電極，係於前述一組反射電極之間形成於 前述壓電基板上者， 又’與前述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有 84 %紙張尺度朝中國@家鮮（CNS) Α4ϋΐ〇Χ297公變) 一 -22- 1282661 A B c D 申請專利範圍 關，且其中一梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接 之另一梳形電極之最外側的叉指型電極之間隔中，以前 述兩梳形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化。 12· —種表面聲波濾波器，包含有： 壓電基板； 表面聲波共振器，係形成於前述壓電基板上；及 第1及第2多重波形濾波器，係形成於前述壓電基 板上’且與前述表面聲波共振器直列地連接， 且，前述第1及第2多重波形濾波器具有： 一組反射電極；及 多數梳形電極，係於前述一組反射電極之間形成於 前述壓電基板上者， 又，與前述多數梳形電極之相鄰接之兩梳形電極有 關’且其中-梳形電極之電極間距係設定成在與相鄰接 之另-梳形電極之最外側的又指型電極之間隔中，以 述兩梳形電極所產生之表面聲波之相位為連續變化 13.如申請專利範圍第n或12項之表面聲波濾波器，其， 前述表面聲波共振減進而與第2表面聲波共振器並列 地連接。 如申請專利範圍第12項之表面聲㈣波器其中前述 表面聲波共振器係與不平衡之輸入端或不平衡之輸出 端相連接’ 且，前述第1及第2多會油再彡、泰、上 重波形濾波器之端子間係與 相對應之平衡的輸出端或平衡的輸入端相連接。 前 中

1 0.5本舰尺度適财酬家標準…叫A4规格（210X297公石 -23-