A7 1257768 五、發明說明（/ ) 〔發明所屬之技術領域〕 本發明係關於彈性表面波裝置以及使用其之通訊裝置 ’該彈性表面波裝置，係沿著彈性表面波的傳送方向形成 複數個具有複數電極指的梳型電極部（叉指換能器，以下 記作IDT)而成之縱耦合諧振器型彈性表面濾波器。 〔先前技術〕 作爲行動電話的RF頻段的帶通濾波器，係大量使用 彈性表面濾波器（彈性表面波裝置）。帶通濾波器所要求 之各種性能，可列舉如低損耗、高衰減量、寬頻帶等。在 彈性表面濾波器方面，與上述各性能有關的發明很多。 其中，作爲縱耦合諧振器型彈性表面濾波器的寬頻帶 化方法所廣爲採用者，例如特開平5 - 267990號公報等所 揭示般，將通過相鄰2個IDT間之電極指週期排列條件， 具體而言，將相鄰2個IDT的相鄰電極指的中心間距離設 爲電極指的間距所決定的波長之0.5倍之外，使共振模式 的配置最佳化。 〔發明所要解決之課題〕 然而，在上述以往的情形，即使可以達成寬頻帶化， 還是會有插入損耗惡化的問題。 也就是，若將2個IDT間的相鄰電極指間的距離設爲 電極指間距所決定的波長之0.5倍之外，在該部分彈性表 面波的傳送路徑的週期連續性會變差。尤其是，對使用拽 漏彈性表面波（洩漏波）的367(：ιιΐΧ傳送UTa03以及使 用64°YcutX傳送LiNb03等的壓電基板的彈性表面濾波器 _ 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱1 " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
訂· · •線. A7 1257768 五、發明說明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，體波放射所造成之損耗會增大，其結果，雖然可達成寬 頻帶化，但仍會有插入損耗（傳送損耗）惡化的問題。 〔用以解決課題之手段〕 爲了解決上述問題，本發明之彈性表面波裝置，係在 壓電基板上，沿著彈性表面波傳送方向形成複數個具有複 數電極指的梳型電極部而構成之縱耦合諧振器型彈性表面 波裝置，其特徵在於：對至少一個梳型電極部，將與其他 梳型電極部相鄰端起的一部分之電極指的間距，設定成小 於其他部分的間距；並將該間距小的梳型電極指的功率(以 下用duty代表，也稱金屬化比)設定成小於其他部分電極 指的功率。 -線 根據上述構構，在具有複數IDT的縱耦合諧振器型彈 性表面濾波器中，由於將2個IDT相鄰部分端起一部分的 電極指的間距設定成比該IDT其他部分的間距窄，且將該 間距窄的電極指（以後稱窄間距電極指）的duty設定爲小 於其他部分電極指的duty，因此具有與習知技術同等級以 上的頻帶範圍，插入損耗小，難以引起耐壓劣化，且容易 形成電極。 在上述彈性表面波裝置中較佳爲，對彼此相鄰雙方的 IDT，分別設置間距不同的電極指，將前述間距不同的電 極指的間距所決定的波長設爲λ 12、用其他電極指的間距 所決定的波長設爲λ h時，使2個IDT相鄰的電極指中心 間距離大致爲〇·5λΙ2。 根據上述構成，對彼此相鄰的2個IDT，分別設置間 4 _ 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1257768 五、發明說明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 距不同的電極指的情形，藉由使2個IDT相鄰之電極指中 心間距離大致爲0.5 λ 12，由於可確保在上述各個IDT間傳 送的彈性表面波的連續性，故可抑制插入損耗的劣化。 在上述彈性表面波裝置中較佳爲，在彼此相鄰的各個 IDT的任一個中設置間距不同的電極指，將用前述間距不 同的電極指的間距所決定的波長設爲λ 12，用其他電極指 的間距所決定的波長設爲λ L時，使2個IDT相鄰電極指 中心之間距離大致爲0.25X^ + 0.25X12。 根據上述構成，在彼此相鄰的各IDT之任一個中設置 間距不同的電極指的情形，藉由使2個IDT相鄰之電極指 中心間距離大致爲0.25 Λ L + 0.25 λ 12,由於可確保上述各 個IDT間傳送的彈性表面波的連續性，故能抑制插入損耗 的劣化。 -線· 在上述彈性表面波裝置中較佳爲，在IDT相鄰端起的 一部分的電極指之間距與該IDT的其他電極指的間距不同 之該IDT中，使該間距不同的電極指與間距相同的電極指 之相鄰處的電極指中心間距離大致爲〇·25 λ Ι! + 〇·25 λ 12。 根據上述構成，藉由使該間距不同的電極指與間距相 同的電極指之相鄰處的電極指中心間距離大致爲〇·25入L + 0.25 λ 12，由於可更確保相鄰之該間距不同的電極指和間 距相同的電極指間傳送的彈性表面波的連續性，故可抑制 插入損耗的劣化。 在上述彈性表面波裝置中較佳爲，使前述間距小的電 極指的duty比該IDT其他部分的電極指duty小’且在 _ 5 ______ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1257768 五、發明說明（（/ ) 0.45以上。根據上述構成，藉由使該間距小的電極指的 duty比該IDT其他部分的電極指duty小且在〇·45以上’ 能更加確保對插入損耗劣化的抑制。 爲了解決前述問題，本發明的其他彈性表面波^置’ 係在壓電基板上，沿著彈性表面波傳送方向形成複數個具 有複數電極指的IDT而成之縱耦合諧振器型彈性表面波裝 置，其特徵在於··將至少任2個IDT間相鄰電極指的duty 設定成小於其他部分電極指的duty。 根據上述構成，藉由將至少任2個IDT間相鄰電極指 的duty設定成小於其他部分電極指的duty，可以擴展通帶 範圍，抑制靜電破壞的產生，且使製造加工容易化。 在上述彈性表面波裝置中，可將2個IDT間相鄰之電 極指中心間隔，設定成小於其他部分的電極指中心間隔（ 電極指間距）。上述彈性表面波裝置可進一步具有平衡-不平衡輸入輸出。 爲了解決上述問題，本發明的通訊裝置之特徵在於， 係使用上述任一個彈性表面波裝置。 根據上述構成，具有濾波器元件以及平衡-不平衡變 換功能的彈性表面波裝置，特別是在100MHz以上的GHz 頻帶’由於可謀求小型化，故使用上述彈性表面波裝置的 通訊裝置也可以小型化，又由於如前所述所用的彈性表面 波裝置能達成低損耗，故可簡化電路構成，這點也可以謀 求小型化。 (發明之實施形態） ___—_ 6 本紙張尺度國家標準（CNS)A4規格（21G χ 297公爱） *- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1257768 五、發明說明（a ) 以下根據圖1到圖來說明本發明之各實施形態。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (第一實施形態） 圖1係本發明之第一實施形態的彈性表面爐波器（彈 性表面波裝置）的電極槪略圖。以後的第一實施形態，以 EGSM ( Extended Global System for Mobile Communication )-Rx(發訊部)用的彈性表面濾波器爲例來說明。 :本第一實施形態的濾波器，如圖1所示，在由 40±51咖又傳送UTao3所構成的基板30上，用A1電極 來形成彈性表面濾波器。彈性表面濾波器爲將濾波部1和 濾波部2兩段縱向連接的構成。 -線 各個濾波部1、2，同樣是3個IDT型的縱耦合諧振器 型濾波器，其電極設計的細節也相同。各個濾波部1、2， 其彈性表面波的傳送方向彼此大致平行，且相對於濾波部 1、2之平行於上述傳送方向的中間線（假想線），係分別 配置成使各個IDT互相對稱。 在濾波部1，在IDT14的左右（沿著彈性表面波傳送 方向上的兩側）配置IDT4、5，以從左右夾住IDT3、4、5 的方式形成各反射器6、7。在濾波部2，在IDT15的左右( 沿著彈性表面波傳送方向上的兩側）配置IDT16、17，以 從左右夾住IDT15、16、17的方式形成各個反射器18、19 。與IDT3相鄰的端子8爲輸入信號端子，與IDT 15相鄰 的端子9爲輸出信號端子。 從圖1可知，在IDT3和IDT 4之間、以及在IDT 3和 IDT5之間，相鄰的對向部分以及與其相鄰的複數電極指之 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） U57768 A7 -— ___B7 ' : ------------ 五、發明說明（6 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 間距，比IDT3、4、5的其他部分蕙極指間距窄（圖}中 電極指10和電極指11的位置）。_便指出，圖1中，爲 了簡單起見，僅顯示少量的電極指根數。 又，將電極指10和電極指11處的電極指duty設定成 小於IDT3、4、5的其他部分之電極指duty。 縱向諧振器型彈性表面濃波器的詳細設計，當IDT-iDT間之間距變窄的電極指（例如，電極指1〇)的間距所 決定的波長爲λ 12、由其他未變窄的電極指的間距所決定 的波長爲Ah時，
交叉寬：35.8 λ L IDT 根數（以 IDT4、IDT3 ' IDT5 的順序）：25 (4) / (4) 27 (4) / (4) 25個（括號內是小間距的電極指根數） ;線· IDT 波長 λ Ιι · 4·19μπι ’ λ I〗·· 3·9μπι 反射器波長λ R:4.29pm 反射器個數：100個 IDT-IDT 間隔： 相鄰、在波長λ Ii和λ 12的各個電極指所包夾處的間 隔（圖 1 中的間隔 12) : 0.25 λ Ii +0.25 λ 12 相鄰、在波長λ 12的各個電極指所包夾處的間隔（圖 1中的間隔13) : 0·50λΙ2 IDT-反射器間隔·· 0.50 λ R IDT duty * 波長爲λ ：^的間距處（圖1的電極指14) :0.73 波長爲λ 12的間距處（圖1的電極指10和電極指11 _ 8 ^紙張尺度適^中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — A7 1257768 ____ B7 ___ 五、發明說明（7 ) )：0.60 反射器duty:0.55 電極膜厚：O.OSAIi。 作爲比較，在圖2中以第一習知例來顯示用習知技術 設計的彈性表面濾波器構成。第一習知例與本第一實施形 態相同，在由40±5QYcutX傳送LiTao3組成的基板30上， 用A1電極來形成彈性表面濾波器。 彈性表面濾波器爲將濾波部21和濾波部22兩段縱向 連接的構成。各個濾波部21、22是與本第一實施形態相同 的3個IDT型的縱耦合諧振器型濾波器，2個濾波部21、 22的電極設計細節也彼此相同。各個濾波部21、22的詳 細設計，在彼此相同的電極指的間距所決定的波長爲λ I 時， 交叉寬：56.7λΙ IDT 根數（以 IDT23、IDT24、IDT25 的順序）： 23/33/23 個 IDT 波長 λ I : 4.20μηι 反射器波長λ R:4.28pm 反射器個數：110個 IDT-IDT 間隔：〇.31入1 IDT-反射器間隔：〇.5〇 λ R IDT duty ： 0.73 反射器duty:0.61 電極膜厚：0.08 λ I。 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂* _ 線 Α7 Β7 1257768 ---------- 五、發明說明（S) 圖3顯示第一實施形態與第一習知例的頻率特性。第 一實施形式的頻率特性與第一習知例相比，在通帶內的插 入損耗有大幅改善。從最小插入損耗來看，相對於第一習 知例之約爲2.2dB，第一實施形態約爲1.8dB，而改善了 0.4 dB 〇 又，第一習知例，從通過位準起4.OdB的通帶寬爲 40MHz，但第一實施形態從通過位準起3.4dB即可獲得相 同的帶寬。亦即，對通帶內全體而言，可以改善約0.6 dB 的插入損耗。 以下說明有關獲得插入損耗改善的理由。第一習知例 的未使用窄間距電極指的3個IDT型之縱耦合諧振器型彈 性表面瀘波器的設計，在加寬通的情況下，將IDT-IDT間 隔設爲〇·25 λ I左右，而使用圖4所示的0次模式、2次模 式、以及在IDT-IDT間隔部分具有彈性表面波的強度分佈 峰値的3個共振模式，來形成通帶。 但是，在這種情況，由於IDT-IDT間隔爲0.25λΙ左 右，在彈性表面波傳送路徑中發生不連續部分。在這種不 連續部分，由於以體波形式放出的成分變多，會產生傳送 損耗變大的問題。 另一方面，爲了使以體波形式放出的成分變小，將 IDT-IDT間隔定爲〇.5〇λΙ左右而除不連續部分時，將 IDT-IDT間隔定爲〇·25又I左右時之3個模式將無法使用， 而有無法達成寬頻帶化的問題。 爲了解決這2個問題，本第一實施形態，係設定爲能 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）
言 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
A7 1257768 五、發明說明（^ ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 使用3個共振模式來形成通帶，且能降低第一習知例般的 以體波形式放出成分所造成的損耗。 亦即，在本第一實施形態，藉由使IDT3和各IDT4、 5相鄰處的電極指（例如電極指1〇和電極指Π)的間距比 其他部分電極指（例如電極指14)的間距小，而可使用3 個共振模式形成通帶。又，在本第一實施形態，由於將 IDT3和各IDT4、5的間隔（例如間隔13)設定爲其周圍 的IDT電極指間距所決定的波長的大約0.5倍，故可降低 如第一習知例般之以體波形式放出的成分所造成的損耗。 通常，相對於傳送路徑中所傳送的彈性表面波長，電 極指週期變小的情形，由於彈性表面波本身之傳送損耗變 小，因此在窄電極指部分中可以獲得彈性表面波損耗降低 的效果。 線 其結果，在本第一實施形態中，如圖3所示，可獲得 具有比第一習知例的設計更寬的頻帶範圍、且插入損耗小 的彈性表面濾波器。 在第一實施形態形態，爲了使窄間距電極指的duty比 其他電極指的duty小，電極指的間隙在窄間距電極指間定 : 爲〇·78μιη，在其他電極指間定爲〇.57μηι，電極指間的最 小間隙變爲除了窄間距電極指之外的其他電極指間的間隙 〇 通常，彈性表面濾波器的IDT耐壓劣化係取決於電極 指間的最小間隙，該値越小，就越容易引起耐壓劣化。因 此’在第一實施形態中，雖然使用了窄間距電極指，但是 _11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1257768 __ _一_ _ B7_____ 五、發明說明（/。） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 最小電極指間的間隙變爲除了窄間距電極指之外的其他電 極指間的間隙，所以可以獲得與未使用窄間距電極指的情 況相同之難以引起耐壓劣化的彈性表面濾波器。 此外，由於使窄間距電極指間隙變得比其他電極指間 的間隙更大，因此在製造過程中，在該部分不易發生脫膜 不良問題，容易形成電極，並且能確實進行製造。 另一方面，電極指duty變小的情形，在LT基板等具 有壓電性的基板30上傳送的彈性表面波，其以體波形式放 出的成分會增多。其結果，傳送損耗變大，增加了插入損 耗。 即使是本發明般僅減小窄間距電極指duty的情形，由 於在窄間距電極指部分以體波形式放出的成分會增加，可 以預見傳送損耗變大。 因此，須調查能夠使窄間距電極指duty變小到何種程 度。調查方法，係使圖1構成之窄間距電極指duty比其他 部分電極指duty逐步變小，而調查其所伴隨的傳送損耗變 化。實際上係改變窄間距電極指的間距來調整duty變化時 之阻抗變化量。 圖5顯示duty逐步變小時之傳送損耗値。在此所指之 傳送損耗，是從通帶內的插入損耗，減去阻抗不匹配所造 成的損耗、即電極指之阻抗量所造成的歐姆損耗所得的値 〇 從圖5可知，duty小到0·4時，傳送損耗就增大至 1.7dB。與第一習知例同樣的方式所得之傳送損耗爲 12 Ϊ紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公愛^ ^ A7 1257768 五、發明說明（II ) 1.65dB。因此，從圖5可知，只要duty爲大約〇·45以上’ 相對於第一習知例，可將傳送損耗抑制成與其相同或更低 〇 傳送損耗大小，在通帶內不管頻率如何都大致爲一定 的數値。因此，只要duty爲大約0.45以上，在通帶內’ 傳送損耗可以爲習知設計之同等級以下，其結果，能使通 帶內的插入損耗減小。 圖6和圖7顯示第一實施形態、第一習知例（如第一 實施形態般，間距小的部分的duty不小於、而是等於其他 部分電極指duty的情形）的各種特性。圖6爲振幅（插入 損耗）的頻率特性。圖7是VSWR (Voltage Standing Wave Ratio，電壓駐波比）的頻率特性。在第一實施形態 ，相對於第一習知例，間距窄部分的duty、間距、交叉寬 如下變化。 •波長爲λ 12的間距處（圖1的電極指10和電極指 11):比第一習知例小0.13 間距窄部分的間距 IDT波長λ 12 :比第一習知例大0.01 V m •交叉寬 交叉寬：比第一習知例小4.7 λ U 除了 duty之外，同時改變間距窄部分的間距、交叉寬 乃是爲了獲得阻抗的匹配。 如圖7所示，相對EGSM-Rx通帶內（925MHz-960MHz)的第一習知例的VSWR爲1·73，第一實施形態 13 __ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
訂 線 A7 1257768 五、發明說明（A ) 中該VSWR爲1.62，大約改善了 0.11，如圖6所示’由於 最小插入損耗變大，通帶內插入損耗的頻率特性變平坦化 ，通帶內的偏差變小。此時’從通過位準起4dB內的通帶 範圍，在第一實施形態與第一習知例中大致相同，因此， 重要特性的通帶內的最大插入損耗、以及將其實現的製造 公差並不會惡化。 如上所述，本發明之具有3個以上IDT的縱耦合諧振 器型彈性表面濾波器中，藉由使從2個IDT相鄰端起的一 部分的電極指間距比該IDT其他部分的電極指間距窄，並 .使間距窄的電極指的duty比其他部分的電極指duty小， 因此可獲得通帶範圍變寬、插入損耗以及VSWR減小、容 易形成電極、難以引起耐壓劣化的縱耦合諧振器型彈性表 面濾波器。 (第二實施形態） 參考圖8、圖9來說明本發明第二實施形態的彈性表 面濾波器。圖8、圖9是上述各IDT的槪略構成圖，圖8 爲彈性表面濾波器的全體構成圖，圖9爲各IDT相鄰部分 的放大圖。 在本發明第二實施形態中，在基板30上用A1電極來 形成彈性表面濾波器。圖8中，在IDT41左右（沿著彈性 表面波的傳送方向）配置IDT42、43，以夾住IDT41、42 、43的方式來形成各反射器44、45。與各IDT42、43相 鄰的端子46爲不平衡輸入信號端子。分別連接於IDT41 之互相交叉的各電極指部之各端子47、48爲平衡輸出信號 |____ 14 _____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· · •線 A7 1257768 五、發明說明（丨；） 端子。 圖8中，IDT41和IDT42、IDT41和IDT43之相鄰的 最外部電極指49、電極指50、電極指51、電極指52的各 中心間隔，爲達成寬頻帶化，係設成小於IDT電極指間距 所決定的波長的0.5倍，但任一最外部電極指之中心座標 均不變（維持）而僅電極指寬變小。 因此，例如圖9所示般，各IDT41、43相鄰部分的電 極指51和電極指52的電極指間隙53係與其他電極指間間 隙60相同或更大，電極指51和電極指54的電極指間隙 55、電極指52和電極指54的電極指間隙56都比其他電極 指間隙60大。 作爲比較，圖1〇顯示第二習知例的彈性表面濾波器的 IDT相鄰部分的放大圖。由於IDT-IDT間之外的構成與第 二實施形態相同，所以省去對其的詳細說明。圖10中’ IDT相鄰部分最外的各電極指61的duty與電極指62的 duty相同，因此最外電極指間隙63比其他電極指間隙64 爲小。 在第二實施形態中，如圖1〇，雖然作爲比較用的第二 習知例以來自不同方向的電極指（finger) 61對向的情形 爲例說明，但是，如圖11所示，在來自相同方向的電極指 對向的情形，情況也是相同的。 根據第二實施形態的構成，由於IDT-IDT間相鄰最外 部的電極指間隙與其他電極指間隙相同或更大，因此在製 造過程的蝕刻過程中，與第二習知例相比，可更加防止在 __15 _____ 才:紙張尺度適用中國國家標i(CNS)A4規格（21〇 x 297公釐）~~ 一 ^ 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· -線 1257768 --—------ _____ 五、發明說明（/% ) 該部分中發生A1蝕刻不良。 藉此，在第-貫施形態中，在IDT-IDT間相麵最外 部電極指間隙邰分’不會發生麵波的音響不連續部分， 可以避免損耗增加等導致的特性劣{匕，並且，可以防止信 號端子間、或信號端子—接地端子間之短路導致的動作不 良產生，在製造過程中可以容易確實地進行電極的形成。 此外，在IDT-IDT間相鄰幾外部電極指間隙部分不易產生 靜電破壞。 在第一貫施形悲中’雖然IDT-mT瞧定爲電極指間 距所決定的波長之〇·5倍以卞，但在其爲〇·5倍以上的情 形，在IDT-IDT間相鄰最外部電極指間隙也會變爲比其他 電極指間隙大。 因此，即使在IDT-IDT間相鄰電極指中心間距離IDT_ IDT間隙爲電極指間距所決定的波長的〇·5倍以上的情形 ，在該部分也不會發生表面波的音響不連續部分，不會出 現損耗增加等導致的特性劣化，且不會發生信號端子間短 路而導致的動作不良，在製造過程中可以容易確實地進行 電極的形成。此外，在該部分不易產生靜電破壞。 如上所述，本發明在具有3個以上IDT的縱耦合諧振 器型彈性表面濾波器中，藉由使2個IDT間相鄰的電極指 duty比其他電極指duty小，可獲得通帶範圍變寬、製造過 程中容易形成電極、難以引起耐壓劣化的縱耦合諧振器型 彈性表面濾波器。 然而，作爲縱耦合諧振器型彈性表面濾波器的寬頻帶 __ 16 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ••裝 訂. ’線- A7 1257768 ____B7___ 五、發明說明（,5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .化方法所廣爲採用者，例如特開平5 - 267990號公報等所 揭示般，將通過相鄰2個IDT間之電極指週期排列條件， 具體而g ’將相鄰2個IDT的相鄰電極指的中心間距離 (IDT-IDT間隔)設爲電極指的間距所決定的波長之0·5倍之 外，使圖4所示的共振模式之配置最佳化，特別是設成比 〇·5倍爲小時可構成寬頻帶的彈性表面濾波器。 圖12係顯示，在中心頻率爲1960MHz的PCS-Rx用 縱耦合諧振器型彈性表面濾波器，IDT-IDT間隔小於0.5 λ I時經實驗所求出之圖4所示的Β和C模式頻率間隔的値 〇 藉由將IDT-IDT間隔設成小於〇.5λΙ，圖4所示的Β 和C模式的表面波共振模式的間隔擴大，其結果，可以獲 得比較寬的通帶範圍。 圖13顯示IDT-IDT間隔小於〇.5 λ I時的IDT-IDT間 線 的周邊電極的構成。由於在2個IDT34、35之間相鄰的電 極指34a、35a間的間隔變成小於〇.5；11，僅該部分中電極 指間之間隙32變得比其他部分的電極指間之間隙33窄。 但是，在2個IDT34、35之間相鄰電極指的間隔小於 電極指間距所決定的波長0.5倍的情形，僅該部分電極指 間之間隙小於其他部分的電極指間之間隙，該部分在製造 過程中存在容易產生A1蝕刻不良的問題。 該間隙部之A1蝕刻不良，會發生彈性表面波的音響 不連續部分而導致損耗增加等而帶來濾波器特性劣化問題 〇 ___ 17 本紙張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） A7 1257768 五、發明說明（ 另外，該相鄰各電極指34a、35a —方爲信號電極、另 一方爲接地電極的情形，或〜方爲信號電極另一方也爲信 號電極的情形，會發生A1蝕刻不良所造成之信號端子間 短路 '彈性表面濾波器無法動作的問題，又由於減小間隙 ，會有在該部分容易引起靜電破壞的問題。 但是，在第二實施形態，在具有3個以上IDT的縱耦 合諧振器型彈性表面濾波器中，藉由使IDT相鄰部分的最 外部電極指之duty比其他電極指之duty小，因此通帶範 圍擴大，難於引起靜電破壞，能易於製造加工。 接著，參照圖14來說明裝載有第一實施形態以及第二 實施形態所記載的彈性表面波裝置而成之通訊裝置10〇。 通訊裝置100，其作爲進行收訊的接收側（Rx側）， 係具備·天線101、天線共用部/RFTop爐波部1 〇 2、放大 器103、Rx頻段間濾波部1〇4、混頻器1〇5、第一 IF濾波 部106、混頻器107、第二IF濾波部108、第一 +第二本 機頻率合成器 111、TCXO (temperature compensated crystal oscillator (溫度補償型水晶振盪器））U2、除法器 113、本機濾波部114。如圖14中雙線所示，爲了確保平 衡性，從Rx頻段濾波部104到混頻器1〇5最好發送各平 衡信號。 上述通訊裝置100，作爲進行送訊的發送側（τχ側） ，係共用天線101以及上述天線共用部/RFTop爐波部102 ，並具備TxIF濾波部12；1、混頻器122、τχ頻段間爐波部 123、放大器124、耦合器125、隔離器126、Apc ( _____ 18 ϋ張尺度適用中國國家標準（CMS)A4規格（210 X 297公釐)-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： 線· 1257768 A7 ______Β7 ___ 五、發明說明（β ) automatic power control(自動功率控制））127 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，在上述Rx頻段濾波部104 '第一 IF濾波部ι〇6 ’、TxIF濾波部121、Tx頻段濾波部123中，適合使用在上 述第一實施形態以及第二實施形態中記載的彈性表面波裝 置。 因此，上述通訊裝置使用的彈性表面波裝置，由於具 有與習知同等級以上的頻帶範圍、插入損耗以及VSWR小 、難以引起耐壓劣化、且容易形成電極，故可謀求小型化 、高性能以及低成本化，特別是在具有GHz頻帶以上的通 帶之通訊裝置中，能謀求小型化、高性能以及低成本化。 〔發明效果〕 線 本發明的彈性表面波裝置如以上般，對於在壓電基板 上形成的IDT中至少一個IDT，將與其他IDT相鄰端起的 一部分的電極指間距設定成小於其他部分間距，且該該間 距小的電極指的duty設定成小於其他部分電極指的duty。 因此，上述構成具有與習知技術同等級以上的頻帶範 圍，可以獲得插入損耗以及VSWR小、難以引起耐壓劣化 、並容易形成電極的效果。 本發明的其他彈性表面波裝置，如以上般，在壓電基 板上沿著彈性表面波傳送方向形成複數個具有複數電極指 IDT的縱耦合諧振器型彈性表面波裝置中，將至少任2個 IDT間相鄰的電極指的duty設定成小於其他部分的電極指 的 duty。 因此，上述構成藉由將至少任2個IDT間相鄰的電極 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 1257768 五、發明說明（β ) 指的duty設定成小於其他部分的電極指的duty，可以獲得 通帶範圍變寬、抑制靜電破壞的產生、易於製造加工的效 果。 如上所述，本發明的通訊裝置是使用上述彈性表面波 裝置而構成。因此，上述構成，由於使用具有與以往同等 級以上的頻帶範圍、插入損耗以及VSWR小、難以引起耐 壓劣化、且容易形成電極的彈性表面波裝置，可以實現高 性能以及低成本化的效果。 〔圖式之簡單說明〕 圖1係本發明第一實施形態的彈性表面濾波器的槪略 構成圖。 圖2係用來比較的第一習知例的彈性表面濾波器的槪 略構成圖。 圖3係分別顯不第一實施形態和第一習知例的各彈性 表面濾波器的插入損耗以及通帶的圖面。 圖4係顯示本發明的彈性表面濾波器中共振模式的頻 率關係的說明圖’（a)係顯示利用3個共振模式而寬頻帶 化的圖面’（b)係用來產生各共振模式的彈性表面濾波器 槪略構成圖’（Ο係分別代表上述3個共振模式的有效電 流分佈的說明圖。 圖5係顯示本發明之第一形態中窄間距電極指的duty 變化時的傳送損耗。 圖6是分別顯示第一實施形態以及第一習知例的振幅 (插入損耗）頻率特性。 _______ 20 ___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂-- A7 1257768 五、發明說明（） 圖7係分別顯示第一實施形態以及第一習知例的 VSWR頻率特性。 圖8係本發明之第二實施形態的彈性表面濾波器之槪 略構成圖。 圖9係上述彈性表面濾波器的重要部位放大圖。 圖10係比較用之第二習知例的彈性表面濾波器之槪略 構成圖。 圖11係顯示第二習知例的彈性表面濾波器的其他例的 槪略構成圖。 圖I2係顯示圖4所示的各個共振模式頻率與 間隔之關係。 ~ 圖13係將上述㈣撕間隔設爲電極指間_決定 的波長之〇·5倍以下時上述IDT-IDT的重要部位放大圖。 圖I4係本發明之通訊裝置的重要部位方塊圖。回 〔符號說明〕 ° 3…IDT(梳型電極部） 4…IDT(梳型電極部） 5…IDT(梳型電極部） 10…電極指 11…電極指 30…基板(壓電基板） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) # 21