CN100557968C - 弹性表面波装置、通信装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种通频带范围宽，插入损失以及VSWR小，容易形成电极且难以引起耐压恶化的纵向结合共振子型弹性表面波装置。将多个梳状电极部3、4、5设计为纵向结合共振子型。从彼此相邻各IDT的相邻端开始的那一部分电极指10的间距小于梳状电极部3、4其它部分的电极指间距，将间距小部分的电极指10的占空比设定得小于其它部分电极指的占空比。

Description

弹性表面波装置、通信装置
本申请是发明名称为“弹性表面波装置、通信装置”、申请日为2002年4月16日、申请号为02121716.5的母案的分案申请。
技术领域
本发明涉及叫作沿着多个弹性表面波的传送方向所形成多个具有多个电极指的梳状电极部(叉指型换能器，以下将其记作IDT)的纵向结合共振子型弹性表面波滤波器的弹性表面波装置以及使用该装置的通信装置。
背景技术
作为移动电话的RF频段的带通滤波器，广泛使用了弹性表面波滤波器(弹性表面波装置)。作为在带通滤波器中获得各种性能，可举出低损耗、高衰减量、宽频带等。即使是弹性表面波滤波器，也没有作出涉及上述各性能的多个发明。
其中，作为纵向结合共振子型弹性表面波滤波器的宽频带化的方法，例如，如特开平5-267990号公报等的那样，广泛使用这样的方法：穿过相邻的2个IDT之间，电极指以周期性为排列条件，具体而言，将相邻2个IDT的相邻电极指的中心间距离在用电极指的间距确定的波长的0.5倍之外，使共振模式的配置最优化。
然而，在上述现有技术的情况中，即使可以扩大频带，还是存在插入损失恶化的问题。
也就是，在将相邻2个IDT的相邻电极指的中心间距离用电极指的间距确定的波长的0.5倍之外，在该部分中弹性表面波的传输路径的周期连续性恶化。尤其是，对于使用泄漏弹性表面波(泄漏波)的36°YcutX传输LiTaO3以及使用64°YcutX传输LiNbO3等的压电衬底的弹性表面波滤波器，通过大量的体波放射损失增加了，其结果，虽然可以扩大频带，但是还是存在插入损失(传输损失)恶化的问题。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的弹性表面波装置，是在压电衬底上沿着弹性表面波的传送方向形成多个具有多个电极指的IDT的纵向结合共振子型弹性表面波装置，其特征在于至少在一个IDT中将从与其它IDT相邻端开始的电极指间距设定得小于其它部分的间距，将上述间距小的电极指的占空比(下面将其记作duty，并且将其称为金属喷镀比)设定得小于其它部分的电极指的duty。
根据上述结构，在具有多个IDT的纵向结合共振子型弹性表面波滤波器中，由于将从2个IDT相邻部分端开始那部分的电极指的间距设定得比该IDT其它部分的间距窄，并且将其间距窄的电极指(以后称其为窄间距电极指)的duty设定为小于其它部分电极指的duty，因此具有与现有技术相同或以上的频带区，插入损失小，难以造成耐压恶化，从而容易形成电极。
在上述弹性表面波中，与彼此相邻双方的IDT对应，分别设置间距不同的电极指，将用前述间距不同的电极指的间距确定的波长设为λI2，用其它电极指的间距确定的波长设为λI1时，使两个IDT相邻的电极指中心之间距离大体为0.5λI2比较好。
根据上述结构，与彼此相邻的2个IDT对应，分别设置间距不同的电极指的情况中，由于通过使两个IDT邻电极指中心之间距离大体为0.5λI2，从而可以确保在上述各个IDT间传送的弹性表面波的连续性，并可以抑制插入损失的恶化。
在上述弹性表面波装置中，在彼此相邻的各个IDT的任何一个中设置间距不同的电极指，将用前述间距不同的电极指的间距确定的波长设为λI2，用其它电极指的间距确定的波长设为λI1时，使两个IDT相邻电极指中心之间距离大体为0.25λI1+0.25λI2比较好。
根据上述结构，在彼此相邻的各个IDT的任何一个中设置间距不同的电极指的情况中，通过使两个IDT相邻电极指中心之间距离大体一致为0.25λI1+0.25λI2，从而可以确保上述各个IDT间传送的弹性表面波的连续性，并可以抑制插入损失的恶化。
在上述弹性表面波装置中，使从前述IDT相邻端开始的那部分的电极指的间距与该IDT的其它电极指的间距不同，在IDT中，使与前述间距不同的电极指没有不同的电极指相邻地方的电极指中心之间距离大体为0.25λI1+0.25λI2比较好。
根据上述结构，通过使与前述间距不同的电极指没有不同的电极指相邻地方的电极指中心之间距离大体为0.25λI1+0.25λI2，可以确保相邻的与前述间距不同的电极指和没有不同的电极指间传送的弹性表面波的连续性，并可以抑制插入损失的恶化。
在上述弹性表面波装置中，使前述间距小的电极指的duty比该IDT其它部分的电极指duty小，特别是在0.45以上。根据上述结构，通过使前述间距小的电极指的duty比该IDT其它部分的电极指duty小，特别是在0.45以上，能保证对插入损失恶化的抑制。
为了解决前述问题，本发明的其它弹性表面波装置是，在压电衬底上，沿着弹性表面波传送方向形成多个具有多个电极指的IDT的纵向结合共振子型的弹性表面波装置，其特征在于，将至少任何2个IDT间相邻电极指的duty设定得小于其它部分电极指的duty。
根据上述结构，通过将在至少任何的2个IDT之间将相邻电极指的duty设定得小于其它部分电极指的duty，可以扩展通频带，抑制静电破坏的产生，并且易于制造加工。
在上述弹性表面波装置中，最好将2个IDT间相邻电极指中心间隔设定得小于其它部分电极指中心间隔(电极指间距)。上述弹性表面波装置还具有平衡-不平衡输入输出。
为了解决上述问题，本发明的通信装置其特征在于，使用上述任一个中所记载的弹性表面波装置。
根据上述结构，具有滤波器元件以及平衡-不平衡变换功能的弹性表面波装置，特别是在100MHz以上的GHz频带中，实现小型化从而使用上述弹性表面波装置的通信装置也可以小型化，并且，由于如前所述使所用的弹性表面波装置低损耗，可以简化电路结构，由此可以实现小型化。
附图说明
图1是有关本发明第一实施例的弹性表面波滤波器的大概结构图。
图2是用来比较的有关第一现有技术例子的弹性表面波滤波器的大概结构图。
图3是分别示出了有关当前实施例的第一实施形态和第一现有技术的各弹性表面波滤波器的插入损失以及通频带的曲线。
图4是示出了本发明弹性表面波滤波器中共振模式的频率关系的图，(a)是通过3个共振模式示出了宽频带的曲线图，(b)是用来生成各个共振模式的弹性表面波滤波器大概结构图，(c)是说明用来分别示出上述3个共振模式的有效电流分布的说明图。
图5是示出了本发明第一实施例中窄间距电极指的duty变化时的传送损耗曲线。
图6是分别示出了当前实施例第一形态以及第一现有技术例子中的振幅(插入损失)频率特性的曲线。
图7是分别示出了当前实施例第一形态以及第一现有技术例子中的VSWR频率特性的曲线。
图8是有关本发明实施例第二形态的弹性表面波滤波器大概结构图。
图9是上述弹性表面波滤波器的局部放大图。
图10是作为比较、第二现有技术的弹性表面波滤波器大概结构图。
图11是示出了上述第二现有技术的弹性表面波滤波器的其它例子的大概结构图。
图12是示出了图4中所示的各个共振模式频率与IDT-IDT间隔之间关系的曲线。
图13是将上述IDT-IDT间隔设为用电极指间距确定的波长0.5倍以下时的上述IDT-IDT的局部放大图。
图14是本发明通信装置的局部框图。
具体实施方式
以下通过图1到图14来说明有关本发明实施例。
(第一实施例)
图1为有关本发明实施例第一形态的弹性表面波滤波器(弹性表面波装置)的电极概略图。以后的第一实施形态，以EGSM(Extended Global System forMobile Communication)-Rx(发送部)用的弹性表面波滤波器为例来说明。
对于当前第一实施形态的滤波器，如图1所示，在由40±5°YcutX传送LiTao3组成的衬底30上，通过A1电极形成弹性表面波滤波器。弹性表面波滤波器为将滤波器1和滤波器2两段纵向连接的结构。
各个滤波器1、2是相同3个IDT类型的纵向结合的共振子型滤波器，其电极设计的细节也相同。各个滤波器1、2其弹性表面波的传送方向彼此平行，并且将滤波器1、2为相对分别配置与各个滤波器1、2的上述传送方向平行的中间线(虚拟线)各个IDT彼此间对称。
对于滤波器1，在IDT3的左右两侧(沿着弹性表面波传送方向上的两侧)配置IDT4、5，形成各反射器6、7以便于将IDT3、4、5左右夹持在其中。对于滤波器2，在IDT15的左右两侧(沿着弹性表面波传送方向上的两侧)配置IDT16、17，形成各个反射器18、19以便于将IDT15、16、17左右夹持在其中。与IDT3相连的端子8为输入信号端子，与IDT 15相连的端子9为输出信号端子。
从图1可知，在IDT3和IDT4之间、以及在IDT3和IDT5之间，相邻的相对部分以及与其相邻的多个电极指间距比IDT3、4、5的其它部分电极指间距窄(图1中电极指10和电极指11的位置)。顺便指出，图1中，为了简单起见，少量示出了电极指个数。
电极指10和电极指11位置上的电极指duty设定得小于IDT3、4、5的其它部分电极指的duty。
纵向共振子型弹性表面波滤器的详细设计是将以使IDT-IDT之间间距变窄的电极指(例如，电极指10)的间距确定的波长称为λI2，由其它不窄的电极指的间距确定的波长称为λI1时，
交叉幅度；35.8λI1
IDT个数(以IDT4、IDT3、IDT5的顺序)：25(4)/(4)27(4)/(4)25个(标号内是小间距的电极指个数)
IDT波长λI1：4.19μm，：λI23.9μm
反射器波长λR：4.29μm
反射器个数：100个
IDT-IDT间隔：
相邻、在波长λI1和λI2的各个电极指中夹持位置的间隔(图1中的间隔12)：0.25λI1+0.25λI2
相邻、在波长λI2的各个电极指中夹持位置的间隔(图1中的间隔13)：0.50λI2
IDT-反射器间隔；0.50λR
IDTduty：
波长为λI1的间距位置(图1的电极指14)：0.73
波长为λI2的间距位置(图1的电极指10和电极指11)：0.60
反射器duty：0.55
电极膜厚度：0.08λI1。
作为比较，在图2中以第一现有技术例子为例示出了用现有技术设计的弹性表面波滤器结构。第一现有技术例子与本实施例的第一实现形式相同，在由40±5°YcutX传送LiTao3组成的衬底30上，通过A1电极形成弹性表面波滤波器。
弹性表面波滤波器为将滤波器21和滤波器22两段纵向连接的结构。各个滤波器21、22是与当前实施例第一实现形式相同的3个IDT类型纵向结合的共振子型滤波器，两个滤波器21、22的电极设计细节也彼此相同。各个滤波器21、22的详细设计在将用彼此相同的电极指的间距确定的波长设为λI时，
交叉幅度；56.7λI
IDT个数(以IDT23、IDT24、IDT25的顺序)：23/33/23个
IDT波长λI：4.20μm
反射器波长λR：4.28μm
反射器个数：110个
IDT-IDT间隔：0.31λI
IDT-反射器间隔；0.50λR
IDTduty：0.73
反射器duty：0.61
电极膜厚度：0.08λI。
在图3中示出了当前第一实施形式与第一现有例子的频率特性。当前第一实施形式的频率特性与第一现有例子相比，可知通频带内的插入损失大幅度改善。以最小插入损失体现时，第一现有例子约为2.2dB，相反，该第一实施形式的约为1.8dB，改善了0.4dB。
对于第一现有例子，从通量电平(through level)看4.0dB的通频带范围虽然为40MHz，但是对于第一实施形式而言，从通量电平用3.4dB可以获得相同的频率范围。总之，在整个通频带内，可以改善约0.6dB的插入损失。
以下说明有关获得插入损失改善的理由。对于没有使用第一现有技术例子的窄间距电极指的3个IDT型纵向结合共振子型弹性表面波滤器的设计，在通频带宽的情况下，IDT-IDT间隔为0.25λI前后，除了图4中所示的0次模式、2次模式之外，在IDT-IDT间隔部分使用具有弹性表面波的强度分布峰值的3个共振模式，形成通频带。
但是，在这种情况中，由于IDT-IDT间隔为0.25λI前后，在弹性表面波传送路径中存在发生不连续部分的情况。对于这种不连续部分，由于作为体波发射的部分变多，会产生传送损失变大的问题。
另一方面，为了使作为体波发射的部分变小，IDT-IDT间隔为0.50λI前后，没有不连续部分的情况中，如同IDT-IDT间隔为0.25λI前后时那样，不使用3个模式，存在不能使频带扩大的问题。
为了解决这两个问题，将当前实施例的第一实施形式设定为使用3个共振模式从而形成通频带，可以降低由于如同第一现有技术例子的作为体波发射部分造成的损失。
当前实施例的第一实施形式中，由于IDT3和IDT4、5相邻位置的电极指(例如电极指10和电极指11)的间距比其它部分电极指(例如电极指14)的间距更小，因此可以使用3个共振模式形成通频带。特别地，在当前实施例的第一实施形式中，由于将IDT3和IDT4、5的间隔(例如间隔13)设定为用其周边IDT电极指间距确定的波长的大约0.5倍，可以降低由于如同第一现有技术例子的作为体波发射部分所造成的损失。
相对在一般传送路径中传送的弹性表面波波长，电极指周期小的情况中，由于弹性表面波本身传送损失变小，因此在窄电极指部分中可以获得弹性表面波损失降低的效果。
其结果，在第一实施例中，如图3所示，具有比第一现有技术的设计更宽的频带幅度，可以获得插入损失小的弹性表面波滤器。
在第一实施例中，为了使窄间距电极指的duty比其它电极指的duty更窄，电极指的间隙在窄间距电极指间为0.78μm，在其它电极指间为0.57μm，电极指间的最小间隙变为除了窄间距电极指之外的其它电极指间的间隙。
通常，通过电极指间的最小间隙来确定弹性表面波滤器的IDT耐压恶化，该值越小，就越容易引起耐压恶化。为此，在第一实施例中，虽然使用了窄间距电极指，但是最小电极指间的间隙变为除了窄间距电极指之外的其它电极指间的间隙，所以可以获得与没有使用窄间距电极指的情况相同难以引起耐压恶化的弹性表面波滤器。
此外，由于使窄间距电极指间隙变得比其它电极指间的间隙更大，因此在制造过程中，难于在该部分中发生遗漏问题，容易形成电极，并且能确实执行
另一方面，电极指duty小的情况中，在LT衬底等具有压电性的衬底30上传送的弹性表面波增加作为体波发出的成分。其结果，传送损失变大，增加了插入损失。
如本发明所述，即使在仅仅减小窄间距电极指duty的情况中，由于在窄间距电极指部分中增加作为体波发出的成分，可以预见传送损失变大。
为此，调查能够使窄间距电极指duty变小到何种程度。调查方法能够使图1的结构中窄间距电极指duty比其他部分电极指duty更小，并可以调整随之而来的传送损失变化。在实际中，duty变化时，阻抗变化可以，使窄间距电极指间距变化来调整。
在图5中示出了duty变小时传送损失的值。这里，传送损失是从通频带内的插入损失减去由于阻抗不匹配造成的损失、由于电极指由阻抗而引入欧姆损失所得的值。
从如图5中，duty小到0.4时，传送损失就增大至1.7dB。与第一现有技术例子相同，获得传送损失为1.65dB。据此，图5中，如果duty为大约0.45以上，对应于第一现有技术例子，将传送损失抑制与其相同以及其值以下。
传送损失大小在通频带内不管频率如何都取为一定的值。为此，如果duty为大约0.45以上，在通频带内，传送损失可以与现有技术相同或在其下，其结果，能够使通频带内的插入损失减小。
在图6和图7中示出了第一实施例、第一现有技术例子(类似第一实施例，间距小的部分的duty不小于等于其它部分电极指duty的情况)中的各种特性。图6为振幅(插入损失)的频率特性。图7是VSWR(Voltage Standing Wave Ratio，电压驻波比)的频率特性。在第一实施例中，相对于第一现有技术例子，间距窄的部分的duty、间距、交叉幅度如下变化。
波长为λI2的间距位置(图1的电极指10和电极指11)：比第一现有技术例子小0.13
间距窄部分的间距
IDT波长λI2：比第一现有技术例子大0.01μm
交叉幅
交叉幅：比第一现有技术例子小4.7λI1
除了duty之外，间距窄部分的间距、交叉幅也变化是为了获得阻抗的匹配
如图7所示，相对有关EGSM-Rx通频带内(925MHz-960MHz)的第一现有技术例子的VSWR为1.73，第一实施例中该VSWR为1.62，大约改善了0.11，如图6所示，为了使最小插入损失变大，通频带内插入损失的频率特性平坦化，通频带内的偏差变小。此时，从通量电平上看4dB内的通频带范围，在第一实施例与第一现有技术例子中基本相同，因此，作为重要特性的通频带内的最大插入损失、以及将其实现的制造公差就不会恶化。
如上所述，在本发明中，具有3个以上IDT的纵向结合共振子型弹性表面波滤波器中，由于将从2个IDT相接端开始部分的电极指间距设定得比该IDT其它部分的电极指间距窄，特别是间距窄的电极指的duty也比其它部分的电吸指duty小，因此通频带范围扩大，插入损失以及VSWR减小，容易形成电极，可以获得难以引起耐压恶化的纵向结合共振子型弹性表面波滤波器。
(第二实施例)
参考图8、图9来说明涉及本发明第二实施例的弹性表面波滤波器。图8、图9是上述各IDT的大概结构图，图8为弹性表面波滤器总体结构图，图9为各IDT相邻部分的放大图。
在本发明第二实施例中，在衬底30上通过A1电极形成弹性表面波滤器。图8中，在IDT41左右(沿着弹性表面波的传送方向)配置IDT42、43，形成各反射器44、45以便于将IDT41、42、43左右夹持在其中。与各IDT42、43相连的端子46为不平衡输入信号端子。在与IDT41彼此交叉的各电极指部中分别相连的各端子47、48为平衡输出信号端子。
图8中，为了扩展频带，IDT41和IDT42、IDT41和IDT43分别相连的最外部电极指49、电极指50、电极指51、电极指52的相应中心间隔小于由IDT电极指间距确定的波长的0.5倍，最外部电极指其中心坐标不变(维持)，仅电极指幅度变小。
因此，例如如图9所示那样，各IDT41、43相邻部分的电极指51和电极指52的电极指间隙53与其它电极指间间隙60程度相同和比其大，电极指51和电极指54的电极指间距55、电极指52和电极指54的电极指间隙56都比其它电极指间隙60大。
作为比较，图10中，示出了作为第二现有例子的弹性表面波滤器的IDT相邻部分的放大图。由于IDT-IDT之外的结构与第二实施例相同，所以省去对其的详细说明。图10中，IDT相邻部分最外的各电极指61的duty与电极指62的duty相同，为此，最外电极指间隙63和其它电极指间隙64相比要小。
在第二实施例中，如图10，虽然作为出于比较目的第二实施例以来自不同方向的电极指(指状)61相对的情况为例说明，但是，如图11所示，在来自相同方向的电极指相对的情况中，情况也是相同的。
根据第二实施例的结构，由于IDT-IDT之间相邻最外的电极指间隙与其它电极指间隙程度相同和比其大，因此在制造过程的蚀刻过程中，与第二现有技术例子相比，可以防止在该部分中发生A1蚀刻失效。
据此，在第二实施例中，在IDT-IDT之间相邻最外部电极指间隙部分中，不会发生表面波音频的不连续部分，可以避免由于损失增加等导致的特性恶化，并且，可以防止由于信号端子间、或信号端子到地端子间短路导致的操作失效的产生，在制造过程中可以容易确实地执行电极的形成。此外，在IDT-IDT之间相邻最外部电极指间隙部分中难以产生静电破坏。
在第二实施例中，虽然IDT-IDT间隙为由电极指间距确定波长的0.5倍以下，但是在其为0.5倍以上的情况中，在IDT-IDT之间相邻最外部电极指间隙变为比其它电极指间距大。
为此，即使在IDT-IDT之间相邻电极指中心间距离IDT-IDT间隙为由电极指间距确定波长的0.5倍以上的情况，在该部分也不会发生表面波音频的不连续部分，不会出现由于损失增加等导致的特性恶化，并且，不会发生由于端子间短路而导致的操作失效，在制造过程中可以容易确实地执行电极的形成。此外，在该部分中难以产生静电破坏。
如上所述，对于本发明，在具有3个以上IDT的纵向结合共振子型弹性表面波滤波器中，由于2个IDT间相接的电极指duty比该IDT其它部分的电极指duty小，因此通频带范围扩大，制造过程中容易形成电极，可以获得难以引起耐压恶化的纵向结合共振子型弹性表面波滤波器。
但是，作为使纵向结合共振子型弹性表面波滤波器扩展频带的方法，例如，如同在特开平5-267990号公报上公开的那样，通过相邻2个IDT之间，电极指周期性排列的条件，具体而言，由于相邻2个IDT相连的电极指的中心间距离(IDT-IDT间隔)在由IDT电极指间距确定的波长(λI)的0.5倍以外，广泛使用所谓的使图4所示的共振模式配置最优化的方法，特别地，通过比0.5倍小，可知能变为宽频带的弹性表面波滤器。
图12中，在中心频率为1960MHz的PCS-Rx用纵向结合共振子型弹性表面波滤波器中，IDT-IDT间隔小于0.5λI时，示出了通过实验求出图4中所示的B和C模式频率间隔的值。
由于IDT-IDT间隔小于0.5λI，图4中所示的B和C模式的表面波共振模式的间隔扩大，其结果，可以获得比较宽的通频带范围。
图13中示出了IDT-IDT间隔小于0.5λI时的IDT-IDT间周边电极的结构。为了使在2个IDT34、35之间相邻的电极指4a、35a间的中心间隔变为小于0.5λI，仅该部分中电极指间间隙32变得比其它部分的电极指间间隙33窄。
但是，在2个IDT34、35之间相邻电极指的间隔小于由电极指间距确定的波长0.5倍的情况中，仅仅该部分电极指间隙小于其它部分的电极指间间隙，在该部分制造过程中存在容易产生A1蚀刻失效的问题。
该间距部分中的A1蚀刻失效存在由于产生弹性表面波的音频不连续部分而导致损失增加等所引起的滤波器特性恶化问题。
另外，该相邻各电极指34a、35a一方为信号电极，另一方为接地电极的情况，或一方为信号电极另一方也为信号电极的情况中，存在由于A1蚀刻失效使信号端子间短路，弹性表面波滤器不能操作的问题，以及由于减小间距，在该部分中存在容易引起静电破坏的问题。
但是，对于第二实施例，在具有3个以上IDT的纵向结合共振子型弹性表面波滤波器中，由于IDT相连部分的最外部电极指duty比其它电极指duty小，因此通频带范围扩大，难于引起静电破坏，能易于制造加工。
接着，参照图14来说明装有在第一实施例以及第二实施例中所记载的弹性表面波装置的通信装置100。
上述通信装置100被构造成具有：作为执行接收的接收机(Rx一侧)的上述天线101、天线共用部/RFTop滤波器102、放大器103、Rx频段间滤波器104、混频器105、第一IF滤波器106、混频器107、第二IF滤波器108、第一+第二本机频率合成器111、TCXO(temperature compensated crystal oscillator(温度补偿型水晶振荡器))112、除法器113、本机滤波器114。如图14中两条线所示，为了确保平衡性，从Rx频段滤波器104到混频器105最好发送各平衡信号。
上述通信装置100被构造为具有：共用作为执行发送的发射机(Tx一侧)的天线101以及上述天线共用部/RFTop滤波器102时，TxIF滤波器121、混频器122、Tx频段间滤波器123、放大器124、耦合器125、绝缘体126、APC(automatic powercontrol(自动功率控制))127。
因此，在上述Rx频段滤波器104、第一IF滤波器106、TxIF滤波器121、Tx频段滤波器123中，适合使用在上述第一实施例以及第二实施例中记载的弹性表面波装置。
据此，上述通信装置使用的弹性表面波装置具有与现有技术中相同及以上的频带范围，插入损失以及VSWR小，难以引起耐压恶化，并且由于容易形成电极，可以小型化、高性能以及低成本化，特别是在具有GHz频带以上的通频带的通信装置中实现小型化、高性能以及低成本化。
如上所述，本发明的弹性表面波装置具有这样的结构：在压电衬底上形成的IDT的至少一个IDT中，将从与其它IDT相邻端开始的部分的电极指间距设定得小于其它部分间距，前述间距小的电极指的duty被设定得小于其它部分电极指的duty。
因此，上述结构具有与现有技术相同及以上的频带范围，可以获得插入损失以及VSWR小，难以引起耐压恶化，并容易实现电极的效果。
如上所述，本发明的其它弹性表面波装置具有这样的结构：在压电衬底上沿着弹性表面波传送方向形成多个具有多个电极指IDT的纵向结合共振子型弹性表面波装置，在至少任何的2个IDT之间，将相邻的电极指的duty设定得小于其它部分的电极指的duty。
因此，上述结构通过在至少任何的2个IDT之间，将相邻的电极指的duty设定得小于其它部分的电极指的duty，可以扩大通频带，抑制静电破坏的产生，从而实现易于制造加工的效果。
如上所述，本发明的通信装置是用上述弹性表面波装置的结构。因此，上述结构具有与现有技术相同及以上的频带范围，插入损失以及VSWR小，难以引起耐压恶化，并且由于使用了容易形成电极的弹性表面波装置，可以实现高性能以及低成本化的效果。

Claims (5)

1.一种弹性表面波装置，是在压电衬底上沿着弹性表面波传送方向形成多个具有多个电极指的梳状电极部的纵向结合共振子型的弹性表面波装置，其特征在于，
在至少任何2个梳状电极部之间相邻电极指的电极指宽度比该梳状电极部的其他部分的电极指宽度窄，将该2个梳状电极部之间相邻电极指的占空比设定得小于所述梳状电极部的其它部分的电极指的占空比。
2.如权利要求1中记载的弹性表面波装置，其特征在于
将2个梳状电极部之间相邻电极指的中心间隔设定为小于该梳状电极部的其他部分的电极指的中心间隔。
3.一种弹性表面波装置，是在压电衬底上沿着弹性表面波传送方向形成多个具有多个电极指的梳状电极部的纵向结合共振子型的弹性表面波装置，其特征在于，
将在至少任何2个梳状电极部之间相邻电极指的电极指间的间隙设定同所述梳状电极部其他的电极指间的间隙为相同程度或者在其以上，将该2个梳状电极部之间相邻电极指的占空比设定得小于该梳状电极部的其它部分的电极指的占空比。
4.如权利要求1～3任意一项权利要求所记载的弹性表面波装置，其特征在于，具有平衡-不平衡输入输出。
5.一种通信装置，其特征在于，使用如权利要求1～4中任意一项所记载的弹性表面波装置。
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