1244735 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 1.發明領域 本發明係有關於-種用於半導體元件之接觸器，並轉別是關於一種 用於-具有兩點接觸式插座之半導體元件的接觸器與關於—種接觸方法， 而該插座係用於扁平封褒型IC之評價測試、大量生產測試、或一老化測試 用者。
夕數爲平封裝型1C被用於可攜式裝置，如行動電話、數位攝影機、 j蝴、綠咖人觸。細，她晰咖細晶 裝）型電力IC、電力控㈣、或除了電力1C以外之扁平封裝型K 71痛㈣細_。纟-铸體測試中， 供—電流時，如果_觸接腳之接觸電阻高的話， =二標供《射會發生„下降^紐制該 +封裝型K：之評_試、 Θ進仃忒扁 減少接觸電阻_於-…/心或老化測試時，·的是—藉 且穩定測試。 敎兩職_插座，崎成-高精確 【先前技術】 2·相關技術之說明 第1圖顯示一用於進杆明土 ., 扁平封裝型1C測試的1C插座，該ICfr；r 具有-單點型結構，其中ic & die插座 接觸该扁平封裝型jC1之 钱喝3 〜 '底面。該等接觸器3係呈一直線地固定於 1244735 -插座本體4以對應於謂之引線之結構，—封裝檯2係配置在該等接 觸器3之結_側，該封裝檯2係被—彈簧支持且可上下移動。 當糊被放在該封裝檯2上時，該1(：1之各引線係被定位在各個接 觸益3之接觸端的正上方’當-加輪5向下軸時，加壓部份5之頭 部加壓該ία之引線。該封裝檯2向下移動且該iu之引線接觸該等接觸
=\之_端’藉由使該加壓部份5再向下移動，該等接觸器3彈性地變 ^ °玄寺接觸^ 3之穩定性對應於在該等接觸哭Q 接觸壓力。 ，U與該IC1之引線之間的 ^圖所示之職座被稱為—單點接觸型插座，因為各接觸器3接觸 翻之各例線於-點’有關於該單點接觸麵座，可以了解的是當於 接觸點處存在有外來物質時或#受到振動 觸。, S可，媒法得到足夠的電接 為^止這些情形’可仙兩點接_插座。兩點接難插座藉由為 接觸發生°。她⑽獅物⑽嶋f、输触成之不完全 隔離 可職翻插針，藉由使—單_ IC㈣之兩接觸器互相 ―用以^用以感應之接觸器（用以侧一電阻值與-電流值）且可使用另 口此，可以測量在測試時真 虽迫之接觸器（用以供應電壓與電流） 流，並且可準確地控制將供應至該等 1C引線之 ('應至該等1C引線之電 預&供應電慶與電流。 所揭=本新型專射請案第5_2_號中揭露了—種兩點接 觸型插座 -之兩點接觸型插座具有其中兩接觸器（―第—接觸器與第二接觸 1244735 王一直線地分別配置在 二接觸器則接觸在該第 觸器。 一 ic引線下方的結構，—設置在該插紅蓋處的第 接觸益上之1C引線之上表面且同時接觸該第二接 屈此外，日本專利申請案第2000—195_號揭露另-種兩點接觸型插 ，在此所謂兩點接觸型插座中，兩接觸縣設置在—插座本體中且以一 線配置在-…丨線下方，這兩接顧將—絕緣以持於其間，或且中一 觸器具有-絕緣膜形成於其上，使得兩接觸器經由該絕緣膜互相接觸。 另外’日本專利中請案第簡42號揭露另_種兩點接觸型插座， 此所謂__麵座中，各單—引線係設置有兩接。藉一加屡 線政操作，-接觸器接觸該IC引線之底面，且另—接觸器接觸該IC引 〜之上表面。這結構之接觸插座是—所謂頂部開Π型插座’其中該接觸器 料加壓部份向上回紅#該加㈣份未被壓下時該接觸器_該1C引 線0 緊密且狹相距之扁平封裝型或csp•力IC係被制在可移動裝置 及筆記型個人電财，為了準確地且穩定地進行這些種類之_測試，、需 要有可以輕易地且碟實地達成兩點接觸，可以在—段長時間内保持穩: 性’且可易地祕之廉價插座。此外，在處理不_類之縣之工處中， 需要有可被應跡大量生細如t要對IC機财精雜之機構更換 的插座。
但是’為了要達成兩點接觸，必須使兩獨立之接觸器接觸一單—1C 引線’對這要求來說，在揭露於日本專利t請案第5—_49號之插座中， 1244735 在另寻"I玄} Γ m λ. γ ^ u疋在该ic固持板上之後，使用設置在該插座之蓋處之第三接 角》p、 不谷易準確地且同時地使該第一接觸器接觸該第二接觸器。此外， ”缺點是使該ic機械手移向該插座且進行接觸操作必須分開進行。 又’在日本專利申請案第1卜297442號中揭露之插座中，當該加塵部 伤向下該等接觸器與該引線分開，且當該減部份未被向下塵時， :年接觸a與剌線之上表面接觸。因此，該接觸操作係藉由在將該π安 褒在該_上之前下_加_份，且在完成該ic之安裝後停止該下屡操 作以1_壓部份_初始位置的方式來實施。如此便沒有設定接· 力之2性，因為該接顧力是一由該等接觸器之結構所設定之常數值。此 外’—由該插座取出該IC之操作必須在該縛部份再下之狀離下 =，，爾該1峨手將該_於該_及嫩㈣ =取出該插座時進行將該加厂堅_下之操作，如此，需要有一使該 之女鏟與取出可以輕易實施的插座。 [發明内容】 發明概要 οΓΓ 一般目的為提供一改良且有用之半導體元件及接觸方法，其 U之放置與取出可以藉由與_習 並且可達到衛蝴_。早，___之操作來實施， 為了達到上述目的，依據本發明之 接觸器，其包含：-載置檯’而—半卜二—翻於—半導體元件之 側接觸器，當該半導體元件被放置7"彡置在该載置檯上；多數下 元件之端子；多數上例接t 私上時由—下側接觸該半導體 接I’其具有多數可相對被放置在該載置接上之 1244735 半夺體兀件之端子上下移動之頭部；及—續構件，其藉輕下該等上侧 接觸“使鱗上側接觸器彈性變形而使該等頭部朝該半導體元件之端子 移動。 此外’依據本發明之另一特徵提供一種得到與—半導體元件之多數端 子電氣接觸之接觸方法，其包含以下步驟：由上方通過—加壓構件之開孔 將斜導體元件放在—魅檯上，並且在同時，使該半導體元件之端子接 觸多數配置在該載置檯四週之下側接觸器；使該加壓構件下降以對多數上 側接觸器加壓，使該等上側接觸_地變形，且使該上側接觸器之頭部 朝斜输件之端子鶴；及使上側接·之頭_在相對該下 趣觸器之-側上之轉體元狀端子且藉由將轉端子放在鮮下側接 觸轉上側接觸器之間觸半導體元狀端子施加接觸壓力。 〃在本發明中，兩接點接觸可以僅藉由以該加壓構件對該等上側接觸器 施壓且使該等上健觸器·地變形以_半導體元件之端子放在該等上 側接觸器與該等下側接觸器之間來達成，因此，-接觸之動作只是下壓該 加壓構件以《加壓構件下降，故，可以藉由與―習知單點接觸型插座相 同之彳呆作達成準確與確實之兩點接觸。 特徵與優點將可在配合以下@式閱讀以下詳細說 本發明之其他目的 明而變得更清楚。 圖式之簡單說明 第1圖是一習知單點接觸型插座之橫截面圖·， 第2圖是—本發明之第一實施歡]c插座的橫截面圖； 1244735 第3圖是一笑？岡 '回斤不之上側接觸器的側視圖； 第4圖是一示音网一 , 〜、圖，續示在一 1C、一加壓構件之開孔之尺冲、及一在 之碩部間的距離間之關係； ^ 番座在夕數突起接觸階狀構件之側壁的狀態下之橫載面 左與右方之上側接觸器 圖； 弟6圖是該If i干rt* + 座在一加壓部份到達最低位置的狀態下之橫截面圖； 弟7圖是一示音同 B _ & …、㈤，頭示在該上側接觸器之頭部與在第β圖所示之狀 心、中之違1C之引線間的物理關係； 第8圖是一橫截面圖 4不手動麵作式衝壓蓋與第2圖所示之一插 座本體連接之狀態；及 圖0 第9圖是-依據本發明之第二實施例之ic插座之掃截面 【實施方式】 較佳實施例之詳細說明 以下將蒼照圖式對本發明之實施例加以說明。 第2圖是一本發明之第一實施例且作為一 用灰一+V體元件之接觸器 之JC插座，顯示在第2圖中之亿插座包括 一 诵压本肢11，一封裝檯12, 一加屡部份13，及一接觸器固定部份14，該 封衣^12係固定在該插座本 肢π之底部的中央。多數τ側接觸器23係配置在該輪持部份四週以 放置在該封上之扁平封裝型ic之仏㈣a，即，該等下側接 觸為23係與該1C之引線10a相同之配置方式配置 2〇r., 灸传忒寻下側接觸器 23 ^目對各引線10a以一對一之方式設置。該封裝 作為一供放置一丰 寺體元件之放置板。 手 10 1244735 該下側接觸器23係由-大致L形之薄金屬片形成，—呈銷狀之接觸部 份咖由該下側接觸器23延伸出來，該接觸部份咖藉穿過該插座本則 ^板而延伸至該插座本體n之相。釘側接顧Μ係藉該接觸器固 疋口Η刀14而固定在該插座本體之底部，該下側接觸器之頭部係定位成 以该IC1G被放置在該封裝檯12上之狀態來接觸該咖之引線版。該下 側接觸益23係作為-接觸該！⑽之引線伽之第—接觸器。 一上側接觸器16係配置在該下側接繼3時各上側接觸器Μ传由 一具有高彈性與高硬度之金麟，例如銅鈹合金所形成。該上側接觸哭π 之接觸電阻可以藉由以職）、她）等電舰側細16之上側來降 低’如第3圖所示’該上側接觸器16包括—基部服，—由該基部恤向 下延伸之接觸部份脱，及-由該基部16a斜對角地向上延伸之臂部脱。 中間突起2G係形成在t_版之―根部與_頭㈣之間，該頭㈣ 作為-接觸該IC1〇之引線1〇a之第二接觸部份。 一開^形成在該插座本體u之頂部處，該域部份13被插入該開 ^被無黃（以兩點式虛線顯示）支持’使得該加廢部份Μ可以上下移 ^當該加勵13未綱，—凸緣部份❿娜_本體U之頂 和如_所示之該加_ 13之位置係該加_ 13之最高位置。' 一開孔既係形成在該加㈣份13之中央，此外，—加壓構件⑴系 =該加物㈣㈣咖脱__罐㈣之下 Γ己轉上側接觸器16之配置，該等上側接觸器16之頭部18被插入 -己置在該等溝槽15b中。由於該等上側接觸器16之頭部接觸該加厂堅構件 1244735 15，該加壓構件15係由一具有良好絕緣性質及非常高之硬度之材料，士一 聚酿亞胺樹脂所形成。一開孔15a亦形成在該加壓構件15之中央以對1 壓部份13之開孔13b提供一連續性。 該IC10可以通過該加壓部份13之開孔13b與該加壓構件15 15a而被放在該封裝檯12上。此外，多數突起設置在該封裝檯12之上表面 上以容納及定位該IC10之一本體。 接著將對一具有上述結構之1C插座之接觸操作加以說明。 第2圖所示之1C插座係經由該等上側接觸器16之接觸部份他與該 等下側接觸益23之接觸部份23a而固定於一測試板（圖未示）上，接著，一 為一加壓機構之一部份之加壓部份24係配置在該加壓部份13上方使得該 加壓部份24可以上下移動。 當將該IC10放置在該IC插座上時，該加塵部份24係向上定位且遠離 該加愿部份13，並且該開孔則寬廣地開口，因此，可以藉由以—機械 手支持ιαο而使在該封裝檯12上之謂經由該等開孔咖與❿落下。 斤第4圖是一示意圖，顯示在該icio之尺寸，該開孔15a之尺寸，及在 該等上側接觸器16之頭部18間之距離之間的關係，該開孔15a之尺寸D 敍於在該等上側接觸器16之頭部ιδ間之距離c。此外，在該咖之引 、泉l〇a之末,而間之距離β係小於在該等上側接觸器^之頭部π間之距離 C ’因此’可簡在娜檯〗2上之·經_孔15 觸器16之頭邱^ J ^ 間之工間洛下。另外，當加屡突起Π被該加_件15
土 4等上側接觸器16之頭部】8間之距離C減少。最後，該距離C 1244735 仍大於在該IC10之引線10a之垂直部份間之距離A且變成小於在該咖 之引線10a之末端間之距離b。 向下掉落在該封裝檯12上之IC10麵在該封裝檯12之上表面之穷起 引導且被放置在一預定位置上，在這狀態下，該謂之引線10a輕輕地接 觸下側接觸器23之對應頂部。 當該咖被放置在該封裝固持部份12上時，該加塵_皮操作使得 二:孔24下降且該加覆部份13被塵向下，當該加壓部份u下降時， 狀旋轉運動Π 於該等^ ^以該等根部為中心之圓弧 議牛，柄上側接觸器16之頭部18向下移向内部（即，朝向該 ㈣、在此同時’設置在該等臂部W之中央附近的中間突起2G朝内側 移勤亚且下降。 一階部2_置在設置在晴部脱之中央附近的中間突起20下 方’該階㈣係形成在該接觸器_们4之中央，因此，當該等上側 接觸器16之臂部ΐβΓ 6入釦a + 兀王向内部移動時，該等中間突起2G接觸該階部 21之一側壁。 / 5圖是該IC插座在該等中間突起2_該_1之側壁之狀態下 的ί、截面目如摘後所述者，該等上側接觸器W之頭部Μ於該加壓部份 13完恤壓至最低位置之狀態下接觸該！⑽之引線恤，在第5圖所示 之狀也中心姻份13物1^冑_與1健置_巾途。在這狀 態下’該等上側接觸器16之頭部18係幾乎垂直地定位在該謂之引線咖 上方。 1244735 該等臂部16c以其各個根部為中辞動上 犬起20接觸該接觸器固定部份κ ]亥等上側接觸器16之中間 2〇為中心轉動。因此，轉 3 ^的碩側部份以各個中間突起 16c之部份變知 且向内相對該IC1〇之引線咖移動之頭部’二斜對角地向下 垂直地移動（下降）。 、 # D相對邊等引線10β幾乎 乐6_示-最終狀態’其中該缚部份Μ 降並且下魏加附13，在第6 “不之狀悲再下 置在該插座本體η之_壁的” 22且/^ ’該加壓部份13接觸設 卩22㈣地卩份_韻低位置。 _ : 部18接觸在該力，份13咖 接们6在之糊線施，趣她卩份13 _最低位置，該等 在節削無物懈_之梅㈣於該等加塵 突起17受壓而產生之彈性變形而蠻 弓曲在墟情形下，該IC10.之引線10a 係被放在該等下纖 23之頂部（第—接觸部份)與轉上側接觸器16 之頭部18(第二接觸部份）之間。因此’接觸壓力施加於該等引線伽，大 約為20-5Gg/插腳之適當接驗力可以藉由調整該等上側接觸器16之臂 16c之形狀與尺寸來獲得。 弟7圖是-不意圖，顯示在第6圖示之狀態中之該等上側接觸器Μ 之頭部18與該ια〇之引線10a間之物理關係，一在兩側上之該等上側接 觸器16之頭部18間之距離E被調整成仍大於在該等引線1〇a之垂直部份 間之距離A並且變成小於在該IC10之引線10a之末端間之距離該等頭 1244735 4 18對該IC10之引線i〇a之水平部份施麼。 在一必要之測試於該IC10上進行後，在仍保持適當壓力之情形下，當 。亥加塵機構之加|部份24 Ji升時，該加麼部份13藉—彈力上升。依此， 該等上側接觸器16藉該等臂部16c之彈性回復力回復成原來的形狀，因 此，該1C插座回到第2圖所示之狀態。 -----------------置於其上之上 側接觸器16，由於該等中間突起2G在該等上側接觸器16觀而彎曲之中 途接觸該階部21之側壁，故該等上側接觸器16不會翻内側移動。換古 =直到各中間突起2〇接觸該階部21之側壁為止，一在該頭部與該旋動 ，'♦㈣是長的，因此，各頭18 _側之移動距離(在水平方向上 動巨破)疋大的。另一方面，各中間突起成為該旋動之 ___21之_之後，在1_ m ,μ . 紅動中心間之距離變小， 口此，各頭部18朝内側之移動距離變小。 即，各上側接觸器16之頭部18的操作是—兩階 突起__㈣檐价各挪:之在各中間 大圓弧移動而朝内側且沿著一水平方向移動.在；° 5員部18藉由沿一 21之側壁之後，各中間突起2G變成該旋動之接觸該階部 圓弧移動接觸該ICl〇之各個引線恤。因且各頭部18藉由沿—小 &大起17的簡單操作就可以輕易地 爾觸為 接觸器16㈣18之靖細在1—料__，使得各上側 之水平移動轉在—帛 *巾是大的，且各頭部18 ^亥ICl〇之各㈣收之各水平部 1244735 份的距離非常小，因此，當該等上側 該等弓丨岣1n 、 4 σσ 16之頭部18由該頭部18接觸 亥寻引線10a之狀態再被下壓以獲得 移動距離可以儘可能地小，此 各頭部18 W方向之 地得到，的接•因為在二等上一_ 今^ 寺中間大起20接觸該階部21之側壁 之後’該等頭部18幾乎只是垂直地移動。 /發明之IC插座是兩點接觸型_，其中該丨⑽之引線恤係由上 與下側分別與該等上側接觸器16及該等下側接觸器烈接觸。因此，可以 使用該等上側接觸器16或該等下側接觸器23來感應，並且使用另一者來 杨麼力’使得對該咖之引線他的電顯電流供應可以被控制。此外， 雜觸I力^精由將各引線1〇a放在該上側接觸器W與該下側接觸器23 之間來獲得。m此’可以真正地減少該接觸㈣，因為該接觸勤係由兩
接觸器共同承受D 另卜藉由mcio放在本發明之ig插座上所產生之接觸運動係與 習知單點接觸龍座之操作相同，因此，不需重新設定或更換-移動與放 置一 1C之機械手。如此，僅藉由將習知單點接觸型插座更換成本發明之冗 插座即可以兩點接觸之方式進行高精度且穩定之半導體測試。 第8圖是一 1C插座之橫截面圖，其中設置有一用於本發明之IC插座 之手動操作型壓蓋30 ’該塵蓋30係被支持在該插座本體.11之頂部的一側 且可被轉動，一對應於第2圖中之加壓部份24之加壓部份32係設置在該 壓蓋30之中央。 在第8圖所示之ic插座中，可以藉開啟該壓蓋30而將該IC10放在該 16 1244735 座中藉由以破放置在該封裝檯12上之ici〇關閉該壓蓋加，可完成 -接觸操作，因為該加壓部份13部該壓蓋3Q之加壓部份32壓下。 如上所述，本發明之Ic插座可以達成兩種型態之操作，gp，藉第2 =示之域賴飾_姻份13壓下之細綱自細喿作，及 错弟8圖所示之壓蓋3G手動地進行該接觸操作的手動型操作。 接者將配合弟9圖對本發明之一第二實施例之ic插座進行說明，在第 L圖中，與在第2圖中對應之構件相同的這些構件係以相同之標號表示且其 說明將予以省略。 、 在本發明之第二實施例之ic插座中，有關該上側接觸器^之結構盘 ^第-實施例之K：插座之結構相同，該第二實施例之ic插座與該第二 例之1C插座的不同處在於該封裝檯12與該下側接觸器㈡之支持結構。 2實補之吻中，—繼⑽被—驛34，如—螺旋彈 m方’―彈性體，如„等可被用來取代 =。目此，卿請可嘴輔34㈣力㈣下移動。此 之頭部可^^幽、嶋魏趣斷趣動 時，該在構中，上側接觸器16之頭部1δ觀抵住—咖之引線伽 Α 之引線i0a可對抗該彈簧34之彈力如亥等下^ u 力而向《社嶋顧16之料= 轉㈣23之彈 該等下側接觸器23之彈力平衡之狀態τ，引線：：早黃34之彈力與 即使當該等上例齡”Γ 引相如接卿力。所以， 側接觸"16之頭部18之垂直移動距離是大的時候，也可以 1244735 得到比在第一實施例中之接觸壓力更小的接觸壓力。因此，可& 設定該接觸壓力。 此外，在上述實施例中，該中間突起20係設置在該上側接觸@ 中央附近，但是，該等中間突起20之數目不限於一個，且可以設置多數中 間突起20。在這種情形下，設置有多數階部21以對應於該等中間突 之數目，如此就可以更準確地控制該等上側接觸器16之頭部18。 本發明不受限於該等特別揭露之實施例，且在不偏離本發明之範嘹之 情形下可進行各種變化與修改。 本發明係依據在2001年11月20日提出申請之日本專利申請案第 2001-355179號主張優先權，該申請案之整個内容在此加入作為參考。 【圖式簡單說明】 / 圖式之簡單說明 第1圖是一習知單點接觸型插座之橫截面圖； 第2圖疋本發明之第一實施例之插座的橫截面圖； 第3圖疋-第2圖所示之上側接觸器的側視圖； 第4圖是—示意圖，顯示在—ic、一加愿構件之開孔之尺寸、及一在 左與右方之上側接觸器之頭部間的距離間之關係，· θ WC插絲纽麵接觸階麟件之側壁的狀態下之橫截面 圖； 第6圖是該ic插座名一 口反。卩伤到達最低位置的狀態下之橫截面圖； 第7圖是一示意圖，# t ) 不在4上側接觸器之頭部與在第6圖所示之狀 怨中之该]C之弓|線間的物理關係； 18 1244735 第8圖是一橫截面圖，顯示一手動操作式衝壓蓋與第2圖所示之一插 座本體連接之狀態；及 第9圖是一依據本發明之第二實施例之1C插座之橫截面圖。 【主要元件符號說明】 1...IC 15b. ...溝槽 2...封裝檯 16.. .上側接觸器 3...接觸器 16a. ..基部 4...插座本體 16b. ..接觸部份 5...加壓部份 16c. ·.臂部 10...1C 17.. .加壓突起 10a...引線 18.. .頭部 11...插座本體 20·· .中間突起 12...封裝檯 21.. .階部 12A...封裝檯 22.., .掣部 13...加壓部份 23... .下側接觸器 13a...凸緣部份 23a. ..接觸部份 13b...開孔 24··. .加壓部份 14...接觸器固定部份 30... .壓蓋 14A...接觸器固定部份 32··. 加壓部份 15...加壓構件 34.·. 彈簧 15a…開孔