TWI227316B - Regenerator, manufacturing method therefor, manufacturing device thereof, and Stirling refrigerator - Google Patents

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1227316 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明與-種積層薄膜狀樹脂構件而成之 生器之製造方法及製造裝置以及其具有再生 ^其再 凍機有關。 文彳寸林冷 【先前技術】 近年來’從節省能源及環保等觀點，史特林機備 。史特林機係利用外部熱源實現可逆循環之史特林^ 外燃機，肖需要汽油等易燃性及點火性優良之燃料之内燃 機比較，為一種具有省能源及低公害優良長處之熱機。 該史特林機之應用例以史特林冷;東機普遍知曉’。、’、該史特 林冷凍機為一種用逆史特林循環產生極低溫之冷凍機。L 下參考圖說明史特林冷凍機之構造。 如圖22所示，史特林冷凍機具有汽缸2〇 ,其係内部填充 風或氛等惰性氣體之作動氣體。該汽缸2〇内嵌裝活塞27及 排出裔26，以上述各件將汽缸2〇内空間區分為壓縮室28與 %脹至29。活塞27以線型馬達30驅動，惟因以彈簀32連接 於本體殼23 ’故在汽缸2〇内週期性正弦運動。又排出器％ #叉活塞27之正弦運動之力在汽缸2〇内往復運動，惟因與 活塞27同樣用彈簧3 1連接於本體殼23，故採週期性正弦運 動。該活塞27之正弦運動與排出器26之正弦運動，在穩態 運轉時以相同之週期一定相位差進行。 於壓縮室28與膨脹室29之間配置再生器15，藉再生器15 連通上述兩室，使冷凍機内構成閉合回路。該閉合回路之 84474 -6- Ϊ227316 壓縮室28側裝有放熱用熱交換器24，此外鄰接放熱用熱交 換為24設置放熱器22。一方面，在閉合回路之膨脹室29側 裝有吸熱用熱交換器25，此外鄰接吸熱用熱交換器25設置 吸熱器2 1。 由於該閉合回路内之作動氣體配合活塞27及排出器26之 動作流動，故可實現逆史特林循環。在此’放熱器22具有 向外部放出壓縮室28内熱量之作用，放熱用熱交換器24具 有促進該放熱之作用。又吸熱器21具有將外部熱向膨脹室 29内傳熱之作用，吸熱用熱交換器25具有促進該傳熱之作 用。 其次’說明上述結構之史特林冷凍機之動作。首先，使 線型馬達30工作，驅動活塞27。由線型馬達3〇驅動之活塞 27接近排出器26，壓縮壓縮室28内之作動氣體。由此，麼 縮室28内之作動氣體溫度上昇，惟因藉放熱用熱交換器24 以放熱器22將壓縮室28内產生之熱放出外部，故將壓縮室 28内之作動氣體溫度，維持在大致等溫。即本過程構成逆 史特林循環之等溫壓縮過程。 其次，於壓縮室28内由活塞27壓縮之作動氣體，以其壓 力流入再生器15内，進一步送至膨脹室29。此時，將作動 氣體持有之熱量蓄熱於再生器15。#本過程構成*史特林 循環之等容冷卻過程。 接著，流入膨脹室29内之高壓製動氣體，因排出器^向 下降落而膨脹。因此，膨脹室29内之作動氣體溫度下降， 惟因藉吸熱用熱交換器25由吸熱器21將外部夕细屈、备s 士 1 °1、之熱傳遞至膨 84474 1227316 即本過程構成 張室2 9内，妙故n：t/ , 將％脹室29内大致保持等溫 逆史特林循環之笠、 长I寺〉皿膨脹過程。 、甬：二由於排出器26開始上昇，膨脹室29内之作動氣體 迷過再生哭丨$ 〇〇 ，再回至壓縮室28側。此時，因將蓄熱於再 -為15之熱I供給作動氣體，故作動氣體溫度昇高。即本 過程構成逆史特林循環之等容加熱過程。 、二於重後此一 4 ’過程(等溫壓縮過程n令卻過程-等 知脹過狂·寺容加熱過程），構成逆史特林循環。結果， 吸熱器21緩緩成為低溫，甚至達極低溫。 ’詳細說明上述再生器。再生器係如上述熱交換器 之一種，為-種與流通再生器内之作動氣體間進行熱量交 換之裝置。因Λ ’在其有限之空間内需確保更大之與作動 氣體之接觸*面積。_古而 %L ^ fb fry 方面為了確保大之接觸面積而構成 複雜之路徑時，因反而成為對作動氣體流動之阻力故影 響及史特林冷凍機效率之降低。即再生器之内部構造，最 好2作動氣體接觸之傳熱面積大，且流動阻力小。因此， 先前已提出各種鰭片構造之再生器。 已知其中有將溥膜狀之樹脂構件（以下僅稱樹脂薄膜）捲 成旋渦狀所形成之再生器（例如，曰本專利特開2〇〇〇_ 220897號公報）。圖23A係將樹脂薄膜捲成旋渦狀所形成之 再生器展開圖，圖23B係展開狀態之樹脂薄膜端面圖。圖 24A係將樹脂薄膜捲成旋渦狀所形成之其他再生器展開圖 ，圖24B係展開其他再生器狀態之端面圖。如圖所示，此種 再生器於薄片狀樹脂薄膜8之一面設有複數突起部4 1、42 84474 -8 - 1227316 。由於繞捲設有該突起部4 1、42之樹脂薄膜8，於樹脂薄膜 之彼此間構成間隙部，隔開積層之樹脂薄膜彼此間，構成 作動氣體流路之一部分。 先前此種再生器之突起部4 1有於拉成薄片狀之樹脂薄獏 8表面，以一定間隔黏接不同於樹脂薄膜8之其他構件之墊 片所形成者，及於拉成薄片狀之樹脂薄膜8表面，以一定間 隔施予絲印刷所形成者。 上述構成之再生器，遙比設置金屬製鰭片更可簡便製作 再生态。結果，製造再生器所需成本亦可大幅減低。又一 般為了提高再生器之熱交換效率，大多於薄片狀樹脂薄膜 之表面塗一層金屬材料。

一般，形成在樹脂薄膜表面之突起部圖案，從容易製造 之觀點大多採用有規則排列之圖案。例如，大多如圖23A 所示，將突起部41以條紋狀配置於樹脂薄膜8上者，或如圖 24A所示，配置成矩陣狀者。 其次，說明將本構成之再生器安裝於具有上述構造之史 特林冷凍機之方法》參考圖25，裝於上述史特林冷凍機之 再生5 1 5係在敗插排出益之構成汽缸2 〇 —部分之捲筒（又 稱壓頭擠出機）14外側，繞捲樹脂薄膜8予以形成。該樹脂 薄膜8亦可將其一部分固定於捲筒14，亦可不予固定而予以 繞捲自如。 將該樹脂薄膜8繞在捲筒14所構成之再生器15係内插於 預先裝在殼本體23之外側殼33〇又此時使樹脂薄膜8之軸線 大致與作動氣體之流動方向平行，設置再生器丨5，俾作動 JU474 1227316 氣體能在由上述突起部形成之流路内流動。此外，從其上 方裝吸熱器2 1，於史特林冷；東機内形成閉合回路，並將再 生器15裝於一定位置。 如上述’採用將塾片貼於樹脂薄膜表面形成突起部之方 法’以形成突起部時’有作業極為煩雜之問題。通常貼在 樹脂薄膜表面之墊片，為了確保於再生器内與作動氣體更 大之傳熱面積，而使用微小者。因此，張貼作業極為煩雜 。又有張貼位置精度低，或張貼時恐捲入灰塵，為使用黏 接劑無法長期維持高信賴性等各種問題。 又以絲印刷於樹脂薄膜表面形成突起部時，因另需印刷 設備及乾燥設備等，故有增加成本之問題。又絲印刷時亦 3控制突起部位置及大小或形狀等極為困難之問題。 此外，繞捲樹脂薄膜形成之再生器，先前僅存在於樹脂 薄膜表面配置有規則之突起部，做為再生器利用時流動於 再生器内之作動氣體氣流單純化，而亦有無法獲得高熱交 換效率之問題。 【發明内容] 發明之揭示 :’:月之第一個目的在於提供一種能以高信賴性簡便且 廉價製造之高熱交換效率再生器、其再生器之製造方法及 製造裝置以及具有其再生器之史特林冷凍機。. 本發明之其他目的在於提供-種能提高形成於構成再生 樹脂薄膜之突起部設計自由&，且能再度以高精度形 成犬（。卩之再生器之製造方法及製造裝置。 84474 -10- 1227316 依本發明某局勢之再决哭在而盟 … 另之冉生為係配置於作動氣體流路上向 作動氣體流動方向交叉方向堆積 脂構件具有突起部，㈣將…，"旨構件而成。樹 』將其表自塑性變形所形成者，由 該突起部積層之樹脂構件彼此間具有間隙邙。 由於如此直接將薄膜狀樹脂構件表面塑性變形 部’即可簡便且廉價製作再生器。 依上述本發明某局勢之再士写 有開口部。 ％ -好例如突起部頂點具 由於如此於突起部前端形成開口部，擾_於再生哭 内之作動氣體流路，故可期待熱交換效率之提高。 依上述本發明某局勢之再生器’最好例如於樹脂' 面施予壓製處理，以形成上述突起部。 由於如此以壓製處理在樹脂構件表面形成突起部，即可 極簡便將薄膜狀樹脂構件表面塑性變形形成突起部。又由 於以壓製處理形成突起部’故可提高突起部設計自由产， 且能再度形成突起部，提供具有高熱交換效率之再生；' 面尽發明某局勢之再生器，最好例如於樹脂構件表 面^射苗射光果，以形成上述突起部。 :可柽間便將樹脂構件表面塑性變形形成突起部。又可提 2起部設計自由度’且能再度形成突起部，提供具有高 …、父換效率之再生器。此外’比用上述壓製處理形成之突 蜂部’更可提高所形成突起部之大小及形狀之重現性，且 因可防止微小灰塵之產生，故可提供高信賴性之再… «4474 I227316 依上述本發明某局勢之再 ，田 ，調整一；瑕好例如於樹脂構件表面 …Q域大起部之高度異於其他區域 由於如此依J：位罟▲田敫r山 丨 < 同度 、位置调整形成於樹脂構件之突起部高产， 亦可將堆積之樹脂構件彼此間 同之高度。結果，由於可…周整為彼此不 決定谁…+ 其位置流入/流出之熱流束 、疋隹積之树脂構件之間隔， 件之勒-从^ 又j增進作動乳體與樹脂構 :::熱：=能’提高再生器整體之蓄熱/放熱性能。又在 -疋區域及其他區域規定之區域之選擇方法並未加以 二限制’意指於樹脂構件表面任意選擇之區域，非限 於選擇區域内含複數突起部之情形，並包括僅未含單數突 起部之情形。 3早歎大 又亦可將形成於樹脂構件表面之突起部，分為於堆積之 讨月曰構件間形成間隙用之突 .^ 丨興雄保更大傳熱面積用 =起部形成。又此時’需將確保更大傳熱面積用之突起 :南度，設計為低於在堆積之樹脂構件間形成間陈用之突起 部高度。 依上述本發明某局勢之再生器，最好例如於樹脂構件表 面三將平位面積之突起部數，調整為依樹脂構件表面位置 同。 如此，亦可於樹脂構件表面，將單位面積所形成突起部 、由’依各樹脂構件位置調整。結果，由於可配合於其位置 %入/流出之熱流束決定堆積之樹脂構件之流動阻力及傳 熱面積’故可增進作動氣體與樹脂構件之熱交換性能，提 向再生器整體之蓄熱/放熱性能。 依本發明之其他局勢之再生器係配設在流動於史特林冷 84474 -12- 1227316 東機之壓縮室與膨脹室之作動氣體流路上，於作動氣體流 動方命六 乂又之方向積層薄膜狀樹脂構件而成之再生器。樹 月日構件係於其表面具有複數突起部，以該複數突起部積層 2樹脂構件彼此具有間隙部。調整樹脂構件表面，一定區 減< 哭起部高度，不同於其他區域之突起部高度。 、此方式’藉由具備高度相異之突起部，可配合流入/流 出士女彳、班 / ^ JL之熱泥束以決定間隙部之高度，故可提高作動氣 a 一樹如構件之熱交換性能，並提高再生器整體之蓄熱/放 #、匕。又在此以一定區域及其他區域規定之區域之選擇 並不加以特別之限制，意指於樹脂構件表面任意選擇 之區域，非限於選擇區域内含複數突起部之情形，並包括 僅未含單數突起部之情形。又本構成並未限於以塑性變形 形成突起部之情形，而亦可適用於貼墊片形成突起部之情 $ ’或用印刷法形成突起部之情形等。 本發明之其他局勢之再生器係配設在流動於史特林冷 •機之壓縮至與膨脹室之作動氣體流路上，於作動氣體流 動方向父又之方向積層薄膜狀樹脂構件而成之再生器。樹 曰構件如於其表面具有複數突起部，以該複數突起部積層 之树知構件彼此具有間隙部。於樹脂構件表面，單位面積 之突起部數係比壓縮室側，愈靠近膨脹室側愈多。 一 叙在史特林冷/東機運轉時，流動於再生器内之作動 =體，因其膨脹室側比壓縮室側低溫，故作動氣體在膨脹 室側之黏度小於壓縮室側之黏度。因此，於膨脹室側，作' 動乳體成為更容易流動之狀態，由於提高突起部密度增加 84474 -13- 1227316 傳熱面積’故可增進作動氣體與樹脂構件之熱交換性能。 反之，於作動氣體流動困難之壓縮室彻丨，減少突起 可減低流動阻力，實現順暢之作動氣體流動。結果p 高再生器整體之蓄熱/放埶性於 ^ …14把。又本構成並未限於以翔料 變形形成突起部之情形，而亦可4 土逆 月々而亦可適用於貼墊片形成突起部 之情形，或用印刷法形成突起部之情形等。 σ 依本發明之史特林冷;東機，具有上述任一再生哭。 由於如此構成具有上述任-再生ϋ之Μ林冷; 東機，可 提两冷來機整體之熱交換效率，故可提供具有良好冷;東性 能之史特林冷束機。又可簡便且廉價提供高信賴性之史特 林冷凍機。 依本發明之再生器之製造方法，其係配置於作動氣體之 ㈣件積層於與上述作動氣禮之流動 方向人又之方向而成，旦^古和答 取具另大起部形成步驟及積層步驟。 突起部形成步驟係將樹脂構件表面塑性變形俾形成突起 部以便積層之樹脂構件間呈 Ί 〃 3間隙部。積層步驟係積層形 成犬起部之樹脂構件者。 :於如此將樹脂構件本身塑性變形，在樹脂構件表面形 成=起部’即可極簡便且廉價製作再生^ :本發明之再生器之製造方法，最好例如突起部形成步 驟'壓製步驟’其係用壓模於樹脂構件表面施予壓製處理 ，以形成突起部。 、* ; Λ用壓拉之壓製處理使樹脂構件表面塑性變形形 成犬·起部，即可極簡係 理形成突起部，故"好：成犬起部。又因以壓製處 。欠此良好再度形成突起部。 84474 -14. 1227316 依本發明之再生器之製造方法，最好例如更含有定位步 驟，其係向大致與樹脂構件表面平行方向相對移動壓模與 樹脂構件進行定位者。此外，最好構成由於交互進行該定 位步驟與上述壓製步驟，可於樹脂構件表面所希望位置形成 突起部。 由於如此更具有定位步驟’俾相對移動壓模與樹脂構件 ，交互重複定位處理與麼製處理，即可簡便且迅速在所希 望位置形成突起部。 」上述本發明之再生器之製造方法，由於例如控制上述 ϋ模之壓製a彳序、壓製之加壓力、及相對移動上述壓模與 樹脂構件之移動速度，即可調整樹脂構件表面之突起部^ 形成位置、大小及形狀。 由於如此控制壓模之壓製時序、壓製之加壓力、及相對 移動壓模與樹脂構件之移動速度，即可簡便調整突起部之 形成位置、大小及形狀。例如將上述突起部隨機配置於薄 膜狀樹脂構件表面，或以矩陣狀（行列狀）配置等，其設計 自由度極高。由於能良好再度照設計形成突起部，故可廉 價製作高性能之再生器。 依上述本發明之再生器之製造方法，例如最好突起部形 成步驟含雷射光束照射步驟’其係將雷射光束照射於樹脂 構件表面，以形成突起部。 由於如此以照射雷射光束使樹脂構件表面塑性變形形成 突起部’即可簡易且廉價製作再生器。又由於以雷射處理 形成突起部，故能良好再度形成突起部。 84474 -15· 1227316 依上述本發明之再生器之製造方法，例如最好雷射光束 照射步驟更包括定位步驟，其係向樹脂構件表面大致平行 方向’相對移動雷射光束光源與樹脂構件，進行定位者。 此外，最好構成由於交互進行該定位步驟與上述雷射光束 照射步驟，可於樹脂構件表面之所希望位置形成突起部。 由於如此更具有相對移動雷射光束光源與樹脂構件之定 位步驟，交互重複定位處理與雷射光束照射處理，即可簡 便且迅速在所希望位置形成突起部。 依上述本發明之再生之塑；生士^ , Γ7 行王551衣k方法，例如最好雷射光束 照射步驟包含以脈衝狀掃描照射雷射光束之步驟。 辑π A不，叩3間便且迅： 在樹脂構件表面形成複數突起部。 依上述本毛月、再生器之製造方法，例如控制照射於^ 脂構件之雷射光束之照射徑，照射功率及照射時間即; 調整樹脂構件表面之突起部之彡 . \ I〜心成位置、大小及形狀。 由於如此控制雷射来壶夕L ^ 了尤釆之妝射徑，照射功率及照射時f ’即可在樹脂構件表面再声带士、 、 丹度形成各種形狀之突起部。例七 ’向作動氣體之流動方向平行形成突條部，或隨機配置 述突起部’或配置成矩陣狀等’其設計自由度極高。由: ’因照設計女善再唐开〈4、# 之再生器。。再“成突起部’故可廉價製作高心 由於如此繞捲樹脂構件 如农好積層步驟 ，比切斷或彎曲 依上述本發明之再 包括繞捲形成突起部 生器之製造方法，例 之樹脂構件之步驟。 β構成積層構造 84474 •16- Ϊ227316 樹脂構件製作再生器，更能簡便且廉價製作再生器。 依本發明之再生器之製造裝置’其係於薄膜狀樹腸構件 表面形成突起部’具有送出機構及突起部形成機構。送出 機構係向一方向送出薄膜狀樹脂構件之機構，突起部形成 機構係將薄膜狀樹脂構件表面塑性變形以形成突起部之機 構。 °之· 由於如此用送出機構送出薄膜狀樹脂構件，用突起部形 成機構於送出之樹脂構件表面將樹脂構件本身塑性變二^ 形成突起部，故即可連續於樹脂構件表面形成突=^处 々Λ* 、* 月匕 間便、迅速且廉價製作再生器。 依上述本發明之再生器之製造裝置，例如最好具有高度 調整機構，其係於上述突起部形成機構下游側具有一對夹 持部，相向於薄膜狀樹脂構件表面交叉方向位置，隔^定 距離分開配置者1薄膜狀樹脂構件串過該夾持部間之間 隙，俾調整由上述突起部形成機構形成之突起部之高度者。 由於如此在突起部形成機構下游側設置調整突起部高度 之高度調整機構，即可簡便將形成於樹脂構件&之突$ 部南度調整為所希望之高度。本結構因以僅配置一對夾持 部之簡便結構構成高度調整機構，&可不^加製造成本， 又因能迅速調整突起部高度，故亦不阻礙生產性。Τ 依上述本發明之再生器之製造裝置，例如最好可調整一 對夹持部之間隔。 由於如此構成可調整一對夾持部之間隔，故即使用失持 部調整之突起部高度因變更設計等而改變時亦容易對應。 84474 -17· 1227316 ’例如最好突起部形 方向送出之薄獏狀樹 依上述本發明之再生器之製造裝置 成機構係由壓模及載台，其係藉向一 脂構件位於與上述壓模相反側者。 如此，㈣膜狀樹脂構件本身塑性變形形成突起部之突 起部形成機構’可使用具有壓模及載台之壓機。突起部形 成機構使用壓機時，即可於樹脂構件表面連續簡便形成突 起部，可廉價製作再生器。 依上述本發明之再生器之製造裝置，例如最好載台於對 應上述壓模之位置具有凹部。 由於如此於對應載台壓模之位置設置凹部，因壓製時確 保突起部及壓模之容納空間’故能以壓製處理連續形成突起 部。 依上述本發明之再生器之製造裝置，例如最好凹部係向 方向运出之薄膜狀樹脂構件移動方向下游側達載台之端 部。 ° 如上述，以送出機構邊送出薄膜狀樹脂構件，邊用壓機 連續於樹脂構件表面形成突起部時，將有形成之突起部接 觸於載台之慮。因此，如上述構成，由於將設置於載台之 凹部向樹脂構件移動方向下游側延伸至載台之端部以迴 避突起部與載台之接觸，故可防範樹脂構件鈎住載台，或 突起部形狀變形於未然。 依上述本發明之再生器之製造裝置，例如最好構成上述 壓核前端具有大致圓錐狀複數針，以一次壓製加工即可在 薄膜狀樹脂構件表面形成複數突起部。 84474 -18- 1227316 由於如此壓模具有複數針，即能以一次壓製加工在樹脂 構件表面形成複數突起部，而可迅速且簡便製作再生器。 依上述本發明之再生器之製造裝置，例如最好突起部形 成機構係由照射雷射光束之雷射光束照射機構構成。 如此’將薄膜狀樹脂構件本身塑性變形形成突起部之突 起部形成機構，可使用照射雷射光束之雷射光束照射機構 。突起部形成機構使用雷射光束照射機構時，可連續且簡 便在樹脂構件表面形成突起部，而可廉價提供再生器。 依上述本發明之再生器之製造裝置，例如最好雷射光束 照射機構構成以脈衝狀掃描照射雷射光束。 由於如此以雷射光束照射機構構在樹脂構件表面以脈衝 狀掃描照射雷射光束，即可連續、簡便且迅速形成複數突起 部。 【實施方式】 實施發明之最佳形態 以下’蒼考圖說明本發明之貫施形態。又以下所示實施 形態舉裝載於史特林冷凍機再生器為例說明。 (實施形態1) 圖1係本發明之實施形態1之再生器之製造方法及製造裝 置說明模式圖，圖2至圖4係本實施形態之突起部形成步驟 更詳細說明之壓機剖面圖。又圖5至圖9係突起部佈置圖案 之樹脂薄膜上面圖，圖1 0A及圖1 0B係突起部形狀之樹脂薄 膜放大剖面圖。此外’圖11係本實施形態之積層過程模式 圖，圖1 2係本實施形態之再生器之放大剖面圖。 84474 -19- 1227316 (再生器之製造裝置） 首先’參考圖1說明本實施形態之再生器之製造裝置。繞 捲薄膜狀樹脂構件所製作之再生器之製造步驟，主要分為 突起部形成步驟，其係於樹脂薄膜表面形成突起部者；及 積層步驟，其係積層形成突起部之樹脂薄膜者。其中圖夏 所示再生器之製造裝置係使用於在樹脂薄膜表面形成突起 部之突起部形成步驟之再生器製造裝置。 如圖1所示，本實施形態之再生器之製造裝置主要具有： 薄膜送出機構1 13，其係送出樹脂薄膜者；及突起部形成機 構之壓機1 (H。壓機丨〇丨位於薄膜送出機構丨丨3下游側，具有 壓模102、壓部1〇3及載台104。壓模102與壓部1〇3位於夾由 薄膜送出機構113向一方向（圖中箭示A方向）送出之樹脂薄 膜8上下分開之位置。又壓模1〇2與壓部1〇3可向上下方向 (圖中前不B方向）移動。又載台104之對應壓模1〇2之位置設 有凹部105 ,俾壓製時容納壓模1〇2(參考圖2至4)。 (突起部形成步驟） 其次，說明用上述構成之再生器之製造裝置於樹脂薄膜 表面形成突起部之方法。參考圖丨，由薄膜送出機構丨丨3向 方向送出之樹脂薄膜8經過驅動滾子丨丨丨送至壓機丨〇丨。壓 機10 1以一疋時序壓製處理樹脂薄膜8。因此，於樹脂薄膜8 表面連續形成突起部丨〇。 具體而3 ,百先，以薄膜送出機構丨丨3送出樹脂薄膜8 , 進行定位使樹脂薄獏8之突起部形成預定區域位於壓機1〇1 之C模102下方位置(參考圖2)。該步驟相當於為形成突起 84474 -20 - 1227316 T而决疋壓杈丨02與樹脂薄膜8之相對位置之定位步驟。其 -人’壓部103向下（圖中箭示Bl方向）移動。而如圖〕所示， X [ 03將樹脂薄膜8壓緊於載台丨〇4，接著壓模1 向下 移動，向T方壓樹脂薄膜8之突起部形成預定區域。由此， 於樹脂薄膜8表面產生塑性變形’於下方形成四狀突起部! 〇 。亥步驟相當於突起部形成步驟之壓製步驟。然後，壓 ' 02與£ 1〇3向上（圖中箭示Β2方向）移動，回復至基準 位置。而如圖4所示，再向箭示Α方向送出樹脂薄膜8。 由重複以上說明之定位步驟與壓製步驟，在樹脂薄膜8 :面連續形成突起部10。又本實施形態構成樹脂薄膜8在載 =104上方移動。因此，將載台1〇4與樹脂薄膜8，以形成之 突起部10之高度以上距離’分開配置’以免形成之突起部 10接觸載台104之凹部1〇5。 (突起部之形成位置） 其次，說明形成於樹脂薄膜表面之突起部之形成位置。 由於使用本實施形態之再生器之製造方法及製造裝置，可 在樹脂薄膜表面以各種佈置圖案形成突起部。具體而古， 由於控制壓製時序及相對移動壓模與樹脂薄膜之移動速产 ，即可實現各種圖t。又為了於樹脂薄膜一次形成複數二 起部，使壓模具有複數針時，即可更增加形成突起部 案之變化。以下，舉幾個突起部之圖案例。 (佈置圖案1) 圖5係佈置圖案1之樹脂薄膜上面圖。圖$所示处 '丨、大起部之佈 置圖案係於樹脂薄膜8表面以矩陣狀形成突起 •〜…1 υ之佈置 84474 •21 · 1227316 圖案。即參考圖5,於樹脂薄膜8表面向χ方向及y方向以行 列狀配置突起部丨〇。圖中,方向之突起部間隔均為等間隔， 又y方向之突起部間隔亦均為等間隔。 為一貝現上述突起部之佈置，例如使用壓模1 ，其係如圖 5所示於y方向等間隔具有複數針者。向A方向（X方向）對該 壓模102，以一定速度移動樹脂薄膜8，且以一定時序用該 壓模102壓製。由此，可實現如圖5所示配置成矩陣狀之佈 置圖案。 (佈置圖案2) 圖6仏佈置圖案2之樹脂薄膜上面圖。圖6所示突起部之佈 置圖案係與上述佈置圖案丨同樣，於樹脂薄膜s表面以行列 狀形成突起部10之佈置圖案。然而，本佈置圖案有異於佈 置圖案1，X方向之突起部間隔為隨機。即乂方向相鄰之突起 部彼此間距離並非一定，而有所不同。 如本佈置圖案形成突起部之方法’有使用如圖6所示壓模 102，其係於y方向等間隔具有複數針者，向a方向（χ方向） 對該壓模1 02，以不規則之速度移動樹脂薄膜8，且以一定 時序用該壓模102壓製之方法。又亦有向Α方向（X方向）對該 壓模1 02，以一定速度移動樹脂薄膜8，且向圖6中之箭示D 方向使壓模102不規則變位壓製之方法。此外，亦有向八方 向（X方向）對壓模102，以一定速度移動樹脂薄獏8，使壓模 1 02之壓製時序不規則變化之方法。 (佈置圖案3) 圖7係佈置圖案3之樹脂薄膜上面圖。圖7所示突起部之佈 84474 -22 - 1227316 置圖案係與上述佈置圖案1及2同樣於樹脂薄膜8表面以行 列狀形成突起Αβ ^ π $ 邛10之佈置圖案。然而，本佈置圖案有昱於 佈置圖荦1及 圃茶1及2, 方向以W1之寬度重複形成同 如本佈置圖案形成突起部之方法，有使用女口圖7所示壓模 1〇i，.f係於y方向等間隔具有複數針者，向Α方向（χ方向') 對該壓模1 0 2，以規則之具有週期性變化之速度移動樹脂薄 胰8 ’且以-定時序用該壓模1〇2壓製之方法。又亦有向A 方向(X方向)對該壓模102 ’以-定速度移動樹脂薄膜8,且 向圖7中之箭示D方向對壓模1〇2使樹脂薄膜8以規則之具有 週期性變位壓製之方法。此外，亦有向A方向(X方向)對壓 模102，以一定速度移動樹脂薄膜8，使壓模1 〇2之壓製時序 具有規則週期變化之方法。 1 (佈置圖案4) 圖8係佈置圖案4之樹脂薄膜上面圖。圖8所示突起部之佈 置圖嚓係向y方向以一定間隔配置突起部，惟X方向之突起 部為未排列而成為隨機之佈置圖案。 如本佈置圖案形成突起部之方法，有使用如圖8所示壓模 102 ,其係於y方向等間隔具有複數針者，向A方向&方向） 對該壓杈1 02，以一定速度移動樹脂薄膜8，且邊向圖8中之 箭示Ε方向使壓模102隨機變位邊以一定時序壓製之方法。 (佈置圖案5) 圖9係佈置圖案5之樹脂薄膜上面圖。圖9所示突起部之佈 置圖案係組合上述佈置圖案3與佈置圖案4者。即於y方向一 定間隔形成突起部，惟乂方向突起部並未以等間隔排列，以 84474 -23- 1227316 W2之寬度重複形成同一圖案。 如本佈置圖案形成突起部之方法，有使用如圖9所示壓模 1 02 ’其係於y方向等間隔具有複數針者，邊向£方向使壓模 102變位，邊向A方向（χ方向）對該壓模ι〇2，以規則之具有 k ,月（1憂化之速度移動樹脂薄膜$，且以一定時序用該壓模 102壓製之方法。 以上5種佈置圖案均用同形狀壓模實現之突起部之佈置 圖案。即使用同一壓模日寺，由於控制壓製時序及壓模與樹 月曰薄膜之相對移動，可實現各種佈置圖案。X比將突起 部配成矩陣狀之佈置圖案卜佈置圖案2至5之作動氣體流動 複雜化。*此，可改善再生器之熱交換效率，而可形成高 性能之再生器。 (突起部之形狀） 其次’說明突起部之形狀。以壓製處理形成之突起部“ 之形狀主要可考慮如圖1〇A所示形狀之突起部⑺玨，及如圖 1〇輯不形狀之突起部1〇b兩種。又突起部10a及l〇b之大小 可依壓模之壓製加壓力調整。 、圖^系使用前端為圓錐狀且其頂點為曲面之壓模所形 :之犬起部形狀。如圖用該形狀之壓模所形成之突起 部l〇a成為從樹脂薄膜8之主面向下突出之山之形狀。 圖使用前端為圓錐狀且其頂點為制之壓模所形 成之犬起部形狀。如圖示， 用》亥形狀之壓模所形成之突起 °成為頂點具有開口部之環狀突起部。 突起部之形狀主要可考慮上述兩種，惟形成如圖議所示 84474 -24- 1227316 頂點具有開〇部10bi之環狀突起部i〇b比圖ι〇Α所示山形之 大（Oa為佳：此乃因積層植f脂薄膜8 0寺，流_動於形成在 積層之樹脂薄膜8間之間隙部之作動氣體，可通過突起部 l〇b之開口部10bl向其他間隙部流動之故。因此，可構成複 雜之作動氣體之流動路徑’可製作由於擾亂作動氣體之流 動致熱傳導效率格外提高之再生器。 (積層步驟及組裝步驟） 其次，說明將樹脂薄膜積層之積層步驟。如圖u所示， 於表面形成突起部10之樹脂薄膜8係切斷成一定長度，由繞 捲於圓筒狀捲筒Μ積層之。此時，因預先設於樹脂薄膜8 表面之突起部10,於積層之樹脂薄膜彼此間構成間隙部9 ’故於繞捲所形成之樹脂薄膜8軸線方向構成作動氣體流動 之流路（參考圖丨2)。結果，再生器成為於作動氣體流動方 向交叉方向積層樹脂薄膜而成之結構。 由此等捲筒14及繞捲之樹脂薄膜8,構成史特林冷凍機之 再生器15,以上述先前例說明之組裝方法同樣之方法，組 裝於史特林冷凍機之一定位置。 (效果） 由用如上述再生器之製造方法及製造裝置製作再生器， 即可連續簡便且廉價於樹脂薄膜表面形成突起部。結果， 極谷易進行史特林冷凍機之製造。又如上過，由於將樹脂 薄膜本身塑性變形形成突起部，即能比先前進行之貼塾片 ，或進行絲印刷所形成之突起部，以良好之再現性且簡便 形成突起部，故能廉價提供熱交換效率優良之再生器，能 84474 -25- 1227316 廉價提供高效率之史特林冷凍機。 (實施形態2) 圖13係本發明之實施形態2之壓機剖面圖，圖14係本實施 形態之壓機形狀說明用上面圖。 (再生器之製造裝置） 本實施形態之再生器之製造裝置係與上述實施形態i同 樣，主要包括：送出機構之薄膜進給器；及突起部形成機 構之壓機。參考圖13及圖14，壓機1〇1係與上述實施形態i 同樣，具有壓模102、壓部1〇3及載台104。壓模1〇2及載台 104係夾以薄膜進給器向一方向（圖中箭示A方向）送出之樹 脂薄膜8位於上下位置。又壓模1〇2及壓部1〇3可向上下方向 (圖中箭示B方向）移動。載台！ 〇4係從對應壓模1〇2之位置向 樹脂薄膜8之移動方向（圖中箭示a方向）下游側具有凹部 106。該凹部106達載台104之端部。該凹部ι〇6為壓製時容 納壓模102之部分。 (突起部形成步驟） 與上述貫施形態1同樣’本實施形態之再生器之製造裝置 亦由於以一定時序，在壓機101之載台104上移動之樹脂薄 膜實施壓製處理，而於樹脂薄膜8表面連續形成突起部1〇 。又圖13係圖示為了將圖10B所示環狀突起部1〇13形成於樹 脂薄膜8表面，將壓模102前端形成銳利形狀之情形。 (效果） 本實施形態因凹部106向樹脂薄膜8之移動方向下游側至 達載台1 04之端部，故可防止形成在樹脂薄膜§表面之突起 84474 -26- 1227316 部1 0接觸載台1 04於未然。又於上述實施形態，需使載台1 〇4 與樹脂薄膜8之距離為形成之突起部1〇之高度以上，惟於本 貫施形悲因凹部1 〇6達載台1 〇4之端部，故可將樹脂薄膜8 配置於載台1 04之正上方。因此，比上述實施形態i更能精 密形成突起部1 0。 (實施形態3) 圖1 5係本發明之實施形態3之再生器之製造方法及製造 農置說明模式圖。又圖1 6係調整形成在樹脂薄膜表面之突 起部高度之高度調整機構剖面圖。 (再生器之製造裝置） 本實施形態之再生器之製造裝置係與上述實施形態1及2 同樣，具有：送出機構之薄膜進給器丨丨3 ;及突起部形成機 構之壓機1 0 1。此外，於壓機1 〇丨下游側配置高度調整機構 之夾持部114，其係調整以壓機1 〇丨形成之突起部丨〇高度者 。5玄夾持部114由一對夾持塊114 a、114 b構成。此外，於夾 持塊114a、114b下游側，裝有捲取樹脂薄膜8之機構之回收 >袞子11 6。 (高度調整機構） 參圖1 5及圖1 6，高度調整機構之夾持塊114a、11 4b，位 於與驅動滾子112送出之樹脂薄膜8表面交叉方向相向位置 ’隔一定距離h!丨分開配設。由此，於表面形成突起部1〇之 樹脂薄膜8，即通過形成在夾持塊11 4a、114b間之間隙。因 突起部10係用壓機101形成，故其高度h12產生多少尺寸之 誤差。為改正該尺寸之誤差使用高度調整機構之失持塊 84474 •27- 1227316 114a 、 114b 。 具體而言’如圖16所示，通過夾持塊"a、mb前之失 持部之h^，大於夾持塊114a、U4b間隙之距離吣時由於 突起部1 0被夾持塊失住，故強制調整其高度，調整為希望 之高度h13 ° (效果） 由此，因將形成在樹脂薄膜8表面之突起部10之高度，整 形為一定高度，故可簡便形成照設計形狀之再生器。又因 使夾持塊114a、114b可向上下方向（圖中箭示C方向）移動， 故即使使用夹持塊114a、114b調整之突起部i 〇之高度產生 變更時，亦容易對應。 (實施形態4) 圖1 7係本發明之實施形態4之再生器之製造方法及製造 裝置說明模式圖。又圖1 8 A係用本實施形態之再生器之製造 方法及製造裝置形成突起部之結構說明模式圖，圖18B及c 係本實施形態之使用再生器之製造方法及製造裝置形成之 突起部形狀圖。 (再生器之製造裝置） 首先’參考圖17說明本實施形態之再生器之製造裝置。 如圖17所示，本實施形態之再生器之製造裝置，主要具有 •送出樹脂薄膜之送出機構之薄膜送給器2 1 3 ;及突起部形 成機構之雷射光束照射機構2〇 1。從雷射光束照射機構20 1 向樹脂薄臈8照射之雷射光束203係從光源之雷射振盪器 202以脈衝狀射出。從雷射振盪器202射出之雷射光束203 84474 -28 - 1227316 ，藉調製器204、光束放大器205、由馬達207驅動之多角稜 鏡206、聚光掃描透鏡2〇9，轉換為點狀雷射光束，以線掃 描光束210作用。 (突起部形成步驟） 其次’說明用上述構成之再生器之製造裝置於樹脂薄膜 表面形成突起部之方法。參考圖17，線掃描光束210係從薄 膜送給器2 1 3供給，邊聚光於由驅動滾子2丨丨、2丨2以一定之 速度向水平方向（圖中箭示A方向）移動之樹脂薄膜8上，邊 以一定功率脈衝照射。因此，於樹脂薄膜8表面連續形成突 起部1 0。又由交互進行：定位步驟，其係以薄膜送給器2 i 3 送出樹脂薄膜’進行雷射光束照射機構20 1與樹脂薄膜8之 相對定位者；與突起部形成步驟，其係以雷射光束照射機 構201將雷射光束照射於樹脂薄膜8之突起部形成預定區域 俾在树脂薄膜8表面形成突起部丨〇者；即可連續於樹脂薄 膜8表面形成突起部丨〇。 又在塑性變形開始時不停止線掃描光束2丨〇之照射而繼 #妝射吩，將如圖18C所示之開口部ι 形成於樹脂薄膜8 表面此乃因樹脂薄膜8之照射到線掃描光束2丨〇之部分中 一中央^之溫度超過樹脂薄膜8之溶點而溶出之故，於樹脂 ，膜8開出圖形孔。此時，因從周圍有表面張力作用，故可 得外周部隆起成環狀形之突起部l〇b。 (積層步驟及組裝步驟） =述突起部形成步驟後，表面形成多數突起部之樹脂薄 膜•系與上述實施形態丨同樣，以一定長度切斷，繞捲於圓筒 84474 •29· 1227316 狀捲筒因此’於積層之樹脂薄膜内形成作動氣體流動之 間隙部流路。由此等捲筒及繞捲之樹脂薄膜構成史特林^ /東機之再生器，以上述Μ例說明之組裝方法同樣之方: ,組裝於史特林冷凍機之一定位置。 (效果） 由用如上遠再生器之製造方法及製造裝置製造史特林冷 ;東機之再生器，即可連續、簡便且廉價於樹脂薄膜表面形 成突起部。結果，極容易進行史特林冷;東機之製造。又由 於將樹脂薄膜本身塑性變形以形成突起部，故比先前進行 之張貼墊片，或進行絲印刷所形成之突起部，t能以良好 之再現性且簡便形成突起部，因此可廉價提供熱交換效率 優土之再生态，可廉價提供高效率之史特林冷凍機。又上 =實施形態1至3，因使用壓模之壓製處理以機械方式形成 犬，部’故雖有產生微小灰塵之虞，惟本實施形態因無產 工微小灰塵之虞’故可提供具有高信賴性及優良熱交換效 率之再生器。 (實施例） 本只％例係以使用上述雷射光束之方法形成突起部之 具體例。於本實施例，構成再生器之樹脂薄膜使用成膜為 60 μιη；；之來乙烯笨二甲酸鹽。又照射樹脂薄膜之雷射光束 使用波長1064 nm之YAG雷射（釔_鋁·加鈉雷射），設其照射 拴為φ 0.3 mm ’照射功率為5〇 mW，照射時間為〇 1秒。此 時，樹脂薄膜僅引起塑性變形，確認形成如圖_之 l〇a。此時之突起部1〇a下襬直徑t為約〇 4 _，高度^為約 84474 -30 1227316 1 00 μπι。又其形狀確認為山形之微小突起。 上述條件中，照射時間為〇15秒時，確認形成具有如圖 18C之開口部l〇bl之突起部10b。此時之突起部1〇b之下襬直 徑I為約0.5 mm，高度h，_為約85 μηι。又其形狀確認為環狀 之微小突起。 如以上，確認由控制照射樹脂薄膜之照射徑、照射功率 、照射時間，即可形成各種大小及形狀之突起部。又以此 方法形成突起部時，亦確認能以良好之再現性形成所希望 之大小及形狀之突起部。 (實施形態5) 圖19Α係本發明之實施形態5之再生器構造示意立體圖， 圖19Β係從圖19Α之箭示Β方向所見再生器示意上面圖。本 實施形態係依突起部位置改變其高度之情形。又圖中省略突 起部。 (再生器之構造） 本實施形態係將形成於樹脂薄膜8表面之突起部高度，向 樹脂薄膜8之延伸方向緩緩增高連續變化之情形。圖ι9Α及 圖19Β係將以如上述圖案形成之樹脂薄獏8繞捲於捲筒Μ時 之狀態。可見以繞捲積層之樹脂薄膜各層間隔，愈外側愈 寬。即於圖19Β，各層間隔之間隙高度為gi<g2<^<g4。 (作用、效果） 通常，流入/流出再生器之熱流速，向再生器之高度方向 互異，已知上述構造之史特林冷凍機，再生器外周側比内 周側可得較大熱流束。因此’由調整因應該熱流束之分布 84474 -31 · 1227316 決定間隙南度之突起部高度，即可提高作動氣體與樹脂薄 膜間之熱父換性能，大幅改善再生器薄膜之f熱/放熱性 能。 又此種再生器之製作，例如亦可依用上述實施形態1所示 壓製處理形成突起部之方法，亦可依用上述實施形態4所示 妝射雷射光束形成突起部之方法。該間隙高度之調整，例 如依照射雷射光束形成突起部之方法，以同步於樹脂薄膜 之輸送逐漸加大雪射照射功率或照射時間，即可增加突起 部高度。 (實施形態6) 圖20係本發明之實施形態6之再生器構造之示意立體圖 。本實施形態係突起部之形成圖案一例，將形成於樹脂薄 膜表面之突起部南度，向樹脂薄膜之延伸方向緩緩增高連 續變化’並增減其壓縮室側與膨脹室側單位面積之突起部 數之情形。 (再生器之構造） 參考圖20，本實施形態之再生器，膨脹室側（圖中η側） 比壓縮室側（圖中G側）單位面積之突起部10數多。以繞捲於 捲筒14積層之樹脂薄膜8各層間隔，愈外側愈寬，又内部突 起部1 0之密度亦以壓縮室側為密。 (作用、效果） 再生器内流動之作動氣體於其膨脹室側為低溫，其壓縮 室側為高溫。因此，作動氣體溫度較低之膨脹室側，作動 氣體黏度低，作動氣體易流動。因此，即使流動阻力稍高 84474 -32- 1227316 ’由於確保較大傳熱面積即可提高再生器之熱交換效率。 反之，作動氣體溫度較高之壓縮室側，作動氣體黏度高， 優先減低流動阻力比大傳熱面積更可提高再生器之熱交換 效率。 然而，本實施形態將膨脹室側比壓縮室側，加多單位面 積之突起部數。因此，再生器整體之作動氣體流動阻力大 致一致，可達成氣體流動圓滑化及均勻化，更提高再生器 之畜熱性能。用上述實施形態4所示照射雷射光束形成突起 部之方法製作&種再生器日寺，可將M缩室側之雷射掃描時 之脈衝照射之間㈣’設$為相冑比膨服室侧雷射掃描時之 脈衝照射之間隔為長’。 (實施形態7) 圖21係本發明之實施形態7之樹脂薄膜突起部形狀示音 剖面圖。本實施形態係突起部之形成圖案一例，將形成： 樹脂薄膜表面之突起部’分為：&隔開積層之薄膜間所形 成之突起部；及為確保更大傳熱面積所形成之突起部 之情形。 (再生器之構造） 參考圖2卜本實施形態之再生器形成於樹脂薄膜8表面 之複數穴起部’成為互異之高度。此時，較高之突起部17 為隔開積層之薄膜間之突起部’而較低之突起部16為確保 傳熱面積之突起部。在此’各突起之高度為h3>h4。 (作用、效杲） 由於採用本圖$ , 、息 /、 口邊抑制再生器中流動之作動氣體之 84474 • 33 - 1227316 流動阻力邊增加傳熱面積，故可提高與通過再生器内作動 氣體之熱交換效率。又用上述實施形態4所示照射雷射光束 形成突起部之方法製作再生器時，同步於雷射照射掃描以 一定週期改變雷射照射功率或照射時間，即可實現。 上述實施形態1至7，說明樹脂薄膜之積層構造以繞捲積 層為向狀者為例。此乃因如此構成，比切斷或彎曲樹脂構 件製作再生器者，更可簡便且廉價製作再生器之故。然而 ’依本發明之再生器並不限於此種結構，亦可為切斷樹脂 薄膜堆積成積層者，或彎曲成積層者。 又上述實施形態1至7，說明樹脂薄膜表面未施予任何覆 蓋者為例，惟亦可預先覆蓋熱傳導率高之金屬系薄膜，例 如金、銀、銅、鋁、碳等。此時，突起部形成機構使用雷 射光束照射機構時，因雷射光束之有效吸收，即可高速照 射、高速輸送，更可改善生產性，並可提高再生器之蓄熱/ 放熱特性。 又上述實施形態1至3，說明壓模具有排成一行之針者為 例’惟並不特別限於此，亦可利用僅具單體針者或複數行 針排列者等，各種形狀者。 又於上述實施形態4,舉雷射掃描機構使用多角棱鏡之例 ’惟並不受此限制’亦可利用電流鏡或超音波偏轉器等。 又上述實施形態3所示高度調整機構，當^亦可適用於其 他實施形態。 " 於上述實施形態個別舉例之突起部之佈置圖案及突起部 之形狀、高度、大小、密度等，適用於依本發明製作 84474 -34- 1227316 之再生器，而不限於除一部分 成之再生器。 此外，上述實施形態1至7， 冷凍機之再生器為例，惟並不 於所有積層樹脂薄膜形成之再 再生器之所有裝置。 用特定突起部形成機構形 說明舉再生器為裝在史特林 特別限於此。本發明可適用 生器，當然可適用於裝載該 為如此，此次揭示之上述各實施形態，均為舉例，而並不 又此限d本發明之技術範圍係依中請專利範圍劃定，並 含申請專利範圍均等之意及範圍内所有變更。 產業上之可利用性 依本發明可提供高信賴性可簡便且廉價製造之高熱交換 效率之再u'其再生器之製造方法及製造裝置以及具有 其再生器之史特林冷凍機。 又依本發明可提供可提高形成於構成再生器之樹脂薄膜 之突起部設計自由纟’且以良好再現性能高精度形成突起 部之再生器之製造方法及製造裝置。 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之實施形態1之再生器之製造方法及製造裝 置說明模式圖。 圖2係本發明之實施形態1之突起部形成步驟說明圖，壓 製過程第1階段之壓機剖面圖。 圖3係本發明之實施形態1之突起部形成步驟說明圖，壓 製過程第2階段之壓機剖面圖。 圖4係本發明之實施形態1之犬起部形成步驟說明圖，壓 84474 -35- 1227316 製過程第3階段之壓機剖面圖。 圖5係本發明之實施形態1之使用再生器之製造方法及製 造裝置形成之突起部佈置圖案1之樹脂薄膜上面圖。 圖6係本發明之實施形態1之使用再生器之製造方法及製 造裝置形成之突起部佈置圖案2之樹脂薄膜上面圖。 圖7係本發明之實施形態1之使用再生器之製造方法及製 造裝置形成之突起部佈置圖案3之樹脂薄膜上面圖。 圖8係本發明之實施形態1之使用再生器之製造方法及製 造裝置形成之突起部佈置圖案4之樹脂薄膜上面圖。 圖9係本發明之實施形態1之使用再生器之製造方法及製 造裝置形成之突起部佈置圖案5之樹脂薄膜上面圖。 圖1 Ο A係本發明之實施形態1之使用再生器之製造方法及 製造裝置形成之突起部形狀之樹脂薄膜放大剖面圖。 圖1 0B係本發明之實施形態1之使用再生器之製造方法及 製造裝置形成之突起部其他形狀之樹脂薄膜放大剖面圖。 圖11係本發明之實施形態1之積層過程模式圖。 圖1 2係本發明之實施形態1之再生器之放大剖面圖。 圖1 3係本發明之實施形態2之壓機剖面圖。 圖14係本發明之實施形態2之壓機形狀說明用上面圖。 圖1 5係本發明之實施形態3之再生器之製造方法及製造 裝置說明模式圖。 圖1 6係本發明之實施形態3之高度調整機構剖面圖。 圖17係本發明之實施形態4之再生器之製造方法及製造 裝置說明模式圖。 84474 -36 - 1227316 圖1 8 A係本發明之實施形態4之構成再生器之樹脂薄膜表 面形成突起部結構說明模式圖。 圖1 8B係本發明之實施形態4之使用再生器之製造方法及 製造裝置形成之突起部形狀之樹脂薄膜放大剖面圖。 圖18C係本發明之實施形態4之使用再生器之製造方法及 製造裝置形成之突起部其他形狀之樹脂薄膜放大剖面圖。 圖1 9 A係本發明之實施形態5之再生器構造說明用示意立 體圖。 圖19B係本發明之實施形態5之再生器構造說明用示意上 面圖。 圖20係本發明之實施形態6之構成再生器之樹脂薄膜突 起部分布示意立體圖。 圖2 1係本發明之實施形態7之再生器樹脂薄膜形狀說明 用示意剖面圖。 圖22係一般之史特林冷凍機構造說明用剖面圖。 圖23A係貼墊片形成突起部之樹脂薄膜上面圖。 圖23B係圖23A所示樹脂薄膜端面圖。 圖24A係施予絲印刷形成突起部之樹脂薄膜上面圖。 圖24B係圖24八所示樹脂薄獏端面圖。 圖25係一般之史特林冷;東機構造說明用分解立體圖。 【圖式代表符號說明】 8 樹脂薄膜（構件） 9 間隙部 10 突起部 84474 .37- 1227316 10bl 開口部 14 捲筒（壓頭擠出機） 15 再生器 20 汽缸 21 吸熱器 22 放熱器 23 本體殼 24 放熱用熱交換器 25 吸熱用熱交換器 26 排出器 27 活塞 28 壓縮室 29 膨脹室 30 線型馬達 31、32 彈簧 33 外側殼 41、42 突起部 101 、 201 突起部形成機構 101 壓機 102 壓模 103 壓部 104 載台 105 、 106 凹部 111 驅動滾子 -38 - 84474 1227316 113 、 213 送出機構（薄膜進給器） 114 高度調整機構 114a、 114b 夾持部 116 回收滾子 201 雷射光束照射機構 202 雷射振盪器 203 雷射光束 204 調製器 20 5 光束放大器 206 多角稜鏡 207 馬達 209 聚光掃描透鏡 210 線掃描光束 84474 -39-

Claims (1)

1. Ϊ227316 拾、申請專利範圍： -種再生器，其係配置於作動氣體之流路上將薄膜狀 樹脂構件積層於與作動氣體之流動方向交叉之方向而 成， 上述樹脂構件具有突起部’其係藉由使其 形所形成者， < 2. 3. 4· 由上述大起部使上述積層之樹脂構件間具有間隙部。 如申請專利範圍第!項之再生器，其中上述突起部於其 頂點具有開口部。 如申請專利範圍第i項之再生器，其中上述突起部係由 於上述樹脂構件表面施予壓製處理所形成。 如申請專利範圍第i項之再生器，其中上述突起部係藉 由於上这祕脂構件表面照射雷射光束所形成。 如申請專利範圍第1項之再生器，其中於上述樹脂構件 表面將疋區域之突起部高度調整為與其他區域之突 起部高度相異。 如申#專利靶圍第丨項之再生器，其中於上述樹脂構件 表面，將單位面積之突起部數調整為依上述樹脂構件表 面位置而異。 7· —種再生器，其係配置於史特林冷凍機之壓縮室與膨脹 室間流動之作動氣體流路上，將薄膜狀樹脂構件積層於 與上述作動氣體之流動方向交叉之方向而成， 上述樹脂構件於其表面具有複數突起部， 由上述複數突起部使上述積層之樹脂構件間具有間 84474 1227316 隙部， 方、上述μ爿曰構件表面，將一定區域之突起部高度調整 為與其他區域之突起部高度相異。 8·種再生為，其係配置於史特林冷凍機之壓縮室與膨脹 室間流動之作動氣體流路上，將薄膜狀樹脂構件積層於 與上述作動氣體之流動方向交又之方向而成， 上述樹脂構件於其表面具有複數突起部， 由上述複數突起部使上述積層之樹脂構件間具有間 隙部， 於上述樹脂構件表面，相較於上述壓縮室側，愈靠近 上述膨脹室側之單位面積突起部數愈多。 9· 一種史特林冷凍機，其係具有再生器，配置於作動氣體 之流路上，將薄膜狀樹脂構件積層於與作動氣體之流動 方向交又之方向而成者， 上述樹脂構件具有突起部，其係藉由使其表面塑性變 形所形成者， 由上述突起部使上述積層之樹脂構件間具有間隙部。 =種史特林冷凍機，其係具有再生器，配置於壓縮室與 膨脹室間流動之作動氣體流路上，將薄膜狀樹 層於與上述作動氣體之流動方向交叉之方向而成，積 上述樹脂構件於其表面具有複數突起部， ，由上述複數突起部使上述積層之樹脂構件間具有間 民+、部， 於上述樹脂構件表面，將一定區域之突起部高度調整 84474 1227316 ^…配置於壓縮室與 將；4膜狀樹脂構件積 L叉之方向而成， 為與其他區域之突起部高度相異。 一種史特林冷凍機，其係具有再生器 膨脹室間流動之作動氣體流路上，將A 層於與上述作動氣體之流動方向交叉 上述樹脂構件於其表面具有複數突起部， 由上述複放突起部使上述積層之樹脂構件間具有間 於上述樹脂構件表面，比上述壓縮室側，愈靠近上述 膨服室側之單位面積突起部數愈多。

   12· —種再生器之製造方法， 流路上，將薄膜狀樹脂構件積層於與上述作動氣體之流 動方向交又之方向而成， /；，1 該製造方法具有：突起部形成步驟，其係藉由使上述 樹脂構件表面塑性變形，俾形成突起部以使上述積層之 樹脂構件間具有間隙部；及 積層步驟，其係積層形成上述突起部之樹脂構件者。 13.如申請專利範圍第12項之再生器之製造方法，其中上述 突起部形成步驟含壓製步驟，其係用壓模於上述樹脂構 件表面施予壓製處理，以形成上述突起部。 14· 2申請專利範圍第12項之再生器之製造方法，其令上述 T起部形成步驟含雷射光束照射步驟，其係將雷射光束 照射於上述樹脂構件表面，以形成上述突起部。 么万凊，其中控制 之照射徑、照射功 1 5.如申請專利範圍第14項之再生器之製造方法，直 照射於上述樹脂構件之上述雷射光束 84474 1227316 率及照射時問 之形成位置、？:整上述樹脂構件“之上述突起部 置 大小及形狀。 1 6 · —種再生器之製 表面形成突起部；1再生器係於薄膜狀樹脂構件 該製造裝置具有：送出機構， 薄膜狀樹脂構件者；及 早方向达出上述 突起部形成機構i 4構其係使上述缚膜狀樹脂構件表面塑 性…俾形成上述突起部者。 17.==範圍第16項之再生器之製造裝置，其中具有 二二二其係於上述突起部形成機構下游側具有 # #P a對夹持部係相向位於上述薄膜狀樹脂構 仔表面交叉太L - ° 、隔一定距離分開配置者，將上述薄 膜狀Μ脂構件通過上 突起部形成機構J 間隙’俾調整由上述 1R 上述突起部高度者。 1 8 ·如申δ月專利筋圓笛1 ^ ^ 員之再生器之製造裝置，其中上述 2 1成機構係由壓機構成，而該壓機包含：壓模； 而/ 〇 其係經由向上述單方向送出之薄膜狀樹脂構件 立方；與上述壓模相反側者。 19.:申請專利範圍第16項之再生器之製造裝置，其中上述 2 =形成機構係由照射雷射光束之雷射光束照射機 構構成、 84474