TWI226793B - Apparatus and method for inspecting pattern defect - Google Patents

Description

1226793 玫、發明說明： C 明所廣技領 發明領域 本發明係有關於一種圖形缺陷檢查裝置及圖形缺陷檢 5查方法，特別係有關於一種可自動地檢查塗布於電漿顯示 器等之玻璃基板之螢光體之塗布缺陷之圖形缺陷檢查裝置 及圖形缺陷檢查方法。 L· iltr 先前技術 10 眾所遇知，目前6有用以檢查皇布或印刷於電漿趨示 裔等之玻璃基板之榮光體之塗布或印刷缺陷之圖形缺陷檢 查裝置，而該裝置係例如藉紫外線照明光源照射紫外線於 螢光體形成條紋狀之電漿顯示器等之玻璃基板，使已形成 之螢光體發光者。該發光影像藉如線感測器（一維感測器） 15之攝影部攝影。形成之螢光體為紅色(R)、綠色(G)、藍色(B) 之螢光體，因此由攝影部攝影時，於攝影部安裝分別對應 R、G、B之螢光體之濾色器，用以攝影分別對應之螢光體 之影像。該裝置係藉輸出攝影部攝影之影像至影像處理 部，例如藉顯示於顯示裝置，檢查塗布於玻璃基板之螢光 2〇 體之圖形缺陷。 第15圖係藉前述之圖形缺陷檢測裝置攝影塗布於電漿 顯示器之玻璃基板之條紋狀之榮光體之攝影書面。於第15 圖中，91表示玻璃基板之一部份，且顯示出於玻璃基板91 上R、G、B各色之螢光體塗布成條紋狀之狀態。92係表示 1226793 紅色(R)螢光體上之如針孔之缺陷部。又，於玻璃基板91之 周邊部顯示之波形，係表示由攝影部得到之影像之亮度信 號值。93、94係表示亮度信號之0值。95係表示以單點虛線 A表示之紅色（R)螢光體之亮度信號值。缺陷部92之部分 5中，例如因針孔缺陷，紅色(R)螢光體沒有發光，亮度信號 值降低。96係顯示以單點虛線B表示之部分，即，沒有塗布 螢光體之間隙部分之亮度信號值。98係表示以單點虛線C 表示之部分之党度信號值，可知道缺陷部92之部分亮度信 號值降低。 10 97、99係表示亮度信號值之閾值，即缺陷判定值，一 般係設定為最大亮度信號值之50%左右。然而，亦可由與 缺陷檢測之精度之關係適當調節，或者以實驗來制定。 如前述，雖可由亮度信號值測出螢光體之塗布缺陷， 但由第15圖之焭度信號值可清楚的知道，不僅螢光體塗布 15缺陷部92之焭度彳吕號值較閾值還低，沒有塗布螢光體之間 隙部分之π度L號值亦較閾值還低，因此不能自動地判定 係螢光體塗布缺陷部，或間隙部分。此外，乍看之下若考 慮位置資料時，可判定係螢光體塗布缺陷部92，或間隙部 分，然而實際上塗布於電漿顯示器等之玻璃基板之榮光體 20之寬度係200/zm〜250/zm，而間隙之寬度為約l〇〇//m，係 極細微之螢光面，因此無法由位置資料測出。 又，檢查細微之如電極之圖形之缺陷時 ，已知有使用 相鄰比較檢查法(茶照日本專利公開公報第厕—Μ81?號之 第2〜3頁帛1圖）。此方法係用以檢測諸如像電漿顯示器之 1226793 電極之細微之圖形之缺陷者，該方法係將多數電極分組， 並比較其組中之丨個電極與其他組中之〗電極，並反覆以檢 查全部電極之缺陷。然而，依據該相鄰比較檢查法時，為 了匕#乂、、且間之電極’必需高精度地進行對位，然而如前述， 5電漿顯示器之勞光體極細微，因此若要對位，則亦必需考 慮圖形之形狀等，且為了要正確地進行對位，需要有極高 精度之對位裝置，不易實現低成本之缺陷檢查裝置。 【發明内容】 發明概要 10 15 20 、乐提仏可自動地檢測塗布於電漿顯示

等之基板之螢光體之塗布缺陷之圖形缺陷檢錢置及圖形 缺陷檢查方法。 V 本毛月之另一目的係提供一種可輕易地設 示器等之顯示面板之製造續^ 冤水顯 傲之Ik線，且實現尚速之缺陷檢杳、 且便宜之圖形缺陷檢查裝置及圖形缺陷檢查方法。一 本毛明之圖形缺陷檢查裝置包含有攝影 部、影像處理邱 e 、 移動機構 。、頌不部、及控制部。該攝影 影形成於基板上之。糸用以攝 工您螢先體之條紋狀圖形者， 部係用以使前述攝、+ 4移動機構 义攝〜口h口則述圖形移動者，爷旦 係輸入來自前述攝影部之:〜“理部 .，、、貝不“,讀處理部之輸出者，而該控制 係用以 :移動機構部與前述影像處理部者，1，前述：i前 包括影像處理部、罢里旦~ 呔衫像處理部 影像輸入部係用以"lt檢測部、及缺陷檢測部，前述 叫測則迷肇光體之條紋狀圖形之方向， Ϊ226793 ^差異影像__以__ 處影像資料者，而該缺陷 方向：有相關 結果檢測前述圖形之缺陷。 ’、根據4述比較 5 10 15 又，本發明之圖形缺陷檢 機構部、影像處理部、顯干％ 3有攝影部、移動 用以攝影形成於A板上 部。前述攝影部係 該移動機搆==_塗布膜之，者， 再I你用以使前述攝影部沿前述 =理部係輸入來自前述攝影部之影像信::該: ==以Γ前述影像處理部之輸出者，而該控制部係 控制刖边移動機構部與前述影像處理部。又， ，處=部包括影像輸人部、差異影像檢測部、及缺陷檢測 部’彡像輸人料H㈣述格子狀t光體塗布膜 之圖开7之格子間距者，該差異影像檢測部仙以比較前述 格子間距之整數倍之大小之至少2領域之影像資料者，而該 缺陷檢測部制啸據前耻較結果制前述圖形之缺陷 者0 且，本發明之圖形缺陷檢查方法包括攝影形成於基板 上之螢光體之條紋狀圖形之步驟、藉由前述攝影得到之影 像資料檢測前述螢光體之條紋狀圖形之方向之步驟、由前 20述影像資料比較已依據前述圖形之方向決定位置關係之至 少2處影像資料之步驟、及根據前述比較結果檢測前述圖形 之缺陷之步驟。 又，本發明之圖形缺陷檢查方法包括攝影形成於基板 上之格子狀榮光體塗布膜之圖形之步驟、藉由前述攝影得 1226793 到之影像責料算出前述格子狀榮光體塗布膜之圖形之格子 _距之步驟、由前述影像資料比較至少2領域之具有前述格 子間距之整數倍大小之影像資料之步驟 、及根據前述比較 結果檢測前述圖形之缺陷之步驟。 5 【實施方式】 較佳實施例之詳細說明 第1圖係顯示本發明之圖形缺陷檢查裝置之一實施例 之/图於第1圖中’ 1係電漿顯示器等之玻璃基板之載置台， 2係電聚顯示器等之玻璃基板，3係R、G、B之螢光體（榮光 體塗布膜）’ 4係用以使螢光體3發光之紫外線照明用光源， 5係安裝有透鏡及R、G、B之滤色器之光學系統，6係攝影 用線感測照相機等之攝影部，7制以使攝影部6及光源4沿 破璃基板2移動以於玻璃基板2上進行掃描之移動機構部，$ ^ =用以檢测針孔等缺陷之影像處理部，9係顯示或列印檢查 果之彩色螢幕、印表機等顯示部，10係用以驅動移動機 構部7之驅動部，11係用以控制影像處理部8及驅動部10之 控制部，而15係操作部，且係用以進行本檢查裝置之操作 P刀。又，如後述，影像處理部8係由影像輸入部、差 >〇異影像檢測部13及缺陷檢測部14構成。此外，光源4只要是 使螢光體塗布膜發光之光源即可，並不限為紫外線發光 康’亦可為其他電磁波之珈瑪射線或X線等粒子線。 第2圖係顯示第1圖所示之圖形缺陷檢查裝置之载置A 破螭基板2及攝影部6之放大圖，且對於與第丨圖相同者 附上同—標號。載置台1於檢查時載置玻璃基板2，於電漿 1226793 於此 顯示面板之玻璃基板塗布諸如紅色(R)之螢光體時，為了檢 查其塗布狀態，朝箭號指示之方向搬送塗布有紅:’⑻螢: 體塗布膜之玻璃基板，並m定於第2圖所示之財位置，以 檢查有沒錢m L色(g)^紐塗布膜之線，及涂 布藍色⑻之螢光狀線亦進行相同之檢查。料、’，本實^ 例中’玻璃基板之大小係i460mmx 1030mm，但並不限定 21係移動機構7之-部份4為用以支持攝影部6及紫 外線照明用光源4之支持構件。攝影部6為了檢查一片玻璃 W基板，如圖示般構成為成列地配置4台線感測照相機，以遮 蔽寬度1030mm之玻璃基板。1台線感測照相機之攝影寬度 約260mm ’且線感測照相機間之視野範圍構成為一部份重 豐。藉來自紫外線照明用光源4之紫外線22激發螢光體3， 例如，將激發出之紅色(R)之螢光體3之像透過光學系統5由 15攝影部6攝影。該支持構件21朝紅色(R)之榮光體3之¥方向 等速地由右端向左端移動，掃描玻璃基板整面。 以下，針對§亥動作詳細地說明。藉紫外線照明光源* 照射紫外線22於電漿顯示器等之玻璃基板2，使已塗布（亦 包含藉印刷之塗布)之螢光體3發光。藉攝影部6攝影其發光 2〇影像。此時，可依據應檢測之螢光體之種類(R、G、B)於攝 影部6安裝對應各個顏色之螢光體之濾色器。藉攝影部6攝 影之影像送出至影像處理部8。 第3圖係說明本發明之圖形缺陷檢查裝置之檢測針孔 等之圖形缺陷之原理之圖。第3圖係顯示於玻璃基板2週期 1226793 性地塗布有條紋狀之R、G、B各色之螢光體3之情況。以下 塗布有R、G、B各色之營光 ⑽實際之製造、線當然如前述，係於每次依序塗布 各色之螢光體時進行檢查，並於測出缺陷時，停止复次之 螢捕塗布或印刷步驟，而將有缺陷之玻璃基板洗淨，並 再人重新塗布或印刷螢光體，係、具有不無謂地塗布或印刷 之優點。X，由於必需配合製造線之玉作時序進行檢查， 因此必需為檢查速度快速之圖軸陷檢查裝置。 10 15 攝影部6攝影之影像資料送至影像處理部8，再輸入影 像輸入412 ’且為了求出差異影像係記憶於記憶部(圖未 示）。影像輪入部12係測出帛光體之條紋狀圖形之方向，並 將記憶之影像資料分割成多數區塊。例如，城_般週知 之4像素X 4像素之區塊（以下，表示為4χ 4區塊等）、& 8 品鬼或32χ 32區塊31及32，並輸出至差異影像檢測部13。 區塊31及32係用以測出缺陷之最適當之單位區塊，該大小 係由檢查速度、處理速度及缺陷檢測精度等實驗地適當設 定。 差異1Μ象檢測部13中，藉比較區塊31與區塊32，至少 比較2處之影像資料。比較方法係例如藉比較區塊“與區塊 2〇 32刀別之像素之亮度信號值，進行區塊31與區塊32之差異 影像檢測33。螢光體3上有針孔等缺陷34(第3圖係顯示尺之 螢光體具有缺陷34)時，於差異影像35測出亮度信號值之差 之缺陷36 °差異影像檢測部13之輸出於缺陷檢測部14比較 差異影像與事先設定之判定值（閾值），超過判定值時，測出 11 1226793 有缺陷。該差異影像35直接顯示於顯示部9，或者得到2值 化之影像37及2值化之缺_之信號，因此可自動地測出缺 陷0 因此，使該等區塊31與區塊32依序移動，以針對玻璃 5基板正體進行差異影像之檢測，藉此可檢查條紋狀之螢光 體全部之缺陷。此外，藉將該等檢查資料記憶於記憶部（圖 未示），並分析檢查資料，亦可有助於製造上之品質管理。 又，别述比較方法係說明藉亮度信號值之比較，但並不限 定於此，藉影像信號之亮度統計圖之比較等當然亦可檢測 1〇 差異影像。 且，本發明之圖形缺陷檢查裝置中，區塊31與區塊 之位置關係必需位於螢光體之長向（於第3圖中係上下之位 置關係），又，於使區塊31與區塊32移動時，亦必需保持該 關係。有關於該理由，利用第4圖作說明。 15 第4圖中，於玻璃基板2上橫向地塗布螢光體3，且區塊 31與區塊32係具有位於垂直於螢光體之條紋方向之方向上 之位置關係，即如圖所示之上下之關係。此外，第4圖之各 邛與弟3圖同樣者，附上同一標號。41係表示差異影像，42 則係顯示2值化影像。於第4圖中，實行區塊31與區塊32之 2〇差異影像檢測33時，區塊31之各色之螢光體3之位置與區塊 32之各色之營光體3之位置沒有正確地一致時，即各色之螢 光體3之位置有偏差時，於差異影像41中，除了缺陷从以 外，還顯現有區塊31與區塊32之各色之螢光體3之差分之信 號之條紋43，並誤測有條紋狀之缺陷。因此，輸出至2值化 12 1226793 影像42中，亦有條紋狀之2值化差分值44，為誤測。 因此，如第4圖，印刷圖形之條紋方向與區塊31及區塊 32之排列方向不同時，必需使兩區塊領域内之R、g、B之 條紋位置正確地一致，用以達成前述需要之處理，係必需 5影像相關演算等龐大之計算處理，因此相當不易實現可設 置於I造線之圖形缺陷檢查裝置。然而’如第3圖所示，印 刷圖形之條紋方向與區塊31及區塊32之排列方向相同時， 如利用第2圖所作之謂J月，攝影部6之移動方向與條紋之長 向一致’因此區塊31與區塊32之對位並不需要進行條紋組 10之對位，只需使區塊31與區塊32—致就可對位，因此可極 簡易地對位。 換言之’令攝影部6之排列方向為X軸，且攝影部6之移 動方向為¥軸時，區塊31與區塊32於X軸方向上之位置，係 以移動機構7經常保持為固定，不必進行定位，而只要使區 15塊31與區塊32於丫方向上之位置一致，就可簡易地使區塊31 與區塊32内之各色之條紋之位置一致，因此可簡易地僅檢 測出缺陷34。 接著’採用如第3圖所示之圖形缺陷檢查方法時，必需 測出玻璃基板上之條紋之方向。針對此，以第5圖及第6圖 2〇作5兄明。第5圖係顯示於玻璃基板2上縱向地塗布有R、〇、 B之條紋狀螢光體之狀態，以第i圖所示之圖形缺陷檢查裝 置攝影其，並藉處理攝影之影像之亮度信號測出條紋之方 向。即，51係顯示橫向像素之亮度信號值(加算投影波形）， 52則係顯示縱向像素之亮度信號值(加算投影波形）。53、54 1226793 係表示亮度信號之0值，55、56則係表示用以檢測榮光體之 判定值（閾值）。攝影之影像之亮度信號，係於影像輸入部12 處理，並利用測出週期地超過判定值之方向，界定圖形方 向。即，測出週期地超過判定值之亮度信號值52之方向係 5 條紋狀發光體之長向。 第6圖係顯示於玻璃基板2上橫向地塗布有R、G、Β之 條紋狀螢光體之狀態。因此，與第5圖同樣地，測出週期地 超過判定值之亮度信號值52之方向係條紋狀螢光體之長 向。此外，第6圖之各部之標號係對應第5圖之各部之標號。 針對本發明之另一實施例，以第7圖作說明。第7圖所 示之實施例係顯示於玻璃基板2上橫向地塗布有條紋狀之 榮光體3之情況。此外，第7圖之各部之標號與第顶相同者 係附上同-標號。於第7圖中，用以檢測差異影像之區塊領 ，即，於第7圖

值化信號。 u所丨曰檢查裝置之動作之一 ，第1步驟101中，將塗布有條 之破璃基板2搬入並固定於載 緣7由Y轴之原點〇開始攝影。 域71及72之位置關係，係各色之條紋之長向 中，區塊71、72係配置成橫向之位置關係。

置台1時，攝影部6藉移動機構7由 14 679 第2步驟l〇2，係進行檢查領域之檢測。此係攝影部6 使最先藉紫外線光激發之螢光體3，例如紅色(R)螢光體受 光之時點，全部之處理步驟將以此為基準而開始。 ^ 第3步驟103中，首先，進行已印刷之條紋狀螢光體之

方向之判定。即，如以第3圖及第4圖所作之說明，本發明 中匈定條紋狀螢光體之方向係對針孔等缺陷檢查極為重 要°該方向性判定，係攝影部6使藉紫外線光激發之螢光體 3 ’例如紅色(R)螢光體受光後直接測出之諸如32像素X 32 像素之影像信號，並以第5圖及第6圖說明之方法判定螢光 1〇 一之條紋方向。此外，32像素可涵蓋多條螢光體之條紋， 因此係可充分地判定方向性之像素數。

第4步驟104係決定比較區塊之方向。即，依照如前述 以第3步驟判定出之條紋狀螢光體之方向，決定用以比較之 2個區塊之位置關係。例如，當條紋狀螢光體之方向如第3 15圖般為縱向時，選擇使2個區塊之位置關係為上下方向之關 係，而條紋狀螢光體之方向如第7圖般為橫向時，選擇使2 個區塊之位置關係為橫向之關係。 以上說明之各實施例中，2個區塊之位置關係為沒有間 隙且互相密接之位置關係，然而亦可依照處理方法，使一 20部份區塊重疊，或使區塊之間具有空隙而攝取影像。 第5步驟105係維持第4步驟所決定之2個區塊之位置關 係，並含括檢查對象之電漿顯示面板等之玻璃基板全體， 求出2個區塊之差值影像。 第6步驟106係比較由第5步驟所求出之差值影像得到 15 1226793 之亮度信號值，與缺陷判定值（閾值），若有較缺陷判定值還 高之信號差值時，判定其為圖形缺陷。此外，缺陷判定值（閾 值)係設定為由影像信號得到之最高值之約5〇%左右，然而 可由實驗，或於檢查之過程中依據需要地適當調節，並可 5 改變設定。 如前述之步驟係依序對已印刷或塗布之條紋狀螢光體 之諸如R、G、B之各色螢光體進行。當然，如前述於r螢光 體檢查中測出有缺陷時，中止下一顏色之螢光體之塗布或 印刷之步驟，且該玻璃基板進入除去螢光體之步驟，並再 10 生。 以上’係針對本發明詳述，本發明之圖形缺陷檢查方 法係採用以2個區塊之差異影像檢測缺陷之方法，因此有不 能由差異影像檢測結果判定2個區塊中哪一個有缺陷之缺 點。針對用以解決該缺點之方法，使用第9圖作說明。 15 第9圖係顯示用以由多數差異影像判定哪個區塊領域 有缺陷之方法。苐9圖係顯示r、g、B之螢光體3之一部份， 且針對於B之條紋狀螢光體上有針孔缺陷81之情況作說 明。此外’省略玻璃基板。首先，區塊82係於領域1，且區 塊83於領域2時，2個區塊82與83之差異影像84顯現出缺陷 2〇 87。於該階段中，無法判定缺陷81係位於區塊82或區塊83 之區塊領域。接下來使區塊82與83移動1區塊。即，使區塊 82移動至領域2，且使區塊83移動至領域3，並求出區塊82 與83之差異影像85，而測出有缺陷88時，可判定領域2具有 缺陷81。且，使區塊82與區塊83再移動1區塊。即，於使區 16 1226793 塊82移動至領域3，j_使區塊83移動至領域4，得到區塊82 與區塊83之差異影像86時，若差異影像％沒有缺陷可得 知領域3、4沒有缺陷。因此，依據該方法，可得知領域2具 有缺陷’而領域1、3、4沒有缺陷。 5 #著’針對本發明之另-實施例進行制。前述之實 施例中，於如第3圖所示般在玻璃基板2上週期地塗布有R、 G、B各色之螢光體3成條紋狀之情況下，可極高精度地測 出螢光體之塗布缺陷，然而塗布於玻璃基板2上之榮光體， 不是如第3圖所示之均一之條紋構造之榮光體塗布膜時，會 10 有無法適用該方法之問題。 第10圖係可說明用以說明該問題之圖形缺陷檢查裝置 之針孔等圖形缺陷檢測之原理之圖。於第10圖中，對於與 第3圖同者附上同一標號。60係塗布於玻璃基板2上之螢 光體塗布膜，然而係構成為格子狀。即，朝橫向週期地反 15覆塗布有紅色(R)、、綠色⑹、藍色⑻之螢光體。縱向係由 間隙61區隔，且分離成島狀。以下將如前述之勞光體塗布 膜稱作格子狀螢光體塗布膜。 以下，針對以使用差異影像之螢光體之塗布缺陷之檢 查方法，檢查如前述之構造之格子狀之螢光體塗布膜之針 2〇孔等圖形缺陷之情況作說明。與第3圖同樣地，於差異影像 檢測33比較區塊31與區塊32之像素之亮度信號值。針孔等 之缺陷34於格子狀螢光體塗布膜6〇(於第1〇圖中，顯示出R 之格子狀螢光體塗布膜60具有缺陷34之情況)上時，於差異 影像35測出亮度信號值之差之缺陷％。 17 1226793 i又’於差異影像35測出成為差異影像62之間_。即， 比較區塊31與區塊32時之像素時可清楚地明白，間隙娜 於區塊31與區塊32中位於不同位置，因此差異影像檢測％ 輸出之差異影像35中顯現出缺陷36與間隙Η之差異影像， 5因:無法區別缺陷36與間隙61之差異影像㈤。因此，2值化 ，影像37亦得到2值化之缺陷38與間隙之2值化影像幻之信 號’故’可自動地檢測缺陷38。 *第11圖係用以說明本發明之目形缺陷檢查裝置檢測針 孔等圖形缺陷之原理。於第u圖中，對於與第糊同一者 10附上同；^號。於第Η圖中，於玻璃基板2上塗布螢光體塗 布膜60，並構成為格子狀。即，朝橫向週期地塗布有紅色 (R)、綠色(G)、藍色(Β)之螢光體。於縱向上，係由間隙61 分別區隔紅色(R)、綠色(G)、藍色(Β)之螢光體，且分離成 島狀。此外，以下之說明係針對塗布有R、G、8各色之螢 15光體塗布膜60之玻璃基板作說明，然而如同前述，實際之 製造線於每次依序塗布各色螢光體塗布膜6〇時進行檢查。 且’攝影部6攝影之影像資料，係送至影像處理部8， 再輸入影像輸入部12。於影像輸入部12中，算出格子狀螢 光體塗布膜之圖形之袼子間距，並將影像分割成多數區 20塊。接著，切成區塊231及區塊232，並輸出至差異影像檢 測部13。有關區塊231及232之大小與格子狀螢光體塗布膜 60之關係後述。 於差異影像檢測部13，比較區塊231與區塊232。比較 方法，係例如藉比較區塊231與區塊232之分別之像素之亮 18 1226793 5 10 15 20 度信號值’進行區塊231與區塊232之差異影像檢測33。針 孔等之缺陷34於螢光體塗布膜6〇(於第η圖中，顯示出r之 螢光體塗布膜具有缺陷34之情況)上時，於差異影像35測出 焭度信號值之差之缺陷36。差異影像檢測部13之輸出，係 於缺檢測部14比較差異影像與事先設定好之判定值（閾 值）’超過判定值時，測出有缺陷。該差異影像35係直接顯 不於顯不部9，或得到2值化之影像37及2值化之缺陷38之信 號，因此可自動地測出缺陷。此外，由第11圖可清楚明白， 已除去於第10圖說明之間隙61之差異影像62。以下，針對 該原理以第12圖進行說明。 第12圖係說明本發明之原理之圖，且顯示格子狀螢光 體塗布膜6G與影像切割之區塊241之關係 0此夕卜，區塊241 係用以為了測定格子狀螢絲之塗布麟之格子間距進行 影像切割之區塊，且第11H之區塊231與232並不必相同， 可5又疋為同樣大小。首先，為了測定格子狀螢光體塗布膜 60之格子間距’域影塗布有格子狀螢絲之基板，並於 影像輸人部由攝影之影像切出區塊241。接著，求出格子狀 螢光體塗布膜6G之圖形之縱向像素及橫向像素之間距。 求出間距之方法，例如，於第12圖中求出

度值之縱向與如之像錄之加隸。料2 = 螢光體作說明，鈇而「。 、此係以R 略說明。‘、、、而G、B之螢光體亦為同樣間距，因此省 又 19 1226793 於第12圖中，242係縱向之像素之亮度值之加算值，243 係表示預定之閾值。該閾值係事先藉實驗設定，例如為古 度值之242之观，以求出正確之間距。因此，針對超挪 值243之亮度值檢測像素間之間距(pxi)，然後求出各個 5 值Px。即，

Px = —YPxi · · · · · · (λ \ 於此，i=1.........n〇 同樣地’ 244係橫向之像素之亮度值之加算值，245係 表示預定之閾值。因此，針對超過閾值245之亮度值檢測像 10素間之間距(Pyi)，然後求出各個平均值Py。即，'

Py=i%pyi......(2) 於此，i=l、2.......m。 根據前述求出縱向及橫向之平均間距以、Py。根據該 等平均間距Px、Py決定區塊231及232之大小。即，區塊23ι 15及232之大小中，至少將區塊231與區塊232之排列方向之大 小設定成該方向之平均間距之整數倍。第η圖之例中，區 塊231、232係配置成縱向之位置關係，區塊之排列方向係 縱向，因此將區塊之縱向（Υ方向）之大小設定成Py之整數 倍。 20 且，藉差異影像檢測部U，為了檢測差異影像將區塊 231及232設定成同樣大小，並使該等區塊231與區塊232依 序移動，而針對玻璃基板全體，藉進行差異影像之檢測可 1226793 檢查格子狀螢光體塗布膜60全部之缺陷。此外，藉使該等 檢查資料§己憶於δ己憶部（圖未示），且分析檢查資料，可有助 於製造上之品質管理。又，前述比較方法係說明藉亮度信 號值所作之比較，但並不限定於此，藉影像信號之亮度統 5計圖所作之比較等亦當然可檢測差異影像。 再對本發明之另一實施例，使用第13圖說明。此外， 對於與第11圖相同者附上同一標號。第13圖所示之實施例 係顯示橫向地塗布袼子狀螢光體塗布膜6〇之長向於玻璃基 板2上之情況。第13圖之例中，用以檢測差異影像之區塊領 10域71及72之位置關係，係配置成以橫向為排列方向。如前 述之位置關係中，於區塊領域之大小中至少將與排列方向 同為橫向（X方向）之大小設定為前述平均間距ρχ之整數 倍。如此一來，區塊領域丨内之各色之格子狀螢光體塗布膜 60之位置關係，與區塊領域72内之各色之格子狀螢光體塗 b布膜60之位置關係相$，因此實行區塊領域71、72之差異 影像檢測33時，於差異影像35中僅得到缺陷兄之信號。因 此，於2值化影像37中，得到2值化之缺陷38之2值化信號。 此外，於第13圖所示之實施例中，區塊之縱向之大小並不 -定要設定為Py之整數倍。有關第]^圖所示之實施例中區 20塊之橫向之大小亦相同。理由後述。 此外，第11圖所示之例中，顯示出區塊231與區塊232 之位置關係係於Y方向（第u圖中為縱之位置關係）上準確 地對位之情況，但於使區塊231與區塊232移動時，亦以保 持韻1係為佳。其理由係如以第10圖所作之說明，為了要 21 1226793 檢測2個區塊231與232之差異影像，所以兩區塊並不必為同 一圖形。此外，為同一圖形時，並不特別要準確地對位， 但至少將區塊231與區塊232或區塊71與區塊72之排列方向 上之區塊大小設定成該方向之平均間距之整數倍時，區塊 5 231與區塊232或區塊71與區塊72之對位會相當容易。

換吕之，不管攝影部6之移動方向係朝X軸方向或γ軸 方向，於利用移動機構7使區塊231與區塊232於X軸上之位 置經常維持固定而不需對位之情況下，只要使區塊231與區 塊232於Y方向上之位置一致時，就可簡易地使區塊231與區 10塊232内之各色之條紋之位置一致，因此可簡易地僅檢測出 缺陷34。又，前述說明中，係針對求出2個區塊(2領域)之差 異影像進行說明，但是為了提昇檢查效率時，當然可輕易 地同時檢查多於2個區塊之區塊。例如，同時檢查於橫向及 縱向分別配置2個區塊之合計4個之區塊時，區塊之大小 15 中，橫向可設定為Px之整數倍，且縱向可設定為Py之整數 倍。此外，攝影部6之排列方向（第2圖所示之攝影部6之例 中，攝影部6之排列方向為X方向，攝影部6之移動方向為Y 方向），與區塊231及區塊232或區塊71及區塊72之排列方向 同一方向時，容易受到照相機之透鏡等光學系統之偏歪影 20 響。所以，使攝影部6之移動方向與前述區塊之排列方向一 致時，攝影部6之排列方向與前述區塊之排列方向為不同方 向，因而可更加提昇檢查精度。 接著，針對本發明之圖形檢查裝置之動作之一例，使 用第14圖作說明。首先，第1步驟201，將塗布有格子狀螢 22 1226793 光體塗布膜60(例如（R)螢光體）之玻璃基板2搬入並固定於 載置台1時，攝影部6藉移動機構7由γ軸之原點〇開始攝影。 第2步驟202，係進行檢查領域之檢測。此係攝影部6 使敢先藉|外線光激發之螢光體3，例如紅色(r)螢光體受 5光之時點，且全部之處理步驟將以此為基準而開始。 第3步驟203中，如以第12圖所作之說明般算出袼子狀 螢光體塗布膜60於X方向與γ方向上之間距。 第4步驟204中，決定比較區塊之位置關係及大小。即， 決定用以比較之2個區塊之位置關係，且決定2個如前述以 10第3步驟算出之X方向、γ方向上之間距之整數倍之區塊。 此時，如前述，至少使區塊於排列方向上之大小為該方向 之平均間距之整數倍之大小。 以上說明之各實施例中，2個區塊之位置關係為沒有間 隙之互相密著之位置關係，然而依處理方法不同，區塊亦 15可重疊，或區塊間亦可具有空隙而攝取影像。 第5步驟205中，係維持第4步驟所決定之2個區塊之位 置關係，並含括檢查對象之電漿顯示面板等之玻璃基板全 體，求出2個區塊之差異影像。 第6步驟206中，比較由第5步驟所求出之差異影像得到 2〇之亮度信號值，與缺陷判定值（閾值），若有較缺陷判定值還 高之信號差值時，判定其為圖形缺陷。此外，缺陷判定值（閾 值)係没定為由影像信號得到之最高值之約5〇%左右，然而 亦可由實驗，或於檢查之過程中依據需要地適當調節，並 可改變設定。 23 1226793 如前述之步驟係依序對已印刷或塗布之格子狀螢光體 塗布麟之諸如r、g、b之各色螢光體進行。當然，如前 述於R榮光體檢查中測出有缺陷時，中止下—顏色之勞光體 之塗布或印刷之步驟，且該玻璃基板進入除去螢光體之步 5 驟，並再生。 夕 以上’針對本發明詳細地說明，但本發明並不限定於 前述記載之《顯示面板等之玻璃基板之圖形缺陷檢查袭 置及圖形缺陷檢查方法，當然可廣泛應用於前述以外:圖 形缺陷檢查裝置及圖形缺陷檢查方法。 10 發明效果 如以上說明，本發明可自動地檢測出 等之玻璃基板上之已塗布或印刷成條紋狀或袼子狀之R、 G、B之各色螢光體，又，可於不影響條紋狀、袼子狀等之 螢光體塗布圖形之情況下，高感度地檢查圖形缺陷。又， 15由於可自動地進行電漿顯示器等之細微之圖形之缺陷檢 查，因此可輕易地設置於電漿顯示器等之顯示面板之製造 線，而可實現可進行高速之缺陷檢查且價格便宜之圖形缺 陷檢查裝置及圖形缺陷檢查方法。 【圖式簡單說明】 2 〇 第1圖係顯示本發明之圖形缺陷檢查裝置之一實施例 之方塊圖。 第2圖係顯示本發明之一實施例之一部份之放大圖之 圖。 第3圖係說明本發明之動作原理之圖。 24 1226793 第4圖係說明本發明之動作原理之圖。 第5圖係用以檢測本發明之螢光體之條紋方向之原理 說明圖。 第6圖係用以檢測本發明之螢光體之條紋方向之原理 5 說明圖。 第7圖係說明本發明之另一實施例之動作原理之圖。 第8圖係說明本發明之缺陷檢查方法之一實施例之圖。 第9圖係說明本發明之其他之實施例之圖。 第10圖係應用第3圖之動作原理於格子狀螢光體塗布 10 膜之情況之說明圖。 第11圖係說明本發明之動作原理之圖。 第12圖係說明本發明之動作原理之圖。 第13圖係說明本發明之其他之實施例之動作原理之 圖。 15 第14圖係說明本發明之缺陷檢查方法之一實施例之 圖。 第15圖係顯示習知圖形缺陷檢查裝置之一例之動作之 圖。 【圖式之主要元件代表符號表】 1.. .載置台 2.. .玻璃基板 3.. .螢光體 4.. .紫外線照明用光源 5.. .光學系統 25 1226793 6.. .攝影部 7.. .移動機構 8.. .影像處理部 9.. .顯示部 10.. .驅動部 11.. .控制部 12.. .影像輸入部 13.. .差異影像檢測部 14.. .缺陷檢測部 15.. .操作部 21.. .支持構件 22.. .紫外線 31，32,71，72,82,83，231，232,241 …區塊 33.. .差異影像檢測 34,36,81，87,88...缺陷 35,41，62,84,85,86···差異影像 37.42.. .2.化之影像 38.. .2.化之缺陷 43…條紋 44.. .2.化差分值 51.. .橫向像素之亮度信號值 52.. .超過判定值之亮度信號值 53,54,93,94··.亮度信號之零值 55.56.243.245.. .閾值 26 1226793 60.. .螢光體塗布膜 61…間隙 63…間隙之2值化影像 91…玻璃基板之一部份 92.. .缺陷部 95…紅色螢光體之亮度信號值 96.. .沒有塗布螢光體之間隙部分之亮度信號值 97、99…亮度信號值之閾值 98…以單點虛線C表示之部分之亮度信號值 242···縱向之像素之亮度值之加算值 244···橫向之像素之亮度值之加算值 A，B，C…單點虛線 R、G、B···螢光體

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Claims (1)

1226793 拾、申請專利範圍： 1. 一種圖形缺陷檢查裝置，包含有： 攝影部^係用以攝影形成於基板上之螢光體之條紋 狀圖形者； 5 移動機構部，係用以使前述攝影部沿前述圖形移動 者； 影像處理部，係輸入來自前述攝影部之影像信號者； 顯示部，係用以顯示前述影像處理部之輸出者；及 φ 控制部，係用以控制前述移動機構部與前述影像處 10 理部者， 且，前述影像處理部包括： 影像輸入部，係用以檢測前述螢光體之條紋狀圖形 之方向； 差異影像檢測部，係用以比較與前述圖形之方向具 15 有相關性之至少2處影像資料者；及 缺陷檢測部，係根據前述比較結果檢測前述圖形之 泰 缺陷。 2. 如申請專利範圍第1項之圖形缺陷檢查裝置，其中前述 攝影部係多數個線感測照相機排列成直線狀，且各個前 20 述線感測照相機配置成視野範圍一部份重疊，又，前述 移動機構部具有使前述多數個排列成直線狀之線感測 照相機朝與前述照相機之排列方向垂直之方向以一定 速度移動之機能。 3. 如申請專利範圍第1項之圖形缺陷檢查裝置，其中前述 28 1226793 2處之影像資料係來自位於前述螢光體之條紋之長向之 相鄰2個區塊領域者，且前述差異影像檢測部係用以輸 出由前述2個區塊領域得到之影像資料之差異影像。 4. 一種圖形缺陷檢查裝置，包含有： 5 攝影部，係用以攝影形成於基板上之格子狀螢光體 塗布膜之圖形者； 移動機構部，係用以使前述攝影部沿前述圖形移動 者； φ 影像處理部，係輸入來自前述攝影部之影像信號者； ίο 顯示部，係用以顯示前述影像處理部之輔ri者；及 控制部，係用以控制前述移動機構部與前述影像處 理部， 又，前述影像處理部包括： 影像輸入部，係用以算出前述格子狀螢光體塗布膜 15 之圖形之格子間距者； 差異影像檢測部，係用以比較前述格子間距之整數 · 倍之大小之至少2領域之影像資料者；及 缺陷檢測部，係用以根據前述比較結果檢測前述圖 形之缺陷者。 20 5.如申請專利範圍第4項之圖形缺陷檢查裝置，其中前述 攝影部係多數個線感測照相機排列成直線狀，且各個前 述線感測照相機配置成視野範圍一部份重疊，又，前述 移動機構部具有使前述多數個排列成直線狀之線感測 照相機朝與前述照相機之排列方向垂直之方向以一定 29 1226793 速度移動之機能。 6. 如申請專利範圍第4項之圖形缺陷檢查裝置，其中前述 2處之影像資料係來自前述格子狀螢光體塗布膜之圖形 之相鄰2個區塊領域者，且前述差異影像檢測部係用以 5 輸出由前述2個區塊領域得到之影像資料之差異影像。 7. —種圖形缺陷檢查方法，包含有： 攝影形成於基板上之螢光體之條紋狀圖形之步驟； 藉由前述攝影得到之影像資料檢測前述螢光體之條 紋狀圖形之方向之步驟； 10 由前述影像資料比較已依據前述圖形之方向決定位 置關係之至少2處影像資料之步驟；及 根據前述比較結果檢測前述圖形之缺陷之步驟。 8. 如申請專利範圍第7項之圖形缺陷檢查方法，其中該由 前述影像資料比較與前述條紋狀圖形之方向有相關性 15 之至少2處影像資料之步驟包括： 選定2個相鄰之區塊領域，且該2個鄰接之區塊領域 位於前述螢光體之條紋之長向之步驟；及 檢測由前述2個區塊領域得到之影像資料之差異影 像之步驟， 20 且該圖形缺陷檢查方法係使前述2個區塊領域保持其 相關性且移動，以分別檢測前述圖形整體中之差異影 像。 9. 如申請專利範圍第8項之圖形缺陷檢查方法，其中前述 藉由前述攝影得到之影像資料檢測前述螢光體之條紋 30 1226793 狀圖形之方向之步驟，係用以檢測 信號值之投影波形之週期性者。 p像貝枓之亮廣 10·如申請專利範圍第8項之圖形缺陷 2個區塊領域僅朝前述勞光體條紋之長―向移動=述 並比較，動前之前述2個區塊領域得到=料 之差異衫像與由移動後之前述 / w 鬼頊域侍到之影 像貝枓之差異影像，藉此界定有缺陷之區塊領域。 11·如申請專利範圍第7項之圖形缺陷檢查方法其中前述 基板係電聚顯示器之玻璃基板，且前述各步驟係於每次 10 進行使前述螢光體條紋形成於前述玻璃基板上之製造 程序時重複。 12

一種圖形缺陷檢查方法，包括： 攝影形成於基板上之格子狀螢光體塗布膜之丨 步驟； 15 藉由前述攝影得到之影像資料算出前述袼子狀螢光

體塗布膜之圖形之格子間距之步驟； 由前述影像資料比較至少2領域之具有前述格子間 距之整數倍大小之影像資料之步驟；及 根據前述比較結果檢測前述圖形之缺陷之步驟。 20 13·如申請專利範圍第項之圖形缺陷檢查方法，其中該由 前述影像資料比較至少2領域之具有前述格子間距之整 數倍大小之影像資料之步驟，包括： 於前述格子狀螢光體塗布膜之圖形中選定鄰接之2 個區塊領域之步驟；及 31 1226793 檢測由前述2個區塊領域得到之影像資料之差異影 像之步驟。 14. 如申請專利範圍第13項之圖形缺陷檢查方法，其中該藉 由前述攝影得到之影像資料算出前述格子狀螢光體塗 5 布膜之圖形之格子間距之步驟，係用以檢測前述影像資 料之亮度信號值之投影波形之週期性之步驟。 15. 如申請專利範圍第12項之圖形缺陷檢查方法，其中前述 基板係電漿顯示器之玻璃基板，且前述各步驟係於每次 進行使前述格子狀螢光體塗布膜形成於前述玻璃基板 10 上之製造程序時重複。

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