KR101933079B1

KR101933079B1 - 정밀도가 향상된 필름 검사 장치, 이를 포함하는 패턴 형성 장치 및 필름 검사 방법

Info

Publication number: KR101933079B1
Application number: KR1020170012700A
Authority: KR
Inventors: 변영희
Original assignee: 주식회사 제니스테크; 변영희
Priority date: 2017-01-26
Filing date: 2017-01-26
Publication date: 2019-03-15
Also published as: KR20180088085A

Abstract

필름 검사 장치는 이송 롤러, 검사 비전부 및 오차 판단부를 포함한다. 이송 롤러는 레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성된 필름을 제1 방향으로 이송시킨다. 검사 비전부는 제1 방향을 따라 배열된 복수의 촬영 픽셀들을 갖고, 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 필름을 촬영함으로써 촬영 영상을 생성한다. 오차 판단부는 촬영 영상에 기초하여 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단한다.

Description

정밀도가 향상된 필름 검사 장치, 이를 포함하는 패턴 형성 장치 및 필름 검사 방법{DEVICES OF INSPECTING FILMS, PATTERNING DEVICES HAVING THE SAME AND METHODS OF INSPECTING FILMS}

본 발명은 필름에 패턴을 형성하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정밀도가 향상된 패턴 형성 장치 및 이에 포함된 필름 검사 장치 및 이와 관련된 필름 검사 방법에 관한 것이다.

필름 형태의 연성 기판은 고밀도 배선 회로의 소형화 및 경량화 설계가 가능하고, 굴곡 가능한 특성이 있어, 휴대폰, 카메라, 엘씨디 디스플레이 등 광범위한 제품에 적용되고 있다.

연성 기판의 재료가 되는 필름 상에는 회로가 형성될 수 있고, 특히 고도의 집적을 위해 필름의 양면 상에 회로가 형성될 수 있다. 따라서, 이러한 필름에는 필름의 양면을 관통함으로써 양 회로를 연결하는 쓰루홀(through hole)과 같은 패턴이 형성될 수 있다.

필름에 형성된 패턴이 올바른 위치에 형성되어 있는지 확인하는 검사는 패턴 형성 이후의 공정에서의 수율을 향상시키기 위해 중요할 수 있다. 따라서, 종래에는 필름의 이송 방향에 직교하는 방향으로 촬영 픽셀들이 배열된 비전 카메라가 필름 상의 소정에 위치에 고정되어 아래를 지나가는 필름을 촬영함으로써 패턴이 올바른 위치에 형성되어 있는지 검사하는 방법을 주로 사용했다.

그러나, 필름의 폭이 비전 카메라의 촬영 범위보다 더 클 경우 상기 검사 방법으로는 필름의 모든 영역을 검사할 수 없다는 문제점이 있다. 비전 카메라의 촬영 범위를 확대시키기 위해 일 촬영 픽셀이 검사하는 면적을 증가시킬 경우 필름을 정밀하게 검사할 수 없다는 문제점이 발생했고, 정밀도를 유지한 채로 촬영 범위를 확대시키기 위해 비전 카메라에 포함된 촬영 픽셀들을 증가시킬 경우 비전 카메라의 단가가 상승하는 문제점이 발생했다.

한편, 복수의 비전 카메라들을 배치하여 필름을 촬영하는 방법은 비전 카메라들이 정확하게 정렬되기 어려워 촬영된 영상의 신뢰도가 감소하는 문제점이 발생했다.

아래 선행기술문헌은 필름의 틀어진 오차를 검출하는 제1 검출부 및 제2 검출부를 개시하고 있으나, 필름의 폭이 증가할 경우에 발생하는 상기 문제점들에 대한 해결책을 여전히 제시하지 못한다.

한국 등록특허 10-1571390(공고일자 2015년 11월 24일)

본 발명의 일 목적은 필름의 폭이 증가됨에도 불구하고 정밀하게 필름을 검사할 수 있는 필름 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 상기 필름 검사 장치를 효율적으로 적용할 수 있는 패턴 형성 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 필름의 폭이 증가됨에도 불구하고 정밀하게 필름을 검사할 수 있는 필름 검사 방법을 제공하는 것이다.

다만, 본 발명의 목적은 상기 목적들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 장치는 레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성된 필름을 제1 방향으로 이송시키는 이송 롤러, 상기 제1 방향을 따라 배열된 복수의 촬영 픽셀들을 갖고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 상기 필름을 촬영함으로써 촬영 영상을 생성하는 검사 비전부, 및 상기 촬영 영상에 기초하여 상기 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단하는 오차 판단부를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 이송 롤러는 기 설정된 정지 구간에 상기 필름의 이송을 멈출 수 있고, 상기 검사 비전부는 상기 정지 구간 동안 상기 제2 방향으로 이동함으로써 상기 촬영 영상을 생성할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 패턴은 쓰루홀(through hole)을 포함할 수 있고, 상기 필름은 상기 제1 방향을 따라 상기 레이저빔이 조사되기 전에 형성된 기준 패턴을 가질 수 있으며, 상기 오차 판단부는 상기 기준 패턴에 대한 상기 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교하여 상기 오차를 판단할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 오차는 상기 제2 방향과 평행한 가상의 선과 상기 패턴이 이루는 각도를 포함할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 판단된 오차를 상기 필름의 위치에 대응시켜 저장하는 오차 저장부를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 이송 롤러는 표면에 캐비티(cavity)가 형성되고, 상기 캐비티 내부의 공기가 외부로 배출되는 배출통로를 가지며, 원기둥의 형상을 갖는 고정 부재, 및 상기 고정 부재를 둘러싸고, 흡착공이 천공되며, 상기 고정 부재를 중심으로 회전하고, 속이 빈 원통 형상을 갖는 외통 롤러를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 패턴 형성 장치는 필름에 레이저빔을 조사하여 상기 필름에 패턴을 형성하는 레이저 헤드, 상기 패턴이 형성된 상기 필름을 제1 방향으로 이송시키는 이송 롤러, 상기 제1 방향을 따라 배열된 복수의 촬영 픽셀들을 갖고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 상기 필름을 촬영함으로써 촬영 영상을 생성하는 검사 비전부, 및 상기 촬영 영상에 기초하여 상기 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단하는 오차 판단부를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 이송 롤러는 상기 레이저 헤드가 상기 필름에 상기 패턴을 형성하는 정지 구간에 상기 필름의 이송을 멈출 수 있고, 상기 검사 비전부는 상기 정지 구간 동안 상기 제2 방향으로 이동함으로써 상기 촬영 영상을 생성할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 패턴은 쓰루홀을 포함할 수 있고, 상기 필름은 상기 제1 방향을 따라 상기 레이저빔이 조사되기 전에 형성된 기준 패턴을 가질 수 있으며, 상기 오차 판단부는 상기 기준 패턴에 대한 상기 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교하여 상기 오차를 판단할 수 있다.

본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 방법은 레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성된 필름을 제1 방향으로 이송시키는 단계, 상기 제1 방향을 따라 배열된 복수의 촬영 픽셀들을 갖는 검사 비전부를 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 상기 필름을 촬영함으로써 촬영 영상을 생성하는 단계, 및 상기 촬영 영상에 기초하여 상기 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단하는 단계를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 패턴은 쓰루홀을 포함할 수 있고, 상기 필름은 상기 제1 방향을 따라 상기 레이저빔이 조사되기 전에 형성된 기준 패턴을 가질 수 있으며, 상기 패턴의 오차를 판단하는 단계는 상기 기준 패턴에 대한 상기 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 장치 및 필름 검사 방법은 이송 방향인 제1 방향을 따라 촬영 픽셀들이 배열된 검사 비전부를 제1 방향에 실질적으로 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 필름을 촬영하므로, 필름의 폭이 증가됨에도 불구하고 정밀하게 필름을 검사할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 패턴 형성 장치는 레이저 헤드가 필름에 패턴을 생성하는 정지 구간 동안 검사 비전부가 필름을 촬영하므로, 별도의 정지 기간을 두지 않고도 상기 필름 검사 장치를 효율적으로 적용할 수 있다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1의 필름 검사 장치에 포함된 검사 비전부가 필름을 검사하는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 필름 검사 장치에 포함된 검사 비전부가 필름을 검사하는 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 2의 필름 검사 장치에 사용되는 필름의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 패턴 형성 장치를 나타내는 블록도이다.
도 6은 도 5의 패턴 형성 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 방법을 나타내는 순서도이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 장치를 나타내는 블록도이다.

도 1을 참조하면, 필름 검사 장치(100)는 이송 롤러(120), 검사 비전부(140) 및 오차 판단부(160)를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 필름 검사 장치(100)는 오차 저장부(180)를 더 포함할 수 있다.

이송 롤러(120)는 필름(130)을 제1 방향(A)으로 이송시킬 수 있다. 여기서, 필름(130)은 레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성될 수 있다. 패턴은 필름(130)의 일면 또는 양면에 형성될 수 있다. 패턴은 필름(130) 상에 형성되는 회로의 일부 또는 전부일 수 있다. 실시예에 따라, 패턴은 필름(130)의 양면을 관통함으로써 필름(130)의 양면에 형성된 회로를 연결하기 위한 쓰루홀(through hole)을 포함할 수 있다.

이송 롤러(120)는 기 설정된 정지 구간에 필름(130)의 이송을 멈출 수 있다. 예를 들어, 이송 롤러(120)는 필름(130)에 패턴이 형성되는 구간에 필름(130)의 이송을 멈출 수 있다. 이에 따라, 추후에 검사 비전부(140)가 필름(130)을 정밀하고 안정적으로 촬영할 수 있는 구간이 발생될 수 있다.

실시예에 따라, 이송 롤러(120)는 고정 부재 및 외통 롤러를 포함할 수 있다. 고정 부재는 표면에 캐비티(cavity)가 형성될 수 있고, 캐비티 내부의 공기가 외부로 배출되는 배출통로를 가질 수 있으며, 원기둥의 형상을 가질 수 있다. 또한, 외통 롤러는 고정 부재를 둘러쌀 수 있고, 흡착공이 천공될 수 있으며, 고정 부재를 중심으로 회전할 수 있고, 속이 빈 원통 형상을 가질 수 있다.

캐비티는 고정 부재의 표면에 형성된 것으로 소정의 형상에 한정되지 않을 수 있다. 일 실시예에서, 원기둥의 형상을 갖는 고정 부재의 중심축에 실질적으로 직교하는 방향으로 절단한 캐비티의 단면은 중심축을 중심으로 하는 부채꼴의 형상을 가질 수 있고, 여기서 부채꼴의 호는 외통 롤러가 이송대상물인 필름(130)과 국부적으로 접촉하는 부위에 대응될 수 있다. 다른 실시예에서, 캐비티는 원기둥의 형사을 갖는 고정 부재의 표면으로부터 균일한 깊이를 갖는 홈일 수 있고, 여기서 홈은 외통 롤러가 이송대상물인 필름(130)과 국부적으로 접촉하는 부위에 대응될 수 있다.

배출통로는 원기둥의 형상을 갖는 고정 부재의 중심축 방향을 따라 형성된 것일 수 있고, 상기 중심축을 공유하는 원기둥의 형상을 가질 수 있다.

상기 구조를 갖는 이송 롤러(120)는 캐비티 상에 접하는 외통 롤러의 흡착공을 통해 이송대상물인 필름(130)을 흡착하므로, 필름(130)에 눌림자국을 발생시키지 않고도 필름(130)을 외주연에 밀착시킬 수 있다. 그 결과, 필름(130)을 정확히 이동시킬 수 있고, 추후에 검사 비전부(160)가 정확히 필름(130)을 촬영할 수 있다.

필름(130)은 레이저빔이 조사되기 전에 형성된 기준 패턴을 가질 수 있다. 여기서, 기준 패턴은 제1 방향(A)을 따라 형성될 수 있다. 이에 따라, 추후에 오차 판단부(180)가 오차를 판단할 수 있는 기준이 제공될 수 있다.

검사 비전부(140)는 복수의 촬영 픽셀들(142)을 가질 수 있다. 여기서, 촬영 픽셀들(142)은 제1 방향(A)을 따라 배열될 수 있다. 이에 따라, 추후에 검사 비전부(140)가 제1 방향(A)에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B, B')으로 이동할 때 필름(130) 상의 소정의 면적이 촬영될 수 있다.

검사 비전부(140)는 촬영 영상(IMG)을 생성할 수 있다. 이를 위해, 검사 비전부(140)는 제2 방향(B, B')으로 이동하면서 필름(130)을 촬영할 수 있다. 제1 방향(A)을 따라 배열된 촬영 픽셀들(142)이 제1 방향(A)에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B, B')으로 이동되므로, 촬영 픽셀들(142)이 제1 방향(A)을 따라 갖는 촬영 범위의 길이와 검사 비전부(140)의 제2 방향(B, B') 이동 거리의 곱에 해당하는 면적이 촬영 영상(IMG)으로 생성될 수 있다.

검사 비전부(140)는 이송 롤러(120)가 필름(130)의 이송을 멈춘 정지 구간 동안 촬영 영상(IMG)을 생성할 수 있다. 예를 들어, 검사 비전부(140)는 레이저 헤드가 필름(130)에 패턴을 형성하는 동안 제2 방향(B, B')으로 이동할 수 있고, 이동하면서 필름(130)을 촬영할 수 있다. 그 결과, 검사 비전부(140)는 정밀하게 촬영된 촬영 영상(IMG)을 생성할 수 있다.

오차 판단부(160)는 촬영 영상(IMG)에 기초하여 필름(130)이 갖는 패턴의 오차(ERROR)를 판단할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부(160)는 촬영 영상(IMG)에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 얼마나 벗어났는지를 판단할 수 있다.

나아가, 오차 판단부(160)는 오차(ERROR)가 기 설정된 허용범위 내인지 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부(160)는 촬영 영상(IMG)에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 기 설정된 허용범위 바깥에 형성되었는지 여부를 판단할 수 있다.

실시예에 따라, 오차 판단부(160)는 기준 패턴에 대한 패턴의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부(160)는 기준 패턴에 대한 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 필름(130)에 형성된 기준 패턴은 패턴의 본래 설계 위치에 대한 기준을 제시할 수 있다. 따라서, 오차 판단부(160)는 기준 패턴에 대한 패턴의 상대적인 위치를 비교함으로써, 패턴이 정확한 위치에 형성되었는지를 판단할 수 있다. 즉, 오차 판단부(160)는 기준 패턴에 기초하여 오차(ERROR)를 판단할 수 있다.

실시예에 따라, 오차(ERROR)는 제2 방향(B, B')과 평행한 가상의 선과 패턴이 이루는 각도를 포함할 수 있다. 통상적으로 패턴은 필름(130)의 이송 방향인 제1 방향(A)에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B, B')으로 형성되는 것으로 설계될 수 있다. 그러나, 실제의 패턴은 제2 방향(B, B')과 소정의 각도를 갖는 방향으로 삐둘어져 형성될 수 있다. 따라서, 오차 판단부(160)는 제2 방향(B, B')과 평행한 가상의 선과 패턴이 이루는 각도를 오차(ERROR)로서 판단할 수 있다.

오차 저장부(180)는 오차(ERROR)를 저장할 수 있다. 이를 위해, 오차 저장부(180)는 오차 판단부(160)가 판단한 오차(ERROR)를 필름(130)의 위치에 대응시켜 저장할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부(160)가 필름(130)의 일 위치에서 오차(ERROR)가 있음을 판단할 때, 오차 저장부(180)는 오차(ERROR)를 상기 일 위치에 대응하여 저장할 수 있다. 그 결과, 추후 공정에서 상기 일 위치에 오차(ERROR)가 존재한다는 정보가 전달될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 장치(100)는 이송 방향인 제1 방향(A)을 따라 촬영 픽셀들(142)이 배열된 검사 비전부(140)를 제1 방향(A)에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B, B')으로 이동하면서 필름(130)을 촬영하므로, 필름(130)의 폭이 증가됨에도 불구하고 정밀하게 필름(130)을 검사할 수 있다.

도 2는 도 1의 필름 검사 장치에 포함된 검사 비전부가 필름을 검사하는 일 예를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 1의 필름 검사 장치에 포함된 검사 비전부가 필름을 검사하는 다른 예를 나타내는 도면이며, 도 4는 도 2의 필름 검사 장치에 사용되는 필름의 다른 예를 나타내는 도면이다.

도 2를 참조하면, 검사 비전부(240)는 복수의 촬영 픽셀들(242)을 가질 수 있다. 여기서, 촬영 픽셀들(242)은 필름(230)의 이송 방향인 제1 방향을 따라 배열될 수 있다. 이에 따라, 검사 비전부(240)가 제1 방향에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B1)으로 이동할 때 필름(230) 상의 소정의 면적이 촬영될 수 있다.

이송 롤러는 필름(230)을 제1 방향으로 이송시킬 수 있다. 여기서, 필름(230)은 레이저빔의 조사에 의해 패턴(234)이 형성될 수 있다. 패턴(234)은 필름(230)의 일면 또는 양면에 형성될 수 있다. 패턴(234)은 필름(230) 상에 형성되는 회로의 일부 또는 전부일 수 있다. 실시예에 따라, 패턴(234)은 필름(230)의 양면을 관통함으로써 필름(230)의 양면에 형성된 회로를 연결하기 위한 쓰루홀을 포함할 수 있다.

필름(230)에 형성된 패턴(234)은 복수의 독립적인 패턴으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 필름(230)에 형성된 패턴(234)은 도 2에서와 같이 두 개의 독립적인 패턴이 하나의 패턴(234)으로 형성될 수 있지만, 도 4에서와 같이 세 개의 독립적인 패턴이 하나의 패턴(234)로 형성될 수도 있다.

필름(230)은 레이저빔이 조사되기 전에 형성된 기준 패턴(232)을 가질 수 있다. 여기서, 기준 패턴(232)은 제1 방향을 따라 형성될 수 있다. 이에 따라, 추후에 오차 판단부가 오차를 판단할 수 있는 기준이 제공될 수 있다.

검사 비전부(240)는 촬영 영상을 생성할 수 있다. 이를 위해, 검사 비전부(240)는 제2 방향(B1)으로 이동하면서 필름(230)을 촬영할 수 있다. 제1 방향을 따라 배열된 촬영 픽셀들(242)이 제1 방향에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B1)으로 이동되므로, 촬영 픽셀들(242)이 제1 방향을 따라 갖는 촬영 범위의 길이와 검사 비전부(240)의 제2 방향(B1) 이동 거리의 곱에 해당하는 면적이 촬영 영상으로 생성될 수 있다.

검사 비전부(240)는 이송 롤러가 필름(230)의 이송을 멈춘 정지 구간 동안 촬영 영상을 생성할 수 있다. 예를 들어, 검사 비전부(240)는 레이저 헤드가 필름(230)에 패턴(234)을 형성하는 동안 제2 방향(B1)으로 이동할 수 있고, 이동하면서 필름(230)을 촬영할 수 있다. 그 결과, 검사 비전부(240)는 정밀하게 촬영된 촬영 영상을 생성할 수 있다.

오차 판단부는 촬영 영상에 기초하여 필름(230)이 갖는 패턴(234)의 오차를 판단할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부는 촬영 영상에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 얼마나 벗어났는지를 판단할 수 있다.

나아가, 오차 판단부는 오차가 기 설정된 허용범위 내인지 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부는 촬영 영상에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 기 설정된 허용범위 바깥에 형성되었는지 여부를 판단할 수 있다.

오차 판단부는 기준 패턴(232)에 대한 패턴(234)의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부는 기준 패턴(232)에 대한 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 필름(230)에 형성된 기준 패턴(232)은 패턴(234)의 본래 설계 위치에 대한 기준을 제시할 수 있다. 따라서, 오차 판단부는 기준 패턴(232)에 대한 패턴(234)의 상대적인 위치를 비교함으로써, 패턴(234)이 정확한 위치에 형성되었는지를 판단할 수 있다. 즉, 오차 판단부는 기준 패턴(232)에 기초하여 오차를 판단할 수 있다.

실시예에 따라, 오차는 제2 방향(B1)과 평행한 가상의 선과 패턴(234)이 이루는 각도를 포함할 수 있다. 통상적으로 패턴(234)은 필름(230)의 이송 방향인 제1 방향에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B1)으로 형성되는 것으로 설계될 수 있다. 그러나, 실제의 패턴(234)은 제2 방향(B1)과 소정의 각도를 갖는 방향으로 삐둘어져 형성될 수 있다. 따라서, 오차 판단부는 제2 방향(B1)과 평행한 가상의 선과 패턴(234)이 이루는 각도를 오차로서 판단할 수 있다.

특히, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 장치(200)는 도 4의 경우에서와 같이 필름의 폭이 증가됨에도 불구하고, 하나의 검사 비전부(240)가 패턴(234)을 촬영하므로, 복수개를 사용하여 서로 정확히 정렬시키는 것이 어려웠던 종래 기술과는 달리 정밀하게 필름을 검사할 수 있다.

도 3을 참조하면, 검사 비전부(240)는 제2 방향(B1, B2)뿐만 아니라 제1 방향(C1, C2, C3)으로도 이동할 수 있다. 즉, 검사 비전부(240)는 필름(230)의 이송 방향(C2) 또는 이송 방향의 역방향(C1, C3)으로 이동할 수 있다.

필름(230)의 이송이 멈추게 되는 정지 구간에서 검사 비전부(240)는 복수의 회수만큼 필름(230)을 왕복할 수 있다. 예를 들어, 정지 구간이 1초의 길이를 갖고 검사 비전부(240)가 필름(230)의 건너편까지 이동하는 시간이 0.25초일 때, 검사 비전부(240)는 정지 구간 동안 최대 2회를 왕복하면서 필름(230)을 촬영할 수 있다. 그 결과, 정지 구간 동안 필름(230)의 면적이 최대로 촬영될 수 있다.

일 실시예에서, 검사 비전부(240)는 B1, C1, B2, C2 순서로 필름을(230)을 촬영할 수 있다. 이 경우, 검사 비전부(240)는 소정의 이동 주기를 가질 수 있다. 다른 실시예에서, 검사 비전부(240)는 B1, C1, B2, C3의 순서로 필름(230)을 촬영할 수 있다. 이 경우, 검사 비전부(240)는 목표로 하는 필름(230)의 면적을 모두 촬영할 때까지 이송 방향의 역방향(C1, C3)으로 이동하면서 필름(230)을 촬영할 수 있다.

도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 패턴 형성 장치를 나타내는 블록도이다.

도 5를 참조하면, 패턴 형성 장치(300)는 레이저 헤드(310), 이송 롤러(320), 검사 비전부(340) 및 오차 판단부(360)를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 패턴 형성 장치(300)는 오차 저장부(380)를 더 포함할 수 있다.

레이저 헤드(310)는 필름(330)에 레이저빔(LASER)을 조사할 수 있다. 그 결과, 레이저 헤드(310)는 필름(330)에 패턴을 형성할 수 있다. 예를 들어, 레이저 헤드(310)는 필름(330)의 양면에 형성된 회로를 연결하기 위해 필름(330)의 양면을 관통하는 쓰루홀을 필름(330)에 레이저빔(LASER)을 조사하여 생성할 수 있다.

이송 롤러(320)는 필름(330)을 제1 방향(A)으로 이송시킬 수 있다. 여기서, 필름(330)은 레이저빔(LASER)의 조사에 의해 패턴이 형성될 수 있다. 패턴은 필름(330)의 일면 또는 양면에 형성될 수 있다. 패턴은 필름(330) 상에 형성되는 회로의 일부 또는 전부일 수 있다. 실시예에 따라, 패턴은 쓰루홀을 포함할 수 있다.

이송 롤러(320)는 기 설정된 정지 구간에 필름(330)의 이송을 멈출 수 있다. 예를 들어, 이송 롤러(320)는 레이저 헤드(310)가 필름(330)에 패턴을 형성하는 구간에 필름(330)의 이송을 멈출 수 있다. 이에 따라, 추후에 검사 비전부(340)가 필름(330)을 정밀하고 안정적으로 촬영할 수 있는 구간이 발생될 수 있다.

실시예에 따라, 이송 롤러(320)는 고정 부재 및 외통 롤러를 포함할 수 있다. 고정 부재는 표면에 캐비티가 형성될 수 있고, 캐비티 내부의 공기가 외부로 배출되는 배출통로를 가질 수 있으며, 원기둥의 형상을 가질 수 있다. 또한, 외통 롤러는 고정 부재를 둘러쌀 수 있고, 흡착공이 천공될 수 있으며, 고정 부재를 중심으로 회전할 수 있고, 속이 빈 원통 형상을 가질 수 있다.

캐비티는 고정 부재의 표면에 형성된 것으로 소정의 형상에 한정되지 않을 수 있다. 일 실시예에서, 원기둥의 형상을 갖는 고정 부재의 중심축에 실질적으로 직교하는 방향으로 절단한 캐비티의 단면은 중심축을 중심으로 하는 부채꼴의 형상을 가질 수 있고, 여기서 부채꼴의 호는 외통 롤러가 이송대상물인 필름(330)과 국부적으로 접촉하는 부위에 대응될 수 있다. 다른 실시예에서, 캐비티는 원기둥의 형사을 갖는 고정 부재의 표면으로부터 균일한 깊이를 갖는 홈일 수 있고, 여기서 홈은 외통 롤러가 이송대상물인 필름(330)과 국부적으로 접촉하는 부위에 대응될 수 있다.

상기 구조를 갖는 이송 롤러(320)는 캐비티 상에 접하는 외통 롤러의 흡착공을 통해 이송대상물인 필름(330)을 흡착하므로, 필름(330)에 눌림자국을 발생시키지 않고도 필름(330)을 외주연에 밀착시킬 수 있다. 그 결과, 필름(330)을 정확히 이동시킬 수 있고, 추후에 검사 비전부(360)가 정확히 필름(330)을 촬영할 수 있다.

필름(330)은 레이저빔이 조사되기 전에 형성된 기준 패턴을 가질 수 있다. 여기서, 기준 패턴은 제1 방향(A)을 따라 형성될 수 있다. 이에 따라, 추후에 오차 판단부(380)가 오차를 판단할 수 있는 기준이 제공될 수 있다.

검사 비전부(340)는 복수의 촬영 픽셀들(342)을 가질 수 있다. 여기서, 촬영 픽셀들(342)은 제1 방향(A)을 따라 배열될 수 있다. 이에 따라, 추후에 검사 비전부(340)가 제1 방향(A)에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B, B')으로 이동할 때 필름(330) 상의 소정의 면적이 촬영될 수 있다.

검사 비전부(340)는 촬영 영상(IMG)을 생성할 수 있다. 이를 위해, 검사 비전부(340)는 제2 방향(B, B')으로 이동하면서 필름(330)을 촬영할 수 있다. 제1 방향(A)을 따라 배열된 촬영 픽셀들(342)이 제1 방향(A)에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B, B')으로 이동되므로, 촬영 픽셀들(342)이 제1 방향(A)을 따라 갖는 촬영 범위의 길이와 검사 비전부(340)의 제2 방향(B, B') 이동 거리의 곱에 해당하는 면적이 촬영 영상(IMG)으로 생성될 수 있다.

검사 비전부(340)는 이송 롤러(320)가 필름(330)의 이송을 멈춘 정지 구간 동안 촬영 영상(IMG)을 생성할 수 있다. 예를 들어, 검사 비전부(340)는 레이저 헤드(310)가 필름(330)에 패턴을 형성하는 동안 제2 방향(B, B')으로 이동할 수 있고, 이동하면서 필름(330)을 촬영할 수 있다. 그 결과, 검사 비전부(340)는 정밀하게 촬영된 촬영 영상(IMG)을 생성할 수 있다.

오차 판단부(360)는 촬영 영상(IMG)에 기초하여 필름(330)이 갖는 패턴의 오차(ERROR)를 판단할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부(360)는 촬영 영상(IMG)에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 얼마나 벗어났는지를 판단할 수 있다.

나아가, 오차 판단부(360)는 오차(ERROR)가 기 설정된 허용범위 내인지 여부를 판단할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부(360)는 촬영 영상(IMG)에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 기 설정된 허용범위 바깥에 형성되었는지 여부를 판단할 수 있다.

실시예에 따라, 오차 판단부(360)는 기준 패턴에 대한 패턴의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부(360)는 기준 패턴에 대한 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 필름(330)에 형성된 기준 패턴은 패턴의 본래 설계 위치에 대한 기준을 제시할 수 있다. 따라서, 오차 판단부(360)는 기준 패턴에 대한 패턴의 상대적인 위치를 비교함으로써, 패턴이 정확한 위치에 형성되었는지를 판단할 수 있다. 즉, 오차 판단부(360)는 기준 패턴에 기초하여 오차(ERROR)를 판단할 수 있다.

실시예에 따라, 오차(ERROR)는 제2 방향(B, B')과 평행한 가상의 선과 패턴이 이루는 각도를 포함할 수 있다. 따라서, 오차 판단부(360)는 제2 방향(B, B')과 평행한 가상의 선과 패턴이 이루는 각도를 오차(ERROR)로서 판단할 수 있다.

오차 저장부(380)는 오차(ERROR)를 저장할 수 있다. 이를 위해, 오차 저장부(380)는 오차 판단부(360)가 판단한 오차(ERROR)를 필름(330)의 위치에 대응시켜 저장할 수 있다. 그 결과, 추후 공정에서 상기 일 위치에 오차(ERROR)가 존재한다는 정보가 전달될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 패턴 형성 장치(300)는 레이저 헤드(310)가 필름(330)에 패턴을 생성하는 정지 구간 동안 검사 비전부(340)가 필름(330)을 촬영하므로, 별도의 정지 기간을 두지 않고도 도 1의 필름 검사 장치(100)를 효율적으로 적용할 수 있다.

도 6은 도 5의 패턴 형성 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.

도 6을 참조하면, 패턴 형성 장치(400)는 레이저 헤드(410), 이송 롤러(420-1 내지 420-11), 검사 비전부(440), 오차 판단부, 권출 롤러(450) 및 권취 롤러(470)를 포함할 수 있다.

권출 롤러(450) 및 권취 롤러(470)는 각각 필름을 풀고 감는 롤러일 수 있다. 권출 롤러(450)의 회전에 의해 필름이 레이저 헤드(410)를 향하는 방향으로 공급될 수 있고, 권취 롤러(470)의 회전에 의해 가공 완성된 필름이 보관될 수 있다.

레이저 헤드(410)는 필름에 레이저빔(LASER)을 조사하여 필름에 패턴을 형성할 수 있다. 예를 들어, 레이저 헤드(410)는 필름에 레이저빔(LASER)을 조사하여 필름에 쓰루홀을 형성할 수 있다.

이송 롤러(420-1 내지 420-11)는 패턴이 형성된 필름을 제1 방향(C, C')으로 이송시킬 수 있다. 필름은 권출 롤러(450)에서 권취 롤러(470)를 향하는 방향(C)으로 이동할 수 있지만, 필요에 따라 일시적으로 권취 롤러(470)에서 권출 롤러(45)를 향하는 방향(C')으로 이동할 수 있고, 필요에 따라 정지할 수 있다.

이송 롤러(420-1 내지 420-11)는 고정 더미 롤러(420-1, 420-2, 420-3, 420-5, 420-7, 420-8), 상하 이동 롤러(420-9, 420-10, 420-11) 및 흡착 피딩롤(420-4, 420-6)을 포함할 수 있다. 고정 더미 롤러(420-1, 420-2, 420-3, 420-5, 420-7, 420-8)는 소정에 위치에 고정된 롤러일 수 있다. 상하 이동 롤러420-9, 420-10, 420-11)는 고정 더미 롤러(420-1, 420-2, 420-3, 420-5, 420-7, 420-8)와는 달리 상하(up/down)로 이동하는 것이 가능할 수 있다.

흡착 피딩롤(420-4, 420-6)은 회전에 의해 외주연에 접촉하는 필름을 이동시킬 수 있다. 여기서, 흡착 피딩롤(420-4, 420-6)은 고정 부재 및 외통 롤러를 포함할 수 있다. 흡착 피딩롤(420-4, 420-6)은 필름을 흡착함으로써 피딩하므로, 필름의 고정을 위해 별도의 부재를 필요로 하지 않을 수 있다.

검사 비전부(440)는 제1 방향(C, C'을 따라 나열된 복수의 촬영 픽셀들을 가질 수 있고, 제1 방향(C, C')에 실질적으로 직교하는 제2 방향(B, B')으로 이동하면서 필름을 촬영할 수 있다. 그 결과, 검사 비전부(440)는 촬영 영상을 생성할 수 있다. 이에 따라, 오차 판단부는 촬영 영상에 기초하여 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단할 수 있다.

도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 방법을 나타내는 순서도이다.

도 7을 참조하면, 필름을 검사함에 있어, 레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성된 필름이 제1 방향으로 이송(S120)될 수 있고, 검사 비전부를 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 필름을 촬영함으로써 촬영 영상이 생성(S140)될 수 있으며, 촬영 영상에 기초하여 필름이 갖는 패턴의 오차가 판단(S160)될 수 있다.

레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성된 필름이 제1 방향으로 이송(S120)될 수 있다. 패턴은 필름의 일면 또는 양면에 형성될 수 있다. 패턴은 필름 상에 형성되는 회로의 일부 또는 전부일 수 있다. 실시예에 따라, 패턴은 필름의 양면을 관통함으로써 필름의 양면에 형성된 회로를 연결하기 위한 쓰루홀을 포함할 수 있다.

필름은 이송 롤러에 의해 제1 방향으로 이송될 수 있다. 이송 롤러는 기 설정된 정지 구간에 필름의 이송을 멈출 수 있다. 예를 들어, 이송 롤러는 필름에 패턴이 형성되는 구간에 필름의 이송을 멈출 수 있다. 이에 따라, 추후에 필름이 정밀하고 안정적으로 촬영될 수 있는 구간이 발생될 수 있다.

실시예에 따라, 이송 롤러는 고정 부재 및 외통 롤러를 포함할 수 있다. 고정 부재는 표면에 캐비티가 형성될 수 있고, 캐비티 내부의 공기가 외부로 배출되는 배출통로를 가질 수 있으며, 원기둥의 형상을 가질 수 있다. 또한, 외통 롤러는 고정 부재를 둘러쌀 수 있고, 흡착공이 천공될 수 있으며, 고정 부재를 중심으로 회전할 수 있고, 속이 빈 원통 형상을 가질 수 있다.

검사 비전부를 제2 방향으로 이동하면서 필름을 촬영함으로써 촬영 영상이 생성(S140)될 수 있다. 여기서, 검사 비전부는 복수의 촬영 픽셀들을 가질 수 있다. 여기서, 촬영 픽셀들은 제1 방향을 따라 배열될 수 있다. 이에 따라, 추후에 검사 비전부가 제1 방향에 실질적으로 직교하는 제2 방향으로 이동할 때 필름 상의 소정의 면적이 촬영될 수 있다.

촬영 영상이 생성될 수 있다. 이를 위해, 검사 비전부는 제2 방향으로 이동하면서 필름을 촬영할 수 있다. 제1 방향을 따라 배열된 촬영 픽셀들이 제1 방향에 실질적으로 직교하는 제2 방향으로 이동되므로, 촬영 픽셀들이 제1 방향을 따라 갖는 촬영 범위의 길이와 검사 비전부의 제2 방향 이동 거리의 곱에 해당하는 면적이 촬영 영상으로 생성될 수 있다.

이송 롤러가 필름의 이송을 멈춘 정지 구간 동안 촬영 영상이 생성될 수 있다. 예를 들어, 검사 비전부는 레이저 헤드가 필름에 패턴을 형성하는 동안 제2 방향으로 이동할 수 있고, 이동하면서 필름을 촬영할 수 있다. 그 결과, 검사 비전부는 정밀하게 촬영된 촬영 영상을 생성할 수 있다.

촬영 영상에 기초하여 필름이 갖는 패턴의 오차가 판단(S160)될 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부는 촬영 영상에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 얼마나 벗어났는지를 판단할 수 있다.

나아가, 오차가 기 설정된 허용범위 내인지 여부가 판단될 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부는 촬영 영상에 촬영된 쓰루홀이 본래 설계되었던 위치에서 기 설정된 허용범위 바깥에 형성되었는지 여부를 판단할 수 있다.

실시예에 따라, 기준 패턴에 대한 패턴의 상대적인 위치가 비교될 수 있다. 예를 들어, 오차 판단부는 기준 패턴에 대한 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교할 수 있다. 필름에 형성된 기준 패턴은 패턴의 본래 설계 위치에 대한 기준을 제시할 수 있다. 따라서, 기준 패턴에 대한 패턴의 상대적인 위치가 비교됨으로써, 패턴이 정확한 위치에 형성되었는지가 판단될 수 있다. 즉, 기준 패턴에 기초하여 오차가 판단될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 방법은 이송 방향인 제1 방향을 따라 촬영 픽셀들이 배열된 검사 비전부를 제1 방향에 실질적으로 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 필름을 촬영하므로, 필름의 폭이 증가됨에도 불구하고 정밀하게 필름을 검사할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 검사 장치, 패턴 형성 장치 및 필름 검사 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명하였지만, 상기 설명은 예시적인 것으로서 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.

본 발명은 필름의 검사가 필요로 하는 분야에 다양하게 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명은 고밀도 배선 회로의 소형화 및 경량화 설계가 필요한 필름 형태의 연성 기판을 검사함에 적용될 수 있고, 나아가, 필름 형태의 연성 기판을 장착한 휴대폰, 카메라, 엘씨디 디스플레이 등 광범위한 제품에 적용될 수 있다.

상기에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 것이다.

100: 필름 검사 장치
120, 320, 420: 이송 롤러
140, 240, 340, 440: 검사 비전부
160, 360: 오차 판단부
180, 380: 오차 저장부
300, 400: 패턴 형성 장치
310, 410: 레이저 헤드

Claims

레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성된 필름을 제1 방향으로 이송시키는 이송 롤러;
상기 제1 방향을 따라 배열된 복수의 촬영 픽셀들을 갖고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 상기 필름을 촬영함으로써 촬영 영상을 생성하는 검사 비전부; 및
상기 촬영 영상에 기초하여 상기 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단하는 오차 판단부;를 포함하고,
상기 필름은, 상기 제1 방향을 따라 상기 패턴의 상부에 형성된 상부 기준 패턴과, 상기 제1 방향을 따라 상기 패턴의 하부에 형성된 하부 기준 패턴을 갖고,
상기 검사 비전부의 복수의 촬영 픽셀들은, 상기 제2 방향으로 이동하면서 한 번에 상기 상부 기준 패턴, 상기 패턴 및 상기 하부 기준 패턴을 촬영하고,
상기 촬영 영상은, 한 번에 촬영된 상기 상부 기준 패턴, 상기 패턴 및 상기 하부 기준 패턴을 갖고,
상기 오차 판단부는, 상기 하나의 촬영 영상에 포함된 상기 상부 기준 패턴과 상기 하부 기준 패턴을 잇는 가상의 선과 상기 패턴이 이루는 각도를 비교하여 상기 패턴의 오차를 판단하는, 필름 검사 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 이송 롤러는 기 설정된 정지 구간에 상기 필름의 이송을 멈추고,
상기 검사 비전부는 상기 정지 구간 동안에, 상기 제2 방향, 상기 제1 방향과 상기 제1 방향의 역방향 중 어느 한 방향, 상기 제2 방향의 역방향, 및 상기 제1 방향과 상기 제1 방향의 역방향 중 어느 한 방향의 순서로 한 번 또는 복수의 회수만큼 이동함으로써 상기 촬영 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는, 필름 검사 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 패턴은 쓰루홀(through hole)을 포함하고,
상기 오차 판단부는 상기 가상의 선에 대한 상기 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교하여 상기 오차를 판단하는 것을 특징으로 하는 필름 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 판단된 오차를 상기 필름의 위치에 대응시켜 저장하는 오차 저장부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 검사 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 이송 롤러는
표면에 캐비티(cavity)가 형성되고, 상기 캐비티 내부의 공기가 외부로 배출되는 배출통로를 가지며, 원기둥의 형상을 갖는 고정 부재; 및
상기 고정 부재를 둘러싸고, 흡착공이 천공되며, 상기 고정 부재를 중심으로 회전하고, 속이 빈 원통 형상을 갖는 외통 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 검사 장치.
필름에 레이저빔을 조사하여 상기 필름에 패턴을 형성하는 레이저 헤드;
상기 패턴이 형성된 상기 필름을 제1 방향으로 이송시키는 이송 롤러;
상기 제1 방향을 따라 배열된 복수의 촬영 픽셀들을 갖고, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 상기 필름을 촬영함으로써 촬영 영상을 생성하는 검사 비전부; 및
상기 촬영 영상에 기초하여 상기 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단하는 오차 판단부;를 포함하고,
상기 필름은, 상기 제1 방향을 따라 상기 패턴의 상부에 형성된 상부 기준 패턴과, 상기 제1 방향을 따라 상기 패턴의 하부에 형성된 하부 기준 패턴을 갖고,
상기 검사 비전부의 복수의 촬영 픽셀들은, 상기 제2 방향으로 이동하면서 한 번에 상기 상부 기준 패턴, 상기 패턴 및 상기 하부 기준 패턴을 촬영하고,
상기 촬영 영상은, 한 번에 촬영된 상기 상부 기준 패턴, 상기 패턴 및 상기 하부 기준 패턴을 갖고,
상기 오차 판단부는, 상기 하나의 촬영 영상에 포함된 상기 상부 기준 패턴과 상기 하부 기준 패턴을 잇는 가상의 선과 상기 패턴이 이루는 각도를 비교하여 상기 패턴의 오차를 판단하는, 패턴 형성 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 이송 롤러는 상기 레이저 헤드가 상기 필름에 상기 패턴을 형성하는 정지 구간에 상기 필름의 이송을 멈추고,
상기 검사 비전부는, 상기 정지 구간 동안에, 상기 제2 방향, 상기 제1 방향과 상기 제1 방향의 역방향 중 어느 한 방향, 상기 제2 방향의 역방향, 및 상기 제1 방향과 상기 제1 방향의 역방향 중 어느 한 방향의 순서로 한 번 또는 복수의 회수만큼 이동함으로써 상기 촬영 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 패턴은 쓰루홀을 포함하고,
상기 오차 판단부는 상기 가상의 선에 대한 상기 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교하여 상기 오차를 판단하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 장치.
레이저빔의 조사에 의해 패턴이 형성된 필름을 제1 방향으로 이송시키는 이송 단계;
상기 제1 방향을 따라 배열된 복수의 촬영 픽셀들을 갖는 검사 비전부를 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 이동하면서 상기 필름을 촬영함으로써 촬영 영상을 생성하는 촬영 영상 생성 단계; 및
상기 촬영 영상에 기초하여 상기 필름이 갖는 패턴의 오차를 판단하는 오차 판단 단계;를 포함하고,
상기 필름은, 상기 제1 방향을 따라 상기 패턴의 상부에 형성된 상부 기준 패턴과, 상기 제1 방향을 따라 상기 패턴의 하부에 형성된 하부 기준 패턴을 갖고,
상기 촬영 영상 생성 단계는, 상기 촬영 픽셀들이, 상기 제2 방향으로 이동하면서 한 번에 상기 상부 기준 패턴, 상기 패턴 및 상기 하부 기준 패턴을 촬영하고,
상기 촬영 영상은, 한 번에 촬영된 상기 상부 기준 패턴, 상기 패턴 및 상기 하부 기준 패턴을 갖고,
상기 오차 판단 단계는, 상기 하나의 촬영 영상에 포함된 상기 상부 기준 패턴과 상기 하부 기준 패턴을 잇는 가상의 선과 상기 패턴이 이루는 각도를 비교하여 상기 패턴의 오차를 판단하는, 필름 검사 방법.
제 9 항에 있어서,
상기 이송 단계는, 기 설정된 정지 구간에 상기 필름의 이송을 멈추고,
상기 촬영 영상 생성 단계는, 상기 정지 구간 동안에, 상기 제2 방향, 상기 제1 방향과 상기 제1 방향의 역방향 중 어느 한 방향, 상기 제2 방향의 역방향, 및 상기 제1 방향과 상기 제1 방향의 역방향 중 어느 한 방향의 순서로 한 번 또는 복수의 회수만큼 이동함으로써 상기 촬영 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 필름 검사 방법.
제 9 항에 있어서, 상기 패턴은 쓰루홀을 포함하고,
상기 오차 판단 단계는, 상기 가상의 선에 대한 상기 쓰루홀의 상대적인 위치를 비교하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 검사 방법.