TW593701B - Hardened Fe-Ni alloy for the fabrication of leadframe of integrated circuits and process of fabrication - Google Patents

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Description

593701 A7 -—-2Z_— 五、發明說明（）
I 〔詳細說明〕 「發明所屬之技術領域」 本發明關於一種硬化鐵鎳合金及其製造方法，該合金 I 呈薄帶形式，特別可用於積體電路的導線架或彩色電視陰 | 極射線管的電子槍螢幕。 I 「先前技術」 1 在包含由矽晶片所製的晶體電路的電子元件中，該矽 晶片係粘到格柵上，該格柵亦稱「導線架」（leadframe)，它 係特別用於形成積體電路的接腳中。這些格柵須由一種合 金構成，該合金具有多重性質，使格柵可和矽晶片相容’ 且可在有利條件製造組件。特別是該合金的熱膨脹係數在 熱循環週期時發生明顯的機械應力，此合金要有足夠的機 械強度，使接腳在用自動手段操作時不會變形，但它須足 夠軟，以便藉折曲將接腳成形。此合金同樣地要能夠很容 易切斷（可用化學方式切斷或用機械方式切斷），且要在表 面不易氧化，俾能在有利條件下造成電解質沈積。 一般，該積體電路的導線架要用合金N42®製造，它 是一種Fe-Ni合金，含約41%的鎳。但這種合金有一缺點 ，即其機械強度不足，不能製造設有許多接腳的薄1C的格 柵。這種困難特別對於號稱「四芯平坦封裝」（Quad Flat Pack)的積體電路[其接腳數可達240]或對號稱「薄小外線封 裝」（Thin Small Out Line Pack)[其總厚度爲1mm]尤其明顯 ο 爲了克服這種缺點，以及製造具有許多接腳的薄IC， 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） C請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁'> --------訂 --------一 593701 1 A7 _ B7__ 五、發明說明（） 有人提議使用各種不同之硬化鐵鎳合金，但它們顯示有所 有這些缺點。 例如： —在日本專利申請案特[-04-160112及-04-072037及04-I 099252的發明申請案中，提議用固體溶液及藉锻壓鞏固以 使用該硬化Fe-Ni合金，但這些合金的延展性很差，使它 不易藉折彎而成形； -在日本專利特[公/開/願]平-03-207835、-03-207834及-03-173740，提議使用硬化Fe-Ni合金，它係藉著金屬相 NiBe或r ’或r ”加入元素如Be、Ti、Al、Nb、或Ta而均 勻沈澱造成，但這些合金的缺點爲：和合金N42比起來， 切斷速度變慢，且表面對氧化敏感性加大； -在美專利US5,026,345中，提議使用一種硬化Fe-Ni 合金，它係藉鍛壓Gcrouissage)麻田散鐵成形，但這種合金 的缺點爲延展性弱，且熱膨脹係數比N42高得多； -在歐洲專利申請案EP-0489932主張使用一種硬化合 金，它係藉Ti:、Zi*、Hf、V、Nb或Ta的碳化物沈澱及冷鍛 作壓密（硬結^Consolidation)而造成，但這種合金的缺點爲 表面對氧化敏感性加大，且電解沈積能力變劣。 上述之任何合金都不能充分具有所要之性質，而本發 明的目的在克服此缺點，並提供一種合金，它具有高彈性 度，且比習知之合金更佳地適合製造積體電路的導線架。 爲此，本發明對於此目的提供了一種製造Fe-Ni合金 帶的方法，其化學組成(重量比)包含： 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公愛") ~ "" —·-----------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 A7 ________B7_ — 五、發明說明（) ! 36%^Ni^43% 0%^C〇^3% 0.05%^C^0.4% 0.2%^Cr^l.5% 0.4%^M〇^3% 0%^Cu^3% 0%^Si^0.3% 0%^Mn^0.3% 其餘爲鐵與雜質；此合金的彈性限度(降服強度)Rp〇·2 大於 750MPa，且均一延長 Mallongement r§parti ;英： uniform elongation) 大於5%。最好彈性限度Rp〇.2在800Pa與llOOPa之間 ，且拉伸強度 Rm(dsistance A la traction)在 900MPa 〜 1130MPa 之間。 38.5%^Ni+Co^41% 0.1%^C^0.35% 0.5%^Cr^ 1.2% 1.5%^Mo^2.5% 最好，均一延長Ar大於7%，彈性限度Rp〇.2在800MPa 〜1000M之間，且抗拉伸強度1^在900MPa〜1040MPa之 間。 依此方法，要製造該合金帶，係： ......製造一種合金，其化學組成如以上定義的分析，如有 必要，可在真空(sous vide)下或在電導體熔渣下作再熔融， 6 ----- - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) " " —·------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 A7 ___Β7______ 五、發明說明（)
I 以得到半成品。 ……將此半成品在高於或等於950°C的溫度作熱壓延（1 aminer έ chaud)，以得到一熱合金帶，其厚度在2〜6mm間 ，且宜在3〜5mm間，該熱壓延作業之前，如有必要，可 藉著維持在950它以上以作均化(homogSnSisation)處理；在 ! 延壓後，將合金帶冷却到450°C以下，冷却的速度要足以 丨 避免碳化物沈澱， ……將此熱合金帶冷鍛，做一道或數道5%〜95%的厚度縮 減，這數道厚度縮減（批次通過縮減）互相之間用退火 (recuit)作業(在950°C以上的溫度)相隔開， ……在450°C〜85CTC之間作一道硬化熱處理，此道硬化熱 處理前先作一至少40%的厚度縮減。 如有必要，在硬化熱處理後，做一道補充的冷延壓， 跟著作一道在550°C〜750°C之間復原(restauration)熱處理。 本發明同樣地關於本發明Fe-Ni合金製的金屬帶，且 特別關於一種金屬帶，其厚度大於或等於0.1mm，而均一 延長Ar大於或等於5%。此金屬帶可用於製造積體電路的 導線架，或用於製電子槍的格栅。因此我們可得到一種合 金製的積體電路導線架，其熱膨脹係數在20°C〜300°C間 宜在 4X10·6/。K〜6X10·6/。K 之間。 「實施方式」 茲利用實例詳述本發明如下： 本發明的標的Fe-Ni合金係一種藉鉻與鉬的碳化物沈 澱而得的硬Fe-Ni合金，其化學組成包含如下之成份(重量 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） " ' —------------------訂--------·線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 A7 ___B7 __ 五、發明說明（) 比）： ……鎳，多於36%(且宜多於38.5%)，但少於43%(且宜少 於41%)，此元素可部分地被鈷取代，0%〜3%(鈷的最小含 I 量可等於0%);鎳的含量選設成使其在20Ό〜300t之間在 I 3.5X10·6 〜6.5XUT6 之間。 ……碳，多於0.05%(且宜多於0.1%)，但少於0.4% (且宜 少於0.35%)，俾能藉沈澱形成硬碳化合物，而不會使合 金的熱膨脹係數與延展性變差； ……鉻與鉬，其中鉻多於0.2%(且宜多於0.5%)，但少於 1.5%(且宜少於1·2%):而鉬多於0.4%(且宜多於1.5%)，但 少於1.3%(且宜少於2.5%)，以藉沈澱形成硬碳化合物； Cr+Mo總量限制在4.5%，俾不會使膨脹係數增加太多； .......0%〜3%的銅(最少含量爲0%或爲痕跡量)以改善對腐 蝕及對空氣氧化的抵抗性，這點改善了電解沈積（電鍍） 的能力： ……0%〜0.3%的矽以及0%〜0.3%錳，以確保在冶煉 (Elaboration)時脫氧；這些元素的最小量可爲痕跡量。 此組成物的其餘部分由鐵及冶煉中造成的雜質所構成 〇 本發明一特點在於：此鐵鎳合金的硬化係藉由鉻與碳 化鉬沈澱而造成。 舉例而言，此合金可在電弧爐製造，其中，有一精煉 (affinage)階段，後面跟著一個在加熱盛桶(poche chouffante) 中冶金階段，它同樣地可在真空下在感應爐（four a 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------I I --------訂--I------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5^3701 1 A7 i B7 I _______ ___
I 五、發明說明（) i induction)熔煉。這種製造方式宜進行成可得到高純度，使 S、P、N、及〇的含量爲： S<0.01% 且宜 <0.002% ! P<0.02% 且宜 <0.008% | N<0.01% ! 〇<0.01% 然後將此合金鑄造(couler)成半成品形式，如金屬板 (brame 英：slab)、金屬條（billette)或再熔電極（Electrode de refusion) 〇它同樣地可直接鑄造成厚度小於15 mm(且宜爲厚 度8腿〜12 mm之間）的薄金屬帶形式。 當此合金鑄造成再熔電極形式時，它係在真空（sous vide)或在導電熔渣下再熔解，以得到較佳純度及更均勻的 半成品。 用直接鑄造所得的半成品或薄金屬帶在高於950°C(且 宜高於1050°C，但宜低於1300°C)的溫度作熱延壓，以得 到一種熱合金帶，其厚度約在2〜6腿之間，且宜3〜5腿 之間。延壓的溫度要選設成避免碳化物沈澱及避免合金過 度氧化的情事。熱合金帶的厚度係依最終所作之延壓條件 而選設，俾能造成至少縮減率(taux de induction)大於40% 的厚度縮減(特別是正好在硬化熱處理之前所做者）。 熱延壓前可作一道均化（homogSnSisation)熱處理，其 溫度在950°C〜130(TC間，且宜在l〇5(TC〜1200T：之間。 此道處理可爲時30分到24小時或更久。 在作延壓後，將熱合金帶冷卻到周圍溫度附近的溫度 9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公t ' —.-----------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) $93701 A7 -_ 五、發明說明（） 。冷却作業在延壓的終溫度(它須高於95(rc)& 45〇°C之間 進行的速度須足以避免碳化物形成。在95〇°C與450°C間的 逗留時間宜少於10分鐘’尤其宜少於5分鐘。在延壓後的 冷却作業可在熱延壓作業中達成。它可同樣地由一道快速 淬火(hypertrempe)作業構成。此作業在合金帶加熱後在95〇 °C以上（且宜在1050°C以上)進行，以將可能形成的碳化物 再熔解。 然後將此熱合金帶冷延壓以得到一冷鍛帶。其厚度宜 在50//m〜250//m間，舉例而言在80//m〜150//m間，此 冷延壓作業係用一系列的厚度縮減(從5%〜95%)造成，各 道縮減之間用退火作業(recuit)隔開，其溫度在950°C以上（ 且宜在1050°C以上)以避免碳化物形成，且宜在i2〇〇°c以 下。舉例而言，退火作業係在一通道（連續）爐（f〇ur羡 passage英：tunnel Furnace)中達成，其時間從幾秒到幾分。 此外，在該冷延壓合金帶上作硬化熱處理，此硬化熱 處理作業包含一道或數道在450°C〜850°C之間的維持作業 (長時熱處理）（maintien英：soak)用於藉鉻與鉬的碳化物 沈澱而硬化；可在此冷鍛金屬上以高於40%的冷鍛率實施 ，且隨後可跟著作一道補充的延壓作業，此熱處理可在靜 止（批次）爐進行，在此情況，該維持作業宜在45(TC〜 700°C之間爲時30分到數小時。或在通道爐(four statique) 進行，在此情形，該維持作業宜在700°C以上爲時約10秒 到10分。 當在最終厚度的合金帶上作硬化熱處理時，緊緊位在 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —·----------------- 訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 ! A7 __B7 ___ 五、發明說明（）
I 此硬化熱處理前的厚度縮減作業須爲至少4%且不必跟著一 道在950°C退火的作業。 當以硬化熱處理在大於最終厚度的厚度時進行之時， 厚度縮減（它緊緊在硬化熱處理之前）要爲至少40%，且不 必跟著作950°C以上的退火，且硬化熱處理作業後直接跟 | 著一道補充的冷延壓作業，此道冷延壓作業係要得到最終 厚度所必需者。此補充的冷延壓作業不必包含退火，但它 隨後跟著在550°C〜750T：之間的回復熱處理，其爲時可爲 幾秒到幾分。 利用此方法，得到一冷合金帶，其彈性限度RP。.2大於 750MPa，而均一延長沁大於5%(此均一延長係在拉伸試驗 時，在收縮開始前的延長）。一般，彈性限度Rp〇.2在 800MPa與lOOMPa之間，而抗斷裂的強度（拉伸強度）在 900MPa〜1130MPa之間，尤其是對於較佳組成的範圍，該 破壞拉伸可高於7%，特別是厚度大於或等於 醒)時尤然。此彈性限度可在800MPa與lOOOMPa之間，而 抗斷裂強度在900MPa〜1040MPa之間。 此合金在20°C與20〜300°C間所有溫度T間的熱膨脹 係數在3.5X10·6〜6.5X10·6之間。當鎳的含量在38.5%〜 41%之間時，熱膨脹係數在4X10_V°K〜6Χ1(Τ6/°Κ之間， 而且，它在20°C〜300°C之間變化很少，這點對於積體電 路的導線架乃是一個利點。 如此所得的合金帶可利用於藉行家習知的傳統方法來 製造積體電路的導線架柵或彩色視訊陰極射線管(例如電視 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 A7 _____B7__ j ! 五、發明說明（） 機)用的電子槍。我們可有利地利用該合金帶[其厚度在80 // μιη〜125//m間，其破壞拉伸大於5%(且宜大於7%)]以 製造積體電路。最好，該合金組成選設成使熱膨脹係數在 ： 20Ό〜300T：之間變化儘量小，且保持在4X10_6/°K〜6X10- 6/°κ之間。 在實例中，我們依本發明熔煉合金Α1〜Α12，而依先 行技術熔煉合金Β、C及D(B爲Ν42®，C爲N42Nb，D爲 N42-r 丨）。 這些合金的化學組成(重量％)示於表1中。 這些合金Al、A2及B在電弧爐熔煉；合金A3〜A12 、0及D在真空下在感應爐中熔煉。 這些半成品在l〇5〇°C〜1200°C均化，爲時2〜5小時， 然後在950°C以上作熱延壓，且合金A1〜A12的合金帶從 1050°C溫度起作快速淬火(hypertremper)。 合金A1〜A12的金屬帶依一種延壓系列（gamme de laminage)LA作冷延壓，合金A2同樣地依一種延壓系列LB 作冷延壓。 冷延壓系列LA包含一系列的厚度縮減，各道厚度縮 減之間用再結晶的退火(recuit)作業(在1050°C以上）隔開， 最後一道厚度減縮的縮減率τ :高於40%，跟著在一溫度Ti 作一道硬化熱處理。 冷延壓系列LB包含一個與系列LA相同的第一部分以 及一第二部分，此第二部分由一道補充冷延壓構成，其厚 度縮減率r 2，跟著在一溫度T2作一道回復退火(recuit de 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ---------------------訂---------線 ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 A7 B7 五、發明說明（ restauration)。 合金B與C係依一般系列作延壓，該系列包含一系列 的厚度縮減，各道厚度縮減之間用再結晶退火作業隔開， 且終了的一道厚度縮減的變形率大於10%。合金D依〜系 列作延壓，此系列與系列LA不同處爲在硬化處理前的變 形率爲25%，且硬化處理在750°C爲時2分鐘，以藉r 1相 的沈澱造成硬化。 在所有情形中，合金帶最終厚度都在100/zm〜150 間(0.1 〜0.15 mm間）。 表1
Ni Cr Mo Si Μη C S 其他 A1 37.6 0.78 2.05 0.18 0.19 0.24 0.0010 A2 37.9 0.80 2.07 0.17 0.19 0.24 0.0010 A3 38.8 0.83 2.05 0.15 0.19 0.25 0.0009 A4 39.7 0.81 2.04 0.14 0.19 0.24 0.0008 A5 40.8 0.80 2.03 0.14 0.19 0.23 0.0008 A6 41.7 0.79 2.03 0.15 0.25 0.24 0.0008 A7 37.2 0.93 ^ 2.08 0.15 0.2 0.17 0.0009 A8 37.5 0.82 2.09 0.15 0.2 0.29 0.0009 A9 37.5 0.82 1.7 0.15 0.2 0.24 0.0009 A10 37.4 0.81 2.5 0.15 0.2 0.24 0.0009 All 37.6 0.66 2.09 0.15 0.2 0.24 0.0009 A12 37.5 0.96 2.11 0.15 0.2 0.24 0.0009 B 40.8 - - 0.1 0.45 0.002 0.0005 C 41 - - 0.1 0.4 0.001 0.0005 Nb ： 2 D 41.5 - - 0.1 0.4 0.001 0.0005 Ti ： 2.6 A1 : 2 在合金帶A2上所得的機械特性示於表2中。 此結果特別顯示：在所情形中，均一延長遠大於5%且 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ----- 訂---------# 593701 丨 A7 I B7 i — 五、發明說明（）
I 甚至大於7%，而彈性限度明顯大於750MPa。 在合金Al、A7〜A12及B上所得的機械特性示於表3 中。 我們由這些結果看出，利用本發明的合金，彈性限度 經常大於750MPa，而均一延長遠大於5%，而合金B的均 一延長只在彈性限度小於700MPa時才大於5%。 表2 系列 X 1% IVC時間 r 2% T2°C時間 Rp〇.2(MPa) Rm(MPa) Ar(%) LA 73 700〇 -1.4 分 1013 1090 7.9 LA 73 750。-1.4 分 885 994 10 LA 73 800° -1.4 分 766 922 15 LA 73 700〇 -0.6 分 1024 1100 8.5 LA 73 750° -0.6 分 870 992 12 LA 73 750° -0.3 分 922 1028 10 LA 73 800〇 -0.6 分 778 928 13 LB 70 700〇 -4 分 60 550° -1.4 分 1071 1152 6 LB 70 750。 -4 分 60 650° -1.4 分 1058 1134 7.7 LB 70 800° -4 分 60 700° -1.4 分 1010 1114 9 LB 70 700〇 -4 分 60 550。_1.4 分 1054 1116 7 LB 70 750。-4 分. 60 650° -1.4 分 1006 1098 9.2 LB 70 800〇 -4 分 60 700° -1.4 分 950 1058 9.5 我們同樣地測量在20°C〜100°C之間的平均熱膨脹係 數α2〇1()°，以及在2(TC〜200°C之間的平均熱膨脹係數α2〇2°° 。結果7K於表4及表5中。 此結果特別顯示：熱膨脹係數保持在3.5Χ1(Τ6/°Κ〜 6.5X10_6/°K之間，且至少對於合金A3及Α4，該熱膨脹係 數在2(TC/300°C的範圍中變化很少。 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 丨丨’丨！會--------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 i A7 ; B7 五、發明說明（） 表3 合金 r i% TVC時間 Rp0.2(MPa) Rm(MPa) Ar(%) A1 75 700° -3小時 890 1016 9.5 A1 75 700° _5小時 802 961 11 A7 75 625° -1 小時+700° -3 小時 798 959 11 A8 75 625° -1 小時+700° -3 小時 824 1018 9.5 A9 75 625° -1 小時+700° -3 小時 842 1035 9 A10 75 625° -1 小時+700° -3 小時 814 1048 8.5 All 75 625° -1 小時+700° -3 小時 854 1047 8.5 A12 75 625° -1 小時+700° -3 小時 830 1041 9 B 10 - 460 560 18 B 20 - 580 620 12 B 40 - 680 700 7 B 60 - 740 760 4 B 80 - 820 830 2 表4 系列 合金 r 1% IX°C)時間 Γ2% W)時間 α2〇100 (1〇Υ Κ) ai〇m (ιοΥ κ) LA A2 70 750° -4 分 3.8 4.0 LA A2 70 _〇 -4 分 3.6 3.8 LB A2 70 800〇 -4 分 60 550。-1.4 分 3.2 3.5 LB A2 70 800° -4 分 60 550。_1·4 分 3.5 3.7 LB A2 70 800° -4 分 60 550。_1.4 分 3.5 3.7 LA A3 78 800〇 -5 分 4.6 4.6 LA A4 70 800° -5 分 5.1 5.0 LA A5 75 800° -5 分 5.6 5.5 LA A6 70 800〇 -5 分 6.4 6.3 表5 系列 合金 τι% T《°C)時間 a 2〇100 a 2〇200 LA A7 75 625° -1 小時+700° -3 小時 3.3 LA A8 75 625° -1 小時+700° -3 小時 3.2 LA A9 75 625° -1 小時+700° -3 小時 3.3 LA A10 75 625° -1 小時+700° -3 小時 3.3 LA All 75 625° ·1 小時+700° -3 小時 3.2 15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701
I ί A7 ____B7 五、發明說明（） LA A12 75 625° -1 小時+700° -3 小時 3.4 一般 B 25 625° -1 小時+700° -3 小時 4.3 4.1 我們同樣測量化學侵蝕速度以評估化學切割 (c^coupage)適用能力。此試驗係將合金A2.B與C的樣品浸 入一種酸性溶液 FeCl3/6H2〇·· 500 克/升+HC1，d=1.18 ·· 10ml/升。 此試驗顯示：對於合金A2與合金B，在浸了 8分鐘結 束時，平均侵蝕速度爲約8.2//g/分.mm 2，而對於合金C則 只有 6.7// g/分2。 合金A2與B的機械切斷適用能力係在0.1 mm厚度的合 金帶上比較，一方面測量一種比例h/e，此比例係在帽狀斷 裂（rupture & cupule英：cap fracture)的區域的平均高度h和 合金帶厚度e的比；另一方面測量這種比例的偏差 (dispersion) σ。合金A2係依系列LA以縮減率7： 1=73%作延 壓，並作硬化退火處理，在750°C爲時0.3分，或在800°C 爲時0.3分。 對於合金A2，比例h/e=0.25，而偏差σ=0.06，而對於 合金Β，比例在0.22〜0.31變化，而偏差σ =0.10比例h/e 的平均値與A2相當；而合金A2的偏差σ最，顯示出其機 械性切斷能力比合金Β更好。 最後，比較合金A.B.C及D對氧化的敏感性，測量表 而氧化層的厚度(用奈米nm表示），根據在冷鍛狀態在420 °C在空氣中熱處理的時間與氧化層的關係。 其結果示於表6中。 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " --.-----------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 A7 B7 五、發明說明（ 表6 合金 A2
B
C
D 1% 72 25 17 在420°C—分鐘 51 102 154 126 在420°C三分鐘 103 185 218 167 在420°C十分鐘 310 341 241 此結果顯示：合金A2比用習知技術製的合金更不容 易氧化，這點對於藉電解生保護層的良好能力而言很有利 ，這種能力可由以下護層的護層試驗證實：Sn60-Pb40、前 鎳(ρβ Ni)及完全銀鍍膜(argenture totale)、前鎳與選擇性金 鍍膜(dorure sdective)、前鎳與選擇性銀鍍膜，銅與選擇性 銀鏟膜。在所有适些情形中’結果令人滿意；厚度可控制 。並無鍍層起泡(cloque英：blister)情事，且附著良好。 所有這些結果顯示，本發明之製造積體電路導線架的 能力比先行技術的合金更好。同樣地，此合金很適合製造 陰極射線管的電子槍用的格柵。積體電路的導線架與電子 槍本身係習知之標的。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------訂---------線- 17

Claims (1)

  1. 593701 B8 修正替換本 _?_|个年 六、申請專利範圍 1·一種製造Fe-Ni合金帶的方法，該合金的彈性限度 Rp0.2大於750MPa，而均一延長Ar大於5%，其中： 製造一種合金，其化學組成（重量比.）包含： 36%^Ni^43% 0%^C〇^3% 0.05%^C^0.4% 0.2%^Cr^l.5% 0.4%^M〇^3% 0%^Cu^3% 0%^Si^0.3% 0%^Mn^0.3% 其餘爲鐵與雜質；其中該合金的硬化係藉由鉻與碳化鉬沈 澱而進成， 如有必要，可在真空(sous vide)下或在電導體熔渣下作 再熔融，以得到半成品， 將此半成品在高於或等於950°C的溫度作熱壓延（1 aminer纟chaud)，以得到一熱合金帶，其厚度在2〜6mm間 ，且宜在3〜5mm間，該熱壓延作業之前，如有必要，可 藉著維持在950°C以上以作均化(homogSnSisation)處理；在 延壓後，將合金帶冷却到450°C以下，冷却的速度要足以 避免碳化物沈澱， 將此熱合金帶冷鍛，做一道或數道5%〜95%的厚度縮 減，這數道厚度縮減（批次通過縮減）互相之間用退火 (recuit)作業(在950°C以上的溫度)相隔開， 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ...................!^w^...............訂..................... (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 593701 A8 cBs8 D8 六、申請專利範圍 在450°C〜850°C之間作一道硬化熱處理，此道硬化熱 處理前先作一至少40%的厚度縮減。 2·如申請專利範圍第1項之方法，其中： 在硬化熱處理後，作一道補充之冷延壓，然後跟著在 550°C〜75(TC之間作一道回復熱處理。 3·如申請專利範圍第1或第2項之方法，其中： 該合金的化學組成如下·· 38.5%^Ni+Co^41% .〇.l%^C^0.35% 〇.5%^Cr^ 1.2% 1.5%^Mo^2.5% 0 4·一種合金帶，其係利用申請專利範圍第1項之方法 得到者，其彈性限度1^.2在800MPa〜ll〇〇MPa之間，而抗 拉伸強度Rm在900MPa〜1130MPa之間。 5. 如申請專利範圍第4項之合金帶，其中： 該彈性限度Rpu在800MPa〜lOOOMPa之間，抗拉伸強 度Rm在900MPa與1130MPa之間，而均一延長大於7%。 6. 如申請專利範圍第5項之合金帶，其中： 其厚度大於0.1 mm。 7. 如申請專利範圍第4項之合金帶，其中： 其係用於製造積體電路的導線架或電子槍的格柵‘者。 8. —種積體電路的導線架’其係利用如申請專利範圍 第4項之金屬帶製造者，該合金在20°C〜300°C之間的熱 膨脹係數在4/10_6厂：^〜6\1(^厂1^之間。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) -έ 0. 593701 :588 99 ABCD 六、申請專利範圍 9.一種電子槍的格柵，例如用於彩色電視影像管者 其係用如申請專利範圍第4項之合金帶製造者。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2855185B1 (fr) * 2003-05-21 2006-08-11 Usinor Fil metallique en alliage fe-ni ayant une grande resistance mecanique et un faible coefficient de dilatation thermique, pour cables haute tension, et procede de fabrication
FR2877678B1 (fr) 2004-11-05 2006-12-08 Imphy Alloys Sa Bande d'alliage fer-nickel pour la fabrication de grilles support de circuits integres
CN102127652B (zh) * 2011-03-03 2015-06-17 重庆仪表材料研究所 一种超因瓦合金超纯电渣重熔方法
JP6388925B2 (ja) 2013-06-07 2018-09-12 ファオデーエム メタルズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＶＤＭ Ｍｅｔａｌｓ ＧｍｂＨ 金属箔の製造方法
SI3004409T1 (sl) * 2013-06-07 2017-11-30 Vdm Metals International Gmbh Postopek za izdelavo kovinske folije
US9070392B1 (en) 2014-12-16 2015-06-30 Hutchinson Technology Incorporated Piezoelectric disk drive suspension motors having plated stiffeners
WO2017003782A1 (en) 2015-06-30 2017-01-05 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive head suspension structures having improved gold-dielectric joint reliability
CN114107838A (zh) * 2020-09-01 2022-03-01 宝武特种冶金有限公司 一种高强度因瓦合金线材及其制造方法
CN112143977A (zh) * 2020-09-14 2020-12-29 中国科学院金属研究所 一种高强低膨胀合金丝材及其制备方法
CN114959513B (zh) * 2022-06-23 2023-09-26 昆明理工大学 一种原位自生M3B2/FeNi合金及其制备方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57110659A (en) * 1980-12-26 1982-07-09 Sumitomo Electric Ind Ltd Zinc plated, high strength and low expansion alloy wire and its manufacture
DE3636815A1 (de) * 1985-11-12 1987-05-14 Nippon Mining Co Schattenmaske und verfahren zur herstellung von schattenmasken
JPH0668128B2 (ja) * 1988-03-31 1994-08-31 新日本製鐵株式会社 シャドウマスク用のＦｅ−Ｎｉ合金板の製造方法
CA1319589C (en) * 1988-08-19 1993-06-29 Masaomi Tsuda Method of producing fe-ni series alloys having improved effect for restraining streaks during etching
JPH0215153A (ja) * 1989-05-01 1990-01-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 亜鉛めっき高強度低膨張合金線の製造方法
JP3000154B2 (ja) * 1990-10-23 2000-01-17 日鉱金属株式会社 リードフレーム材の製造方法
JPH04120251A (ja) * 1990-09-11 1992-04-21 Nippon Steel Corp シャドウマスク用素材およびその製造方法
JPH04231418A (ja) * 1990-12-27 1992-08-20 Nikko Kyodo Co Ltd リードフレーム材の製造方法
JP2742732B2 (ja) * 1991-02-13 1998-04-22 住友特殊金属株式会社 リードフレーム用高強度封着合金及びその製造方法
EP0561120B1 (en) * 1992-01-24 1996-06-12 Nkk Corporation Thin Fe-Ni alloy sheet for shadow mask and method for manufacturing thereof
JPH08100242A (ja) * 1994-09-30 1996-04-16 Hitachi Metals Ltd 高強度高靭性低熱膨張合金線およびその製造方法
TW389794B (en) * 1995-01-23 2000-05-11 Daido Steel Co Ltd High strength, low thermal expansion alloy wire and method of making the wire
JPH09176797A (ja) * 1995-12-27 1997-07-08 Nikko Kinzoku Kk シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ系合金素材およびそれから作製したシャドウマスク
FR2745298B1 (fr) * 1996-02-27 1998-04-24 Imphy Sa Alliage fer-nickel et bande laminee a froid a texture cubique
FR2795431B1 (fr) * 1999-06-22 2001-12-07 Imphy Ugine Precision Dispositif de masquage pour tube cathodique de visualisation en couleur a ecran plat, du type comprenant un cadre support pour masque d'ombre tendu et masque d'ombre tendu

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