TW564334B - Method of production control - Google Patents

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564334 A7 __ B7 _ 五、發明説明（1 ) <發明所屬技術領域> (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種生產管理方法，特別是關於一種適 用於液晶顯示裝置之薄膜電晶體（TFT)基板之製造之生產 管理方法。 <習知之技術> 計算用以防止裝置之長時停止影響到其他程序之安全 規模數以實現及時生產之生產管理方法，已由本案申請人 之曰本專利申請案（特開2000-263388號公報(以下稱文獻1)) 提出。按該生產管理方法說明一種生產線管理之方法，即： 提出一種多數裝置處理多數程序時之一般的安全規模數的 計算方法，在發生裝置停止之程序後確保安全規模數，且 在事前準備與安全規模數同數之空棚，不受裝置停止的影 響者。 另外，由本案申請人所提出之曰本專利申請案（特案

I 2000- 085434號（以下稱文獻2))，提供一種在一般藉裝置之 共用化可以相互授受能力之程序群中使用之生產管理方 法。按該生產管理方法，首先求得對此等程序群之各程序 的產品處理能力之必要產品處理數之比率之負載率，作為 中曰程生產計畫對象之全運轉期間中相對於各程序累積能 力之各程序累積生產安排之比率。其次，使於負載率在程 序群之各程序中約略相等之狀態下，計算各裝置之各程序 下之最優使用比率。並使處於前述蓮轉期間之各裝置之各 程序下之使用比率約略等於前述最優使用比率之狀態下， 訂定各程序之處理安排。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚） -4 -

I 564334 A7 B7 五、發明説明（2 ) 另外，被稱作TOC之生產改善手法之基本的生產管理 方法，係將規模集中在隘路程序與出貨前程序，並於其他 之程序保持充分之保護能力之方法。 <本發明之課題> 首先，文獻1中所提供之方法仍有一問題，即，在於可 能發生裝置之長時停止之全部程序上設定安全規模時，因 規模增加，而使全生產線之安排次數（步驟）增加者。 另外，文獻2中所提供之方法，係可在於一般藉裝置之 共用化可以相互授受能力之程序群中，對於形成中日程生 產計晝對象之全運轉期間謀求程序群之各程序間之負載之 平準化。但仍然無法決定全生產線上步驟之管理方法及規 模之設定方法，無法充分的執行按期交貨管理。 又，如液晶顯示裝置上使用之TFT基板的生產線般， 在投資效率必須最大化之生產線由於I1 益路程序的能力與其 他程序之能力相當接近，很難具有足夠的保護能力。又， 發生裝置計晝性長時停止或突發性的長時停止之程序較 多，易使隘路程序依狀況移動，也有一問題存在，即，只 是事先預翱隘路程序，集中管理規模時，很難使生產線之 產量達到最大化者。 進一步，習知並沒有提出一種生產管理方法或規模之 管理方法，即，就在不同之幾個程序可共用化之裝置，其 中1個程序為隘路程序或限制程序（依狀況有可能形成隘路 之程序）時，積極製作裝置之共用關係，以由其他程序挪用 於隘路程序或限制程序者。同樣的也未提供一種可藉裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •、v泛· 564334 — A7 B7 五、發明説明（3 ) 之共用關係可做相互收授能力之程序群成為隘路程序或限 制程序時之生產管理方法與規模的管理方法。 本發明之目的係於提供一種生產管理方法，在使裝置 群於程序群'中共用時在該程序群上確保前程序之停止下之 最大產量，進而，在包含如此程序群之全生產線上確保最 大之產能，且可預測步驟，使其最小化者。 <解決課題的手段> 在隘路程序或限制程序與其他程序或程序群之間，可 以裝置共用化的場合，藉在程序間或程序群間製作裝置之 共用關係，形成可以將能力由剩餘之某程序旋轉至隘路程 序或限制程序，可以改善作為生產線全體之生產能力。 而且按此製作藉裝置之共用關係而可做相互能力收授 之程序群，且求得相對於此等程序群之各程序的產品處理 能力之必要產品處理數之比率之負載率，作為對在形成中 日程生產計晝對象之運轉期間全體下之各程序的累積能力 之各程序之累積生產安排之比率。使其負載率在程序群之 各程序約略相等之狀態下，計算相對於各裝置之各程序之

I 丨最優使用比率。並藉使處於全運轉期間内之各裝置之各程 I 序之使用比率約略等於最優使用比率之狀態下訂定各程序 丨 之處理安排，使各程序之負載在生產計晝之對象期間變成 | 相等，且使負載在程序群之間均等化，改善隘路程序或限 I 制程序之能力。 丨 以此，可共用化之裝置在於不同幾個之程序，其一程 序為隘路程序或限制程序，其他程序為能力上有剩餘時， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） -6 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · |564334— A7 B7 五、發明説明（4 ) 可積極製作裝置之共用關係，將能力由其他程序挪用到隘 路程序或限制程序上，並以最優方式管理此等程序群之各 程序的處理安排。同樣的，藉裝置之共用關係而可做相互 能力收授之程序群形成隘路程序或限制程序時，亦可以上 述方法作成此等程序群之各程序之最優的處理安排。 進而，藉裝置之共用關係而可做能力收授之程序群形 成隘路程序或限制程序時，可如下設定該程序群之適當規 模，將產量最大化，且將步驟適當化。 即，在處理順序上以接近投入口之順序開始，令該程 序群為程序pn(n= 1，2,…，i— l，i···)，將程序pi之前一規模作 成等於在程序p(i — 1)與程序pi間之程序中，相對於與定期 維修或附帶作業所引起之停止時間相對應之安全規模數最 多之程序pj之安全規模和程序pi之基本規模之和。該規模 係設定在以裝置共用關係可將能力收受之該工程群下之全 I 程序上。 然後，當前述程序群為隘路程序時，係將等於與生產 線上因突發故障所造成之停止時間相對應之安全規模最多 之程序的安全規模之規模，加到前述程序群之任一程序之 前一規模。從而，該程序之規模係形成：與前一程序之定 期維修或附帶作業相對應之安全規模及基本規模，加上因 突發故障所造成之停止時之安全規模的總和。 又，前述程序群為限制程序，除了這些以外之程序群 具有隘路程序時，由該隘路靠投入口側之程序中，將等於 對應因突發故障之停止時間之安全規模最多之程序之安全 閲· 讀 背 面· 之 注 意 事 項 ： 再癱：mWi 寫（; 本'; 頁 ： 訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 7 564334 A7 __ B7 _ 五、發明説明（5 ) 規模之規模與前述隘路程序之基本規模之和，作為前述隘 路程序之適當規模。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 按此，首先，對於定期維修與附帶作業等之例行的裝 置之長時停止，前述的程序群不受影響，可以確保平準化 之處理。 另一方面，發生突發障礙時，前述程序群為隘路程序 時，即使無論在哪裡發生突發障礙，在發生有障礙之程序 後，在屬前述程序群之最初之程序上發生產品等待時，由 於隸屬於前述程序群之各程序間可做相互能力收授，所以 可將能力挪到相對於生產線上突發之最長停止設定有安全 規模之程序上，且可防止在隘路程序之裝置上衍生損失。 然後，修復障礙後，再次將利用裝置之共用關係而挪用之 能力漸進地返回發生產品等待之程序，可以恢復前述程序 群之各程序之累積處理之平衡。

I <發明的實施形態> 採用第1圖至第4圖說明本發明一實施形態之生產管理 方法。 依本實施形態之生產管理方法，係可於隘路程序或限 制程序與另一程序或程序群間進行裝置共用化時，藉程序 間或程序群間製造裝置之共用關係，可由剩餘之某程序將 能力挪用到隘路程序或限制程序。 1 首先，在其一部分包含隘路程序或限制程序，並藉隘 丨 路程序或限制程序與另一程序間之裝置之共用關係而做相 互能力收授之程序群中，求得各程序之負載率，在中曰程 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 564334 A7 B7 五、發明説明（6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 生產計晝之對象之全運轉期間下，作為相對於各程序之累 積能力之前述各程序之累積生產安排之比率。負載率係指 對各程序的產品處理能力之各程序之必要產品處理數之比 丨率。 i 其次，計算對於裝置之各程序之最優使用比率，使各 I 程序之負載率約略相等。並使運轉期間内之各裝置之各程 I 序下之使用比率與業經算出之最優使用比率約略相等之 下，訂定各程序之處理安排。如此，將處於生產計晝之對 丨象期間中之各程序間之負載均等化，可改善隘路程序或限 I 制程序的能力。

I I 隘路程序係指：各程序展現如計晝所示之能力時，，規 限全生產線之產量者。限制程序係指：依條件而規限全生 1 產線之產量者。例如以1個月之間可能發生之裝置的最長停 I 止預測時間管理生產線能力時，在統計上以3個月一次之次 ； 1 1 數可能發生之生產線能力之管理外之設備的長時間停止的 發生等情況則為條件。 即使在多數之隘路程序或限制程序之間藉裝置之共用 ! 關係而可相互做能力收授之程序群中，亦可以上述之方法 ! 進行生產管理。 訂定形成隘路程序或限制程序之程序群之各程序之處 丨 理安排後，該程序群以外之程序之規模超過基本規模時， ί 在能力範圍内進行最大限的處理，規模若為基本規模以内 、 的話則訂定程序之處理安排，使其進行平準化之處理。所 謂平準化之處理係指：使運轉期間之每運轉日下之各程序 本紙張尺度埤用中國國家標準（CNS) Α4規格U10 X 297公釐） 564334 ^ 乂..............—-------------士 ---------- --------------------------------------- --------------- A7 __B7__ 五、發明説明（7 ) : 的負載率等於中曰程生產計晝對象之全運轉期間之負載 率，對於處理各程序之裝置的維修行程及附帶作業行程， 訂定有各程序之每一天的處理安排時之處理安排數之處 丨 理。， 藉裝置之共用關係而可做相互能力收授之程序群成為 隘路程序或限制程序時，將該程序群之適當規模設定如 下。首先，處理順序由接近投入口之順序開始，令該程序 群為程序pn(n= 1，2,…，i— l，i，…）。程序pi之前一規模為程 I 序p(i — 1)與程序pi間之程序，並等於對應於因定期維修或 附帶作業所造成之停止時間之安全規模（以下稱對於維修 | 停止之安全規模最多之程序pj之安全規模與程序pi之基本 l· 規模之和。該前一規模被設定於以裝置之共用關係而可做 能力收授能力之該程序群之全程序。 安全規模係指：在某程序停止裝置1台時，在裝置停止 1 中，由在該程序需要處理之基板數減去實際可以處理之基 板數之值。該值係相當於在裝置停止中在後程序上不足之 基板數。基本規模係指：在該程序無裝置停止時，處理1 I 天目標數時所需最低限度之基板數。 I 其次，程序群之各程序為生產線全體之隘路程序時， ί 將等於因全程序中之突發故障所造成之停止之安全規模 I (以下稱為對於突發停止之安全規模）最多之程序的安全規 ! 模之規模加於程序群之任一程序之前一規模。從而，該程 ! 序之規模形成對於前面程序之維修停止之安全規模與基本 規模、及對於突發停止之安全規模的總和。該任一程序係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公發） -10 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ·、?τ— 564334 A7 B7 五、發明説明（8 ) 指：任何1個之程序均可，也可分散設定於程序群之多數或 全部程序上。分散設定時，並不一定要固定對各程序之分 配，也可在總和一定時因應狀況使分配變化。 該程序群為限制程序，在程序群以外有形成隘路之程 序時，將位於由該隘路程序靠投入口側之程序，等於對於 突發停止之安全規模最多之程序之安全規模之規模，與p益 路程序之基本規模之和作為隘路程序之適當規模。 又，假設來自程序pj之前一程序之每日的接受數已於 中曰程生產計晝之對象期間内作平準化，且程序pj之裝置 換算成安全規模數最多，從而，進入受停止時間之影響最 大之停止前的規模等於程序pj之基本規模，由以處理程序 pj之各裝置之維修及附帶作業安排之行事曆為基礎而訂定 之程序pj之每日處理安排計算規模變遷。其次，假設與該 程序pj之每曰處理安排相同之數目形成程序pi之每日接受 數，且程序pj之裝置換算成安全規模之數最多，從而”進 入受停止時間.影響最大之停止前之程序pi的規模等於對於 程序pj之裝置停止之安全規模數與程序pi之基本規模之 i 和，由程序pi之每曰處理安排計算程序pi之規模變遷。按 丨此，對前述程序群之全部程序計算程序pi與程序pj之規 模，將該規模變遷設定為程序pi與程序pj之適當規模。 丨 以上述之方法計算程序pi與程序pj之適當規模後，假 丨 設另一程序之適當規模等於各程序之基本規模，對於生產 ! 線之全程序設定適當規模。其次，合計生產線之全程序之 適當規模，求得生產線之通當總規模。然後，使實際的生 11 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 564334 A7 —------ -B7 _ 五、發明説明（9 ) 產線之總規模等於該適當總規模下，管理生產線全體之出 貨數與投入數。進而，依狀況而在生產線之總規模與適當 μ規模之間發生偏差時，使生產線之總規模盡快等於適當 總規模，並調整出貨數及投入數。 藉上述之方法管理生產線之總規模，且預測步驟（總規 模τ每日平均出貨數），作成生產計晝，管理按時交貨。 另外’藉裝置之共用關係而可做相互能力收授之程序 群之程序pi形成ρ益路程序，並為該程序群以外之程序，由 私序pi罪出貨口側且由程序p(i +丨）靠投入口側之任一程 序’因裝置之長時間停止等之故障引起處理不足時，貝將 由於程序pi靠出貨口側之程序之產品待機所引起之處理量 降低而成剩餘之能力劃分到程序pi或由程序“靠投入口側 之程序群之各程序，以防止程序群之總能力的損失。按此， 銷除突發停止下之安全規模，減少總規模，並縮短步驟。 I _ 此時，為使由程序Pi靠投入口側之程序群之各程序的處理 1增加，在生產線之總規模設置一定之容許上限，使總規 模收斂於該範圍内，容許增加來自一定期間投入口之產品 投入量。 總規模之容許上限係如下訂定者，即，將該容許上限 與正常時候之總規模之差除以程序群之由程序“靠出貨口 側之程序數之值成為其等程序群之平均處理能力與僅次於 其等程序群成為隘路之程序（準隘路程序）之處理能力之每 月能力之差。在突發故障修復後，將劃分到程序？丨或由程 序pi靠投入口側之程序群之各程序之能力回歸到由程序“ -12 56^334 A7 _B7__ 五、發明説明（l〇 ) 靠出貨口側之程序群之各程序，使增加由前述程序pi靠出 . 貨口側之各程序的處理量，使出貨量較投入量增加。藉此， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以使在容許上限範圍内增加之總規模減少到常態的總規模 為止。 又，藉裝置之共用關係而可做相互能力收授之程序群 之程序pn(n=l，2,…，i，i+l，···）形成隘路程序時，通常時候 令於程序pi之前程序上所設定之對於維修停止之安全規模 為0，將程序p 1之前一程序設為只有基本規模。當程序p 1 與投入口間之程序的裝置之維修停止預定日接近時，使一 定期間投入量增加，確保相當於對於維修停止之安全規模 之規模。在此，一定期間係指將程序pi之前程序上所設定 之對於維修停止之安全規模除以其等程序群之日平均處理 安排數與由程序Ρ1靠投入口側之各程序中能力最小之程序 的曰平均處理能力之差後得到之天數。 I _ 進而，藉裝置之共用關係而可做相互能力收授之程序 群之程序pn(n=l，2,…，i，i+l，···）形成隘路程序時，通常時 候係令於程序pi之前一程序上設定之安全規模為（程序pi之 原來之安全規模）一（程序p(i+ 1)之原來之安全規模）（惟形 成負時為0)，且令程序pi之前一規模只有基本規模。 僅於接近程序pi與程序p(i — 1)間之程序上所使用之裝 置的維修停止預定曰時，減少第1 一定期間程序pi之處理 量，將該剩餘處理能力劃分到程序pj，碟保對於維修停止 之安全規模。在維修日以後之第2—定期間再度使程序pj 之處理量減少，將其剩餘處理能力劃分到程序pi，進行程 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） -13 - 564334 A7 B7 五、發明説明（11 ) 序pi之回復。在此，第1一定期間係指：將程序pi之前一安 全規模除以由程序pi以一天單位可轉到程序pj之處理能力 後得到之值。又，第2—定期間係指由於程序pi與程序〆i 一 1)之間發生有維修停止之程序開始將維修時所積壓之規 模送入程序pi為止所需要之日數。 該生產管理方法係於下列情形下成立，即，挪用程序 Pi之能力之程序pj的安全規模比程序pi之原來的安全規模 與程序p(i+ 1)之安全規模之中較小一方之規模還多者。程 序Pj的安全規模較少時，通常將程序pi之前設定之安全規 模為（程序pi之原來的安全規模）—（程序pj的安全規模）即 可。 又，藉使程序pj與下一程序pi使用共通之儲藏庫或保 管棚，可有效率的設定保管空間。也就是，在程序pj之裝 置有長時間停止時，增加程序pj的規模而減少程序pi的規 模，在長時間停止後將程序pj的裝置運轉到最大，令規模 移到程序pi之後，增加程序pi的規模且減少程序“的規模。 其結果，程序pi與程序pj的規模之合計形成約略一定之狀 態，可經常有效的利用保管棚。 【實施例】 以下，具體使用實施例說明本生產管理方法。 〔實施例1〕 在生產線上之程序由程序1、2、…、19之19個程序形 成之生產線中，程序2、5、8、11、14、17之6個程序藉農 置之共用關係，成為可做相互能力收授之程序群之程序

554334— 五、發明説明（l2 P”裝置A、B、c係可處理程序2及程序8，裝置D可處理5 及處理U，裝置E為程序5及程序14，裝置㈣只有程序5， 裝置G可處理程序11及程序14，裝置Η則只有程序14’裝置 I、 卜〖分別可處理程序8及程序17。此時，程序2、58、 II、 ，17之程序群係藉裝置之共用而可將能力由程序群 之任意程序交給任意程序。這是因為各程序間藉裝置之共 用而連結成如鎖鏈之圈而致者。 第1⑷(b)圖為一表，顯示藉裝置之共用關係而可做相 互能f收授之程序群中之負載率及各裝置之最優使用比率 之計算例者。程序名之攔係表示在各程序使用之裝置，例 如2(#A)係表示在程序2使用之裝置Αβ各裝置處理多數種 2零組件時’裝置處理1枚基板時所需時間之生產節拍有可 能_類而有不同，在第1⑷圖中將不同2個種類之生產節 拍每種以生產節拍tl(sec)、t2(sec)來表示。在此將加重 平均生產即拍稱作理論時間H(sec)，定義為η=ς(每種生 產卽拍Χ每種處理安排數）/Σ(每種處理安排數）。在此，每 種處理安排數係指將在形成中日程生產計晝對象之運轉期 間内所設定之每種的安排數換算成曰程表平準化之安排數 而求得’在第l(a)圖中以生產比率PI、Ρ2。即為： Η= Σ (tk · Pk) /Σ Pk 八人，考慮其裝置在處理每一定枚數依需一定時間之 附帶作業而停止，將附帶時間w(sec)定義為w=(依附帶作 業之裝置停止時間）/(由附帶作業後之運轉開始到依下次 之附帶作業停止之處理基板數）。在本實施例中，令w = 本紙張尺細中(CNS) Α4» (210X297^) -15 窝 本 頁 訂 [564334 j Ί A7 _____B7 I 五、發明説明（13 )

I I 5·0。在此，各裝置處理基板1枚所需平均時間為H+W(sec)。 | .而且’在各裝置之各程序上最大限度使用時之能力之 最大曰平均處理能力（產量（枚/日）），係可以（24><60><60><(可 動率）x(實際運轉率）)來計算。可動率係裝置緣故而使裝置 停止之時間比例，通常是以1個月程度之期間内累積運轉時 間下之累積可動時間的比率求得。在本實施例中，裝置H 之可動率為95.0%，其他裝置可動率=90.0%。另外，實際 運轉率係在可動時間中裝置實際處理產品的時間比率，同 樣的是以1個月程度之期間内對於累積可動時間之累積產 。口處理時間的比率求得。在本實施例中，裝置Η之實際運 轉率= 95.0%，其他裝置之實際運轉率二卯^^^可動率父 實際運轉率一般稱作運轉率。 其次，對於各裝置之各程序之日平均處理能力（處理枚 數（枚/日）），係以（最大日平均處理能力）χ(將裝置使用於該 程序之比率（裝置使用比率））算出。各程序丨的日;平均處理安 排數Ni(枚/日）則為：

Ni= Σ Nij (Nij爲對於各裝置j之各程序i之日平均處理安排數）， 在本實施例中，以全部之程序i，Ni==1〇〇〇。對於在形成 中日程生產計晝對象之運轉期間全體下之各程序丨的累積 忐力之各程序的累積生產安排的比率之負載率Li，係以 Ni/(各程序i的日平均處理能力）表示。 第l(a)(b)圖所示之表係使各程序之負載率相等下為設 定裝置使用比率時開發之工具。即，就每一程序下合計相

五、發明説明（w ) 對於各震置之各程序之曰平均處理能力後所求得之各程序 之日平均處理能力在各程序上相等時，使負載率Li在各程 序上相等。為使各程序的負載率㈣成相等之裝置使用比 率Rij(最優像用比率），係、使用如第1⑻、⑻圖所示之表， 可用線形計晝法、分級測試法等求得。如第i(b)所示設定 裝置使用比率Rij時，使各程序的負載率u相等，該程序群 為f益路程序時，可將生產線全體之產量最大化。此外，在 裝置E之程序5與程序14中之裝置使用比率的合計不為⑼ =由係於以實驗等的目的而使用在產品處理以外者。在本 實施例，各程序之曰平均處理能力為1〇31枚程度，相對於 曰平均處理安排數奶為1000枚/日之中曰程生 負載率_為97%。 又，該程序群不是隘路程序而為限制程序時，在各程 序上可u又疋均等之備用度，進行生產線全體的圓滑運用。 在本實施例中，日行程之各程序的處理安排數係可以 下式計算，即，令處理其程序之各裝置之某日的維修預定 時間為S(sec)，又令以月平均來看之平均故障停止時間為 U(sec)時， 該曰之處理安排數((24x60x60—S — U) X (裝置使 用比率 Rij) / (Η+W)) 第2(a)、（b)圖係表，顯示在沒有裝置之共用關係下各 程序的曰平均處理能力之計算例。如第2(a)、（…圖所示， 在該例中程序11的日平均處理能力為737枚，此成為生產線 全體之產量。日平均處理安排數Ni對於1〇〇〇枚/日之中曰程 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐) '7 17 564334 A7 B7 五、發明説明（15 ) 生產計晝下之負載率Li變成136%，處於完全處理不足之狀 •態。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔實施例2〕 第3圖一用以顯示實施例1中生產線的適當規模設定與 步驟計算之例之表。隸屬於藉裝置之共用關而可做相互收 授能力之程序群之各程序2、5、8、11、14、17之前一個程 序1、4、7、10、13、16(程序pj)為：在程序群之各程序間 因裝置之定期維修或附帶作業而停止（以下稱維修停止）， 時間最長之程序。最長之停止時間與裝置台數、各裝置之 曰平均處理能力係如第3圖所示。為了簡單表示，在各程序 中之多數台裝置在能力上及維修停止時間上是相同者。 對於程序1、4、7、10、13、16之各程序的維修停止， 應於程序2、5、8、11、14、17之各程序之前面設定之安全 規模（枚）係如下式所示·· i 1 對於維修停止之安全規模=Ni X (維修停止時間）/ 24 一 Σ(對於停止之裝置以外的各裝置之其程序之日平均處 理能力）X (維修停止時間）/24 =(Ni— Σ (對於停止之裝置以外的各裝置之其程序之 曰平均處理能力））X (維修停止時間）/ 24 在程序1、4、7、10、13、16之任一程序發生裝置之維 修停止時，在維修結束時在其程序之前積存相當安全規模 之規模。處理該規模後到規模降低到本來之基本規模為止 之恢復期間（.日）係如下式所示··

恢復期間=(安全規模）/(裝置之日平均處理能力）X 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚） _ 18 - 564334 A7 -^. ________B7 五、發明説明（16 ) ! (裝置台數）一 Ni : ^，程序卜^、…⑴狀各料的平均規模 I (枚)係如下式所示: | 平均規模=(基本規模）+ ((對於維修停止之安全規模） x (恢復期間）/2)/(停止間隔） 並將其值設定為適當規模。 ·; I 其次，程序2、5、8、11、丨4、17之程序群之各程序的 適當規模，係設定在基本規模上加上對於前一程序的維修 ! 停止之安全規模。又，其他程序之適當規模係設定基本規 j 模。將以上所設定之適當規模在第3圖中顯示為適當規模 I 1。在本實施例中將基本規模作為200枚。 卜 而且，程序2、5、8、11、14、17為隘路程序時，在對 I 於最長突發停止之安全規模中，將最多規模（在本實施例中 I 為程序7之1667牧)加算於該程序群之任一程序(在本實施 例為程序8)的適當規模上。在此，對於最長突發停止之安 全規模，係使用統計上算出之最長突發停止時間，如下式 所示者，即： ί 對於最長突發停止之安全規模=Ni X (最長突發停止 時間）/ 24 — Σ((對於停止之裝置以外的各裝置之其程序之 ； 日平均處理能力）X (最長突發停止時間）/ 24) ί =Ni — Σ(對於停止之裝置以外的各裝置之其程序之 I 日平均處理能力））X (最長突發停止時間）/ 24 在第3圖.中顯示有以上設定之適當規模作為適當規模 2，同時表示合計各程序之適當規模2後求得之生產線之麴 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) M規格（210X 297公爱） 19 ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

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AV B7 五、發明説明（17 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 規模、及以（生產線之總規模）/Ni求得適當步驟。將總規模 作為約9500枚，進行投入與出貨基板數相等數目之基板數 之管理，維持日平均出貨數1000，可以安定維持步驟9.5 天。 第4圖為一圖表，顯示著藉裝置之共用關係而可做相互 能力收授之程序群以外之程序為隘路程序時之生產線的適 當規模設定與步驟計算之例。第4圖中，具有較藉裝置之共 用關係而可做相互能力收授之程序群之各程序的日平均處 理能力（1031牧/日）還小之程序的曰平均處理能力（1011牧/ 日）之程序10為隘路程序。程序10之適當規模2係用以於最 長突發停止之安全規模（1667枚）加算於程序10之適當規模 1而求得。此時之生產線的總規模變成9800枚，步驟變為9.8 曰。 〔實施例3〕 其次，針對第3圖所示之藉裝置的共用關係而可做相互 ; 能力收授之程序群形成隘路程序時，銷除對於突發停止之 安全規模（程序7之1667枚）之例加以說明。程序8之適當規 模為1242枚，總規模形成約7800枚。從而，常態下之步驟 I 可以縮短為7.8日。 I 在該生產線中，考慮在程序7發生有因突發故障所造成 I 之長時間停止之情況。令停止最長突發停止時間為40小時 丨時，則該期間程序8具有處理1667枚的能力。即，使用完對 於維修停止之安全規模與基本規模的合計之適當規模之 1242牧，進一步，產生有因425牧量之產品等待所發生之處 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -20 - B7 五、發明説明（i8 ) 理能力之過剩。增加程序2的處理以吸收該過剩處理能力。 其次，程序7的裝置恢復之後，將程序2的處理能力再回復 到已減少處理之程序8，進行恢復。進而，在程序7之前面 由於積壓有1667枚量之規模，所以有必要回復。程序7的剩 餘能力（=(程序之曰平均處理能力）— Ni)為150枚/日，以約 U曰期間消解程序8之425枚之剩餘處理能力，同時恢復安 全規模1242枚。 〔實施例4〕 其次，處於實施例3所說明之對於突發停止之安全規模 (程序7之1667牧）之情況，進而銷除在程序群的各程序之 中，對於最接近投入口之程序之對於停止維修之安全規模 (程序1之500枚）之例加以說明。程序2之適當規模變成2〇〇 枚，總規模變成約7300枚。從而，常態下之步驟可以縮短 成7.3日。 * t 接近程序1之裝置維修時，增加程序1的處理量，在程 序2之前面有必要確保500枚的安全規模。程序1之處理能力 之剩餘，係程序之曰平均處理能力（1200枚/日）與曰平均處 理安排數Ni(l〇〇〇枚/日）之差之200枚/日。程序1之處理量自 維修之2.5日前開始增加至1200枚/日時，則在維修時可確 保程序2之安全規模500枚。此時之總規模為7800枚’但自 維修結束後2.5曰期間將程序1之處理量減少至800枚/曰’ 則可將總規模回復到7300枚。此時，月平均之總規模變成 7342牧，月平均的步驟變成7.34曰。 〔實施例5〕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4规格（210X297公爱） -21 - 1564334 j A7 B7 五、發明説明（19 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，針對處於銷除實施例3說明之對於突發停止之安 全規模（程序7之1667枚）、且銷除實施例4說明之對於最接 近投入口之程·序之停止維修之安全規模（程序1的500枚）之 ί 情形，進而對於程序群中之程序1的維修停止之安全規模 I (217枚）之例加以說明。程序11之適當規模變為200牧，總 I . - 規模變成約7100枚。從而，常態下之步驟可以縮短至7.1 曰。 i ! ί 接近程序10之裝置維修時，減少程序11的處理量，將

1 I I 剩餘處理能力劃分至程序8，使程序8的處理量增加，在維 i 修前程序11之前面有必要確保217枚之安全規模。此時程序 ! I 14以消耗對於程序14本身之維修停止之安全規模469枚，以 1 · 卜免於受程序11的處理量低於217枚的影響。為使能進行如此 丨 之生產管理，由工程10之維修日起在a日前對於程序8上積 壓有對於維修停止之安全規模，且由程序10的維修日起迄

I ! 至b日後之間；程序7必須沒有進行維修。 依本實施形態之生產管理方法，可適用於管理或構建 包含有用光蝕法作為圖案形成方法之加工線之生產線之情 況。特別是，可適用於藉裝置之共用關係而可做相互能力 I 收授之程序群為光阻之圖案形成程序之生產線之形態上。 又，依本實施形態之生產管理方法，可適用於管理、 構建在多數之程序使用共通之裝置之TFT基板與濾色器 ! (CF)基板等之平板顯示器（FPD)用基板或半導體裝置之製 ! 造生產線之時。 依以上說明之實施形態之生產管理方法可歸納如下。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公楚） -22 - 564334 A7 B7 五、發明説明（20 ) (付記1) 一種生產管理方法，其特徵在於：係在於一部分含有 隘路程序或限制程序，且藉裝置之共用關係使於前述隘路 程序或限制程序與另一程序間相互可作能力收授之程序群 中， 求出前述程序群中對於各程序之產品處理能力之前述 各程序之必要產品處理數之比率之負載率，作為中曰程生 產計晝之對象之處於運轉期間整體上相對於前述各程序之 累積能力下之前述各程序之累積生產安排之比率， 使前述各程序之負載率約略相等之狀態下，計算對於 前述裝置之各程序上之最優使用比率， 使處於前述運轉期間之前述各裝置之各程序下之使用 比率與前述最優使用比率約略相等之狀態下，訂定前述各 程序之處理安排，： 並使處於生產計晝之對象期間中之前述各程序間之負 載約略均等化。 (付記2) 一種生產管理方法，係在於多數隘路程序或限制程序 間藉裝置之共用關係而可相互作能力收授之程序群中， 求出前述程序群中對於各程序之產品處理能力之前述 各程序之必要產品處理數之比率之負載率，作為中日程生 產計畫之對象之處於運轉期間整體上相對於前述各程序之 累積能力下之前述各程序之累積生產安排之比率， 使前述各程序之負載率約略相等之狀態下，計算對於 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -23 - 564334 A7 _；________ B7 五、發明説明（21 ) 前述裝置之各程序上之最優使用比率， 1 使處於前述運轉期間之前述各裝置之各程序下之使用 擎…： (請先閲讀背®-之注意事項再填寫本頁) 比率與前述最優使用比率約略相等之狀態下，訂定前述各 程序之處理安排， 並使處於生產計畫之對象期間中之前述各程序間之負 載約略均等化。 (付記3) 一種生產管理方法，於付記2之生產管理方法中，於訂 定前述各程序之處理安排後， 在於前述程序群以外之程序的規模超過基本規模時， 在能力範圍内進行約略最大限度之處理，而在前述規模在 於前述基本規模内時，則訂定前述程序群以外之程序的處 i 理安排，以進行平準化之處理。 (付記4) . ·. . ，， 一種生產管理方法，係於多數隘路程序或限制程序間 藉裝置之共用關係而可作相互收授能力之程序群巾， .以處理順序靠近投入口開始，令前述程序群之各程序 I 為程序pn(n= 1，2，…，i— 1，i，i+ 1，…）； 丨前述程序pi之前一規模係指位於前述程序p(i_ 1}與々 丨 述程序pi間之程序，且作成約略等於針對與定期維修或附 I 帶作業所產生之停止時間相對應之安全規模最多之程序pj i 下之安全規模與前述程序pi之基本規模之和者。 (付記5) 一種生產管理方法，於付記4之生產管理方法中，兮浐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -24 564334 A7 B7 五、發明説明（22 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 序群之各程序為隘路程序時，將與全程序中與因突發故障 所產生之停止時間相對應之安全規模最多之程序的安全規 模約略相等之規模加算至前述程序群中之任一程序的前一 規模者。 (付記6) 一種生產管理方法，於付記5之生產管理方法中，將前 述規模分散加算至前述程序群之任一多數程序之前一規模 者。 (付記7) 一種生產管理方法，於付記5或6之生產管理方法中， 一面將前述程序群之程序之前一規模保持在約略一定的總 合下一面使其變動者。 (付記8) 一種生產管理方法，於付記4之生產管理方法中，令前 述程序群之各程序為限制程序，且前述程序群以#之程序 為隘路程序時，將和與由前述隘路程序靠投入口側之程序 中因突發故障所造成之停止時間相對應之安全規模最多之 程序之安金規模約略相等之規模及前述隘路程序群之基本 | 規模之和，作為前述隘路程序之適當規模。 (付記9) | 種生產管理方法，於付記4之生產管理方法中，假設 丨 . 來自前述程序pj之前一程序的每日接收數在中日程生產計 晝之對象期間内已經平準化，且前述程序pj的裝置的安全 規模最多，從而，受到停止時間之影響最大且進入停止前 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公爱） -25 - 564334 A7 B7五、發明説明（23 ) 之規模等於前述程序pj之基本規模時，由以處理前述程序 pj之各裝置之維修及附帶作業安排之日程為基礎所訂定之 前述程序pj之每日處理安排，計算出前述程序pj之規模可 遞性， 並假設與前述程序pj之每日處理安排相同之數目形成 前述程序pj之每日接收數，且前述程序pj之裝置換算成安 全規模之數目最多，從而，受到停止時間之影響最大進入 停止之前一程序p i的規模等於對於前述程序pj的裝置停止 之安全規模數與前述程序pi之基本規模之和時，由前述程 序pi之每曰處理安排計算前述程序pi之規模可遞性， 對於前述程序群之全程序計算前述程序pi與前述程序 pj之規模，將前述規模可遞性之平均規模設定為前述程序 pi與前述程序pj之適當規模。 (付記10) 一種生產管理方法，於付記9之生產管理方法中，在計 算前述程序pi與前述程序pj之適當規模之後，將其他程序 之適當規模假設等於前述其他程序之基本規模，對於生產 線之全程序設定適當規模； 對於前述全程序合計適當規模後，訂定前述生產線之 適當總規模； 管理前述生產線全體之出貨數與投入數，使前述生產 線之總規模與前述適當總規模約略相等。 (付記11) 一種生產管理方法，係於付記10之生產管理方法中， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 26 564334 A7 _______B7__ 五、發明説明（24 ) 當前述生產線之總規模與前述適當總規模之間發生偏 差時，調整前述出貨數與前述投入數，以使前述偏差減少 者。 (付記12) 一種生產管理方法，係於付記9、⑺及丨丨中任一項之生 產管理方法中， 管理前述生產線之總規模，並由前述生產線的總規模 預測進行生產計晝的作成與按期交貨的管理。 (付記13) 一種生產管理方法，係於付記4之生產管理方法中， 處於前述程序群以外之程序，在由前述程序“靠出貨 口側且由前述程序P(i +丨）靠投入口側中任一程序上因裝 置之長時間停止等之故障而發生處理不足時，將由於前述 程序pi靠出貨口側之前述程序群之產品等待所造成之處理 量減少而形成剩餘的能力劃分至前述程序pi或由前述程序 pi靠投入口側之前述程序群之各程序，以防止前述工程群 之總處理能力的損失。 (付記14) 一種生產管理方法，係於付記13之生產管理方法中， 為使由前述程序pi靠投入口側之前述程序群之各程序 的處理量增加，在生產線之總規模設置一定之容許上限， 使則述總規模收斂於前述容許上限之範圍内之下，增加來 自一定期間投入口之產品投入量。 (付記15) 本紙張尺度適用,_家標準（哪）A4規格⑽幻赃爱) 27 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •、可| 564334 A7 B7 五、發明説明（25 ) 一種生產管理方法，係於付記14之生產管理方法中， 前述容許上限係由下列方式訂定，即：由前述容許上 限減去正常狀態下之總規模後之差之規模量除以由前述程 序群之程序pi靠出貨口側之程序數後之值，形成前述程序 群之平均能力與僅次於前述程序群形成準障礙之程序的能 力間之月平均之能力差； 而，使將在前述容許上限内增加之前述總規模挪用於 前述程序pi或由前述程序pi靠投入口側之前述程序群之各 程序上有故障時之能力量，在故障復舊後藉由前述程序pi I 回到出貨口側之前述程序群之各程序，使由前述程序pi之 [ i 出貨口側之各程序的處理量增加，使出貨比投入增加，使 i ! * 1 其減少到正常時的規模數為止。 | (付記16) I 一種生產管理方法，在付記4之生產管理方法中，

I ' 令於前述程序pi之前設定之安全規模在通常時為0,且 令前述程序pi之前一規模在通常下為基本規模， 僅在接近前述程序pi與投入口間之程序的裝置維修停 丨 止安排日時，增加一定期間投入，確保對於維修停止之安 ! 全規模。 ! (付記17) 1 一種生產管理方法，於付記16之生產管理方法中’ i 前述一定期間，係以由前述程序pi靠投入口側之各程 序中能力最小之程序之日平均處理能力與日平均處理安排 數之差，除以於前述程序pi之前設定之安全規模之日數。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -28 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

•、可I 564334 A7 __B7 _ 五、發明説明（26 ) ； (付記18) I 一種生產管理方法，係於付記4之生產管理方法中， 前述程序pj之安全規模比前述程序pi之原先的安全規 模與前述程序p(i+ 1)的安全規模中較少之一方的規模還 j 多時， 將前述程序群中前述程序pi之前設定之通常時之安全 ： 規模，作為前述程序pi之原先的安全規模與前述程序p(i + 1)的安全規模之差（但是變成負時為0)，則將通常時之前一 規模作為只有基本規模； 僅在接近前述程序p(i — 1)與前述程序pi間之程序的裝 置維修停止安排曰時，使第1一定期間減少前述程序pi的處 \ 理量，且將剩餘處理能力劃分到前述程序pj，確保對於維 修停止之安全規模； 在維修曰以後之第2—定期間再度減少前述程序p(i — 1)的處理量，將該剩餘處理能力劃分到前述程序pj，進行 前述程序pi之回復。 (付記19) j 一種生產管理方法，係於付記18之生產管理方法中； I 前述第1 一定期間，係將由前述程序pi開始以一天為單 位劃分到前述程序pj之前述剩餘處理能力，除以前述程序 丨 pi之前一安全規模後所得之值。 | (付記20) 一種生產管理方法，係於付記18或19之生產管理方法 t； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公楚） -29 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、可I 564334—一 ..一——' ‘ ……… .............................................——…— Λ7 _B7__ 五、發明説明（27 ) 前述第2—定期間，係由前述程序p(i — 1)與前述pi間發 生裝置維修之程序開始將在前述維修時積壓之規模送進到 前述程序pi時所需之天數。 (付記21) 一種生產管理方法，係於付記4之生產管理方法中； 前述程序pj之安全規模，比前述程序pi之原先的安全 規模與前述程序p(i+ 1)的安全規模中較少之一方規模還 少時； 丨令前述程序群中前述程序pi之前設定之通常時的安全 規模，作為前述程序pi之原先的安全規模與前述程序pj的 安全規模之差（但是變成負時為0)，且將通常時之前一規模 | 為只有基本規模； 僅在接近前述程序pi與前述程序p(i— 1)間之程序的裝 置維修停ΙιΒ安潴旧時，第1 一定期間減少前述程序pi的處理 I _ 量，將其剩餘處理能力劃分到前述程序pj，確保對於維修 停止之安全規模； 丨 在維修日以後之第2 —定期間再度使前述程序pj的處 ! 理量減少，將其剩餘處理能力劃分到前述程序pi，進行前 述程序pi之回復。 j (付記22) I 一種生產管理方法，係於付記4之生產管理方法中； ί 使前述程序pi與前述程序pj之合計規模約略一定之狀 ! 態下，前述程序pi及前述程序pj使用共通的儲藏室或保管 架，以於前述pj上使用之裝置處於長時間停止時增加前述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公楚） .30 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .、可丨

I yppr . . ~ A -' 7W ^ ' * -- -------— - - · - ·· --...·-- —----- ------------.- 一知·.·、.、.·. v — -.-. ----------- ----- - - · ·· ...... .....—_· . .., ·..·.· n ·» 外________—________________.....-.- 564334 I · A7 B7 五、發明説明（28 ) ! 程序pj之規模並減少前述pi之規模， ! · 在長時間停止後在前述程序pj上使用之裝置運轉到最 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、 大，將規模移動到前述程序pi後，增加前述程序pi之規模， | 且減少前述程序pj之規模。

I | (付記23) 一種生產管理方法，係於付記1至22中任一生產管理方 法中； 前述藉裝置之共用關係而可做相互能々收授之程序群 為光蝕法之圖案形成程序群。 (付記24) 一種平板顯示用基板或半導體裝置之製造方法，其特 I ' 徵在於：在多數程序中使用有共通裝置之平板顯示用基板 I 或半導體裝置之製造方法中，係使用付記1至23中任一生產 管理方法。 i _ (付記25) 一種TFT基板之製造方法，其特徵在於：在於基板上 配置成矩陣狀之多數畫素之每一像素上形成TFT之TFT基 板之製造方法中，係使用付記1至23中任一項之生產管理方 丨 法。 I <發明的效果> ! ! 如以上所述，依本發明可得到以下的效果。 | (1)在於隘路程序或限制程序與另一程序或程序群間 可施行裝置共用化時，於程序間或程序群間製作裝置之共 用關係，由有餘力之程序向隘路程序或限制程序傳遞能 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 564334 A7 —_B7 _ 五、發明説明（29 ) 力，俾改善生產線全體之產量時，可訂定裝置之最優處理 安排，且設定生產線之適當規模。又，以此為基礎進行生 產線管理，可以適當配號確保最大之產量。 (2) 同樣藉裝置之共用關係而可做相互收授能力之程 序群形成隘路程序或限制程序時，以上述的方法作成此等 程序群之各程序之最優處理安排，設定生產線之適當規 模，以此為基礎進行生產線管理，可以適當配號確保最大 的產量。 (3) 液晶顯示裝置之TFT基板的生產線等為必須將投資 效率最大化之生產線，但隘路程序與其他程序之能力接近 時，則難以充分地備有保護能力。另外，由於引發裝置計 晝性的長時間停止及突發性的長時間停止之日程很多，所 以隘路將依狀況容易移動，不只很難事先預測隘路來集中 管理規模，也難以使生產線之產量達到最大化。按本發明， I 先藉裝置之共用化而將隘路程序或限制程序分散於程序 群，即可將相對於使用於程序群以外之其他程序之裝置之 長時間停止之安全規模分散於程序群之各程序中，並加以 確保之，或集中於程序群之特定程序後加以確保者。使得 在程序間因收授能力，使程序群之其他程序規模不足時， 可令其程序之處理能力依序於確保有規模之程序上傳遞而 被吸收，可進行柔軟性極高之生產線管理。 (4) 將本發明用於實際的生產線上時，結果可以縮短備 號約20%，並可以改善產量。 如以上所述，按本發明，令裝置群在程序群中共用， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210 X 297公釐） -32 - 564334 A7 B7五、發明説明（3〇 ) 改善隘路程序或限制程序之能力時，在該程序群確保對於 前程序之停止之最優安全規模，進一步在包含該如此程序 群之生產線全體確保最大之產量，而且可以預測備號，並 使之最小化。 <圖面的簡單說明> 第l(a)-l(b)圖係用以說明本發明一實施形態之實施例 1之生產管理方法之表。 第2(a)-2(b)圖係用以說明本發明一實施形態之實施例 1 1之生產管理方法之表。 第3圖係用以說明本發明一實施形態之實施例2之生產 i * | 管理方法之表。 卜 第4圖係用以說明本發明一實施形態之實施例2之生產 管理方法之表。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、'll— 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 33

Claims (1)

1. 564334- 申請專利範圍 曰 第90122146號申請案申請專利範圍修正本 92年8月15 1. 2. 一種生產管理方法，係在於一部分含有隘路程序或限制 程序，且藉裝置之共用關係使於前述隘路程序或限制程 序與另一程序間相互可作能力收授之·程序群中， 求出前述程序群中對於各程序之產品處理能力之 前述各程序之必要產品處理數之比率之負載率，作為中 曰程生產計畫之對象之處於運轉期間整體上相對於前 述各程序之累積能力下之前述各程序之累積生產安排 之比率， 使前述各程序之負載率約略相等之狀態下，計算對 於前述裝置之各程序上之最優使用比率， 使處於前述運轉期間之前述各裝置之各程序下之 使用比率與前述最優使用比率約略相等之狀態下，訂定 前述各程序之處理安排， 並使處於生產計畫之對象期間中之前述各程序 之負載約略均等化。 一種生產管理方法，係在於多數隘路程序或限制程序間 藉裝置之共用關係而可相互作能力收授之程序群中， 求出前述程序群中對於各程序之產品處理能力之 月’J述各程序之必要產品處理數之比率之負載率，作為中 日程生產計畫之對象之處於運轉期間整體上相對於前 述各程序之累積能力下之前述各程序之累積生產安排 之比率， 使前述各程序之負載率約略相等之狀態下，計算對 本紙張尺度適用中0國水標羊（CNS ) A4規彳各（2】〇χ297公楚） ABCD 564334 六、申請專利範圍 於前述裝置之各程序上之最優使用比率， 使處於前述運轉期間之前述各裝置之各程序下之 使用比率與前述最優使用比率約略相等之狀態下，訂定 前述各程序之處理安排， 並使處於生產計晝之對象期間中之前述各程序間 之負載約略均等化。 3·如申請專利範圍第2項之生產管理方法，其係於訂定前 述各程序之處理安排後， 在於前述程序群以外之程序的規模超過基本規模 時，在能力範圍内進行約略最大限度之處理，而在前述 規模在於前述基本規模内時，則訂定前述程序群以外之 程序的處理安排’以進行平準化之處理。 4· 一種生產管理方法，係於多數隘路程序或限制程序間藉 裝置之共用關係而可作相互收授能力之程序群中， 以處理順序靠近投入口開始，令前述程序群之各程 序為程序卩11(11=1，2，〜，卜1，1，1+1，"〇; 前述程序pi之前一規模係指位於前述程序^丨一 ” 與别述程序pi間之程序，且作成約略等於針對與定期維 修或附帶作業所產生之停止時間相對應之安全規模最 多之程序pj下之安全規模與前述程序pi之基本規模之 和者。 5·如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中該程序群 之各程序為隘路程序時，將與全程序中與因突發故障所 產生之停止時間相對應之安全規模最多之程序的安全 規模約略相等之規模加算至前述程序群中之任一程序 ^氏張尺度朝相醇群（CNS) A4· (21QX297公幻------- 35 AS B8 C8 '^^----- M _ ^' — 的前一規模者。 6.如申請專利範圍第5項之生產管理方法，其中將前述規 模分散加算至前述程序群之任一多數程序之前—規模 者。 、 7·如申請專利範圍第5項之生產管理方备，其中—面將前 述程序群之程序之前一規模保持在約略一定的總合下 一面使其變動者。 8·如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中令前述程 序群之各程序為限制程序，且前述程序群以外之程序為 隘路程序時，將和與由前述隘路程序靠投入口側之程序 中因突發故障所造成之停止時間相對應之安全規模最 多之程序之安全規模約略相等之規模及前述隘路程序 群之基本規模之和，作為前述隘路程序之適當規模。 9·如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中假設來自 則述程序pj之前一程序的每日接收數在中曰程生產計 畫之對象期間内已經平準化，且前述程序pj的裝置的安 全規模最多，從而，受到停止時間之影響最大且進入停 止前之規模等於前述程序Pj之基本規模時，由以處理前 述程序pj之各裝置之維修及附帶作業安排之曰程為基 礎所訂定之前述程序pj之每日處理安排，計算出前述程 序pj之規模可遞性， 並假設與前述程序pj之每日處理安排相同之數目 形成前述程序pj之每日接收數，且前述程序幻之裝置換 算成：ic全規模之數目最多，從而，受到停止時間之影響 最大進入停止之前一程序pi的規模等於對於前述程序 本紙張尺度適用中國國家標準 (CNS) A4規格（210乂297公楚） A8 B8 C8

   564334 六、申請專利範圍 Pj的裝置停止之安全規模數與前述程序pi之基本規模 之和時，由前述程序pi之每日處理安排計算前述程序“ 之規模可遞性， 對於前述程序群之全程序計算前述程序pi與前述 程序pj之規模，將前述規模可遞性之半均規模設定為前 述程序pi與前述程序pj之適當規模。 10·如申請專利範圍第9項之生產管理方法，其中在計算前 述程序pi與前述程序pj之適當規模之後，將其他程序之 適當規模假設等於前述其他程序之基本規模，對於生產 線之全程序設定適當規模； 對於前述全程序合計適當規模後，訂定前述生產線 之適當總規模； 管理前述生產線全體之出貨數與投入數，使前述生 產線之總規模與前述適當總規模約略相等。 11 ·如申請專利範圍第10項之生產管理方法，其中當前述 生產線之總規模與前述適當總規模之間發生偏差時，調 整前述出貨數與前述投入數，以使前述偏差減少者。 如申請專利範圍第9項之生產管理方法，其中管理前述 生產線之總規模，並由前述生產線的總規模預測進行生 產計晝的作成與按期交貨的管理。 13.如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中處於前述 程序群以外之程序，在由前述程序pi靠出貨口側且由前 述程序p(i + 1)靠投入口側中任一程序上因裝置之長時 間停止等之故障而發生處理不足時，將由於前述程序pi 靠出貨口側之前述程序群之產品等待所造成之處理量 37 564334 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 減少而形成剩餘的能㈣》至前述程序pi或由前述程 序Pi靠投入口側之前述程序群之各程序，以防止前述工 程群之總處理能力的損失。 14·如申請專利範圍第13項之生產管理方法，其中為使由 前述程序pi靠投入口側之前述程序群之各程序的處理 量增加，在生產線之總規模設置一定之容許上限，使前 述總規模收斂於前述容許上限之範圍内之下，增加來自 一定期間投入口之產品投入量。 15.如申請專利範圍第14項之生產管理方法，其中前述容 許上限係由下列方式訂定，即：由前述容許上限減去正 常狀態下之總規模後之差之規模量除以由前述程序群 之程序pi靠出貨Π侧之程序數後之值，形成前述程序群 之平均能力與僅次於前述程序群形成準障礙之程序的 能力間之月平均之能力差； 而，使將在前述容許上限内增加之前述總規模挪用 於前述程序pi或由前述程序pi#投入口側之前述程序 群之各程序上有故障時之能力f，在故障復舊後藉由前 述程序pi回到出貨口側之前述程序群之各程序，使由前 述程序pi之出貨口側之各程序的處理量增加，使出貨比 投入增加，使其減少到正常時的規模數為止。 16·如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中令於前述 程序P1之前設定之安全規模在通常時為〇，且令前述程 序Pi之前一規模在通常下為基本規模，僅在接近前述程 序pi與投入口間之程序的裝置維修停止安排日時，增加 一定期間投入，確保對於維修停止之安全規模。 =⑽巾關 ⑵ _97涵-----

   564334 六、申請專利範圍 17·如申請專利範圍第16項之生產管理方法，其中前述一 定期間，係以由前述程序pi靠投入口側之各程序中能力 最小之程序之日平均處理能力與日平均處理安排數之 差’除以於前述程序pi之前設定之安全規模之日數。 18·如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中前述程序 PJ·之安全規模比前述程序pi之原先的安全規模與前述 程序p(i+l)的安全規模中較少之一方的規模還多時， 將前述程序群中前述程序pi之前設定之通常時之 安全規模，作為前述程序pi之原先的安全規模與前述程 序p(i+l)的安全規模之差（但是變成負時為〇)，則將通 常時之前一規模作為只有基本規模； 僅在接近前述程序P(i— 1)與前述程序扣間之程序 的裝置維修停止安排日時，使第丨一定期間減少前述程 序Pi的處理量，且將剩餘處理能力劃分到前述程序pj， 確保對於維修停止之安全規模； 在維修日以後之第2 —定期間再度減少前述程序 PG—I)的處理量，將該剩餘處理能力劃分到前述程序 Pj，進行前述程序pi之回復。 19·如申請專利範圍第18項之生產管理方法，其中前述第工 一疋期間，係將由前述程序pi開始以一天為單位劃分到 前述程序pj之前述剩餘處理能力，除以前述程序“之前 一安全規模後所得之值。 2〇·如申請專利範圍第19項之生產管理方法，其中前述第2 一定期間，係由前述程序p(i —丨）與前述pi間發生裝置維 U之程序開始將在前述維修時積壓之規模送進到前述 本紙張尺度朝+ _g^NS) Α4· (ΞΤ()χ297公楚)_ 39 564334 A8 B8 C8 D8 ' ―― .........- 1 - 六、申請專利範圍 程序pi時所需之天數。 21 ·如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中前述程序 Pj之安全規模，比前述程序pi之原先的安全規模與前述 程序p(i+l)的安全規模中較少之一方規模還少時； 令刖述程序群中前述程序pi之前設定之通常時的 安全規模，作為前述程序pi之原先的安全規模與前述程 序pj的安全規模之差（但是變成負時為0)，且將通常時 之前一規模為只有基本規模； 僅在接近前述程序pi與前述程序P(i — 之程序 的裝置維修停止安排日時，第丨一定期間減少前述程序 pi的處理量，將其剩餘處理能力劃分到前述程序幻，確 保對於維修停止之安全規模； 在維修日以後之第2—定期間再度使前述程序pj的 處理量減少，將其剩餘處理能力劃分到前述程序“，進 行前述程序pi之回復。 22·如申請專利範圍第4項之生產管理方法，其中使前述程 序pi與前述程序pj之合計規模約略一定之狀態下，前述 程序pi及前述程序pj使用共通的儲藏室或保管架，以於 前述pj上使用之裝置處於長時間停止時增加前述程序 Pj之規模並減少前述pi之規模， 在長時間停止後在前述程序pj上使用之裝置運轉 到最大，將規模移動到前述程序y後，增加前述程序# 之規模，且減少前述程序pj之規模。 23·如申請專利範圍第丨項之生產管理方法，其中前述藉裝 置之共用關係而可做相互能力收授之程序群為光蝕法 本紙張尺度通用中國國家標準（CMS) A4規格（210X297公楚） 40 564334 A8 B8 C8 D8

   六、申請專利範圍 之圖案形成程序群。 24· —種平板顯示用基板或半導體裝置之製造方法，其特 徵在於：在多數程序中使用有共通裝置之平板顯示用基 板或半導體裝置之製造方法中，係使用申請專利範圍 第1項之生產管理方法。 25· —種TFT基板之製造方法，其特徵在於：在於基板上 配置成矩陣狀之多數畫素之每一像素上形成TFT之TFT 基板之製造方法中，係使用申請專利範圍第丨項之生產 管理方法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格U10X297公釐） -41 τ