JPH11282923A

JPH11282923A - 循環型製造プロセス日程計画方法

Info

Publication number: JPH11282923A
Application number: JP8728098A
Authority: JP
Inventors: Masayasu Miki; 昌康三木; Hiroshi Saito; 博志斉藤; Fumiaki Suzuki; 文章鈴木; Koichi Matsui; 恒一松井; Tomohito Nakada; 智仁中田; Hiroshi Imai; 弘志今井; Seiji Ishibashi; 誠治石橋
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1998-03-31
Filing date: 1998-03-31
Publication date: 1999-10-15

Abstract

(57)【要約】【課題】計算量が少なくて済み、また、プロダクトミ
クスの変動への対応ができる、循環型製造プロセス日程
計画方法を得る。【解決手段】日程計画入力情報から、品種・工程ごと
の処理すべき概略量である基準処理量を算出し、次に、
この基準処理量と最新の日程計画入力情報から、品種・
工程ごとの処理すべき量である生産数量を算出し、この
生産数量を製造ラインに生産指示する。これにより、日
程計画における計算量を削減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば半導体ウ
エハ、液晶ディスプレイパネル、プラズマＣＲＴなど、
循環型の製造フローを持つプロセスにおける日程計画方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶ディスプレイパネ
ル、プラズマＣＲＴなどの電子デバイス部品の製造は、
酸化膜や金属膜を形成する成膜工程、写真現像の原理を
用いてレジストパターンを焼き付ける写真工程、化学処
理によって不要な部分を除去するエッチング工程（化学
処理工程）、不純物を注入することにより膜の特性を変
化させるイオン注入工程などいろいろな製造工程を繰り
返しながら、多層構造のデバイスを形成する。すなわ
ち、図２６のａ）に示すように、同一設備を繰り返し利
用する「循環型の製造フロー」となる。

【０００３】変動する顧客の要求納期に適切に答える生
産を行うためには、生産の遅れ進みを適切に把握するこ
とが必要不可欠である。しかし、このような循環型製造
フローを持つ工場では、図２６のｂ）に示すようなライ
ン型の製造フローに比べて各工程の遅れ進みをビジブル
に把握することが困難である。そのため、後工程の設備
能力以上に前工程が生産することによる過剰な仕掛や、
前工程の供給不足による後工程設備の非稼動が発生し、
製造工期の長期化や設備稼動率の低下による生産能力の
減少などの問題が発生しやすい。

【０００４】これらの問題点を解決するには、製造ライ
ン全体の仕掛状態や設備の稼動状況を捕らえて、各工程
に対し適切な指示を行う日程計画（スケジューリング）
システムが必要である。日程計画における従来技術とし
て以下の方式があげられる。１）一括スケジューリング方式これは、オペレーションズリサーチの手法を用いて、考
えられる日程の候補の中で、設備稼働率を上げ、工期を
短くするための評価関数を最大にする日程を求める手法
である。以下に評価関数の一例をあげる。Ｆ＝Ａ×設備稼動率＋Ｂ×（１÷工期）ただし、Ａ、Ｂは重み付け係数２）仕掛管理方式（かんばん方式）各工程の間の仕掛量に上限や下限などの基準値を設け
て、下限値を下回った場合には前工程が生産し、上限値
を上回った場合に前工程の生産を停止する。このよう
に、各工程間の仕掛量を適性に保つことによって、前工
程の作り過ぎや、前工程の供給不足による後工程の設備
稼動率低下を防ぐものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術の問題点と
して以下のことがあげられる。問題１）一括スケジューリング方式の問題点 → 計算
量が大きい。図２７に循環型製造プロセス日程計画の問題構造を示
す。入力として生産計画や現在の仕掛状態などがあげら
れる。日程計画は、品種ごとの製造フローや装置の能力
を考慮しながら、品種・工程ごとの毎日の生産数量を決
定する問題である。循環型の製造プロセスでは、例えば
成膜装置群など同種類の装置を繰り返し使用するため、
図中の工程１、工程４、工程７、工程１０の生産数量
は、成膜装置の能力限度から相互に関連することとな
る。すなわち、工程１を増やせば、工程４、工程７、工
程１０の生産が減ることになる。一方で、前後する工程
の生産数量も相互に関連を持つ。例えば、工程２が多く
生産しているのに工程３の生産が少ないと、この差は局
所的な仕掛の山を作ることになる。つまり、品種・工程
ごとの生産数量を決定する際には、同種設備を使用する
工程間の相互依存関係、前後工程の相互依存関係を考慮
する必要がある。一括スケジューリング方式で解を求め
る場合は、すべての工程と装置（図２７の場合、工程数
３６、装置数９）を対象として、組み合わせ問題を解く
必要が生じる。

【０００６】現実の製造ラインでは、問題の規模はさら
に大きなものとなる。問題規模の例として、半導体ウエ
ハプロセスの例をあげる。工程数数百／品種品種数数十から数百仕掛数数百から数千（ライン内に滞留するロットの
数）装置数数百ただし、ここでロットとは、製造される物のかたまりの
単位である。このような大規模ラインにおいては一括ス
ケジューリング方式で、現実的な時間で実用解を求める
ことが著しく困難となる。

【０００７】問題２）仕掛管理方式の問題点 → 品種
別の生産量の変動（プロダクトミクスの変動）や装置構
成の変動に対応できない。ネックとなる装置や工程では仕掛を多く持たないと、生
産ロスが発生するため、仕掛管理における仕掛基準値も
ネック工程やネック装置では大きく、その他の工程では
小さく設定する必要がある。しかし、循環型製造プロセ
ス生産では、同種装置を繰り返し使用するため、生産量
の変動や装置構成の変動により、ネック装置・工程も変
動し、あらかじめどの装置・工程がネックになるかを判
別することが困難である場合が多い。そのため、仕掛管
理における基準値の設定が困難であり、品種別の生産量
や装置構成の変化にしたがって、あらかじめ決定した仕
掛基準では適切に機能しない場合が生じる。

【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、計画のための計算量が少なくて
済み、また、プロダクトミクスの変動への対応が可能
で、製造装置の稼働率を向上させながら、仕掛を抑制
し、製造工期を短縮できる日程計画方法を得ることを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る循環型製造プロセス日程計画方法は、日程計画の生成
処理時点を指令する第１のステップ、生産計画情報と製
造フロー情報と目標工期情報と仕掛情報と生産能力情報
からなる日程計画入力情報から、品種・工程ごとの処理
すべき概略量である基準処理量を算出する第２のステッ
プ、基準処理量と、最新の日程計画入力情報から、装置
群別に、品種・工程ごとの処理すべき量である生産数量
を算出する第３のステップ、および生産数量を製造ライ
ンに対して生産指示する第４のステップを有するもので
ある。

【００１０】さらに、請求項２に係る循環型製造プロセ
ス日程計画方法は、請求項１のものにおいて、基準処理
量と日程計画入力情報から品種・工程ごとの適正仕掛を
算出し、その適正仕掛情報と基準処理量を用いて、第３
のステップで日程計画入力情報の変動に対応した生産数
量の算出を行うものである。また、請求項３に係る循環
型製造プロセス日程計画方法は、請求項１のものにおい
て、品種・工程ごとの基準処理量と、予め入力された装
置限定情報から装置負荷予測を行い、その負荷予測量を
生産能力と照合して負荷率の高い装置または工程を選定
し、この選定した装置または工程に限定して第３のステ
ップで生産数量の計算を行うものである。また、請求項
４に係る循環型製造プロセス日程計画方法は、請求項１
のものにおいて、生産数量と生産実績情報から、進捗管
理情報を生成して提示するものである。

【００１１】また、請求項５に係る循環型製造プロセス
日程計画方法は、請求項１のものにおいて、自動化装置
または自動化搬送装置を有する製造ラインを対象とし、
自動化装置または自動化搬送装置からの指示要求信号に
より、第３のステップで算出した生産数量と、生産実績
情報と、最新の仕掛情報から、自動化装置または自動化
搬送装置の制御を行う制御情報を生成するものである。
また、請求項６に係る循環型製造プロセス日程計画方法
は、請求項１のものにおいて、自動化装置または自動化
搬送装置を有する製造ラインを対象とし、自動化装置ま
たは自動化搬送装置からライン状況情報を受け取って日
程計画入力情報に変換するものである。

【００１２】また、請求項７に係る循環型製造プロセス
日程計画方法は、請求項１のものにおいて、日程計画入
力情報と、第３のステップで算出した生産数量および生
産実績情報に基づき、品種・工程ごとの目標達成度のば
らつきを平準化するように生産順序情報を生成し、製造
ラインに対して生産順序を指示するものである。さら
に、請求項８に係る循環型製造プロセス日程計画方法
は、請求項７のものにおいて、日程計画入力情報と、第
３のステップで算出した生産数量から、将来の仕掛状態
を予測した仕掛予測情報を生成し、この仕掛予測情報か
ら製造ラインに対して生産順序を指示するものである。
また、請求項９に係る循環型製造プロセス日程計画方法
は、請求項７のものにおいて、生産順序情報と、予め入
力された生産の準備のための段取り情報から、製造ライ
ンに対して段取り指示を行うものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明では上記従来技術の問題点
を解決するために、「基準処理量」を活用した日程計画
を立案する。基準処理量とは、循環型製造プロセスの品
種・工程ごとに、「概略どのぐらいの生産をすべきか」
を表す量である。基準処理量の求め方は、いくつかの方
法が考えられるが、図１では投入実績の推移と目標工期
から基準処理量を求める考え方の例を示している。図に
おいて、品種Ａは投入が増加傾向にあり、品種Ｂは投入
が減少傾向にある。循環型製造プロセスを持つ製品は、
工程数が多く工期も長いものが多いため、最初の方に通
過する工程（投入直後の工程）と最後の方の工程（完了
に近い工程）では、大きく処理量が異なる。そこで、図
に示すように、投入時点を０として順調に流れた場合の
各工程の通過工期を目標工期として定義し、目標工期分
さかのぼった時点の投入量を基準処理量とする。この他
にも、製造能力のチェックを行い能力不足により目標よ
り工期が長くなる場合を考慮するなど、いろいろな基準
処理量の求めかたが考えられる。ここでは、概略の生産
数量である基準処理量を活用することにより、従来技術
の問題点として述べた問題１および２を以下のように解
決する。

【００１４】問題１の解決）基準処理量生成（算出）と
生産数量生成（算出）の２段階のスケジューリングによ
り計算量を削減する。図２に示すように、ある品種・工
程の生産数量を決定するために、第１段階（第２のステ
ップ）として、上記の方法で品種・工程ごとの基準処理
量を決定する。その後、第２段階（第３のステップ）と
して、対象となる装置の前工程からの流入仕掛量と、後
工程の仕掛量と各装置毎の能力との詳細チェックを行い
ながら、最終的に各品種・工程の生産数量が決定され
る。第２段階の計算は、装置群別に実施され、部分的な
問題に分割されているが、基準処理量により、品種ごと
の生産量や、増減産傾向など、概略の生産数量が計算さ
れているため、全体として矛盾のない日程計画を立案す
ることが可能である。第２段階の計算で、対象となる工
程と装置の数は、全体を一括で計算する場合に比べ削減
されている。例えば、一括スケジューリングでは工程数
３６、装置数９であるのに対し、成膜装置を対象とした
場合で工程数１２、装置数３に削減されており、これに
写真装置、注入装置についての各計算を加えた計算量
は、一括スケジューリングの場合に比べて削減される。
現実の問題では、装置群の種類がさらに多くなるため部
分問題への分割数はさらに大きくなるうえ、日程計画の
計算量は、問題規模に応じ組み合わせ的に増加するた
め、本方式による計算量は一括スケジューリングに比べ
て、大幅に抑制される。また、第１段階のスケジューリ
ングでネック工程や装置を絞り込み、第２段階のスケジ
ューリングでは絞り込んだ工程・装置についてのみ詳細
な計算を行うことにより、さらに計算量を削減すること
も可能である。

【００１５】問題２の解決）基準処理量を用いてネック
工程・装置を求め、適正仕掛を自動的に計算することが
可能である。プロダクトミクスや装置構成の変動に応じ
て変化する品種・工程ごとの適正仕掛値を、概略の処理
量である基準処理量を活用してあらかじめ求めることが
可能となる。第２段階のスケジューリングである生産数
量の生成において、この適正仕掛値を活用することによ
り、プロダクトミクスや装置構成の変動に対応しなが
ら、適切な仕掛管理を実施することが可能となる。以
下、図面を用い、種々の実施の形態について具体的に説
明する。

【００１６】実施の形態１．図３は実施の形態１におけ
る日程計画システムの機能ブロック図である。図におい
て、１は日程計画システムの各モジュール（図中に枠で
囲んで示した各ブロック）の起動時間を指令、管理する
時間遷移管理手段である。２は、この時間遷移管理手段
１により起動され、生産計画情報、製造フロー情報、目
標工期情報、仕掛情報、生産能力情報および装置限定情
報からなる日程計画入力情報から、品種・工程ごとの処
理すべき概略量である基準処理量を算出する基準処理量
生成手段である。ここで、仕掛情報とは、ある品種・工
程の処理待ち状態のロットとして、何が、いくつあるか
という情報であり、また装置限定情報とは、品種と装置
の対応関係を表す情報である。なお、用いる装置が１種
類である場合のように、装置限定情報を用いなくても良
い場合もある。３は、基準処理量生成手段２で生成した
基準処理量と、最新の日程計画入力情報から、品種・工
程ごとの処理すべき量である生産数量を算出する生産数
量生成手段である。４は、生産数量生成手段３から生産
数量を受け取りこの生産数量を製造ラインに対して生産
指示する生産指示手段である。

【００１７】図４により基準処理量生成手段２の動作例
を説明する。第１のステップとして時間遷移管理手段１
で生成処理時点を指令すると、第２のステップとして基
準処理量生成手段２で、次の動作を行う。この例では、
ある品種がどのような工程を経て完成されるかという、
製造フロー情報と、工程が投入からどのぐらいの工期で
生産されるべきかという目標工期情報と、日別品種別に
どの品種をどれだけ投入するかという生産計画情報を入
力としている。で品種・工程が１つ取り出されると、
で示されるように、製造フロー情報と目標工期情報か
らその品種・工程が投入からどれくらい経過した時に生
産されるかという目標工期ｘを得ることができる。例え
ば、品種１の工程２の場合は目標工期ｘは２日となる
（図中Ａ）。次にで示すように生産計画情報から、本
日よりｘ日前の投入数を得る。本日を６日とすると、品
種１・工程２の２日前の投入数は１０となる（図中
Ｂ）。上記処理を、で示すようにすべての品種・工程
について行う。このような手順により、投入された品種
が目標工期で流れたと仮定した場合の本日の品種・工程
別の基準処理量を求めることができ、その情報をで出
力する。

【００１８】次に第３のステップとして、生産数量生成
手段３における動作について、図５により説明する。こ
の計算は成膜装置群、写真装置群などのように装置群別
に行う。では、製造フロー情報と目標工期情報と仕掛
情報から、すべての品種・工程について、その工程の前
１日分の仕掛（＝前仕掛）と、後１日分の仕掛（＝後仕
掛）を求めている。前１日分の仕掛とは、その工程の目
標工期がｘ日とすると、ｘ−１日を目標工期とする工程
まで溯った仕掛の数である。同様に後１日分の仕掛と
は、その工程の目標工期がｘ日とすると、ｘ＋１日を目
標工期とする工程までの仕掛の数である。前仕掛とは、
現在の仕掛状態と目標工期から、ある品種・工程にこれ
から１日間に到着するロット数の予測（流れ込み予測）
をするものである。

【００１９】次に、生産数量の計算を、生産数量１の計
算と生産数量２の計算に分けて行う。まずでは、生産
数量１の計算を行う。すなわち、前仕掛が基準処理量よ
り多い場合は、基準処理量を生産数量１とする。それ以
外の場合、前仕掛を生産数量１とする（基準処理量は、
基準となる生産量であり制限がなければこの数量を生産
することが望ましい。しかし、前仕掛が少ない場合は、
前工程の進捗遅れなどで基準処理量を生産することが不
可能であるため、前仕掛を生産量とする）。また生産数
量１は生産能力情報と比較し、これを超えない数量とな
るようにチェックが行われる。次にでは、生産数量２
の計算を行う。生産数量２は、ですべての品種・工程
の生産数量１を計算した後でも、生産能力の残りがある
場合の上積み数量である。この場合、後仕掛が少ないも
のに優先的に上積みすることにより、装置稼動率を高め
ることをねらっている。において、生産数量１と生産
数量２を合計して生産数量とし、その生産数量情報を
で出力する。

【００２０】次に第４のステップとして、生産指示手段
４について図６により説明する。図６は生産数量生成手
段３で生成した生産数量情報を、ＣＲＴ等の表示機器に
より表示した例である。メニュー選択により、集計表示
を選択することも可能である。また、表示順の変更を可
能としたり、生産数量を修正可能としたり、帳票など別
な形の表示手段を用いてもよい。

【００２１】実施の形態２．この実施の形態は、品種の
数が多く、品種と装置の対応関係が複雑な場合の例であ
る。この実施の形態における日程計画システムの機能ブ
ロック図は図３と同様になっている。実施の形態１と同
様の部分については説明を省略する。図７は、品種と装
置の対応関係を示す装置限定情報の例である。品種・工
程別に生産可能な装置を列挙している。例えば、品種１
・工程１は装置Ａ、装置Ｂ、装置Ｃの３つの装置で生産
可能であることを表している（図中Ａ）。

【００２２】図８は、装置限定情報を用いた生産数量情
報生成の例である。実施の形態１の図５においては、生
産能力チェックは工程別の能力数量を用いて実施してい
る。本実施の形態では、装置と品種の対応関係が複雑な
場合の能力チェック方法を示している。図８中Ａは能力
チェック前の生産数量、Ｂは装置限定情報、Ｃは装置ご
との生産能力を表す生産能力情報である。では計算の
開始時点においてすべての装置の能力残を初期化してい
る。では、生産数量が未チェックの品種・工程を１つ
ずつ取り出している。では装置限定情報から、で取
り出した品種・工程の生産可能な装置の候補を取り出
す。では、装置の選択を行う。すなわち、各装置の能
力残が最大である装置を生産装置として選択する。で
は、能力残の更新を行っている。以下、すべての品種・
工程のチェックを完了するまで、からを繰り替え
す。では能力チェックを終え、チェック後の生産数量
を書き込まれた生産数量情報（Ｄ）を生成し出力する。
以上の方法は、装置の能力の残りが大きいものから、装
置選択を行っているので、装置負荷を平準化できる。こ
の実施の形態２によれば、品種・装置の対応関係が複雑
な場合でも、装置能力と整合した生産数量生成を行うこ
とが可能となる。

【００２３】実施の形態３．図９は実施の形態３におけ
る日程計画システムの機能ブロック図である。図におい
て、５は、適正仕掛算出手段であり、基準処理量生成手
段２から受け取った基準処理量情報と、日程計画入力情
報から、適正仕掛情報を生成する。適正仕掛算出手段５
の生成する、適正仕掛情報と基準処理量情報を用いて生
産数量生成を行うことにより、日程計画入力情報の変動
に対応した仕掛制御を行って生産数量を算出することを
特徴としている。その他は実施の形態１と同様であるの
で説明を省略する。

【００２４】図１０は、適正仕掛生成手段５の動作例で
ある。では、装置限定情報と基準処理量情報から装置
別の負荷予測を求めている（求め方は後述の図１２の場
合と同様である）。では、装置別の適正仕掛を求めて
いる。装置の仕掛は処理量が多いものほど多くなると同
時に、能力的にネックとなる装置、すなわち負荷率の高
い装置の方が多くなる。そこで、適正仕掛量と基準処理
量の比率である仕掛率と負荷率との好ましいと考えられ
る関係を近似関数で保有することにより、装置ごとの適
正仕掛を求めている。では、装置別適正仕掛をその装
置を利用する品種・工程の数で割ることにより、品種・
工程別の適正仕掛を算出している。このように、適正仕
掛を求めることにより、生産数量生成手段３において、
仕掛が少ない工程への送り込みを多くするなど、各工程
の仕掛を適正にする生産数量を計算することができる。

【００２５】実施の形態４．図１１は、実施の形態４に
おける日程計画システムの機能ブロック図である。６は
指示対象装置／工程選定手段であり、品種・工程ごとの
基準処理量と装置限定情報から装置負荷予測を行い、生
産能力と照合して指示対象装置／工程情報を出力する。
生産数量生成手段３は、指示対象装置／工程情報から、
指示対象装置／工程を限定して生産数量計算を行う。そ
の他は実施の形態１と同様であるので説明を省略する。

【００２６】図１２は指示対象装置／工程選定手段６の
動作の例であり、指示対象装置を選定する場合について
示す。では、装置限定情報から、品種・工程ごとに選
択可能な装置の候補を得ている。例えば、品種１・工程
１の装置候補は、装置Ａ、装置Ｂ、装置Ｃである。で
は、で求めた装置の候補に基準処理量情報から得られ
る基準処理量を均等割付している。品種１・工程１の場
合、３つの装置が候補であるため、基準処理量１５を３
で割り、各装置に５ずつの数量を割付している。で
は、の結果を装置ごとに合計し負荷予測としている。
では、の結果を生産能力情報から得られる装置ごと
の生産能力と比較し、負荷率を求めている。具体的に
は、負荷率＝負荷予測÷生産能力としている。では、
負荷率が高いものを指示対象装置として選択し、指示対
象装置／工程情報として出力している。指示対象装置の
選択基準は、あらかじめ決めたしきい値を超えるものを
選択してもよいし、負荷率の高いものから決められた数
だけ選択してもよい。また、ここでは指示対象装置／工
程情報として装置を選択したが、同様の計算で工程を選
択、すなわち、図１２で装置ごとに計算したところを、
工程ごとに求めるようにしてもよい。

【００２７】生産数量生成手段３では、指示対象装置／
工程情報に基づいて、選択された装置／工程についての
み生産数量生成計算を行うので、より一層全体の計算規
模が削減可能となる。生産数量生成手段３では、図５、
図８で説明したように生産能力をチェックしながら、生
産数量生成を行うが、この実施の形態では、負荷率が高
い工程／装置すなわち、ネック工程／装置を中心として
生産能力チェックを行うため、計算規模を削減しながら
適切な日程計画を立案することが可能となる。なお、選
択されなかった装置／工程については、生産数量の代わ
りに基準処理量を用いて製造ラインに指示することがで
きる。

【００２８】実施の形態５．図１３は実施の形態５にお
ける日程計画システムの機能ブロック図である。７は、
進捗管理情報提示手段であり、時間遷移管理手段１から
受け取った指令により起動され、生産数量生成手段から
受け取った生産数量情報と、生産の実績情報から、進捗
管理情報を提示する。その他は実施の形態１と同様であ
るので説明を省略する。図１４は進捗管理情報提示の例
である。工程（図中Ａ）、品種（図中Ｂ）、生産数量
（図中Ｃ）、生産実績（図中Ｄ）が表示されており、生
産指示の達成度が判別できる。また、残数や仕掛など他
の情報を合わせて表示させることも可能である。また、
これらの情報を修正する手段を付け加えることもでき
る。

【００２９】実施の形態６．図１５は実施の形態６にお
ける日程計画システムの機能ブロック図であり、自動化
装置または自動化搬送装置を有する製造ラインを対象と
する場合について示す。８は制御情報生成手段であり、
自動化装置または自動化搬送装置からの指示要求信号に
より起動され、生産数量生成手段３から受け取った生産
数量情報と、生産実績情報と、最新仕掛情報から、自動
化装置または自動化搬送装置に対する制御情報を生成す
る。その他は実施の形態１と同様であるので説明を省略
する。

【００３０】制御情報生成手段８の動作例を図１６によ
り説明する。では、自動化装置（例えば装置Ａ）から
の指示要求信号を捕らえ、起動を行う。では、生産数
量情報と生産実績情報から、生産達成率＝生産実績÷生
産数量を計算する。例えば、品種１・工程１の例では生
産達成率は、１０÷３０×１００＝３３％となる。で
は、最新の仕掛情報と、装置限定情報から、現在の仕掛
の中で指示要求信号を発生した装置で生産可能な品種の
候補を得ている。候補の中で、生産達成率が最も小さい
ロットを選択する。では、選択したロットを生産する
ように指示する制御情報を装置Ａに向かって送る。

【００３１】実施の形態７．図１７は実施の形態７にお
ける日程計画システムの機能ブロック図であり、自動化
装置または自動化搬送装置を有する製造ラインを対象と
する場合について示す。９は、ライン状況情報収集手段
であり、日程計画入力情報を生成するために、自動化装
置から受け取ったライン状況情報を変換し日程計画入力
情報に変換する。その他は実施の形態１と同様であるの
で説明を省略する。

【００３２】図１８はライン状況情報の例を表してい
る。これらの情報は自動化装置から自動的に吸い上げら
れる。装置稼動状況は、各装置の状態として、稼動中、
故障中、ロット待ちなど、装置の最新状況を表してい
る。仕掛情報とは、ある品種・工程の処理待ち状態であ
るロットとして、何が、いくつあるかという情報であ
る。生産補助装置情報とは、治具、工具など生産の補助
を行うものの情報である。例えば、写真製版装置の露光
パターンのマスタとなるマスクは、製品に応じて付け替
えながら生産が行われるが、この情報で現在どの装置に
どのマスクが取り付けられているかが判別できる。その
他に生産の補助を行うものとして、例えばイオン注入工
程におけるガス、スパッタ工程におけるターゲットのよ
うな、触媒や消耗材の役割をする物質をこの生産補助装
置情報に登録してもよい。また、装置が故障すればその
情報を日程計画入力情報に変換して日程計画の計算に折
り込むことができる。これらの情報を活用することによ
り、より生産効率を向上させる生産指示の生成が可能と
なる。

【００３３】実施の形態８．図１９は実施の形態８にお
ける日程計画システムの機能ブロック図である。１０は
生産順序生成手段であり、生産数量生成手段３から生産
数量情報を受け取った後、生産数量情報と日程計画入力
情報および生産実績情報から生産順序情報を生成する。
１１は、その生産順序情報に基づき、生産順序を指示す
る生産順序指示手段である。その他は実施の形態１と同
様であるので説明を省略する。

【００３４】図２０は生産順序生成手段１０の動作の一
例である。この例では、生産順序を決定するための情報
として、生産実績（実績数量）を利用している。で
は、生産数量情報と生産実績情報から生産実績÷生産数
量×１００で計算される生産達成率を求めている。例え
ば、品種３の工程１では、１÷１０×１００＝１０％の
生産達成率となる。次にでは、仕掛ロットの内、生産
達成率が最小のものを生産すべきロットとして選択す
る。まず、品種３・工程１が選択される。選択したロッ
トの生産実績は＋１される。次にを実行した場合、品
種３・工程１の生産達成率は（１＋１）÷１０×１００
＝２０％となる。このような手順ですべての仕掛ロット
を選択するまで、からを繰り返す。すべての仕掛ロ
ットを選択した後、では、選択順番を生産順序として
出力する。以上により品種・工程ごとの、生産数量とい
う目標の達成度のばらつきが平準化される。

【００３５】図２１は生産順序生成手段１０の動作の別
の例を示すものである。ここでは、生産順序を決定する
ための情報として、生産の遅れ率を利用している。遅れ
率とは目標工期に対する実績工期の遅れ度合いを表す指
標である。図中の目標工期は、その品種の投入からあ
る工程までのどのくらいの時間で生産されるべきかとい
う目標を表している。図中の実績工期は、その品種の
投入からある工程までの経過時間の実績を表し、生産実
績情報から得られる。図中の遅れ率は、（実績工期−
目標工期）÷目標工期×１００で表される。遅れ率は、
ロット１つごとに計算される。最後に、仕掛ロットを遅
れ率の大きなものから生産するという生産順序付けを
のように行う。この方法により、品種・工程間の目標工
期の達成度のばらつきが平準化される。生産順序指示の
例を図２２に示す。生産順序は上から順になっている。
キーナンバーとは、ロットを識別するＩＤ番号（識別番
号）であり、ＣＲＴ画面を使って生産順序が指示されて
いる。その他の情報については、後述する。

【００３６】実施の形態９．図２３は実施の形態９にお
ける日程計画システムの機能ブロック図である。１２
は、生産数量情報と、日程計画入力情報から、将来の仕
掛状態を予測した仕掛予測情報を生成する仕掛予測手段
である。生産順序生成手段１０は、仕掛予測情報から、
生産順序を生成する。その他については実施の形態８と
同様であり、説明を省略する。

【００３７】仕掛予測手段１２の動作例を図２４に示
す。自工程には品種２と品種３が仕掛っている。前工程
で生産開始した、品種１が１Ｈｒ後には自工程に到着予
定であるが、生産遅れの順に生産する場合には、品種１
は現在の仕掛である品種２より優先して生産すべきであ
る。品種２は既に処理中であるので、仕掛予測を含めた
生産順は品種２、品種１、品種３となる。この実施の形
態における生産順序指示の例を図２２に示す。キーナン
バーが（）で囲まれているロットは、現在はまだ指示対
象工程に到達していない、すなわち指示工程の仕掛とは
なっていないが、到着が予測されるものである。このよ
うな予測仕掛も含めて、生産順序を指示している。

【００３８】実施の形態１０．図２５は、実施の形態１
０における日程計画システムの機能ブロック図である。
１３は、段取り指示手段であり、生産順序生成手段１０
から生産順序情報を受け取った後、生産の準備のための
段取り情報と生産順序情報から、段取り指示を行う。そ
の他については実施の形態８と同様であり、説明を省略
する。段取り指示の例を図２２に示す。マスク名の欄に
そのロットを生産する際に必要で準備すべきマスクの名
前が表示されている。この情報により、マスクの事前準
備が可能となる。

【００３９】

【発明の効果】請求項１に係る日程計画方法によれば、
基準処理量と生産数量に分けて計算を行うので、計算量
が大幅に低減する。加えて、以下のような効果がある。
すなわち、請求項２に係る日程計画方法によれば、基準
処理量から適正仕掛を算出し、この適正仕掛を用いて生
産数量を算出するので、プロダクトミクスの変動や装置
の状態の変動に応じた日程計画を行うことができる。ま
た、請求項３に係る日程計画方法によれば、負荷率の高
い装置または工程に限定して生産数量の計算を行うの
で、計算量の低減がさらに大幅になる。

【００４０】また、請求項４に係る日程計画方法によれ
ば、進捗管理情報を提示するので、進捗状態が明確に把
握できる。また、請求項５に係る日程計画方法によれ
ば、生産数量と生産実績情報と最新の仕掛情報から、自
動化装置または自動化搬送装置の制御情報を生成するの
で、生産達成率が最低のロットの生産を指示するなどに
より、効率の良い生産を行うことができる。また、請求
項６に係る日程計画方法によれば、ライン状況情報を日
程計画入力情報に変換するので、製造ラインの状況に則
した生産指示を行うことができる。

【００４１】また、請求項７に係る日程計画方法によれ
ば、生産数量および生産実績情報に基づき、目標達成度
を平準化するように生産順序を指示するので、効率の良
い生産を行うことができる。さらに、請求項８に係る日
程計画方法によれば、仕掛予測情報を生成してこれによ
り生産順序を指示するので、効率の良い生産を行うこと
ができる。また、請求項９に係る日程計画方法によれ
ば、生産順序情報と段取り情報から、段取り指示を行う
ので、効率の良い生産を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態における基準処理量の
説明図である。

【図２】この発明の実施の形態における基準処理量と
生産数量との２段階スケジューリングの説明図である。

【図３】この発明の実施の形態１における日程計画シ
ステムの機能ブロック図である。

【図４】この発明の実施の形態１における基準処理量
生成手段の動作例を示す説明図である。

【図５】この発明の実施の形態１における生産数量生
成手段の動作例を示す説明図である。

【図６】この発明の実施の形態１における生産指示手
段の表示例を示す説明図である。

【図７】この発明の実施の形態２における装置限定情
報の例を示す説明図である。

【図８】この発明の実施の形態２における装置限定情
報を用いた生産数量情報生成手段の動作例を示す説明図
である。

【図９】この発明の実施の形態３における日程計画シ
ステムの機能ブロック図である。

【図１０】この発明の実施の形態３における適正仕掛
生成手段の動作例を示す説明図である。

【図１１】この発明の実施の形態４における日程計画
システムの機能ブロック図である。

【図１２】この発明の実施の形態４における指示対象
装置／工程選定手段の動作例を示す説明図である。

【図１３】この発明の実施の形態５における日程計画
システムの機能ブロック図である。

【図１４】この発明の実施の形態５における進捗管理
情報提示手段の表示例を示す説明図である。

【図１５】この発明の実施の形態６における日程計画
システムの機能ブロック図である。

【図１６】この発明の実施の形態６における制御情報
生成手段の動作例を示す説明図である。

【図１７】この発明の実施の形態７における日程計画
システムの機能ブロック図である。

【図１８】この発明の実施の形態７におけるライン状
況情報の例を示す説明図である。

【図１９】この発明の実施の形態８における日程計画
システムの機能ブロック図である。

【図２０】この発明の実施の形態８における生産順序
生成手段の動作の一例を示す説明図である。

【図２１】この発明の実施の形態８における生産順序
生成手段の動作の別の例を示す説明図である。

【図２２】この発明の実施の形態８、９および１０に
おける生産順序指示の例を示す説明図である。

【図２３】この発明の実施の形態９における日程計画
システムの機能ブロック図である。

【図２４】この発明の実施の形態９における仕掛予測
手段の動作例を示す説明図である。

【図２５】この発明の実施の形態１０における日程計
画システムの機能ブロック図である。

【図２６】製造フローの形態を示すブロック図であ
る。

【図２７】従来の日程計画の問題構造を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１時間遷移手段（第１のステップに対応）、２基準処理量生成手段（第２のステップに対応）、３生産数量生成手段（第３のステップに対応）、４生産指示手段（第４のステップに対応）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松井恒一東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者中田智仁東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者今井弘志東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内 (72)発明者石橋誠治東京都千代田区丸の内二丁目２番３号三菱電機株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】日程計画の生成処理時点を指令する第１
のステップ、生産計画情報と製造フロー情報と目標工期
情報と仕掛情報と生産能力情報からなる日程計画入力情
報から、品種・工程ごとの処理すべき概略量である基準
処理量を算出する第２のステップ、上記基準処理量と、
最新の上記日程計画入力情報から、装置群別に、品種・
工程ごとの処理すべき量である生産数量を算出する第３
のステップ、および上記生産数量を製造ラインに対して
生産指示する第４のステップを有することを特徴とする
循環型製造プロセス日程計画方法。
【請求項２】基準処理量と日程計画入力情報から品種
・工程ごとの適正仕掛を算出し、その適正仕掛情報と上
記基準処理量を用いて、第３のステップで上記日程計画
入力情報の変動に対応した生産数量の算出を行うことを
特徴とする請求項１記載の循環型製造プロセス日程計画
方法。
【請求項３】品種・工程ごとの基準処理量と、予め入
力された装置限定情報から装置負荷予測を行い、その負
荷予測量を生産能力と照合して負荷率の高い装置または
工程を選定し、この選定した装置または工程に限定して
第３のステップで生産数量の計算を行うことを特徴とす
る請求項１記載の循環型製造プロセス日程計画方法。
【請求項４】生産数量と生産実績情報から、進捗管理
情報を生成して提示することを特徴とする請求項１記載
の循環型製造プロセス日程計画方法。
【請求項５】自動化装置または自動化搬送装置を有す
る製造ラインを対象とする日程計画方法において、上記
自動化装置または自動化搬送装置からの指示要求信号に
より、第３のステップで算出した生産数量と、生産実績
情報と、最新の仕掛情報から、上記自動化装置または自
動化搬送装置の制御を行う制御情報を生成することを特
徴とする請求項１記載の循環型製造プロセス日程計画方
法。
【請求項６】自動化装置または自動化搬送装置を有す
る製造ラインを対象とする日程計画方法において、上記
自動化装置または自動化搬送装置からライン状況情報を
受け取って日程計画入力情報に変換することを特徴とす
る請求項１記載の循環型製造プロセス日程計画方法。
【請求項７】日程計画入力情報と、第３のステップで
算出した生産数量および生産実績情報に基づき、品種・
工程ごとの目標達成度のばらつきを平準化するように生
産順序情報を生成し、製造ラインに対して生産順序を指
示することを特徴とする請求項１記載の循環型製造プロ
セス日程計画方法。
【請求項８】日程計画入力情報と、第３のステップで
算出した生産数量から、将来の仕掛状態を予測した仕掛
予測情報を生成し、この仕掛予測情報から製造ラインに
対して生産順序を指示することを特徴とする請求項７記
載の循環型製造プロセス日程計画方法。
【請求項９】生産順序情報と、予め入力された生産の
準備のための段取り情報から、製造ラインに対して段取
り指示を行うことを特徴とする請求項７記載の循環型製
造プロセス日程計画方法。