JP2000246599A - 半導体生産ラインにおける処理能力検証装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検証結果を元に生産装置能力不足を解消する
ための解決策を立案することができる半導体生産ライン
における処理能力検証装置を得る。 【解決手段】 生産装置性能情報、生産フロー情報、装
置限定情報、生産計画数情報を元に各工程別の生産計画
数を求め、生産装置性能情報と装置限定情報より各生産
装置で処理可能な処理数を算出し、生産計画数と処理可
能数との差を未処理数として算出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造プロ
セス、液晶ディスプレイパネル及びプラズマＣＲＴなど
の多品種循環型製造プロセスを持つ製造ラインにおい
て、多様に変動するボトルネック装置の能力を拡大する
ために、立案し、支援を行う、半導体生産ラインにおけ
る処理能力検証装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造プロセスに代表される多品種
変量の循環型製造ラインでは、市場動向に伴う生産品種
変動が激しく、同一製造装置を繰り返し使用し、製造工
程を進めるため、ボトルネック装置が生産品種変動とと
もに変動する。よって、事前に市場動向を予測し、生産
上ボトルネックとなる装置をいち早く検出し、対策を講
じることが、生産数向上に繋がる重要作業である。

【０００３】生産品種の構成により変動するボトルネッ
ク装置の検出、対策のために、従来方法として、装置担
当技術者が生産品種毎の工程及び条件を元に、装置処理
能力の過不足を算出する方法が採られているが、概算で
の結果しか得られず、どの品種・どの工程といった詳細
結果が得られない。又、多様な装置を生産に使用するた
め、複数人の技術者の算出結果を総合し判定する作業が
不可欠となり、時間効率が悪く、生産品種構成の変化に
追随できない。

【０００４】一方、時間短縮と詳細結果算出のため、シ
ミュレータを使用する方法がある。特開平７−２９６０
５３号公報に示されるように、生産実績データ、基準デ
ータを元にシミュレーションし、結果の精度を向上させ
ることができるが、その結果には、装置生産能力の不足
を表す情報のみであり、対策を立案し、支援することま
でできず、そのため判定作業が不可欠となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体生産ライ
ンにおける処理能力検証装置は以上のように構成されて
いるので、シミュレータ使用により結果の精度向上はで
きたが、その結果は生産装置の能力不足を表すだけであ
った。

【０００６】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、結果を元に生産装置能力不足を
解消するための解決策を立案することができる装置を得
ることを目的とする。一般に生産装置の能力不足の状態
とは２つに分類できる。即ち台数不足によるものと、台
数は存在するが生産可能と保証された装置が不足するも
のである。半導体生産装置は高額であるため、容易に台
数を増加させることができない。故にこの発明では、生
産装置能力不足と判定された装置の真の要因が先の２分
類のどちらに所属するのかを早期に精度良く容易に判定
でき、且つ生産可能とさせるべき生産装置候補を指示す
る手段をもつことができるようにする。

【０００７】そして更に、生産装置能力不足を解決後、
日々の生産実績が生産計画数を満足しているか否かを継
続監視し、異常、つまり生産計画数未到達となる生産装
置を早期に検出し、次の生産装置の能力拡大を図る継続
作業を行なえるようにする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る半導体生産ラインにおける処理能力検証装置は、生産
品種毎の生産計画数情報と生産品種毎の生産工程手順を
規定した生産フロー情報により生産品種毎工程毎の必要
処理数を算出する手段と、生産品種毎の工程における処
理可能候補となる生産装置号機別のタクトタイム情報に
より必要処理数を必要処理時間に換算しながら生産装置
号機毎の稼動可能時間に対し、稼動可能時間−必要処理
時間が０となるまで処理数を割り当て、割り当て完了し
た製品数と割り当てできなかった製品数に分類する手段
とから構成される検証実行手段を設けたものである。

【０００９】この発明の請求項２に係る半導体生産ライ
ンにおける処理能力検証装置は、生産装置号機毎に割り
当て完了した製品数と割り当てできなかった製品数を、
同一処理が可能な生産装置号機をグループ化した装置群
情報により装置群毎に集計する手段と、装置群毎に稼動
可能時間と必要処理時間と割り当てできなかった時間の
比較により、「処理可」，「台数不足により処理不
可」，「台数は充実しているが処理不可」の３種類に分
類する手段とから構成される検証実行手段を設けたもの
である。

【００１０】この発明の請求項３に係る半導体生産ライ
ンにおける処理能力検証装置は、検証実行手段により算
出された結果データを表示する手段を設けたものであ
る。

【００１１】この発明の請求項４に係る半導体生産ライ
ンにおける処理能力検証装置は、検証実行手段により処
理数未到状態を検出し、アラーム通報するものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１はこの発明の
一実施形態による半導体生産ラインにおける処理能力検
証装置を示すブロック図であり、図において、１は生産
装置性能情報、生産フロー情報、装置限定情報、生産品
種毎の生産計画数情報等の基準データをより上位の計算
機及び人から入力し、受付け、そして蓄積する基準デー
タ入力手段である。そして、上記生産装置性能情報は、
生産装置号機及び台数情報、同一処理が可能な生産装置
号機をグループ化した装置群情報及び生産装置号機が保
有する稼動可能時間及び装置停止要因別停止時間情報、
装置号機が保有する稼動可能時間率及び装置停止要因別
停止時間率情報から構成される。又、生産フロー情報
は、生産品種毎の生産工程手順を規定している。

【００１３】又、装置限定情報は、生産品種毎の各工程
において処理可能候補となる生産装置号機情報、生産品
種の各工程において処理可能と保証された生産装置号機
情報、生産品種の各工程における処理可能候補となる生
産装置号機別のタクトタイム情報、生産品種の各工程に
おける処理可能と保証された生産装置号機毎の処理優先
順位情報からなる。

【００１４】２は検証実行手段であり、本手段として
は、第一のステップとして、生産品種毎の生産計画数情
報と生産品種毎の生産工程手順を規定した生産フロー情
報により算出した生産品種毎工程毎の必要処理数を、生
産品種毎の工程において処理可能と保証された生産装置
号機情報と生産品種毎の工程における処理可能と保証さ
れた生産装置号機毎の処理優先順位情報及び生産品種毎
の工程における処理可能候補となる生産装置号機別のタ
クトタイム情報により、必要処理数を必要処理時間に換
算しながら、生産装置号機毎の稼動可能時間に対し、稼
動可能時間−必要処理時間が０となるまで処理数を割り
当て、すべての生産品種毎工程毎の処理製品数を、生産
装置号機毎に割り当て完了した製品数と割り当てできな
かった製品数とに分類する。

【００１５】次に第二のステップとして、生産装置号機
毎に割り当て完了した製品数と、割り当てできなかった
製品数を同一処理が可能な生産装置号機をグループ化し
た装置群情報から装置群毎に集計する。更に第三のステ
ップとして、装置群毎に稼動可能時間と必要処理時間と
割り当てできなかった時間の比較組み合わせにより、
「処理可」、「台数不足により処理不可」,「台数は充実
しているが処理不可」の３種類に分類する。

【００１６】３は検証結果表示手段であり、検証実行手
段２により出力された、生産装置号機毎の必要処理時
間、装置群毎の分類情報及び生産品種毎工程毎の必要処
理時間・処理数と割り当て完了時間情報を元に、生産装
置個々及び装置群毎の稼動時間率表示、装置群毎の３分
類情報表示及び生産品種毎工程毎の必要処理時間と割り
当て完了時間情報を表示する。

【００１７】４は生産実績データ入力手段であり、上位
計算機からの生産品種毎の工程別装置号機別生産数実績
情報、生産品種毎の工程別装置号機別稼働時間実績及び
装置停止要因別停止時間実績情報、生産品種毎の工程別
装置号機別稼動率実績及び装置停止要因別停止時間率実
績情報を入力保存する。

【００１８】５は検証結果生産実績比較未到達アラーム
通報手段であり、検証結果表示手段３及び生産実績デー
タ入力手段４により得られた生産品種毎工程毎の必要処
理数／処理可能数、生産装置号機別装置群毎の必要処理
数／処理可能数と生産品種毎の工程別装置号機別生産数
実績情報、生産品種毎の工程別装置号機別稼働時間実績
及び装置停止要因別停止時間実績情報、生産品種毎の工
程別装置号機別稼動率実績及び装置停止要因別停止時間
率実績情報を常に比較し、処理数未到達状態を検出し、
アラーム通報する。

【００１９】図２は本装置を計算機システムにて実施す
る場合の構成図であり、基準データは基準情報管理計算
機６及び人による入力を受け、インタフェース７を経由
して、処理能力検証計算機８内部の記憶装置９に保持さ
れる。保持された情報は処理能力計算機８内のＣＰＵ１
０により処理能力演算処理され、その結果は記憶装置１
１に蓄積される。生産実績データは生産実績情報管理計
算機に入力され、更に、インタフェース１３を経由し
て、処理能力検証計算機８内の記憶装置１４に保持され
る。

【００２０】保持されたデータは、記憶装置１１のデー
タと共に処理能力検証計算機８内のＣＰＵ１０により比
較処理され、その結果は記憶装置１５に蓄積される。記
憶装置１１に蓄積された処理能力検証結果データ、記憶
装置１５に蓄積された生産実績データ比較データは、結
果及びアラームを通知するため、インタフェース１６を
経由して、表示装置１７及びアラーム通報装置１８から
人に通知を行う。

【００２１】図３、図４は検証実行手段２において、生
産品種毎の生産計画数情報と、生産品種毎の生産工程手
順を規定した生産フロー情報により、生産品種毎工程毎
の必要処理数を求める際の情報の関係図を示している。
又、図５はその処理フロー図である。このフロー図を用
いてその動作を説明する。先ずＳＴＥＰ１００にて、生
産計画数情報における生産品種により、生産フローを求
め、生産フロー情報を選択する次にＳＴＥＰ１０１に
て、選択した生産フロー情報の中から、生産フロー・工
程・連番の情報を割付未処理情報に出力する。ＳＴＥＰ
１０２にて、生産計画数情報の生産計画数を割付未処理
情報の生産計画数にセットする。

【００２２】ＳＴＥＰ１０３にて、割付未処理情報の生
産フロー・工程で、装置限定情報の生産装置号機を検索
し、割付順を持つ装置数をカウントする。そして、求め
た装置数を割付未処理情報の装置数にセットする。又、
初期値として割付未処理情報の未処理製品数は生産計画
数を、処理時間・処理製品数は０をセットする。上記Ｓ
ＴＥＰ１００〜ＳＴＥＰ１０３の操作を生産計画数情報
が無くなるまで繰り返す。

【００２３】次にＳＴＥＰ１０４にて、生産装置性能情
報の生産装置号機及び同時処理製品数を、装置割付情報
の生産装置号機・同時処理製品数に出力する。又、生産
装置性能情報の可稼動率に２４（ＨＲ）を掛け、可稼動
時間として装置割付情報の可稼動時間にセットする。装
置割付情報の処理残時間は先の可稼動時間を、処理時間
及び処理製品数には０をセットする。この操作を生産装
置性能情報に登録した、生産装置号機数分実施する。

【００２４】ＳＴＥＰ１０５にて、割付未処理情報を装
置数（昇順）・生産計画数（昇順）・連番（降順）で並
び替える。この操作は生産品種によっては、同じ工程を
処理する場合でも、使用できる生産装置号機が異なり、
工程のタクトタイムも異なるため、生産品種の割付方に
よっては、処理製品数に差が出てくる。本実施形態では
使用可能生産装置号機数の少ない順、生産計画数の少な
い順及び生産工程の後ろからの割付方を示すが、特定の
生産品種を優先させることなどもできる。

【００２５】ＳＴＥＰ１０６にて、割付未処理情報を1
レコードずつ取出す。そして、生産フロー・工程に該当
する装置限定情報全てを選択する。選択した装置限定情
報は、割付順（昇順）・生産装置号機（昇順）で並び替
える。装置限定情報には、生産フロー毎の各工程におい
て、処理可能候補となる生産装置号機を全て登録してお
り、割付順を持つ生産装置号機は生産フロー毎の各工程
において、処理可能と保証されたことを意味し、その工
程での割付順位を示す。逆に割付順を持たない生産装置
号機は、生産フロー毎の各工程において処理可能と保証
されていないことを意味し、割付対象としない。そして
先の装置割付情報を１件ずつ取出す。

【００２６】次にＳＴＥＰ１０７にて、以下の式に従い
処理製品数を決定する。 割付時間＝（処理製品数×タクトタイム／同時処理製品
数） 但し、割付時間が処理残時間を超えず、かつ処理製品数
が未処理製品数を超えない最大の処理製品数となるよう
にする。ＳＴＥＰ１０８にて、割付未処理情報を以下に
従い更新する。 処理時間＝これまでの処理時間＋今回の割付時間 処理製品数＝これまでの処理製品数＋今回の処理製品数 未処理製品数＝これまでの未処理製品数−今回の処理製
品数

【００２７】次にＳＴＥＰ１０９にて、装置割付情報の
更新を以下に従い行なう。 処理時間＝これまでの処理時間＋今回の割付時間 処理製品数＝これまでの処理製品数＋今回の処理製品数 処理残時間＝これまでの処理残時間−今回の割付時間 そして、未処理製品数が０又は該当する装置割付情報が
なくなるまで、上記ＳＴＥＰ１０７〜ＳＴＥＰ１０９の
動作を繰返す。更に、割付未処理情報がなくなるまで上
記ＳＴＥＰ１０６〜ＳＴＥＰ１０９の動作を繰返す。

【００２８】図６は検証実行手段２における第二のステ
ップである、生産装置号機毎に割り当て完了した製品数
と、割り当てできなかった製品数を、同一処理が可能な
生産装置号機をグループ化した装置群情報から、装置群
毎に集計する際の情報の関係図である。又、図７はその
処理フロー図である。この処理フロー図を用いて動作を
説明する。

【００２９】ＳＴＥＰ２００にて、装置割付情報を１件
ずつ読み込み、生産装置性能情報の生産装置号機が一致
する群コードを得る。得た群コードに一致する装置群割
付情報に可稼動時間、処理時間、処理製品数を出力す
る。出力する可稼動時間、処理時間、処理製品数は以下
の算式に従う。

【００３０】可稼働時間＝前回までの可稼動時間＋現生
産装置号機の可稼働時間 処理時間＝前回までの処理時間＋現生産装置号機の処理
時間 処理製品数＝前回までの処理製品数＋現生産装置号機の
処理製品数 同時に処理残時間をセットする。処理残時間は以下の算
式にて求める。 処理残時間＝可稼動時間−処理時間 装置割付情報が無くなるまでＳＴＥＰ２００を繰り返
す。

【００３１】次にＳＴＥＰ２０１にて、割付未処理情報
を１件ずつ読み込み、生産フロー、工程、タクトタイム
を得る。得た生産フロー、工程から生産装置号機を求
め、その生産装置号機から群コードを生産装置性能情報
より求める。得た群コードに該当する装置群割付情報に
未処理時間、必要処理時間を出力する。未処理時間、必
要処理時間は以下の算式にて求める。 未処理時間＝未処理製品数×タクトタイム 必要処理時間＝処理時間＋未処理時間 必要処理数＝生産計画数合計 割付未処理情報が無くなるまでＳＴＥＰ２０１の動作を
繰り返す。

【００３２】図８は第三のステップである、装置群毎
に、稼動可能時間と、必要処理時間と、割り当てできな
かった時間の比較組み合わせにより、「処理可」、「台
数不足により処理不可」,「台数は充実しているが処理
不可」の３種類に分類する処理を説明するための図であ
る。これを用いてその動作を説明する。装置群割付情報
を１件ずつ読み込み、装置群の処理能力を３分類する。

【００３３】３分類する条件は以下のとおりである。 「処理可」 ： 可稼動時間≧必要処理時間 且
つ未処理時間＝０ 「台数不足により処理不可」： 可稼動時間＜必要処理
時間 且つ未処理時間＞０ 「台数は充実しているが処理不可」： 可稼動時間≧必
要処理時間 且つ未処理時間＞０ 以上の判定を装置群割付情報が無くなるまで繰り返す。

【００３４】図９はこれまでの検証実行手段２により算
出された結果データを表示する例を示す図である。すな
わち、検証結果表示手段３においては、装置群割付情
報、装置割付情報を元に生産計画数を処理するための必
要処理時間と、各生産装置号機毎、装置群毎の可稼働時
間とを比較することで、負荷率（負荷率＝必要処理時間
／可稼動時間×１００（％））を算出し、その結果を示
すことができるようなグラフ表示を行う。装置群グラフ
においては、検証実行手段２で３分類した「処理可」、
「台数不足により処理不可」,「台数は充実しているが
処理不可」の情報を、例えばグラフの色を変えることに
よって、視覚により判断することができるようにする。

【００３５】又、割付未処理情報を元に各生産フロー工
程毎の生産計画数、未処理製品数、生産装置台数をグラ
フ表示させる。これにより膨大な数の生産工程の中で問
題となる工程を明らかにさせる。同時に表示した生産装
置台数を確認することにより、未処理製品数を処理する
ための解決策、つまり生産装置台数を新たに追加するの
か、すでに存在する生産装置で使用可能とすべきなのか
を即時に決定できる。

【００３６】図１０は処理数未到達状態を検出し、アラ
ーム通報する事例を示すものである。生産実績情報より
得られた、生産装置号機毎の処理製品数と、装置群割付
情報の必要処理数とを比較し、必要処理数に満たない装
置群を異常と判定し、アラーム通報装置により通報す
る。また、割付未処理情報の生産フロー工程毎の生産計
画数と生産実績情報の生産フロー工程別の処理製品数を
比較し、生産計画数に満たない生産フロー工程を担当す
る装置群を異常と判定し、アラーム通報装置により通報
する。

【００３７】この異常判定のタイミングは、生産実績情
報を上位計算機から受け取るタイミングに合わせ、随時
実行可能である。よって例えば、表示装置を介して視覚
的に通知するタイミングは、周期的に更新し、異常通報
装置を介しての通知を同時に実施することも可能であ
る。

【００３８】また、生産実績情報を周期的に受け取り、
１日の処理製品数を予測し、予測結果が必要処理数に満
たない場合、異常と判定し、随時アラーム通報装置を介
して作業者に通知し、注意を促すことが可能である。

【００３９】本装置を使用することにより、半導体製造
プロセスに代表される多品種変量の循環型製造ラインで
の、生産品種の構成により変動するボトルネック装置の
検出を、生産開始に先駆けて実施し、ボトルネック装置
の処理能力確保に関わる対策の立案を的確に策定でき
る。また、確保した生産能力と生産実績を継続的に比較
監視することで、生産未到達状況を早期に検出すること
が可能となり、即時の対策実施に繋がり、安定した生産
数を維持可能となる。

【００４０】

【発明の効果】この発明の請求項１に係る半導体生産ラ
インにおける処理能力検証装置によれば、生産品種毎の
生産計画数情報と生産品種毎の生産工程手順を規定した
生産フロー情報により生産品種毎工程毎の必要処理数を
算出する手段と、生産品種毎の工程における処理可能候
補となる生産装置号機別のタクトタイム情報により必要
処理数を必要処理時間に換算しながら生産装置号機毎の
稼動可能時間に対し、稼動可能時間−必要処理時間が０
となるまで処理数を割り当て、割り当て完了した製品数
と割り当てできなかった製品数に分類する手段とから構
成される検証実行手段を設けたので、生産装置の処理能
力検証を行ない、能力拡大策の立案支援を行なうことが
できる。

【００４１】この発明の請求項２に係る半導体生産ライ
ンにおける処理能力検証装置によれば、生産装置号機毎
に割り当て完了した製品数と割り当てできなかった製品
数を、同一処理が可能な生産装置号機をグループ化した
装置群情報により装置群毎に集計する手段と、装置群毎
に稼動可能時間と必要処理時間と割り当てできなかった
時間の比較により、「処理可」，「台数不足により処理
不可」，「台数は充実しているが処理不可」の３種類に
分類する手段とから構成される検証実行手段を設けたの
で、生産品種の構成により変動するボトルネック装置の
検出を、生産開始に先駆けて実施し、ボトルネック装置
の処理能力確保に関わる対策の立案を的確に策定するこ
とができる。

【００４２】この発明の請求項３に係る半導体生産ライ
ンにおける処理能力検証装置によれば、検証実行手段に
より算出された結果データを表示する手段を設けたの
で、未処理製品数を処理するための解決策を即時に決定
できる。

【００４３】この発明の請求項４に係る半導体生産ライ
ンにおける処理能力検証装置によれば、検証実行手段に
より処理数未到状態を検出し、アラーム通報するように
したので、生産未到達状況を早期に検出することが可能
となり、即時の対策実施につながり、安定した生産数を
維持可能となる。。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１による半導体生産ラ
インにおける処理能力検証装置を示すブロック図であ
る。

【図２】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の計算機システム図である。

【図３】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の情報関係図である。

【図４】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の情報関係図である。

【図５】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の処理フロー図である。

【図６】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の情報関係図である。

【図７】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の処理フロー図である。

【図８】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の装置群毎の能力判定を説明する図である。

【図９】 この発明の実施の形態１による処理能力検証
装置の検証結果表示例を説明する図である。

【図１０】 この発明の実施の形態１による処理能力検
証装置のアラーム方法を説明する図である。

【符号の説明】

２ 検証実行手段、３ 検証結果表示手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三宅 泰久 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 松井 恒一 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 林 昭彦 香川県仲多度郡多度津町若葉町12番56号 四国計測工業株式会社内 (72)発明者 水野 達夫 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 中田 智仁 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 近沢 宏 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3C042 RJ07 RJ15 RJ20 RL11 5B049 BB07 CC21 CC34 EE31 EE56 FF01 5H215 AA06 AA20 BB20 CC07 CX01 GG05 GG09 HH03 JJ14

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 生産品種毎の生産計画数情報と生産品種
   毎の生産工程手順を規定した生産フロー情報により生産
   品種毎工程毎の必要処理数を算出する手段と、生産品種
   毎の工程における処理可能候補となる生産装置号機別の
   タクトタイム情報により上記必要処理数を必要処理時間
   に換算しながら生産装置号機毎の稼動可能時間に対し、
   稼動可能時間−必要処理時間が０となるまで処理数を割
   り当て、割り当て完了した製品数と割り当てできなかっ
   た製品数に分類する手段とから構成される検証実行手段
   を設けたことを特徴とする半導体生産ラインにおける処
   理能力検証装置。
2. 【請求項２】 生産装置号機毎に割り当て完了した製品
   数と割り当てできなかった製品数を、同一処理が可能な
   生産装置号機をグループ化した装置群情報により装置群
   毎に集計する手段と、上記装置群毎に稼動可能時間と必
   要処理時間と割り当てできなかった時間の比較により、
   「処理可」，「台数不足により処理不可」，「台数は充
   実しているが処理不可」の３種類に分類する手段とから
   構成される検証実行手段を設けたことを特徴とする請求
   項１記載の半導体生産ラインにおける処理能力検証装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の検証実行手
   段により算出された結果データを表示する手段を設けた
   ことを特徴とする半導体生産ラインにおける処理能力検
   証装置。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２記載の検証実行手
   段により処理数未到達状態を検出し、アラーム通報する
   手段を設けたことを特徴とする半導体生産ラインにおけ
   る処理能力検証装置。