562870 A7 B7 五、發明説明（1 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本:發明係有關於將透明導電性薄膜薄造之際所使用的 I T 0濺鍍祀’特別是複數靶構件接合於單一背板上的多 段革E ’尤有關於靶的短軸爲長軸的〇 . 7至1 . 〇倍的平 薄式濺鍍粑’以及靶的長度爲橫幅的4倍以上的長形多段 濺鍍靶。 先行技術 由於I T〇（IncHum Tin Oxide (銦、錫、氧化物）） 薄膜具有高導電性、高透射率的特徵，更且，亦容易進行 精細加工’故用於液晶顯示器（L C D ) 、P D P ( Plasma
Display電漿顯示器）等扁平面板顯示器用顯示電極。 I T〇薄膜的製造方法可大致分爲噴塗熱分解法、C V d (化學蒸汽沉積）等化學成膜方法以及電子束蒸鍍法、濺 鍍法等物理成膜方法。特別是，使用I T ◦靶的濺鍍法容 易大面積化，所製得膜的電阻値及透射率的歷時變化少， 又容易控制成膜條件，故爲大多數製造線所採用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I T 0薄膜的製造用濺鍍裝置分爲平薄式（靜止對向 型）與直列式（基板通過型）二大類。其中，平薄式裝置 由於鮮少發生異物（粒子），故受到大家注意。 隨著近年來扁平面板顯示器的大型化，用於面板製造 的玻璃基板的尺寸亦大型化。因此，用於薄膜製造之際的 靶亦配合基板尺寸進行其尺寸的大型化。由於靜止對向型 濺鍍裝置用靶有必要使靶尺寸較基板尺寸大一點，故就靶 尺寸而言，各邊會超過800mm (毫米）。又，基板通 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4- 562870 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（2 ) 過型濺鍍裝置用靶擴大靶的縱橫比，基板越大型化，靶越 縱向延伸。 在製造此種大型I T〇靶情形下，由於成形及燒結所 需生產設備較過去設備更大型，故需要新的設備投資，並 且由於粉末的成形連同尺寸大型化一齊惡化，故良率極低 ，結果，靶的製造成本及生產性惡化。因此，長形靶使用 將複數靶接合於背板上的多段靶。 將I T ◦燒結體接合於背板上的焊接程序藉由在將燒 結體和背板加熱至軟焊料的熔點以上之後，使用軟焊料接 合，此後予以冷却來進行。由於在此冷却過程中，燒結體 與背板的熱膨脹係數不同，故會出現發生翹曲、破裂的問 題。 又，在安裝完成的靶於濺鍍裝置之後，會出現進行真 空排氣時所發生的翹曲，因濺鍍中所產生的熱應力而發生 破裂的問題。由於靶一發生破裂，即無法供濺鍍用，故構 成導致生產線停止等重要問題。 這種靶破裂的問題隨著靶尺寸越大，變得越顯著。爲 了解決這種靶的破裂問題，出現限定靶表面的磨削方向， 進一步使磨削後的表面粗糙度在5 // m (微米）以下的提 案（日本特開平2 0 0 1 - 2 6 8 6 3號公報）。此提案 對以前靶在橫幅的4倍以下的直列裝置用長形靶有效。 不過，要是像現在進一步大型化，長度達橫幅的4倍 以上，在真空排氣後或者於濺鍍中出現破裂的問題即會再 度發生，並且會頻繁發生。又由於靶的形狀趨近正方形的 本矣氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -5- 562870 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 平薄式濺鍍裝置的長短軸差小，不論哪個方向均會發生翹 曲，故前述提案並不怎麼有效。因此，期盼有對於大型平 薄式濺鍍裝置用靶以及靶長達橫幅的4倍以上的長形多段 靶均有效的破裂防止對策的開發。 發明欲解決之問題 本發明目的在於提供將靶的短軸爲長軸的〇 . 7至 1 . 0倍的平薄式I T〇濺鍍靶或長度爲寬度的4倍以上 的I T 0濺鍍靶安裝於裝置，可有效抑制真空排氣時及/ 或進行濺鍍之際所發生的靶破裂的I T 0濺鍍靶。 用來解決問題之手段 本發明人等對短軸爲長軸的〇 . 7至1 · 0倍的平薄 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 式I T〇濺鍍靶以及長形多段I T〇濺鍍靶中靶破裂的防 止進行檢討。結果，獲得①提高I T ◦燒結體的強度以及 ②作成可吸收施加於靶的應力的靶構造，藉此，可抑制上 述問題中破裂的發生的發現。具體而言，發現藉由使用維 氏硬度、三點彎曲強度具有預定範圍內的値的燒結體’同 時，將接合燒結體與背板的軟焊層的厚度作成適當厚度’ 可解決上述問題，從而完成本發明。 本發明人等進一步就靶的長度爲橫幅的4倍以上的長: 形靶精心檢討，發現①即使於燒結體與背板接合之際未發 生翹曲，於此後的處理中（自輸送用箱取出，安裝於裝置 的作業中等），亦有長形靶「撓曲」極大的情形’②於一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 562870 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 方向（靶面凹陷的情形和背板凹陷的情形）存在有此處理 中的「彎曲」，③在前述「撓曲」中靶面凹陷時，於段部 (二燒結體隔預定空隙相鄰的部份）有諸燒結體成第1圖 以剖面形狀範不的形狀接觸的情形，④若諸燒結體強力接 觸，即會因撞撃而於此部份略微出現龜裂。⑤若安裝出前 述龜裂的靶於裝置，靶即會於真空抽吸之際受到大氣壓力 壓迫，其靶面朝凸出方向翹曲，此際，自龜裂部份發生破 裂的所謂破裂的機制。到目前爲止，雖然會因靶長不滿橫 幅的4倍，故而處理時的翹曲小，相鄰諸燒結體不接觸， 無破裂情形發生，不過，顯然若長度達橫幅的4倍以上， 翹曲即會變大，諸燒結體相接觸，從而發生破裂。 根據此發現，就破裂對策精心地進行檢討，結果，獲 得藉由①提高燒結體的強度，②作成諸燒結體不易相碰撞 的靶構造，③作成可吸收施加於靶的應力的靶構造，可抑 制上述問題中破裂的發生的創見。並且，進一步繼續檢討 ，結果發現，藉由燒結體的維氏硬度在7 0 0以上8〇〇 以下，平行於磨削方向施加荷重所測得三點彎曲強度在 2 0 〇 Μ P a以上2 5 Ο Μ P a以下，二燒結體隔預定空 隙相鄰的段部的空隙寬距在〇 . 4 m m以上〇 . 8 m m以 下，同時，接合燒結體與背板的軟焊層的厚度在〇 . 5 m m以上1 m m以下，可解決上述問題，從而完成本發明 〇 亦即，本發明有關於一種濺鍍靶，係將實質上由銦、 錫與氧構成的複數燒結體接合於單一背板上的多段靶，其 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 562870 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 特徵在於：前述燒結體的維氏硬度在7 0 0以上8 0 0以 下，平行於對構成燒結體靶面的面施以磨削加工的磨削方 向施加荷重所測得三點彎曲強度在2 Ο Ο Μ P a以上 2 5 Ο Μ P a以下，且，接合前述燒結體與背板的軟焊層 在0.5mm以上1mm以下。 特別是，本發明有關於一種濺鍍靶，係將實質上由銦 、錫與氧構成的複數燒結體接合於單一背板上的多段靶， 且係靶的短軸爲長軸的0 · 7至1 · 0倍的平薄式濺鍍靶 ，以及靶的全長爲橫幅的4倍以上的長形多段濺鍍靶，其 特徵在於：前述燒結體的維氏硬度，在7 0 0以上8 0〇 以下，平行於對構成燒結體濺鍍面的面施以磨削加工的磨 削方向施加荷重所測得三點彎曲強度在2 Ο Ο Μ P a以上 2 5 Ο Μ P a以下，同時，接合燒結體與背板的軟焊層的 厚度在1 m m以下；本發明進一步有關於濺鍍靶，係靶的 全長爲橫幅的4倍以上的長形多段濺鍍靶，其特徵在於： 二燒結體隔預定空隙相鄰的段部的前述空隙寬距0 . 4 m m以上0 · 8 m m以下。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且，磨削加工的磨削方向是磨削時刀尖的移動方向， 具體而言，例如是形成於燒結體表面的筋狀磨削痕的方向 。又，於三點彎曲強度的測定中，平行於磨削方向施加荷 重所作測定意指平行於前述磨削方向，沿著三點彎曲試驗 的力點，亦即，連結三點彎曲試驗中三個力點的直線平行 於前述磨削方向。 成爲本發明對象的平薄式靶以及長形多段靶一般係長 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐1 ' -8- 562870 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 _ 五、發明説明（6 ) 方形或準長方形。準長方形亦包含對長方形的各角部施以 及加工的情形。此種平薄式靶的大小可例示8 1 0mmX9 1 Omm ，例如以第2圖所示，將每三個270mmx45 5mm的燒結體排 成2列的形態分段。如此，本發明的濺鍍靶亦可於靶長軸 的長度在8 0 0 m m以上的大型平薄式濺鍍？E中’有效防 止破裂。又，長形多段靶一般係加厚縱長方向的兩端部的 燒結體，如第3圖以其側視圖範示的構造，至於尺寸，可 例不3 0 0 m m χ 1 7 8 0 m m。如此，本發明的濺鑛亦可於全長爲 橫幅的4倍以上的長形多段靶中有效防止破裂，可容易獲 得全長1 2 0 0 m m以上的長形多段祀。 以下詳細說明本發明。 本發明所使用的I T ◦燒結體及其製造方法並未特別 限定，只要是維氏硬度7 0 0以上8 0 0以下的燒結體及 製得此種燒結體的製造方法即可，雖然如此，却可用以下 方法來製造。 開始，將粘接劑等添加於氧化銦粉末與氧化錫粉末的 混合粉末中，藉由壓塑法或鑄塑法等成形方法成型，製造 I T〇成形體。就成形法而言，雖然壓塑法、鑄塑法均使 用，不過以容易獲得細緻成形體的鑄塑法較佳。由於此際 所用粉末的平均粒徑若在1 . 5 // m以下，即使無法進行 燒結體的細緻化的情形發生，故所用粉末的平均粒徑以在 1 . 5 " m以下較佳，尤佳者爲〇 ·；[至1 · 5 β ηι。混 合粉末中的氧化錫含量以在藉由濺鍍法製造薄膜之際電阻 係數低的5至1 5重量％較佳。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2ι〇χ297公羡） ---— -9 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 562870 A7 B7 五、發明説明（7 ) --k------11 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，依需要，對所得成形體進行C I P等壓實化處 理，爲了獲得充份壓實效果，此際的C I P壓力宜在2 ton/cm2 (噸/厘米2)，較佳者爲2至3 ton/ c m 2。於此，在藉由鑄塑法進行開始的成形情形下，亦可 基於除去殘留於C I P後的成形體中的水份及粘接劑等有 機物的目的，施以粘接劑脫除處理。又，較佳地，即使在 藉壓塑法進行開始的成形情形下，亦於成形中使用粘接劑 時，進行相同的粘接劑脫除處理。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將如此獲得的成形體投入燒結爐中，進行燒結。雖然 可使用能獲得必要物理性質的任何方法作爲燒結方法，不 過，要是考慮生產設備的成本，即以在大氣中燒結較佳。 雖然亦可適當選擇燒結條件，不過，除了獲得細緻燒結體 ，並爲了抑制氧化錫的蒸發，較佳的是燒結溫度爲 1 4 5 0至1 6 5 Ot。若氣氛是至少在達到昇溫時 8〇0 °C的時刻之後迄燒結溫度的保持時間結束期間的燒 結爐內的實質上純氧氣氛，且若導入氧之際的氧流量（L / m 1 η (升/分））與成形體進行重量（k g )的比（ 進料重量/氧流量）在1 . 0以下，即適於進行靶的細緻 化。又，爲了獲得充份的硬度上昇效果，燒結時間亦在5 小時以上，較佳者爲5至3 0小時。藉此，可獲得細緻燒 結體。如此獲得的I 丁 ◦燒結體的維氏硬度在7 0 0以上 8 0 0以下。 其次，將所得I T 0燒結體加工成預定形狀，製作構 成多段I T ◦靶的各個靶構件。各構件的尺寸及形狀並未 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） -10- 562870 A7 _ _ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（8 ) 特別限定。 其次’爲了 §周整各構件的厚度，進行平面磨削加工。 於平面磨削之際’沿分段的各構件表面的磨削方向爲與就 革巴而3裝配成多段紀的長邊或短邊成1 〇度以內的方向進 行。較佳地，在± 5度以內，尤佳者在± 1度以內。於此， 磨削方向表示藉平面磨床形成筋狀磨削痕於燒結體表面的 此種磨削痕方向。藉此，提高抗破裂的強度。又，將濺鍍 面的表面粗糙度調整在〇 . 1 // m以下。在對燒結體表面 平面磨削加工情形下，燒結體的三點彎曲強度依存於磨削 後的表面粗糙度。藉由維氏硬度7 0 〇以上的燒結體於加 工後的表面粗糙度R a爲〇 . 1 // m，可使平行於磨削方 向施加荷重所測得的三點彎曲強度在2 Ο Ο Μ P a以上 250MPa以下。 又，將形成長形多段靶的燒結體的濺鍍面與構成分段 部的燒結體側交叉的端部倒角加工成R 1至R 2或C 1至 C 2。藉此，即使如同第1圖濺鍍面凹陷，靶翹曲插大， 亦由於在最容易相接觸的端部施以倒角加工I (第4圖中 標以符號5的部份），故燒結體的端部難以接觸，可防止 靶破裂。且，分段部是配置於背板上的諸燒結體相鄰部份 ，又係相鄰燒結體的側面與其之間的空隙構成的部份。 在製成靶的短軸爲長軸的〇 · 7至1 · 〇倍的平薄式 濺鍍靶情形下，將所得複數片靶構件配置於一片由無氧銅 等構成的背板上的預定位置，使用銦焊料等接合。此際， 將軟焊層的厚度調整在〇 . 5 m m以上1 . 0 m m以下。 —I k---1---衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ297公釐） -11 - 562870 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（9 ) 若軟焊層的厚度在0 . 5 m m以上，施加於靶的應力即可 爲軟焊層所吸收，降低破裂的發生率。不過’若在1 . 0 m m以上，即會因靶全體的厚度過大而不佳。例如，可舉 將預定厚度的中間物插入軟焊層中的方法作爲控制軟焊層 的厚度在0 · 5 m m以上1 · 0 m m以下的方法。亦即， 例如爲了將軟焊層的厚度控制在0 . 5 m m ’把厚度 0 . 5 m m的中間物插入軟焊層中就中間物而言，可例示 金屬絲。 於製成靶的長度爲寬度的4倍以上的長形靶情形下， 雖然亦將所得複數片靶構件配置在一片由無氧銅等構成的 背板上的預定位置，使用銦焊料等來接合，不過，此時， 分段部（二片燒結體經由預定空隙相鄰的部份）的空隙寬 距（圖面中符號3所示部份）在0 . 4 m m以上0 · 8 m m以下。藉由在〇 · 4 m m以上，即使濺鍍面凹陷，革巴 翹曲極大，亦由於燒結體的端部不相接觸，故可防止靶破 裂（第5圖顯示剖面範示圖）。不過，若超過0 · 8 m m ’即有本身爲背板材質的銅等雜質攙入膜中之虞而不佳。 又’基於與平薄式濺鍍靶相同的理由，用來接合燒結體於 背板的軟焊層的厚度調整爲〇 . 5 m m以上1 · 〇 m m以 下。又，控制軟焊層的厚度在Ο _ 5 m m以上1 · 〇 m m 以下的方法亦與平薄式濺鍍靶的情形相同。 如此製作的靶的短軸爲長軸的0 · 7至1 . 0倍的平 薄式濺鍍靶以及靶的長度爲橫幅的4倍以上的長形靶可有 交女抑制安裝於真空裝置後，真空排氣時及/或濺鍍時發生 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 562870 A7 B7_ 五、發明説明（10 ) 的靶破裂。 且，本發明中所謂維氏硬度的定義及測定方法如 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) J IS (日本工業標準）—R1610 — 1991 ，三點 彎曲強度及測定方法如J I S - R 1 6 0 1〜1 9 9工， 表面粗糖度的定義及測定方法如 JIS B0601—1994所載。 〔實施例〕 以下說明本發明的實施例，不過’本發明不限於此。 又，於實施例與比較例中，自預先作得大一些的成形體切 出試件，就維氏硬度，三點彎曲強度實施測定。 首先，列示有關平薄式I T ◦濺鍍靶的實施例及比較 例。 實施例1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將分散劑、粘合劑和離子水置入裝有嵌入鐵心的尼龍 球的坩堝中，使其與平均粒徑1 . 3 // m的氧化銦粉末 9 0重量份和氧化錫粉末1 0重量份混合5小時，調配獎 液。在將所得漿液充份脫泡後，進行使用樹脂模的加壓鑄 塑成形，獲得成形體。在3 t ο n / c m 2 (噸/厘米2 ) 的壓力下，利用C I P對此成形體進行細緻化處理。其次 ，將成形體置入純氧氛氛的燒結爐內，於以下條件下燒結 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210'〆297公釐） -13- 562870 A7 B7 五、發明説明（11 ) (燒結條件） 燃燒溫：1 5 0 0 t、昇溫速度：3 0 °C / H r (小 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 時）、燒結時間：1 5小時、氣氛：自昇溫時8 0 0 °C至 降溫時4 0 0 °C，將（進料重量/氧流量））=〇 · 8的 純氧氣體導入爐內。 測出所得燒結體的維氏硬度爲7 2 0。將所得燒結體 加工成第2圖所示455mmX 270mm的長方形，製作各靶構件 。此時，使用# 8 0 0的磨石，沿第2圖下端二箭頭所示 方向，對各燒結體的濺鍍面施以磨削加工。測出所得燒結 體的表面粗糙度R a爲0 . 0 7 // m。此時平行於磨削方 向施加荷重所測得三點彎曲強度爲2 1 Ο Μ P a。 在將如此獲得的各靶構件和背板加熱至1 6 0 °C之後 ，塗覆銦焊料於個別接合面。此際，配置直徑0 . 5 m m 的鎳製金屬絲於背板上，以中間夾著此金屬絲的形態接合 燒結體與背板，藉此，將軟焊層的厚度調整爲0 . 5 m m 。在如此依序將6個燒結體配置於背板上的第2圖所示預 定位置之後，冷却至室溫，製成靶。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將如此獲得的二個靶分別設置於真空裝置內，於真空 排氣後，在導入和氧氣之下，進行濺鍍。無論使用二個靶 中的哪一個，均看不出有靶的破裂。 實施例2 除了燃燒溫度定在1 6 〇 °c以外’在和實施例1相同 的條件下，製作I τ 0燒結體。測出所燒結體的維氏硬度 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -14- 562870 A7 ---- B7 i、發明説明（12) 爲7 6 0。以和實施例1相同的方法對所得燒結體加工。 R a爲〇 . 6 // m，以相同方式測得的三點彎曲強度爲 2 3 〇 Μ P a。 其次’以和實施例1相同的方法製作軟焊層厚度爲 〇 · 5 m m的I T ◦祀。以和實施例1相同的方法分別對 所得二片靶濺鍍，任一片均未發生破裂。 實施例3 除了將軟焊層厚度定在〇 . 8 m m以外，以和實施例 2相同的方法製作I T〇靶。以和實施例1相同的方法分 別對所得二片濺鍍IE，任一片均未發生破裂。 比較例1 在和實施例1相同的條件下製作I T 0燒結體。測出 所得燒結體的維氏硬度爲7 〇 6。在將所得燒結體加工成 企望形狀之後’除了使用# 4 0 〇磨石以外，以和實施例 1相同的方法磨削加工。所得燒結體的r a爲〇 . 6 " m ’平行於磨削方向施加荷重所測得三點彎曲強度爲1 9 〇 Μ P a 〇 其次，以和實施例1相同的方法製作軟焊層厚度爲 〇 . 5 m m的I T〇靶。以和實施例相同的方法分別對所 得二片靶濺鍍，在濺鍍開後1小時內，二片均破裂。 比較例2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） --k---1---衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 -15- 562870 A7 B7 五、發明説明（13) 除了燃燒時導入爐內的氧量定爲（進料重量/氧流量 )二1 . 2以外，在和實施例1相同的條件下製作I τ〇 燒結體。測出所得燒結體的維氏硬度爲6 9 0。以和實施 例1相同的方法對所得燒結體加工。R a爲〇 . 〇 9 " m ’以相同方式測得的三點彎曲強度爲1 9 Ο Μ P a。 其次’以和實施例1相同的方法製作軟焊層厚度爲 〇 . 5 m m的I T〇靶。依序以和實施例1相同的方法對 所得二片靶濺鍍，濺鍍開始後1小時內，二片均破裂。 比較例3 在和實施例1相同的條件下製作I T 0燒結體。測出 所得燒結體的維氏硬度爲7 6 0。以和實施例1相同的方 法對所得燒結體加工。r a爲〇 . 7 # m，以相同方式測 得三點彎曲強度爲2 1 〇 Μ P a。 其次，除了將軟焊層的厚度爲〇 . 3 m m以下，以和 實施例1相同的方法製作I T 〇靶。以和實施例1相同的 方法依序對所得二片靶濺鍍，濺鍍開始後1小時內，二片 均破裂。 其次’列示有關長形多段I T〇濺鍍靶的實施例及比 較例。 實施例4 在和實施例1相同的條件下製作I T〇燒結體。測出 所得燒結體的維氏硬度7 2 0。將所得燒結體加工成第3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 562870 A7 B7 五、發明説明（14) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖所示預定形狀，製作各靶構件。此時，使用# 8 0 0的 磨石，沿第3圖中以符號4標明的兩箭頭所示方向各燒結 體的濺鍍面磨削加工。測出所得燒結體的表面粗糙度r a 爲0 _ 0 7 v m。此時平行於磨削方向施加荷重所測得的 三點彎曲強度爲210MPa。 在將如此獲得的各靶構件和背板加熱至1 6 0 °C之後 ，塗覆銦焊料於個別接合面。此際，配置直徑〇 . 5 m m 的鎳製金屬絲於背板上，以夾著此金屬絲的狀態接合燒結 體與背板，藉此，將軟焊層的厚度調整爲〇 . 5 m m。在 如此依序配置各燒結體於背板上的預定位置之後，冷却至 室溫，製成靶。冷却後的燒結體間的寬距（段部的空隙寬 距）爲 0 · 4 m m 。 依序將如此獲得的二片靶設置於真空裝置內，於真空 排氣後，在導入氬和氧氣下進行濺鍍。看不出有祀的破裂 實施例5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除了將燃燒溫度疋爲1 6 0 0 C以外，在和實施例4 相同的條件下製作I T〇燒結體。測出所得燒結體的維氏 硬度爲7 6 0。以和實施例4相同的方法對所得燒結體加 工。Ra爲〇 · 〇6//m，三點彎曲強度爲230MPa 〇 其次，以和實施例4相同的方法製作軟焊層的厚度爲 〇 · 5 m m，冷却後的燒結體間的寬距爲〇 . 4 m m的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0X297公釐） -17- 562870 A7 --------------B7____ 五、發明説明（15 ) I T 0祀。以和實施例4相同的方法對所得二片濺鍍靶 靶並未發生破裂。 實施例6 除了軟焊層的厚度爲〇 · 8 m m，冷却後的燒結體間 的寬距爲0 _ 7 m m以外，以和實施例5相同的方法製作 I T 0祀。以和實施例4相同的方法對所得二片濺鍍靶， 靶並未發生破裂。 比較例4 在和貫5也例1相同的條件下製作I T〇燒結體。測出 所得燒結體的維氏硬度爲7 6 0。在將所得燒結體加工成 企望形狀之後，除了使用# 4 〇 〇磨石以外，以和實施例 4相同的方法磨削加工。所得燒結體的R a爲〇 · 6 # m ，三點彎曲強度爲1 9 0 Μ P a。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 和燒 以後 ’ 却 次冷 其， m Γη •耙 〇 〇 爲 T 層 I 焊的 軟m 作111 製 4 法 · 方 ο 的爲 同距 相寬 4 的 例間 施體 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 內 例時 施小 實 1 和後 以始 相 開 鍍 濺 靶 鍍 濺 片二 得 所 將 序 依 法 方 的 同 裂 破 均 片二 量 流 氧 \ 量 重 料 進 爲 量 氧 的 內 爐 入 導 了 除 時 5 燒 例燃 較 比 〇施 Τ 實 I 和 作以 製 。 下 ο 件 9 條 6 的爲 同度 相硬 1 氏 例維 施的 實體 和結 在燒 ， 得 外所 以出 2 測 • ο I 體 II 結 )燒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - '18- 562870 A7 B7 五、發明説明（16) 例4相同的方法對所得燒結體加工。R a爲〇 · 〇 9 V m ，三點彎曲強度爲1 9 Ο Μ P a。 其次’以和實施例4相同的方法製作軟焊層的厚度爲 〇_ 5 m m，冷却後燒結體間的寬距爲〇 . 4 ^ m的 ί T 0靶。以和實施例4相同的方法依序對所得二片濺鑛 革巴’灑鑛開始後1小時內，二片均破裂。 比較例6 在和實施例1相同的條件下製作I τ〇燒結體。測出 所每燒’1b體的維氏硬度爲7 6 0。以和實施例4相同的方 法對所1%燒I口體加工。R a爲〇 · 〇 7 β m，二點彎曲強 度爲 2 1 Ο Μ P a。 其次，除了冷却後燒結體間的寬距爲〇 · 2 m m以外 ，以實施例4相同的方法製作I T〇靶。 以和實施例4相同的方法依序對所得二濺鍍靶，一真 空排氣，即有一靶破裂，所剩一靶亦在濺鍍開始後1小時 內破裂。 比較例7 在和實施例1相同的條件下製作I T〇燒結體。測出 所得燒結體的維氏硬度爲7 6 0。以和實施例4相同的方 法對所得燒結體加工。R a爲〇 · 〇 7 // m，三點彎曲強 度爲 2 1 Ο Μ P a。 其次，除了軟焊層的厚度爲0 · 3 m m以外，以和實 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） . η—.----衣— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -19- 562870 A 7 B7 五、發明説明（17 ) 施例4相同的方法製作丨τ〇靶。以和實施例4相同的方 法依序對所得二片濺鍍靶，濺鍍開始後1時內二片均破裂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇 發明效果 根據本發明，可容易提供可有效抑制真空排氣時或濺 鍍時發生的破裂，並因此於真空排氣時或濺鍍開始時及濺 鍍時不會發生破裂的I T〇濺鍍靶。特別是，可容易獲得 在真空排氣時或濺鍍開始時及濺鍍時不會發生破裂，靶的 短軸爲長軸的〇 . 7至1 . 0倍的平薄式I T ◦濺鍍靶， 或長度達寬度的4倍以上的長形I T〇濺鍍靶，可高速形 成I T ◦膜於大型基板上。 圖面之簡單說明 第1圖是顯示習知多段靶靶面凹陷而翹曲情形的段部 周邊的剖視圖。 第2圖是顯示平薄式多段靶之一形態例的圖面。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第3圖是顯示本發明長形多段靶之一形狀的例的圖面 。（a )係側視圖，（b )係平面圖。 第4圖是顯示對燒結體濺鍍面與構成段部的燒結體側 面交叉的端部進行倒角加工情形的段部周邊剖視圖。 第5圖是顯示段部的空隙寬度擴大情形的段部周邊剖 視圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 562870 A7 B7 五、發明説明（18 ) 符號說明 1 燒 結 體 2 背 板 3 段 部 的 空 隙 寬 度 4 磨 削 加 工 方 向 5 施 以 倒 角 加 工 的燒結體端部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 21 -