TW561318B

TW561318B - The process to form the anti-taper resist pattern

Info

Publication number: TW561318B
Application number: TW090104668A
Authority: TW
Inventors: Kobayashi Satoshi
Original assignee: Clariant Int Ltd
Priority date: 2000-03-09
Filing date: 2001-03-01
Publication date: 2003-11-11
Also published as: EP1271249A4; JP2001255666A; KR100721275B1; US20030022109A1; EP1271249A1; JP3320397B2; CN1408078A; CN1193268C; WO2001067180A1; KR20030051413A; US7045471B2

Description

561318 A7 B7 五、發明說明（） Λ 曼明所屬f音诚本發明係關於形成使用新型之負型感光性樹脂組成物的逆錐狀阻體圖像的方法、利用該所形成之逆錐狀阻體圖像的金屬膜圖像形成方法、及使用作爲該新型負型感光性樹脂組成物之金屬膜隔離壁元件。更詳細而言，本發明係關於半導體積體迴路、光罩、液晶顯示裝置（LCD) 及有機電致發光顯示裝置（有機EL顯示裝置）等之製造中用於形成金屬膜圖像的材料，或可適於利用作爲金屬隔離壁材料等，於使用新型負型感光性樹脂組成物之逆錐狀阻體圖像的形成方法，及以利用該圖像之剝落法的金屬膜圖像形成方法’更於該阻體圖像之有機EL顯示裝置中作爲金屬隔離壁材料的利用。習知技術薄膜電極等之金屬膜的形成圖像方法方面，一般爲塗佈感光性組成物於金屬膜上而形成光阻膜，圖像曝光該光阻膜後並形成所顯像之阻體圖像，然後以2種濕式或乾式飾刻的方法，或圖像曝光後顯像基板上之光阻膜，蒸鍍金屬於具有所得之阻體圖像的基板上，然後剝離除去阻體圖像之剝落法者。該剝落法中，係蒸鍍金屬於具有阻體圖像之基板上，並形成蒸鍍膜於阻體圖像上及基板上，此時阻體圖像之剖面形狀如爲懸垂狀或逆錐狀，於基板上形成之蒸鍍膜則變成形成於阻體圖像上之蒸鍍膜且爲非連續，係已熟知之利於形成電極者。在以往超LSI等半導體積體迴路之製造或LCD液晶顯本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------裝--- *· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561318 A7 ---------B7__^_ 五、發明說明（2 ) 示面板之製造等中，爲了形成光阻膜，使用了正型或負型之各種感光性樹脂組成物。然而，適用於上述剝落法之感光性樹脂組成物卻不爲所知，通常係從習知之感光性樹脂組成物中選擇適合者，以設定控制曝光條件、顯像條件等之特殊的處理條件，來進行逆錐狀之阻體圖像的形成。又欲得之逆錐狀阻體圖像方面，該阻體圖像則於圖像形狀有問題，而且通常爲有阻體之耐熱性、吸濕性等阻體膜特性不佳等問題。另一方面，關於近年來有機EL顯示面板之製造方面 ’雖然是3色獨立發光方式之RGB有機EL媒體之塗覆，或電極之形成，此時可形成良好逆錐狀之形狀的阻體膜作爲陰極隔離壁元件，卻提高耐熱性或低吸水性同時電氣級緣性材料的重要性。即有機EL顯示面板通常以與其垂直之方向的複數個絕緣膜及隔離壁爲既定間隔，被設置於基板上之複數個平行條帶狀的第1電極上，於該隔離壁露出第1電極之區域中，對於紅（R)、綠（G)、藍（B)等之發光色之有機EL媒體，則經由脫模之蒸鍍罩來蒸鍍成既定圖像，其次於包含該有機EL媒體及隔離壁之整體表面上，蒸鍍導電性良好的金屬，並於有機 EL媒體上形成第2電極。然後以玻璃板密封使用接著劑等之基板的隔離壁及形成有機EL媒體之表面側，於基板上所形成之中空內部空間，以玻璃板、接著劑、充塡非活性氣體等來阻隔從外部來的濕氣，以形成最終之有機EL面板。如果於前述第2電極形成時隔離壁變爲 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝--- f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561318 A7 B7 五、發明說明（3 ) \ ---------I----裝--- - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 逆錐狀’蒸鍍於隔離壁之金屬層與有機el媒體上之金屬層’即與第2電極形成非連續，可防止鄰接第2電極間之傳導、短路。再者，有機EL發光元件係由於容易遭受因水份、溶劑成份等之損壞，希望以吸水性低者作爲隔離壁材料（特開平1 0-3 1 2886號公報），同時在爲了除去隔離壁材料中殘留在溶劑之於高溫下的脫氣處理中，以無因曝光間隔材料導致間隔元件變形者來用於防止鄰接電極間之短路爲佳。其他方面，以往用於剝落法之感光性樹脂組成物或以剝落法之圖像形成方法方面，已知有使用含吸收曝光光線之化合物的負型感光性樹脂組成物者（專利第298906 4號公報）等。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製又從耐熱性提昇之觀點來看，已知有配合芳香族二醯胺化合物於以冰片烯衍生物開環聚合之聚合物的感光性樹脂組成物（特開昭60- 1 1 1 240號公報）；配合光聚合起始劑、增感劑、共聚合單體所構成之感光性樹脂組成物（特開昭6 1 -2 3 6 1 8號公報）。再者，雖亦提案酚醛樹脂系熱硬化性樹脂（特開平5- 1 7 895 1 )、含有環狀烯烴系樹脂與芳香族系二醯胺化合物之組成物（特開平7-92668號）等，任何提昇耐熱性者，均希望更爲改善使用作爲利用剝落法之圖像形成方法，或有機EL面板中之陰極隔離壁材料之感光性樹脂組成物。【發明欲解決之課題】鑑於如上述之狀況，本發明係以提供不具有該等習知本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 561318 A7 B7 五、發明說明（4 ) 問題之阻體圖像的形成方法、以剝落法形成良好之金屬膜圖像的方法、及有機el隔離壁元件爲目的。即，本發明係以提供形成圖像形狀及耐熱性優異、吸水性亦低之逆錐狀阻體圖像之方法、使用利用該阻體圖像之剝落法的金屬膜圖像形成方法、及由阻體圖像所構成之有機 EL的間隔元件爲目的。【用於解決課題之手段】本發明係關於一種逆錐狀阻體圖像之形成方法，其特徵爲在形成使用負型感光性樹脂組成物之逆錐狀阻體圖像的方法中，該負型感光性樹脂組成物含有以下述一般式（I)表示之羥甲基化雙酚類化合物，及聚合聚合必要時所使用之酚類化合物與醛類所得之鹼性可溶性樹脂。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ·

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中係各別表示氫原子、1〜3個碳數之烷基或 —CH2〇H，而Ri〜R4中至少任一個係表示一CH2〇H; R5 及R6係各別表示氫原子或1〜3個碳數之烷基。）再者，本發明係關於一種逆錐狀阻體圖像之形成方法，其特徵在於上述感光性樹脂組成物之鹼性可溶性樹脂爲以重量比爲4 0 : 6 0〜1 0 0 : 0之比例，來使用以上述一般式（I)表示之羥甲基化雙酚類化合物與酚類化合物而得者。 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 561318 Α7 Β7 五、發明說明（5 ) Λ 又，本發明係關於一種金屬膜圖像之形成方法，其特徵爲從以上述圖像形成方法而得之逆錐狀阻體圖像上形成金屬膜，接著除去逆錐狀阻體圖像。又，本發明係關於一種由金屬膜所形成之圖像的形成方法，其特徵爲從以上述圖像形成方法而得之逆錐狀阻體圖像上形成金屬膜，並使用該逆錐狀阻體圖像作爲金屬膜隔離壁元件。再者，本發明係關於一種有機電致發光顯示裝置，其具有由含有以上述一般式（I)表示之羥甲基化雙酚類化合物，及聚縮合時所必要使用之酚類化合物與醛類，獲得鹼性可溶性樹脂之負型感光性樹脂組成物所形成之逆錐狀金屬隔離壁元件。本發明之詳細說明於本發明之阻體圖像形成方法及金屬膜圖像形成方法中所使用的、或使用作爲金屬膜隔離壁元件之材料的上述負型感光性樹脂組成物方面，以含有以上述一般式（I) 表示之（Α)羥甲基化雙酚類化合物，及聚縮合時所必要使用之酚類化合物與醛類所得之鹼性可溶性樹脂、（Β)交聯材料及（C)以光之照射來產生氧之光氧產生劑者爲佳。以下具體地說明關於構成該等負型感光性樹脂組成物之材料。 (Α)鹼性可溶性樹脂首先，作爲本發明中所使用之鹼性可溶性樹脂原料的以上述一般式（I)表示之羥甲基化雙類化合物，係可由本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------裝—— t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561318 A7 B7__ 五、發明說明（6 ) 在鹼性觸媒下使雙酚類與福馬林反應後酸析而得者。雙酌類方面，舉例有雙酣A、B、C、E、F、G等，特別以雙酚A、雙酚B或雙酚F爲佳。又，羥甲基化物方面雖可爲單、二、三、四經甲基化物之任一種，但是以下述式（II)表示之四羥甲基化物爲佳。

於本發明所使用之鹼性可溶性樹脂係以添加福馬林等之醛類於至少一種該羥甲基化雙酚類，或其與對於進一步需要使用之各種酚類化合物之混合物中，聚縮合而得。於製造該鹼性可溶性樹脂時所使用酚類化合物，係表示包含所謂酚類、雙酚類、酚類等化合物之廣義酚類化合物，具體而言可舉出酚、對甲酚、間甲酚、鄰甲酚、2,3-二甲酚、2,4-二甲酚、2,5-二甲酚、2,6-二甲酚、3,4-二甲酚、3,5-二甲酚、2,3,4-三甲酚、2,3,5-三甲酚、3,4,5-三甲酚、2,4,5-三甲酚、亞甲基雙酚、亞甲基雙-對-甲酚、間苯二酚、兒茶酚、2-甲基間苯二酚、4-甲基間苯二酚、鄰氯苯酚、間氯苯酚、對氯苯酚、2,3-二氯苯酚、間羥甲基酚、對羥甲基酚、對羥丁基酚、鄰乙基酚、間乙基酚、對乙基酚、2,3-二乙基酚、2,5-二乙基酚、對異丙基酚、α -酚、/3 -酚等。其可單獨地或以複數個之混合物來使用。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Λ裝--- * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · ·

56l3i8 A7 B7 五、發明說明（7 ) 羥甲基化雙酚類化合物與醛類化合物之使用比例（重量比）通常爲40:60〜100:0，而以50:50〜100:0爲佳，而以70:30〜95:5爲更佳；又鹼性可溶性樹脂之聚苯乙烯換算重量平均分子量係以2,000〜10,000爲佳、而以3,000〜 7,000爲更佳。至於醛類方面，除了福馬林之外，係可使用對甲醛、乙醯酵等任意之醛類化合物，其可單獨地或以複數個之混合物來使用。相對於酚類化合物1莫耳，係使用〇. 6〜 3 · 0莫耳之該等醛類、而以使用〇. 7〜1. 5莫耳爲佳。 (B) 交聯劑於本發明所使用之交聯劑係可使用任意一種以氧來起始交聯反應者。該等交聯劑方面，舉出除了三聚氰胺系、苯胍-甲醛系、尿素系化合物之外，而以羥烷基烷基化三聚氰胺樹脂或烴烷基烷基化尿素樹脂等之羥烷基烷基化胺基樹脂爲佳。該等羥烷基烷基化胺基樹脂之具體範例方面’舉出有羥甲基甲基化三聚氰胺樹脂、羥乙基甲基化三聚氰胺樹脂、羥丙基甲基化三聚氰胺樹脂、羥丁基甲基化三聚氰胺樹脂、羥甲基甲基化尿素樹脂、羥乙基甲基化尿素樹脂、羥丙基甲基化尿素樹脂、羥丁基甲基化尿素樹脂等。該等交聯劑係可單獨地或以2種以上之混合物來使用，該配合量爲每1 〇〇重量份之鹼性可溶性樹脂，通常爲 2〜50重量份，而以5〜30重量份爲佳。 (C) 光氧產生劑 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝—— 參 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561318 A7 B7__ 五、發明說明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之光氧產生劑方面，亦可使用任一種以習知化學放大型感光性樹脂組成物，所使用之眾所週知或公認之光氧產生劑。該等光氧產生劑之範例方面，鏺鹽有碘鐵鹽、毓鹽、重氮鹽、銨鹽、吡啶鹽等；含鹵素化合物有含有鹵化烷基烴化合物、含有鹵化烷基雜環化合物等；重氮酮化合物有1,3-二酮-2-重氮化合物、重氮苯醌化合物、重氮萘醌化合物等；楓化合物有/3 -酮楓、/3 -磺醯楓等；磺酸化合物有烷基磺酸酯、鹵化烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、亞氨基磺酯等作爲代表。光氧產生劑係可單獨地或以2 種以上之混合物來使用’該配合重爲每1 0 0重量份之驗性可溶性樹脂，通常爲0.1〜1 0重量份，而以0.5〜5.0重量份爲佳。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製又於本發明之感光性樹脂組成物中，以配合作爲添加劑之鹼性化合物爲佳。該鹼性化合物係於以由於曝光而從光氧產生劑產生氧之阻體膜中來控制擴散現象，可提高顯像度同時可提高曝光容限等。該等鹼性化合物方面，可舉出第1級、第2級、第3級之脂肪族胺類、芳香族胺類、雜環胺類、具有烷基或芳基等之氮化合物、含有醯胺基或亞醯胺基化合物等。於本發明之感光性樹脂組成物中，溶解鹼性可溶性樹月旨、交聯劑及光氧產生劑之溶劑方面，可舉出乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚等之乙二醇單烷基醚類；乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯等之乙二醇 -10 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 561318 Α7 Β7 1、發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 單烷基醚乙酸酯類；丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚等之丙二醇單烷基醚；丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯等之丙二醇單烷基醚乙酸酯類；乳酸甲酯、乳酸乙酯等之乳酸酯類；甲苯、二甲苯等之芳香族烴類；甲基乙基酮、2-庚酮、環己酮等之酮類；N，N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯烷酮等之醯胺類；τ -丁內酯等之內酯類。該等之溶劑可單獨地或倂用2種以上來使用。於本發明之負型感光性樹脂組成物中，必要時可配合染料、接著助劑及界面活性劑等。染料之範例方面有甲基紫、結晶紫、孔雀綠等；接著助劑之範例方面有六甲基二矽烷基胺、氯化甲基矽烷等；界面活性劑之範例方面有非離子系界面活性劑，例如聚二醇類及其衍生物，即聚丙二醇、或聚羥乙烯基月桂酯，含氟界面活性劑，例如氟洛拉得（商品名，住友3 Μ社製）、美格伐克（商品名，大日本油墨化學工業社製）、思耳氟洛恩（商品名’旭玻璃社製）’或有機矽氧烷界面活性劑，例如 ΚΡ341 (商品名，信越化學工業社製）。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製於本發明中，使用該等負型感光性樹脂組成物之逆錐狀阻體圖像之形成，係通常利用如下之方法。即首先以' 習知之旋轉塗佈法、輥筒塗佈法等眾所週知的塗佈法，於基板上塗佈負型感光性樹脂組成物，進行預焙並形成光阻體膜。其次進行圖像曝光，於必要時進行曝光後焙 (ΡΕΒ)之後，使用鹼性顯像劑來進行顯像。調整該等各本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 561318 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（1Q ) 種條件，並可得逆錐狀阻體圖像，該逆錐狀阻體圖像之錐面與基板形成之角度的逆錐角以75。以下爲佳，而以 60°以下爲更佳。再者’於本發明中，塗佈負型感光性樹脂組成物後之預焙而得之光阻體膜的厚度雖可爲任意之厚度，但是例如在使用所形成之逆錐狀阻體圖像作爲有機EL面板之電極隔離元件的情況下，該膜厚以1〜1 〇〆m範圍爲佳。又於形成阻體圖像之基板上，設置電極等，當然可於表面存在凹凸者。曝光中係使用用於紫外線、遠紫外線、電子射線、X射線寺之習知感光性樹脂組成物之曝光中任意放射線。又，利用剝落法之金屬膜圖像之形成，係使用如上述所形成之阻體圖像作爲光罩，於基板上形成金屬膜，進行使用溶劑等來剝離除去阻體圖像。阻體之剝離劑方面，舉例有AZ脫模劑1 00 (克拉里安特日本社製）等。又構成以本發明所形成之金屬膜圖像之金屬方面，除了鋁、銅、金等之導電性良好的金屬外，亦可爲金屬氧化物等。又於金屬膜之形成方面，可舉出真空蒸鍍、濺鍍、CVD、離子噴鍍等。於該剝落法中，於阻體圖像之除去時，同時除去形成於阻體上之金屬膜或阻體，如此一來則形成金屬膜圖像。又由於蒸鍍時等之基板加熱，使阻體亦爲高溫，因此感光性樹脂組成物方面，係以具有耐熱性、由於蒸鍍時之加熱而不會引起圖像之變形者爲佳。 -12- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 1.

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 561318 A7 __；__B7_______ 五、發明說明（U ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其他方面，利用所形成之逆錐狀阻體圖像作爲有機 EL面板之電極隔離元件的情況下，蒸鍍該阻體圖像於 EL媒體層、電極層爲基板上作爲光罩，以於阻體圖像殘留包含例如形成電極之金屬層的原來狀態以形成面板。因此，爲了防止鄰接之電極間短路，於金屬蒸鍍時，在逆錐狀阻體圖像之側面必須不能形成金屬膜，並充分地形成逆錐角，同時必須充分注意從蒸鍍源出來之蒸鍍角度。又逆錐狀之形狀在例如阻體圖像之表面部分爲薄薄地延伸的形狀之狀況下，或於耐熱性不足的情況下，於爲了極力減少蒸鍍時之昇溫或從隔離元件而來之有機性氣體釋放的阻體圖像之加熱時，由於乾式蝕刻時之昇溫等使阻體圖像變形，並導致阻體圖像上之金屬層與電極膜接觸，因爲產生發光元件間之短路，所以阻體圖像具有良好之形狀、耐熱性爲重要的要素。又於阻體之吸水率變高的情況下，於形成有機EL顯示面板後，由於從作爲隔離元件之阻體產生水分，因而有機EL之壽命變短，如上所述必須選擇不具有如此缺點者作爲阻體材料。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製【實例】以下雖然以本實例來說明本發明，本發明之範例應不限於該等之實例。合成實例（鹼性可溶性樹脂A之合成）將114g之雙酚A、163a之37重量％的福馬林、17〇g 的水裝入可分離燒瓶中，從滴液漏斗滴入由4 0 g氫氧化 • 13 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) ' 561318 A7 --一'__— _B7___ 五、發明說明（12 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 鈉及40g水所構成之混合液於其中。滴入完畢後昇溫至 4 5 t，攪拌8小時同時進行反應。反應完畢後冷卻至1 5 °C，從滴液漏斗滴入500 ml之2當量鹽酸，進行酸析並析出2,2-二（3,5-二羥甲基-4-羥苯基）丙烷之粉末結晶。以將其進行過濾、水洗、乾燥，得到140g之粉末狀結晶。相對於如此所得之雙酚A之四羥甲基物與間甲酚（重量比50:50 )之100重量份之合計量，以54重量份之37 重量％之甲醛、2重量份草酸之比例裝入，並於氮氣壓中，以反應溫度1 00°C反應5小時。所得之鹼性可溶性樹脂A之分子量以聚苯乙嫌換算爲6,200。實例1 (1) 以合成例所得之鹼性可溶性樹脂A 1 00重量份 (2) 烷氧甲基化苯胍-甲醛樹脂 25重量份經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (3) 2,4,6-三（三氯甲基）三阱 2重量份溶解於丙二醇單甲基醚乙酸酯之後，以鐵氟龍製之0.2 // m薄膜過濾器過濾，調製負型感光性樹脂組成物。旋轉塗佈該組成物於4吋晶圓上，於1 00t之加熱板上烘焙120秒之後，得到3.0 // m厚度之阻體膜。於該阻體膜上使用普洛克西米提曝光機（佳能 PL501F)來進行曝光，然後於100°C進行90秒鐘的PEB，以2.38重量％之氫氧化四甲基銨水溶液進行90秒鐘的顯像，進行30 // m之圖像的形成。所得之圖像的逆錐角爲50°，阻體圖像之形狀變成薄 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 56l3i8 A7 B7 &、發明說明（13) 薄地延伸成屋簷之形狀，同時亦爲上方部份無凹陷之良好形狀。更於300°C溫度下進行60分鐘之加熱處理所得之圖像後，觀察圖像形狀時，大致上無發現屋簷部份鬆動、線幅變寬等之形狀變化，亦可維持逆錐角於60°。比較例 1 除了鹼性可溶性樹脂爲由以6/4之比例來混合間甲酚/ 對甲酚之混合甲酚而形成者之外，與實例1相同地來調製負型感光性樹脂組成物，並進行圖像之形成。雖然所得之圖像的逆錐角爲55°，稍微薄薄地延伸成屋簷之形狀，同時於上方部份約有1 500久之凹陷的形狀。再者，於30(TC溫度下進行60分鐘之加熱處理所得之圖像後，觀察圖像形狀時，導致顯著的形狀變化而無法維持逆錐形狀。實例2 於實例1中，除了使圖像曝光變爲全面曝光，同時顯像時間變爲60秒鐘之外，於270°C加熱處理同樣地所得之圖像膜60分鐘。更於50°C下乾燥24小時後，測定重量（Ml)。然後浸漬於純水中24小時，再次測定重量（M2) 。此處，以W作爲晶圓重量之飽和吸水率時，依照（M2-Ml)/(M1-W)xl00之公式計算時爲2.72%。比較例2 感光性組成物方面，除了於實例1所使用之感光性樹脂組成物之外，與實例2相同來計算吸水率時爲4 · 6 3 % -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----^----------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 561318 A7 B7 1 4 五、發明說明（） ’比較於本發明之感光性樹脂組成物，所得之阻體圖像的吸水率約爲1.7倍大。由上述之結果得知，於本發明所使用之感光性樹脂組成物’係由於可形成具有良好形狀之逆錐狀阻體圖像，並亦可形成吸水率低之阻體圖像，可知適合作爲剝落法之感光性樹脂組成物，同時亦適用於作爲有機EL顯示裝置之電極隔離壁材料。【發明之效果】如以上之詳述，以使用本發明新穎之負型感光性樹脂組成物之圖像形成方法，可形成良好形狀之逆錐狀阻體圖像。又所形成之逆錐狀阻體圖像，係由於耐熱性優異，亦可以剝落法來形成良好之金屬膜圖像，更由於吸水率低，亦可適用於有機EL顯示裝置之電極隔離壁材料 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i裝--------訂---------線

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims

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A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種逆錐狀阻體圖像之形成方法，其中在形成使用負型感光性樹脂組成物之逆錐狀阻體圖像的方法中，該負型感光性樹脂組成物含有以下述一般式（I)表示之羥甲基化雙酚類化合物，及聚縮合時所必要使用之酚類化合物與醛類所得之鹼性可溶性樹脂，

(式中Ri至R4係各別表示氫原子、1至3個碳數之院基或一CH2〇H，而t至R4中至少任一個係表示一 CH2〇H ; R5及R6係各別表示氫原子或1至；3個碳數之烷基）。 2.如申請專利範圍第1項之逆錐狀阻體圖像之形成方法，其特徵在鹼性可溶性樹脂爲以重量比爲40:60至 100:0之比例，來使用以上述一般式⑴表示之羥甲基化雙酚類化合物與酚類化合物而得者。 3 · —種金屬膜圖像之形成方法，其中於申請專利範圍第 1或2項之逆錐狀阻體圖像之形成方法所得之逆錐狀阻體圖像上形成金屬膜，接著除去逆錐狀阻體圖像。 4. 一種由金屬膜所形成之圖像的形成方法，其中於申請專利範圍第1或2項之逆錐狀阻體圖像之形成方法而得之逆錐狀阻體圖像上形成金屬膜，並使用該逆錐狀阻體圖像作爲金屬膜隔離壁元件。 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ·:---^----------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 561318 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 Λ 5. —種有機電致發光顯示裝置，其具有由含申請專利範圍第1項之一般式（I)表示之羥甲基化雙酚類化合物，及聚縮合時所必要使用之酚類化合物與醛類，獲得鹼性可溶性樹脂之負型感光性樹脂組成物所形成之逆錐狀金屬隔離壁元件。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）