TW557527B - Method and apparatus for calibration of integrated circuit tester timing - Google Patents

Description

557527 案5虎 91105007 _年 ^_g____修正_ 一 五、發明說明（1) 相關申請案之交互參考 本申請案主張2001年3月26曰申請之美國第 60/2 79, 08 1 號預先申請案（Provisi〇na ! appl icati〇n)之 優先權。 發明領域 本發明係關於積體電路，尤指社μ + ^ , ^ ^ ^ 九斤日 種積體電路之測試， 特別疋積體電路測試裝置之時間校準。 相關技術說明 皆屬 兩速數位 之訊號的 有’例如 這導致比 可能的校 脈精確度 遞延遲的 )至1 0 〇微 此種 人士所熟 積體電路之 匯流排通常 重要時間偏 每秒1 G b i 先前已知電 正（時序）誤 達到這些高 水準。典型 微秒時序精 精破度被不 知。這些因 快速記憶體 具有於其輪 斜（skew)需 ts或更高， 路之更嚴格 差必須被指 資料速率裝 的校正需求 確度。 同的因素所 素包括在裝 爽理器及不同晶片組之 入及輸出端（接腳，pin)上 求。這種積體電路一般具 之輪入/輸出資料速率。 的測試精確度需求，所有 出以便獲得測試器裝置時 置所需之設定，維持及傳 為5〇微微秒（pic〇se⑶nd ^響的情況係為本技藝之 置介面板上之軌跡（導體）

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1 號 11105007 五、發明說明（2) =此裝自置Λ'板為實際被測試積體電路與測試裝置 】；Λ f設備)之電子部份之間的介面。 ^RDX2400 , ,,SchrJ；：gt^ ：RDX220^ 輕微的改變，或如果以電線 $、α J以在-耘期間被 誤差而可能不符合設計軌跡，這些電線由於製造 上之隔離材料之介電常^又立=此，被使用於印刷電路板 線中之隔離材料之介“ 1裝置介面板之材料，或電 變而有不㈤。有數個遞中訊號之頻率改 :㈣阻抗◎，焊錫空洞產生之阻抗不連 抗。 ·點提供阻抗不連續，以及電線終端效應阻 術問題經常 延遲有關， 此降低測試 這些時序誤 檢查以及時 自動版本。 傳遞延遲之 線向下傳遞 之内在傳輪 域完成。因 所產生之技 的反射以及傳遞 正變得複雜並因 傳統上測量 以執行精確度的 工示波器方法之 測量傳輸線中之 驅動器沿一傳輸 阻抗之傳輪線側 介面板之周圍領 與交流電（AC)損 所有的問題使裝 精確度。 差的嘗試包括人 序的偏斜。自動 同樣地TDR (時域 技術。這可藉由 一訊號，並觀察 線上的實際電壓 為由位於從測試 失，於變化中 置介面板之校 工示波器測量 探針測量係人 反射）係一種 以一來源終端 該驅動器來源 準位而於裝置 器裝置經由裝

557527 _案號91105007_年月 曰 偬工 五、發明說明（3) 置介面板之路徑上之積體電路插槽所造成之在測試下之裝 置上的不連續而使得這是可能的。也有其它影響精確产 不連續存在。 θ 又 同時參照20 0 0年2月28日提出之共同申請中以及共同 擁有’共同發明之美國第09/5 1 470 8號，名稱為”插座、校^| 之方法及裝置'，申請案，其描述使用一組用以連續轉換測 喊中之積體電路裝置之接腳中一共同探針測試頻道至獨立 $道之參考方塊，該申請案被合併於此為參考資料。該申 ，案完整地被合併於此以供參考。每一參考方塊係一 ^效 的啞（dummy)"積體電路，其包含特定接腳（端）之 ΪΪ的軌!。當每一參考方塊被插入測試器裝置中之測試 二，下時，該參考方塊將訊號路徑轉換至一新的接腳。 呈二，考方塊軌跡為短路，且該組參考方塊中之所有方 :有相同的執跡長度。該等參考方塊一般被製造相 ^的外部特徵以及與實際積體電路DUT相同之尺寸/因此 它們可以使用習知自動的掌置摔作.署r ^之因此 被循環。 曰動的衣置钿作衣置經由測試器裝置而 特定：ί :二考扞方：之數目等於受到時序校正之測試中之 訊泸# s i 號端之數目。每一軌跡連接一不同 至方I组中之每 不门 個被設置於— 考：塊可以使用多位置固定裝置-次- 使用。該固〜Γ固疋裝置，或多個參考方塊可以被平行 板以及最後：供參考方塊至習知測試器裝置之負載 取俊疋该測试器裝置之電子部份。

第8頁 557527 修正 曰 -t-ffe ^9,1105007__年月 五、發明說明（4) 方塊之訊號 之參考端上 程式化I/O 於參考方塊 測試器裝置 考端上發生 儲存於測試 一方塊重 為程式一訊 訊號脈波於 。一最終校 號端上以及 。該最終校 山 此測試器裴置隨後制定一訊號脈波於參考 端上’並測量延遲時間的量直到在該參考方塊 發生結果脈波為止。極性隨後使用測試器之可 特徵而被反相，且測試器裝置程式一訊號脈波 之 > 考上。（亦即’ δΚ 虎流的方向被反相。） 隨後測量延遲時間的量直到在該參考方塊之參 所產生之脈波為止。這些相對的時間偏移值被 器裝置之記憶體中。這些步驟為方塊組中之每 覆。所獲得之最高相對偏移時間值被用以校準 说脈波於訊號端上（已知為”驅動"）以及測量一 訊號端上（已知為”比較”）二者之測試器之時序 準步驟被執行以使設計一訊號脈波之程式於訊 測量一訊號脈波於訊號端上之間的差異為相等 準步驟可以不同方式執行之。 綜合說明 於受測1C裝置上之接聊(訊=數目，二 言具有共上情 叫忒中之蒼考方塊的數目可能被限 :接爾目。此相同之方塊組隨後被用以群中 母一纽之接腳。此情況之-例為已知之來源同ΐ匯?排 第9頁 557527 _案號 91105007 五、發明說明（5) 其中可能有許多受測 分為多個群，例如， 之時脈訊號。於此情 目不大於每一群中之 準。因此，受測之整 出接腳。如果它們被 個參考方塊可能足以 塊技術對於為執行測 有用的，以便具有需 輸入匯流排群。上述 例包括一來源同步低 差分訊號匯流排之情 跳線執跡之好處。亦 跡。 同樣地，另一差 分（二訊號）匯流排之 訊？虎之間的時序偏移 用於真及閃訊號通道 同樣也可發現對 佳，如此處所描述。

修正 ^置上之接腳，但為時序之故而被區 每群8個接腳並具有一單一訊號相關 /兄中’受測之整個裝置可使用具有數 接腳數目之單一參考方塊組而受到校 $褒置可能具有，例如，720輸入/輸 分為每一組9接腳之8〇個群，則一組9 ，準測試器裝置。換句話說，參考方 。式之人員所已知之大接腳數量裝置是 要嚴格内部校準需求之較小的輸入/ 之例係一來源同步匯流排。其它的實 電壓差動訊號差動匯流排。在低電壓 况中可以發現在參考方塊上使用差分 即，於每一參考方塊上提供二跳線執 分型態校準測量來自受測裝置之一差 真（true)與閂（bar)(高與低）輸出 。於此例中，一有二參考方塊之組被 〇 參考方塊的不同改良以使其結構為最 詳細說明

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第一圖係表示與本發明一起使用之大部份習知 件 測試器装置。參考方塊n〇被插入_ 1件 之中。該參考方塊實質上是被該測二 J路⑽T)之代用品，並具有位於與真正DUT相同 ^經由…固定裝置丄07與負載板105電連接之電性連接。負 ^板105實際上開展來自參考方塊11〇之電訊號，接著被電 連接至與習知ATE測試器（未示出）形成電性介面之—測試 頊103。一種例示之ATE測試器係來自Schlumberg打 °

Corp.，ATE部門之RDX 2200。該測試器傳送訊號至參考方 亚可測量從參考方塊而來之訊號。其優點在於訊號到 ，之測量點11 6係位於固定準位，而非位於負載板準位。 這允δ午當彳文測試器傳送而來的訊號到達參考方塊時（戋另 一情況是當一來自參考方塊之訊號到達測試器的時候負 ，板與固定裝置之間的電子路徑被列入考量以更正確地決 定。雖然此電子路徑在絕對項目中可能不重要，當定義高 性能積體電路之特性時變得很重要。該參考方塊^ 〇 ^ 造以便於被放置於固定裝置中時具有（儘量接近預定的製 造限制）與最終被測試之積體電路（DUT)相同的適當尺寸' 因此，此裝置允許該測試器經由一裝置測量其本身，其實 際上儘量與想要之D U T相同。 第2 A圖係依據本發明之一組參考方塊 110a, 110b, ll〇c, ll〇d從下方之視圖’亦即，如同由放置 每一參考方塊之固定裝置所見。雖然只有表示4個參考方 塊110a, 110b, ll〇c，110d ’應注意的是此數目僅為說明之

第11頁 557527 —：__案號91105007_^月 日 條正 五、發明說明（7) " ' " 用；參考方塊的數目實際上需要與受到共同時序校準之 DUT上之高速訊號端之數目相同。 每一4個參考方塊110a，1 10b，1 10c，丨1〇d描述數個高速 訊號端位置1 1 7 a，11 7 b，11 7 c，1 1 7 d以及一訊號參考端 1 1 8 a，1 1 8 b，1 1 8 c，1 1 8 d (僅為清楚呈現之用，分別以封閉圓 與空洞圓表示）。對每一參考方塊，參考端 118a，118b，118c，118d係位於相同位置。在參考方塊組中 之每一方塊具有一或更多訊號端以及一參考端位於與所欲 之DUT相同的實體位置。於一實施例中，二測試器通道被 摩馬合至每一參考方塊上之每一訊號端。一第一測試器通道 1 2 2誕供一脈波至訊號端（驅動器），而一第二測試器通道 1 24偵測來自訊號端之脈波（比較器）（為清楚呈現，只有— 訊？虎纟而被表不為電連接至二測試器通道）。此種端被稱為 雙傳輸線（dual transmission line; DTL)端。此被選擇 之參考端其本身不應是需要正破時序校準之端，因為此表 考端不能校正其本身至與其它端相同的正確度。較佳者: 所選擇之共同參考端不應是一DTL端。如果一DTL端將被校 準，驅動器及比較器二者於其個別之傳輸線之端部被提^ 50歐姆之終端以消除反射。那也是有幫助的，但並非必、 要，所選擇之參考終端應被放置在參考方塊之中心，因此 訊號執跡12〇8，12013，120〇:，120(1更容易被使用。訊號軌跡 120a，120b，120c，120d被用以電連接至每一參考方塊上之 一特別的，單一高速訊號端至每一參考方塊上之參考端。 在參考方塊上之每一訊號軌跡在實體上與電性上廣穷

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第13頁 557527 曰 修正 案號 911050Π7 五、發明說明（9) 被製造，該組中之參考方塊之數目等於將受到時序校準之 積體電路DUT上之訊號端之數目。來自該組之一參考方塊 被插入固定裝置中。如較早所述，每一參考方塊呈有一訊 號軌跡於其上並電連接其訊號端至其參考端。測試器隨後 程式-脈波於g號端，1測量延遲的時間量直到在參考端 極生心ί ί * ’其大約、ΐ70微微秒等級。訊號流方 、、;"w二：才目’且測試器程式一脈波於參考端上。 ί:ί驟ϊί Γϊ的時序偏移被儲存於測試器記憶體中。 k坚步驟為此組中之名__-jtr IA ^ ^ ^ 相對偏蒋日士床佶4 方塊而重设進行。所獲得之最高 動，:以以校準程式一脈波於訊號端上(”驅 試器時序。這可以用許多 才脈（必、車乂）-者之測 試器呈有一垆進鉍女σ。方式70成。於一實施例中，此測 整相對時序偏^ ^及一日寸序產生器。該校準暫存器調 序偏移值。此時戽g ^ ^ π 及比較時所獲得之最高時 值以調整測。所獲得之最高時序偏移 脈波之程式於參考俨p、 t準破執行以使設計一訊號 間的差異為相等。‘二3里-訊號脈波於參考端上之 …嶋作裝置；;皮=二有詳細討論。較佳者， 置或從固定裝置移出。 ^夕個參考方塊插入固定裝 參考方塊組之自自部操 典型的具有可使用之 第4Α圖描述底視之一 ‘：負山載托盤。 /号方塊用以確保於比較參考端

第14頁 對齊方塊138係一額 > 考γ齊方塊138。該參考端 557527

案號 91105007 五、發明說明（10) 扦所發生之時序偏移（當在參考端觀察到結果脈波時程式 一=波於一訊號端上並觀察）等於在驅動參考端時所發生 ，、守序偏移（虽在相同矾號端上偵測到結果脈波時程式一 :f於"Γ爹考端上亚測量）。參考端對齊方塊13 8與該組方 ^之芬考方塊不同之處在於訊號軌跡120電連接二高速 =虎端’―第，高速訊號端14〇以及一第二高速訊號端 ，-至共同蒼考端118(為清楚呈現，此處以具有χ記號之 二之。）在參考端對齊方塊上之任二高速訊號端可被 用:此步，騾，但所使用之參考端必須總是連接至該組中之 所有芩考方塊之訊號執跡之共同參考端。 第4Β圖，在組合的截面及電性圖式中描述參考端對 用以均等最終校準中之時序偏移。-般位於測 心與DUT之間的數個中間連接電路層係以虛線表示。這 J包括測試器1〇1，負載105及固定裝置1〇7。該測試器ι〇ι i括一驅動器電路丨44及一比較器電路146二者。一導體 I 48連接該驅動器及比較電路至參考端對齊方塊丨38上之丘 同參考端118。該導體具有電路徑長度"a"，當共同參考端 II 8正在驅動從第一訊號端丨4〇所接收之訊號脈波時，复^ 獻在驅動一訊號端140上之一訊號脈波與藉由比較器電路、 1 46所偵測之訊號脈波之間所觀察的時間延遲A ; 一相對日士 間延遲c也於其通過共同參考端118之後，在訊號端14〇上$ 之相同訊號脈波驅動與比較器電路14之訊號脈波偵測之 被觀察到。同樣地，該導體具有不同的電路徑長度匕π ， 當共同參考端1 18正從該測試器101接收一訊&二2時，’其

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—^---案號 min.Rnn? 五、發明說明 最終在第 藉 一不一机观碼丨以椴冗罕父裔剛量，其貢獻時間延 ^定電路徑為相等，於驅動共同參考端所 的 寸序偏移等於比較共同參考端時所發生之時序偏移。的 依據傳輸線理論， 〕=(A— a) + (B-b) [Eqn. 1] [Eqn. 2] [Eqn. 3] 設定a等於b 產生：C = (A 1) + (B_a) 解3 產生： a = (A + B-C) / 2 假設，例如，延遲A, B，及C分別等於2 0 0 ps，3〇〇 ps 與400 ps。則依據程式3，a的值將是： ’ a 二（200 PS + 3〇〇 ps 一 4〇〇 ps) / 2 = 5〇 ps 或 〇·5〇 ns 此5 0 p s的電路徑長度隨後在最終校準中被列入考量 以5周整測试器時序，因此當其應產生一訊號脈波時，該時 膝即被產生。因此，如果訊號端# 1被設計成在1 ns觸發 一訊號脈波’將電路徑3列入考慮之測試器實際上將更 早’在0· 95 ns，觸發訊號脈波〇· 〇5 ns。同樣地，如果測 試為被設計成在1 n s測量（比較）來自訊號端# 1之一訊號脈 波’其將使電路徑a被列入考慮並實際上較晚，在 1. 0 5ns ’測量此訊號脈波〇. 〇5ns。 如上所述，最終校準需要設定電路徑a等於電路徑b。 在貫際上’有許多方式可使用參考端對齊方塊執行此最終

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案號 91105007 五、發明說明（12) 校準。於第一種方法中，A與β的測量在方 — 塊上進行，並被儲存於測試器記情體 」、中之母一方 表。A，BM的值隨後在參考端對齊方塊上被： 度a的值被計算，然後被用以調整儲存時序對照電路長 有其它蒼考方塊測量。之後，對於從該測試傳 預定參考方塊上之訊號端之每一時序邊緣事^，時序校 對照表被查詢且時序被調整。在第二方法中， x 首先在參考端對齊方塊上被測量，然後以皮計算並被用以 杈準該爹考端（亦即，在決定a與1)之間的偏移之後嗖定電 路徑a及b相等）。然後，延遲A與B可被在此方塊組中之苴 餘參考方塊上被測量並被用於時序校準對照表而不需進、一 步凋正。雖然一方法大致產生相同的測試器時序精確度， 第二種方法在某些情況中可能比較正確一些。然而，將先 被使用之特疋的參考方塊（參考端對齊方塊）是需要的。具 有自動部操作裝置並非總是可能的，且因此第一種方法通 常被以自動的操作裝置而被使用。 以上所述類似上述參考用之共同申請中之第 0 9/5 1 4, 708號申請案。 此方法（如以上配合第一至四圖所述）已被發現具有N 接腳之將被校準的DUT需要至少N個特別參考方塊的基本限 制。因此，這對於具有很大數目之接腳的DUT之DUT插槽的 校準並不非常有用，例如典型的大積體電路之6 0 0 I/O (輸入/輸出）接腳。

第17頁 557527 _______ 案號91105007_年月日_修正__ 五、發明說明（13) 有一例外。參考方塊技術已被發現對於具有多個輸入/輸 出接腳小群且嚴格的内部校準需求僅存在於每一群之接腳 中之具有極大接腳數DUT而言是有用的。來源同步](雙 資料速率；Double Data Rate)匯流排1C即為此情況之一 例；其它例子是LVDS(低電壓差分訊號ic)或是具有多重 RAC通道之ic(爆衝AS 1C單元；Rambus ASIC Cell)，其中 RAC係一種型態的記憶體匯流排。 一來源同步匯流排係一組輸入或輸出導體（在一積體 電路上的情況中），其中時序僅相對與該匯流排相關之一 f入或一輸出時脈訊號而被指定。（此處"匯流排"通常是 指承載I/O訊號之一群通道）。於此情況中，匯流排係一組 或一批與一輸入/輸出端相關之通道，其中該匯流排具有 :相關時脈訊號。對受測中之裝置的其它接腳之此時序關 係被較鬆散地指定（或都不指定）。我們發現這已極度地降 ，所需參考方塊的數目以便校準測試整個dut用之測試 _ f 丨月、’兄中，一纪憶體控制器具有，例如1 28輸入/ 二=卩，被分為例如16群的8資料匯流排（ι/〇)接腳，每 其本身的時脈訊號及時脈接腳。因此，共有“4 ，曾;5直所腳在DfT i ’包括時脈訊號接腳。每-群8 1/0通 ί。M 號通道從時序觀點來看是自我控制 和準。L ί °兄匕們僅相對於另—群而為時序之目的而被 ’、σ V寸序也將被校準。依據此方法，對 557527 - -m dlimE--±_a 五、發明說明（14) 1 -------- 1 6接群接腳，所有在方塊組上的g個執跡在參 之每一方塊上的長度是相同的。 λ組中 第五圖描述將在DUT 15〇上對一被選擇之探針接 考端）被校正之9個接腳ι52。（此處只表示Dun5〇 (多 接腳，每一列具有10接腳，在每一列中也提供一外^^ 接腳。）第五圖在表示參考方塊的底側的描述類似第2 A 圖，並且類似第0 9/5 1 4, 708號申請案中所描述、。 在最上部的列中的9個接腳的群152包括8 1/〇接腳以 及1時脈訊號接腳。一組9個相關參考方塊也被提供，而口

有15仏，15413，154(：，154(1被表示，每一方塊具有與卯了1^ 相同的佈局。因此，在列中之全部9參考方塊中的4方塊被 表示。於每一方塊中有一從被選擇探針接腳到其它接腳中 之一的跳線。此組中的其餘（未描述）5個方塊具有從被選 擇探針接腳至在最上方列中將被校準之特定9接腳之其它 接腳中之一的連接是相同的。在每一方塊中之第二列的接 腳上的被選擇探針接腳1 5 6分別被軌跡 158A，158B，158C，158D連接至每一方塊之群152之接腳 160a， 160b， 160c， 160d 〇 第六圖表示第五圖方法之改良及延伸，其中有多群接 腳之校準。這允許，例如，以上所述之僅有9參考方塊之 組的144接腳DDR匯流排之校準。 在第六圖，DUT 170具有接腳群1 72, 1 73，每一群具有 9接腳（8 I / 0及1時脈訊號接腳）。有9個參考方塊的組，其 中只有4方塊170a，....170(1被表示。每一參考方塊於其第

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2列，有一探針接腳176以及於其最低列具有接腳177。因 :一方塊具有連接每一探針接腳1 76, 1 77至群172, 173 1 7 9母^接腳。例如，方塊1 7 〇 a具有連接探針接腳1 7 6至群 夾老古之/妾^卩1 8 〇 a之執迢1 7 9 a。藉此二路徑可被以一訊號 二π塊校準；這可被延展至相同參考方塊上之1 6或更多 :二本校準方法，通常將使用習知技術之時域反射 ^杈準在％序校準方面所有互相相當接近之接腳，如"一 P—s至+ /- 1〇〇 ps。然後本參考方塊技術被使用於^接腳

對齊它介，，即使在時序校準方面相當接近該群 的其匕部件，以獲得該群接腳之更嚴格的時序需求。 另相關的方法被用以校準差分輸入或輸出通道，如 在上述之低電壓差分訊號（1〇w v〇Hage s』g』mLVDs]、结構。lvds係一種使用*高邏輯與低邏 一’、目對較小電壓擺動（swing)，如400毫伏至8 00 二：：電壓差分訊號，且於每一情況中，㈣的相反 =白互補訊號。主訊號與互補訊號通常分別被指定 1真true)"與”閃（bar)”。因此差分訊號需要在任一時

:拖b士： i —δί1 #b同時切換。lvds的重要參數是當訊號 切換日守的真訊號與閂訊歌夕π / i "门也就之間的偏斜（時間延遲）。於第七 圖：ϊ ϊ ΐ中使用測試器用之參考方塊已被發現是有益 1二勒二屮父低列中有二被選擇探針接腳。差分跳線（成 對。二)出現在每一參考方塊上。也就是說，此等軌跡 如第七圖所示是成對的。

557527 修正 t號 91105007 五、發明說明（16) 因此，在第七圖之DUT 190具有與圖六相同之接腳配 置，除了此處訊號是差分之外。存在接腳192，193之二上 部列以及從較低列194所選擇之探針接腳（任意）。此處被 選擇的二探針接腳是四個被描述之相關參考方塊i9〇a,… 1—90d之母一方塊上的接腳1 96 1 97。在將被校準之群中有 ==號用之方塊，而每一差分訊號需要二接腳。例如， 在麥考方塊190a上，成對的轨跡198a，199a分別連接探針 至接腳2 00a，201a。在DUT上之差分訊號接聊 一奴為了取佳的匹配而相鄰。因此在每一參考方塊上之相 鄰探針接腳被成對的執跡連接到相鄰的0及時脈訊號接 腳。同樣地，錢的執跡被呈現在所示 190b，190c，190d 上。 此設置允許在這些群之端上之真/閃訊號偏斜之校 f。在第七圖所示之例中，有9 LVDS資料（1/0)接腳及在 母一接腳列中之一差分時脈訊號。於此例中，再次地，實 際上有9麥考方塊之組僅有4個被表示於圖七。此组中之宜 它參考方塊將使用上部組與接腳之下部列之間的相同差； 接點而被連接。 第八圖描述從具有差分訊號之DUT輸出之真與閂（互補 訊號）訊號之間的另一差分訊號校準。於此情況中，此測 試器具有具有在單端方式中測量一差分訊號之能力，使用 真及閃輸入之分離偏斜測量。此能力被表現於，例如以下 型態的測試器：ITS9000RX， ITS9〇〇〇zx，由 Schiumberger Technologies, Inc.提供。

第… 557527 案號 91105007 曰 修」 五、發明說明（17) 第八圖表示一 DUT 219，其具有差分訊號結構之二上 部接腳221，223。此處之相關的參考方塊組僅具有方塊 220a，220b，其具有連接列221中之每一接腳與列223中之 相鄰接腳之執跡。例如，在方塊2 2 0 a，在列2 2 1中之接腳 224a被執跡226a連接至列223中之接腳228a。在方塊220b 中’ 一交叉執跡排列以列221中之接腳224b被軌跡226b連 接至列223中之接腳228b而被使用。藉此二方塊22〇a，220b 組成此組。此目的係用以決定（並校準）在每一接腳之差分 對中之真與閂訊號之間的偏移。為此目的，此差分接腳對 被分為，群（對全部4接腳）。此二對在訊號方面不需要相 關。、，二參考方塊220a，220b隨後被製造如圖八。4接腳之每 一群之全部4執跡必須在長度上匹配。如果需要的咭， ^度可以為4接腳之另一群不同。現在，群中4接腳之任

”可以是相反對中之二接腳用之一”探針接腳 破一起對齊（校準）。 亚J 注意的 有執跡是相 如虛線所示 由使用如圖 地連接相鄰 間的切換偏 測量。此測 號，並且必 用的輸入差 是其它的軌跡配置是可能的只要方塊組 同的長度。每一列221，223被分為接腳的行， ，因此4接腳的組定義一訊號通道。 ^ 八所示之一參考方口此’猎 的差分對，然後被反相，、；； = =其正常 2被測量及校準，產生很正==之 5式為必須能夠在至少該等對之一對卜刀斜之 須能夠在至少一對上比較。 分對以及專用的輸出差分對，其應被;

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Jf正 曰 案號 91105007 五、發明說明（18) 起”’ T輸入對相關一輸出對。在測試器中之每 鄰接真腳ΐ"/Γ比較器可以觀察一共同驅動器探針，其為相 驅動輸出。因此’du”之所有差分訊號接腳 之相相關的偏斜可僅以二方塊插入而被校準。 :下揭露參考方塊之結構改良 ===為短，，每一組中之匹配長度在並= 鬼 失及；=;=同=層上。…是為降低交流電損 為使用最大數目的導電層並具有好二=考方塊被建構 :-例是使用標準刷電路板(pc料、::。方塊製造 軌跡導體在一單一大pcB板中 J被衣:成具有所有 後使用雷射或鑽石鑛被切為每厚度。此板隨 =錫球可被直接設置於印刷電路板材料卜尺寸。球栅陣 话，用以連接鈾钪，口⑯板材枓上，如果需要的 知鋼導電材料 π ^ 要、合的執跡接點存在，當使用習 夺冤材枓被形成印刷電路上時。 卞你田仗用白 在許多實施例中已發現， 以匹配實際DUT 棱仏具有模擬蓋之參考方塊 自動操作裝置及 ς 2方塊可以適合地安置於 ，路板材料或適合 二:當成蓋。同樣地，此每一IIΐ塑膠一般被黏著於定 :重量，因此可以被操 '考：塊的重量最好類似 ^起之參考方塊的表面在平滑产、*地操作。被操作裝置 丁。 又上應儘量模仿真正的 我們也發現共同4 、 木針接腳（也猶炎 轉為一參考接腳）的選擇

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五、發明說明（19) __^^ 是十分重要的。共同探針接腳必 的通道上且實體上應儘量接 :具有“罝咼的頻寬 腳的群。如果將被校準之;=之；=全部接 接腳，則探針接腳也應該是一雔 又向輸入/輪出 〇 υ τ及/或測試器接·腳可能β ::入/輸出接腳。（一些 雙向。） 了月疋輸入或輪出接腳，所以並非 道的；針r所連接之測試器中之通 似的軌跡訊號是更為重要在母群中之每-接腳中之相 (f lybH ΐ是f果特定的DUT接腳被稱為"探測飛行 腳-傳::為: 接腳-般代表以種 这產生額外的却骑吞、;、 ，負載。 餘部份需要在低訊比；= 在導致回到圖4B之酿叙时： 奴，則瓜订接腳之存 "是從良好卜·^ 驅動器及比較器而;：負載板(圖一之負载板_，執跡 阻是^具有㈣參考方塊之_ T插槽接觸電 別目前在插槽需要使用，觸電阻測試以識 果。在一特宏 ^考方塊，進仃適&的測量並儲存其έ士 裝置（以及控制彡相Λ塊組上執行之校準的最終，該測試 相關電腦之程式）檢查以確定完整的來考方

麵II 第24頁 557527 _案號91105007_年月曰 修正_ 五、發明說明（20) 塊組被測試，然後計算最後的校準值。對具有多重DUT插 槽且皆被平行測試之平行測試系統，參考方塊可能需要通 過自動處理裝置特定次序或多次，以便確定方塊組中至少 每一方塊在每一插槽中被測量。 此揭露係為說明用但非用以限制；對熟悉本技藝之人 士而言按照此揭露而有其它修改是很明顯的並落入所附申 請專利範圍之範圍内。

第25頁 557527 J：_ 修正 曰 素號 91105007 圖式簡單說明 第1圖表示依據本發明之一設置。 第2A圖描述從下方觀察之依據本發明之參考方塊。 第2 B圖描述從側邊觀察之依據本發明之參考方塊。 第3A及3B圖描述可用以實施本發明之一固定裝置之二視 圖。 第3C圖表示一盤中之一參考方塊組。 第4A圖表示依據本發明之一參考端對齊方塊。 第4B圖描述使用中之第4 A圖參考端對齊方塊之側視圖。 第5圖描述一接腳群之一參考方塊。 第6圖描述具有二内部子群之接腳群之一參考方塊組。 第7圖描述具有差分訊號之DUt之一參考方塊組。 第8圖描述差分真/閂偏移校準用之一參考方塊組。 元件符號說明 比較器電路1 4 測試器1 0 1 參考方塊110 固定裝置（CUT插槽）107 負載板1 0 5 測試頭1 0 3 測量點11 6 參考方塊ll〇a，110b，110c，11 0d 參 高速訊號端位置11 7a，117b，117c，11 7d 共同參考端11 8 訊號參考端11 8a，118b，118c，11 8d 訊號軌跡120 訊號軌跡12Ga，12Gb，12Gc，120d 第二測試器通道1 2 4 接點1 2 6 電連接處128 孔130

第26頁 557527 __案號 91105007_一年 p 圖式簡單說明 足跡1 3 2 參考端對齊方塊1 3 8 第一高速訊號端1 4 0 第二高速訊號端1 4 2 驅動器電路144 比較器電路1 4 6 導體148 延遲A，B，C 電路徑a，b 1/〇(輸入/輸出） DDR(雙資料速率；Double Data Rate) DUT 150,170,190,219 軌跡1 58A，1 58B，1 58C，1 58D 接腳 160a, 160b, 160c， 160d 接腳群172, 173 方塊 170a，…· 170d 探針接腳176 接腳 152，177，180a， 192，193，196，197, 20 0a, 2〇la， 221， 223， 224a， 224b， 224a， 224b， 228a, 228b 執道179a 列194 低電壓差分訊號（low vo1tage differential signaling; LVDS) 參考方塊190a，…190d 執跡 198a，199a 探針接腳196, 197 連接列221 方塊220a，220b 執跡22 6a，22 6b

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Claims (1)

1. 557527

   ---- 六、申請專利範圍 1· - 準積體電路測試器時序之方法 電路i供—1固定裝置，用以提供連接至1:2. ,ί，：測試器之電性連接，該固定裝置具ί =之積體 夕汛唬端以及該積體電路之一參者端之連接至〜或 號端被組合於複數群中，每-群具有-共同Π二該等訊 =電路上之每一群中之訊號端之該積 ::::插入該固定裝置中，且更具有如該積體電：：：可 呈：同的相對位置之一或更多訊號端及一參考端，：： 定裝置位置達成如該積體電路般㈣ 擇之：：方：一參考方塊至該固定裝置α，該被選 w ^ ^ ^ α八"又置於其上之一訊號軌跡，該訊號執跡 號端至該參考方塊之-參考端； 野甲之早口fi 以 程式一脈波於將被校準之該參考方塊之該訊號端； 及 藉由測該程式脈波的傳遞延遲以執行該校準。 2 ·如申請專利範圍第1項之方法，其中該執行步驟包括： 反轉極性，然後於該參考方塊之 當來自反轉極性之結果脈波於該參考方塊之該訊號綠 當來自該程式之結果脈波從該參考方塊之該參考端上 之該程式脈波發生時進行測量； 波 該參考端程式一脈

   第28頁 索號 91105007 557527

   六 申請專利範圍 發生時進行測量； 重覆該插入，程式脈浊 、aT曰 組中之每一單一參考方塊剛旦二：-結果巧性’以及為該 從該測量步驟決定每—二：:、、’°果脈波等步驟； 調整於該決定步驟中Cf—相對時間偏移； 使得它們匹配所獲得之該最r ^于之π玄相對捋間偏移值，而 訊號端程式-脈波用之該、、則相對時序偏移值以校準於該 之一脈波；以& κ器’並用以測量該訊號端上 執行一校準，其中於誃 、 移與於該參考端測量一脈、^二士端程式一脈波之該時序偏 3·如申請專利範圍第丨項之^之日守序偏移相等。 裝置將該等參考方塊插入方法^，更包括使用—自動處理 4.如申請專利範圍第】項Λ疋裝置之中的步驟。 道至該參考方塊上之每、一 * π法’更包括耦合二測試器通 器通道用以提供該脈波至：:虎端之步-驟’存在'第-測試 道用以偵測來自該訊：：號㈣’以及-第二測試器通 n.如申請專利範圍第c皮。 。歐姆的阻抗’以及約10 2 ’其中該訊號軌跡具有約 6.如申請專利範圍第c長度。 7如申請專利範圍第6項之方 月 < 方法，包括步驟：

   第29頁 額外參考方塊，1中，其中執行校準之步驟係 :分佈於其上，用以電連外參考方塊具有—訊號軌 ^員外參考方塊之—第外參考方塊之該參考端至 弟二訊號端。 唬、以及該額外參考方塊之一 557527 _案號 911Π5007 六、申請專利範圍 插入該額外參考方塊至該固定裝置之内； 址旲ί ί二脈波於該第—訊號端，並於來自該程式脈波之 、，-u於該測試器及該參考端產生時進行測量；以及 里r —脈波於該測試器·^，並於來自該程式脈波之結 果„亥參考端及該第二訊號端產生時進行測量。 8雷：：請f利範圍第1項之方法，其中該將被測試之積體 ^路係-來源同步積體電路，且每_群具有—相關時脈訊 9更如Λ二範圍第1項之方法…該積體電路於該-或 5夕讯唬鈿上使用差分訊號，且位於該參 執跡係成對分佈。 兄之Λ就 ^如申請專利範圍第9項之方法，其中位於該 失 考方塊上之該訊號執跡連接該訊號端之相鄰差分對。一多 一種用以插入一固定裝置中之參考方塊組，該固定 電連接將被測試之-積體電路至—測試器，該址、 塊之數目等於該積體電路上將被測試之訊號端之數^ 訊號端被結合於複數群中，每一群具有一共同時序 了 且其中芩考方塊的數目等於每一群中之訊號端的數目\ 一參考方塊具有一或更多訊號端且一參考端位於如同哕 體電路之相同的相對位置，I更包括電連接以便於如°同^ 積體電路般之相同位置中造成與該固定裝置之電連接。°Λ 1 2. —種校準積體電路測試器時序之組合，包括： 一固定裝置，其電連接將被測試之一積體電路至一 試器；以及 “

   第30頁 557527 _案號 91105007_年月日__ 六、申請專利範圍 一組參考方塊，每一方塊係用以插入一固定裝置中， 該組參考方塊之數目等於該積體電路上將被測試之訊號端 之數目，該訊號端被結合於複數群中，每一群具有一共同 時序需求，且其中參考方塊的數目等於每一群中之訊號端 的數目，每一參考方塊具有一或更多訊號端且一參考端位 於如同該積體電路般之相同的相對位置，且更包括電連接 以便於如同該積體電路之相同位置中造成與該固定裝置之 電連接。

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