554177 A7 _ B7 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 •本發明係關於顯微鏡單元。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔背景技術〕 過去的顯微鏡以單體就能對亮視野觀察、暗視野觀察 、微分干涉觀察等的各種顯微鏡檢查法進行觀察。但是此 種顯微鏡爲獨立的構造，用於其他任意的裝置例，例如用 於基板檢查裝置則無法進行拆裝。即是過去的顯微鏡會有 只能以單體使用，無法用於其他裝置而缺乏汎用性的問題 點。另外過去的顯微鏡，當以不同的顯微鏡檢查法進行觀 察時，必須以手工作業拆裝各種光學元件，造成煩雜的操 ’作。 本發明的目的係爲提供在於所望的處所所能自由拆裝 而具汎用性，且能自動進行顯微鏡檢查法的變更之顯微鏡 eg 單兀。 〔發明開示〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (1 ) 一種顯微鏡單元，具備：各種光學單元和；和 組裝有至少一個物透鏡之對物透鏡用旋轉器；和使前述對 物透鏡在光軸方向上移動，以便能對選擇性地插入光軸上 .之前述對物透物的焦點進行對焦的對焦機構；和前述各種 光學單元、前述對物透物用旋轉器、前述對焦機構均具備 之可動控制的電動調節器；和將前述各種光學單元、前述 對物透物用旋轉器、前述對焦機構及前述電動調節器組裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -4- 554177 A7 B7 五、發明説明（2 ) 成一體的一個顯微鏡鏡筒；及面對設有該顯微鏡鏡筒之各 種檢查裝置之支承部可自由裝卸的安裝部， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述各種光學元件包括：可選性地切換的視野觀察法 與暗視野觀察法、及至少含有偏光觀察法及微分干涉觀察 法之其中一個的數種顯微鏡檢查法之偏光鏡的偏光鏡插脫 部；和具備有視野鏡面體及暗視野鏡面體的明視野/暗視 野切換部；和具備諾爾曼稜鏡之諾爾曼調整部；及具備檢 偏鏡的檢偏鏡插脫部。 (2 )本案的顯鏡單元如上述（1 )所記載，其中包 括：具備N D濾光鏡的N D濾光鏡調整部；具具備開口光 圈的開口光圈調整部；及具備視野光閘的視野光閘調整部 〇 • ( 3 )本案的顯鏡單元如上述（1 )所記載，其中前 述顯微鏡鏡筒具備可控制設於前述各種光學單元、和前述 對物透物用旋轉器、及前述對焦機構上之各個動調節器的 控制部。 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 (4 )本案的顯鏡單元如上述（3 )所記載，其中前 述控制部可對應於來自操作部所指示的顯微鏡檢查法，對 前述各種光學單元的各種電動調節器進行控制。 (5 )本案的顯鏡單元如上述（1 )所記載，其中前 述顯微鏡鏡筒具有平行於安裝在前述對物透物用旋轉器之 微觀察的光軸，並具有以一定距離形成分離之宏觀察的光 軸’此外更具備可選擇性遮蔽由微觀察光路、及由該微觀 察光路所分割之宏觀察光路兩者其中之一的電動快門切換 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） -5- 554177 A7 B7 五、發明説明（3 ) 部。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (6 )本案的顯鏡單元如上述（1 )所記載，其中前 述對焦機構可使安裝著對物透物用旋轉器的微觀察用對物 透物與宏觀察用對物透物分別朝前述微觀察光軸方向與宏 觀察方向移動。 (7 )本案的顯鏡單元如上述（6 )所記載，其中前 述對焦機構具備：可藉由前述控制部的控制部來驅動前述 電動調節器進而產生迴轉的滾珠螺桿；和藉由前述滾珠螺 桿的迴轉產生移動的直動構件；和藉由該直動構件的移動 產生迴轉的連桿構件；及因爲該連桿構件的迴轉而朝上下 方向移動的對焦滑動器。 (8 )本案的顯鏡單元如上述（5 )所記載，其中前 述的快門切換部具有：電動調節器；和藉由2個分別具有 貫穿孔的遮蔽板形成T字形的快門；及將前述快門導向其 長軸方向的導引構件， 經濟部智慈財產工消費合作社印製 藉由前述控制部對前述電動調節器進行的驅動控制， 前述快門可藉由沿著前述導引構件所產生的移動，選擇性 地遮蔽前述微觀察光路與宏觀光路的其中一個，並將前述 預定的貫穿孔於另一光路上。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元所適 '用之基板檢查裝置的構成之側面圖。 第2圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公趁） -6 - 554177 A7 B7 五、發明説明（4 ) 成之圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第3 A圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的 構成之圖。 第3 B圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的 構成之斷面圖。 第3 C係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的構 * 成之側面圖。 第4 A、4 B圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡 單元的照明燈配置之變形例圖。 第5圖係爲本發明的實施形態之N D濾光器調整部之 基本機構圖。 第6圖係爲本發明的實施形態之A S調整部之基本機 構圖。 第7圖係爲本發明的實施形態之F S調整部之基本機 構圖。 第8圖係爲本發明的實施形態之偏光鏡插脫部之基本 機構部。 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 第9圖係爲本發明的實施形態之明視野/暗視野切換 部之基本機構圖。 第1 0圖係爲本發明的實施形態之快門切換部之基本 機構圖。 第1 1圖係爲本發明的實施形態之諾爾曼調整部之基 本構成圖。 第1 2圖係爲表示本發明的實施形態之操作部的構成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~' 554177 A7 B7 五、發明説明（5 ) 之圖。 ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1 3、1 4圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡 檢查法其各光學單元的狀態之圖。 第1 5圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的 第1應用例之圖。 第1 6圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的 第2應用例之圖。 第1 7圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的 第3應用例之圖。 • 第1 8圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的 第4應用例之圖。 第1 9圖係爲表示本發明的實施形態之顯微鏡單元的 第5應用例之圖。 第2 0 A、2 Ο B圖係爲本發明的第2實施形態之顯 微鏡系統的構成之圖。 主要元件對照表 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 顯微鏡單元 2 操作部 3 安裝部 4 C C D攝影機 5 監視器 6 接目鏡筒 7 個人電腦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 554177 A7 B7 五、發明説明（6 ) 8 透過單元 10 控制部 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 照明燈 * 12 透鏡系 13 N D濾光鏡調整部 14 A S調整部 15 F S調整部 16 透鏡系 17 偏光鏡插脫部 18 明視野/暗視野切換部 19 快門切換部 20 電動旋轉器 2 1 對物透鏡 22 諾爾曼調整部 23 檢偏鏡插脫部 24 旋轉器驅動部 25 對焦驅動部 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 2 6 自動對焦控制部 3 1 鏡面 3 2 對物透鏡 100 顯微鏡鏡筒 101 裝置本體 . 102 載置座 103 被檢查基板 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9 _ 554177 A7 B7 五、發明説明（7 ) 10 4 導引軌 105 顯微鏡單元支承部 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〔實施形態〕 以下，參照圖面說明本發明的實施形態。 第1圖係爲表示本發明的第1實施形態之顯微鏡單元 . 所適用之基板檢查裝置的構成之側面圖。第1圖中，在裝 置本體1 0 1上設置載置座1 02，在此載置座1 02載 置保持被檢查基板1 0 3。被檢查基板1 0 3則是由用於 液晶顯示器（L C D )等的平面顯示器（F P D )之玻璃 基板、半導體晶圓基板、印刷電路基板等所形成。 在裝置本體1 0 1上沿著載置座1 0 2的兩側緣朝Y 軸方向平行地配置一對的導引軌1 0 4、 1 0 4。另外在 載置座1 0 2的上方，跨越此載置座1 〇 2配置門柱型的 顯微鏡單元支承部1 0 5。此顯微鏡單元支承部1 0 5能 沿著導引軌1 〇 4、1 0 4往Y軸方向移動到被檢查基板 ' 1 〇 3上方，即是移動到保持水平狀態之載置座1 〇 2上 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 方。 在顯微鏡單元支承部1 0 5，支承著顯微鏡單元1使 其能往與顯微鏡單元支承部1 〇 5的移動方向（Y軸方向 )成正交的方向（X軸方向）沿著導引軌移動。然而，對 於各種的被檢查基板進行微細地觀察、檢查或測定之各種 基板檢查裝置中，顯微鏡單元1具有能移動地保持或固定 在該基板檢查裝置之支承部中自由拆裝地安裝在所要的處 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 554177 A7 B7 五、發明説明（8 ) 所之構造。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第2圖係爲表示本發明第1實施形態之顯微鏡單元的 構成之圖。顯微鏡單元1其構成用於各種顯微鏡檢查法（ 觀察法）的照明系及觀察光學系之光學單元成一體搭載在 圖3A、3B、3C所示的顯微鏡鏡筒1〇〇。在顯微鏡 單元1連接著操作部（手動開關部）2。另外顯微鏡鏡筒 1 0 0具備裝著有複數個對物透鏡2 1之旋轉器2 0。另 外在顯微鏡鏡筒1 0 0上面的安裝部3安裝C CD攝影機 4，而此C CD攝影機4連接著.監視器5。 . 第3 A〜3 C圖係爲表示顯微鏡單元1的具體構成之 圖。第3 A圖爲上面圖，第3 B圖爲在照明光軸上經剖斷 之斷面圖’第3 C圖爲側面圖。在顯微鏡鏡筒1 〇 〇其中 一方的側面部具備構成爲了操作控制這個顯微鏡單元1的 操作控制單元之控制部1 0。另外在顯微鏡鏡筒1 0 0的 背面部具備內藏照明用光源1 1之照明燈室1 1 1。控制 部1 0連接著第2圖所示的操作部2。 經濟部智慧財產笱8工消費合作社印製 在照明用光源（以下，稱爲照明燈）1 1的顯微鏡鏡 筒1 0 0內的照明光路p上或是其附近，具備透鏡系1 2 、N D濾光鏡1 3 0及其調整部（以下，稱爲n D濾光鏡 調整部）1 3、開口光圈1 4 4及其調整部（以下，稱爲 A S調整部）1 4、視野光閘1 5 3及其調整部（以下， 稱爲FS調整部）15、透鏡系16、組入偏光觀察及微 分干涉觀察用的偏光鏡之直動構件1 7 6及其插脫部（以 下，稱爲偏光鏡插脫部）1 7、明視野鏡面體1 8 6與暗 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 554177 A7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 視野鏡面體1 8 7的切換部（以下’稱爲明視野/暗視野 切換部）1 8、快門1 9 0及其切換部（以下，稱爲快門 切換部）1 9、鏡面3 1。 * N D濾光調整部1 3、A S調整部1 4、F S調整部 1 5、偏光鏡插脫部1 7、明視野/暗視野切換部1 8、 快門切換部1 9分別具有脈衝馬達、步進式馬達、螺旋管 等的電動調節器131、 141、 151、 171、 181、 194。這些電調節器在於圖例中只表示使用脈 衝馬達，這些脈衝馬達1 3 1、141、151、171 、18 1、1 9 4都連接到控制部1 0。 N D濾光器調整部1 3則是利用脈衝馬達1 3 1驅動 上述N D濾光器1 3 0。A S調整部1 4則是利用脈衝馬 經濟部智慧財產%員工消費合作社印製 .達1 4 1驅動上述開口光圈1 44。F S調整部1 5則是 利用脈衝馬達1 5 1驅動上述視野光圈1 5 3。偏光鏡插 脫部1 7則是利用脈衝馬達1 7 1驅動上述偏光鏡。明視 野/暗視野切換部1 8則是利用脈衝馬達1 8 1驅動明視 野鏡面體1 8 6與暗視野鏡面體1 8 7的切換。快門切換 部1 9則是利用脈衝馬達1 9 4驅動上述快門1 9 0。 另外，在主觀察光路q上或其附近，具備被裝著在電 動旋轉器2 0之對物透鏡2 1、組入微分干涉觀察用的諾 爾曼（Normanesque )稜鏡2 2 4之直動構件及其調整部（ 以下’稱爲諾爾曼調整部）2 2、明視野/暗視野切換部 1 8、組入偏光觀察及微分干涉觀察用的偏光板之直動構 件2 7 6及其插脫部（以下，稱爲偏光板插脫部）2 3。 本紙張用中國國家標準（CNS ) A4規格（21^297公羡) ' -- -12- 554177 A7 __ B7 五、發明説明（10) 然而，諾爾曼調整部2 2裝著在旋轉器2 0。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 諾爾曼調整部2 2及檢偏鏡插脫部2 3分別具備脈衝 馬達221、 231。這些脈衝馬達221、 231都連 接到控制部1 0。諾爾曼調整部2 2則是利用脈衝馬達 2 2 1驅動上述諾爾曼稜鏡2 2 4。檢偏鏡插脫部2 3則 是利用脈衝馬達2 3 1驅動上述檢偏鏡的插脫。 •另外，電動旋轉器2 0具備旋轉驅動裝著複數個對物 透鏡2 1之旋轉體2 0 1而使所要的對物透鏡2 1位於主 觀察光路q上之旋轉驅動部2 4。然而在電動旋轉器2 0 能裝著倍率不相同的複數個透鏡2 1。進而在顯微鏡鏡筒 1 〇 〇具備朝觀察光軸方向（主觀察光路Q方向）使其移 動主觀察光路Q上的電動旋轉器2 0之對焦驅動部2 5、 及控制對焦驅動部2 5之自動對焦控制部2 6。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 旋轉器驅動部2 4及對焦驅動部2 5分別具備脈衝馬 達。這些馬達都連接到控制部1 0。旋轉器驅動部2 4則 是利用脈衝馬達旋轉驅動旋轉器2 0的旋轉體2 0 1 ，對 ‘應於經由操作部2所指定倍率之對物透鏡2 1插入到主觀 察光路q上。對焦驅動部2 5則利用脈衝馬達2 5 1進行 後述的對焦驅動。 在副觀察光路r上配置鏡面3 1及低倍率（例如3倍 )的對物透鏡（宏觀對物透鏡）3 2。鏡面3 1將副觀察 光路r成直角轉彎，使對物透鏡3 2的光軸與對物透鏡 2 1的光軸成爲平行。另外，對物透鏡3 2以螺絲裝著在 副觀察鏡筒的前端，能與對焦驅動部2 5的移動一起朝光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） -13- 554177 A7 B7 五、發明説明（11) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 軸方向移動。也就是對物透鏡3 2利用對焦驅動部2 5會g .與對物透鏡2 1連動而朝光軸方向移動，經由此移動，對 物透鏡2 1與對物透鏡3 2同時得以對焦。 在顯微鏡鏡筒1 0 0的上面之主觀察光路q上設置安 裝部3。在此安裝部3，例如裝著C CD攝影機4等的攝 影裝置及接目鏡筒。另外在顯微鏡鏡筒1 0 0的上面，如 第3B圖所示設置鳩尾槽31。然而第3B圖中，在右側 表示鳩尾槽3 1的正面圖。顯微鏡鏡筒1 0 0經由鳩尾槽 嵌合到被設在顯微鏡單元支撐部1 0 5之鳩尾槽溝中，而 支承在顯微鏡支承部1 0 5。然而，各種檢查裝置其顯微 鏡單元支承部之構造，能夠在顯微鏡鏡筒1 0 0的上面以 * 外的背面等設置鳩尾槽3 1。 經濟部智慈財產笱員工消費合作社印製 以下，說明組裝到顯微鏡鏡筒1 0 0的光學單元之功 能。照明燈1 1例如使用白色光源。N D濾光器調整部 1 3具有不改變能量的相對分光分布也能使光的強度減少 之N D濾光器1 3 0，且具有調整該光強度的減少値之功 會b。AS調整部14具有開口光圈（AS) 144，且具 有經調整該開口光圈1 4 4而形成視野爲輪廓淸晰且鮮明 的緣邊之功能。F S調整部1 5具有視野光閘（F S ) 1 5 3，且具有經調整此視野光閘1 5 3而能改變光量及 入射到對物透鏡2 1的光錐角之功能。 偏光鏡插脫部1 7具有偏光鏡，且具有當構成顯微鏡 單元1作爲偏光觀察或微分干涉觀察的光學系時，將該偏 光鏡插入到照明光路P上之功能。明視野/暗視野切換部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 554177 A7 B7 五、發明説明（12) 1 8具有容納明視野照明用的光學系之明視野鏡面體 1 8 6、及容納暗視野照明用光學系之暗視野鏡面體 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 187，且具有將兩鏡面體186、 187插脫於照明光 路P與觀察光路q、r的交點就能切換明視野照明及暗視 野照明之功能。快門切換部1 9具有以後述的快門1 9 0 選擇性遮蔽主觀察光路q或副觀察光路r之功能。 旋轉器20自由旋轉地設有旋轉體201 ，在此旋轉 體2 0 1分別安裝著倍率不相同的複數個對物透鏡2 1。 另外，此旋轉器2 0安裝在對焦驅動部2 5，對於顯微鏡 鏡筒1 0 0爲朝光軸q方向移動而進行對焦。旋轉器驅動 部2 4具有使旋轉器2 0的旋轉體2 0 1旋轉，而將安裝 在旋轉器2 0之複數個對物透鏡2 1當中具有所要倍率之 1個對物透鏡2 0切換配置在觀察光軸上之功能。對焦驅 動部2 5具有朝觀察光軸方向移動安裝旋轉器2 0的對焦 滑動器2 6 1之功能。自動對焦控制部2 6具有控制對焦 •驅動部2 5，對於顯微鏡鏡筒1 0 0爲使對焦滑動器 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 2 6 1朝觀察光軸q方向移動，而對被檢查基板1 〇 3進 行自動對焦之功能。 諾爾曼調整部2 2具有組入諾爾曼稜鏡之直接作動構 件2 2 5，且具有當構成顯微鏡單元1作爲微分干涉觀察 的光學系時，將該直接作動構件2 2 5插入到主觀察光路 Q上，並且調整其橫向偏移之功能。檢偏鏡插脫部2 3具 有組入檢偏鏡之直接作動構件2 3 6，且具有當構成顯微 鏡單元1作爲偏光觀察或是微分干涉觀察的光學系時，將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) 一 " -15- 554177 A7 B7 五、發明説明（13) 該直接作動構件2 3 6插入到主觀察光路q上之功能。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 控制部1 0具有依據操作者由操作部2下達操作指示 .’進行照明燈1 1光量的控制、N D濾光器調整部1 3其 ND濾光器1 3 0的調整控制、AS調整部1 4其開口光 圈1 4 4的調整控制、F S調整部1 5其視野光閘1 5 3 的調整控制、偏光鏡插脫部1 7其偏光鏡的插脫控制、明 視野/暗視野切換部1 8其明視野鏡面體1 8 6及暗視野 鏡面體1 8 7的切換控制、快門切換部1 9其快門1 9 0 的切換控制、調爾曼調整部2 2其諾爾曼稜鏡的插脫及橫 向偏移調整控制、檢偏鏡插脫部2 4其旋轉器2 0的旋轉 控制、對焦驅動部2 5其對焦滑動器2 6 1往觀察光軸方 向的移動控制、對自動對焦控制部2 6的控制指示等之各 ‘種功能。 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 第4 A及4 B圖係爲表示顯微鏡鏡筒1 〇 〇其照明燈 1 1配置的變形例之圖。如第4 A圖所示，將照明燈1 1 設置在顯微鏡鏡筒1 0 0內亦可。另外如第4 B圖所示， 在顯微鏡鏡筒1 0 0的側面設置照明燈室1 1 1 ，並且在 顯微鏡鏡筒1 0 0內設置鏡面1 1 2，以鏡面1 1 2使照 明燈1 1所照射之照明光偏向，而使其入射到透鏡系1 2 亦可。此樣照明燈1 1能夠配合其他機構的外形，安裝到 適當的處所。 以下，說明組入到顯微鏡鏡筒1 〇 〇的各種光學單元 之基本機構。 第5圖係爲N D濾光鏡調整部1 3的基本機構圖。在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 554177 A7 ___B7__ 五、發明説明（14) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 脈衝馬達1 3 1的旋轉軸1 3 2安裝圓盤狀ND濾光鏡 1 3 0的中心部。N D濾光鏡1 3 0被配置成與照明光路 P成正交。N D濾光鏡1 3 0其濃度在境界1 3 3右側附 近最高，朝向順時鐘方向持續變低，在境界1 3 3左側附 近最低。N D濾光鏡1 3 0經由脈衝馬達1 3 1正回轉， 而朝向圖面往反時鐘方向旋轉。此情況，由於照明光路p 上其N D濾光鏡1 3 0的濃度逐漸變低，因而所透過照明 光的光量逐漸變多。另外，N D濾光鏡1 3 0經由脈衝馬 達1 3 1反旋轉，而朝向圖面往順時鐘方向旋轉。此情況 ，由於照明光路p上其N D濾光鏡1 3 0的濃度逐漸變高 ，因而所透過照明光的光量逐漸變少。然而，控制部1 〇 控制脈衝馬達1 3 1的旋轉驅動使其隨著N D濾光鏡 1 3 0的旋轉而境界1 3 3不致橫切照明光路p上。即是 控制部1 0經控制使其當N D濾光鏡1 3 0旋轉時所透過 之照明光的光量不致急速變化，隨時保持漸漸之變化。 經濟部智慈財產苟a(工消費合作社印製 第6圖係爲AS調整部14的基本機構圖。在直接行 進運動型脈衝馬達1 4 1的軸1 4 2安裝直接行進運動之 直接帶動構件1 4 3。直接帶動構件1 4 3與照明光路p 上的開口光圈1 4 4相互卡合著。經由控制部1 0其脈衝 馬達1 4 1的驅動控制，而直接帶動構件1 4 3往一方向 移動，開口光圈1 4 4逐漸張開；隨著直接帶動構件 1 4 3往他方向移動，開口光圈1 44逐漸關閉。 第7圖係爲F S調整部1 5之基本機構圖。在脈衝馬 達1 5 1的旋轉軸1 5 2安裝平板狀視野光閘1 5 3的一 本:紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 554177 A7 ____B7_ 五、發明説明（15) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 端部。在視野光閘1 5 3的他端部設置一定口徑的開口 1 5 4。經由控制部1 0其脈衝馬達1 5 1的旋轉驅動控 制，因而安裝在旋轉軸1 5 2之視野光閘1 5 3的開口 * 1 5 4插脫於照明光路p上。 當經控制部1 0的旋轉驅動控制而脈衝馬達1 5 1正 旋轉時，視野光閘1 5 3朝向圖面往反時鐘方向旋轉。因 此，開口 1 5 4插入到照明光路p上。另外，當經控制部 1 0的旋轉驅動控制而脈衝馬達1 5 1反旋轉時，視野光 閘1 5 3朝向圖面往順時鐘方向旋轉。因此開口 1 5 4從 照明光路P上脫離。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 第8圖係爲偏光鏡插脫1 7之基本機構圖。在脈衝馬 達1 7 1的旋轉軸1 72，在與這個旋轉軸1 72成正交 的狀態下安裝連結臂1 7 3的一端。連結臂1 7 3的他端 ，在與旋轉軸1 7 2成爲平行的狀態下設置圓柱狀的導引 構件1 74。另外，在直接帶動導引構件1 75上配置直 接行進運動之直接帶動構件1 7 6。在直接帶動構件 1 7 6配置偏光鏡1 7 7使其與照明光路p成正交。另外 在直接帶動構件176，朝縱方向設置長穴176，在此 長穴1 7 8插通著被設在連結臂1 7 3之導引構件1 7 4 〇 經由控制部1 0其脈衝馬達1 7 1的旋轉驅動控制， 因而介由旋轉軸172及連結臂173 ’導引構件174 • 在旋轉軸1 7 2的周圍轉。隨著該旋轉轉’導引構件 1 7 4上昇或是下降於長孔1 7 8內，同時沿著直接帶動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 554177 A7 B7 主、發明説明（16) 構件1 7 5使直接帶動構件1 7 6直接行進運動。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當經控制部1 0的旋轉驅動控制而脈衝馬達1 7 1正 旋轉時，導引構件1 7 4朝向圖面往反時鐘方向旋轉。此 情況，直接帶動構件1 7 6往左方向移動，偏光鏡1 7 7 插入到照明光路P上。另外，當經控制部1 0的旋轉驅動 控制而脈衝馬達1 7 1反旋轉時，導引構件1 7 4朝向圖 面往順時鐘方向旋轉。此情況，直接帶動構件1 7 6往右 方向移動，偏光鏡1 7 7從照明光路P上脫離。 第9圖係爲明視野/暗視野切換部1 8之基本機構圖 。在脈衝馬達1 8 1其旋轉軸1 8 2的周圍設置小齒輪 1 8 3。另外在直接帶動導引構件1 8 4上配置直接行進 運動之直接帶動構件1 8 5。在直接帶動構件1 8 5並排 配置明視野鏡面體1 8 6及暗視野鏡面體1 8 7。另外在 直接帶動構件1 8 5的上部設置齒條1 8 8，此齒條 1 8 8與小齒輪1 8 3嚙合著。 經濟部智慧財產笱g(工消費合作社印製 經由控制部1 0控制脈衝馬達1 8 1的旋轉驅動，而 旋轉軸1 8 2周圍的小齒輪1 8 3旋轉，則介由齒條 1 8 8，直接帶動構件1 8 5沿著直接帶動導引構件 184直接行進運動。 當經控制部1 0的旋轉驅動控制而脈衝馬達1 8 1正 旋轉時，小齒輪1 8 3朝向圖面往反時鐘方向旋轉。此情 ，直接帶動構件1 8 5往右方向移動，暗視野立體鏡 1 8 7插入到照明光路p上。另外，當經控制部1 0的旋 轉驅動控制而脈衝馬達1 8 1反旋轉時，小齒輪1 8 3朝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 554177 A7 B7 五、發明説明（17) 向圖面往順時鐘方向旋轉。此情況，直接帶動構件1 8 5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 往右方向移動，明視野鏡面體1 8 6插入到照明光路p上 〇 第1 0圖係爲快門切換部1 9之基本機構圖。快門切 換部1 9設置在明視野/暗視野切換部1 8的近旁。快門 190以一對的長方形遮蔽板191、 192形成爲L形 狀。在遮蔽板1 9 1形成透孔1 9 1 a ，在遮蔽板1 9 2 .形成透孔192a。在直接前進運動型脈衝馬達194的 軸1 9 5安裝保持構件1 9 6，在保持構件1 9 6安裝遮 蔽板1 9 2的側部。在遮蔽板1 9 2附近配置用來往該長 邊方向導引快門1 9 0之導引構件1 9 3。 經由控制部1 0控制脈衝馬達1 9 4的驅動，介由軸 1 9 5及保持構件1 9 6，快門1 9 0沿著導引1 9 3直 線移動。因此能夠將透孔1 9 1 a選擇性配置在主觀察光 路q上，或是將透孔1 3 2 a選擇性配置在副觀察光路r 上。 經濟部智慧財產¾員工消費合作社印製 第1 1圖係爲諾爾曼調整部22之基本構成圖。在脈 衝馬達221的旋轉軸222，介由支架附件226安裝 滾珠螺桿2 2 3。在直接帶動導引構件2 2 7上配置直接 行進運動之直接帶動構件2 2 5，在此直接帶動構件 225卡合滾珠螺桿223。在直接帶動構件225上配 置諾爾曼稜鏡224。 當經控制部1 0的旋轉驅動控制而脈衝馬達2 2 1正 旋轉（或反旋轉）時，介由旋轉軸2 2 2，滾珠螺桿 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 554177 A7 B7 五、發明説明（18) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 2 2 3正旋轉（或反旋轉）。因而直接帶動構件2 2 5前 進到直接帶動導引構件2 2 7上（或是後退）。因此諾爾 曼稜鏡2 2 4插入到主觀察光路q上（或是脫離），並且 調整其橫向偏移。 . 檢偏鏡插脫部2 3的基本機構與第8圖所示的基本機 構相同。檢偏鏡插脫部2 3則是在直接帶動構件2 7 6具 備檢偏鏡2 3 4。然後經由控制部1 0控制脈衝馬達 2 3 1的旋轉驅動，而檢偏鏡2 3 4插脫於主觀察光路q 上。 經濟部智慧財產¾員工消費合作社印製 對焦驅動部2 5的基本機構如同第3 c圖所示。在脈 衝馬達2 5 1的旋轉軸2 5 2，介由支架附件2 5 3安裝 滾珠螺桿2 5 4。在直接帶動導引構件2 5 6上配置直接 行進運動之直接帶動構件2 5 5 ;在此直接帶動構件 255卡合滾珠螺桿254。在直接帶動構件225，介 *由軸承2 5 7連結L形狀的連桿構件2 5 8 ;在此連桿構 件2 5 8，介由軸承2 6 0連結L形狀的對焦滑動器 2 6 1。然而，連桿構件2 5 8的轉彎部以支軸2 5 9支 承。對焦滑動器2 6 1被設置成利用設在顯微鏡鏡筒 1 0 0正面之直接帶動導引構件（未圖示）能往上方向自 由滑動。在對焦滑動器2 6 1的下部裝著旋轉器2 0。 當經控制部1 0的旋轉驅動控制而脈衝馬達2 5 1正 旋轉時，介由旋轉軸252，滾珠螺桿254正旋轉。因 而由於直接帶動構件2 5 5前進到直接帶動導引構件 256上（第3C圖爲左方向），因而介由軸承257, 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 554177 A7 B7 五、發明説明（19) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 連桿構件2 5 8旋動到支軸2 5 9周圍。因此，介由軸承 260，對焦滑動器26 1往上方（偏離標本的方向）移 動。另外，當經控制部1 〇的旋轉驅動控制而脈衝馬達 25 1反旋轉時，介由旋轉軸252，滾珠螺桿254反 旋轉。因而由於直接帶動構件2 5 5後退到直接帶動導引 構件2 5 6上（第3 C圖爲右方向），因而介由軸承 257，連桿構件258旋動到支軸259周圍。因此由 於對焦滑動器2 6 1往下方移動，因而旋轉器2 0往下方 (朝向標本的方向）移動。 * 然而，初期狀態則是對焦滑動器2 6 1以自體重量而 被懸吊的狀態，設定對物透鏡2 1使其不致與標本衝突。 另外加長L形狀的連桿構件2 5 8其L 1的長度使其比 L 2的長度還長，則能提升使旋轉器2 0 (對焦滑動器 2 6 1 )上下作動的分解能。相反地，加長L形狀的連桿 構件2 5 8其L 2的長度使其比L 1的長度還長，則提升 使旋轉器2 0 (對焦滑動器2 6 1 )上下作動的速度。 經濟部智慈財產苟員工消費合作社印製 然而上述則是使用馬達作爲各基本機構的動力源，不 過也能使用除此之外的調節器或壓電元件。另外第5、7 、9、1 0圖則是將各移動物體直接安裝在馬達的軸上， 不過在移動物體與馬達的軸之間設置減速機構等亦可。另 外，上述各基本機構爲了驅動上述過的任一移動物體也可 以使用。例如，也可以將第9圖的基本機構用於偏光鏡插 脫部1 7或諾爾曼調整部2 2。 第1 2圖係爲表示操作部2的構成之圖。操作部2係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚1 -22- 554177 A7 B7 五、發明説明（20) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 爲在面板設置倍率旋鈕2 0 1、明視野觀察開關（以下， 稱爲BF開關）202、暗視野觀察開關（以下，稱爲 D F開關）2 0 3、偏光觀察開關（以下，稱爲p〇l開 關）204、微分干涉觀察開關（以下，稱爲D 1C開關 )205、開口光圈調整旋鈕（以下，稱爲AS旋鈕） 2 0 6、ND濾光鏡調整旋鈕（以下，稱爲ND旋鈕） 207、 諾爾曼調整旋鈕（以下，稱爲Ν· P旋鈕） 208、 光量調整旋鈕209、以及設定開關210。 以下，參照第1 3、 1 4圖說明如上述所構成之顯微 鏡單元1的動作。然而，第1 3、 1 4圖所示的表格都記 憶在控制部1 0。 第1 3、 1 4圖係爲表示被組入在用於顯微鏡檢查法 (觀察法）的顯微鏡鏡筒1 〇 〇之各光學單元的狀態之圖 。第1 3圖係爲表示只進行投射照明的情況。第1 4圖係 爲表示投射照明及透過照明的情況。 . 當以上述顯微鏡單元1進行明視野觀察時，操作者開 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 啓操作部1 2的B F開關2 0 2。然而明視野觀察法係爲 一般性顯微鏡的顯微鏡檢查法。 顯微鏡單元1的控制部1 〇偵知B F開關2 0 2已開 啓，則首先對各光學單元指示第1 3圖的a 1列中所示明 視野觀察的動作。因此，明視野/暗視野切換部1 8將明 視野鏡面體1 8 6插入到照明光路p上。偏光鏡插脫部 1 7將偏光鏡1 7 7從照明光路p上脫離。f S調整部 1 5將視野光閘1 5 3從照明光路p上脫離。A S調整部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） -23- 554177 A7 B7 五、發明説明（21) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 4則使開口光圈1 4 4的口徑與前次的口徑相同。N D 爐光鏡調整部1 3促使照明光路ρ上其N D濾光鏡1 3 0 的位置與前次的位置相同。偏光鏡插脫部2 3將偏光鏡 2 3 4從主觀察光路Q上脫離。諾爾曼稜鏡調整部2 2貝！] 使諾爾曼棱鏡2 2 4由主觀察光路Q上脫離。快門切換部 1 9以遮蔽板1 9 2遮蔽副觀察光路I* ，將透穴1 9 1 a 配置在主觀察光路（1上。此後，控制部1 0指示自動對焦 控制部2 6使其對也是標本之被檢查基板1 0 3進行對焦 。然後，經由自動對焦控制部2 6的控制，而進行對焦驅 動部2 5的對焦動作。 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 當經以上的設定進行明視野觀察時，照明燈1 1所照 .射的照明光通過透鏡系1 2、N D濾光鏡1 3 0、開口光 圈（A S ) 1 4 4、透鏡系1 6，入射到明視野鏡面體 1 8 6 ;透過明視野鏡面體1 8 6、對物透鏡2 1 ，照射 到也是標本之被檢查基板1 0 3。從被檢查基板1 0 3的 光，再度通過對物透鏡2 1、明視野鏡鏡面體1 8 6入射 到CCD攝影機4。CCD攝影機4取標本像而將該畫像 訊號送出到監視器5。監視器5將從C C D攝影機4的畫 像訊號經畫像處理而顯示標本像。 當以上述顯微鏡單元1進行暗視野觀察時，操作者開 啓操作部2的D F開關2 0 3。然而，暗視野觀察法係爲 * 利用比對物透鏡的受光角還大的中空圓錐狀之光’照明標 本之顯微鏡檢查法；能夠只以散射光進行觀察’也區別標 本表面些微的不規則性。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24 - 554177 A7 ___B7 五、發明説明（22) 顯微鏡單元1的控制部1 〇偵知D F開關2 0 3已開 啓’則首先對各光學單元指示第1 3圖的a 2列所示暗視 野覯察的動作。因此，明視野/暗視野切換部1 8將暗視 野立體鏡1 8 7插入到照明光路p上。偏向鏡插脫部1 7 將偏光鏡1 7 7從照明光路p上脫離。F S調整部係使視 .野光閘1 5 3從照明光路p上脫離。A S調整部1 4將開 口光圈1 4 4開放。N D濾光器調整部1 3調整照光路p 上的N D濾光鏡1 3 0的位置使其與前次的位置相同。檢 偏鏡插脫部2 3將檢偏鏡2 3 4從主觀察光路q上脫離。 諾爾曼調整部2 2將諾爾曼稜鏡2 2 4從主觀察光路Q上 脫離。快門切換部1 9以遮蔽板1 9 2遮蔽副觀察光路r ’將透穴1 9 1 a配置在主觀察光路q上。此後，控制部 1 0指示自動對焦控制部2 6使其對也是標本之被檢查基 板1 0 3進行對焦。然後，經由自動對焦控制部2 6的控 制，進行對焦驅動部2 5的對焦動作。 當經由以上的設定進行暗視野觀察時，從照明燈1 1 所照射之照明光，通過透鏡系1 2、N D濾光鏡1 3 0、 開口光圏（A S ) 1 4 4、透鏡系1 6入射到暗視野鏡面 體1 8 7 ;通過暗視野鏡面體1 8 7、對物透鏡2 1，照 射到也是標本之被檢查基板1 0 3。從被檢查基板1 0 3 的光，再度通過對物透鏡2 1、暗視野鏡面體1 8 7入射 到CCD攝影機4。CCD攝影機4攝取標本像而將該畫 像訊號送出到監視器5。監視器5將從C C D攝影機4的 畫像訊號經畫像處理而顯示標本像。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） 丨Γ--.------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 -25- 554177 A7 B7 五、發明説明（23) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當以上述顯微鏡單元1進行偏光觀察時，操作者開啓 *操作部12的POL開關204。然而，偏光觀察法係爲 以偏光觀察標本之顯微鏡檢查法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 顯微鏡單元1的控制部1 0偵知P〇L開關2 0 4已 開啓，則首先對各光學單元，指示第1 3圖的a 3列之偏 光觀察的動作。因此，明視野/暗視野切換部1 8將明視 野立體鏡1 8 6插入到照明光路p上。偏光鏡插脫部1 7 將偏光鏡1 7 7插入到照明光路p上。F S調整部1 5將 視野光閘1 5 3從照明光路p上脫離。A S調整部1 4調 整開口光圈1 4 4的口徑使其與前次的口徑相同。N D濾 光器調整部1 3調整照明光路p上其N D濾光鏡1 3 0的 位置使其與前次的位置相同。檢偏鏡插脫部2 3將檢偏鏡 2 3 4插入到主觀察光路ci上。諾爾曼調整部2 2將諾爾 曼稜鏡2 2 4從主觀察光路q上脫離。快門切換部1 9以 遮蔽板1 9 2遮蔽副觀察光路r ，將透穴1 9 1 a配置在 上觀察光路Q上。此後，控制部1 0指示對焦控制部2 6 使其對也是標本之被檢查基板1 〇 3進行對焦。然後，經 由自動對焦控制部2 6的控制，進行對焦驅動部2 5的對 焦動作。 當經以上的設定進行偏光觀察時，從照明燈1 1所照 射之照明光，通過透鏡系1 2、N D濾光鏡1 3 0、開口 光圈（AS) 144、透鏡系16、偏光鏡177入射到 明視野鏡面體1 8 6 ;通過明視野鏡面體1 8 6、對物透 鏡2 1 ，照射到也是標本之被檢查基板1 〇 3。從被檢查 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 554177 A7 B7 五、發明説明（24) 基板1 0 3的光，再度通過對物透鏡2 1、明視野鏡面體 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 86、偏光鏡234入射到CCD攝影機4。CCD攝 影機攝4取標本像而將該畫像訊號送出到監視器5。監視 器5將從C C D攝影機4的畫像訊號經畫像處理而顯示標 本像。 當以上述顯微鏡單元1進行微分干涉觀察時，操作者 •開啓操作部1 2的D I C開關205。然而，微分干涉觀 察法係爲使些微橫向偏移的2個光波透過到標本中，干涉 對應於相當於該折射率的差的位相差之變形波，改換成顏 色的對比度而將位相分布可視化之顯微鏡檢查法。 顯微鏡鏡筒1 0 0的控制部1 0，偵知D I C開關 經濟部智您財產局員工消費合作社印製 2 0 5已開啓，則首先對各光學單元指示第1 3圖的a 4 列所示微分干涉觀察之動作。因此，明視野/暗視野切換 部1 8，將明視野鏡面體1 8 6插入到照明光路p上。偏 光鏡插脫部1 7，將偏光鏡1 7 7插入到照明光路p上。 F S調整部1 5將視野光閘1 5 3從照明光路p上脫離。 A S調整部1 4調整開口光圈1 4 4的口徑使其與前次的 口徑相同。N D濾光鏡調整部1 3調整照明光路p上其 N D濾光鏡1 3 0的位使其與前次的位置相同。偏光鏡插 脫部2 3將偏光鏡2 3 4插入到主觀察光路q上。諾爾曼 調整部2 2將諾爾曼棱鏡2 2 4插入到主觀察光路q上， 橫向偏移調整使其成爲與前次相同的位置。快門切換部 1 9以遮蔽板1 9 2遮蔽副觀察光路r ，將透穴1 9 1 a 配置到主觀察光路Q上。此後，控制部1 〇指示自動對焦 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -27- 554177 A7 _______B7 五、發明説明（25) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 控制部2 6使其對也是標本的被檢查基板1 0 3進行對焦 。然後，經由自動對焦控制部2 6的控制，進行對焦驅動 部2 5的對焦動作。 當經以上的設定進行微分干涉觀察時，從照明燈1 1 所照射之照明光，通過透鏡系1 2、N D濾光鏡1 3 0、 開口光圈（AS) 144、透鏡系16、偏光鏡177入 射到明視野鏡面體1 8 6 ;通過明視野鏡面體1 8 6、諾 爾曼稜鏡2 2 4、對物透鏡2 1 ，照射到也是標本之被檢 查基板1 0 3。從被檢查基板1 0 3的光，再度通過對物 透鏡2 1、諾爾曼稜鏡2 2 4、明視野鏡面體1 8 6、檢 偏鏡2 3 4入射到CCD攝影機4。CCD攝影機4攝取 .標本像而將該畫像訊號送出到監視器5。監視器5將從 C C D攝影機4的畫像訊號經畫像處理而顯示標本像。 經濟部智慧財產^7s工消費合作社印製 當以上述顯微鏡單元1進行宏觀點觀察時，操作者將 操作部1 2的倍率旋鈕2 0 1設定爲「X 3 (MACRO )」。宏觀點觀察則是使用低倍率的對物透鏡3 2，對標 本進行廣範的觀察。然而，使用裝著在旋轉器2 0之各對 物透鏡2 1 (各倍率爲1 〇倍、2 0倍、5 0倍、1 0 0 倍）進行的觀察統稱爲宏觀察。 顯微鏡單元1的控制部1 0偵知倍率旋鈕2 0 1已設 爲「X 3 (MACRO)」，則首先對各光學單元指示第 • 1 3圖的a 5列所示宏觀點觀察之動作。因此，明視野/ 暗視野切換部1 8，將明視野鏡面體1 8 6插入到照明光 路P上。偏光鏡插脫部1 7將偏光鏡1 7 7從照明光路p 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -28- 554177 A7 B7 五、發明説明（26) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 上脫離。F S調整部1 5將視野光閘1 5 3插到照明光路 P上。AS調整部1 4調整開口光圈1 44的口徑使其與 前次的口徑相同。N D濾光鏡調整部1 3調整照明光路p 上的N D濾光鏡1 3 0的位置使其與前次的位置相同。檢 偏鏡插脫部2 3將檢偏鏡2 3 4從主觀察光路Q上脫離。 諾爾曼調整部2 2將諾爾曼稜鏡2 2 4從主觀察光路q上 脫離。快門切換部1 9以遮蔽板1 9 1遮蔽主觀察光路Q ，將透穴1 9 2 a配置在副觀察光路r上。此後，控制部 1 0指示自動對焦控制部2 6使其對也是標本的被檢查基 板1 0 3進行對焦。然後，經由自動對焦控制部2 6的控 制，進行對焦驅動部2 5的對焦動作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當經以上的設定進行宏觀點觀察時，從照明燈1 1所 照射之照明光，通過透鏡系1 2、N D濾光鏡1 3 0、開 口光圈1 4 4、視野光閘1 5 3、透鏡系1 6、明視野鏡 面體1 8 6而以鏡面3 1反射，通過對物透鏡3 2照射到 .也是標本之被檢查基板。從被檢查基板1 0 3的光，再度 通過對物透鏡3 2而以鏡面3 1反射，入射到明視野鏡面 體1 8 6 ;從明視野鏡面體1 8 6入射到CCD攝影機4 。（：C D攝影機4攝取標本像而將該晝像訊號送出到監視 器5。監視器5從C C D攝影機4的晝像訊號經畫像處理 而顯示標本像。 上述已述說過對標對進行直射照明時的動作，不過以 下述說第2實施形態，也能在標本的下方（對物透鏡2 1 或3 2的光軸上）設置透過照明用的光源，利用透過照明 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 554177 A7 B7 五、發明説明（27) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 進行觀察。此情況，操作者開啓操作部2的透過照明觀察 .開關（未圖示）。控制部1 0對各光學單元指示如第1 4 圖的b 1〜b 5列所示之因應於顯微鏡檢查法之動作，並 且使前述透過照明用的光源之電壓値成爲與前次相同。 然而，第13、 14圖中的~前次的位置〃係表示以 前次相同顯微鏡檢查法觀察時其光學單元的狀態。例如調 整開口光圈1 4 4的口徑進行明視野觀察，其後進行微分 干涉觀察，再度進行明視野觀察。此情況，本次的明視野 觀察其開口光圈1 4 4的口徑則是與前次進行明視野觀察 時其開口光圈1 4 4的口徑相同。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，操作者操作操作部2的AS旋鈕206、 ND '旋鈕207、 Ν·Ρ旋鈕208、光量調整旋鈕209, 因而能夠分別任意地調整開口光圈1 4 4、N D濾光鏡 130、諾爾曼稜鏡224，上述光源的電壓値。另外操 作者結束前述的調整後，開啓設定開關2 1 0，因而能夠 將已調整過的狀態記憶到控制部1 0。因此，下次以操作 部2設定顯微鏡檢查法時，能自動地設定爲前經調整過的 狀態。 另外，操作者操作操作部2的倍率旋鈕2 0 1 ，因而 能夠使任意的對物透鏡2 1位於觀察光軸上。另外，預先 .將合於對物透鏡2 1的倍率之光學單元的狀態記憶在控制 部1 0，當操作操作部2的倍率旋鈕2 0 1時，也能夠配 合對物透鏡2 1的倍率自動設定各光學單元的狀態。 依據本發明的第1實施形態，因在顯微鏡鏡筒1 0 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -30- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 554177 A 7 _B7_ 五、發明説明（28) 具備照明燈1 1、N D濾光鏡調整部1 3、A S調整部 1 4、F S調整部1 5、偏光鏡插脫部1 7、明視野/暗 視野切換部1 8、諾爾曼調整部2 2、以及檢偏鏡插脫部 2 3的各光學單元，所以以1個顯微鏡鏡筒1 〇 〇就能構 成明視野觀察、暗視野觀察、偏光觀察、微分干涉觀察等 的各種觀察系（顯微鏡檢查法）。另外經操作者操作操作 部2就能自動且容易地進行顯微鏡檢查法的切換。 • 另外，顯微鏡鏡筒1 0 0因以複數個光學單元所構成 ，所以能簡易施行組裝或維修，並且達成小型化。另外， 各光學單元由於個別具有驅動源（馬達），因而能全自動 控制。另外，由於控制部1 0成一體設置在顯微鏡鏡筒 1 0 0，因而連結各光學單元的配線變短，不易受到外部 雜訊的影響，能順利地驅動各光學單元。然而，因應於構 成上的需求，控制部1 0不設在顯微鏡單元1 ，而爲單體 化亦可。 另外，顯微鏡鏡筒1 0 0因具有在所要的處所能自由 拆裝的構造，所以能獨立作爲顯微鏡的功能，具有汎用性 。另外，因設置已安裝旋轉器2 0的對焦滑動器2 6 1 ， 使其依照操作者操作操作部2，而在於顯微鏡鏡筒1 〇 〇 朝觀察光軸方向移動，所以不必要如同過去的顯微鏡使座 台上下移動。 另外，因在顯微鏡鏡筒1 〇 〇的上面設置安裝部3， 所以能夠在此安裝部3安裝C C D攝影機等的攝影裝置或 接目鏡筒等。以此攝影裝置可以使其在監視器5等的顯示 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） [---.----|丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) I訂 -31 - 554177 A7 B7 五、發明説明（29) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝置顯示明視野觀察、暗視野觀察、偏光觀察、微分干涉 觀察等其觀察像的擴大畫像，且觀察標本。另外由於將照 明燈室1 1 1設置在顯微鏡鏡筒1 0 0的側面能夠縮短顯 微鏡鏡筒1 0 0全體的長度，因而提高顯微鏡鏡筒1 0 0 的機械強度。 以下，說明上述顯微鏡單元的應用例。 第15圖係爲表示上述顯微鏡單元的第1應用例之圖 。第1 5圖中，與第1、 2圖相同的部位附註相同圖號。 第1 5圖則是在安裝部3安裝接目鏡筒6。 此樣在安裝部3安裝接目鏡筒6，而經操作者操作操 作部2就能切換明視野觀察、暗視野觀察、偏光觀察或微 分干涉觀察，且利用這些顯微鏡檢查法介由接目鏡筒6以 目視觀察標本。 第1 6圖係爲表示上述顯微鏡單元的第2應用例之圖 。第16圖中，與第1、 2圖相同部位附註相同圖號。第 1 6圖則是在安裝部3上安裝接目鏡筒6 C C D攝影機4 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •此樣在顯微鏡單元1安裝接目鏡筒6及C C D攝影機 4，經操作者操作操作部2，就能切換明視野觀察、暗視 野觀察、偏光觀察或是微分干涉觀察，且利用這些顯微鏡 檢查法介由接目鏡筒6以目視觀察標本，並且能夠將與此 相同的畫像經由攝影裝置使其顯示在監視器，而觀察標本 的擴大畫像。 第1 7圖係爲表示上述顯微鏡單元的第3應用例之圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32- 554177 A7 B7 五、發明説明（30) 。第17圖中，與第1、2圖相同部位附註相同圖號。第 1 7圖則是在控制部2連接著個人電腦7。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) • 個人電腦7將操作者指示顯微鏡1的操作送到控制部 2。從這個個人電腦7的操作指示係爲指示照明燈1 1其 光量的控制、N D濾光鏡調整部1 3其N D濾光鏡1 3 0 的調整控制、A S調整部1 4其開口光圈1 4 4的調整控 制、F S調整部1 5其視野光閘1 5 3的調整控制、偏光 鏡插脫部1 7其偏光鏡1 7 7的插脫控制、明視野/暗視 野切換部1 8其明視野鏡面體1 8 6與暗視野鏡面體 1 8 7的切換控制、快門切換部1 9其快門1 9 0的切換 控制、諾爾曼調整部2 2其諾爾曼稜鏡2 2 4的插脫及橫 向偏移調整控制、檢偏鏡插脫部2 3其檢偏鏡的插脫控制 、旋轉器驅動部2 4其旋轉器2 0的旋轉控制、對焦驅動 部2 5其旋轉器2 0往觀察光軸方向的移動控制、以及對 自動對焦控制部2 6的控制指示。 另外，個人電腦7也可以經操作者指示依照所被程式 化之顯微鏡單元1的動作順序，操作控制部2。 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 第1 8圖係爲上述顯微鏡單元的第4應用例之圖。第 1 8圖中，與第1、 2圖相同部位附註相同圖號。第1 8 圖則是將顯微鏡單元1安裝在檢查用於液晶顯示器的玻璃 基板之大型的基板檢查裝置。 . 在架台3 0 1上設置基座3 0 2。在此基座3 0 2上 ，能朝Y方向自由移動地設置載置玻璃基板的基台3 0 5 。另外在基座3 0 2上設置門柱臂3 0 3，且對此門柱臂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -33- 554177 A7 B7 五、發明説明（31) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 0 3的水平橫樑能朝X方向自由移動地設置顯微鏡單元 1 °顯微鏡單元1的控制部1 〇受到從操作部2的操作指 示。在安裝部3安裝CCD攝影機4，CCD攝影機4所 攝取的畫像顯示在監視器5。 此種大型的基板檢查裝置則是在基台3 0 5上載置玻 璃基板，在此狀態下，重覆使基台3 0 5朝Y方向移動的 動作、及顯微鏡單元1朝X方向移動的動作，對玻璃基板 的全面攝取畫像。玻璃基板各檢查點的畫像顯示在監視器 ^ 5。此時，經由操作者操作操作部2，能夠切換明視野觀 察、暗視野觀察、偏光觀察、或微分干涉觀察，使這些顯 微鏡檢查法其標本的畫像顯示在監視器5，檢查標本的擴 大畫像。 第1 9圖係爲表示上述顯微鏡單元的第5應用例之圖 。第19圖中，與第1、 2圖相同部位附註相同圖號。第 1 9圖則是將顯微鏡單元1用於大型的基板檢查裝置。 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 在門柱臂3 0 3的水平橫樑，能朝X方向自由移動地 設置顯微鏡單元。在此門柱臂3 0 3的水平橫樑內設置與 顯微鏡單元1的觀察光學系相連繫之延長光學系3 0 4。 在此延長光學系3 0 4的他端部安裝接目鏡筒3 0 0。 此種大型的基板檢查裝置則是在基台3 0 5上載置也 是標本的玻璃基板，在此狀態下，藉由重覆使平台3 0 5 朝Y方向移動的動作、及顯微鏡單元1朝X方向移動的動 作，因而操作者介由接目鏡筒3 0 0，可以經由明視野觀 察、暗視野觀察、偏光觀察、或微分干涉觀察檢查標本。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34- 554177 A7 B7 五、發明説明（32) 第2 Ο A圖係爲表示本發明第2實施形態之顯微鏡系 統的構成之圖。第19A圖中，與第1、 2、 17圖相同 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 的部位附註相同圖號。此顯微鏡單元係爲在第1 7圖所示 顯微鏡單元追加透過單元8。透過單元8如第2 Ο B圖所 示，具備透過用光源8 1及聚光透鏡8 2。透過單元8配 置在也是標本之玻璃基板1 〇 3的下方。 此種的顯微鏡單元則是追加上述第1實施形態的功能 ' ，而能具有透過顯微鏡的功能。操作者經由操作部2進行 透過觀察的操作，則控制部1 0將透過觀察的指示送到透 過單元8，所以透過單元8，使透過用光源8 1啓動，將 該透過用的照明光經由聚光透鏡8 2照明到也是標本之被 檢查基板1 0 3。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此種透過顯微鏡則是透過用的照明光經由聚光透鏡 8 2照射到標本，從這個標本的光通過對物透鏡2 0經由 明視野鏡面體入射到接目鏡筒6及C C D攝影機4。因此 操作者經由接目鏡筒6以目視就可以透過觀察標本，並且 使與該相同的畫像顯示在監視器5，可以觀察標本其透過 像的擴大畫像。 依據本發明的第2實施形態，因在上述第1實施形態 的構成中追加透過單元8，所以加上上述第1實施形態的 效果，能夠使顯微鏡單元具有透過顯微鏡的功能。 然而，本發明並不侷限於上述各實施形態，在不變更 要旨的範圍經適當變形也可以形成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 554177 A7 B7 五、發明説明（33) 〔產業上利用可能性〕 依據本發明，可以提供能在於所要的處所自由拆裝且 鏡 微 顯 之 更 變 的 法 查 檢 鏡 微 顯 行 進 ilvn^ 33 自 匕匕 厶冃 外 另 性 用 ο 汎元 具單 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -36 -