TW512476B - Substrate holder - Google Patents

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512476 經濟部智慧財產扃員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（i·) 本發明係關於一種用以固持基板，尤其是半導體晶圓之 基板固持件，其具有第一及第二部分，基板可被固持在二部 分間。 此類之基板固持件在例如由同一申請人所提出之未公 開<德國專利申請案案號興59 467中有加以說明。此基板 固持件特別適用於在金屬電鍍時固持半導體晶圓，其間，晶 圓要加以電鍍之表面面向一電解液，而其他晶圓則被封住， 與電解液無接觸。為賴此料，基板目持件之—部分設有 圍繞之歡封環’當晶圓被夾持在基板固持件内後，密封環 即壓在晶圓上。 基板固持件二部分之尺寸與密封環之形狀及位置乃如 此^選擇，使得—定尺寸之Μ厚度有良好之㈣。當基板 之厚度不同時，此密封作用即產生變化，因為密封環與在密 封;哀對面之相對面二者間之距離基本上是固定的，晶圓被爽 ，在此二面内，此不完全之密封作用可能導致下列後果：在 晶圓電鍍過程巾，電鑛可能職晶圓上不須進行電鍍之範 圍，並造成傷害。 、另外，岔封環具一侧凹，使晶圓要加以電鍍之表面有電 接觸包接觸由多個主要為徑向延伸之具有接觸頂峰之接觸 彈簧造成，接觸辨延件於侧凹範圍内，並對晶圓表面施加 彈性預力。藉由在接觸彈簧所接觸之晶圓表面，及與晶圓平 仃延伸對JL之f極間施加電壓，即可祕金屬錢。 、由於接觸彈簧之設置，因而產生下列問題：在晶圓表面 並不把產生均勻之電場，因而造成不均勻之金屬沉積。基於 ^紙張尺中鮮（cns)A4規^^ X 297公釐） -4- AVI ^ I-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 512476 A7 —^ -------B7 -- _ , 五、發明說明（2·) =因’最好設置-於徑向包圍晶圓之環形電極，藉此，電 暴得以均勾化。此時，電極與晶圓之徑向距離愈小愈好，以 得到均勻之電場。 ,以上逑之裝置為基礎，本發明之任務係在發明一上述種 4之基板固持件，其不論基板之厚度為何，均提供均勻之固 持，尤其是在二基板組件間提供均勻之夾持作用。另外，本 發明足任務在，降低基板固持件在晶圓範圍内之徑向尺寸。 根據本發明，此任務在一上述種類之基板固持件中乃如 此加以解决·弟一部分具一基座，及至少一可相對此基座運 動<第一支承元件，此第一支承元件在朝向第二部分之方向 上具有彈性預力。如此，具不同厚度之基板可以大致相同之 夾持作用，被固持在基板固持件之二部分間。 在本發明之一特別偏好之實施形式中，在基座及第一支 承元件間，至少具一彈簧，以造成彈性預力。 為了使在第一支承元件上之基板有準確之定位，所以至 / ρ又置有一導引元件，以導引基座及/或第一支承元件之相 對運動。最好設置一止擋塊，以限制基座與第一支承元件間 之相對運動。 根據本發明之一特別偏好之實施形式，在第一支承元件 上设置一支承板’其具一與基板配合之支承面，因而基板之 一侧大致上有完整之支持。另外，支承面最好加以打毛，以 防止基板及支承面間形成真空，不利於基板由支承板中取 出。 根據本發明之一特別偏好之實施形式，至少設置一可相 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐） ^丨_裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I I I I «II — —---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 512476 A7 _ B7 五、發明說明（3·) 對基座及第一支承元件運動之第二支承元件，其於朝向第二 部分之方向上施加彈性預力。第二支承元件使置放於其上之 基板可相對基座及第一支承元件作一相對運動，以與之維持 距離，並使操作裝置之取放更為容易。為此，第二支承元件 最好可運動至第一位置，在此位置，第二支承元件之支承面 在第一支承元件之支承面上。 為確保基板是被水平置於第一支承面上，第二支承元件 最好可運動至一位置，在此位置，第二支承元件之支承面位 於第一支承元件之支承面下。 為使第一及第二支承元件相互間有相同之定位，第二支 承元件最好在第一支承元件之一開口内加以導引。另外，最 好有一裝置，來限制第二支承元件及基座及/或第一支承元 件間之相對運動，以保證均勻之運動程序。 第二支承元件之支承面最好較第一支承元件之支承面 小，以藉由第一支承元件均勻支撐基板。 為使基板確切固定在第二支承元件上，在第二支承元件 之支承面内至少設置一抽吸開口。 根據本發明之一實施形式，基板固持件之第二部分具一 配合基板形狀之中央開口，使基板表面朝向與第二部分無接 觸之範圍。最好只有基板表面之邊緣範圍被基板固持件之第 二邵分蓋住，而且最好在第二部分設置一面向基板、包圍中 央開口之密封元件，使基板自由開放之表面範圍與其餘表面 範圍間有密封。 為使基板固持件之二部分能確切相互固持，最好設置一 本紙張尺度過用甲國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297#釐 裝--------訂---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) #· A7 A7 五 B7 發明說明（4·) 閉鎖單7C。根據本發明之一偏好之實施 一部分具-可轉動之_元件，而在另;分在 邮納此_元件，_元件最轉•少-彈簧Γϋ 二置’並可以一作動機構，克服預力而運動，使二 部刀在放鬆作動機構後，可自動 / 動·。在_元件及/或承 八上取好傾斜之閉細，使二部 間相對運_，被施力。 冑骑及承八 魏外’為控婦二絲元件之運動，閉鎖元 件八土y-固足件，以固定及釋放第二支承元件。第二支承 請最好可藉由蚊件及第二絲元件間之姆獅，克服 其預力而勒，如此’以鮮之方式控鄉二支承元件之運 動。 在基板固持件之二部分間最好設置至少一密封元件，以 使f板崎讀包覆之餘麵細與概_。基板固持 件最好具至少一接觸裝置’使基板面向第二部分之表面有電 接觸，及基板自由開放之表面可進行金屬電鍍。 一種固持基板，尤其是半導體晶圓之基板固持件，其具 有第一及第二部分，基板可在被固持二部分間，且具至少一 接觸元件，使基板表面有電接觸，接觸元件包括一連接末 端，一與之遠離、覆蓋基板之接觸末端，及一在二末端間之 連接部分，根據本發明之任務，基板固持件乃如此解決：連 接部分係大致上垂直於基板接觸表面之導引件，通過基板外 圍，且接觸末端在基板表面方向上具有彈性預力。如此，基 板固持件在固持基板範圍内之徑向尺寸較小，以便設置一徑 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -7-

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 〜~ --- —_B7___ 五、發明說明（5·) 向包圍基板之環形電極。 、連接部分最好可平行於導引件運動，且接觸元件至少在 連接末端及導？丨件間之—範_具挪力，卿成__彈性之 彈簧作用，與接觸末端分開。 接觸元件最好置於基額，且與之共同構成—接觸塊， 中’導引件最好是基座之—部分，以明確定義接觸元件之 位置。最好在-接觸塊内設置多個接觸元件，以在基板上形 成多個接觸點，使基板有安全之電接觸。其中，鋪元件之 ，末端最好與-共同之件相連接，使所有接觸元件形 成均勻之電接觸。 為得到特難之基板電接觸，接觸_設置在基板外 圍。二用於接觸塊之接觸件之接觸用之電導線，最好設計 使每二接觸塊與一導線相連接，而其餘之接觸塊則與另 -導，相連接。此交互接觸方式，使得電阻可經由此二導線 加以量測，以檢測接觸品質。 ^ ^以下藉由圖式來說明本發明。各圖式之内容如下·· 圖 根據本發明之基板固持件之示意剖面圖，基板固持 件在一開放位置； 圖二根據本發明之基板固持件之示意剖面圖，基板固持 件在一封閉位置； 固〜 基板固持件第一部分之示意上視圖，其中，為簡化 之故，一些元件被省略； 圖四 與圖三相似之視角，其中，更多部分被省略； 圖五 根據圖四所見部分之示意剖面圖；

本紙張尺度賴中@ _標準（CNS)A4規格（21〇 χ挪 AW* Μ--------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

512476 五、發明說明（6·) 圖六 根據本發明，從下看基板固持件第二部分之示意 圖，其中，為簡化之故，一些元件也被省略； 圖七 沿圖六剖面線w-w之示意剖面圖； 圖八 根據本發明之閉鎖元件-承穴件之放大細部剖面 圖； 圖九 接觸元件在基板表面上之配置示意圖及其電接觸； 圖十 根據本發明之接觸塊之示意剖面圖； 圖十一根據圖十接觸塊，且沿圖六剖面線X I _χ I之示意 剖面圖； 圖十二根據本發明裝置在圖二中之圓圈部分之放大細部 圖。 圖一顯示一基板固持件1，其具一下部3及一上部4， 基板5可被固持在二部分間。下部3在圖三至圖五中有詳細 說明，其具一面板形式之基座7。在基座7内有一圓形缺口 9，以置放閉鎖機構，這部分以後會再詳加說明。在缺口 9 範圍内設置二導引壁11、12，其相互對立，具環形片段形 狀，且構成一圓形之導引面14，此導引面被二切口 16、17 中斷。此圓形導引面之功能，以後會再以圖三詳加說明。 在基座7内設置多個導引孔19，例如在上部之導引銷 可置於其内，使上部及下部併合時，保證二部件之對心。當 然也可在下部設置導引銷，且在上部設置導引孔，或者使用 其他之上部及/或下部之對心裝置。 在缺口範圍内設置六只接觸元件22a或22b。接觸元件 22a及22b係交互以60。夾角，設置在缺口 9之外部範圍。 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） ------------F--------訂！| 線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 512476 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 A7 五、發明說明（7·) 接觸元件瓜均與一共同之電導線相連接，而接觸元件娜 同樣疋與一共同之電導線相連接，其與接觸元件22a之電導 線不同。 k圖4可以看出，在基座7内設有與缺口 9相連接之孔 24，以連接例如真空管路或是電導線，並將之導入缺口 9 之範圍内。 基座7在缺口 9外之徑向具一主要是平面之表面3〇， 其具一薄膜31，可抵抗基板受處理時所使用之化學物質。 在上側30設置一於徑向包圍缺口 9之槽33，以置放〇型環 35 〇 如前所述，缺口 9之功能至少部分地用以置放閉鎖裝置 38，其最好詳見圖三。 閉鎖裝置38具一環形件40，其上有六只於徑向向外突 出之閉鎖臂41，及二只於徑向向内伸出之固定臂42。環形 件40之内周面較由壁u、12構成之圓形導引面14稍大。 在環形件40内設置六只指向内之導引滾輪44，其與導引面 14接觸’因而環形件40在缺口 9内可以轉動。 閉鎖臂41係均勻設置在環形件40之外圓周。閉鎖臂 4^1具一承穴，以吊掛拉力彈簧邶之末端，為簡化之故，圖 一内出二承穴。拉力彈簧48之另一末端則由一在基座 7上之承穴50固定，使環形件40在一轉動方向上具有預 f。根據圖三，環形件40依順時針方向轉動而受有預力。、 藉以適备方式置於閉鎖臂41上之拉力索52，環形件 可克服彈簧預力而運動。拉力索52經-孔24進入缺口 9 -----------1^^·裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 512476 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（8·) 範圍内，並由一導引滾輪53轉向。 在閉鎖臂41之一徑向外部範圍，設置一閉鎖滾輪55， 其與上部4之閉鎖元件接觸，以後會再以圖八詳加說明。 固定臂42於徑向向内延伸穿過壁11、12間之切口 16、 17,其可與環形件4〇轉動，因而同樣是由彈簧48依順時針 方向施加預力。固定臂42之功能以下會再詳加說明。 為清晰表達之故，在圖一中閉鎖裝置38被省略，並且 另外說明下部3之構造。在壁11、12上(圖一中只顯示壁u) 固定一環形板60。在目前本發明偏好之實施形式中，環形 板60係固定在壁u、12上。在環形板6〇之一上側設置彈 簧安裝件62，以裝配壓力彈簧64，在圖一中只顯示出其中 之一。在環形板60周圍，設有六只均勻分布之壓力彈簧64。 在環形板60上與彈簧安裝件相同角度之處設置導引孔66， 以容納導引銷68。導引銷68可在導引孔66内垂直運動。 在環形板60上有一基板支承板，在其下侧具一安裝 孔，以容納壓力彈簧64。壓力彈簧64延伸於環形板60及 基板支承板70間，且將基板支承板70從環形板6〇向上推 舉。導引銷68係固定在基板支承板70上，因此係相對環形 板60在侧向受導引。導引銷68另外限制基板支承板7〇從 壤形板60向外運動。 支承板70具一粗糙表面72，當基板固持件1封閉後， 基板5之一面被置於其上。表面72有加以打毛，以防止晶 圓5與表面72間形成真空。 支承板70之大小與形狀與晶圓5相稱，且其具一中央 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公爱） -11 - ------------AWI ^--------^ —------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 512476 A7 B7 五、發明說明（9·) 孔74。在中央孔74内設置一可動之平台76。此平台76由 一上壁78及向下延伸之侧壁79構成，因而平台78具倒立 U字形狀。壓力彈簧82延伸於基座7之底板及上壁78之間， 且壓迫平台向上。平台76向上之運動，受到徑向向外延伸 之，在侧壁79上之凸緣84所限制，此時，凸緣觸及基板支 承板70之背侧。 上壁78之頂面構成一基板支承面86。在頂面86内， 設置一環形槽90，其經一在側壁79及凸緣84内之孔92， 及一相應之管路94與一真空源相連，以吸持置於頂面86 上之晶圓5，並固定之。 由圖一可看出，平台76之頂面86較基板支承板70之 頂面72為咼，因而晶圓5與基板支承板7〇間有一距離。如 此，基板操作裝置可在基板5及支承板7〇間運動，且取下 基板，並運出之。反之，晶圓5也可被置於平台76之上。 基板固持件1之上部4具一環形件100，其由圖六及圖 七可明顯看出。在環形件100徑向外部範圍，設置一向下延 伸之凸緣102。在環形件丨00徑向内部範圍則設有一向上延 伸之凸緣104，其上端設有一徑向向内延伸之凸緣106。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 從放大之圖十二細部圖可以看出，在凸緣1〇6下侧1〇8 =設有一密封槽1H)，以放置0型環ln。此密封槽11〇係 設置在凸緣106之徑向最靠近内部之範圍。 由圖，、可看出，在環形件1〇〇之一下侧114設置六只接 觸$承穴116，以容納接觸塊，及六只閉鎖元件承穴118， 以容納_元件，接觸塊及閉鎖耕以下會再詳加說明。接

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本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x —— -------------— B7 __ 五、發明說明（10.) 觸塊承八m在圓周上是均勻的，亦即以度角度距離分 佈在環形件觸圓周上。閉鎖元件承穴118也同樣以60度 角度距離均勻分佈在圓周上。 、、閉鎖兀件120,在圖—中只顯示出其中之一，以適當方 式進入承穴118内，本身則是固定在環形件1〇〇上。圖八顯 不一放大之閉鎖元件12〇之剖面圖。閉鎖元件12〇之形狀大 致類似侧置之u型，且具_上壁122，一端壁124及下壁 126。上壁122至少邵分地會進入承穴118内，使口形開口 128在圓周方向’亦即與下部3上之閉鎖單元％之轉動方 向相反。下壁126之上侧具一斜面13〇，當上部4被閉鎖在 下部3時，閉鎖裝置38之閉鎖滾輪55在相對運動時，會在 此斜面上運動，以下會再詳加說明。 圖十及圖十一顯示一接觸塊134,其被容納在環形件 100 <承穴116内。接觸塊134具一由絕緣材料組成之基座 136 ’及一同樣是由絕緣材料組成之裝配板138。基座136 具一主件140及一與之有段距離之導引件141，詳見圖十。 接觸塊134具七只基板接觸彈簧144、接觸末端145，及一 連接末端146。連接末端146被夾在基座136及主件140間， 並壓在共同之連接-接觸彈簧148上。 基座136具缝150 ’基板接觸彈菁144之中央範圍可在 此缝内被導引運動。基板接觸彈簧144之接觸末端145與彈 簧在導引件141内之中間範園152片段垂直向外延伸。藉由 導引件141，接觸末端145可在垂直方向被導引上下運動， 如圖十中之箭頭所示。接觸末端145相對而言較硬，且本身 297公釐） -13- 512476 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（11·) 不具彈性。接觸末端145藉由中央範圍152具有向下之預 接觸塊134係如上所述，是以適當方式固定在上 上，用以進行晶圓5侧面之電接觸，如圖十二之細部=戶= 示。圖十二顯示出，導引件141大致是垂直於晶圓5之主表 面而延伸，因而容許垂直於導引件而延伸之接觸末端MS 相對於晶圓5做平行運動。 在此要說明的是，在上部4上設置六只接觸塊134，使 晶圓表面在多個點上有電接觸。連接—接觸彈簧148，在基 板固持件封閉時，與接觸元件22a或22b接觸，因而三只^ 觸塊與第一管路150相連接，而其他三只接觸塊則與第二管 路152相連接，如圖九之示意圖所示。其中，任一與管路 150連接之接觸塊位於二與管路152連接之接觸塊間，反之 亦然。藉由量測二管路間之電阻，可確定基板表面接觸之品 質。在處理基板時，二管路被同時啟動，且共同做為基板之 電流供應接點。 以下藉由各圖式，尤其是圖一及圖二，說明基板固持件 1之上料及下料。 圖一顯示在開放位置之基板固持件丨，其中，上部4藉 一真空固定裝置160，被固持在下部3上之一段距離處。基 板支承板70及平台76各藉由彈簧64、82被從下部3之基 座7頂出。平台76之頂面86位置較基板支承件70之支承 面72位置為高，且半導體晶圓5係被置於頂面86上，使要 加以電鍍之晶圓5表面朝上。晶圓5被施加在一環形槽90 上之真空，固定在頂面86上。 AWI ^ ^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ‘紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（21〇 X 297_ 绝) 512476 9i· \ K條正

五、發明說明（12.) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 從此位置開始，上部4藉固定裝置16〇向下垂直運動， 直到接觸 144之接縣端145與晶圓5之—頂面接觸。 藉另一繼續向下之運動，接觸末端145相對於基座136之導 引件141垂直向上運動，而且是與中間件152所產生之彈力 方向相反。如此，接觸末端145係彈性壓在晶圓5之頂面上。 Ρ返後上邵4上之密封環ill與晶圓5之頂面接觸。 上部4繼續往下向下部3運動，因而晶圓5壓縮平台 76，以克服其彈簧預力，直到晶圓底面位於基板支承件之支 承面72上。從此位置起，上部4仍然繼續朝下部3移動， 直到上邵4之凸緣1〇2位於下部3之〇型環35上為止。因 而，平台76及基板支承板70共同克服其彈簧預力向下運 動。尤其是藉由支承板70之彈簧預力，晶圓5之邊緣範圍 彈性壓在密封環111上，而且是以大致上相同之壓力，與晶 圓5之厚度無關，因此，在此範圍出現恆定之密封作用。 在上述之封閉運動過程中，閉鎖裝置38藉由一施在拉 力索52上之扭力，處於一開放位置。在上部*上之閉鎖元 件120運動進入下邵3之基座7内之缺口 9範圍内。隨後拉 力索52被鬆開’因而閉鎖裝置38轉動進入閉鎖位置。此時， 閉鎖臂41之閉鎖滾輪55與閉鎖元件120之斜面130接觸， 使上部4被用力與下部3扣緊而完成閉鎖。 同時，固定臂42與平台76上之運動面接觸，使得平台 76克服其彈簧預力，因而從晶圓5底面運動離開，在此時 刻，環形槽90内仍施有正常之壓力。如此可確保晶圓$可 均勻支承於支承面72上。 本紐尺度翻中國國家鮮（CNS)A4祕（210 x^gTFlT -15- <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

512476 A7 五、發明說明（13·) 然後，向上開放之表面被電解液覆蓋，以進行金屬電 鍍。使用上述基板固持件之金屬電鍍裝置，可參見例如上述 申請人所提出之專利申請書中之說明，在此也將之作為本發 明之標的。 在金屬電鍍過程中，經由接觸彈簧H4，在基板5頂面 及一與之有距離設置之電極間施加電壓，此時，晶圓5表面 係為陰極，而遠離之電極係為陽極。 為在基板表面上獲得均勻之電場，因此設置一陰極環 165，其包圍基板固持件之上部4，如圖十二所示。 雖然以上精由一些偏好之實施例來說明本發明，但本發 明並不受此特殊顯示之實施例所限制。例如，只要彈簧& 所產生之力道不是大到足以因平台而使晶圓5形成彎曲，基 板之平台76即不須運動與晶圓脫離。另外，除了使用單個 平台76外，也可使用多個，例如由三點支撐構成之、在置 放板上延伸之支承銷。各支承銷可單獨，或是經由一共同之 連接元件及相應之彈簧施加預力。單獨支承銷之優點係不必 以真空固定晶圓，因而不必擔心晶圓會傾斜。除此之外，銷 之支承面與板70之支承面相對，可降至最小。另外，接觸 塊數量及每個接觸塊之接觸元件數量會與所顯示之數量不 同。各基板固持件之元件，尤其是支撐部分，具一穩定之核 心部分，其例如是由鈦組成。核心上塗覆有不導電之材料， 例如 ECTFE、PFA 或 FEP。 本紙張尺度適物咖準（C職4規格⑽ -----------裝 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1T---------Φ. 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 512476 五、發明說明（14·)元件符號說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 基板固持件 3 下部 4 上部 5 基板 7 基座 9 缺口 η、12 導引壁 14 導引面 16、17 切口 19 導引孔 22a、22b 接觸元件 24 孔 30 表面 31 薄膜 33 槽 35 0型環 38 閉鎖裝置 40 環形件 42 固定臂 44 導引滚輪 48 拉力彈簧 50 承穴 52 拉力索 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -17- 512476 A7 B7 五、發明說明〇5·) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 53 導引滾輪 55 閉鎖滾輪 60 環形板 62 彈簧安裝件 64 壓力彈簧 66 導引孔 68 導引銷 70 基板支承板 72 表面 74 中央孔 76 平台 78 上壁 79 侧壁 82 壓力彈簧 84 凸緣 86 基板支承面 90 環形槽 92 孔 94 管路 100 環形件 102 凸緣 104 凸緣 106 凸緣 108 下侧 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---I----訂·-------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐) -18- 512476 A7 五、發明說明（Μ·) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 110 密封槽 111 0型環 114 下側 116 接觸塊承穴 118 閉鎖元件承穴 120 閉鎖元件 122 上壁 124 端壁 126 下壁 128 開口 130 斜面 134 接觸塊 136 基座 138 裝配板 140 主件 141 導引件 144 基板接觸彈簧 145 接觸末端 146 連接末端 148 連接-接觸彈簧 150 缝 152 中間範圍 160 真空固定裝置 165 陰極環 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -19-

Claims (1)

1. 丄厶叶/0 六、申請專利範圍 第89127351號專利案申請專利範圍修正本 閱 2. L 一種基板固持件(1)，其用以固持基板(5)，尤其是半導體 卵圓，其具有第一及第二部分(3、4)，基板(5)可被固持 在二部分間，其特徵為，第一部分(3)具一基座(7)及至少 一可相對其運動之第一支承元件(7〇)，此第一支承元件 在朝向第二部分(4)之方向上具有彈性預力。 3· 根據申請專利範圍第1項所述之基板固持件(1)，其特徵 為，在基座(7)及第一支承元件(70)間至少具一彈簧(64)。 根據申請專利範圍第1項所述之基板固持件(1)，其特徵 為’至少具一在相對運動時導引基座(7)及/或第一支承元 件(7〇)之導件(68) 〇 4. 根據申請專利範圍第丨項所述之基板固持件⑴，其特徵 為，至少具一止檔塊，用以限制基座(7)及第一支承元件 (70)間之相對運動。 5. 線 根據申請專利範圍第1項所述之基板目持件(1)，其特徵 為，第—支承元件(70)具一支承板，其上有與基板(5)配 合之支承面(72)。 6·根據申請專利範圍第5項所述之基板固持件⑴，其特徵 為，支承面(72)有加以打毛。 7·根據申請專利範圍第！項所述之基板固持件⑴，其特徵 為々’至少具-可相對於基座⑺及第―支紅件(7〇)運動 <第二支承it件(76)，其在朝向第二部分⑷之方向 有彈性預力。 〃 -20- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 512476 ____ g8S "~"" " — ------—--- 六、申請專利範圍 8·根據申請專利範圍第7項所述之基板固持件(丨），其特徵 為，第一支承元件(76)可運動至第一位置，在此位置， 其支承面(86)位於第一支承元件(70)之支承面(72)上。 9·根據申請專利範圍第7項所述之基板固持件(!），其特徵 為，第二支承元件(76)可運動至第二位置，在此位置， 其支承面(86)位於第一支承元件(70)之支承面(72)下。 10·根據申請專利範圍第7項所述之基板固持件(1)，其特徵 為’弟一支承元件(76)被導引至第一支承元件(70)之孔 (74)内。 11·根據申請專利範圍第7項所述之基板固持件(1)，其特徵 為，具一裝置(84)，用以限制第二支承元件(76)及基座⑺ 及/或第一支承元件(70)間之相對運動。 12·根據申請專利範圍第7項所述之基板固持件(1)，其特徵 為’第一支承元件(76)之支承面(86)較第一支承元件(7〇) 之支承面小。 13.根據申請專利範圍第7項所述之基板固持件(1)，其特徵 為，在第二支承元件(76)之支承面(86)内至少具一抽吸槽 (%)。 14·根據申請專利範圍第1項所述之基板固持件(1)，其特徵 為’弟一邵分(4)具一與基板(5)形狀相配合之中央孔。 15·根據申請專利範圍第14項所述之基板固持件(1)，其特 徵為，具一面向基板(5)，包圍中央孔之密封元件(1叫。 16·根據申請專利範圍第1項所述之基板固持件(1)，其特徵 為’具一閉鎖單元(38)，以閉鎖基板固持件之二部分(3、 —本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公爱) '~' II— ----I-------I I-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -21 - 512476 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 、申清專利範圍 4)。 17·根據申請專利範圍第W項所述之基板固持件(1)，其特 徵為’閉鎖單元(38)在一部分具一可轉動之閉鎖元件 (40)，而在另一部分則具一承穴，以容納閉鎖元件。 Μ·根據申請專利範圍第17項所述之基板固持件(1)，其特 徵為，閉鎖元件(40)藉至少一彈簧(84)在一閉鎖位置受預 力’並與一作動機構(52)克服預力而運動。 19·根據申請專利範圍第π項所述之基板固持件(丨），其特 徵為’在閉鎖元件(40)及/或在承穴(12〇)上有一傾斜之閉 鎖面(130)。 2〇·根據申請專利範圍第17項所述之基板固持件，其特 ，為，閉鎖元件(40)具至少一固定件(42)，以固持及釋放 第二支承元件(76)。 21·根據申請專利範圍第2〇顿述之基板固持件⑴，其特 徵為’第二支承元件(76)藉由固定件(42)及第二支承元件 (76)間之相對運動，克服其預力而運動。 22·根據申請專利範圍第1項所述之基板固持件(1)，其特徵 為’在基板固持件之二部分(3、4)間至少具一密封元 (35)。 23·根據申請專利範圍第1項所述之基板固持件(1)，其特徵 為，至少具一接觸裝置(134)，使面向第二部分(4)基 (5)表面有電_。 24·:種基板固持件⑴，其用以固持基板⑶，尤其是半導體 晶圓，其具有第一及第二部分(3、4)，基板(5)可被固持 公楚〉 -22- --------tr---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁〕 512476 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 在二部分間，且具至少一接觸元件(144)，使基板(5)表面 有電接觸，接觸元件包括一連接末端(146)，一與之遠 離、覆盖基板(5)之接觸末端(145)，及一在二末端間之連 接部分(152)，其特徵為，連接部分(152)係大致垂直於基 板接觸表面之導引件(141)，通過基板(5)外圍，且接觸末 端(145)在基板表面方向上具有彈性預力。 25. 根據申請專利範圍第24項所述之基板固持件其特 徵為’連接部分(152)之運動係與導引件(141)平行。 26. 根據申請專利範圍第24項所述之基板固持件(1)，其特 徵為，接觸元件(144)至少在接觸末端(146)及導引件(141) 間之一範圍内(152)具有彈性。 27·根據申凊專利範圍第24項所述之基板固持件(1)，其特 徵為’接觸元件(144)係支承在基座(136)内，且與基座形 成一接觸塊(134)。 28·根據申請專利範圍第27項所述之基板固持件(1)，·其特 徵為，導引件(141)係基座(136)之一部分。 29·根據申請專利範圍第27項所述之基板固持件(1)，其特 徵為，在一接觸塊(134)内具有多個接觸元件(144)。 30·根據申請專利範圍第28項所述之基板固持件(1)，其特 徵為’接觸元件(144)之連接末端(146)與一共同之接觸件 (148)相連接。 31·根據申請專利範圍第27項所述之基板固持件(1)，其特 徵為，有多個接觸塊(134)設置在基板(5)外圍。 32·根據申請專利範圍第31項所述之基板固持件(1)，其特 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -23- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂----— — —卜線一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 312476 A8 B8 C8

   六、申請專利範圍 徵為，二電導線(150、152)係與接觸塊(134)之接觸件(148) 相連接；每二個接觸塊(134)以一導線(150)相連接，其餘 之接觸塊(134)則以另一導線(m)相連接。 … ------------- —I----訂-----1—I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱〉 -24-