KR100712218B1 - 기판홀더 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시장치의 제조 공정 중에 기판을 효과적으로 고정하여 기판의 변형을 방지하는 것으로, 진공증착장치에 사용되는 기판홀더에 있어서, 홀딩플레이트; 및 상기 홀딩플레이트에 도포되어 있는 접착제; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판홀더를 제공한다.
홀딩플레이트, 수용성접착제, 양면테이프

Description

기판홀더 {The Panel Holder}
도 1 는 본 발명의 제 1 실시 예에 의한 기판홀더의 단면도.
도 2 는 본 발명의 제 1 실시 예에 의한 기판홀더의 평면도.
도 3 는 본 발명의 제 2 실시 예에 의한 기판홀더의 단면도.
도 4 는 본 발명의 제 2 실시 예에 의한 기판홀더의 평면도.
본 발명은 기판홀더에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 LCD, PDP 또는 유기전계발광표시장치등과 같은 평판표시장치를 제조하기 위하여 기재로 사용되는 유리 기판 등의 기판을 효과적으로 고정하며, 각 공정 간의 이동시에도 기판을 견고하게 지지하기 위한 기판홀더에 관한 것이다.
평판표시장치는 주로 유리등으로 이루어진 기판을 증착 공정 등이 포함되는 일련의 공정을 통과시키며 제조된다. 이 기판은 기판홀더에 고정시킨 상태에서 여러 종류의 증착 공정을 거쳐야 하는데, 이때 기판홀더는 증착면이 아래로 향하도록 지지해야 한다. 이러한 홀딩작업은 정밀도에 중요한 요소로 작용하게 된다. 예를 들면 홀딩상태에서는 기판이 양호한 평면도를 유지할 것을 요구하게 된다. 또한, 기판은 작업성 및 작업시간 단축을 위해 착탈이 용이할 것을 요구하게 된다.
종래에는 평판 기판을 홀딩하기 위한 방법으로 진공 척(vacuum chuck)을 사용하거나 또는 정전 척(electrostatic chuck)을 사용하는 방법이 이용되고 있다.
진공 척은 기판에 흡착반을 대고 평판 기판의 뒤쪽에서 흡착판의 공기를 흡입하여 기압 차이를 이용해 평판 기판을 홀딩하는 방법으로서, 대부분 진공 상태에서 이루어지는 증착 공정 등에서는 사용할 수 없으며 구조가 복잡하다는 문제점을 갖고 있었다. 즉, 평판표시장치는 먼지, 수증기, 산소 등의 이물질이 불량률 상승에 주 요인으로 작용하게 되므로 진공상태에서의 작업을 필요로 하게 되는 바, 진공 척은 진공 장비에서는 적용할 수 없다는 문제점을 갖고 있는 것이다.
또한, 정전 척은 평판 기판의 뒤쪽에 전류를 흘려서, 전류에 의해 형성된 전기장이 유리등의 재질로 된 기판을 대전시켜 정전기력에 의해 평판 기판을 홀딩하는 방법으로서, 이 방법은 진공 중에서도 사용이 가능하나 후술하는 몇 가지 단점을 내포하고 있다. 즉 정전 척은 넓은 면적을 갖는 평판 기판을 홀딩하기 위해서는 큰 전기장을 필요로 하게 되므로 소비전력이 늘어나게 되고, 여러 종류의 증착공정을 거치는 동안 계속 전류를 공급해주기 위해 복잡한 기계장치를 필요로 하는 것은 물론 전류에 의해 기판에 형성된 전기장이 평판 기판에 올려질 물질 즉 증착화학물질 등에 영향을 미쳐 성능 저하를 유발하는 문제를 갖고 있다.
특히, 기판을 분리하기 위하여서는 전류공급을 차단하게 되는데, 이때 대전된 평판 기판에 형성된 전하가 즉시 제거되지 않고 계속하여 잔류하게 되어 분리가 어려운 문제를 수반되고 있다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 단점과 문제점을 해결하기 위한 것으로, 평면기판을 양호한 평면도를 유지시키면서 홀딩 할 수 있고, 또한 손쉽게 착탈할 수 있는 기판홀더를 제공함에 있다.
본 발명의 상기 기술적 과제를 이루기 위하여, 진공증착장치에 사용되는 기판홀더에 있어서, 홀딩플레이트; 및 상기 홀딩플레이트에 도포되어 있는 접착제; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판홀더를 제공한다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 또한 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1 는 본 발명의 제 1 실시 예에 의한 기판홀더의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 진공상태의 평판기판을 형성하는 제조공정에 있어서, 기판(10)상에 홀딩플레이트(12)가 형성된다. 상기 홀딩플레이트(12)는 접착제를 전체적으로 도포 또는 부착함으로서 기판(10)과 합착된다. 상기 홀딩플레이트(12)와 상기 접착제(11)는 기판홀더를 구성한다.
상기 기판(10)은 유리, 스테인레스 스틸 또는 플라스틱으로 구성될 수 있고, 평판 기판인 것이 바람직하다.
상기 홀딩플레이트(12)는 알루미늄 합금 또는 강화플라스틱과 같이 가볍고 쉽게 휘지 않는 재료를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 홀딩플레이트(12)의 두께는 4~15㎜인 것을 특징으로 한다. 상기 홀딩플레이트(12)의 두께가 4㎜이하인 경우에는 상기 기판(10)을 효과적으로 지지할 수 없고, 또한 상기 홀딩플레이트(12)의 두께가 15㎜이상일 경우에는 기판이송장치의 지지대(미도시)의 처짐 현상 등을 유발할 수 있다.
상기 홀딩플레이트(12)는 상기 기판(10)보다 작은 것이 바람직하다. 왜냐하면 제조 공정 중에 마스크 등을 상기 기판(10)에 고정할 때 이정표 역할을 하는 얼라인 마크(17)를 가리지 않기 위해서이다.
상기 접착제(11)는 수용성 접착제 또는 양면테이프인 것을 특징으로 한다.
상기 수용성 접착제는 상기 홀딩플레이트(12)가 상기 기판(10)과 마주 닿는 면 전체에 도포되어 있고, 폴리비닐알코올 10~15중량%, 폴리비닐아세테이트 1~3중량%, 산촉매 0.2~0.3중량%, 벤즈알데하이드 1~1.5중량%, 0.1N가성소다 0.2~0.3중량%, 에어로실 0.5~0.8중량%, 글라스 버블 1.5~2 중량%, 라우릴에테르 2~2.5중량%, 용제(solvent) 50~60 중량% 로 조성된 것을 특징으로 한다.
도 2 는 본 발명의 제 1 실시 예에 의한 기판홀더의 평면도이다.
도 2를 참조하면, 기판(10)상에 홀딩플레이트가(12)가 위치한다.
상기 기판(10)상에 얼라인 마크(17)가 표시 되어 있다.
상기 얼라인 마크(17)는 평판표시장치의 제조공정 중에 마스크(미도시)등이 고정될 때 알맞은 위치에 고정될 수 있도록 이끌어 주는 표시이다.
전술한 기판의 구조대로 진공상태에서 기판과 홀딩플레이트를 합착할 때 수용성 접착제를 전체적으로 도포할 경우, 기판은 홀딩플레이트에 견고하게 고정되어서 제조 공정 중에 기판의 늘어짐이나 휨 등의 손상 없이 진행할 수 있으며, 또한 봉지공정이 완료된 이후에는 수증기나 물을 이용하여 접착제를 분해하여 기판과 홀딩플레이트를 손쉽게 분리할 수 있다.
양면테이프를 전체적으로 부착하여 기판과 홀딩플레이트를 합착할 경우, 기판은 홀딩플레이트에 견고하게 고정되어서 제조 공정 중에 기판의 늘어짐이나 휨 등의 손상 없이 진행할 수 있으며, 봉지공정이 완료된 이후 양면테이프를 제거하면 되므로 기판과 홀딩플레이트를 손쉽게 분리할 수 있다.
도 3 는 본 발명의 제 2 실시 예에 의한 평판기판홀딩장치의 단면도이다.
도 3 은 도 1 의 제 1 실시 예인 기판홀더의 홀딩플레이트의 구조를 변경하여 접착제의 양을 줄일 수 있는 본 발명의 제 2 실시 예이다.
진공상태의 기판을 형성하는 유기전계발광표시장치의 제조공정에 있어서, 기판(10)상에 홀딩플레이트(22)가 형성된다.
상기 홀딩플레이트(22)는 상기 기판(10)의 가장자리와 중심부만 상기 기판(10)과 닿도록 형성되어 있고, 접착제(11)에 의해 기판과 평판 플레이트가 합착된다. 상기 홀딩플레이트(12)와 상기 접착제(11)는 기판홀더를 구성한다.
상기 홀딩플레이트(22)는 알루미늄 합금 또는 강화플라스틱과 같이 가볍고 쉽게 휘지 않는 재료를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 홀딩플레이트(22)의 두께는 4~15㎜인 것을 특징으로 한다. 상기 홀딩플레이트(22)의 두께가 4㎜이하인 경우에는 상기 기판(10)을 효과적으로 지지할 수 없고, 15㎜이상인 경우에는 기판이송장치의 지지대(미도시)의 처짐 현상 등을 유발할 수 있다.
상기 홀딩플레이트(22)는 상기 기판(10)보다 작은 것이 바람직하다. 왜냐하면 제조 공정 중에 마스크 등을 상기 기판에 고정할 때 이정표 역할을 하는 얼라인 마크(17)를 가리지 않기 위해서이다.
상기 접착제(11)는 수용성 접착제 또는 양면테이프인 것을 특징으로 한다.
상기 접착제(11)는 상기 기판(10)과 상기 홀딩플레이트(12)의 마주 닿는 면의 30% 이상 도포되어야 한다. 상기 접착제(11)가 30%미만으로 도포될 경우 기판의 늘어짐이나 휨 현상 등의 손상을 유발할 수 있다.
상기 수용성 접착제는 폴리비닐알코올 10~15중량%, 폴리비닐아세테이트 1~3중량%, 산촉매 0.2~0.3중량%, 벤즈알데하이드 1~1.5중량%, 0.1N가성소다 0.2~0.3중량%, 에어로실 0.5~0.8중량%, 글라스 버블 1.5~2 중량%, 라우릴에테르 2~2.5중량%, 용제(solvent) 50~60 중량% 로 조성된 것을 특징으로 한다.
도 4 는 본 발명의 제 2 실시 예에 의한 기판홀더의 평면도이다.
도 2를 참조하면, 기판(10)상에 홀딩플레이트가(22)가 위치한다. 상기 기판(10)상에 얼라인 마크(17)이 표시 되어있다.
상기 얼라인 마크(17)는 평판표시장치의 제조공정 중에 마스크(미도시)등이 고정될 때 알맞은 위치로 고정되도록 이끌어 주는 표시이다.
전술한 기판의 구조대로 진공상태에서 기판과 홀딩플레이트를 합착할 때 제 2 실시예의 홀딩플레이트의 구조는 홀딩플레이트가 기판과 마주 닿는 면을 줄여, 접착제의 양을 적게 사용하면서 기판의 늘어짐이나 휨 현상 등의 손상을 없도록 할 수 있는 효과가 있고, 제 1 실시 예와 마찬가지로 또한 봉지공정이 완료된 이후에는 수증기나 물을 이용하여 접착제를 분해하여 기판과 홀딩플레이트를 손쉽게 분리할 수 있다.
양면테이프를 30%이상 부분적으로 부착하여 기판과 홀딩플레이트를 합착할 경우, 기판은 홀딩플레이트에 견고하게 고정되어서 제조 공정 중에 기판의 늘어짐이나 휨 등의 손상 없이 진행할 수 있으며, 봉지공정이 완료된 이후 양면테이프를 제거하면 되므로 기판과 홀딩플레이트를 손쉽게 분리할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 기판홀더는 수용성 접착제 및 양면테이프를 이용하여 기판을 홀딩플레이트에 합착시킴으로서 기판의 양호한 평면도를 유지할 수 있고, 홀딩플레이트와 기판을 손쉽게 착탈을 가능하게 해준다.

Claims (6)

  1. 진공증착장치에 사용되는 기판홀더에 있어서,
    홀딩플레이트; 및
    상기 홀딩플레이트에 도포되어 있는 접착제; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판홀더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 접착제는 수용성 접착제 또는 양면테이프인 것을 특징으로 하는 기판홀더.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀딩플레이트는 피홀딩 기판보다 크기가 작은 것을 특징으로 하는 기판홀더.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀딩플레이트의 두께는 4~15㎜인 것을 특징으로 하는 기판홀더.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 접착제는 상기 홀딩플레이트의 면적의 30~100% 에 도포되어 있는 것을 특징으로 하는 기판홀더.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 수용성접착제는 폴리비닐알코올 10~15중량%, 폴리비닐아세테이트 1~3중량%, 산촉매 0.2~0.3중량%, 벤즈알데하이드 1~1.5중량%, 0.1N가성소다 0.2~0.3중량%, 에어로실 0.5~0.8중량%, 글라스 버블 1.5~2 중량%, 라우릴에테르 2~2.5중량%, 용제(solvent) 50~60 중량% 로 조성된 것을 특징으로 하는 기판홀더.
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