JPH07198264A

JPH07198264A - 蓋構体

Info

Publication number: JPH07198264A
Application number: JP35365193A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Hidaka; 俊明肥高; Yuji Hasegawa; 裕二長谷川
Original assignee: Sony Tektronix Corp
Current assignee: Tektronix Japan Ltd
Priority date: 1993-12-28
Filing date: 1993-12-28
Publication date: 1995-08-01

Abstract

(57)【要約】【目的】安全性が高く、対象物を効率的に加熱できる
蓋構体を提供する。【構成】発熱板１４が蓋体３０の対象物に対向する面
（装着部３４）に取り付けられる。発熱板１４の対象物
に対向する第１主面には、熱伝導性の良い圧着板１８を
装着する。発熱板１４の第２主面には荷重板２０を装着
する。この荷重板２０の荷重により、効果的に圧着する
ことができる。リンク機構４０は、蓋体３０を平行移動
させる。この平行移動により、加熱機構１４及び１８が
操作者の方に露出することがない。また、蓋体３０を閉
じたときには圧着板１８が対象物を圧着するので、熱が
対象物に円滑に伝達される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は蓋構体に関し、特に蓋体
の開閉の際に加熱機構の露出を避けることによって、安
全性を高めた蓋構体に関する。

【０００２】

【従来の技術】対象物（被測定物）の物理特性や電気特
性を測定する場合、常温での特性だけでなく高温での特
性もしばしば測定する必要がある。例えば、対象物が電
気素子の場合、長時間使用すれば自らの発熱により高温
になるため、この高温時の特性を知る必要がある。測定
にあたっては、自らの発熱を待っていては時間がかかる
ので、外部から熱を加えて同様の状態を作り出せば良
い。そこで高温特性の測定は、電熱線ヒーターなどの加
熱機構による被測定物の加熱が一般に行われている。こ
のとき被測定物や加熱機構が人体に危険を及ぼす程度の
高温に達する場合には、測定装置本体に蓋体を設け、測
定時には蓋構体を閉めて被測定物及び加熱機構を覆い、
被測定物の交換等のときには蓋体が開けられる。

【０００３】図７は、高温特性測定装置の一例を示して
いる。装置本体１００にある載置台１２の中央部には、
電熱線ヒーター（発熱板）１４があり、この上に対象物
（被測定物）１０が載置される。このヒーター１４は、
例えば電熱線を耐熱性及び絶縁性の優れたゴム・シート
で挟み込んだものが使用される。絶縁性に優れているた
め、被測定物１０として半導体素子を適用し、その高温
時電気特性の測定などにも応用できる。この場合載置台
１２には、電圧等を検出する接触端子が設けられ、装置
本体１００内部には検出回路が設けられる。また、対象
物（被測定物）１０がそれ自身で充分な重量を有しない
場合には、熱の伝達を円滑に行うために発熱板１４に被
測定物１０を圧着する圧着機構を設けてもよい。

【０００４】対象物１０や発熱板１４が測定時に高温と
なり、危険な場合には特に蓋構体を設けて被測定物１０
を覆う必要がある。蓋構体によって、対象物１０及び発
熱板１４は外界と遮蔽され、操作者に危険が及ぶのを防
止する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図７の従来例
では加熱機構が対象物と隣接しているため、高温特性の
測定が終わってすぐに被測定物を交換する場合や誤って
測定中（よって加熱中）に蓋体を開けて被測定物に触れ
た場合に火傷を負う危険がある。また、対象物等に触れ
なくとも発熱板が隣接しているため周辺に熱が残留し、
対象物のすばやい交換の障害となっていた。

【０００６】そこで本発明の目的は、安全性を確保しつ
つ対象物を効果的に加熱できる蓋構体を提供することで
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の蓋構体は、対象
物１０を載置する装置本体１００に開閉可能に取り付け
られる。発熱板１４が蓋体３０の対象物に対向する面
（装着部３２）に取り付けられる。発熱板１４の対象物
１０に対向する第１主面には、熱伝導性の良い圧着板１
８を装着する。発熱板１４の第２主面には荷重手段２０
が装着される。リンク機構４０は、蓋体３０を平行移動
させる。そして、蓋体３０を閉じたとき圧着板１８が対
象物１０を圧着する。

【０００８】

【作用】発熱板１４と圧着板１８は、加熱機構である一
方で圧着機構を兼ねている。また、荷重手段２０はより
効果的に対象物１０を圧着できるように圧着機構に荷重
をかける。蓋体３０を閉めたとき加熱機構が対象物１０
を圧着することにより、発熱板１４で発生する熱は効率
的に対象物１０に伝達される。また、蓋体３０を開ける
と、加熱機構は平行移動して自動的に対象物１０と分離
されるため、交換の際に加熱機構の高温よる危険性が大
幅に低下する。

【０００９】

【実施例】図１は、本発明の蓋構体２００の一好適実施
例の分解斜視図である。図２は、装置本体１００に取り
付けた蓋構体２００の蓋体３０を開けた状態を示してい
る。従来例と対応する構成には、同じ番号を付してい
る。なお、本発明において蓋構体２００とは、蓋体３０
にリンク機構４０等も含めたものを指す。蓋体３０は、
発熱板１４を装着する装着部３４と、前面部３２とから
構成される。本発明の蓋構体２００は、蓋体３０の装着
部３４の裏側（対象物に対向する面側）に発熱板１４を
設ける。つまり、発熱板１４が対象物（被測定物）１０
の下側ではなく、上側に設けられる。発熱板１４は、上
述のように電熱線をゴム・シートで挟んだものなどが良
い。

【００１０】蓋体３０を閉じたときに熱を円滑に伝達す
るためには、発熱板１４を対象物（被測定物）１０に圧
着させる必要がある。対象物１０に対して均一に熱を加
えるために、熱伝導性の良い銅などの金属板（圧着板）
１８を発熱板１４の主面、つまり、対象物に対向する主
面（第１主面）に取り付ける。発熱板１４の圧着板１８
を装着した反対側の主面（第２主面）には、圧着を高め
るための”重し”となる鉛等の荷重板（荷重手段）２０
を設ける。発熱板１４は、荷重板２０と圧着板１８で挟
まれねじ１９で固定される。荷重板２０は、蓋体３０を
開けた状態ではシャフトねじ２１で支持されるが（図３
を参照）、蓋体３０を閉めた状態では対象物１０にばね
２３の弾性と相まって荷重を加える。発熱板１４と圧着
板１８は加熱機構を構成し、この加熱機構は圧着機構も
兼ねている。よって、他に圧着機構を設ける必要はな
い。発熱板１４は圧着板１８及び荷重板２０よりその面
積が小さいので、圧着板１８と荷重板２０の間に隙間が
できる。この隙間を埋めるために、スペーサー１５を両
者の間に挟んでも良い。なお、１６は発熱板１４に発熱
用の電気を供給する電線である。

【００１１】発熱板１４及び圧着板１８等で構成される
加熱機構は、加熱機構支持構体２５及び２６により装着
部３４に支持装着される。図３は、加熱機構の角が蓋体
３０の装着部３４に対してどのように装着されるか示す
部分断面図である。４つの角は、夫々耐熱プラスチック
板２２及びコイルばね２３を通して、ねじ２１及び４つ
のナット２４で支持構体２５に懸架される。この４軸独
立懸架機構のばね２３による弾性が圧着板１８の４角で
夫々独立に働くことにより、圧着板１８の被測定物１０
への対向面は対象物１０に応じて柔軟に傾斜し、対象物
１０に適切な圧力を与え、熱を的確に伝達可能となって
いる。４つの耐熱プラスチック板２２は、熱が蓋体３０
に伝達されるのを防止する。

【００１２】蓋体３０は、測定装置本体１００に対して
リンク機構４０で開閉可能に取り付けられる。このリン
ク機構４０は、蓋体３０が対象物１０に対して常に平行
移動するように構成される。これによって、蓋体３０の
装着部３４の裏面、つまり、発熱板１４の装着された面
は、常に対象物１０を（つまり、下方向を）向いてい
る。また同様に前面部３２は、常に載置台１２に対して
垂直のままで移動する。よって、加熱機構１４及び１８
は操作者に露出されことはない。なお、操作者は、装置
本体前の図２の”×”で示す位置付近に立って装置を操
作する。

【００１３】図４は、本発明の他の実施例を示してい
る。また図５は、図４の実施例における４軸独立懸架機
構を示す断面図である。耐熱性プラスチックなどで部材
で形成されるベーク材２２’（斜線で示す）は、荷重板
２０の４角の穴に嵌挿され、荷重板２０を通して伝わる
発熱板１４からの熱がシャフトねじ２１に伝達されるの
を防止する。また耐熱プラスチック板２２は、荷重板２
０からの熱がばね２３に伝達されるのを防止する。これ
らの結果、発熱板１４からの熱が支持構体２５及び２６
に伝達されるのを防止し、効果的に蓋体３０の温度上昇
を防止している。これらよって、蓋体３０の開閉の際の
操作者の安全性をより高めることができる。

【００１４】図５に示すように、荷重板２０の４角の穴
に嵌挿されたベーク材２２’が有する中空孔はねじ２１
の直径より大きくなっている。よってばね２３の弾性に
より、ねじ２１によって懸架された荷重板２０の４軸
（４角）が夫々独立に柔軟に移動可能となっている。従
って、圧着板１８の被測定物１０への対向面は、対象物
１０に応じて柔軟に傾斜し、対象物１０に適切な圧力を
与え、熱を的確に伝達できる。本発明の実施例では、４
軸（４角）が夫々独立に柔軟に移動可能の例を示した
が、３軸であっても良い。

【００１５】図６は、接触端子１１、載置台１２、圧着
板１８、荷重板２０及び４軸独立懸架機構の垂直面にお
ける関係を示す図である。図６の例での対象物１０は、
半導体素子を想定しており、接触端子１１はその電気特
性を検出する端子である。上述の４軸独立懸架機構によ
り、上から均一な荷重がかかるため接触端子１１の接触
抵抗が低くなる。よって、対象物１０に高電流、高電圧
を供給でき、精度良く特性を測定できる。

【００１６】

【発明の効果】本発明によると、蓋体を開ければ自動的
に発熱板と対象物が分離される。また、リンク機構は蓋
体を平行移動させるため、発熱板及び圧着板は常に対象
物の方向を向き、操作者には露出しない。よって、万が
一加熱中に蓋体を開けたとしても、発熱板に操作者が触
れる危険は大幅に低下し、安全性が高い。しかも、発熱
板は熱伝導性の良い圧着板を装着し、これら加熱機構が
圧着機構も兼用しているので、対象物に圧着すると同時
に効果的に熱を伝導させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の蓋構体の一好適実施例の分解斜視図で
ある。

【図２】蓋体を開いた状態を示す図である。

【図３】圧着板の４角を支持構体に懸架する４軸独立懸
架機構の１つを示す断面図である。

【図４】本発明の他の実施例の分解斜視図である。

【図５】図４の実施例における４軸独立懸架機構の１つ
を示す断面図である。

【図６】載置台、検出端子、圧着板、荷重板及び４軸独
立懸架機構の垂直面における関係を示す図である。

【図７】従来の高温特性測定装置の一例の斜視図であ
る。

【符号の説明】

１０対象物１１接触端子１２載置台１４発熱板１８圧着板２０荷重板２１シャフトねじ２２耐熱プラスチック板２２’ベーク材２３弾性部材（コイルばね）２５支持構体２６支持構体３０蓋体１００装置本体１５０操作パネル２００蓋構体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】対象物を載置する装置本体に開閉可能に
取り付けられた蓋構体であって、蓋体と、該蓋体の上記対象物に対向する面に取り付けられる発熱
板と、該発熱板の上記対象物に対向する第１主面に装着される
熱伝導性の良い圧着手段と、上記発熱板の第２主面に装着された荷重手段と、上記蓋体を平行移動させるリンク機構とを具え、上記蓋体を閉じたとき上記圧着板で上記対象物を圧着す
ることを特徴とする蓋構体。