TW508288B - Corrosion resistant exoskeleton arm linkage assembly - Google Patents

Description

508288 A7 _ B7 _五、發明說明（1 ) 〈發明之領域〉 本發明係概括的涉及曝露於腐蝕性氣氛中之機器人手 臂之保護法，尤其是有關使用於抗蝕性合成樹脂蓋體包覆 機器人手臂聯稈之方法。 〈先前技術之描述〉 有些操持半導體晶圓之機器人必須在一種含有高腐蝕 性流體（氣體或液體）之環境中工作。這些機器人需加Μ保 護使免受腐蝕劑之侵蝕，影響產品之性能。若受侵蝕，機 器人手臂會發生許多微细粒子，使晶圓上產生缺陷。其解 決之一個方法為使用抗蝕性材料，即3 0 0系列之不銹鋼或 塗料。有人使用經電氣拋光之不銹鋼來製作機器人之手臂 聯桿Μ增進抗蝕性或防止腐蝕之發生。另外亦有人在該等 構件上噴佈塗料Μ防止腐蝕劑作用於該等構件上，藉之減 少腐蝕。但，上述二種方法均有材料成本高、塗佈之均勻 性Κ及材料對腐蝕之滲透抗性等問題存在。 有鑑於上述先前技術之問題，本發明研發了其解決之 方案0 要概 之 明 發 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 成 合 薄 用 利 係 案 方 之 發 研 明 發 本 題 問 之 逑 上 決 解 為 料易 材。 之 能 廉性 價作 較搡 Κ 之 利臂 俾手 ,人 桿器 聯機 個響 各影 之不 臂又 手時 人同 器 ， 機桿 覆聯 被臂 蓋手 脂造 樹製 裝護保 之保該 濺狀。 激殼用 體薄使 流製上 性脂臂 蝕樹手 腐成人 被合器 不之機 臂響於 手影裝 人體安 器流的 機受如 護不自 保由卸 種係裝 一 置其 供装將 提此 ， ，而成 之，構 言置蓋 1!象 I訂---------線--------------------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 適 度 尺 一張一摊 格 |規 Α4 S) Ν (C 準 標 家 國 國 釐 公 97 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508288 A7 ____B7____ 五、發明說明（2 ) 護蓋（protective cover)備有符合機器人手臂之外形之 輪廓，且含有一配置於機器人手臂之上表面上之上部構件 (upper member)及一與該上部構件連設一起而用以包覆 機器人手臂之側壁進而伸展至與該機器人手臂之下表面呈 大致同一平面之下緣部之側部構件（side member)。該保 護蓋之上部構件大致包覆機器人手臂之表面，而由其周邊 伸展之側壁（即上逑側部構件）則大致包覆機器人手臂之側 壁的外表面。依同樣方式，亦可將不受流體影響之合成樹 脂製薄保護板（protective plate)裝卸自如的裝設於機 器人手臂之下表面，而此保護板具有，當保護蓋及保護板 均被裝設於機器人手臂時，與機器人的上部手臂聯桿之周 邊伸展之側壁大致同範圍及接近保護蓋之下緣之一周凸緣 部。由於具有此種構造，因此不管從任何方向向機器人手 臂飛濺而來之腐蝕性流體均由該保護蓋及保護板擋住，故 可保護裝設於機器人手臂之上部手臂聯稈。 於是，本發明之主要目的乃在於提供曝露於腐蝕性氣 氛中之機器人手臂之保護裝置。 本發明之另一目的為提供一種使用合成樹脂製抗蝕性 薄蓋被覆機器人手臂聯桿之裝置。 本發明之再一目的為提供一種用後可棄及易於換裝之 合成樹脂製抗蝕性薄蓋。

本發明之其他目的、特徵及利點將由下面說明趨為明 晰。又，應知上述及後述之詳细說明僅屬可取之實施例， 不Μ其限制本發明。所附圖式構成本發明之一部分，用K 一 5 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 丨"5---.-----—----;--訂·--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _________________I___ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508288 A7 ____B7_____ 五、發明說明（3 ) 敘述本發明之可取的一實施例，而文中相同符合代表同一 構件或部分。 玆參照附圖說明本發明之可取實施例： 第1圖所示為具有本發明特徵構成之機器人2Q的立體 圖。雖然在此參照圖示之單一實施例說明本發明，但應知 本發明可藉諸多替換之形態予以實施之外，亦可適當改變 各構件之大小、形狀K及材料。 根據本發明，該機器人20配裝有用K被覆機器人手臂 22之各個聯桿Μ防止被水乃至高腐蝕性物質等廣範圍之流 體灑及之保護裝置（system for shielding)，當使用該機 器人操持例如半導體晶圓等工作件，及將其導入加工室中 然後將其取出時。 由第2、3及4圖所示可知，該機器人手臂22備有可 與人的手臂的構造及功能相比擬之三個構體，即上臂構體 24、前臂構體26及手腕構體28。雖然這些構體24、26、28 大致相同，但為清楚說明本發明，將其分別說明於下。 即，上臂構體24包括一支上臂桿30,此稈30具有上表 面32、下表面34及延伸於該上表面32及下表面34之間之側 壁面3 6。此等表面3 2、3 4、3 6可圼平滑，有時為規則， 有時亦可為波狀或不規則。該上臂構體2 4另外含有本發明 提供之保護（被覆）裝置，包括不受腐蝕性流體之影響之一 由薄合成樹脂製之殻狀保護蓋38,此蓋38可裝卸的安裝於 上臂稈3Q上。此保護蓋3 8具有與該上臂桿30之形狀大致 對應之外形，包括被覆該上臂桿30之上表面32之上部搆件 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------- I---1 — 庸^^---------^ <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508288 A7 B7___ 五、發明說明（4 ) 40、與此上部構件4 0連缋形成一體而被覆該上臂桿之側壁 面36而延伸至其超過該上臂桿之下表面34之下緣端部44之 側面構件42。即該保護蓋38之上部構件4D通常被覆上表面 32,而其連續的側面構件42則通常被覆向周邊方向突出之 側壁之外表面（外壁面）36。 將上逑之保護蓋38配設定位時，任何由上方位置朝向 該上臂桿3Q飛濺而來之流體均可衝擊到該保護蓋，因而得 Μ保護該上臂桿30。 另外，在該上臂桿30之下表面34亦可裝卸自如的安裝 不受流體影響之合成材料製薄保護板46。此保護板4 6可為 平板，具有與該上臂桿30之周邊突出之側壁的外表面36大 致同等範圍Μ及接近該保護蓋38之下緣部44之周緣部48。 因此，保護蓋38與保護板46均被装在該上臂桿30上時，由 任何方向朝向該上臂桿30飛測而來之流體均將衝擊該保護 蓋及保護板，因而可保護該上臂稈。同時，可藉該保護蓋 38及保護板46,在其重疊（嵌合）部位形成迷宫式密封（ labyrinth seal),阻止腐蝕性流體侵人至該上臂桿之 各個表面。 上逑之保護蓋38及保護板46可由任何價廉且又有效之 合成樹脂材料製成必要之厚度K發揮所期之保護作用，但 其厚度不可厚到影響機器人手臂之正常操作。為達到此目 的，可使用吹氣模製法成型之具有厚度約30〜40毫米之構 件。適合本發明之此項目的之材料為例如商標名”NORYL” 之市售熱塑性樹脂。 -Ί 一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----”------ ------^---訂---I-----^ i^w— 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508288 A7 __B7___ 五、發明說明（5 ) 由第5圖可清楚的看出，可安裝於上臂桿30之該保護 蓋38具有一可自由地插裝操作軸52之孔50及在該孔50之周 緣形成有向上突出之唇部54。該保護板56係裝設於上臂桿 30附近之前臂構體26之前臂桿58上，且具有與上述孔50大 致相同大小而可供操作軸52自由插裝之孔60。上述操作軸 52係連接該上臂桿3D及前臂稈58，同時該孔60之周緣形成 有向下突出之唇部62。此唇部62與孔60同軸且比形成在孔 50之离緣部之起立唇部54稍大些。上逑之保護蓋38另形成. 有一在孔緣向上突設有起立唇部66之檢查孔（access opening )6 4，俾利從外部可進入上臂桿3 0之内部6 8。在該保護蓋 38之唇部66可裝卸的裝設一蓋子7β，俾利在需要時可隔開 內部68與外部。 如上所逑，該保護蓋38係可換性的，且備有適當之鎖 定具72Μ供螺合於上臂桿30上之配合螺紋孔74及保護蓋上 之餘隙孔（clearance bores)76，俾利將該保護蓋38可裝 部的裝設於上臂稈30上。同樣地，備有鎖定具78M供螺合 於上臂桿3Q之下表面34之配合螺紋孔（未圖示）及保護板46 上之餘隙孔8 Q，俾利將該保護板可裝卸的安裝於上臂桿上 。依此裝配方式時，若該保護蓋38及保護板46發生相當程 度之變質或損害時，可將其自上臂稈拆下而更換新的保護 蓋及保護板。當然可想到其他多種安裝保護蓋及保護板於 上臂稈上之方法，而這些方法應涵蓋於本發明範圍中。 次說明前臂構體（fore arm assembly)26，此構體26 係由上表面82、下表面84及延伸於該上、下兩表面之周邊 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

508288 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（6 ) 之間之具有外表面86之側壁所構成。上述各表面82、84 、8 6可為平滑而規則，亦可為波形或不規則。與上述之上 臂構體24同樣，此前臂構體26進一步含有本發明提供之保 護裝置，包括不受腐蝕性流體之影響之一由薄合成樹脂製 之殻狀保護蓋88、此蓋88可裝卸的裝設於上臂桿30上，而 具有與該前臂桿58大致對應之外形，包括被覆該前臂桿58 之上表面82之上部構件9(3、與此上部構件90 連續形成一 體而被覆該上臂稈58之側壁面86 而延伸至其超過該上臂 桿之下表面84之下緣端部94之側面構件92。即該保護蓋88 之上部構件9Q通常被覆上表面82,而其連續的側面構件92 則通常被覆向周邊方向突出之側壁之外表面（外壁面）86。 將上述之保護蓋88配設定位時，任何由上方位置朝向 該前臂桿58飛濺而來之流體均可衝擊到該保護蓋，因而得 以保護該臂桿58。 另外，在該前臂桿58之下表面84亦可裝卸自如的安裝 不受流體影響之合成材料製薄保護板56。此保護板56可為 平板，具有與該前臂桿58之周邊突出之側壁的外表面86大 致同等範圍以及接近該保護蓋8 8之下緣部94之周緣部96。 因此，保護蓋38與保護板46均被裝在該前臂桿58上時，由 任何方向朝向該前臂桿5 8飛測而來之流體均將衝擊該保護 蓋及保護板，因而可保護該前臂桿。同時，可藉該保護蓋 88及保護板56,在其重疊（嵌合）部位形成迷宮式密封，阻 止腐蝕性流體侵入至該前臂桿之各個表面。 由第5圖可清楚的看出，可安裝於前臂桿58之該保護 一 9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------：—·——-------丨訂---------線- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 508288 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（7 ) 蓋88具有一可自由地插裝操作軸1〇〇之孔98及在該孔98之 周緣形成有向上突出之唇部1 0 2。該保護板1 0 4係裝設於 手腕構體28之手腕桿106上，且具有與上述孔98大致相同 大小而可供操作軸100自由插装之孔108。上述操作軸1〇〇 係連接該手腕桿1Q6及前臂稈58,同時該孔108之周緣形 成有向下突出之唇部110。此唇部110與孔108同軸且比 形成在孔108之周緣部之起立唇部1Q2稍大些。上述之保 護蓋88亦形成有一在孔緣向上突設有起立唇部114之檢査 孔112,俾利從外部可進入前臂桿58之內部116。在該保護 蓋88之唇部114可裝卸的装設一蓋子118，俾利在需要時 可隔開內部118與外部。 如上逑之上臂構體24，該保護蓋88係可換性的，且備 有適當之鎖定具120 K供嫘合於前臂桿58上之配合螺紋孔 122及保護蓋88上之餘隙孔124,俾利將該保護蓋可裝部 的裝設於前臂稈5 8上。同樣地，備有鎖定具126 K供螺合 於前臂桿58之下表面84之配合螺紋孔（未圖示）及保護板5 6 上之餘隙孔128，俾利將該保護板可裝卸的安裝於前臂桿 上。依此裝配方式時，若該保護蓋88及保護板56發生相當 程度之變質或損害時，可將其自前臂稈拆下而更換新的保 護蓋及保護板。當然可想到其他多種装保護蓋88及保護板 56於前臂桿88上之方法，而這些方法應該蓋於本發明範圍 中。 即，手腕構體28包括一支手腕桿130,此稈130具有上 表面1 3 2、下表面1 3 4及延伸於該上表面1 3 2及下表面1 3 4 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） I ^---^ I----· I-----I ^---- I I ---J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508288 A7 ___ B7 ____ 五、發明說明（8 ) 之間之側壁面136。此等表面132、134、136可圼平滑， 有時為規則，有時亦可為波狀或不規則。該手腕構體2 8另 外含有本發明提供之保護裝置，包括不受腐蝕性流體之影 響之一由薄合成樹脂製之殼狀保護蓋138,此蓋138可裝 卸的安裝於手腕桿130上。此保護蓋138具有與該手腕稈 130之形狀大致對應之外形，包括被覆該手腕桿130.之上 表面132之上部構件140、與此上部構件140連續形成一 體而被覆該手腕桿之側壁面136而延伸至其超過該手腕稈 之下表面134之下緣端部144之側面構件142。即該保護 蓋138之上部構件140通常被覆上表面132，而其連續的 側面構件142則通常被覆向周邊方向突出之側壁之外表面 (外壁面）1 3 6。 如第3圖所示，為了在手腕桿130之端部148突出狀 的裝設端末動作桿（end effector)146,在保護蓋138的 對應端板150上形成一可密接的承納上述末端動作稈146之 缺口 152，使該動作稈146由該保護蓋138向外突出。另 外，為了確保本發明之保護（被覆）装置整體圼氣密狀態， 提供一具有可自由承接該末端動作桿146之充分大小之承 接孔156之保護板154，俾供安裝保護蓋138時，將此保 護板154夾置於端部148及端板150間並藉其覆蓋該缺口 ，使不干擾該末端動作稈146之操作，同時又保護該手腕 稈。 將該保護蓋138安裝後，任何由上方位置朝向該手腕 稈106飛濺而來之流體均可衝擊到該保護蓋138,因而得 - 11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） .-------------:--^-------I«^i^wi (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508288 A7 • _B7^___ 五、發明說明（9 ) Μ保護該手腕桿1 〇 6。 另外，在該手腕桿13Q之下表面134亦可裝卸自如的 安裝一不受流體影響之合成材料製之薄保護板1 0 4。此保 護板104可為平板，具有與該手腕稈130之周邊突出之側 壁的外表面136大致同等範圍以及接近該保護蓋138之下 緣部1 4 4之周凸緣部1 58。因此，保護蓋1 3 8與保護板1 4 6 均被裝在該手腕桿130上時，由任何方向朝向該手腕桿 130飛測而來之流體均將衝擊該保護蓋及保護板，因而可 保護該手腕桿130。同時，可藉該保護蓋138及保護板104 ，在其重疊（嵌合）部位形成迷宮式密封，阻止腐蝕性流體 侵入至該手腕桿之各個表面。 上述之上臂構體24及前臂構體26，Μ及手腕稈130之 保護蓋138及保護板104皆可由任何價廉且又有效之合成 樹脂材料製成必要之厚度Μ發揮可期之保護作用，但其厚 度不可厚到影響機器人手臂22之正常操作。為達到此目的 ，可使用上逑構造之材料。 一如保護蓋38及88，該保護蓋138可為可換性的，且 備有適當之鎖定具166 Κ供螺合於手腕稈130上之配合螺 紋孔162及保護蓋138上之餘隙孔164，俾利將該保護蓋 138可裝卸的裝設於手腕稈130上。同樣地，傲有鎖定具 1 6 6 Μ供螺合於手腕桿1 3 0之下表面1 3 4之配合螺紋孔（ 未圖示）及保護板1 0 4上之餘隙孔1 6 8，俾利將該保護板 104可裝卸的安裝於手腕桿上。依此裝配方式時，若該保 護蓋及及保護板發生相當程度之變質或損害時，可將其自 -12- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---II.--Ί----------V--訂----------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 508288 A7 B7 五、發明說明（10 ) 手腕桿拆下而更換新的保護蓋及保護板。當然可想到其他 多種安裝保護蓋138及保護板104於手腕桿13Q之方法， 而這些方法應涵蓋於本發明範圍中。 圖式之簡單說明 第1圖為安裝有本發明之機器人手臂聯稈裝置之機器 人； 第2圖為第1圖所示各組構件之分解側視圖； 第3圖為第2圖所示各組構件之分解斜視圖； 第4圖為2、3及4圖所示組構件之組裝狀態之部分 切割側視圖；及 第5圖為2、3及4圖所示組構件之分解詳细側視圖。 符號說明 20 .. 機 器人 22 .. 器人手臂 24 ·. • · 上 臂構體 26 .. •前 臂構體 28 . · .手腕構體 30 .. …上 臂桿 32 > 82 Λ 132 …, •上 表 面 34 - 84 > 134… .下表面 36〜 86 、 136… •側 表 面 38 - 88、 138… .保護蓋 40 ^ 90 Λ 140… •上 部 構件 42 \ 142 ...側面 構件 4 4〜 94 144 .. •下 緣 4 6〜 56、 104… 保護板 52 > 100 . .·操作 軸 58 ., • •前 臂桿 130 , > .· 手 腕稈 146 ...末端動作 桿 150 , 端 板 48 > 96、 158... 周緣部 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） • n I «I n n n ϋ n n n I n I * 1 n 1 1 n n JrJs n n n n n n n I ϋ n ϋ I n (請先閱讀背面之注意Ϋ*項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 508288 煩請委員嘴示1本案修正後是否變更原實質内容 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 E6 >年;7月4 F6 第89109058號專利申請案 民國90年7月丨3日 修正申請專利範圍 1· 一種用K保護機器人手臂被腐蝕性流體激濺之裝 置，包括： 可裝卸的裝設於機器人手臂上之一由不受該流體之影 響之合成樹脂製成之薄殻狀保護蓋，而該保護蓋具有與該 機器人手臂完全一致之形狀，使向該機器人手臂飛濺而來 之任何流體均得K衝擊該保護蓋，從而保護裝設有該保護 蓋之機器人手臂。 2· —種用Μ保護機器人手臂被腐蝕性流體激濺之方 法，包括下述步驟： (a) 提供不受流體之影響之一由合成樹脂製薄殼狀保 護蓋，而該保護蓋具有與該機器人手臂完全一致之外形； 及 (b) 將該殼狀保護蓋可裝卸的安裝於該機器人手臂， 使向該機器人手臂飛濺而來之任何流體均得K衝擊該保護 蓋，從而保護裝設有保護蓋之機器人手臂。 3· —種用K保護多聯稈型機器人手臂被腐蝕性流體 激灑之裝置，該多聯桿之各聯桿含有上表面、下表面及於 該上表面及下表面之間之具有外側表面之周壁，其中該保 護裝置，包括： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再行繪製) 訂 508288 經濟部智恶財產局Μ工消費合作社印製 A9 B9 C9 D9 可裝卸的裝設於該機器人手臂上之各聯稈之一由不受 該流體之影響之合成樹脂製薄殻狀保護蓋，而該保護蓋具 有與該聯桿完全一致之外形，包括被覆該聯桿之上表面之 一上部構件及與該上部構件連續形成一體被覆該聯桿之側 壁外表面而延伸至超過該聯桿之下表面之下緣部之一側面 構件；該保護蓋之上部構件大致被覆該上表面，而該側面 構件大致被覆該側壁外表面；及 可裝卸的安裝於機器人手臂之各個聯桿之下表面之一 不受流體影響之合成樹脂製薄保護板，而此保護板具有與 該聯稈之周邊側壁及保護蓋之下緣部大致同等範圍之周緣 部； 於是，由任何方1¾朝_機器人手臂飛濺而來之流體均 衝擊該保護蓋及保護板，因而保護裝設有該保護蓋及保護 板之該機器人手臂之聯桿。 4· 如申請專利範圍第3項之裝置，其中該保護蓋係 可裝卸，且含有： 用K將該保護蓋可裝卸的裝設於該聯桿上之鎖定具， 因此該保護蓋發生變質或變形時，可將其從該聯稈拆下而 換裝新的保護蓋。 5· 如申請專利範圍第3項之裝置，其中該保護蓋及 保護板均為裝卸自如，備有可將該保護蓋及保護板裝卸自 如的安裝於聯桿上之鎖定具，俾利該保護蓋及保護板受損 - 2- 衣紙張尺度適用中ΐ國家標準（ CNS )八4規格（210/297公釐）~~ (請先閲讀背面之注意事項再行繪製)

   508288 A9 B9 C9 D9 傷、變質時，可從該聯桿拆下而改換新的保護蓋及保護板。 (請先聞讀背面之注意事項再行繪製) 6. 如申請專利範圍第3項之裝置，其中該保護蓋安 裝於第1聯桿且備有一供自由插裝操作軸之第1孔及形成 於該第1孔之周緣之起立唇部； 其中該保護蓋係安裝於鄰接於上逑之第1聯桿之第2 聯稈且備有與該第1孔大致相同之第2孔，K供自由插裝 連结該第1及第2聯稈之操作軸及形成於該第2孔之周緣 之下垂唇部；及 其中該第2孔之周緣之下垂唇部係與第l·孔之周緣之 起立唇部相鄰接及同軸，且具有比該起立唇部之開口為大 之開口。 ,ιτ 7. 如申請專利範圍第3項之裝置，其中該保護蓋係 安裝於一個聯稈且備有一供自由插裝操作軸之第1孔及形 成於第第1孔之周緣之起立唇部，而此起立唇部係突出至 該聯稈之下表面附近位置。 經濟部皆恶財產总員工消費合作社印製 8· 如申請專利範圍第3項之裝置，其中該保護板為 平板狀。 9· 如申請專利範圍第3項之裝置，其中該殼狀保護 蓋具有可供從外部進入該聯稈之內部之一檢查孔及一用K 可装卸的覆蓋該檢査孔之蓋子。 一 3一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 508288 A9 B9 C9 D9 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 l〇.如申請專利範圍第6項之裝置，其中該起立唇部 係突伸至第1孔内。 11. 一種保護多聯桿式機器人手臂被腐蝕性流體激濺 之方法，其各個聯稈含有上表面、下表面及伸展於該上表 面及下表面之間之具有外側表面之周壁，該保護方法包括 下述步驟： (a) 提供不受流體之影響之合成樹脂製薄殼狀保護蓋 ，而該保護蓋具有與聯桿完全一致之外形，備有被覆該聯 桿之上表面之一上部構件及與該上部構件連續形成一體被 覆該聯稈之側壁外表面而延伸至超過該職桿之下表面之下 緣部之一側面構件；而此保護蓋係藉由其外形使其上部構 件貼緊地被覆該職稈之上表面，導使其側面構件移動而嵌 接於聯桿之側壁的外表面； (b) 提供不受流體影響之合成樹脂製薄保護板，將其 可裝卸的安裝於機器人手臂之各個聯桿之下表面，而該保 護板備有與該聯桿之外側壁相同範圍及當該保護蓋及保護 板安裝於聯桿上時接近上逑保護蓋之下緣之周緣部；及 (C)將該殼狀保護蓋可裝卸的安裝於該機器人手臂之 各個聯稈，使由上方朝向該機器人手臂飛濺而來之任何流 體均得Μ衝擊該保護蓋，從而保護裝設有保護蓋之機器人 手臂之聯桿。 12. 如申請專利範圍第11項之方法，其中進一步含有 一 4- (請先閱讀背面之注意事項再行繪製) ▼裝· I訂 •1·· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 508288 9 9 9 9 ABCD 驟 步 述 下 上 桿 聯 於 裝 安 的 卸 及裝 可 蓋蓋 護護 保保 之該 式將 卸具 裝定 可鎖 供用 提利 的 新 裝 換 而 蓋 護 保 該 下 拆 桿 聯 從 時 質 變 或 形 變 受。 其蓋 於護 而保 有 含 步 1 進 中 其 法 方 之 項 1X 1 第 圍 範 利 專 請 申 如 驟 步 述 下 上 稈 聯 於 及裝 ;安 板板 護護 保保 及及 蓋蓋 護護 保保 之該 式將 卸具 裝定 可鎖 供用 提利 而 板 護 保， 及 蓋 護' 保 該 下 拆 桿 聯 從 〇 ，板 時護 質保 變及 或蓋 形護 變保 受的 其新 於裝 而換 裝面 之表 濺上 激該 體於 流展 性伸 蝕及 腐面 被表 臂下 手、 人面 器表 機上 護有 保備 M臂 用手 人 一 器 • 機 14該 置 包 置 裝 護 保 該 中 其 壁 周 之 面 表 側 LT 夕 有 具 之 間 之 面 表 下 ： 及括 --------I (請先閲讀背面之注意事項再行繪製) -一訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之手一 響人之 影器面 之機表 體該上 流與之 受有臂 不具手 由蓋人 一 護器 之保機 臂此該 手而覆 人，被 器蓋括 機護包 於保， 裝狀形 安穀外 的薄之 卸製致 裝脂一 可樹全 成完 合臂 臂緣 手下 人之 器面 機表 該下 覆之 被臂 體手 一 人 成器 形機 續該 連過 件超 構至 部伸 上延 該而 與面 及表 t* rr 件 夕 構壁 部側 上之 件移 構件 部構 上面 其側 使其 形使 外導 其 ， 由面 藉表 係上 蓋的 護臂 保手 此人 而器 ;機 件該 構覆 面被 側被 一 地 之緊 部貼 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） CAQOQQ — — ________________ ___________________________ ___________________________________________ (3 ^ Ο Ο A9 B9 C9 D9 動而嵌接於機器人手臂之側壁的外表面；及 (請先閲讀背面之注意事項再行繪製) 可裝卸地安裝於機器人手臂之下表面之一由不受流體 影響之合成樹脂製成之薄保護板，該保護板備有與該機器 人手臂之外側壁大致同範圍及當保護蓋及保護板安裝於機 器人手臂上時接近該保護蓋之下緣之周緣部； 該保護蓋及保護板具有一構成迷宮式密封之重疊部份； 於是由任何方向朝向該機器人手臂飛濺而來之流體均 得K衝擊於該保護蓋及保護板，從而保護該裝有保護蓋及 保護板之機器人手臂。 15. 如申讅專利範圍第14項之裝置，其中該保護蓋及 保護板均為可裝卸；且含有： 用K將該保護蓋及保護板可裝卸的安裝於機器人手臂 上之鎖定具，因此該保護蓋及保護板發生變質或變形時， 可將其拆下而換裝新的保護蓋及保護板。 16. 如申請專利範圍第14項之保護裝置，其中該保護 板為平板狀。 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 17. 如申請專利範圍第14項之保護裝置，其中該殻狀 保護蓋設有可供従外部進入該聯桿之内部之一撿査孔及一 用K可裝卸的覆蓋該檢査孔之蓋子。 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（BOX297公釐）