KR20010113963A - 내식성 다관절 로봇 아암 링크 조립체 - Google Patents

내식성 다관절 로봇 아암 링크 조립체 Download PDF

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KR20010113963A
KR20010113963A KR1020017014698A KR20017014698A KR20010113963A KR 20010113963 A KR20010113963 A KR 20010113963A KR 1020017014698 A KR1020017014698 A KR 1020017014698A KR 20017014698 A KR20017014698 A KR 20017014698A KR 20010113963 A KR20010113963 A KR 20010113963A
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KR1020017014698A
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데이비드 알. 뷰루
로버트 티이. 케이브니
튜안 하
Original Assignee
스탠리 디. 피에코스
브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
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Abstract

유체 유입에 대한 로봇 아암을 차폐하기 위한 시스템은, 로봇 아암(30)에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 쉘 형태의 얇은 플라스틱 보호덮개를 구비한다. 이 보호덮개(38)는 일반적으로 로봇 아암(30)의 상방지향면(32)에 겹치는 상부부재(40)와, 로봇 아암의 하방지향면(34)과 일반적으로 같은 공간에 걸치는 하부 림으로 연장하는 동시에 로봇 아암(30)의 측벽(36)에 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재(42)를 포함한다. 유사한 방법으로, 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호판(46)은 로봇 아암의 하방지향면(34)에 해제가능하게 부착되고 링크의 원주 연장 측벽(36)과 일반적으로 같은 공간에 걸치고 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 상기 보호덮개의 하부 림에 인접하는 원주 림(48)을 포함한다. 이 구조에 의해, 상기 로봇 아암을 향해 지향되고 임의 방향에서 유출하는 유체가 보호덮개(38)에 충돌하므로 이에 부착되는 로봇아암링크가 보호된다.

Description

내식성 다관절 로봇 아암 링크 조립체{CORROSION RESISTANT EXOSKELETON ARM LINKAGE ASSEMBLY}
반도체 웨이퍼를 취급하는 일부 로봇 장치는 고부식성의 유체(기체 또는 액체)를 포함하는 대기 환경 하에서의 작업이 요구된다. 이들 로봇장치는 제품의 전체 성능을 향상하기 위한 부식제로부터의 보호가 요구된다. 부식이 발생하면, 취급되는 웨이퍼에 손상을 유발할 수 있는 분진을 아암부재가 발생할 수 있다. 이 문제에 대한 일 해결안으로서 내식성 물질(즉, 300 시리즈 스테인레스 스틸 또는 코팅)을 사용하는 것이다. 로봇 링크의 경우, 일부 설계자들은 내식성을 향상하거나 부식 발생을 억제하기 위해 전해 연마 스테인레스 스틸(electro-polished stainless steel)로 아암 부재를 조립하고 있다. 다른 설계자들은 부식제와 베이스 구조 물질과의 상호 작용을 격리시키는 코팅을 구조 물질에 분사하여 부식을 최소화하고 있다. 이들 두 해결은 재료 경제성, 코팅의 균일성 및 부식제의 침투에 대한 재료 특성의 문제가 존재한다.
전술한 기술 상태의 지식을 토대로 본 발명이 인식되고 실행에 옮겼다.
본 발명은 일반적으로 부식성 분위기에 노출되는 로봇 아암의 보호에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 내식성의 얇은 플라스틱 덮개에 의해 다관절 로봇 아암의 링크를 보호하는 시스템에 관한 것이다.
도 1은 본 발명을 구현하는 로봇 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 요소의 확대 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 요소의 확대 사시도이다.
도 4는 도 2 및 도 3에 도시한 요소 단면을 일부 절단한 단면도이다.
도 5는 도 2, 도 3 및 도 4에 도시한 일부 요소를 확대 도시한 단면도이다.
관련 문제를 해결하기 위해서, 본 발명자는 얇은 플라스틱 덮개에 의해 아암링크를 보호하기 위한 기술을 개발하였다. 이들 덮개는 로봇 아암의 동작 성능을 저하시키지 않고 아암링크의 구조 부재에 저렴한 재료가 사용될 수 있도록 로봇 아암의 각 링크를 에워싸도록 보호한다. 말하자면, 유체 유입에 대한 로봇 아암을 차폐하기 위한 시스템으로서, 로봇 아암에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 쉘 형태의 얇은 플라스틱 보호덮개를 보호한다. 이 보호덮개는 로봇 아암의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 가지며, 로봇 아암의 상방 지향면에 겹치는 상부부재와, 로봇 아암의 하방 지향면의 평면을 지나 돌출하는 하부 림으로 연장하는 동시에 로봇 아암의 측벽에 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재를 포함한다. 보호덮개의 상부부재는 일반적으로 상방 지향면에 겹치는 반면, 연속 연장 측면부재는 일반적으로 원주 연장 측벽의 외향 지향면에 겹친다. 유사 방법으로, 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호덮개는 로봇 아암의 하방 지향면에 해제가능하게 부착될 수 있고 링크의 원주 연장 측벽과 일반적으로 같은 공간에 걸치고 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 보호덮개의 하부 림에 근접하는 원주 림을 포함한다. 이 구조에 의해, 로봇 아암을 향해 지향되고 임의 방향에서 유출하는 유체가 보호덮개와 보호판에 충돌하므로 이에 부착되는 로봇 아암의 링크가 보호된다.
본 발명의 주 목적은 부식성 분위기에 노출되는 로봇 아암의 보호 시스템을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 얇은 내식성 플라스틱 덮개에 의해 다관절 로봇 아암의 링크를 에워싸도록 보호함에 따른 시스템을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 폐기가능하고 용이하게 교환할 수 있는 얇은 내식성 플라스틱 덮개를 이용하는 시스템을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 제조, 설치 및 교환이 저렴한 얇은 내식성 플라스틱 덮개를 이용하는 시스템을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 추가적인 특징, 장점 및 혜택은 하기 도면과 함께 이후 설명에서 명백해진다. 전술한 개략적인 설명 및 하기 상세한 설명은 예시적이고 예증적이지만 본 발명을 한정하지 않는다. 본 발명의 일부를 구성하고 내장하는 첨부 도면은 본 발명의 일 실시예를 도시하며, 명세서와 함께 일반 용어로 본 발명의 원리를 설명한다. 동일 참조번호는 본원을 통해 동일 부품을 지시한다.
도 1에는, 본 발명의 특징을 내장하는 로봇장치(20)의 사시도가 도시되어 있다. 본 발명은 도면에 도시한 단일 실시예를 참조로 기술하지만, 본 발명은 다양한 변형 형태로 이루어질 수 있다는 것을 이해할 것이다. 또한, 적정 크기, 형상 또는 형태의 요소나 재질이 사용될 수 있다.
본 발명에 따르면, 로봇장치(20)는 반도체 웨이퍼와 같은 부재를 취급시, 웨이퍼를 프로세싱 챔버에 도입한 다음 회수하는 경우 물에서부터 고독성물 등의 유체가 장치에 튀기는 것에 대한 다관절 로봇 아암(22) 각각의 링크를 차폐하기 위한 시스템을 내장하고 있다.
도 2, 도 3 및 도 4에 보다 명료하게 도시한 바와 같이, 로봇 아암(22)은 인간의 팔 구조에 기능적으로 비교될 수 있는 세 개의 별개 조립체로 구성되어 있다. 이처럼, 로봇 아암은 상부아암조립체(24), 전완조립체(26), 및 손목조립체(28)를 포함하고 있다. 이들 조립체(24, 26, 28)는 일반적으로 유사하지만, 본 발명을 완벽히 설명하기 위해서, 각 조립체를 별개로 설명한다.
이처럼, 상부아암조립체(24)는 상방지향면(32)과 하방지향면(34)을 갖는 상부아암링크(30)와, 이들 상방지향면(32)과 하방지향면(34) 사이를 연장하여 외향 지향면(36)을 갖는 원주 연장 측벽을 포함하고 있다. 각종 지향면(32, 34, 36)은 일부 실시예에서 매끄럽고 규적적이고 다른 실시예에서 외형 기복이 심하고 불규칙적이다. 상부아암조립체(24)는 상부아암링크(30)에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호덮개(38)를 구비하는 본 발명에 따른 차폐시스템을 더 포함하고 있다. 이 보호덮개(38)는 일반적으로 상부아암링크(30)의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 가지며 링크의 상방지향면(32)에 겹치는 상부부재(40)와, 링크의 하방지향면(34)의 평면을 지나 돌출하는 하부 림(44)으로 연장하는 동시에 상부아암링크의 측벽의 외향 지향면(36)에 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재(42)를 포함하고 있다. 보호덮개(38)의 상부부재(40)는 일반적으로 상방지향면(32)에 겹치는 반면, 연속 측면부재(42)는 일반적으로 원주 연장 측벽의 외향 지향면(36)에 겹치고 있다.
적소에 위치한 보호덮개(38)에 의해, 상부아암링크를 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 상부아암링크(30)에 튀기는 유체가 보호덮개에 충돌하므로 링크가 보호된다.
게다가, 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호판(46)이 또한 상부아암링크(30)의 하방지향면(34)에 착탈가능하게 구비되어도 좋다. 보호판(46)은 실제로 평면이고 상부아암링크의 원주 연장 측벽의 외향 지향면(36)과 일반적으로 같은 공간에 걸치는 원주 림(48)을 포함하고, 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 보호덮개(38)의 하부 림(44)에 근접 위치한다. 적소에 위치한 보호덮개(38)와 보호판(46)에 의해, 상부아암링크를 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 상부아암링크(30)에 튀기는 유체가 보호덮개에 충돌하므로 상부아암링크가 보호된다. 이와 함께, 보호덮개(38)와 보호판(46)은 상부아암링크의 표면을 손상시키는 유체 유입을 방지하기 위해 겹칩(overlapping) 영역에 래비린스 시일(labyrinth seal)을 생성한다.
보호덮개(38)와 보호판(46)은 로봇 아암(22)의 동작을 방해하지 않는 두께로, 소망하는 보호를 달성하기 위해 필요한 두께를 갖는 효율적인 저렴한 플라스틱 물질이 적절하다. 이 때문에, 이들 요소들은 약 30 내지 40 밀리미터 범위의 두께를 갖는 중공 성형 구조가 될 수 있다. 본 발명의 목적에 적절하게 결정되는 물질로서는 상표명 NORYLTM으로 상업적으로 이용가능한 열 성형 플라스틱이다.
도 5에 가장 명료하게 도시한 바와 같이, 상부아암링크(30)에 부착가능한 보호덮개(38)는 작동축(52)이 자유롭게 관통하도록 수용하는 개구(50)를 갖고 있고, 이 개구의 원주에 직립 립(54)이 형성되어 있다. 보호판(56)은 상부아암링크에 인접한 전완조립체(26)의 전완링크(58)에 부착되어 있고 상부아암링크(30)와 전완링크(58)을 연결하는 작동축(52)이 자유롭게 관통하도록 수용하는 개구(50)와 일반적으로 같은 공간에 걸치는 개구(60)를 갖고 있고, 이 개구(60)의 원주에 종속 립(62)이 형성되어 있다. 이 종속 립(62)은 근접하는, 동일 축상의 개방 개구(60)를 갖고 있고, 이 개구는 그 크기가 개구(50) 원주의 직립 립(54) 보다 약간 크게 형성되어 있다.
보호덮개(38)도 또한 외부 영역에서 상부아암링크(30)의 내부(68)로 유입 허용하는 개구 원주에 직립 립(66)이 마련된 접근 구멍(64)을 갖고 있다. 외부영역과 내부(68)를 고립하기를 소망하는 경우 접근 구멍을 보호하는 보호덮개의 직립 립(66)에 캡(70)을 해제가능하게 부착할 수 있다.
전술한 바와 같이, 보호덮개(38)는 폐기가능하며 보호덮개를 상부아암링크에 해제가능하게 부착하기 위해 상부아암링크(30)의 연관 암나사 보어(74) 및 보호덮개의 간극보어(76)와 나사 맞물림하는 적절한 패스너(72)가 구비된다. 유사하게, 보호덮개를 상부아암링크에 해제가능하게 부착하기 위해 상부아암링크(30)의 하방지향면(34)의 연관 암나사 보어(도시생략) 및 보호덮개(46)의 간극보어(80)와 나사맞물림하는 패스너(78)가 구비된다. 이 방법에서, 상당한 악화 발생시, 보호덮개와 보호판이 상부아암링크에서 제거되고 새로운 보호덮개로 대체된다. 물론, 보호덮개(38)와 보호판(46)을 상부아암링크에 부착하는 각종 다른 형태가 본 발명의 범위 내에서 구현될 수 있다.
본 발명의 설명을 계속해서, 전완조립체(26)는 상방지향면(82)과 하방지향면(84)을 갖는 전완링크(58) 및 외향 지향면(86)을 갖고 상방지향면과 하방지향면 사이를 연장하는 원주 연장 측벽을 포함하고 있다. 각종 지향면(82, 84, 86)은 일부 실시예에서 매끄럽고 규적적이고 다른 실시예에서 외형 기복이 심하고 불규칙적이다. 상부아암조립체(24)와 유사하게, 전완조립체(26)는 상부아암링크 (30)에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 쉘(shell) 형태의 얇은 플라스틱 보호덮개(88)를 구비하는 본 발명에 따른 차폐시스템을 더 포함하고 있다. 보호덮개(88)는 일반적으로 전완링크(58)의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 가지며 링크의 상방지향면(82)에 겹치는 상부부재(90)와, 링크의 하방지향면(84)의 평면을 지나 돌출하는 하부 림(94)으로 연장하고 상부아암링크의 측벽의 외향 지향면(86)을 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재(92)를 포함하고 있다. 보호덮개(88)의 상부부재(90)는 일반적으로 상방지향면(82)에 겹치고, 연속 측면부재(92)는 일반적으로 원주 연장 측벽의 외향 지향면(86)에 겹치고 있다.
적소에 위치한 보호덮개(88)에 의해, 전완링크를 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 전완링크(30)에 튀기는 유체가 보호덮개에 충돌하므로 링크가 보호된다. 게다가, 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호판(56)이 또한 전완링크(58)의 하방지향면(84)에 착탈가능하게 구비되어도 좋다. 보호판(56)은 실제로 평면이고 전완링크의 원주 연장 측벽의 외향 지향면(86)과 일반적으로 같은 공간에 걸치는 원주 림(96)을 포함하고 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 보호덮개(88)의 하부 림(94)에 근접한다. 적소에 위치한 보호덮개(88)와 보호판(56)에 의해, 상부아암링크를 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 전완링크(58)에 튀기는 유체가 보호덮개에 충돌하므로 링크가 보호된다. 이와 함께, 보호덮개(88)와 보호판(56)은 상부아암링크의 표면을 손상시키는 유체 유입을 방지하는 겹칩 영역에 래비린스 시일(labyrinth seal)을 생성한다.
도 5에 가장 명료하게 도시한 바와 같이, 전완링크(58)에 부착가능한 보호덮개(88)는 작동축(100)이 자유롭게 관통하도록 수용하는 개구(98)를 갖고 이 개구의 원주에 직립 립(102)을 포함하고 있다. 보호판(104)은 손목조립체(28)의 손목링크(106)에 부착되어 있고 손목링크(106)와 전완링크(58)을 연결하는 작동축(100)이 자유롭게 관통하도록 수용하는 개구(98)와 일반적으로 같은 공간에 걸치는 개구(108)를 갖고 이 개구(108)의 원주에 종속 립(110)을 포함하고 있다. 이 종속 립(110)은 근접하는, 동일 축상의 개방 개구(108)를 갖고 있고, 이 개구는 개구(108) 원주의 직립 립(102) 크기 보다 약간 크게 형성되어 있다.
보호덮개(88)도 외부 영역에서 전완링크(58)의 내부(116)로 유입 허용하는 개구 원주에 직립 립(114)이 마련된 접근 구멍(112)을 갖고 있다. 외부영역과 내부(116)를 고립하기를 소망하는 경우 접근 구멍을 보호하는 보호덮개의 립(114)에 캡(118)을 해제가능하게 부착할 수 있다.
상부아암조립체(24)의 경우와 같이, 보호덮개(88)는 폐기가능하며 보호덮개를 전완링크에 해제가능하게 부착하기 위해 전완링크(58)의 연관 암나사 보어(122) 및 보호덮개의 간극보어(124)와 나사 맞물림하는 적절한 패스너(120)가 구비된다. 유사하게, 보호덮개를 전완링크에 해제가능하게 부착하기 위해 전완링크(58)의 하방지향면(84)의 연관 암나사 보어(도시생략) 및 보호덮개(56)의 간극보어(128)와 나사 맞물림하는 패스너(126)가 구비된다. 이 방법에서, 상당한 악화 발생시, 보호덮개와 보호판이 전완링크에서 제거되고 새로운 보호덮개로 대체된다. 물론, 보호덮개(88)와 보호판(56)을 전완링크(58)에 부착하는 각종 다른 형태가 본 발명의 범위 내에서 구현될 수 있다.
이처럼, 손목조립체(28)는 상방지향면(32)과 하방지향면(134)을 갖는 손목링크(106)와 외향 지향면(136)을 갖고 상방지향면과 하방지향면 사이를 연장하는 원주방향 연장 측벽을 포함하고 있다. 각종 지향면(132, 134, 136)은 일부 실시예에서 매끄럽고 규적적이고 다른 실시예에서 외형 기복이 심하고 불규칙적이다. 손목조립체(28)는 손목링크(106)에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 쉘 형태의 얇은 플라스틱 보호덮개(138)를 구비하는 본 발명에 따른 차폐시스템을 더 포함하고 있다. 보호덮개(138)는 일반적으로 손목링크(106)의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 가지며 링크의 상방지향면(132)에 겹치는 상부부재(140)와, 링크의 하방지향면(134)의 평면을 지나 돌출하는 하부 림(144)으로 연장하고 상부아암링크의 측벽의 외향 지향면(136)을 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재(142)를 포함하고 있다. 보호덮개(138)의 상부부재(140)는 일반적으로 상방지향면(132)에 겹치고, 연속 측면부재(142)는 일반적으로 원주 연장 측벽의 외향 지향면(136)에 겹치고 있다.
손목링크(106)의 단부(148)로부터 돌출하는 단부 작동체(146)를 수용하기 위해, 보호덮개(138)의 대응하는 단판(150)에는 단부 작동체(146)를 단단히 수용하고 보호덮개를 지나 돌출하도록 노치(152)가 형성되어 있다. 본 발명의 캡슐형 시스템의 기밀성을 보다 확실히 하기 위해, 단부 작동체(146)를 자유롭게 수용하는 상당한 크기의 수용홀(156)이 보호판(154)에 구비되어 있다. 보호덮개(138)가 적소에 위치할 경우, 단부(148)와 단판(150) 사이에 보호판이 끼워지고 단부 작동체(146)의 동작을 방해하지 않으면서 손목 링크를 보호하는 노치(152)와 겹쳐진다.
적소에 위치한 보호덮개(138)에 의해, 상부아암링크를 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 상부아암링크에 튀기는 유체가 보호덮개에 충돌하므로 링크가 보호된다.
게다가, 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호판(104)이 또한 손목링크(106)의 하방지향면(134)에 착탈가능하게 구비되어도 좋다. 보호판(104)은 실제로 평면이고 손목링크의 원주 연장 측벽의 외향 지향면(136)과 일반적으로 같은 공간에 걸치는 원주 림(158)을 포함하고 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 보호덮개(138)의 하부 림(144)에 근접한다. 적소에 위치한 보호덮개(138)와 보호판(104)에 의해, 상부아암링크를 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 손목링크(106)에 튀기는 유체가 보호덮개에 충돌하므로 상부아암링크가 보호된다.이와 함께, 보호덮개(138)와 보호판(104)은 손목링크의 표면을 손상시키는 유체 유입을 방지하는 겹칩 영역에 래비린스 시일(labyrinth seal)을 생성한다.
상부아암조립체(24)와 전완조립체(26)에 관해 기술한 바와 같이, 손목조립체의 보호덮개(138)와 보호판(104)은 로봇 아암(22)의 동작을 방해하지 않는 두께로, 소망하는 보호를 달성하기 위해 필요한 두께를 갖는 효율적인 저렴한 플라스틱 물질이 적절하다. 이들 요소들은 전술한 구조와 재질로 이루어질 수 있다.
보호덮개(38, 88)와 같이, 보호덮개(138)는 폐기가능하며 보호덮개를 상부아암링크에 해제가능하게 부착하기 위해 손목링크(106)의 연관 암나사 보어(162) 및 보호덮개의 간극보어(164)와 나사 맞물림하는 적절한 패스너(160)가 구비된다. 유사하게, 보호덮개(104)를 손목링크에 해제가능하게 부착하기 위해 손목링크(106)의 하방지향면(134)의 연관 암나사 보어(도시생략) 및 보호덮개(104)의 간극보어(168)와 나사 맞물림하는 패스너(106)가 구비된다. 이 방법에서, 상당한 악화 발생시, 보호덮개와 보호판이 손목링크에서 제거되고 새로운 보호덮개로 대체된다. 물론, 보호덮개(138)와 보호판(104)을 손목링크에 부착하는 각종 형태가 본 발명의 범위 내에서 구현될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 기술하였지만, 당분야의 통상의 지식을 가진 자라면 명세서에 개시되고 첨부된 청구범위에서 한정하는 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 각종 다른 변형이 가능하다는 것이 이해될 것이다.

Claims (22)

  1. 유체 유입에 대한 로봇 아암을 차폐하기 위한 시스템에 있어서,
    상기 로봇 아암에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 쉘(shell) 형태의 얇은 플라스틱 보호덮개는, 일반적으로 상기 로봇 아암의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 가지며 로봇 아암을 향해 지향된 모든 유체가 상기 보호덮개에 충돌하여 이에 부착된 로봇 아암을 보호하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  2. 유체 유입에 대한 로봇 아암을 차폐하기 위한 방법에 있어서,
    (a) 일반적으로 로봇 아암의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 갖고, 유체가 스미지 않는 쉘 형태의 얇은 플라스틱 보호덮개를 제공하는 단계, 및
    (b) 상기 쉘 형태의 보호덮개를 로봇 아암에 분리가능하게 부착하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 방법.
  3. 상방지향면과 하방지향면을 갖고, 이 상방지향면과 하방지향면 사이를 연장하고 외향 지향면을 갖는 원주 연장 측벽을 포함하는 다관절 로봇 아암 각 링크의 차폐 시스템으로서,
    상기 로봇 아암의 각 링크에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호덮개는, 일반적으로 링크의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 가지며 링크의 상방지향면에 겹치는 상부부재와, 링크의 하방지향면의 평면을 지나 돌출하는하부 림으로 연장하는 동시에 링크의 측벽에 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재를 포함하고, 상기 보호덮개의 상부부재는 일반적으로 상방지향면에 겹치는 반면, 연속 연장 측면부재는 일반적으로 원주 연장 측벽의 외향 지향면에 겹치며,
    상기 로봇 아암을 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 로봇 아암의 유체가 보호덮개에 충돌하므로 이에 부착되는 로봇 아암 각각의 링크가 보호되는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 보호덮개는 분리가능하며,
    상기 보호덮개를 상기 링크에 해제가능하게 부착하는 패스너수단을 구비하여, 상당한 악화 발생시, 상기 보호덮개를 상기 링크에서 제거하여 새로운 보호덮개로 교환될 수 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    로봇 아암 각 링크의 하방지향면에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호판은, 링크의 원주 연장 측벽과 일반적으로 같은 공간에 걸치고 상기 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 보호덮개의 하부 림에 근접하는 원주 림을 포함하므로,
    상기 로봇 아암을 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 로봇 아암의 유체가 보호덮개에 충돌하므로 이에 부착되는 로봇 아암 각 링크가 보호되는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 보호덮개 및 상기 보호판은 모두 분리가능하며,
    상기 보호덮개 및 상기 보호판을 상기 링크에 해제가능하게 부착되는 패스너수단을 구비하여, 상당한 악화 발생시, 상기 보호덮개 및 상기 보호판을 상기 링크에서 제거하여 새로운 보호덮개로 교환될 수 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 보호덮개는 하나의 링크에 부착되고 작동축이 자유롭게 관통하도록 수용하는 제1 개구를 갖고, 이 제1 개구의 원주에 직립 립을 포함하고,
    상기 보호판은 제1 링크에 인접한 제2 링크에 부착되어 있고 상기 제1 링크 및 제2 인접 링크를 연결하는 작동축이 자유롭게 관통하도록 수용하는 제1 개구와 일반적으로 같은 공간에 걸치는 제2 개구를 갖고, 이 제2 개구의 원주에 종속 립을 포함하며,
    상기 제2 개구 원주의 종속 립은 근접하는, 동일 축상에, 제1 개구 원주의 직립 립 크기 보다 약간 크게 형성되어 있는 개구를 갖는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 보호덮개는 하나의 링크에 부착되고 작동축이 자유롭게 관통하도록 수용하는 제1 개구를 갖고 링크의 하방지향면에 인접한 위치로 돌출하는 제1 개구의 원주에 직립 립을 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 보호덮개는 실제로 평면인 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 쉘 형태 보호덮개는 외부 영역에서 링크의 내부로 유입 허용하는 접근 구멍과 이 접근 구멍을 해제가능하게 덮는 쉘 형태 보호덮개에 부착가능한 캡을 갖는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 직립 립은 상기 제1 개구로 돌출하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  12. 각 링크는 상방지향면과 하방지향면을 갖고, 이 상방지향면과 하방지향면 사이를 연장하고 외향 지향면을 갖는 원주 연장 측벽을 포함하는 다관절 로봇 아암 각 링크의 차폐 방법에 있어서,
    (a) 일반적으로 상기 링크의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 갖고, 링크의 상방지향면에 겹치는 상부부재와, 링크의 하방지향면의 평면을 지나 돌출하는 하부 림으로 연장하는 동시에 링크의 측벽에 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재를 포함하고, 상방지향면에 인접하게 겹치는 상부부재에 의해 상기 연속 측면부재가 일반적으로 원주 연장 측벽의 외향 지향면에 적응 맞물림 이동하도록 윤곽 형상에 의해 가압되고, 로봇 아암의 각 링크에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호덮개를 구비하는 단계,
    (b) 상기 로봇 아암을 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 로봇 아암의 유체가 보호덮개에 충돌하므로 이에 부착되는 로봇 아암의 링크가 보호되도록 쉘 형태의 보호덮개를 로봇 아암 각각의 링크에 해제가능하게 부착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    (c) 상기 로봇 아암 각각의 링크의 하방지향면에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호판은, 링크의 원주 연장 측벽과 일반적으로 같은 공간에 걸치고 상기 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 보호덮개의 하부 림에 근접하는 원주 림을 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 방법.
  14. 제12항에 있어서,
    (c) 해제가능한 품목으로 상기 보호덮개를 제공하는 단계와,
    (d) 상기 보호덮개를 상기 링크에 해제가능하게 부착하는 패스너수단을 구비하여, 상당한 악화 발생시, 상기 보호덮개를 상기 링크에서 제거하여 새로운 보호덮개로 교환될 수 있는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    (d) 해제가능한 품목으로 상기 보호덮개 및 상기 보호판을 제공하는 단계와,
    (e) 상기 보호덮개 및 상기 보호판을 상기 링크에 해제가능하게 부착하는 패스너수단을 구비하여, 상당한 악화 발생시, 상기 보호덮개 및 상기 보호판을 상기 링크에서 제거하여 새로운 보호덮개 및 새로운 보호판으로 교환될 수 있는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 방법.
  16. 상방지향면과 하방지향면을 갖고, 이 상방지향면과 하방지향면 사이를 연장하는 동시에 외향 지향면을 갖는 원주 연장 측벽을 포함하는 다관절 로봇 아암 각각의 링크 차폐 시스템에 있어서,
    일반적으로 상기 로봇 아암의 윤곽에 적합한 윤곽 형상을 갖고, 링크의 상방지향면에 겹치는 상부부재와, 링크의 하방지향면의 평면을 지나 돌출하는 하부 림으로 연장하는 동시에 링크의 측벽에 인접하게 겹치는 일체형 연속 측면부재를 포함하고, 상방지향면에 인접하게 겹치는 상부부재에 의해 상기 연속 측면부재가 원주 연장 측벽의 외향 지향면에 적응 맞물림 이동하도록 윤곽 형상에 의해 가압되고,
    상기 로봇 아암을 향해 지향되고 상부 위치에서 유출하여 로봇 아암의 유체가 보호덮개에 충돌하므로 이에 부착되는 로봇 아암의 링크가 보호되는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 보호덮개는 분리가능하며,
    상기 보호덮개를 상기 링크에 해제가능하게 부착하는 패스너수단을 구비하여,
    상당한 악화 발생시, 상기 보호덮개를 상기 링크에서 제거하여 새로운 보호덮개로 교환될 수 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 로봇 아암 각각의 링크의 하방지향면에 해제가능하게 부착되고 유체가 스미지 않는 얇은 플라스틱 보호판은, 링크의 원주 연장 측벽과 일반적으로 같은 공간에 걸치고 보호덮개와 보호판 모두가 부착될 때 보호덮개의 하부 림에 근접하는 원주 림을 포함하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 보호덮개 및 상기 보호판은 모두 분리가능하며,
    상기 보호덮개 및 상기 보호판을 상기 링크에 해제가능하게 부착하는 패스너수단을 구비하여, 상당한 악화 발생시, 상기 보호덮개 및 상기 보호판을 상기 링크에서 제거하여 새로운 보호덮개로 교환될 수 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  20. 제16항에 있어서,
    상기 보호덮개는 거의 평면인 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  21. 제16항에 있어서,
    상기 쉘 형태 보호덮개는 외부 영역에서 링크의 내부로 유입 허용하는 접근 구멍과 이 접근 구멍을 해제가능하게 덮는 쉘 형태 보호덮개에 부착가능한 캡을 갖는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
  22. 제17항에 있어서,
    상기 직립 립은 상기 제1 개구로 돌출하는 것을 특징으로 하는 로봇 아암 차폐 시스템.
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