TW500891B

TW500891B - A fluid control device

Info

Publication number: TW500891B
Application number: TW90105391A
Authority: TW
Inventors: Masaru Ishii; Yasuyuki Okabe; Yuji Kawano; Michio Yamaji
Original assignee: Tokyo Electron Ltd; Fujikin Kk
Priority date: 2000-03-10
Filing date: 2001-03-08
Publication date: 2002-09-01
Also published as: KR100714755B1; US6382238B2; EP1132669A1; KR20010089213A; DE60106312T2; EP1132669B1; DE60106312D1; US20010020488A1

Description

500891 A7 B7 五、發明說明（1 ) 發A之領域本發明係關於一種使用在半導體製造裝置中的流體控制裝置，特別是關於一種集積化流體控制裝置，其中流體控制裝置在維修點檢時可單獨從上方取出而被組裝著。此說明書中，前後，上下，左右，是以第1圖之上爲前，下爲後，第2圖之上下爲上下，左右是以向前方而言者。此前後，上下，左右是方便上使用，有時前後成相反使用，上下成左右使用亦可。先技術說明半導體製造裝置中所使用之流體控制裝置，是由種種之流體控制機器成多數列配置，同時相鄰合之流體控制機器的各流路在預定處所上，以機器連接裝置連接而構成。近年來，此種種之流體控制機器，已進步到以質量流控制器或開閉閥等不介入管中而連接之集積化（例如參照日本特開平9 - 29996號公告）。此集積化流體控制裝置之組合時，首先使塊狀接頭等之下段元件以螺絲固定在一片面板上，其次使上段元件以跨騎方式而固定在這些下段元件上，鄰合列之元件的各通路在預定處所，以通路連接裝置進行連接。上述習知之流體控制裝置中，各上段元件雖然可從上方取出以進行點檢，修理，更換，但是對既有之4列線要再追加2列新線之變更並未被考慮到。從而，習知之集積化流體控制裝置中，在增設、變更時本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝-------—訂-------r·. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（2 ) ，雖然在面板上必須進行基塊固定用之螺絲孔追加加工，此螺絲孔爲了固定上段元件而要求有所要之加工精度之故，在面板完成後，以手工作業進行螺絲孔之追加加工很困難。而且，各上段元件之連接，均由下段元件而進行之故，從既有之線進行分歧或合流之時，使上部之元件被取下之後，下部元件被更換，再度使上部之元件被裝上，因而有工時增加之問題。因爲有上述之問題，在有發生系統改造之時，使新需求的機器被安裝到面板上，而後更換每一個面板之方式進行，但是此情況下，會產品長期間裝置停止，或現場工事之工時增加的問題。在此情況下，此種流體控制裝置中，即使在需要線之增設及變更之時，亦必須很容易地對應，已成爲新的課題。發明之扼要說明本發明之目的在提供了一種集積化流體控制裝置，可使線之增設及變更很容易地對應。本發明之流體控制裝置，多數個下段元件及多個上段元件成直列狀連接而形成的線成並聯狀配置，相鄰而配合之線之元件的通路間，在預定處所由通路連接裝置而連接，其特徵爲：這些線之中一條線之下段元件各以螺絲固定在一片副基板之上，這些下段元件之上以螺絲固定有上段元件，各副基板被安裝在一片主基板上，使通路連接裝置可在上方被卸下。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 i、發明說明（3 ) 依照本發明之流體控制裝置，線在增設之時，須增設之線被安裝在一片副基板上，此副基板被安裝在主基板上即可。而且，線進行變更時，被變更之舊線從副基板卸下，將新線安裝在一片副基板上，此副基板被安裝在主基板上即可，因而線之增設及變更很容易地進行。關於通路連接裝置，一旦被取下後，欲在進行線之增設及變更時，再度由通路連接裝置進行所要之連接即可。因而，僅須最小限度之元件卸除之下即可進行線之增設及變更。多個上段元件中之一個，是由二口閥及三口閥成相鄰合之配置所形成的遮斷開放器，此情況下，二口閥是由具有第1流體用流入通路及第1流體用流出通路之本體，及使兩通路之間的連通被遮斷或開放用的作動器所形成。三口閥是由具有第1流體用流入通路、第2流體用流入通路及第1流體與第2流體共通之流出通路的本體，及使第2流體用流出通路及流出通路的連通被遮斷或開放用之作動器所形成。三口閥之第1流體用流入通路及流出通路經由閥室而永久連通，三口閥之第1及第2 流體用流入通路之突合面上，同流出通路各在下面形成開口，二口閥之第1流體用流出通路與三口閥之第1流體用流入通路連通，再者，二口閥之閥本體上最好形成有，與三口閥之第2流體用流入通路連通而且在下面形成開口之第2流體用流入通路。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝訂-------ΓΦ. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（4 ) 依照上述之具有遮斷開放器之流體控制裝置’第2流體（例如程序流體）在流動之時，二口閥之作動器爲關閉狀態，同時三口閥之作動器成開之狀態，其第2流體用流入通路與流出通路連通，第2流體經由二口閥之第2 流體用流入通路導入。因此，第2流體經由二口閥之第2 流體用流入通路、三口閥之第2流體用流入通路及共通之流出通路，而送到質量流控制器等。其後，二口閥之作動器爲開之狀態，同時三口閥之作動器成關閉之狀態，而使第2流體用流入通路被遮斷，第1流體（例如驅迫氣體）經由二口閥之第1流體用流入通路導入。因此，第 1流體經由二口閥之第1流體用流入通路、同流出通路、三口閥之第1流體用流入通路及同流出通路，而送到質量流控制器等。第1流體由自身之壓力，而將殘留在三口閥之流出通路中的第2流追出，使其流向質量流控制器，使第1流體及第2流體混合之狀態提早被解消，在短時間內，成爲僅第1流體流動之狀態。而且，該遮斷開放器在二口閥之下方，配置有通到該第2流體用流入通路之通道的塊狀接頭，在三口閥之下方，配置有通到該流出通路之通道的塊狀接頭。遮斷開放器可成跨騎狀地被安裝在這兩個塊狀接頭上面。因而，使流體控制裝置之集積化容易，而且遮斷開放器之維修及檢查很容易進行。二口閥之第1流體用流入通路是由，在閥本體上面形本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------•-裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（5 ) 成開口並且對閥本體上面向下傾斜之延伸上流部，連接上流部而向上地延伸到二口閥之閥室之下流部所形成，相鄰而配合之線之各第1流體用流入通路最好由通路連 .接裝置連接。如此，使線之寬度及副基板寬度可被統一，所要之線可被配置在任意的位置上，與任意之線進行更換很容易。主基板上最好設有增設用之空間。如此，在系統上欲增設之情況下，可以很容易地對應。通路連接裝置具有塊狀接頭，它具有從上方以螺絲固定之I字狀通路。而且，通路連接裝置是由從上方以螺絲固定之從上方以螺絲固定且形成有橫向開口之多孔塊狀接頭所形成。如此，一旦通路連接裝置被卸除後，欲在進行線之增設及變更時，再度由通路連接裝置進行所要之連接，其作業很容易。附圖之簡單說明第1圖是顯示本發明流體控制裝置之第1實施例之平面圖；第2圖是第1圖之A線的側面圖；第3圖是顯示本發明流體控制裝置之第2實施例之平面圖；第4圖是第3圖之B線的側面圖；第5圖是第3圖之D線的側面圖；第6圖是第3圖之E線的側面圖；本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁} .¾^ · I — I — — — I 訂-I ----— - · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（6 ) 第7圖是顯示本發明流體控制裝置之第3實施例之平面圖；第8圖是遮斷開放器之放大剖面圖；第9圖是三口閥的放大剖面圖；第1 0圖是塊狀接頭之剖面圖；弟1 1圖是反V子型通路塊狀之剖面圖；第1 2圖是多歧管塊狀接頭之剖面圖。本發明較佳實施例之詳細說明本發明之各實施例將參照以下各圖說明之。第1及2圖是顯示本發明流體控制裝置之第1實施例。此流體控制裝置（1 )中，從第1圖之左方配置有，程序氣體A線（A )、程序氣體B線（B )、程序氣體C線（C )及驅迫氣體線（P )。計四個之各線（A ) ( B ) ( C ) ( P )，是由具有預定功能之流體控制機器被載置於一片細長之副基板（3 )上所形成。這些副基板（計四個）（3 )被安裝在一個主基板（2 )上。主基板 (2 )之左半部上，裝設具有安裝孔之空間，可供同樣之線多數個追加時之用。程序氣體A線（A )是由逆止閥（1 1 )、壓力感測器（1 2 )、遮斷開放器（1 3 )、質量流控制器·（ 1 4 )及開閉閥（1 5 )做爲主體所構成。程序氣體B線（B )及程序氣體C線（C )爲同樣之構成，逆止閥（1 1 )、壓力調整器（1 6 )、壓力感測器（1 2 )、遮斷開放益（13)、質重流控制益（14)、開閉閥（15)及過爐本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------AWI ^--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂：經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（7 ) 器（1 7 )做爲主體所構成。驅迫氣體線（P )是由逆止閥（1 1 ) 、壓力調整器（1 6 )、壓力感測器（1 2 )、質量流計（1 8 )、開閉閥（1 5 )、質量流控制器（1 4 )、開閉閥（1 5 )及過濾器（1 7 ) 做爲主體所構成。各線（A ) ( B ) ( C ) ( P )如後述般，是由以螺絲固定在同樣大小之副基板（3)上的下段元件（3 1 )( 32 )( 3 3 )( 34 )，及以螺絲固定在這些下段元件（3 1 )( 3 2 )( 3 3 )( 34 )上之上段元件 (1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 ) ( 1 5 ) ( 1 6 ) ( 1 7 ) ( 1 8 ) ( 1 9 )所構成。上段元件（1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 ) ( 1 5 ) ( 1 6 ) ( 1 7 ) ( 1 8 ) ( 1 9 )可達成各線 (A ) ( B ) ( C ) ( P )上所要之功能，下段元件（3 1 ) ( 3 2 ) ( 3 3 ) ( 3 4 ) 具有使這些上段元件（1 1 ) ( 1 2 ) ( 13 ) ( 1 4 ) (15 ) ( 1 6 ) ( 1 7 ) (1 8 )( 1 9 )之通路被連接之功能。而且，程序氣體線 (A ) ( B ) ( C ) ( P )之各遮斷開放器（1 3 )之間由通路連接裝置 (50)而連接。第2圖所示，在程序氣體A線（A)中，上段元件配置有逆止閥（1 1 )、壓力感測器（1 2)、反V字型通路塊（1 9 )、遮斷開放器（13)、質量流控制器（14)及開閉閥（15)。各上段元件（1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 ) ( 1 5 ) ( 1 6 ) ( 1 7 ) ( 1 8 ) ( 1 9 )上設有向下開口之通路。下段元件從左方依順序配置有，連接到逆止閥（1 1 )且裝設有入口接管（3 1 )之L字狀通路塊接頭（32 ) 、使逆止閥（1 1 )與壓力感測器（12)連通之V字型通路塊接頭（3 3 )、使反V字型通路塊（1 9 )與遮斷開放器（1 3 )連通之 V字型通路塊接頭（3 3 )、使遮斷開放器（1 3 )與質量流控制本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------Hi-裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（s ) 器（1 4 )連通之V字型通路塊接頭（3 3 )、使質量流控制器 (1 4 )與開閉閥（1 5 )連通之V字型通路塊接頭（3 3 )、連接到開閉閥（1 5 )且裝設有出口接管（3 4 )之L字狀通路塊接頭 (32)。遮斷開放器（1 3 )是由配置有成鄰合之後側的二口閥（6 1 ) 及前側之三口閥（62 )所構成。二口閥（61)是由直方體狀之閥本體（63)，及從此處之上方安裝之作動器（64)所形成，閥本體（63)上設有，由第1 流體用流入通路（65)及與第1流體用流入通路（65)連通之作動器（64)所遮斷開放之第1流體用流出通路（66)，及位於兩通路（65 ) ( 66 )之下方的第2流體用流入通路（67)。三口閥（62)亦是由直方體狀之閥本體（68)，及從此處之上方安裝之作動器（69)所形成，閥本體（68)上設有，由第1流體用流入通路（70 )、第2流體用流入通路（7 1 )、及與第2 流體用流入通路（7 1 )連通之作動器（69 )所遮斷開放之第1 流體及第2流體的共通之流出通路（72 )。遮斷開放器（13)之放大顯示在第8圖，三口閥（62)的要部放大圖顯示在第9圖中。如第8圖所示，二口閥（61 )之閥本體（63)具有三口閥 (62)的閥本體（68)之前後長兩倍，作動器（64)被安裝在其前部。二口閥（6 1 )之第1流體用流入通路（6 5 )是由傾斜狀上流部（65a)及垂直狀下流部（65b)所形成略微V字狀。上流部（6 5 a )之上端在閥本體（6 3 )之後部上面形成有開□。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝 ^1 ϋ ϋ 一 -ον . ϋ ϋ ϋ ϋ meet I I 一經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（9 ) 下流部（6 5 b )之上端通到閥室（7 3 )。二口閥（6 1 )之第1流體用流出通路（66)略成L字狀，其一端在閥本體（63)之前面形成開口，另一端通到閥室（7 3 )。二口閥（6 1 )之第2流體用流入通路（67)略成L字狀，其一端在閥本體（63 )之後面形成開口，另一端在閥本體（6 3 )之前面形成開□。二口閥（61 )爲膜片閥，隨著作動器（64)之操作使閥桿（74)上下移動，而使膜片（7 5 )在閥室（7 3 )內亦上下移動，因而流出通路（6 6 )之開口可被遮斷開放。三口閥（62)之第1流體用流入通路（70)略成L字狀，其一端在閥本體（68 )之後面形成開口，與二口閥（6 1 )之第1 流體用流出通路（66 )相通的另一端通到閥室（76 )。三口閥 (62 )之第2流體用流入通路（7 1 )略成L字狀，其一端在第 1流體用流入通路（70 )之下方的閥本體（68 )之後面形成開口，另一端通到閥室（76)。三口閥（6 2)之流出通路（72)爲第1流體與第2流體共通者，其一端在閥本體（68 )之下面形成開□，另一端通到閥室（76 )。三口閥（62)爲膜片閥，如第9圖之放大所示，閥室（76) 底面具有環狀溝（76a)，此環狀溝（76a)之後部通到第1流體用流入通路（70)之上端開口，其前部通到流出通路（72) 之上端開口。因而，第1流體用流入通路（70 )及流出通路 (72)之間經由環狀溝（76a)而保持經常連通。然後，第2 流體用流入通路（7 1 )之上端開口的緣部上，設有環狀之閥座（77)。隨著作動器（69)之操作使閥桿（78)上下移動，而 -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2】0 X 297公釐） (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) ▼-裝--------訂-------Γ —^wr. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明（10 ) 使膜片（閥體）（79)在閥室（76)內亦上下移動，因而第2流體用流入通路（7 1 )可被遮斷或開放。第9 ( a )圖顯示閥桿 (78)在上升後之開狀態，第2流體用流入通路（71)及流出通路（72)之間經由閥室（76)而連通。第9(b)圖顯示閥桿 (78 )在下降後之閉狀態，此情況下，第丨流體用流入通路 (70)及流出通路（72)之間亦可連通。二口閥（61 )之閥本體（63)及三口閥（62)之閥本體（68)雖然在圖中省略，由右方鎖入之螺栓而結合在一起。二口閥（61)之第1流體用流出通路（66)與三口閥（62)之第1 流體用流入通路（70)之間的突合部，及二口閥（61 )之第2 流體用流入通路（67)與三口閥（62)之第2流體用流入通路（7 1 )之間的突合部上，各設有密封部。二口閥（61 )之閥本體（63)之後端部下面設有塊狀接頭 (3 3 )，它具有V字型通路（3 3 a )用來連接第2流體用流入通路（6 7 )之開口與程序氣體之導入線。三口閥（6 2)之閥本體（68)之下面，亦設有塊狀接頭（33)，它具有V字型通路（3 3 a )用來連接流出通路（72 )之開口與質量流控制器 (1 4 )之入口通路。然後，遮斷開放器（1 3 )跨騎在兩V字狀通路塊狀接頭（33 )，從上方以螺絲固定。具有V字型通路（3 3 a )之塊狀接頭（3 3 )被設在質量流控制器（1 4 )之出口側，跨騎在兩V字狀通路塊狀接頭（3 3 )上之質量流控制器（1 4 )，從上方以螺絲固定。各塊狀接頭（3 3 )在副基板（3 )上，從上方以螺絲固定。 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^--------^-------Γ >^vr (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 500891 A7 B7 五、發明說明（彳1 ) 依照此流體控制裝置，二口閥（6 1 )關閉，而三口閥（62 ) 爲開之時，程序氣體由三口閥（62 )導入，程序氣體由質量流控制器（1 4 )進行流量調整，而送入程序室中。此後 ’ —口閥（6 1 )打開’而二口閥（6 2 )爲關閉，使驅迫氣體由二口閥（6 1 )導入。驅迫氣體經由二口閥（6 1 )、三口閥 (62 )、質量流控制器（1 4 )流動。因此，而使流體控制裝置內的程序氣體被驅迫出來。第2流體（此實施例中爲程序氣體）流動之時，二口閥 (6 1 )之作動窃（6 4 )關閉，同時三口閥（6 2 )之作動器（6 9 ) 打開，使該第2流體用流入通路（7 1 )與流出通路（7 2 )連通，則第2流體從二口閥（61)之第2流體用流入通路（67) 導入。因而，第2流體經由，二口閥（61 )之第2流體用流入通路（67)、三口閥（62)之第2流體用流入通路（71) 與流出通路（72 )而被送到質量流控制器（1 4 )。其後，二口閥（61 )之作動器（64)打開，同時三口閥（62)之作動器 (69)關閉’而將弟2流體用流入通路（71)遮斷，使第1 流體（此實施例爲驅迫氣體）從二口閥（6 1 )之第1流體用流入通路（6 5 )導入。因而，第1流體經由，二口閥（6 1 ) 之第1流體用流入通路（6 5 )、同流出通路（6 6 )、三口閥 (62)之第1流體用流入通路（70)及同流出通路（72)而被送到質量流控制器（1 4 )。第1流體由自身之壓力將殘留在三口閥（62)之閥室（76)及流出通路（72)中之第2流體追出，而使其流向質量流控制器（1 4 )，使第1流體及第2 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]0 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -1 · I I---I I ^ · I I---I Γ I- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A7 B7 五、發明說明) 流體混合之狀態提早被解消，在短時間內，成爲僅第} 流體（驅迫氣體）流動之狀態。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 通路連接裝置（50)是由三個I字狀通路塊接頭（51)、及各I字狀通路塊接頭（51)連接用之管子（52)所形成。 I字狀通路塊接頭（5 1 )，如第1 0圖所示，是由具有向下開口之通路且橫剖面爲T形之本體（8 1 )，及與設在本體（8 1 )頂部之陽螺紋部鎖合的管連接部（82 )所形成。本體（81 )內之通路（83)中，內部壓力爲零時通路爲關閉，內部壓力在預定壓力以上時通路打開之閥體（84)配置有 ’向下壓縮之螺旋彈簧（85 )。本體（81 )之兩側上設有遮斷開放器（1 3 )之安裝用螺栓貫通孔（86 )。遮斷開放器（1 3 ) 之第1流體用流入通路（65)的向上開口，位於線的正上方。I字狀通路塊接頭（51)及連接管子（52)均使用同樣尺寸。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製第3圖是顯示本發明流體控制裝置之第2實施例，此流體控制裝置，是在第1圖所示之第1實施例中增設2 條線而得者。該圖中，與第1實施例有同樣功能之四條線的左方，附加程序D氣體線（D)及程序E氣體線（E)，再者，程序B氣體線（B )及程序C氣體線（C )亦加入若干變更。程序D氣體線（D )是以，逆止閥（1 1 )、壓力調整器（1 6 ) 、壓力感測器（1 2 )、遮斷開放器（1 3 )、質量流控制器（1 4 ) 及開閉閥（1 5 )做爲主體所構成。程序E氣體線（E )是以， -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 500891 A7 B7 五、發明說明（13 ) 遮斷開放器（1 3 )、質量流控制器（1 4 )及開閉閥（1 5 )做爲主體所構成。然後，程序B氣體線（B)之出口側及程序C 氣體線（C )之入口側及出口側上所設之反V字型通路塊接頭（20)被更換成後形狀者，再者，通路連接裝置（53)被變更爲由，五個I字狀通路塊接頭（5 1 )，及將這些I字狀通路塊接頭（51)連接用之管子（52)所構成。第4圖所示之程序B氣體線（B)中，上段元件配置有逆止閥（11)、壓力調整器（16)、壓力感測器（12)、反V字型通路塊接頭（20 )、遮斷開放器（1 3 )、質量流控制器（1 4 ) 、開閉閥（1 5 )、反V字型通路塊接頭（20 )及過濾器（1 7 ) 〇而且，下段元件從左方依序配置有連接到逆止閥（1 1 ) 且裝設有入口接管（3 1 )之L字狀通路塊接頭（32 )、使逆止閥（1 1 )與壓力調整器（1 6 )連通之V字型通路塊接頭（3 3 ) 、使壓力調整器（1 6 )與壓力感測器（1 2 )連通之V字型通路塊接頭（3 3 )、使壓力感測器（1 2 )與反V字型通路塊接頭（20)連通之V字型通路塊接頭（33)、使反V字型通路塊接頭（2 0 )與遮斷開放器（1 3 )連通之V字型通路塊接頭 (3 3 )、遮斷開放器（1 3 )與質量流控制器（1 4 )連通之V字型通路塊接頭（33 )、質量流控制器（1 4 )與開閉閥（1 5 )連通之V字型通路塊接頭（3 3 )、開閉閥（1 5 )與V字型通路塊接頭（2 0 )連通之V字型通路塊接頭（3 3 )、反V字型通路塊接頭（20 )與過濾器（1 7 )連通之V字型通路塊接頭（3 3 ) -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^-------------Γ — Awl . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 500891 A7 --— _B7___ 五、發明說明（14 ) 、連接到過濾器（1 7 )且裝設有出口接管（3 4 )之L字狀通路塊接頭（3 2 )。

反V字型通路塊接頭（20 )具有，如第1 1圖所示，反V 字型通路（20a)之頂部上形成向上開口之向上通路（20b) 〇如第5圖所示之程序D氣體線（D)中，出口接管（36)爲形成向上開口者，它被安裝在連接到開閉閥（1 5 )之V字型通路塊接頭（35)的上面。而且，第6圖所示之程序E 氣體線（E )之中，在入口及出口兩側上，配置有與第5圖所示之程序D氣體線（D )中同樣構成之接頭（3 5 ) ( 3 6 )。程序D氣體線（D)之出口接管（36)與程序B氣體線（B) 中之反V字型通路塊接頭（20 )連接。程序E氣體線（E )中之出口接管（36)與程序C氣體線（C)中出口側之反V字型通路塊接頭（20 )連接。而且，程序E氣體線（E )中之入口接管（3 6 )與程序C氣體線（C )中入口側之反V字型通路塊接頭（20)連接。從第1圖所示之第1實施例而得的第3圖所示之第2 實施例中，首先，連接各遮斷開放器（1 3 )之通路連接裝置（50)被取下，程序D氣體線（D)及程序E氣體線（E)被安裝在主基板（2 )之每一個副基板（3 )上。再者’程序B 氣體線（B)及程序C氣體線（C)之反V字型通路塊接頭（20) 被更換。最後，五個I字狀通路塊接頭（5 1 )及連接管（5 2 ) 所形成的通路連接裝置（5 3 )被裝設’同時由管子進行所 -1 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Aw --------^ . I----I L- — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 500891 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（15 ) 要之連接。在此，新的通路連接裝置（53 )與原來之通路連接裝置（50)比較，僅I字狀通路塊接頭（51)及連接管 (52)之數量不同，在製造上及安裝上均簡單。第7圖是顯示本發明流體控制裝置之第3實施例。它是在第1圖所示之第1實施例中增設2條線而得者，具有與第2實施例者同樣之功能。此實施例中，第1實施例中增設2條線之時，如第2實施例一般，不是僅在其左方增設2條線而已，考慮到增設後使用之方便性，在程序A氣體線（A )與程序B氣體線（B )之間追加程序D氣體線（D )，在程序B氣體線（B )及程序C、氣體線（C )之間追加程序E氣體線（E)。然後，在第2實施例中，程序E氣體線（E )及程序C氣體線（C )上所設之反V字型通路塊接頭（2 0 )被卸除，在此兩條線（E ) ( C )上設有共通之多歧管塊狀接頭（53)。多歧管塊狀接頭（54)，如第12圖所示，其剖面爲反V 字狀之各通路（54a)(參照同圖（a))之頂部，由左右延伸之通路（54b)而連接，其右端部上，設有陰螺紋部（55)。從第1圖所示之第1實施例而得的第7圖所示之第3 實施例中，首先，連接各遮斷開放器（1 3 )之通路連接裝置（50 )被取下。再者，程序A氣體線（A )及程序B氣體線 (B )從主基板（2 )之每一個副基板（3 )上被取下之後，程序 A氣體線（A)、程序B氣體線（B)、程序D氣體線（D)、程序E氣體線（E )被安裝在主基板（2 )之每一個副基板（3 )上 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） AW ^--------^-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 500891 A7 _____ B7 _ 五、發明說明（16 ) 。再者，程序E氣體線（E )及程序C氣體線（C )之反V字型通路塊接頭（20)被更換。最後，五個I字狀通路塊接頭（51 )及連接管（52)所形成的通路連接裝置（53)被裝設即可，不必進行由管子所執行之連接。依照第3實施例，隨著程序氣體線位置之變更，由多歧管塊狀接頭（54)之使用，由管子進行的連接僅用在各遮斷開放器之間的連接。因爲焊接處很少，^^變很容易，而且配管簡單，因而具有維修容易之優|占。元件符號之說明裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α〜Ε 程序氣體線 P 驅迫氣體線（P ) 1 流體控制裝置 2 主基板 3 副基板 11 逆止閥 12 壓力感測器 13 遮斷開放器 14 質量流控制器 15 開閉閥 16 壓力調整器 17 過濾器 18 質量流計 19 反V字型通路塊 11-19 上段元件 -18- _本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公ϋ 訂： 500891 A7 B7 五、發明說明（17 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 20 反V字型通路塊接頭 31 入口接管 32 L字狀通路塊接頭 33， 35 V字型通路塊接頭 50 通路連接裝置 51 I字狀通路塊接頭 54a ，54b 通路 55 陰螺紋部 61 二口閥 62 三口閥 63 閥本體 64 作動器 31〜 34 下段元件 34, 36 出口接管 53， 54 多歧管塊狀接頭 65 第1流體用流入通路 6 5a 上流咅 65b 下流部 66 第1流體用流出通路 67 第2流體用流入通路 68 本體 69 作動器 70 第1流體用流入通路 -19- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · I I I I I I I 訂111111· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 500891 A7 B7 、發明說明（1S 丨） 71 第2流體用流入 72 共通之流出通路 73 閥室 74 閥桿 75 膜片 76 閥室 76a 環狀溝 77 閥座 78 閥桿 79 膜片 81 本體 82 管連接部 83 I字狀通路 83 通路 84 閥體 -----------裝--------訂-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500891 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 . 一種流體控制裝置，其中多數個下段元件（3 1 ) (32)(33)(34)及多個上段元件（11)(12)(13)(14) (1 5 ) ( 1 6 ) ( 1 7 ) ( 1 8 ) ( 1 9 )成直列狀連接而形成的線 (A)(B)(C)(D)(E)(P)成並聯狀配置，相鄰而配合之線 (A ) ( B ) ( C ) ( D ) ( E ) ( P )之元件的通路間，在預定處所由通路連接裝置（50)(53)(54)而連接，其特徵爲： (A ) ( B ) ( C ) ( D ) ( E ) ( P )之中一條線之下段元件（3 1 ) ( 32 )( 3 3 )( 34 )各以螺絲固定在一片副基板（3)之上，這些下段元件（3 1 ) ( 3 2 ) ( 3 3 ) ( 3 4 )之上以螺絲固定有上段元件（11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)(18)(19)，各副基板（3 )被安裝在一片主基板（2 )上，使通路連接裝置 ( 50 )( 5 3 )( 54 )可在上方被卸下。 2 ·如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中多個上段元件（1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 ) ( 1 5 ) ( 1 6 ) ( 1 7 ) ( 1 8 ) ( 1 9 )中之一個，是由二口閥（61 )及三口閥（62)成相鄰合之配置，而形成的遮斷開放器（1 3 )。 3 .如申請專利範圍第2項之流體控制裝置，其中二口閥 (6 1 )是由具有第1流體用流入通路（6 5 )及第1流體用流出通路（66)之本體（63)，及使兩通路（65，66)之間的連通被遮斷或開放用的作動器（6 4 )所形成，三口閥 ( (62)是由具有第1流體用流入通路（7〇)、第2流體用流入通路（7 1 )及第1流體與第2流體共通之流出通路 (7 2 )的本體（6 8 )，及使第2流體用流出通路（7 1 )及流 -21 - -----------裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4頻L格（210 X 297公釐） " 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 500891 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍出通路（72)的連通被遮斷或開放用之作動器（69)所形成，三口閥（62)之第1流體用流入通路（70)及流出通路 (72)經由閥室（76)而永久連通，三口閥（62)之第1及第2流體用流入通路（70) (71)之突合面上，同流出通路（72)各在下面形成開口，二口閥（61 )之第1流體用流出通路（66)與三口閥（62)之第1流體用流入通路（70) 連通，再者，二口閥（61)之閥本體（63)上形成有，與三口閥（62)之第2流體用流入通路（71)連通而且在下面形成開口之第2流體用流入通路（67 )。 4 .如申請專利範圍第3項之流體控制裝置，其中二口閥 (61 )之第1流體用流入通路（65)是由，在閥本體（63) 上面形成開口並且對閥本體（6 3 )上面向下傾斜之延伸上流部（65a)，連接上流部（65a)而向上地延伸到二口閥（61 )之閥室（73)之下流部（65b)所形成，相鄰而配合之線（A) (B) (C) (D) (E) (P)之各第1流體用流入通路（65) 是由通路連接裝置（ 50 ) ( 5 3 )( 54 )連接。 5 .如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中在主基板（2 )上設有增設用之空間。 6 .如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中通路連接裝置（50) (53)具有塊狀接頭（51 )，它具有從上方以螺絲固定之I字狀通路（83)。 7 .如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中通路連 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝--------訂-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 500891 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製六、申請專利範圍接裝置（54 )是由從上方以螺絲固定之從上方以螺絲固定且形成有橫向開口之多孔塊狀接頭所形成。 2 -----------裂--------訂--------(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）