TW495897B - Method and apparatus for testing signal paths between an integrated circuit wafer and a wafer tester - Google Patents

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495897 A7 B7 經濟部智慈財產局資工消費合作社印^ 五、發明説明（1 ) 技術領域 一般言之，本發明與晶圓級的積體電路測試器有關， 特別是與確認經由一結構將I C測試器連接到被測I C晶 圓之訊號路徑的方法有關。 發明背景 很多積體電路測試器是在I C仍爲半導體晶圓上之晶 模時對I C進行測試。典型的晶圓測試器包括一底盤，稱 爲”測試頭”，其內包含印刷電路板，板上爲測試晶圓的 電路。測試電路通常組織成一組，類似”通道”，每一個 通道中包括用來產生輸入晶圓上某測試點的測試信號，以 及監視該測試點所產生之任何晶圓輸出信號所需的所有電 .路。每一個通道通常具有一個雙向的輸入/輸出_( I /〇 )埠，經由它與晶圓測試點連通，雖然某些通道是使用兩 個單向埠。 互連結構位於測試頭與晶圓之間，提供通道之I /〇 埠與晶圓上測試點間的訊號路徑\互連結構使測試頭I / 〇埠與晶圓測試點接觸的方式很多。例如，測試頭位於互 連結構的上方，通道的I /〇埠經由一組從測試頭向下延 伸的彈簧接腳連接器通到互連結構上表面·的接觸墊。依次 ，互連結構經由一組小探針通到I C晶模上的測試點。探 針可附接在互連結構的下表面，當晶圓移動到互連結構下 方的位置時，即可接觸到晶圓上表面上的接觸墊。或者’ 探針可以是成形在晶圓本身表面上的簧接點’以簧接點的 張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0'乂 297公釐) ' -4 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 495897 A7 B7 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印^ 五、發明説明（2 ) 尖端連通互連結構下表面上的接觸墊。 由於測試頭較大，測試器通道之I / 0埠分布的水平 面積，遠寬於它們必須連通之較小I C晶模上的測試點。 因此，互連結構無論如何實施/它都必須提供大量在水平 及垂直方向延伸的訊號路徑，以便將通道的I /〇埠連接 到晶圓上的測試點。因此，互連結構通常是一較複雜的結 構，包括一個以上互連的信號路由層。通過互連結構的訊 號路徑中也包括一些組件，例如小的電阻器與電容器。 在測試晶圓之前，吾人先要確認互連結構可以提供測 試頭與晶圓間所需的訊號路徑。可能由於彈簧接腳或探針 與它們所要接觸的接觸點未對齊，接腳、探針、接墊斷裂 、缺少或被污染，互連結構內部各層中之接觸結構間未對 齊，互連結構內或測試頭內之導體間發生開路或短路等毛 病，或者，通過互連結搆之訊號路徑中的各個組件有瑕疵 或遺失等問題而導致連接失敗。在很多應用中/吾人要確 認每一個測試頭I / 0埠與晶圓上對應之測試點間之訊號 路徑的電阻在可接受的極限內。‘設計用來提供訊號路徑的 接觸器總成通常有某特定的電阻，但由於接觸墊或探針尖 端或彈簧接腳的腐蝕或污染，會使此電阻偏離所要的値， 致使測試結杲失真。 在製造互連結構期間，通常要測試其內訊號路徑的短 路、連續性及電阻，使用習用的電阻及連續性測試設備經 由小探針接觸訊號路徑的相對端。不過，當互連結構在積 體電路測試器中使用時，探針總成內的訊號路徑也可能於 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -5- 495897 kl B7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（3 ) 使用期間稍後故障，周期性地將探針總成從測試器上取下 並以人工方式測試訊號路徑的連續性及電阻，不但困難且 十分不便。訊號路徑開路或短路的故障通常可以被偵測到 ，或至少可被懷疑，因爲它們通常會導.致I C測試失敗的 特性樣式。不過，當訊號路徑的電阻偏移到可接受的範圍 以外，晶圓測試的失敗可能不會呈現出明確的樣式，當測 試失敗時，如杲失敗的來源是互連結構，晶模可能會被不 當地剔退。 因此.，吾人需要一種方便的方法以便能快速地測試通 過互連結構之訊號路徑的短路、連續性及電阻，且不需要 將其從工作環境中移出。 發明槪述 典型上，互連結構在積體電路測試器的輸入/輸出（ I /〇）埠與被測試之I C晶圓的測試點間提供多條訊號 路徑。按照本發明的一態樣，互連結構將I C測試器之I /〇埠連接到晶圓之測試點的能>，首先使用互連結構將 這些I / 0埠連接到其上有相似配置之測試點的參考晶圓 加以確認。 參考晶圓上包括將一群測試點鏈結在一起的導體，參 考晶圓的尺寸與形狀與被測晶圓相同。當測試器在其中一 個I / 0埠上產生測試信號時，信號行進通過互連系統到 達參考晶圓上的測試點。接著，晶圓內的導體將測試信號 傳送到其它的測試點。接著’測試信號從參考點通過互連 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁 •-------^

C 丁 、一 vl° I# -6 - 495897 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 結構回到I C測試器的另一個I /〇埠。因此，經由規劃 測試器從I· / 0埠傳送一測試信號給參考晶圓，並尋找它 經由其它I / 〇埠返回時的信號，即可測試從任何測試器 I / 〇埠到參考晶圓上測試點之訊號路徑的連續性。 經由在被訊號路徑及參考晶圓鏈結之I /〇埠間傳送 已知電流的信號，並量測兩I /〇埠間的電壓降，即可量 測通過互連結構之訊號路徑的電阻。或者，測試器可以將 一已知的電壓跨接於兩被鏈結的1/ 0埠，並量測通過於 其間的電流。接著，這兩種情況都可從測試信號的電壓及 電流計算兩埠間系統訊號路徑的電阻。當重複此程序量測 I / 0璋間各種組合之電阻時，即可從這些結杲計算出每 一個測試器I /〇埠與被其連接之晶圓測試點間的路徑電 阻。· 經由移開參考晶圓，規劃一個測試器通道對所選擇的 訊號路徑施加測試信號，並規劃其它的測試器通道尋找其 它訊號路徑上是否出現該信號，藉以測試所選訊號路徑與 通過互連結構之任何其它訊號路#間是否短路+。\ 因此，本發明的目的是提供一種裝置，用以確認互連 結構有能力提供I C,測試器之埠與被測晶圓之測試點間連 續的訊號路徑。 本發明的另一目的是提供一種裝置，用以量測通過互 連結構鏈結I C測試器之埠與被測晶圓之測試點間訊號路 徑的電阻。 本說明書的結論部分特別指出及凸顯本發明主題的主 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 Ί ‘ 訂 丨 I - - i 1 1- -I -» I -111 n I -In— n- li 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 495897 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 _ B7 _五、發明説明（5 ) 張。不過，經由閱讀說明書的其餘部分並配合附圖，熟悉 此方面技術之人士即可徹底瞭解本發明的構造及操作方法 ，以及本發明進一步的優點與目的，圖中相同的參考符號 代表相同的元件。 圖式簡單說明 圖1是積體電路（I C )測試器之測試頭的部分正視 簡圖，使周按照本發明的測試器通道，經由習用的互連結 構連通被測晶圓；. \圖2是典型晶圓之部分的平面簡圖； 圖3是圖1之測試頭所使周之習知技術測試器通道的 簡單方塊圖，經由圖1的互連結構連通I C晶圓的接墊； 圖4'是按照本發明之互連結構之下表面的部分平面簡 圖； 圖5是按照本發明之參考晶圓的平面簡圖； 圖6是構成按照本發明之一對測試器通道的簡單方塊 圖； ‘ 圖7說明量測路徑電阻時，信號被路由通過一組路徑 ;以及 ， 圖8是按照本發明之參考晶圓另一實施例的槪圖； 主要元件對照表 10 測試頭 1 4 互連結構 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 495897 Μ Β7 五、發明説明（6 ) 經濟部智惡財產局員工消費合作社印製 1 2 被測晶圓 2 〇 晶粒 2 1 測試點 1 6 彈簧銷連接器 1 8 探針 2 2 測試器通道 2 4 驅動器 2 8 比較器 2 6 可規劃的控制電路 9 輸入/輸出瑋 3 〇 參數測試電路 3 2 繼電器' 3 6 ’探針 4 2 電阻器 3 8 參考晶圓 4 1 測試點 4 8 導體 5 〇 訊號路徑 5 2 彈簧接腳接墊 5 4 測試點 5 5 導體. 5 6 測試點 5 8 彈簧接腳接墊 6 〇 測試點 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,0 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -9 - A7 B7 五、發明説明（7) 6 8 參考晶圓 7 1 7 0 7 2 7 4 7 6 7 8 測試點v 通電晶體 測試點 驅動器 振盪器 驅動器 經濟部智慧財產局員工消贫合作社印製 曼詳細說明 .本發明與量測通過任何一種在晶圓級積體電路（.I c )測試器之輸入/輸出（I /〇）瑋與被測I C晶圓測醫式 點間傳送信號之互連結構之測試訊號路徑之阻抗的方法與 裝置有關.。由於要徹底瞭解本發明的本質先要瞭解丨c _ 試器的架構，因此以下簡單描述典型I c測試器架彳霉自勺面 點。 積體電路測試器 ' 圖1是I c測試器之測試頭1 0經ώm 〜㈡€甩的互連結構 1 4連通被測晶圓1 2的部分正視簡^ ； 圖2是部分晶圓 1 2的簡單平面圖，圖3是代表可安裝 还圖1之涧試Hi 1 0內之測試器電路的簡單方塊圖。^ 七、 見兩參閱圖丄一 3 ， 測試頭1 0容納一組電路板，所實施的_ d μ B ^ 〇 Q笔路用以執行晶圓 1 2上日日模2 0形式之I C的數位及_ &、 _ ^測試。在 每一個晶模2 0包括數個測試點2 本例中 ’提供信號輸入 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝--- 、17 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X297公釐） 495897 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

A7 _ B7五.、發明説明（8 ) 輸出（I /〇）以連通晶模上所實施的電路。爲簡化圖2 ，圖示說明的每一個晶模2 0僅只有4個測試點2 1 ，但 典型上，I C晶模有極大量的測試點。測試頭χ 〇的I / 〇璋9連通互連結構1 4上衣面上的接塾，例如，經由一 組彈簧銷連接器1 6 ° 互連結構1 4經由一組探針1 8連通晶圓1 2上的測 試點2 1 ，並提供測試點2 1與探針1 8間的訊號路徑。 測試點2 1例如可以是晶圓12.表面上的導電接墊，在此 情況，探針1 8附接於互連結構1 4的下表面且具有一尖 端，用以接觸晶圓1 2表面上做爲測試點2 1的接墊。或 者’探針1 8可做爲簧接點’附接於晶圓1 2本身的表面 上，在此情況，探針尖端本身變成”測試點”，被互連結 構1 4下表面上的接墊接觸。 測試頭1 0內容納數片電路板實施一·組測試器通道： 2 2 ，用以連通晶圓1 2的測試點2 1 。每一個通道2 2 包括一個3態驅動器2 4，用以傳送數位測試信號給對應 的測試點2 1 ，以及一個比較器1 8 ，用以接收在該接觸 墊所產生的I C輸出信號。在數位測試期間，每一個通道 2 2內的可規劃控制、電路2 6供應信號（TRISTATE及 D RIV E )給驅動器2 4，以設定傳送給測試點2 1之測試 信號的狀態（高、低或3態（mstate ))。控制電路2 6 也供應一參考電壓（R E F )給比較器2 8的輸入。比較 器2 8產生一輸出信號（S T A T E )供應給測試控制器 2 6 ，以報知I C輸出之信號的電壓是高於或低於R E F (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -11 - 495897 A7 ____ B7 _ 五、發明説明（9 ) 信號/藉以指示I C所輸出信號的邏輯狀態。 每一個通道2 2也包括一參數測試電路3 0用以執行 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 C測試點的類比測試，例如漏電測試。一對由控制資料 (Μ 0 D E )控制的繼電器3 2在數位測試期間將驅動器 2 4及比較器2 8連接到通道的I /〇埠9 ，或在參數測 試期間將參數測試電路3 0連接到I / 0埠9。在某些測 試架構中，可能數個通道共甩一個參數測試電路。 測試互連的設備 由於彈簧接腳1 6分布的水平面積遠大於探針1 8， 因此，互連結構1 4必須提供水平及垂直方向延伸的訊號 路徑，以互連彈簧接腳1 6與探針1 8。互連結構1 4也 會在這些訊號路徑中加入一些組件，如分立的電阻器或電 容器。因此，互連結構1 4較爲複雜，具有一個以上的互 連層及組件。在測試晶圓1 2之前，吾人希望能很快速地 確認互連結構1 4能提供測試頭之I /〇埠9與晶圓1 2 上所要連通之測試點2 1間適當竃‘阻的訊號路徑。 經濟部智惡財產局員工消費合作社印災 按照本發明，爲測試通過互連結構1 4的訊號路徑， 吾人首先提供一尺寸與形狀與被測晶圓相似的參考晶圓， 參考晶圓表面上所提供之測試點的樣式模仿晶圓1 2表面 上測試點的樣式。因此，當參考晶圓置於互連結構1 4下 方時，假設探針已正確地對齊，每一個探針1 8將接觸到 參考晶圓上對應的測試點。在某些情況，如下文中的討論 ，參考晶圓的表面上也包括額外的測試點_ ( ''參考點〃） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格{ 2】0Χ297公釐） -12 - 495897 A7 B7 經濟部智慧財產局S工涓費合作社印製 五、發明説明（10) 。參考晶圓內所實施的導體將參考晶圓的測試點及所提供 的任何參考點相互.鏈結在一起。當有需要時，互連結構 1 4也可加以修改，以增加額外的探針1 8與訊號路徑， 以將參考晶圓上的每一個參考點鏈結到測試頭1 0內備用 的測試器通道。 爲測試第一測試器通道與參考晶圓表面上測試點間之 訊號路徑的連續性，規劃第一測試器通道在它的I /〇埠 送出一測試信號，例如一個方波信號。接著，該測試信號 經由互連結構1 4中的路徑行進到測試點。參考晶圓內的 導體接著將測試信號向前傳遞到晶圓上其它測試點或參考 點其中之一。接著，測試信號經由互連結構1 4行進回到 第二測試器通道的I / 0埠，該通道被規劃成偵測該信號 是否在它的I / 0埠出現。因此，吾人可以經由決定第二 測試器通道是否偵測到返回的信號以決定互連結構1 4是 否在第一測試器通道與它對應的測試點間提供一條訊號路 徑。如以下的詳細討論，測試器內的參數測試電路也可用 來量測測試器與參考晶圓間各訊號潞徑的電阻。 圖4是互連結構1 4部分下表面的簡單平面圖，包括 周以接觸參考晶圓上測試點的探針1 8 (以小圓圈表示） 。按照本發明，互連結構1 4經過修改，也包括一組探針 3 6 (在圖4中以小方塊表示），用以接觸參考晶圓上額 外的參考點。一組訊號路徑（T P、I / ◦及B )通過互 連結構1 4將探針1 8與3 6鍵結到互連結構1 4上表面 上的接觸墊（彈簧接腳墊）3 9 ，被測試器通道經由彈簧 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,0 裝 丁__- 、-口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -13 - 495897 A7 B7 五.、發明説明（n ) 接腳存取。每一個測試器通道與每一個探針1 8間之訊號 路徑的電阻，在圖4中以電阻器4 2表示。每一條I /〇 路徑在一個測試器通道1 /〇埠與連通晶圓上正常測試點 之對應的探針1 8間傳送一個信號。因此，一個測試器通 道連通一條I /〇線只連通被測晶圓上的一個測試點。每 一條附加的路徑（T P )將備用的測試器通道鐽結到其中 一個探針3 6，用以連通參考晶圓上的參考點互連結構 1 4也提供·一、、匯流排路徑〃 （.b U S )，將一個測試器 通道鏈結到數個探針1 8 ，因此，測試器通道可以經由一 條匯流排路徑同時連通晶圓上的數個測試點。在圖4中有 兩條此款B U S路徑。 圖5是參考晶圓3 8的簡單平面圖，包括一組被圖4 之探針Γ 8接觸的測試點4 1 ，測試點4 1的配置模仿被 測晶圓1 2 (圖2 )之表面上測試點2 1的分布。參考晶 圓3 8也包括一組額外的參考點4 6 ，供圖4的探針3 6 連通。在參考晶圓3 8內實施一組導體4 8 ，用以鏈結參 考及測試點。訊號路徑（ί /〇T P及B U S )通過互 連結構1 4到達互連結構1 4之表面上的接觸墊3 9 ，在 圖5中以點線顯示。雖然每一條導體4 8可以鏈結大量的 測試點4 1到一指定的參考點4 6 ，但導體4 8也可安排 成將共用B U .S路徑連通的測試點4 1鏈結到各個參％點 連續性測試 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210 X 297公楚） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝--- 訂 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 -14 - 495897 A7 _______ B7 五、發明説明（12) 現請參閱圖1及5 ，吾人希望測試鏈結某特定彈簧接 腳接墊（接墊5 2 )與某特定晶圓測試點4 1 (測試點 5 4 )間之特定I /〇訊號路徑5 〇的連續性。須注意， 其中一個導體4 8 (導體5 5 )鍵結測試點5 4與其中一 個參考點4 6 (參考點5 6 )，且參考點5 6還鏈結到另 一個彈簧接腳接墊5 8。爲測試鏈結到彈簧接腳接墊5 2 之測試器通道與測試點5 4間之路徑的連續性，吾人規劃 I C測試器三態所有鏈結到導體4 8的驅動器2 4，除了 鏈結到彈簧接腳接墊5 2的特定驅動器2 4。該驅動器被 規劃產生一方波測試信號，它在高與低邏輯位準間切換。 如杲接墊5 2.與接墊5 4間的路徑連續，則測試信號將出 現在接墊5 4。導體5 5將傳送測試信號給參考點5 6 ， fe者將該測試信號向前傳送到與彈簧接腳接墊5 8連通的 備用測試器通道。該備用測試器通道被規劃成尋找按照預 期方式在高與低邏輯間切換的進入方波測試信號。由於使 用多測試器通道可i以同時連通數個參考點4 6，因此，測 試器可以同時按此方法測試數個孰號路徑。不過，如果訊 號路徑連接到同一個參考點4 6 ，就必須順序地測試。 當測試器與參考點4 6間的T P訊號路徑有瑕疵時， 連續性測試就會發生錯誤，甩以指示測試器與測試點4 1 間的I /〇訊號路徑有瑕疵。不過，此種連續性失敗的來 源非常明顯，因爲T P訊號路徑的瑕疵將導致所有與同一 條有瑕疵之T P訊號路徑鏈結的I /〇及B U S訊號路徑 都出現瑕疵。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--- 蠢—— 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印焚 -15- 495897 A7 ______ B7 五、發明説明（13 )

當有一條以上的B U S路徑時，較佳的做法是提供單 獨分開的導體4 8及參考點4 6給經由B U S路徑連通的 每一個測試點4 1 ，以使所有的B U S路徑都能相互間隔 開。此允許以測試I /〇路徑之連續性相同的方法同時測 試B U S路徑的連續性。不過，當有很多b u S路徑時， 提供單獨分開的導體4 8及參考點4 6給經由B U S路徑 連通的每一個測試點4 1並不切實際。當此情況，被單獨 之B U S路徑所連通的測試點4. 1可以鏈結到相同的導體 4 8 °不過’當吾人要如此做時，吾人必須規劃測試器通 道’將除了要測試連續性之某特定B U S路徑所連通之導 體4 8以外的所有導體4 8都接地，以便將B U S路徑相 互隔離。吾人規劃測試器通道連通所要測試的特定B U S 路徑’將測試信號置於該B U S路徑，並規劃備用的測試 器通道經由參考點4 6連通未被接地的導體4 8以尋找返 回的測試信號。由於其它的導體4 8都被接地，因此，除 了通過被測試連續性的路徑外，測試信號無法找到.一條路 徑到達未被接地的導體。.因此，奮使用此方法測試B u S {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁〕 0, 裝

'IT 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 行 進 地 時 同 J1L· 7TV 而 地 序 順 須 必 3J f 它 時 性 續 連 的 徑 路 試 測 抗 阻 訊之內 條徑 4 1 路 1 每成構 之構結 4 括連 -^^包互 構阻於 結電插 連徑括 互路包 過該能 通。可 試 } 也 測 4 ，。 來圖過器 用""不阻 可 2 ’電 也 4 阻的 圓阻電中 晶電有徑 考的固路 參徑的號 路體訊 號導之 本纸張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（2】〇χ 297公釐） _ 16 - 495897 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（14) 圖6說明一組與圖3之習知技術測試器通道2 2相同 的3個測試器通追2 2 A — 2 2 C。互連結構1 4經由路 徑5 Ο B及5 0 C將通道2 2 B及2 2 C與測試點5 4及 6〇fef結’以及經由路徑5 Ο A將通道2 2 A與參考點 5 6鏈結。參考晶圓3 8內的導體5 5將所有3個接墊 5 4、5.6及6 0相互連接在一起。 爲量測路徑5 Ο B的電阻R b，通道2 2 a中的繼電器 3 2 A被設定成將驅動器2 4 A.連接到I /〇埠9 A，且 輸入到通道2 2 A之驅.動器2 4 A的D R I V E信號被設 定成驅動它的輸出爲低，以有效地將I /〇埠9 A的輸出 接地。通道2. 2 B的繼電器3 2 B被設定成將通道的參數 測試電路3 Ο B連接到I / .0璋9 B。接著，參數測試電 路3 0 B·在埠9 B產生一已知電壓的D C信號，並量測通 過埠9 B的電流。或者，參數測試電路3 0 B可以送出一 已知大小的電流通過埠9 B，並量測埠9 B上所得到的電 壓。在此兩種情況中，當驅動器2 4 A的輸出被 D R I V E信號拉下時，假設它‘到接地的電阻可忽略不計 ，信號電壓除以信號電流實質上等於埠9 B與接地間的總 訊號路徑電阻R A + R B。當不忽略驅動器2 4 A到接地的 電阻且它爲已知時，可將其從計算所得的路徑電阻R A + R b中減去。另者，在量測期間，繼電器3 2 A也可提供端 點9 A的直接接地，藉以旁通驅動器2 4 A的電阻。當路 徑5 0 B中包括一內嵌的電阻器R b時，它遠大於回程路徑 5〇A的固有電阻R .a，所計算的路徑電阻R a + R B就非 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -----

、1T —Λ 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2：!0Χ29*7公釐） -17 - 495897 五、發明説明（π) 吊接近電阻器R B的電阻，即可取它的値。 另一方面’當路徑5 〇 A的電阻R A無法忽略時，吾人 、 額外的程序以決定電阻器R b的大小。假設如圖7 所示 α人使用3次上述的電阻量測程序以量測信號路徑 2 〇 Α與5 〇 c的總電阻R丄，路徑5 .〇 β與5 〇 c的總 電阻R 2 ，.以及路徑5 0 Α與5 0 Β的總電阻R 3。吾人 現在有3個方程式與3個未知數（R a、R B及R c : R A T R C =： R 1 Rb + Rc = j^2 Ra + Rb=：^3 解R A、R b及r c得到：Ra= ( + R1- R2+, R3)/2 R B，（〜R 1 + R 2 + R 3 ) / 2

R + R1+R2 — R3) / 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} —0 裝---- 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 因此，只要參考晶圓3 8將所有的測試或參考點鍵浐 成至少3個一組，吾人可以使用上述的程序並計算，即口 決定鏈結測試器通道之ί / 〇埠枭參考晶圓上測試或哀L 點之每一條路徑的電阻。 。 須注意，如果參考晶圓3 8內的導髀4 2將锌 ， _ _ 1 时母〜個測 s式點4 1連接到其它的測試點4 1 ，爲測試互連結禱之^ 號路徑的連續性及電阻，並不需要在參考晶圓.3 8上_赴 參考點3 6 。在此情況，一個測試點4 1可做爲$ = 〃 •/、J碑其 它測試點之訊號路徑之路徑連續性或電阻時的參考g占。 如果沒有其它的B U S路徑鏈結到同一導體4 8上 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） '1T. -18 - 495897 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消t合作社印製 五、發明説明（16) 測試器通道與連接到導體4 8之任何測試點4 1間之 B U S路徑的阻抗即可按上述方法測試。 具有主動電路的參考晶圓 圖8說明參考晶圓6 8另一實施例的部分槪圖，它也 具有測試點4 1，配置的方式與.要被互連結構連通之 D U T上之測試點的配置相似。測試點4 1在參考晶圓 6 8內被導體4 8鏈結。爹考晶圓6 8包括經由一低阻抗 路徑連接到外部接地電位的測試點7 1 ，以及一組通電晶 體7 〇 ，每一個都連接於其中一條導體4 8與接地（經由 測試點7 1 )之間。備用測試器通道經由互連結構連通的 另一個測試點7 2連接到一組驅動器7 4每一個的輸入， 驅動器7_ 4用以控制通電晶體7 〇的閘極。 晶圓6 8也包括一振盪器7 6，供應一測試信號（ T E S T )做爲一組三態驅動器7 8的輸入，它的輸出連 接到導體4 8。一反相器8 0將測試點7 2耦合到驅動器 7 8的三態控制輸入。當備用通1道在測試點7 2宣告一控 制信號時，驅動器7 4將電晶體7 0導通，且驅動器7 8 被三態。當備用通道去宣告測試點7 2的控制信號時，驅 動器7 4將電晶體7 0關斷’並三態驅動器7 8將振盪器 7 6輸出的T E S T信號緩衝到導體4 8。 爲測試通過互連結構將測試點4 1鏈結到I C測試器 通道之訊號路徑的連續性’備用測試器通道致使驅動器 7 4關斷通電晶體7 0 ，以使其無法將導體4 8接地。備 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】〇X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-19 - 495897 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五.、發明説明（17 ) 用測試器通道也導通驅動器7 8，因此，它們將振盪的 丁 E s T信號緩衝到導體4 .8 。T E S 丁信號經由測試點 4 1及互·連結構的訊號路徑回到測試器通道。每一個測試 器通道被規劃成監視它自己的Γ / 〇埠以決定是否接收到 T E S T信號，藉以確認通過互連結構之訊號路徑的連續 性。 爲量測通過互連結構之各訊號路徑的電阻’備用測試 器通道三態驅動器7 8 ，並發信給驅動器7 4以導通通電 晶體7 0 .，因此，它們使導體4 8接地。接著，測試器通 道中的參數測試單元可以直接量測每一個通道之輸出埠與 接地間的總路徑電阻。當有需要時，可以從每一次的電阻 量測中減去每一個通電晶體7 0的估計電阻以及從點7 1 到接地的電阻，以提供通過互連結構之每一條訊號路徑的 估計電阻。 當只測試通過互連結構之訊號路徑的連續性且不量測 路徑電阻時，可以省去參考晶圓3 8中的驅動器7 4與通 電晶體7 0。晶圓3 8中的測試‘點7 2與反相器8 0也可 取消，因爲驅動器7 8不需要是三態驅動器。 當只需要量測訊號路徑的電阻且不需要測試連續性時 ’導體4 8可以永久接地。在此情況，晶·圓3 8中的測試 點7 2、驅里力器7 4與7 8、振盪器7 6及反相器8〇都 可省略。 短路測試 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210x297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1"- -- 1 - 1----1 —1— - j I 1--- 裝· 訂 -20 - 495897 A7 B7 五、發明説明（18) 移開參考晶圓，使所有訊號路徑都開路，規劃一 _ 1x1 器通道施加一測試信號給所選擇的訊號路徑，並規劃其它 測試器通道尋找該信號是否在任何其它訊號路徑出現，即 可偵測通過互連結構Γ 4之任何所選訊號路徑與任何其它 訊號路徑間的短路。 因此.，前文已描述用於測試通過任何一款鏈結積體電 路測試器之埠與被測I C晶圓測試點之互連結構之訊號路 徑之連續性與電阻的系統。雖然前述的說明書中是以本發 明的較佳實施例描述，.但熟悉此方面技術之人士應瞭解， 較佳實施例可做很多的修改，不會偏離本發明最廣義的態 樣。因此，所.附申請專利範圍意欲包括所有在本發明之真 正範圍與精神內的修改。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝--- 訂--- i# 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -21 -

Claims (1)

1. 495897 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 一―一一 I 附件一：第90 1 08657號專利申請案 β 中文申請專利範圍修正本〜——— 民國91年5月修正 1 · 一種測試用於連接積體電路（I C )測試器之埠 與配置在被測I C晶圓上第一測試點之互連結構內訊號路 徑的方法，該方法的步驟包括： 提供一參考晶圓’其上具有複數個第二測試點，其配 置與配置在該I C晶圓上之第一測試點的配置相同，且具 有一導體，相互連接該第二測試點； 使用該互連結構連接每一個該第二測試點與其中_個 單獨的該埠；以及 規劃該I C測試器，從其中一個該埠經由琴 β ρχ包運知構 內的該訊號路徑及該導體傳送一測試信號給另〜胃。 2 .如申請專利範圍第1項的方法，進〜 ^ 步的步驟包 括 規劃該I C測試器以決定該測試信號是否抵達_ g _ 個該璋。 3 ·如申請專利範圍第1項的方法，其中 的大小在振盪。 4 ·如申請專利範圍第3項的方法，進〜+ & & _ ^ ^ 步的步驟包 括 規劃該I C測試器以決定該測試信號之大/丨、曰 」疋否在δ亥 另一個該ί阜振盪。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ----

   (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 、1Τ 495897 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 ·如申請專利範圍第1項的方法，進一步的步驟包 括量測該測試信號在該其中一個該埠的電壓。 6 ·如申請專利範圍第5項的方法，進一步的步驟包 括計算該測試信號之該電壓與該測試信號之電流的比。 7 ·如申請專利範圍第1項的方法，進一步的步驟包 括量測該測試信號在該其中一個該埠的電流。 8 ·如申請專利範圍第5項的方法，進一步的步驟包 括計算該測試信號之電壓與該測試信號之該電流的比。 9 ·如申請專利範圍第1項的方法，進一步的步驟包 括： 將該其它的該埠接地； 量測該測試信號的大小；以及 根據所量測之該測試信號的大小計算路徑電阻。 1 0 .如申請專利範圍第1項的方法，其中該I C晶 圓及該參考晶圓的尺寸及形狀均相似。 1 1 . 一種量測連接積體電路（I C )測試器之埠與 配置在被測I C晶圓上至少3個第一測試點之互連結構內 訊號路徑之電阻的方法，該方法的步驟包括： 提供一參考晶圓，其上至少具有3個第二測試點，其 配置與配置在該I C晶圓上之該至少3個第一測試點的配 置實質上相似，且具有一導體，將該至少3個第二測試點 相互連接在一起； 使用該互連結構連接該至少3個第二測試點每一個與 其中一個單獨的該埠；以及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^-------— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -2- 495897 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 ___ D8 _六、申請專利範圍 在該至少3個埠之至少3個唯一的對間傳送測試信號 0 1 2 ·如申請專利範圍第1 1項的方法，進一步的步 驟包括： 量測該測試信號每一個的大小；以及 年艮據所量測之該測試信號的大小計算該訊號路徑的電 阻。 1 3 ·如申§靑專利範圍第1 2項的方法，進一步的步 驟包括當在該至少3個埠之該至少3個唯一的對間傳送該 測試信號時，將每一個該對的一個埠接地。 1 4 · 一種測試用於連接積體電路（I c )測試器之 库與配置在被測I C晶圓上第一測試點之互連結構內訊號 路徑的方法，該方法的步驟包括： 提供一參考晶圓，其上具有複數個第二測試點，其配 置與配置在該I C晶圓上之該第一測試點的配置相同，且 具有參考點以及相互連接該第二測試點與參考點的導體； 使用該互連結構將每一個該第二測試點及該參考點與 其中一個單獨的該埠連接；以及 規劃該I C測試器，從連接於該第二測試點的其中一 個該埠經由該互連結構內的該訊號路徑及該導p傳送—測 試信號給連接於該參考點的另一個該J:阜。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項的方法，進一步的步 驟包括 · 規劃δ亥Ϊ C測試益以決疋該測試信號是否抵達咳另一^ 本ϋ尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐^ ~： --- -3- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 ▼線 495897 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 個該埠。 1 6 ·如甲請專利範圍第1 4項的方法，其中該測試 號在高與低邏輯位準間切換。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項的方法，進一步的步 驟包括 規劃該I C測試器以決定該測試信號是否在該另一個 該ί阜在高與低邏輯位準間切換。 1 8 ·如申請專利範圍第1 4項的方法，進一步的步 驟包括量測該測試信號在該其中一個該埠的電壓。 1 9 ·如申請專利範圍第ί 8項的方法，進一步的步 驟包括計算該測試信號之該電壓與該測試信號之電流的比 〇 2 0 .如申請專利範圍第ί 4項的方法，進一步的步 驟包括量測該測試信號的電流。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項的方法，進一步的步 驟包括計算該測試信號之電壓與所量測之該測試信號之電 流的比。 2 2 ·如申請專利範圍第1 4項的方法，進一步的步 驟包括： 將該其它的該埠接地； . 量測該測試信號的大小；以及 根據所量測之該測試信號的大小計算路徑電阻。 2 3 · —種測試用於連接積體電路（1 c )‘測試器之 埠與配置在被測I C晶圓上第一測試點之互連結構內訊號 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 裝 訂 線 礞 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -4 - 495897 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 路徑的方法，該方法的步驟包括： 提供一參考晶圓·，其上具有複數個第二 置與配置在該I C晶圓上之該第一測試點的 具有在該第二測試點上產生測試信號的裝置； 測試點，其配 配置相同，且 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用該互連結構連接每一個該第 單獨的該埠；以及 規劃該I C測試器監視該埠，以 抵達該埠。 2 4 ·如申請專利範圍第2 3項 信號的大小在振盪。 2 5 ·如申請專利範圍第2 4項 驟包括規劃該I C測試器以決定該測 該另一個該埠振盪。 2 6 · —種量測連接積體電路（ 配置在被測I C晶圓上第一測試點之 之電阻的方法，該方法的步驟包括： 提供一參考晶圓，其上具有複數 置與配置在該I C晶圓上之該第一測 及使該測試點接地的裝置； 二測試點與其中一個 決定該測試信號是否 白勺方法，其中該測試 的方法，進一步的步 試信號的大小是否在 I C )測試器之埠與 互連結構內訊號路徑 個第二測試點，其配 試點的配置相同，以 使用該互連結構連接每一個該第二測試點與其中一個 單獨的該埠；以及 規劃該I C測試器以量測該埠與接地之第二測試點間 訊號路徑的電阻。 _ 2 7 . 種量測連接積體電路（I C )測試器之埠與 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS )八4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· -訂 >線_ -5- 495897 A8 B8 C8 ________ D8 六、申請專利範圍 酉己置在被測I C晶圓上第一測試點之互連結構內訊號路徑 之電阻的裝置，該裝置包括： 與i亥被測I C晶圓大小及形狀相似的參考晶圓，其上 具有*複數個第二測試點，其配置與配置在該I C晶圓上之 該第一測試點的配置相同。 2 8 ·如申請專利範圍第2 7項的裝置，其中該參考 晶圓還包括連接一群該測試點的導體。 2 9 ·如申請專利範圍第2 7項的裝置，其中該參考 晶圓還包括反應供應給該參考晶圓之輸入的信號，選擇性 地將該測試點接地的電路裝置。 3 0 ·如申請專利範圍第2 7項的裝置，其中該參考 晶圓還包括在該測試點產生測試信號的電路裝置。 3 1 ·如申請專利範圍第2 7項的裝置，其中該測試 信號具有一振盪的大小。 3 2 ·如申請專利範圍第3 0項的裝置，其中該參考 晶圓還包括將該測試點交替地接地以及反應供應給該參考 晶圓之輸入的控制信號，在該測試點上產生測試信號的電. 路裝置。 3 3 .如申請專利範圍第3 2項的裝置，其中該測試 信號具有一振盪的大小。 . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6 -