TW494278B - Novolac polymer planarization films for microelectronic structures - Google Patents

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494278 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（！） 發明之背景 1 .發明之領娀 本發明係關於用於如積體電路之微電子結構體之酚醛清 漆聚合物平面化膜。更特定言之，本發明係關於平面化膜 之形成之改良，其在暴露於熱時保持黏附於基質。 2 .發明之背景 酚醛清漆聚合物已廣泛地用於基質之製造，如多晶片模 組、印刷電路板、積體電路、及其他之微電子裝置。例 如，用於電路微石版印刷圖式之光阻經常含有酚醛清漆成 份。參見，例如，伍爾夫（Wolf)等人之” VLSI時代之矽處 理，一次處理技術（Silicon Processing for the VLSI Era，1 Process Technology)n418(1986) o 此外，酚醛清漆聚合物亦含於用於微電子裝置之製造之 平面化膜内。在此使用之名詞”平面化膜”指塗於平滑基質 外形用之圖式基質之膜。 表面之平面化或平滑化在積體電路之製造為重要的。例 如，由於光學石版印刷用以界定更小之特徵，曝光工具之 焦點深度降低。因此，需要使用平面化膜以平滑或”調平” 微電子裝置之外形，以適當地在逐漸更複雜之積體電路成 圖。參見，例如，史提瓦根（Stillwagon)等人之π作為石版印 刷及反蝕刻處理用之平面化層之許多有機物質之評估’’， 412顯微照相之聚合物，ACS研討會系列（Evaluation of Several Organic Materials as Planarizing Layers for Lithographic and Etchback Processing, 412 Polymers in Micrography, ACS Symp. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：Z97公釐） -4 A7

/8五、 發明説明（ 3 A7 B7 經濟、邺中央榡準局員工消費合作衽印製 已建議以改良膜對基質之黏附的一種方法為使用基質表 面修改，而基質塗覆於薄層之黏附促進劑内，如>胺基丙 基二乙氧基矽烷。然而，此技術因為增加膜形成方法之額 外步驟及成本而不欲。 其他常用之技術，如化學及電漿表面清潔處理或表面粗 處理，即，離子撞擊，已藉增加其間之接觸面積而用於 改反膜對基質之黏附之目的。然而，這些技術不僅更花錢 及耗時，基質亦經常招致來自電漿來源之輻射損壞。 界面活性劑在特別配製用於膜形成之酚醛清漆聚合物溶 液 < 使用為已知的。然而，這些含界面活性劑溶液包含具 有較高分子量之酚醛清漆聚合物，即，大於1〇,〇〇〇 amu之酚 ，a漆而且僅用於光阻之形成，與平面化膜之形成相 主要為了防止紛趁清漆或光阻膜厚度之線痕或不規則 之目的’這些溶液僅含少量之界面活性劑。 希望提供用以形成連續、均勻平面化膜之改良方法，而 由其製造之膜不僅可用以得到微電子基質之區域或全部平 面化’在暴露於熱時亦不自基質脫落。亦希望提供可用以 形成此平面化膜之組合物。 壁1明之概要 依照本發明，提供在基質形成連續平面化膜之方法之改 反’使得膜在暴露於熱時保持黏附於基質，包含： (a)將包含低分子量酚醛清漆樹脂、與選自包括非氟化 ， 氣化煙、及其組合所組成之群之界面活性劑聚合溶 液，塗布於基質表面；及

X酬」6 (請先閲讀背面之注意事項 #« 項再填 裝-- 寫本頁) 、11 線 經濟部中央標_局員工消費合作社印製 494278 A7 __ B7 ------- """~"—* — ____ ________ 五、發明説明（4 ) (b)加熱溶液及基質，以在表面形成連續平面化膜。 依fe本發明之另一狀恐，提供具有連續平面化膜塗布於 其上之基質，膜包含低分子量酚醛清漆樹脂、與選自包括 非氟化烴、氟化烴、及其摻合物所組成之群之界面活性 劑’而膜在暴露於熱時不自基質脫落。 依照本發明之另一狀態，提供用於塗覆於基質之均勻、 連續平面化膜之製備的新穎組合物，而膜在暴露於熱時不 自基質脫落，此組合物包含低分子量酚醛清漆樹脂、選自 包括非氟化烴、氟化烴、及其掺合物所組成之群之界面活 性劑、及視情形之有機溶劑。 在本發明之另一具體實施例，提供在基質形成連續平面 化膜之方法之改良，使得此膜在暴露於熱時保持黏附於基 質，包含： (a) 將包含低分子量酚醛清漆樹脂、與選自包括非氟化 烴、氟化烴、及其摻合物所組成之群之界面活性劑的聚合 溶液，中央地塗布於基質； (b) 以1500 rpm至4000 rpm之速度旋轉基質至足使溶液均勻 地散布於基質表面之時間；及 (0加熱溶液及基質，以在表面形成連續平面化膜。 本發明之連續平面化膜不僅在具有圖式（不規則）外形之 基質有利地形成連續、調平、光滑表面，如積體電路結構 體，在暴露於熱時亦不自基質脫落，即，用以蒸發殘餘溶 劑及誘發膜流動以平面化基質之溫度。此溫度—般為約^ ΐ至約3〇(TC。在此所提供之於基質表面形成膜之方法亦因 本纸張尺度中國^^準（CNS )八4^^297讀）~一----- -7 - -1^-裝------訂-----0-線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 494278 五、發明説明（ 不需在基質上形成黏附層 低此塗覆美杯、㈤〇 起m @有利地降 主復卷貝艾製造時間。 之說明 除非另有指示，在此所有之參考指定為重量。 本發明之平面化膜由藉由起初混合酚 活性劑而形成之細入铷制供^ 舍树知與界面 /成〈組合物製備，較佳為在室溫及室壓下。 <用於本發明之酚醛清漆聚合物 ψ ^ ^ ^ ^ N禾J仔，或可經以 甲憝反應酚或其衍生物，如鄰 ^ 野Y本酚，而衍 。此酚醛清漆之一般結構表示於以下之式^ :

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CH2 门 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝------訂-----aer線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 其中各R分別為氫或含至多20個碳原子之烴基，而且η範圍 為2至200。任何之R基可鍵結於任何芳族竣原子，即，q 至c6。類似地，CH2(亞甲基）基可鍵結於任何芳族碳原 子 匚2土<36，或任何之芳族環。聚合物中亞甲基對芳族 環之平均比例由約〇·5變化至約丨.5。視情形地，酚醛清漆 亦可含如衍生自六亞甲基三胺之交聯基。 較佳之紛醛清漆聚合物為具有範圍為約2〇0至約2〇,〇〇〇之 分子量之低分子量酚醛清漆，較佳為約200至約2000 ,及更

494278 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（6 ) 佳為約200至約1200 amu。此較佳之酚醛清漆聚合物包括衍 生自酚，並且具有鍵結氫原子、亞甲基與羥基之芳族環之 酚系酚醛清漆。亦較佳為衍生自鄰、間、或對甲苯酚，並 且具有在對羥基為鄰、間、或對位置鍵結亞甲基之芳族 環，及键結亞甲基與羥基之芳族環之甲苯酚系酚醛清漆聚 合物。衍生自鄰、間、與對甲苯酚及共聚物之變化組合之 共聚物甲苯酚系酚醛清漆，及衍生自酚及鄰、間、與對甲 苯酚之變化組合之掺合物亦較佳。酚系酚醛清漆樹脂最 佳。 適當之酚醛清漆聚合物較佳為含有約500十億份點或更 少，較佳為200十億份點或更少之金屬雜質，如鈉或鉀。 適於本發明之界面活性劑包括非氟化烴與氟化烴化有機 化合物及其摻合物。適當之非氟化烴界面活性劑可包含具 有約5至約50個碳原子，較佳為約10至約30個碳原子之有機 酸與其酯之烷基化衍生物，及其組合。更特別地，特定之 非氟化烴界面活性劑包括硫琥珀酸二辛酯及脂肪醇聚乙二 醇硫號珀酸酯，其均由俄亥俄州杜布林（Dublin Ohio)之 Sherex化學公司以商標名Varsulf而商業可得，及其混合物。 適當之氟化烴界面活性劑可包含具有約5至約50個碳原 子，較佳為約10至約30個碳原子，與一個碳-氟鍵之有機酸 與其酯之烷基化衍生物，及其組合。更特別地，特定之氟 化烴界面活性劑包括氟脂族氧化乙晞加成物、含約5至約 20個碳原子之氟化烷基烷氧化物與磺醯胺、衍生自包含含 有約5至約20個碳原子，連接末端酯基之部份氟化烴鏈之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）Ω -y ^4278 A7 B7 五、 發明説明（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 單體的氟脂族聚合酯、衍生自句本本 曰巴呂含有約5至20個碳原 ’連接選自醋與酸之末端官能基的部份氟化烴鏈之單體 的氟脂族共聚物、及其組合。這此 、 k二亂化界面活性劑由3M公 司而商業可得。 其他之氟化烴界面活性劑包括含約5至約6〇個碳原子之峰 酸氟境㈣基銨鹽’及更特別地，含約5至約義碳原子 又磺酸氟烷醋四烷基銨鹽。製備這些磺酸氟烷酿烷基銨鹽 界面活性劑之方法已知於此技藝。 貫驗式CxHyFzOaNb之氟脂族聚合酯，其中χ=約5至約 , y=約0至約20，2=約i至約20，&=約2至約6，及上=約 0 土、1，並且具有約5500-8500 amii之分子量較佳。以上實 驗式之氟脂族聚合酯以x=約8，y==約13，約1 , a=約 4，及b=約〇，及約7〇〇〇 amu之分子量較佳。 適當之界面活性劑具有5百萬份點或更少，較佳為2百萬 份點或更少之上述金屬雜質。 有機溶劑可視情形地如第三成份而包括於聚合溶液。適 於本發明之溶劑包括脂族及芳族烴、醇、酮、酯、醚、醚 醇、醚酯、醇酯、酮酯、酮醚、酮醇、醯胺、腈、及其組 合。更特別地，特定之溶劑包括乙醇、異丙醇、正丙醇、 正丁醇、丙酮、甲乙酮、甲基異丁基酮（"MEBK，，）、乙酸乙 酯、乳酸乙酯、乙酸正丁酯、丙二醇單乙鍵乙酸酯、乙酸 2 -乙氧基乙酸醋、2 -甲基氧基乙基酸（2 -甲氧乙醚）、甲基 甲氧基丙酸醋、丙酮酸乙g旨、2 -庚g同、3 -乙基乙氧基丙酸 酯、4 -羥基-4 -甲基-2 -戊酮、環己酮、乙酸戊酯及其組 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐、 批衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

Jm 線 五、發明説明（8 ) 合。 用於本發明之較佳溶劑為正丁醇、甲基異丁基_、乳酸 乙酉曰乙酸正丁酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、甲基甲氧基丙 鉍酯、丙酮酸乙酯、2 -庚酮、3 -乙基乙氧基丙酸酯、4 _羥 基-4-甲基-2-戊酮、環己酮、乙酸戊酯及其組合。 聚合溶液較佳為基於聚合溶液之總重量，含約丨至約 90%，更佳為約10至5〇%，及最佳為約2〇至約4〇%之酚醛清 漆聚合物，及基於聚合溶液之總重量，較佳為含約· 至約 5 %，更佳為約〇·!至約i %，及最佳為約〇 3至約〇 7 %之界 面活性劑。視情形溶劑可基於聚合溶液之總重量，以範圍 為約10至約90%，較佳為約5〇至9〇%，及最佳為約⑼至8〇% 之量而存在。 聚合溶液可藉任何之習知裝置，如旋塗，而塗布於基 質。較佳為，溶液中央地塗布於基質，其然後以範圍為約 500至約600卬m之速度，較佳為約15〇〇至4〇〇〇 rpm，而旋轉 約5至約60秒，較佳為約10至約3〇秒，以橫越基質表面均勻 地散布溶液。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本發明之組合物一般塗布於處理成積體電路或其他微電 子裝置之晶圓基質，如具有電路圖式於其表面之矽片。 塗覆基質然後藉此技藝已知之任何習知裝置而加熱。較 佳為’此組合藉由安置於熱板上面而加熱。其一般經習知 整合旋塗器/熱板系統而商業地完成。此型加熱不僅自溶 液快速及直接逐出溶劑，而且造成膜流動，對連續處理操 作亦易於調整。塗覆基質一般在範圍為約5〇。〇至約3〇〇χ：， 本纸張尺度適用中國國家標準（ CNS ) A4規格（210X 297公 -----~~- 494278 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 ------------B7 五、發明説明（9 ) — 車乂佳為約100 C至約200°C，加熱約· 5分鐘至約5 〇分鐘。多 重熱板，即，約2至約5個，可以相同之應用時間及溫度^ 圍而使用，雖然經一個熱板而加熱較佳。 ^ 塗層加熱後，生成膜之厚度範圍為約〇·2至約3 〇微米，較 佳為約0.5至約2·5微米，及最佳為約〇·7至約2〇微米。本= 明製造之膜通常呈現平均膜厚標準誤差少於2%， 2 為少於1%之厚度。 敉佳 以下之非限制性實例描述以本發明之酚醛清漆聚合物溶 液塗覆基質，以在其上產生改良之連續平面化膜之效果。 實例 -實例1 39.70克之低分子量（750 amu)甲苯紛系紛酸清漆聚合物在 周圍條件下溶於29.78克之正丁醇及29·78克之^甲氧基·2_ 丙醇’而產生99·26克之甲苯酚系酚醛清漆聚合物溶液。 I·74克之含10〇/。實驗式CxHyFzOaNb之界面活性劑，其中χ = 約5至約1 〇，y =約9至約16，ζ =約1至約2，a =約2至約6， 及b =約0至約1，及約5500-8500 amu之分子量，與90%正丁 醇之氟脂族聚合酯界面活性劑溶液，在周圍條件下加入 34.8克之甲苯酚系酚醛清漆聚合物溶液。生成之聚合溶液 然後經吸管而分散於無圖式之矽晶圓，而且後者於約3〇〇〇 rpm之速度旋轉20秒，以橫越晶圓表面均勻地散布聚合溶 液，而提供約1微米至約4微米厚之塗層。晶圓然後置於 120°C熱板約2分鐘，然後在210°C熱板2分鐘。 形成於晶圓之生成膜並未去濕、粒化、或自其脫落。在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公$ )|2 -------! (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

Jm 線 494278 A7 B7 五、發明説明（1〇) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 此使用之名周去濕”或”粒化”指在部份液體階段時，膜拉 離基質表面而且在其上形成”顆粒π之情形，與連绩膜相 反。測量之平均膜厚為2·08微米，具有20奈米之標準誤声目 (平均厚度之0·96%)。生成之塗覆晶圓上具有實^上 之平面表面。 實例2 (比 如只例1所製備，2克無界面活性劑之甲苯酚系酚醛清漆 溶液塗布於無圖式之矽晶圓，旋轉，然後以實例丨所述之 方法而加熱。在片於120它加熱之2分鐘時，膜廣泛地去濕 及脫落。在加熱處理結束時，約2〇%之晶圓並未為膜所覆 蓋。 實例3 39.73克之低分子量（950 amu)甲苯酚系酚醛清漆聚合物在 室溫及壓力溶於29.79克之正丁醇及29.79克之1 -甲氧基-2 -丙醇，而產生99.32克之酚醛清漆聚合物溶液。0.50克實例 1之界面活性劑溶液，在周圍條件下加入1〇.28克之酚醛清 ’黍聚合物溶液。生成之聚合溶液然後以如實例1所述之相 同方法而塗布於無圖式之矽晶圓及旋轉。晶圓然後置於150 °C熱板約1分鐘，然後在250°C熱板2分鐘。 形成於晶圓之生成膜並未去濕、粒化、或自片脫落。測 量之平均膜厚為1.74微米，具有15.1奈米之標準誤差（平均 厚度之0.87%)。塗覆晶圓上亦具有實質上均勻之平面表 面。 本紙張尺度適用中國國家標準（（：1^)/\4規格（210/ 297公笔)|3 f請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁j •私衣. -訂 -線 494278 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 五、發明説明（Μ ) 皇4 (比較性、 如實例3所製備，無界面活性劑之酚醛清漆溶液，以實 例1所述之方法而在無圖式之矽晶圓旋轉。在晶圓於15〇。〇 加熱之1分鐘時，膜自基質廣泛地去濕。膜然後在250°c加 熱2分鐘，然後約70%之晶圓表面並未為膜所覆蓋。實例5 400克貫例3之酚系酚醛清漆樹脂在室溫及壓力溶於6〇〇克 之甲基異丁嗣。在此溶液加入24·47克實例i之界面活性劑 及25.76克之額外MIBK，而產生1050.23克之酚醛清漆聚合 物溶液。2克之此酚醛清漆聚合物溶液經吸管而塗布於無 圖式之矽晶圓，並且於約21〇〇卬m旋轉約20秒。片然後置於 200°C熱板2分鐘。 形成於晶圓之生成膜並未去濕、粒化、或自其脫落。測 量之平均膜厚為2.04微米，具有3.6奈米之標準誤差（平均 厚度之0.18%)。生成之塗覆晶圓上具有實質上均勻之平面 表面。 實例6 2克含實例5之界面活性劑之酚系酚醛清漆聚合物溶液經 吸官而塗布於無圖式之矽晶圓，並且於約1〇〇〇 rpm旋轉約 20秒。晶圓然後置於2〇〇°C熱板約2分鐘。 形成於晶圓之生成膜並未去濕、粒化、或自其脫落。測 量之平均膜厚為2.04微米，具有5·〇奈米之標準誤差（平均 厚度之0.25 % )。生成之塗覆晶圓係實質上全部平面化。 上述之實例描述未含所請界面活性劑之低分子量酚醛清

(請先閱讀背面之注意事項 0, 項再填. 裝— 寫本頁) 線 494278 A7

五、發明説明（12 ) ♦落液（實例2與4)在暴露於熱時趨於快速地脫落。相反 地，含界面活性劑之溶液在暴露於熱後並未自基質脫落， 亦生成平滑之平面化膜，其連續地覆蓋基質表面。 --------φ-裝------訂-----0-線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 適 度 尺 張 紙 I本 準 一標 家 國 國

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Claims (1)

1. 494278 A8 B8 C8 D8

   申請專利範圍 1. 一種於基質上形成殖綠、、 成連、，平面化腠炙万法，其使得在曝 熱之下該膜仍維持黏附於該基質上，其改進處包括：、 (a)在該基質之表面上塗敷一種聚合溶液，其包含具下式 之低分子量酚醛清漆樹脂 、"

   其中各個R係分別為氫或含至多2〇個碳原子之烴基，且 η係在2至200之範圍内；及選自由非氟化烴、氟化烴及 其組合所組成之群的界面活性劑；及 (b)加熱該溶液及基質以在該表面上形成連續平面化膜。 2·根據申請專利範圍第丨項之方法，其中該溶液另外包含有 機溶劑。 3·根據申請專利範圍第2項之方法，其中該溶液包含，基於 該溶液之總重量，1至90重量％之低分子量酚醛清漆樹 月旨，0·01至5重量％之該界面活性劑，及〇至9〇%之該溶 劑。 4·根據申請專利範圍第3項之方法，其中該溶液包含2〇至4( 重量％之該低分子量紛酸清漆樹脂，〇.3至〇.7重量％之該 界面活性劑，及60至80重量％之該溶劑。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 16 其中該盼趁清漆樹脂為 其中$亥非鼠化煙界面活 、申請專利範I 5.根據中請專利範圍第2項之方法，其中該㈣清漆樹脂係 ，自由紛系_樹脂、對甲苯_清漆、鄭甲苯紛醒清 6漆、間甲苯酚醛清漆及其共聚物與摻合物所組成之群。 6’根據申請專利範圍第2項之方法，其中該紛醒清漆樹脂具 有200至20,〇〇〇 amu之分子量。 7·根據申請專利範圍第2項之方法 盼系g分酸樹脂。 8·根據申請專利範圍第2項之方法 性劑包含具有5至50個碳原子之有機酸與其酉旨之脂族衍生 物，及其組合。 9.根據中請專利範圍第8項之方法，其中該非氟化㈣面活 性劑選自包括硫琥珀酸二辛酯、脂肪醇聚乙二醇硫琥珀酸 酯，及其組合。 艮據申α專利範圍第2項〈方法，其中該氟化烴界面活性 d I ρ具有5至50個碳原子，及至少_個碳_氣鍵之有機酸 與其酉旨之脂族衍生物、具有5至6〇個碳原子，及至少一個 碳-氟鍵之磺酸氟烷酯烷基銨鹽，及其組合。 π·根據中請專利範圍㈣項之方法，其中減化烴界面活性 劑係選自由氟脂族氧化乙埽加成物、含5至20個碳原子之 氟化燒基垸氧化物、含5至20個礙原子之績酸胺、衍生自 。包含含有5至20個碳原子連接末端醋基之部份氟化烴鏈之 早體的氟脂族聚合酉旨、衍生自包含含有5至2〇個碳原子連 ㈣自醋與酸之末端官能基的部份氟化烴鏈之單體的氟脂 族共聚物、含5至60個碟原子之續酸氣统醋燒基按鹽及其 -------裝------訂-----0線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 17- 494278 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 、申請專利範圍 組合所組成之群。 12. 根據巾請專利範圍第㈣之方法，其中該氟化烴界面、、舌性 劑為實驗式cxHyFz〇aNb之氟脂族聚合醋’其中^5至1〇, 广0至2〇’ z=1至20, a = 2至6，及卜〇至1，並且且 5500-8500原子質量單位之分子量。 八 13. 請專利範圍第2項之方法，其中該溶劑係選自“ 祆及方族fe、醇、酮、酿 '醚、醚醇、醚醋、醇醋、酉同 酯、酮醚、酮醇、醯胺、腈及其組合所組成之群。 14. -種於基質上形成連續平面化膜之方法，丨使得在曝置於 熱之下孩膜仍維持黏附於該基質上，其改進處包括： (a)在該基質之表面上中央塗敷一種聚合溶液，其包含具 下式之低分子量酚醛清漆樹脂

   其中各個R係分別為氫或含至多20個碳原子之煙基，且 η係在2至200之範圍内；及選自由非氟化烴、氣化炉及 其組合所組成之群的界面活性劑； ⑻以1500 rpm至4000卬m之速度經足使該溶液均句分佈於 該基質表面之時間旋轉該基質；及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 裝------訂-----線 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 '申請專利範圍 (C)加熱該溶液及基質以在該基質上形成連續平面化膜。 15·—種具有連續平面化膜塗敷於其上之基質，該膜包含具下 式之酚醛清漆樹脂：

   其中各個R係分別為氫或含至多2〇個碳原子之烴基，且〇 係在2至200之範圍内；及選自由非氟化烴、氟化烴及其組 5所組成之群的界面活性劑。 ⑷根據中請專利範圍第15項之基質，其中該基質為晶圓。 口·:種用於微電子裝置之塗覆組合物，其基於組合物之總重 量，包含： 1至90重量％之低分子量酚醛清漆樹脂； 〇:(Η至5重量％之選自由非氟化烴、氟化烴及其組合所組 成之群之界面活性劑；及 〇至90%之有機溶劑。 18.根據中請專利範圍第17項之组合物，其中該樹脂㈣自由 酚系盼酸樹脂、對甲苯盼酸清漆、鄰甲苯酉分兹清漆、間甲 苯酚醛清漆及其共聚物與摻合物所組成之群。 19·根據中請專利範圍第17項之組合物，其中該氟化烴界面活 家標準(CNS ) 裝 訂 ^^線. (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁，> -19- 494278 經濟部中央標率局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 性劑係選自由氟脂族氧化乙烯加成物、含5至2〇個碳原子 之氟化烷基烷氧化物、含5至20個碳原子之磺醯胺 '衍生 自包含含有5至20個碳原子連接末端酯基之部份氟化烴鏈 之單體的氟脂族聚合酯、衍生自包含含有5至20個碳原子 連接这自g旨與酸之末端官能基的部份氟化煙鏈之單體的氟 脂族共聚物、含5至60個碳原子之磺酸氟烷酯烷基銨鹽及 其組合所組成之群。 20. 根據申凊專利範圍第19項之組合物，其中該氟化烴界面活 性劑為實驗式CxHyFzOaNb之氟脂族聚合酯，其中x = 5至 10 ’ y = 0 至 20，Z=1 至20，a = 2 至 6，及b = 0 至 1，並且具 有5500-8500原子質量單位之分子量。 21. 根據申請專利範圍第1項之方法，其中該基質之該表面為 該膜所局部、區域或全部平面化。 22. 根據申請專利範圍第14項之方法，其中該基質之該表面為 該膜所局部、區域或全部平面化。 23·根據申請專利範圍第15項之基質，其中該基質具經由該膜 所局部、區域或全部平面化之表面。 24·根據申凊專利範圍第1 $項之基質，其中g分修清漆樹脂具分 子量在200至20,000之範圍内。 25.根據申請專利範圍第17項之組合物，其中該酚醛清漆樹脂 具分子量在200至20,000之範圍内。 表纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公董） -20 * -------------^------,玎-----•線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)